JP2005139901A - 回路切換えスイッチ - Google Patents
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Abstract
【課題】作動流体が熱膨張しても、ポンプ室の破損、或いはシール破損が発生しない駆動デバイスを備えた回路切換えスイッチを提供すること。
【解決手段】駆動デバイス10を含んでなる回路切換えスイッチ60は、セラミックポンプ18a,18bを備え、同ポンプにより流路13a内の作動流体100を導電性の移動体110の左右で交互に加減圧して同移動体110を同流路13a内で移動させ、切換え用電極62a,62bの何れか一方を共通電極61と電気的に導通させる。微細流路16a,16bは、ポンプにより作動流体の圧力が急速に上下動するとき大きな流路抵抗を呈するので、流路内の圧力が内圧緩衝室15aへと逃げず、移動体が確実に移動する。一方、微細流路は、作動流体の熱膨張による緩慢な圧力上昇に対し小さな流路抵抗を呈するので、作動流体の膨張分を内圧緩衝室内に導いて作動流体の圧力上昇を抑制する。
【選択図】 図27
【解決手段】駆動デバイス10を含んでなる回路切換えスイッチ60は、セラミックポンプ18a,18bを備え、同ポンプにより流路13a内の作動流体100を導電性の移動体110の左右で交互に加減圧して同移動体110を同流路13a内で移動させ、切換え用電極62a,62bの何れか一方を共通電極61と電気的に導通させる。微細流路16a,16bは、ポンプにより作動流体の圧力が急速に上下動するとき大きな流路抵抗を呈するので、流路内の圧力が内圧緩衝室15aへと逃げず、移動体が確実に移動する。一方、微細流路は、作動流体の熱膨張による緩慢な圧力上昇に対し小さな流路抵抗を呈するので、作動流体の膨張分を内圧緩衝室内に導いて作動流体の圧力上昇を抑制する。
【選択図】 図27
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、作動流体を利用して移動体を移動させる駆動デバイスを用いることにより、電気的経路の切換えを行う回路切換えスイッチに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体製造技術に代表されるような材料の微細加工技術や、電気エネルギーと機械エネルギーを相互に変換しうる圧電材料等を用いて、数ミリから数十ミクロンサイズの微細なマイクロモーター、マイクロセンサー、及びマイクロスイッチ等の開発が進められている。それらの要素デバイスは、例えば、インクジェットプリンタヘッド、マイクロバルブ、フローセンサー、圧力センサー、記録ヘッド、トラッキングサーボ用アクチュエータ、オンチップ生化学分析、マイクロリアクタ、高周波部品、マイクロ磁気デバイス、マイクロリレー、加速度センサー、ジャイロ、駆動デバイス、ディスプレイ、光スキャナ、等々へ幅広く応用さ得る(日経マイクロデバイス誌2000年7月号pp164−165)。
【0003】
これらのマイクロマシンにおいては、駆動力として静電気力が多く使われる。また、圧電材料の電圧印加により生じる歪み変形を利用するもの、形状記憶合金の形状変形を利用するもの、及び液体が加熱によって相変態することにより生じる体積変化を利用するものなど、さまざまなタイプの駆動源が検討されている。ところが、機構を微細化するに従い、駆動源の発生力や駆動ストロークが極めて小さくなり、このため、一部の用途には梃子のような機械的増幅機構を組み合わせることが必要となってきた。
【0004】
ところが、このような機械的増幅機構をマイクロマシンのサイズにまで微細化すると、通常のサイズでは問題とならない摩耗や固着等が大きな問題となる場合がある。また、梃子等の増幅機構(駆動機能)を有するマイクロマシンは、深さ(高さ)を有する立体構造の形成が必須となるので、微細加工に長時間を要したり、微細部品の組み立てに工数がかかるなどの理由により、量産化に適さないという問題を有する場合がある。
【0005】
一方、このようなデバイスのうち、電気的スイッチ(又はリレー)として機能する回路切換えスイッチとしては、水銀の液滴を動かすことによりスイッチング動作を実現する水銀マイクロリレーであって、水銀液滴を動かす駆動力としてマイクロヒーターの加熱による瞬間的なバブル発生時の圧力を用いるタイプのものが研究されている(例えば、J. Kimら、Proc. 46th Annual Int. Relay Conf, Oak Brook, Il, Apr. 1998,pp.19-1-19-8.を参照。)。このスイッチは、周波数レンジが直流から10GHzまでと広く、GHz帯域での低い挿入損失と高い絶縁抵抗を有し、またシグナルバウンスが無い、といった様々な特徴を有するものとして、報告されている。
【0006】
しかしながら、上記のバルブ発生型の水銀マイクロリレーは、加熱動作により蓄熱がなされる点、及び消費電力が大きいという問題を有する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の目的は、作動流体を利用したデバイスであって、マイクロマシンの小サイズや低消費電力の特徴を保ちつつ、磨耗や固着の問題を内在する機械的増幅機構をもたず、量産し易く、且つ、周囲温度の変動に伴う作動流体の漏洩が発生し難い回路切換えスイッチを提供することにある。また、本発明の他の目的は、蓄熱の問題がなく、高速切換え作動が可能な回路切換えスイッチを提供することにある。
【0008】
【本発明の概要】
上記目的を達成するため、本発明の回路切換えスイッチは、非圧縮性の作動流体を収容するとともに同作動流体とは異なる物質からなる移動体を収容し、同移動体により実質的に一対の作動室に区画される流路を構成する流路構成部と、前記一対の作動室のそれぞれに連通するとともに前記作動流体が充填された各ポンプ室と、同各ポンプ室に対して備えられた各アクチュエータと、同各アクチュエータにより変形される各ダイヤフラムとを有し、同各ダイヤフラムの変形により同各ポンプ室内の作動流体を加圧又は減圧する一対のポンプと、前記作動流体と圧縮性の圧力緩衝用流体とを収容する内圧緩衝室を構成する内圧緩衝室構成部と、前記流路構成部の流路と前記内圧緩衝室構成部の内圧緩衝室とを連通するとともに、同流路内の作動流体の急激な圧力変動に対しては実質的に同作動流体の通過を不能とする大きな流路抵抗を示し、且つ、同流路内の作動流体の緩慢な圧力変動に対しては実質的に同作動流体の通過を可能とする小さな流路抵抗を示す微細流路を構成する微細流路部と、を備えてなる。この場合、前記微細流路は、前記流路構成部の流路と前記内圧緩衝室構成部の内圧緩衝室とを直接接続していてもよく、他の部分(例えば、流路とポンプ室とを接続する接続通路、或いは、ポンプ室)を介して前記流路構成部の流路と前記内圧緩衝室構成部の内圧緩衝室とを接続してもよい。また、ポンプは一対以上備えていてもよい。
【0009】
これによれば、アクチュエータによりダイヤフラムが変形せしめられ、流路内の作動流体が加圧、又は減圧せしめられる。このとき、作動流体に急激な圧力変動を生ぜしめれば、微細流路は実質的に同作動流体の通過を不能とする大きな流路抵抗を示すので、同作動流体の圧力変化は流路内の移動体に伝達され、同移動体が移動する。一方、周囲温度の変化に伴う作動流体の熱膨張により、或はアクチュエータを緩慢に作動させること等により、作動流体に緩慢な圧力変動が生じると、微細流路は実質的に同作動流体の通過を可能とする小さな流路抵抗を示すので、同作動流体は同微細流路を介して圧縮性の圧力緩衝用流体を収容する内圧緩衝室に移動する。この結果、流路内の作動流体の圧力上昇が抑制されるので、同作動流体の過大な圧力によるデバイス(スイッチ)の破損、これによる作動流体の漏洩等が回避され得る。
【0010】
この場合、前記アクチュエータは圧電/電歪膜又は反強誘電体膜と電極とからなる膜型圧電素子を含んでなり、前記ダイヤフラムはセラミックダイヤフラムであることが好適である。
【0011】
これによれば、微細加工が一層容易になされ、量産性、及び耐久性に優れた回路切換えスイッチが提供され得る。
【0012】
また、本発明による上記回路切換えスイッチは、前記流路構成部の流路の一部に露呈した第1切換え用電極と、前記流路構成部の流路の他の一部に露呈し前記第1切換え用電極と電気的に絶縁された第2切換え用電極と、これら第1切換え用電極と第2切換え用電極とに前記流路構成部の流路を挟んで対向するように(又は、流路内で移動体により接続されるように)同流路に露呈した電極(共通電極)とを備えるとともに、前記移動体は少なくとも表面が導電性材料からなるように構成されることが好適である。この場合、作動流体は非導電性を有することが必要である。
【0013】
また、上記回路切換えスイッチは、前記流路構成部の流路の一部に露呈した第1切換え用電極と、前記流路構成部の流路の他の一部に露呈し前記第1切換え用電極と電気的に絶縁された第2切換え用電極と、前記第1切換え用電極と前記流路構成部の流路を挟んで対向するように(又は、流路内で移動体により接続されるように)同流路に露呈した電極と、前記第2切換え用電極と前記流路構成部の流路を挟んで対向するように同流路に露呈した電極とを備えるとともに、前記移動体は少なくとも表面が導電性材料からなるように構成されることが好適である。
【0014】
なお、このようなスイッチにおいては、切換え用電極の数は少なくとも2つ以上であればよい。
【0015】
これによれば、移動体の位置が、膜型圧電素子とセラミックからなるダイヤフラムとで構成されるポンプにより、第1切換え用電極と第2切換え用電極との間で移動され、その結果、電気回路(電気経路)が切換えられるので、マイクロヒーターの加熱による蓄熱の問題もなく、消費電力の小さい回路切換えスイッチが提供され得る。また、かかるポンプは高速作動が可能で、耐久性に優れているので、携帯情報端末等に適切な回路切換えスイッチが提供され得る。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明による回路切換えスイッチの駆動デバイス、及び回路切換えスイッチの各実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本発明は、これらの実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々の変更、修正、改良を加え得るものである。
【0017】
図1は、本発明による第1実施形態に係る駆動デバイス10の縦断面図であり、図2は同駆動デバイス10の平面図である。なお、図1は図2の1−1線に沿った平面にて同駆動デバイス10を切断した断面図である。
【0018】
この駆動デバイス10は、互いに直交するX軸、Y軸、及びZ軸方向に沿って延びる各辺を有する略直方体形状のセラミックスからなる基体11と、一対の圧電膜(圧電/電歪素子)12a,12bとを備えている。基体11は、その内部に、流路構成部13と、一対のポンプ室14a,14bと、内圧緩衝室構成部15と、一対の微細流路部16a,16bとを含んでいる。
【0019】
流路構成部13は、X軸方向に長軸を有し、図1の2−2線に沿った平面(Y−Z平面に平行な平面)で基体11を切断した断面図である図3に示したように、その断面が略長方形の流路13aを構成する部分である。流路13aの具体的な寸法を例示すると、前記略長方形断面の巾(Y軸方向の長さ)Wは100μm、深さ(Z軸方向の長さ、即ち高さ)Hは50μm、及び、長手方向の長さ(X軸方向の長さ)Lは1mmである。流路13a内には非圧縮性の作動流体(例えば、水、油等の液体)100と、例えば、磁性材料、ガリウム合金の如き液体金属、水、油、不活性ガス等の前記作動流体100とは異なる物質からなる移動体110とが収容されていて、同流路13aは、移動体110により実質的に一対の作動室13a1,13a2に区画されるようになっている。移動体110は、流路13a内において一つの塊(液塊(液胞)、気泡、又は微小固体)の状態で存在し、図3に示したように、流路13aの前記断面である長方形の4つの角部に前記作動流体100が通過し得る極めて小さな隙間Sを形成する。
【0020】
ポンプ室14aは、作動流体100が充填されたZ軸方向に中心軸を有する円筒形を有する空間であって、その下面の一部が流路13aのX軸負方向端部に連通するように同流路13aの上方に形成された空間である。ポンプ室14aの具体的な寸法を例示すると、前記円筒の底面及び上面の半径Rは0.5mmであり、深さ(高さ)hは10μmである。ポンプ室14aの上面には、厚さ(高さ)dが10μmのセラミックからなるダイヤフラム(ダイヤフラム部)17aが形成されている。
【0021】
ポンプ室14bは、ポンプ室14aと同一形状を有し、その下面の一部が流路13aのX軸正方向端部に連通するように同流路13aの上方に形成されていて、作動流体100が充填されている。また、ポンプ室14bの上面には、ダイヤフラム17aと同形のセラミックからなるダイヤフラム17bが形成されている。
【0022】
圧電膜12aは、前記ポンプ室14a、及びダイヤフラム17aとともにセラミックポンプ18aを形成するものであって、厚さDが20ミクロンで、平面視における半径rがポンプ室の半径Rよりも僅かに小さい円形薄板形状を有している。この圧電膜12aは、前記ポンプ室14aの上方の位置にて、その円形底面の中心が平面視においてポンプ室14aの上面の中心と一致するように、同ダイヤフラム17aの上面に固定され、同圧電膜12aを挟むように形成された図示しない一対の電極に電圧が印加されたとき同ダイヤフラム17aを変形させることによりポンプ室14aの容積を増減し、ポンプ室14a内部の作動流体100を加減圧するようになっている。なお、圧電膜12aの分極方向はZ軸正方向である。
【0023】
圧電膜12bは、圧電膜12aと同一のものであって、前記ポンプ室14b、及びダイヤフラム17bとともにセラミックポンプ18bを形成している。即ち、圧電膜12bは、前記ポンプ室14bの上方の位置においてダイヤフラム17bの上面に固定され、図示しない電極に電圧が印加されたとき同ダイヤフラム17bを変形させることによりポンプ室14bの容積を増減し、ポンプ室14b内部の作動流体100を加減圧するようになっている。なお、圧電膜12bの分極方向もZ軸正方向である。
【0024】
内圧緩衝室構成部15は、平面視でX軸方向に沿った長軸を有する略楕円形状を有し、そのX軸方向長さは流路13aの長さLよりも長く、その短軸であるY軸方向の長さは流路13aの巾Wより長く、且つ、図3に示したように、その断面が略長方形の空間である内圧緩衝室15aを構成する部分である。内圧緩衝室15aは、流路13aの下方(Z軸負方向)の基体11内に、その長軸が流路13aの中心軸と平面視において一致するように形成されていて、内部のX軸方向略中央部には前記作動流体100が満たされるとともに、周辺部には圧縮性の(作動流体100よりも圧縮率が極めて低い)圧力緩衝用流体(以下、「圧縮性流体」とも称呼する。)120が満たされている。なお、本例においては、圧縮性流体120は作動流体100の蒸気であるが、この蒸気に所定量の不活性ガスを混合しても良く、同蒸気を含まない気体等であってもよい。
【0025】
微細流路部16aは、流路13aの左側の作動室13a1と内圧緩衝室15aとを連通するZ軸方向に伸びる中空円筒状の微細流路16a1を構成する部分であって、同微細流路16a1内にも作動流体100が満たされている。微細流路16a1の具体的な寸法を例示すると、前記円筒の半径は15μmで、Z軸方向の長さ(円筒の高さ)は100μmである。この微細流路16a1の形状は、流路13aに比較して流体抵抗が大きくなるような形状が選択されている。即ち、微細流路16a1は、流路13a内の作動流体100の急激な圧力変動に対しては実質的に同作動流体100の内圧緩衝室15aへの通過(移動)を不能とする大きな流路抵抗を示し、且つ、同流路13a内の作動流体100の緩慢な圧力変動に対しては実質的に同作動流体100が同内圧緩衝室15a内に通過(移動)できる(流入し得る)小さな流路抵抗を示す所謂絞り機能を備えている。
【0026】
微細流路部16bは、微細流路16a1と同一形状の微細流路16b1を形成する部分であって、同微細流路16b1は流路13aの右側の作動室13a2と内圧緩衝室15aとを連通するとともに、作動流体100が満たされている。この微細流路16b1も、微細流路16a1と同様な絞り機能を備えている。
【0027】
以上、説明したように、流路13a内部、一対のポンプ室14a,14b内部、一対の微細流路16a1,16b1内部、及び同一対の微細流路16a1,16b1で流路13aに連通された内圧緩衝室15aの一部には、作動流体100が連続的に満たされている。また内圧緩衝室15aの作動流体100で満たされていない空間は、同作動流体100の蒸気120によって満たされている。
【0028】
次に、上記のように構成された駆動デバイス10の作動について、各作動状態を示した図4〜図7を参照しながら説明する。図4は、圧電膜12a,12bの何れの電極にも駆動のための電圧が印加されていない駆動デバイス10の初期状態を示している。この場合、両ポンプ室14a,14bは初期の容積を維持するから、両ポンプ室14a,14b、及び流路13aに充填されている作動流体100は加圧も減圧もされない。この結果、流路13a内に収納された移動体110は初期位置(流路13aのX軸方向略中央部)で静止している。
【0029】
駆動時においては、図5に示したように、ポンプ室14aのダイヤフラム17a上に設置された圧電膜12aに対し、上部電極にプラス、下部電極にマイナスの極性の電圧を印加すると同時に、ポンプ室14bのダイヤフラム17b上に設置された圧電膜12bに対しては、逆に、上部電極にマイナス、下部電極にプラスの極性の電圧を印加する。
【0030】
これにより、圧電膜12aは横方向に(即ち、X−Y平面に略平行な面内にて、即ち、圧電膜12aの厚さD方向と垂直な方向に)収縮するため、ポンプ室14a上のダイヤフラム17aが下方へ屈曲変形して同ポンプ室14aの容積を減少させる。この結果、ポンプ室14a内の作動流体100が加圧されてその圧力が増大し、同作動流体100が流路13aの作動室13a1内へ押し出される。同時に、圧電膜12bは横方向へ(即ち、X−Y平面に略平行な面内にて)膨張するため、ダイヤフラム17bは上方へ屈曲変形してポンプ室14bの容積を増大させる。この結果、ポンプ室14b内の作動流体100の圧力が減圧されてその圧力が低下し、作動流体100が流路13aの作動室13a2から吸引される。従って、かかる両ポンプ室14a,14b間の圧力差により、流路13aに収納された移動体110は、作動室13a1(ポンプ室14a)から作動室13a2(ポンプ室14b)へ向けて(即ち、X軸正方向に)移動する。
【0031】
また、図6に示したように、圧電膜12aに対し、上部電極にマイナス、下部電極にプラスの極性の電圧を印加すると同時に、圧電膜12bに対し、上部電極にプラス、下部電極にマイナスの極性の電圧を印加すると、ポンプ室14b内の作動流体100は加圧され、ポンプ室14a内の作動流体100は減圧される。移動体110は、この差圧によって作動室13a2(ポンプ室14b)から作動室13a1(ポンプ室14a)へ向けて(即ち、X軸負方向に)移動する。
【0032】
このような通常の駆動時においては、圧電膜12a,12bに印加する電圧を高速に変化させる(印加電圧の増減速度を大きくする)ことにより、ポンプ室14a,14bの加圧ならびに減圧を高速に行う。その結果、微細流路16a1,16b1の流路抵抗は十分大きくなり、同流路16a1,16b1内外に流路13a内の作動流体100が出入りすることがないので、流路13aの作動室13a1と作動室13a2との間に発生した圧力差は低下することなく(所謂、圧逃げが殆ど生ぜず)確実に移動体110に作用する。従って、移動体110は確実に移動する。
【0033】
一方、駆動デバイスの環境温度が上昇して作動流体100が熱膨張した場合、微細流路16a1,16b1と内圧緩衝室15aとを備えていないデバイスにあっては、作動流体100の圧力が過大となり、ポンプ室14a,14bの容積が増大してダイヤフラム17a,17bを押し上げて破損させたり、基体11がセラミックスシートの接着組み立て体として構成されている場合には、その接着部(のシール)を破損させ、作動流体100が漏れるという問題が発生する惧れがある。
【0034】
これに対し、本発明の駆動デバイス10は、微細流路16a1,16b1と内圧緩衝室15aを有し、しかも、作動流体100の温度上昇は緩慢に生じるので、同作動流体100の圧力も緩慢に上昇する。従って、図7の矢印にて示したように、作動流体100の温度上昇に伴う膨張分は、かかる緩慢な作動流体100の圧力上昇に対して極めて低い流路抵抗を示す微細流路16a1,16b1を介して内圧緩衝室15aへ流出する。内圧緩衝室15a内では、作動流体100の蒸気120が圧縮され圧力上昇が生じるものの、気体の圧縮率は液体の圧縮率より低いため、作動流体100の圧力上昇は軽微である。従って、ポンプ室14a,14bの上面のダイヤフラム17a,17bが押し上げられて破損したり、接着組み立て部のシールが破損して作動流体100の液漏れが発生するという事態が生じない。また、駆動デバイス10の環境温度が低下して作動流体100が収縮した場合、作動流体100の温度低下も緩慢に生じるから、図8の矢印にて示したように、作動流体100は微細流路16a1,16b1を介して内圧緩衝室15aから流路13aに戻る。
【0035】
このように、駆動デバイス10は、微細流路16a1,16b1と内圧緩衝室15aを備えていることにより、広い温度範囲で使用可能であって、信頼性、及び耐久性の高い駆動デバイスとなる。
【0036】
次に、駆動デバイス10が初期状態において移動体110の位置を微調整するために行う作動について、図9〜図12を参照しながら説明する。いま、図9に示したように、初期状態で移動体110が圧電膜12a側に偏った位置に静止しているとする。このような状態は、後述するような製造工程における移動体110を流路13a中へ収納する工程にて、製造上のバラツキの範囲内で、あるいは作業ミス等により生じ得る。
【0037】
この場合、まず図10の時刻t1〜t2に示したように、圧電膜12a,12b(の各電極)に対し高速に変化する印加電圧Va,Vbをそれぞれ付与する。印加電圧Vaは、例えば1〜20μ秒の間に絶対値が0Vから50Vに昇圧する駆動電圧であり、上部電極がプラス、下部電極がマイナスの極性となる電圧である。同様に、印加電圧Vbは、例えば1〜20μ秒の間に絶対値が0Vから50Vに昇圧する駆動電圧であり、上部電極がマイナス、下部電極がプラスの極性となる電圧である。これにより、図11に示したように、ポンプ室14aによって作動流体は加圧され、ポンプ室14bによって同作動流体100は減圧されるので、移動体110は中央よりの位置へ(ポンプ室14bの方向へ)移動する。この場合、付与する印加電圧Va,Vbの変化速度が大きいので、微細流路16a1,16b1の流路抵抗は十分大きくなり、同流路16a1,16b1に流路13a内の作動流体100が出入りすることはない。
【0038】
次いで、図10の時刻t2〜t3に示したように印加電圧Va,Vbを僅かな時間だけ一定に維持し、その後、時刻t3〜t4に示したように、印加電圧Va,Vbの絶対値を、例えば0.1〜1秒程度かけて0Vまで緩慢に低下させる。この場合、微細流路16a1,16b1の流路抵抗は小さくなるから、図12に示したように、作動流体100は流路13aの右側の作動室13a2から微細流路16b1を介して内圧緩衝室15a内に流れ込み、同内圧緩衝室15aから微細流路16b1を介して流路13aの左側の作動室13a1に流れ込む。即ち、この場合、作動流体100の圧力変化は、微細流路16a1,16b1を介した圧逃げが生じるに十分な程度に緩慢な変化となり、ポンプ室14a,14b、及び流路13aの内圧はほとんど変化しないので、移動体110をほぼ静止させた状態に保つことができる。或いは、時刻t1〜t2における電圧印加時の移動体110の移動量L0に対して、時刻t3〜t4における同移動体110の復帰量L1をその10分の1程度(L1=L0/10)に抑える事ができる。
【0039】
以上の作動を1回乃至複数回実行することにより、移動体110の初期位置を所望の位置とすることができる。また、図10に例示した印加電圧Va,Vbのピーク値Vp,−Vp、同印加電圧Va,Vbをピーク値Vp,−Vpにまで変化させる際の電圧変化速度、同印加電圧Va,Vbをピーク値Vp,−Vpから0Vへ変化させる際の電圧印加速度を選択することにより、移動体110の静止位置を所望の位置に制御することができる。
【0040】
なお、上記の実施形態においては、圧電膜12a,12bに印加する電圧による同圧電膜12a,12bに加わる電界の方向を、正方向(この場合、Z軸正方向)、及び負方向(Z軸負方向)の両方向としているが、圧電膜12a,12bの分極と逆方向の電界は、抗電界を上回ると同分極を解くため、望ましくない場合がある。そこで、予めバイアス電圧を印加した状態を駆動デバイス10の初期状態としておけば、分極と同方向の電界のみで同駆動デバイス10を駆動することができる。即ち、例えば、下部電極の電位を基準電位の0(V)としておき、上部電極にバイアス電圧である25(V)を与え、この状態を初期状態とする。そして、この状態から圧電膜12a,12bの何れか一方の上部電極の電位を50(V)とすれば、その圧電膜には分極方向と同方向の電界が加わるために収縮するので、その下方のダイヤフラム17a,又は17bは下方に屈曲変形し、対応するポンプ室14a,14bの何れかは作動流体100を加圧する。同時に、圧電膜12a,12bの他方の上部電極の電位を0(V)とすれば、同他方の圧電膜12a,12bの収縮が消滅する。従って、その下方のダイヤフラム17a,又は17bは前記初期状態からみて上方に変形することになり、対応するポンプ室14a,14bの何れかは作動流体100を減圧する。
【0041】
次に、上記第1実施形態の駆動デバイスの変形例について、図13を参照して説明する。この変形例に係る駆動デバイス10−1は、図1に示した駆動デバイス10の基体11が一対の微細流路16a1,16b1を備えていたのに対し、基体11−1が微細流路16a1を一つだけ備えている点のみにおいて相違している。これは、移動体110と流路13aとのギャップ(図3に示した隙間S)の断面積が一定値以上確保出来る場合に採用しうる形態であり、このような構造によって微細流路の加工の労力及び時間が半分で済むので、駆動デバイス10−1をより安価に製造することができる。ただし、この変形例では、電圧を印加していない初期状態における移動体110の静止位置を制御することは困難であり、その点においては第1実施形態の駆動デバイス10の方が優れている。
【0042】
なお、上述したギャップ(隙間S)に加えて、例えば、流路13aの断面図である図14に示したように、流路13aの内面に微細な溝Mを形成し、作動流体100の圧力変化が緩慢である限り同溝Mの中へ作動流体100は侵入・流動できるが、移動体110の表面は侵入できないように構成しても良い。なお、この溝Mは、本発明の他の実施形態にも適用でき、その個数、形状は適宜選択することができる。
【0043】
更に、上記駆動デバイス10,10−1(及び、後述する他の実施形態の駆動デバイス)の圧電膜12a,12b、ダイヤフラム17a,17b、及びポンプ室14a,14bには、例えば特開平10−78549号公報に開示されている表示装置用の圧電/電歪膜型アクチュエータを適用することができる。このアクチュエータは、小型で、且つ大きな加圧力を得ることができるので、本発明の駆動デバイスにとって好適である。また、図4乃至図6により説明した駆動を行う場合には、圧電膜12a,12b用の圧電材料として抗電界の大きな材料を選択することが重要である。これは、圧電膜12a,12bの分極方向に対して逆方向の電圧が印加される状態が発生するからであり、抗電界が小さいと分極方向と逆向きの印加電圧により、分極が乱される惧れがあるからである。
【0044】
また、環境温度の変化による作動流体100の熱膨張収縮量を低く抑える為には、ポンプ室14a,14bの体積を必要最小限に小さく抑えることが望ましく、そのためには、上記圧電/電歪膜型アクチュエータの製造工程で用いるダイヤフラム基板の製造方法において、特開平9−229013号公報に開示されている方法を用いることが好適である。この開示された方法によれは、ポンプ室14a,14bの深さを最小5〜10μm程度まで小さくすることが出来るからである。
【0045】
次に、本発明の第2実施形態に係る駆動デバイス20について、その製造方法を交えて具体的に説明する。図15は係る駆動デバイス20の縦断面図であり、図16は同駆動デバイス20の平面図である。なお、図15は図16の3−3線に沿った平面にて駆動デバイス20を切断した断面を示している。また、以下において、各実施形態間で同一の構成部分には同一の符号を付し、その詳細説明を省略する。
【0046】
この駆動デバイス20は、上面に流路13aが露呈するように形成されてなる基体21と、基体21の上に形成されたセラミックス薄板体の接続板(連通基板)22と、接続板22の上部に配設された一対のセラミックポンプ23a,23bとを備えている。
【0047】
接続板22は、X軸方向に離間した位置に中空円柱状に形成された左右一対の流路連通孔22a,22bを備えている。流路連通孔22a,22bの各底面は流路13aのX軸方向両端部にてそれぞれ同流路13aと接続している。
【0048】
セラミックポンプ23a,23bは、セラミックスからなる薄板体で、平面視で略正方形状のポンプ室構成部24a,24bと、同ポンプ室構成部24a,24bの各上面に固定された圧電膜25a,25bとをそれぞれ備えている。各ポンプ室構成部24a,24bは、第1実施形態の駆動デバイス10のポンプ室14a,14bと同様な形状を有するポンプ室24a1,24b1と、その上に形成される薄板状のダイヤフラム26a,26bと、ポンプ室24a1,24b1の各底面の一部を前記流路連通孔22a,22bの各上面にそれぞれ連通する中空円筒状のポンプ室連通孔24a2,24b2とを備えている。ポンプ室24a1,24b1、及びポンプ室連通孔24a2,24b2は、流路連通孔22a,22b、及び流路13a等と同様に、作動流体100により満たされている。
【0049】
このセラミックポンプ23a,23bは、先に引用した特開平10−78549号公報のほかに、特開平7−214779号公報に開示される方法や構成を用いて製造される圧電/電歪膜型アクチュエータであり、流路基板である基体21、及び接続板22の上に積層して形成されている。
【0050】
駆動デバイス20の移動体110を駆動(移動)するための作動は駆動デバイス10と同様である。また、ポンプ室24a1,24b1、ポンプ室連通孔24a2,24b2、流路連通孔22a,22b、及び流路13a内に充填されている作動流体100の熱膨張収縮に伴う内圧変化の吸収における作動についても、先の駆動デバイス10と同様である。
【0051】
次に、駆動デバイス20の製造方法について説明する。先ず、圧電/電歪膜型アクチュエータであるセラミックポンプ23a,23bの製造工程について述べると、図17に示したように、セラミックス製のグリーンシート201、202、203を準備する。次いで、グリーンシート202にはポンプ室24a1(24b1)を形成するための窓部202aを、グリーンシート203にはポンプ室24a1(24b1)と流路13aとを流路連通孔22a(22b)を介して流体的に接続するための前記ポンプ室連通孔24a2(24b2)となる孔部203aを、各々、打ち抜き等の機械加工により形成する。
【0052】
次に、グリーンシート201、202、203を加圧加熱積層し、焼成することで一体化してダイヤフラム基板204を得る。次いでその基板204の上に、下部電極205と、特開平5−267742号公報に開示されているような補助電極206とを、各々高融点金属で、例えばスクリーン印刷等の厚膜形成手法で形成し、必要に応じて焼成等の熱処理を施す。その上へ、同じく厚膜形成手法で圧電膜207を形成した後、最後に上部電極208を形成する。なお上部電極208に関しては、厚膜手法の他、スパッタ等の薄膜形成手法も適宜選択可能である。以上により、セラミックポンプ23a,23bに相当する部分が製造される。
【0053】
図18は、上記セラミックポンプ23a,23bに相当する部分を製造する別の製造方法を示している。この方法では、ダイヤフラム基板の製造工程において、上記グリーンシート202の代わりに、グリーンシート203の上面にスペーサー層202bを前記ポンプ室24a1(24b1)を形成するための窓部202aを有するようにスクリーン印刷で形成する。他は、上記図17により説明した製造方法と同様である。なお、本製造方法の詳細は特開平9−229013号公報に開示される技術が好適に使用可能であり、これにより、ポンプ室24a1(24b1)の深さ(組み立て状態における中空円筒のZ軸方向高さ)を10μm程度にまで小さくできるので、容積の小さいポンプ室24a1(24b1)を有するダイヤフラム基板(即ち、セラミックポンプ23a,23b)を得ることができる。
【0054】
次に、図19を参照しながら、基体(流路基板)21の製造方法について説明する。先ず、プラスチック、ガラス、金属、及びセラミックス等の中から適当な材料を選択して基板211、212、213を製作し、各々に流路13a、微細流路16a1,16b1、及び内圧緩衝室15aを形成する。また、基板213には、同基板213に形成される内圧緩衝室15aの下面から同基板213の下面まで貫通する作動流体注入孔213aを形成する。かかる基板211〜213に対する流路等の形成を行うための加工は、打ち抜き、エッチング、レーザー加工、コインニング、及びサンドブラスト等の中から適当な加工方法を選択する。次いで、このようにして得られた基板211〜213をエポキシ樹脂等で積層接着することで、基体21を製造する。
【0055】
なお、上記基板211〜213の材料としては、圧電/電歪膜型アクチュエータであるセラミックポンプ23a,23bと熱膨張率が極力一致するように、例えば、膨張率の近いガラス、又はセラミック基板が好適である。また、流路13aの加工、及び深さ200ミクロンの内圧緩衝室15aを形成する凹部加工には、エッチング、又はコインニングを用いることが好適である。或いは、流路13、又は内圧緩衝室15aに相当する窓部を打抜き加工したプレートと、閉塞用プレートとを接合することで、流路13a、又は内圧緩衝室15aを形成した基板211,213を得ることもできる。一方、高アスペクト比加工が必要な微細流路16a1,16b1の加工は、レーザー加工によるか、又はセラミックスのグリーンシートに高アスペクト比の孔を打ち抜き加工した後に焼成するといった手法が好適である。
【0056】
一方、図20に示したように、基板211と同様にして、接続板22となる接続基板214に一対の流路連通孔22a,22bを形成しておき、最後に、セラミックポンプ23a,23b(圧電/電歪膜型アクチュエータ)と、接続基板214、及び基体21を接着、圧接、拡散接合等の結合手段で積層一体化する。
【0057】
このとき、流路13aの所定の位置へ移動体110を収納する。移動体110が液胞(液体の塊)である場合、作動流体100は同液胞に対して非溶性の材料を選択し、移動体110をディスペンサー等を用いて流路13a内の所定の位置へ収納する。移動体が気泡の場合は、別途気体注入用の注入孔を流路13aから分岐して設置し、そこから同気泡と作動流体100を注入し、その後注入孔を封止する。
【0058】
そして、得られた積層体を真空チャンバー等で真空下に置き、注入孔213aからディスペンサー等の計量手段で作動流体100を所定量、内圧緩衝室15aへ注入する。なお注入時には、事前に作動流体100を真空脱気して溶存気体を除去しておくことが望ましい。注入した作動流体100が微細流路16a1,16b1を介して流路13aおよびポンプ室24a1,24b1等に充填されるよう、不活性ガス、作動流体100の蒸気、又はそれらの混合ガス等の圧縮性流体である封止ガス120によって流路内の気圧を所定の気圧まで加圧し、最後に注入孔213aを接着剤等で封止して、本発明の駆動デバイス20を得る。
【0059】
なお、内圧緩衝室15aの深さ(Z軸方向高さ)は、ポンプ室24a1,24b1、及び流路13aの各深さより深くしておくことが望ましい。これにより、形成される作動流体100が液体である場合に、内圧緩衝室15a内での液体の気液界面の曲率が上記充填中のポンプ室24a1,24b1内、及び流路13a内で形成される気液界面の曲率よりも大きくできるので、充填がよりスムーズに行い易くなる。
【0060】
次に、本発明の第3実施形態に係る駆動デバイス30について説明する。図21に縦断面が示されたこの駆動デバイス30は、図15に示した上記第2実施形態の駆動デバイス20において2つに分かれていたセラミックポンプ(圧電/電歪膜型アクチュエータ)23a,23bのポンプ室構成部24a,24bを一体化してなるポンプ室構成部24cを備え、且つ、駆動デバイス20が備える接続板22を省略している点においてのみ、駆動デバイス20と相違している。この駆動デバイス30によれば、接着箇所、及び部品点数が減るので、製造コストを低減し得るという効果がある。ただし、図15に示した駆動デバイス20においては、接続板22の材質を透明なガラス、又は電極を兼用できる金属板材とすることも可能であったが、図21に示した駆動デバイス30においては、接続板22が存在せず、従って、ポンプ室構成部24cの材質は圧電/電歪膜型アクチュエータのセラミック基板材質に限定される。
【0061】
次に、本発明の第4実施形態に係る駆動デバイス40について説明する。図22に縦断面が示されたこの駆動デバイス40においては、基体41が図15に示した上記第2実施形態の駆動デバイス20の微細流路16a1,16b1の代替として多孔質体16cを備え、同多孔質体16cを介して流路13aと内圧緩衝室15aとを接続している。多孔質体16cを備えることは、いわば極度に微細化した多数の微細流路16a1,16b1を形成することと同じ効果を奏する。多孔質体16cは、組み立て性とシール性を向上するために、図22に示したように、テーパー、又は段差を側面に備える形状とすることが好ましい。
【0062】
次に、本発明の第5実施形態に係る駆動デバイス50について説明する。図23は係る駆動デバイス50の縦断面図であり、図24は同駆動デバイス50の平面図である。なお、図23は図24の4−4線に沿った平面にて駆動デバイス50を切断した断面を示している。この駆動デバイス50は、図21に示した駆動デバイス30が備えるセラミックポンプ23bの圧電膜25bに代え、一対の圧電膜25c1,25c2を有するセラミックポンプ23cを備えている。これらの圧電膜25c1,25c2の分極方向は、圧電膜25aと同様に、Z軸正方向となっている。
【0063】
この圧電膜25c1,25c2は、平面視でY軸方向に長軸を有する長円形状を有し、同長軸が互いに平行になるようにX軸方向に所定の距離を隔ててセラミックスの薄板体であるダイヤフラム26bの上に固定されている。このダイヤフラム26bの下方に形成されたポンプ室27は、圧電膜25c1,25c2と同様に、平面視でY軸方向に長軸を有する長円形状を有している。そして、圧電膜25c1,25c2の各々は、平面視でポンプ室27を挟むように、且つ同圧電膜25c1,25c2の半分程度の部分が、平面視でポンプ室27とそれぞれ重なるように配設されている。
【0064】
次に、このように構成された駆動デバイス50の作動について説明する。この駆動デバイス50においては、図25に示したように、圧電膜25c1,25c2と、圧電膜25aとに同じ極性で電圧印加する。即ち、上部電極にプラス、下部電極にマイナスの極性の電圧であって、その電圧変化速度が大きい駆動電圧を印加する。これにより、ダイヤフラム26aは圧電膜25aの収縮により下方へ屈曲変形する。一方、ダイヤフラム26bにあっては、圧電膜25c1,25c2が収縮するため、その中央部が上方に変位する。これにより、作動流体100はポンプ室24a1内で加圧され、ポンプ室27内で減圧されるので、移動体110はポンプ室24a1からポンプ室27に向けて(X軸正方向に)移動する。
【0065】
このような作動を行う圧電/電歪膜型アクチュエータ(セラミックポンプ)は、特開平7−202284号公報に開示されているものを用いることができる。この第5実施形態(駆動デバイス50)では、第1〜第4実施形態と異なり、圧電膜25c1,25c2,25aへの印加電圧の極性は常に一定となることから、常に各圧電膜25c1,25c2,25aの分極電界と同じ極性で、同圧電膜25c1,25c2,25aを駆動することができる。このため、圧電膜25c1,25c2,25aに抗電界の低い材料を使用することが可能である。さらに、一対のポンプのうちの一つは加圧のみが可能、又は加減圧の双方が可能であって、他方のポンプは減圧のみが可能であるように駆動デバイスを構成し、そのように作動させた場合であっても、要求される機能・性能を十分満足できる場合がある。しかし、第1〜第4実施形態の駆動デバイス10,20,30,40におけるポンプ構造によると、電歪材料の膜は、前記減圧のみが可能なポンプの圧電膜としては、予めバイアス電圧を付与しておく等の駆動上の工夫なしには使用することができない。これは、電歪材料が、付与される電界と垂直な方向に収縮するものの、電界の向きに拘らず膨張することがないからであり、従って、ダイヤフラムを上方に屈曲変位できないからである。これに対し、本第5実施形態に係る駆動デバイス50のポンプ23cの圧電膜25c1,25c2は、収縮作用によりダイヤフラム26bを上方に屈曲変位させ、ポンプ室27内を減圧することができるので、電歪材料の膜を圧電膜25c1,25c2として、そのまま使用することができる。
【0066】
なお、図26に示したように、個々のデバイスの性能に応じ、適切な形状のポンプ室を備えた上記ポンプ23cと同様なポンプ23dを、必要な個数だけ設置しても良い。また、この場合、各ポンプを独立に駆動できるように構成することで、例えば、駆動するポンプ数を適宜変更して移動体110に加わる差圧を調整し、もって、同移動体110の移動量、及び/又は移動速度を制御するように構成してもよい。
【0067】
次に、上記第1〜第5実施形態に示した回路切換えスイッチ(駆動デバイス)の応用例について説明する。図27に示した回路切換えスイッチ60は、上記駆動デバイス10を含むとともに、白金、金、ニッケル等からなる共通電極61と、同じく白金、金、ニッケル等からなる一対の切換え用電極62a,62bとを備えている。
【0068】
共通電極61は、流路13aを構成する壁面のうちの一つの壁面である下側壁面(Z軸負方向側の壁面)13a1に、微細流路16a1と微細流路16b1との間の位置において同流路13aに露呈するように形成されていて、図示しない接続線(端子電極)によりその電位が切換えスイッチ60の外部に取り出され、同切換えスイッチ60の外部にて他の電気部品と電気的に接続されるようになっている。
【0069】
切換え用電極62a,62bは、互いに同一の形状を有するとともに、流路13aを構成する壁面のうちの他の一つの壁面である上側壁面(Z軸正方向側の壁面)13a2に、同流路13aに露呈し、X軸方向に互いに距離を隔て、前記共通電極61と対向するように形成されている。切換え用電極62a,62bは、互いに電気的に絶縁されていて、図示しない接続線(端子電極)により各電位が切換えスイッチ60の外部に取り出され、同切換えスイッチ60の外部にて他の電気部品と電気的に接続されるようになっている。なお、以下においては、切換え用電極62aを第1切換え用電極62a、切換え用電極62bを第2切換え用電極62bと云う。
【0070】
移動体110は、水銀やGa系合金等からなる導電性の液体金属であり、側面視において第1切換え用電極62a(又は、第2切換え用電極62b)と略同一の大きさを有していて、共通電極61に常に接触しながら流路13a内を移動するとともに、第1切換え用電極62a又は第2切換え用電極62bと選択的に接触するようになっている。
【0071】
次に、かかる切換えスイッチ60の作動について説明すると、図27に示したように、圧電膜12a,12bの何れの電極にも駆動のための電圧が印加されていない初期状態において、移動体110は第1切換え用電極62aと共通電極61とに接触し、且つ第2切換え用電極62bとは接触しない。これにより、第1切換え用電極62aと共通電極61とが電気的に接続される。なお、このような初期状態における移動体110の位置は、図9〜図12を参照して説明した方法により調整される。
【0072】
一方、駆動時においては、図28に示したように、図示しない制御回路により、圧電膜12aの上部電極にプラス、その下部電極にマイナスの極性の電圧が印加されるとともに、圧電膜12bの上部電極にマイナス、その下部電極にプラスの極性の電圧が印加される。この駆動電圧によりポンプ室14a,14bが作動し、それにより発生される作動流体100の圧力差により、移動体110は作動室13a1(ポンプ室14a)から作動室13a2(ポンプ室14b)へ向け(即ち、X軸正方向に)第2切換え用電極62bと接触する位置まで移動し、同第2切換え用電極62bと共通電極61とを電気的に接続する。
【0073】
また、制御回路は、この状態から、圧電膜12a,12bの各電極に印加していた駆動電圧を消滅させる。この結果、ポンプ室14a,14bは初期状態に復帰するため、移動体110は、この復帰時に発生される作動流体100の圧力差によって作動室13a2から作動室13a1へ向けて(即ち、X軸負方向に)第1切換え用電極62aと接触する位置まで移動し、同第1切換え用電極62aと共通電極61とを再び電気的に接続する。
【0074】
このように、切換えスイッチ61は、移動体110を移動させることにより、第1切換え用電極62a、及び第2切換え用電極62bを共通電極61と選択的に導通可能に接続する。移動体110は、第1切換え用電極62a、及び第2切換え用電極62bのそれぞれと濡れ性が良好であり、第1切換え用電極62a、及び第2切換え用電極62bが設けられていない流路13aの壁面とは濡れ性が良好でないから、初期状態、及び駆動時において第1切換え用電極62a、及び第2切換え用電極62bと確実に接触した状態を維持する。
【0075】
次に、上記回路切換えスイッチ60の具体的適用例について、図29を参照しながら説明する。図29に示したシステムは、上記切換えスイッチ60と同様な回路切換えスイッチを二つ備え、これらのスイッチを、無線通信可能に構成されたPDA(Personal Digital Assistant)と称呼される携帯情報端末のダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ、及び送信/受信切換え用スイッチとして使用している。
【0076】
具体的に説明すると、このシステムは、メインアンテナ301、ダイバーシティ・アンテナ302、切換えスイッチ60と同一構造を有するダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303、切換えスイッチ60と同一構造を有する送信/受信切換え用スイッチ304、パワーアンプ305、RF−IFコンバータ306、IFモデム307、ベースバンド・プロセッサ308を含んで構成されている。
【0077】
メインアンテナ301、及びダイバーシティ・アンテナ302は、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303の第1切換え用電極303a、及び第2切換え用電極303bと、それぞれ電気的に接続されている。また、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303の共通電極303cは、送信/受信切換え用スイッチ304の共通電極304cに電気的に接続されている。送信/受信切換え用スイッチ304の第1切換え用電極304aは、RF−IFコンバータ(無線周波−中間周波変換器)306に電気的に接続され、第2切換え用電極304bはパワーアンプ305に電気的に接続されている。ベースバンド・プロセッサ308は、IFモデム307を介してRF−IFコンバータ306に電気的に接続されるとともに、パワーアンプ305に電気的に接続されている。パワーアンプ305は、RF−IFコンバータ306にも接続されている。また、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303、及び送信/受信切換え用スイッチ304の各圧電膜の上部電極、及び下部電極は図示を省略した制御回路に接続されている。
【0078】
次に、このシステムの作動について説明すると、同システムが外部からの電波の受信を待っている「受信待ち受け状態」にある場合、制御回路はダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303の各圧電膜の上部電極及び下部電極に何らの駆動電圧も付与しない。この結果、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303は初期状態を維持し、その移動体303dは図29に示した位置に留まって、第1切換え用電極303aと共通電極303cとの接続状態を維持する。
【0079】
また、制御回路は、受信待ち受け状態において、送信/受信切換え用スイッチ304の各圧電膜の上部電極及び下部電極に何らの駆動電圧も付与しない。この結果、送信/受信切換え用スイッチ304は初期状態を維持し、その移動体304dは図29に示した位置に留まって、第1切換え用電極304aと共通電極304cとの接続状態を維持する。
【0080】
このように、本システムにおいては、受信待ち受け状態にある場合、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303、及び送信/受信切換え用スイッチ304により電力が一切消費されることなく、メインアンテナ301とRF−IFコンバータ306とが電気的に接続される。
【0081】
受信時においては、制御回路はメインアンテナ301、及びダイバーシティ・アンテナ302の中から受信に適切なアンテナ(例えば、受信電波強度が大きいアンテナ)が何れであるかを決定し、決定されたアンテナがメインアンテナ301である場合、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303の各圧電膜の上部電極及び下部電極に何らの駆動電圧も付与しない。この結果、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303は初期状態を維持し、その移動体303dは図29に示した位置に留まって第1切換え用電極303aと共通電極303cとの接続状態を維持する。
【0082】
他方、制御回路は、決定されたアンテナがダイバーシティ・アンテナ302である場合、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303の各圧電膜の上部電極及び下部電極に駆動電圧を付与する。この結果、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303の移動体303dは図29において右方向に移動し、第2切換え用電極303bと共通電極303cとを電気的に接続する。これにより、ダイバーシティ・アンテナ304がRF−IFコンバータ306、又はパワーアンプ305に電気的に接続され得る状態となる。また、制御回路は、必要に応じて送信/受信切換え用スイッチ304の各圧電膜の上部電極及び下部電極に駆動電圧を付与し、これにより、移動体304dを図29において左方に移動させ、同移動体304dと第2切換え用電極304bとを介して共通電極304cとパワーアンプ305とを接続する。この結果、受信信号の信号増幅が適宜行われる。なお、受信時には、常に送信/受信切換え用スイッチ304の各圧電膜の上部電極及び下部電極に駆動電圧を付与しないようにしておき、同スイッチ304を初期状態に維持していてもよい。
【0083】
更に、上述した受信待ち受け状態においても、上記受信時のように適切なアンテナを選択するように構成してもよい。このように構成された場合であっても、少なくともメインアンテナ301が適切なアンテナであると決定(選択)されている場合、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303により電力が消費されることなく、受信待ち受け状態が維持される。
【0084】
送信時においては、制御回路はダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303の各圧電膜の上部電極及び下部電極に何らの駆動電圧も付与せず、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303によりメインアンテナ301を送信用アンテナとして選択する。また、制御回路は、送信/受信切換え用スイッチ304の各圧電膜の上部電極及び下部電極に駆動電圧を付与し、これにより、移動体304dと第2切換え用電極304bとを介して共通電極304cとパワーアンプ305とを接続する。この結果、パワーアンプ305により増幅された送信信号がメインアンテナ301から発信される。もちろん、送信時においても、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303の各圧電膜の上部電極及び下部電極に駆動電圧も付与し、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303によりダイバーシティ・アンテナ302を適宜に選択してもよい。
【0085】
次に、駆動デバイス20と同様の駆動デバイス20’を含んでなる本発明による回路切換えスイッチ70について、図30を参照しながら説明する。この切換えスイッチ70は、駆動デバイス20’に、切換えスイッチ60と同様な共通電極71と、第1切換え用電極72aと、第2切換え用電極72bとを設けたものである。切換えスイッチ70の作動は、切換えスイッチ60の作動と同様である。
【0086】
この切換えスイッチ70の製造方法について説明すると、圧電/電歪膜型アクチュエータであるセラミックポンプ23a,23bは図17、又は図18に示した方法により製造される。基体21’は、図31に示した製造方法により製造される。図31に示した製造方法は、図19に示した製造方法に対し、基板211、基板212に相当する基板212’、及び基板213に相当する基板213’を積層して接着する前に、基板212’の上面に共通電極71の電位を取り出すための端子電極71a、第1切換え用電極72aの電位を取り出すための端子電極72a1、及び第2切換え用電極72bの電位を取り出すための端子電極72b1を、例えばスクリーン印刷等の厚膜形成手法で形成しておく点のみにおいて異なる。
【0087】
次いで、図32に示した製造方法により、切換えスイッチ70が製造される。図32に示した製造方法は、図20に示した製造方法に対し、基板214に対応する基板214’の下面に、第1切換え用電極72a、及び第2切換え用電極72bを、例えばスクリーン印刷等の厚膜形成手法で形成する点と、セラミックポンプ23a,23bと、接続基板214’、及び基体21’を接着、圧接、拡散接合等の結合手段で積層一体化する際に、第1切換え用電極72a、及び第2切換え用電極72bを、端子電極72a1、及び端子電極72b1とそれぞれ導電性接着剤等を用いて電気的に接続する点とにおいてのみ相違している。このようにして、切換えスイッチ70は製造される。
【0088】
以上、説明したように本発明による駆動デバイスは、移動体110を液体金属の液滴とし、かつ流路13aの壁面に、外部と導線で接続した複数の電極62a,62b等を設置することにより、小型のスイッチ、又は小型のリレーを構成することができる。
【0089】
このようなスイッチとしては、水銀の液滴を動かすことによりスイッチング動作を実現する水銀マイクロリレーであって、水銀液滴を動かす駆動力としてマイクロヒーターの加熱による瞬間的なバブル発生時の圧力を用いるタイプのものが研究されている(例えば、J. Kimら、Proc. 46th Annual Int. Relay Conf, Oak Brook, Il, Apr. 1998,pp.19-1-19-8.を参照。)。このスイッチは、周波数レンジが直流から10GHzまでと広く、GHz帯域での低い挿入損失と高い絶縁抵抗を有し、またシグナルバウンスが無い、といった様々な特徴を有するものとして、報告されている。
【0090】
このスイッチに対し、上記説明した本発明による切換えスイッチは、液体金属の液滴である移動体110の駆動力として圧電/電歪膜型アクチュエータを用いている。その結果、前述のバブル発生時の圧力を用いるタイプの水銀マイクロリレーと比較して、蓄熱がなく低消費電力であるという利点を有する。従って、本発明による切換えスイッチは、上記図29を参照して説明したように、例えば近年高機能化と無線通信対応が進んできたPDAにおいて、受信/発信(送信)兼用のアンテナを切換えるアンテナ切換え用スイッチ、及び発信(送信)回路と受信回路の何れかをアンテナに切換え接続するための回路切換え用スイッチ等として好適に用いる事ができる。
【0091】
本発明による切換えスイッチを上述の用途等に用いた場合、従来の半導体スイッチとは異なり、(a)受発信しない場合に待機電力が不要であり、システム全体の消費電力低減、電池駆動時間の延長が可能、(b)1GHz以上、さらには5GHz以上といった高周波数帯域の送受信信号に対しても劣化が全く無い、といった利点が得られる。また、水銀湿式リードスイッチと比較しても、本発明による切換えスイッチは、使用する際の傾斜角度の制限が無く、かつ駆動部(ポンプ室等の可動部)がセラックスで一体化されているためにはるかに高い長寿命を有するという利点を備える。
【0092】
なお、上述した切換えスイッチ60(70)においては、共通電極61(71)は一体となっているが、図33に示したように、共通電極を第1切換え用電極62a(72a)、及び第2切換え用電極62b(72b)に対応させて分割し(即ち、第1切換え用電極62aに対向する電極61aと、第2切換え用電極62bに対向する電極61bとを設け)、分割した電極61a,61bを駆動スイッチ60(70)の外部において電気的に接続する構成とした方がより好ましい。このようにすれば、電極表面に対して濡れ性の高い水銀等の移動体110が流路13a内を移動する際の抵抗が低くなるからである。
【0093】
以上、説明したように、本発明の各実施形態、及びその変形例によれば、マイクロマシンの小サイズや低消費電力の特徴を保ちつつ、磨耗や固着の問題を内在する機械的増幅機構をもたず、量産し易い駆動デバイス、及び同駆動デバイスを用いた回路切換えスイッチを提供することができた。また、周囲温度が上昇した場合でも、デバイス(スイッチ)の破損が生じないので、信頼性、及び耐久性の高い駆動デバイス(回路切換えスイッチ)を提供することができた。
【0094】
なお、本発明は上記実施形態に限定されることはなく、本発明の範囲内において種々の変形例を採用することができる。例えば、上記回路切換えスイッチにおいては、切換え用電極が2つであったが、同切換え用電極は2つ以上であってもよい。また、切換え用電極、及び共通電極は、流路13aに露呈するとともに互いの絶縁が維持される限り、例えば、切換え用電極と共通電極を対向する側壁面に設けたり、切換え用電極を側壁面に、共通電極を低壁面又は上壁面に設ける等、同流路13aのどのような壁面に設けてもよい。
【0095】
更に、例えば、本発明で開示している各駆動デバイスの基本構成を基に、ダイヤフラムを変形させる圧電/電歪材料膜を、反強誘電体材料膜(反強誘電体膜)に置き換えることができる。さらには、マイクロマシン研究で盛んに研究されている、ギャップを介して対向する電極間に生じる静電力や、通電加熱により形状記憶合金に生じる変形力を、圧電膜の変形力に代えて使用し、これらの力によりダイヤフラムを変形させてもよい。そのような構成においても、上記実施形態のように、上記微細流路16a1,16b1,16cと内圧緩衝室15aとを組み合わせることにより、環境温度の変化による駆動デバイスの破損を防止でき、しかも、駆動電圧(印加電圧)の制御によって初期状態での移動体の位置を制御できる。
【0096】
なお、本発明による駆動デバイスは、例えば、所謂ロッドレスシリンダーを、マイクロマシン化するためのデバイスに用いることができる。ロッドレスシリンダーは、例えば米国特許3,779,401に開示されるように、シリンダー稼動部が完全に密封されていて、密封された空間中で動く稼動部(本願でいう移動体)と磁力により結ばれた作動部が密封空間の外部で往復運動を行い、同可動部の動きを当該ロッドレスシリンダーの系外に及ぼすことができるものである。
【0097】
従って、本発明の移動体110を磁性体で形成し、外部に移動体110と磁力により結ばれた作動部を形成すれば、本発明による駆動デバイスを適用したマイクロ・ロッドレスシリンダーを得ることができる。また、流路13a内に微小な電極(検出電極)を随所に設け、移動体110を導電性の磁性体により形成することにより、移動体110の位置を同電極の「オン(閉成)」又は「オフ(開放)」により検知することが可能となるので、これを利用してマイクロ・ロッドレスシリンダーのストローク位置を制御することもできる。
【0098】
また、本発明による駆動デバイスは、単に機械的な物体移動を目的とするマイクロモーターのような用途のみならず、各種マイクロマシンに見られるような、広範囲な用途に応用可能である。例を挙げると、例えば流路13aを形成する壁面の一部ないし全体に透光性を有する材質を選択し、移動体110を気泡、有色液体、蛍光液体の液胞、又は光反射可能な微小金属体などで構成すれば、光学ディスプレイ素子を得ることもできる。更に、外部から磁気的、光学的、又は電気的手段等により移動体110の位置を検知することにより、本発明による駆動デバイスをメモリー素子として使用することもできる。また、移動体110に振動運動を行わせつつ、その運動にコリオリ力等の外力が及ぼす影響を電気的あるいは光学的等の手段によりセンシングすることで、ジャイロ等のセンサを形成することもできる。
【0099】
なお、本発明による上記駆動デバイス(回路切換えスイッチ)は、流路(13a)を有する基板(11,21,41)に、圧電/電歪膜ないし反強誘電体膜と電極とからなる膜型圧電素子とセラミックダイヤフラムとを有するセラミックポンプ(23a,23b,23c)を有し、当該流路は当該セラミックポンプ間をつなぐ形状で形成されるとともに、移動させるべき気泡ないし液胞あるいは微小固体である移動体(110)と液体(100)とが収納されており、また当該流路には、当該セラミックポンプによって高速に加圧ないし減圧した場合には、流体の出入速度が遅いために加圧ないし減圧に対する低減効果を時間遅れを伴って示す一方、低速加圧ないし低速減圧時には流体が出入することで流路内の圧力変動を実質的にゼロに抑える緩衝効果を示す微細流路(16a1,16b1,16c)と、その他方の端に緩衝空間(15a)を有することを特徴とするものと云うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施形態に係る駆動デバイスの断面図である。
【図2】 図1に示した駆動デバイスの平面図である。
【図3】 図1に示した駆動デバイスを図1の2−2線に沿った平面で切断した断面図である。
【図4】 図1に示した駆動デバイスの初期状態を示した断面図である。
【図5】 図1に示した駆動デバイスの作動状態を示した断面図である。
【図6】 図1に示した駆動デバイスの別の作動状態を示した断面図である。
【図7】 図1に示した駆動デバイスの周囲温度上昇時における作動流体の流れを示した断面図である。
【図8】 図1に示した駆動デバイスの周囲温度下降時における作動流体の流れを示した断面図である。
【図9】 図1に示した駆動デバイスの移動体の位置を微調整する際の作動を説明するための図である。
【図10】 図1に示した駆動デバイスの移動体の位置を微調整するために同駆動デバイスの圧電膜に印加する電圧波形を示したタイムチャートである。
【図11】 図1に示した駆動デバイスの移動体の位置を微調整する際の作動を説明するための図である。
【図12】 図1に示した駆動デバイスの移動体の位置を微調整する際の作動を説明するための図である。
【図13】 図1に示した駆動デバイスの変形例の断面図である。
【図14】 図1に示した駆動デバイスの流路の変形例を示す同流路の断面図である。
【図15】 本発明の第2実施形態に係る駆動デバイスの断面図である。
【図16】 図15に示した駆動デバイスの平面図である。
【図17】 図15に示した駆動デバイスの圧電/電歪アクチュエータの製造工程を説明する概念図である。
【図18】 図15に示した駆動デバイスの圧電/電歪アクチュエータの別の製造工程を説明する概念図である。
【図19】 図15に示した駆動デバイスの製造工程を説明する概念図である。
【図20】 図15に示した駆動デバイスの製造工程を説明する概念図である。
【図21】 本発明の第3実施形態に係る駆動デバイスの断面図である。
【図22】 本発明の第4実施形態に係る駆動デバイスの断面図である。
【図23】 本発明の第5実施形態に係る駆動デバイスの断面図である。
【図24】 図23に示した駆動デバイスの平面図である。
【図25】 図23に示した駆動デバイスの作動状態を示した断面図である。
【図26】 本発明の第5実施形態に係る駆動デバイスの変形例の平面図である。
【図27】 本発明による回路切換えスイッチの一実施形態の初期状態を示した断面図である。
【図28】 図27に示した回路切換えスイッチの駆動状態を示した断面図である。
【図29】 図27に示した回路切換えスイッチを携帯情報端末に適用したシステムのブロックである。
【図30】 本発明による回路切換えスイッチの他の実施形態の初期状態を示した断面図である。
【図31】 図30に示した回路切換えスイッチの製造工程を説明する概念図である。
【図32】 図30に示した回路切換えスイッチの製造工程を説明する概念図である。
【図33】 本発明による回路切換えスイッチの他の実施形態の初期状態を示した断面図である。
【符号の説明】
10,20,30,40,50…駆動デバイス、60,70…回路切換えスイッチ、11,21,21’、41…基体、12a,12b…圧電膜、13…流路構成部、13a…流路、13a1,13a2…作動室、14a,14b…ポンプ室、15…内圧緩衝室構成部、15a…内圧緩衝室、16a,16b…微細流路部、16a1,16b1…微細流路、17a,17b,26a,26b…ダイヤフラム、18a,18b…セラミックポンプ、21…基体、22…接続板、22a,22b…流路連通孔、23a,23b,23c…セラミックポンプ、24a,24b,24c…ポンプ室構成部、24a1,24b1…ポンプ室、24a2,24b2…ポンプ室連通孔、25a,25b…圧電膜、61,71…共通電極、62a,62b,72a,72b…切換え用電極、100…作動流体、110…移動体、120…圧力緩衝用流体(蒸気、圧縮性流体、封止ガス)。
【発明の属する技術分野】
本発明は、作動流体を利用して移動体を移動させる駆動デバイスを用いることにより、電気的経路の切換えを行う回路切換えスイッチに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体製造技術に代表されるような材料の微細加工技術や、電気エネルギーと機械エネルギーを相互に変換しうる圧電材料等を用いて、数ミリから数十ミクロンサイズの微細なマイクロモーター、マイクロセンサー、及びマイクロスイッチ等の開発が進められている。それらの要素デバイスは、例えば、インクジェットプリンタヘッド、マイクロバルブ、フローセンサー、圧力センサー、記録ヘッド、トラッキングサーボ用アクチュエータ、オンチップ生化学分析、マイクロリアクタ、高周波部品、マイクロ磁気デバイス、マイクロリレー、加速度センサー、ジャイロ、駆動デバイス、ディスプレイ、光スキャナ、等々へ幅広く応用さ得る(日経マイクロデバイス誌2000年7月号pp164−165)。
【0003】
これらのマイクロマシンにおいては、駆動力として静電気力が多く使われる。また、圧電材料の電圧印加により生じる歪み変形を利用するもの、形状記憶合金の形状変形を利用するもの、及び液体が加熱によって相変態することにより生じる体積変化を利用するものなど、さまざまなタイプの駆動源が検討されている。ところが、機構を微細化するに従い、駆動源の発生力や駆動ストロークが極めて小さくなり、このため、一部の用途には梃子のような機械的増幅機構を組み合わせることが必要となってきた。
【0004】
ところが、このような機械的増幅機構をマイクロマシンのサイズにまで微細化すると、通常のサイズでは問題とならない摩耗や固着等が大きな問題となる場合がある。また、梃子等の増幅機構(駆動機能)を有するマイクロマシンは、深さ(高さ)を有する立体構造の形成が必須となるので、微細加工に長時間を要したり、微細部品の組み立てに工数がかかるなどの理由により、量産化に適さないという問題を有する場合がある。
【0005】
一方、このようなデバイスのうち、電気的スイッチ(又はリレー)として機能する回路切換えスイッチとしては、水銀の液滴を動かすことによりスイッチング動作を実現する水銀マイクロリレーであって、水銀液滴を動かす駆動力としてマイクロヒーターの加熱による瞬間的なバブル発生時の圧力を用いるタイプのものが研究されている(例えば、J. Kimら、Proc. 46th Annual Int. Relay Conf, Oak Brook, Il, Apr. 1998,pp.19-1-19-8.を参照。)。このスイッチは、周波数レンジが直流から10GHzまでと広く、GHz帯域での低い挿入損失と高い絶縁抵抗を有し、またシグナルバウンスが無い、といった様々な特徴を有するものとして、報告されている。
【0006】
しかしながら、上記のバルブ発生型の水銀マイクロリレーは、加熱動作により蓄熱がなされる点、及び消費電力が大きいという問題を有する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の目的は、作動流体を利用したデバイスであって、マイクロマシンの小サイズや低消費電力の特徴を保ちつつ、磨耗や固着の問題を内在する機械的増幅機構をもたず、量産し易く、且つ、周囲温度の変動に伴う作動流体の漏洩が発生し難い回路切換えスイッチを提供することにある。また、本発明の他の目的は、蓄熱の問題がなく、高速切換え作動が可能な回路切換えスイッチを提供することにある。
【0008】
【本発明の概要】
上記目的を達成するため、本発明の回路切換えスイッチは、非圧縮性の作動流体を収容するとともに同作動流体とは異なる物質からなる移動体を収容し、同移動体により実質的に一対の作動室に区画される流路を構成する流路構成部と、前記一対の作動室のそれぞれに連通するとともに前記作動流体が充填された各ポンプ室と、同各ポンプ室に対して備えられた各アクチュエータと、同各アクチュエータにより変形される各ダイヤフラムとを有し、同各ダイヤフラムの変形により同各ポンプ室内の作動流体を加圧又は減圧する一対のポンプと、前記作動流体と圧縮性の圧力緩衝用流体とを収容する内圧緩衝室を構成する内圧緩衝室構成部と、前記流路構成部の流路と前記内圧緩衝室構成部の内圧緩衝室とを連通するとともに、同流路内の作動流体の急激な圧力変動に対しては実質的に同作動流体の通過を不能とする大きな流路抵抗を示し、且つ、同流路内の作動流体の緩慢な圧力変動に対しては実質的に同作動流体の通過を可能とする小さな流路抵抗を示す微細流路を構成する微細流路部と、を備えてなる。この場合、前記微細流路は、前記流路構成部の流路と前記内圧緩衝室構成部の内圧緩衝室とを直接接続していてもよく、他の部分(例えば、流路とポンプ室とを接続する接続通路、或いは、ポンプ室)を介して前記流路構成部の流路と前記内圧緩衝室構成部の内圧緩衝室とを接続してもよい。また、ポンプは一対以上備えていてもよい。
【0009】
これによれば、アクチュエータによりダイヤフラムが変形せしめられ、流路内の作動流体が加圧、又は減圧せしめられる。このとき、作動流体に急激な圧力変動を生ぜしめれば、微細流路は実質的に同作動流体の通過を不能とする大きな流路抵抗を示すので、同作動流体の圧力変化は流路内の移動体に伝達され、同移動体が移動する。一方、周囲温度の変化に伴う作動流体の熱膨張により、或はアクチュエータを緩慢に作動させること等により、作動流体に緩慢な圧力変動が生じると、微細流路は実質的に同作動流体の通過を可能とする小さな流路抵抗を示すので、同作動流体は同微細流路を介して圧縮性の圧力緩衝用流体を収容する内圧緩衝室に移動する。この結果、流路内の作動流体の圧力上昇が抑制されるので、同作動流体の過大な圧力によるデバイス(スイッチ)の破損、これによる作動流体の漏洩等が回避され得る。
【0010】
この場合、前記アクチュエータは圧電/電歪膜又は反強誘電体膜と電極とからなる膜型圧電素子を含んでなり、前記ダイヤフラムはセラミックダイヤフラムであることが好適である。
【0011】
これによれば、微細加工が一層容易になされ、量産性、及び耐久性に優れた回路切換えスイッチが提供され得る。
【0012】
また、本発明による上記回路切換えスイッチは、前記流路構成部の流路の一部に露呈した第1切換え用電極と、前記流路構成部の流路の他の一部に露呈し前記第1切換え用電極と電気的に絶縁された第2切換え用電極と、これら第1切換え用電極と第2切換え用電極とに前記流路構成部の流路を挟んで対向するように(又は、流路内で移動体により接続されるように)同流路に露呈した電極(共通電極)とを備えるとともに、前記移動体は少なくとも表面が導電性材料からなるように構成されることが好適である。この場合、作動流体は非導電性を有することが必要である。
【0013】
また、上記回路切換えスイッチは、前記流路構成部の流路の一部に露呈した第1切換え用電極と、前記流路構成部の流路の他の一部に露呈し前記第1切換え用電極と電気的に絶縁された第2切換え用電極と、前記第1切換え用電極と前記流路構成部の流路を挟んで対向するように(又は、流路内で移動体により接続されるように)同流路に露呈した電極と、前記第2切換え用電極と前記流路構成部の流路を挟んで対向するように同流路に露呈した電極とを備えるとともに、前記移動体は少なくとも表面が導電性材料からなるように構成されることが好適である。
【0014】
なお、このようなスイッチにおいては、切換え用電極の数は少なくとも2つ以上であればよい。
【0015】
これによれば、移動体の位置が、膜型圧電素子とセラミックからなるダイヤフラムとで構成されるポンプにより、第1切換え用電極と第2切換え用電極との間で移動され、その結果、電気回路(電気経路)が切換えられるので、マイクロヒーターの加熱による蓄熱の問題もなく、消費電力の小さい回路切換えスイッチが提供され得る。また、かかるポンプは高速作動が可能で、耐久性に優れているので、携帯情報端末等に適切な回路切換えスイッチが提供され得る。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明による回路切換えスイッチの駆動デバイス、及び回路切換えスイッチの各実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本発明は、これらの実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々の変更、修正、改良を加え得るものである。
【0017】
図1は、本発明による第1実施形態に係る駆動デバイス10の縦断面図であり、図2は同駆動デバイス10の平面図である。なお、図1は図2の1−1線に沿った平面にて同駆動デバイス10を切断した断面図である。
【0018】
この駆動デバイス10は、互いに直交するX軸、Y軸、及びZ軸方向に沿って延びる各辺を有する略直方体形状のセラミックスからなる基体11と、一対の圧電膜(圧電/電歪素子)12a,12bとを備えている。基体11は、その内部に、流路構成部13と、一対のポンプ室14a,14bと、内圧緩衝室構成部15と、一対の微細流路部16a,16bとを含んでいる。
【0019】
流路構成部13は、X軸方向に長軸を有し、図1の2−2線に沿った平面(Y−Z平面に平行な平面)で基体11を切断した断面図である図3に示したように、その断面が略長方形の流路13aを構成する部分である。流路13aの具体的な寸法を例示すると、前記略長方形断面の巾(Y軸方向の長さ)Wは100μm、深さ(Z軸方向の長さ、即ち高さ)Hは50μm、及び、長手方向の長さ(X軸方向の長さ)Lは1mmである。流路13a内には非圧縮性の作動流体(例えば、水、油等の液体)100と、例えば、磁性材料、ガリウム合金の如き液体金属、水、油、不活性ガス等の前記作動流体100とは異なる物質からなる移動体110とが収容されていて、同流路13aは、移動体110により実質的に一対の作動室13a1,13a2に区画されるようになっている。移動体110は、流路13a内において一つの塊(液塊(液胞)、気泡、又は微小固体)の状態で存在し、図3に示したように、流路13aの前記断面である長方形の4つの角部に前記作動流体100が通過し得る極めて小さな隙間Sを形成する。
【0020】
ポンプ室14aは、作動流体100が充填されたZ軸方向に中心軸を有する円筒形を有する空間であって、その下面の一部が流路13aのX軸負方向端部に連通するように同流路13aの上方に形成された空間である。ポンプ室14aの具体的な寸法を例示すると、前記円筒の底面及び上面の半径Rは0.5mmであり、深さ(高さ)hは10μmである。ポンプ室14aの上面には、厚さ(高さ)dが10μmのセラミックからなるダイヤフラム(ダイヤフラム部)17aが形成されている。
【0021】
ポンプ室14bは、ポンプ室14aと同一形状を有し、その下面の一部が流路13aのX軸正方向端部に連通するように同流路13aの上方に形成されていて、作動流体100が充填されている。また、ポンプ室14bの上面には、ダイヤフラム17aと同形のセラミックからなるダイヤフラム17bが形成されている。
【0022】
圧電膜12aは、前記ポンプ室14a、及びダイヤフラム17aとともにセラミックポンプ18aを形成するものであって、厚さDが20ミクロンで、平面視における半径rがポンプ室の半径Rよりも僅かに小さい円形薄板形状を有している。この圧電膜12aは、前記ポンプ室14aの上方の位置にて、その円形底面の中心が平面視においてポンプ室14aの上面の中心と一致するように、同ダイヤフラム17aの上面に固定され、同圧電膜12aを挟むように形成された図示しない一対の電極に電圧が印加されたとき同ダイヤフラム17aを変形させることによりポンプ室14aの容積を増減し、ポンプ室14a内部の作動流体100を加減圧するようになっている。なお、圧電膜12aの分極方向はZ軸正方向である。
【0023】
圧電膜12bは、圧電膜12aと同一のものであって、前記ポンプ室14b、及びダイヤフラム17bとともにセラミックポンプ18bを形成している。即ち、圧電膜12bは、前記ポンプ室14bの上方の位置においてダイヤフラム17bの上面に固定され、図示しない電極に電圧が印加されたとき同ダイヤフラム17bを変形させることによりポンプ室14bの容積を増減し、ポンプ室14b内部の作動流体100を加減圧するようになっている。なお、圧電膜12bの分極方向もZ軸正方向である。
【0024】
内圧緩衝室構成部15は、平面視でX軸方向に沿った長軸を有する略楕円形状を有し、そのX軸方向長さは流路13aの長さLよりも長く、その短軸であるY軸方向の長さは流路13aの巾Wより長く、且つ、図3に示したように、その断面が略長方形の空間である内圧緩衝室15aを構成する部分である。内圧緩衝室15aは、流路13aの下方(Z軸負方向)の基体11内に、その長軸が流路13aの中心軸と平面視において一致するように形成されていて、内部のX軸方向略中央部には前記作動流体100が満たされるとともに、周辺部には圧縮性の(作動流体100よりも圧縮率が極めて低い)圧力緩衝用流体(以下、「圧縮性流体」とも称呼する。)120が満たされている。なお、本例においては、圧縮性流体120は作動流体100の蒸気であるが、この蒸気に所定量の不活性ガスを混合しても良く、同蒸気を含まない気体等であってもよい。
【0025】
微細流路部16aは、流路13aの左側の作動室13a1と内圧緩衝室15aとを連通するZ軸方向に伸びる中空円筒状の微細流路16a1を構成する部分であって、同微細流路16a1内にも作動流体100が満たされている。微細流路16a1の具体的な寸法を例示すると、前記円筒の半径は15μmで、Z軸方向の長さ(円筒の高さ)は100μmである。この微細流路16a1の形状は、流路13aに比較して流体抵抗が大きくなるような形状が選択されている。即ち、微細流路16a1は、流路13a内の作動流体100の急激な圧力変動に対しては実質的に同作動流体100の内圧緩衝室15aへの通過(移動)を不能とする大きな流路抵抗を示し、且つ、同流路13a内の作動流体100の緩慢な圧力変動に対しては実質的に同作動流体100が同内圧緩衝室15a内に通過(移動)できる(流入し得る)小さな流路抵抗を示す所謂絞り機能を備えている。
【0026】
微細流路部16bは、微細流路16a1と同一形状の微細流路16b1を形成する部分であって、同微細流路16b1は流路13aの右側の作動室13a2と内圧緩衝室15aとを連通するとともに、作動流体100が満たされている。この微細流路16b1も、微細流路16a1と同様な絞り機能を備えている。
【0027】
以上、説明したように、流路13a内部、一対のポンプ室14a,14b内部、一対の微細流路16a1,16b1内部、及び同一対の微細流路16a1,16b1で流路13aに連通された内圧緩衝室15aの一部には、作動流体100が連続的に満たされている。また内圧緩衝室15aの作動流体100で満たされていない空間は、同作動流体100の蒸気120によって満たされている。
【0028】
次に、上記のように構成された駆動デバイス10の作動について、各作動状態を示した図4〜図7を参照しながら説明する。図4は、圧電膜12a,12bの何れの電極にも駆動のための電圧が印加されていない駆動デバイス10の初期状態を示している。この場合、両ポンプ室14a,14bは初期の容積を維持するから、両ポンプ室14a,14b、及び流路13aに充填されている作動流体100は加圧も減圧もされない。この結果、流路13a内に収納された移動体110は初期位置(流路13aのX軸方向略中央部)で静止している。
【0029】
駆動時においては、図5に示したように、ポンプ室14aのダイヤフラム17a上に設置された圧電膜12aに対し、上部電極にプラス、下部電極にマイナスの極性の電圧を印加すると同時に、ポンプ室14bのダイヤフラム17b上に設置された圧電膜12bに対しては、逆に、上部電極にマイナス、下部電極にプラスの極性の電圧を印加する。
【0030】
これにより、圧電膜12aは横方向に(即ち、X−Y平面に略平行な面内にて、即ち、圧電膜12aの厚さD方向と垂直な方向に)収縮するため、ポンプ室14a上のダイヤフラム17aが下方へ屈曲変形して同ポンプ室14aの容積を減少させる。この結果、ポンプ室14a内の作動流体100が加圧されてその圧力が増大し、同作動流体100が流路13aの作動室13a1内へ押し出される。同時に、圧電膜12bは横方向へ(即ち、X−Y平面に略平行な面内にて)膨張するため、ダイヤフラム17bは上方へ屈曲変形してポンプ室14bの容積を増大させる。この結果、ポンプ室14b内の作動流体100の圧力が減圧されてその圧力が低下し、作動流体100が流路13aの作動室13a2から吸引される。従って、かかる両ポンプ室14a,14b間の圧力差により、流路13aに収納された移動体110は、作動室13a1(ポンプ室14a)から作動室13a2(ポンプ室14b)へ向けて(即ち、X軸正方向に)移動する。
【0031】
また、図6に示したように、圧電膜12aに対し、上部電極にマイナス、下部電極にプラスの極性の電圧を印加すると同時に、圧電膜12bに対し、上部電極にプラス、下部電極にマイナスの極性の電圧を印加すると、ポンプ室14b内の作動流体100は加圧され、ポンプ室14a内の作動流体100は減圧される。移動体110は、この差圧によって作動室13a2(ポンプ室14b)から作動室13a1(ポンプ室14a)へ向けて(即ち、X軸負方向に)移動する。
【0032】
このような通常の駆動時においては、圧電膜12a,12bに印加する電圧を高速に変化させる(印加電圧の増減速度を大きくする)ことにより、ポンプ室14a,14bの加圧ならびに減圧を高速に行う。その結果、微細流路16a1,16b1の流路抵抗は十分大きくなり、同流路16a1,16b1内外に流路13a内の作動流体100が出入りすることがないので、流路13aの作動室13a1と作動室13a2との間に発生した圧力差は低下することなく(所謂、圧逃げが殆ど生ぜず)確実に移動体110に作用する。従って、移動体110は確実に移動する。
【0033】
一方、駆動デバイスの環境温度が上昇して作動流体100が熱膨張した場合、微細流路16a1,16b1と内圧緩衝室15aとを備えていないデバイスにあっては、作動流体100の圧力が過大となり、ポンプ室14a,14bの容積が増大してダイヤフラム17a,17bを押し上げて破損させたり、基体11がセラミックスシートの接着組み立て体として構成されている場合には、その接着部(のシール)を破損させ、作動流体100が漏れるという問題が発生する惧れがある。
【0034】
これに対し、本発明の駆動デバイス10は、微細流路16a1,16b1と内圧緩衝室15aを有し、しかも、作動流体100の温度上昇は緩慢に生じるので、同作動流体100の圧力も緩慢に上昇する。従って、図7の矢印にて示したように、作動流体100の温度上昇に伴う膨張分は、かかる緩慢な作動流体100の圧力上昇に対して極めて低い流路抵抗を示す微細流路16a1,16b1を介して内圧緩衝室15aへ流出する。内圧緩衝室15a内では、作動流体100の蒸気120が圧縮され圧力上昇が生じるものの、気体の圧縮率は液体の圧縮率より低いため、作動流体100の圧力上昇は軽微である。従って、ポンプ室14a,14bの上面のダイヤフラム17a,17bが押し上げられて破損したり、接着組み立て部のシールが破損して作動流体100の液漏れが発生するという事態が生じない。また、駆動デバイス10の環境温度が低下して作動流体100が収縮した場合、作動流体100の温度低下も緩慢に生じるから、図8の矢印にて示したように、作動流体100は微細流路16a1,16b1を介して内圧緩衝室15aから流路13aに戻る。
【0035】
このように、駆動デバイス10は、微細流路16a1,16b1と内圧緩衝室15aを備えていることにより、広い温度範囲で使用可能であって、信頼性、及び耐久性の高い駆動デバイスとなる。
【0036】
次に、駆動デバイス10が初期状態において移動体110の位置を微調整するために行う作動について、図9〜図12を参照しながら説明する。いま、図9に示したように、初期状態で移動体110が圧電膜12a側に偏った位置に静止しているとする。このような状態は、後述するような製造工程における移動体110を流路13a中へ収納する工程にて、製造上のバラツキの範囲内で、あるいは作業ミス等により生じ得る。
【0037】
この場合、まず図10の時刻t1〜t2に示したように、圧電膜12a,12b(の各電極)に対し高速に変化する印加電圧Va,Vbをそれぞれ付与する。印加電圧Vaは、例えば1〜20μ秒の間に絶対値が0Vから50Vに昇圧する駆動電圧であり、上部電極がプラス、下部電極がマイナスの極性となる電圧である。同様に、印加電圧Vbは、例えば1〜20μ秒の間に絶対値が0Vから50Vに昇圧する駆動電圧であり、上部電極がマイナス、下部電極がプラスの極性となる電圧である。これにより、図11に示したように、ポンプ室14aによって作動流体は加圧され、ポンプ室14bによって同作動流体100は減圧されるので、移動体110は中央よりの位置へ(ポンプ室14bの方向へ)移動する。この場合、付与する印加電圧Va,Vbの変化速度が大きいので、微細流路16a1,16b1の流路抵抗は十分大きくなり、同流路16a1,16b1に流路13a内の作動流体100が出入りすることはない。
【0038】
次いで、図10の時刻t2〜t3に示したように印加電圧Va,Vbを僅かな時間だけ一定に維持し、その後、時刻t3〜t4に示したように、印加電圧Va,Vbの絶対値を、例えば0.1〜1秒程度かけて0Vまで緩慢に低下させる。この場合、微細流路16a1,16b1の流路抵抗は小さくなるから、図12に示したように、作動流体100は流路13aの右側の作動室13a2から微細流路16b1を介して内圧緩衝室15a内に流れ込み、同内圧緩衝室15aから微細流路16b1を介して流路13aの左側の作動室13a1に流れ込む。即ち、この場合、作動流体100の圧力変化は、微細流路16a1,16b1を介した圧逃げが生じるに十分な程度に緩慢な変化となり、ポンプ室14a,14b、及び流路13aの内圧はほとんど変化しないので、移動体110をほぼ静止させた状態に保つことができる。或いは、時刻t1〜t2における電圧印加時の移動体110の移動量L0に対して、時刻t3〜t4における同移動体110の復帰量L1をその10分の1程度(L1=L0/10)に抑える事ができる。
【0039】
以上の作動を1回乃至複数回実行することにより、移動体110の初期位置を所望の位置とすることができる。また、図10に例示した印加電圧Va,Vbのピーク値Vp,−Vp、同印加電圧Va,Vbをピーク値Vp,−Vpにまで変化させる際の電圧変化速度、同印加電圧Va,Vbをピーク値Vp,−Vpから0Vへ変化させる際の電圧印加速度を選択することにより、移動体110の静止位置を所望の位置に制御することができる。
【0040】
なお、上記の実施形態においては、圧電膜12a,12bに印加する電圧による同圧電膜12a,12bに加わる電界の方向を、正方向(この場合、Z軸正方向)、及び負方向(Z軸負方向)の両方向としているが、圧電膜12a,12bの分極と逆方向の電界は、抗電界を上回ると同分極を解くため、望ましくない場合がある。そこで、予めバイアス電圧を印加した状態を駆動デバイス10の初期状態としておけば、分極と同方向の電界のみで同駆動デバイス10を駆動することができる。即ち、例えば、下部電極の電位を基準電位の0(V)としておき、上部電極にバイアス電圧である25(V)を与え、この状態を初期状態とする。そして、この状態から圧電膜12a,12bの何れか一方の上部電極の電位を50(V)とすれば、その圧電膜には分極方向と同方向の電界が加わるために収縮するので、その下方のダイヤフラム17a,又は17bは下方に屈曲変形し、対応するポンプ室14a,14bの何れかは作動流体100を加圧する。同時に、圧電膜12a,12bの他方の上部電極の電位を0(V)とすれば、同他方の圧電膜12a,12bの収縮が消滅する。従って、その下方のダイヤフラム17a,又は17bは前記初期状態からみて上方に変形することになり、対応するポンプ室14a,14bの何れかは作動流体100を減圧する。
【0041】
次に、上記第1実施形態の駆動デバイスの変形例について、図13を参照して説明する。この変形例に係る駆動デバイス10−1は、図1に示した駆動デバイス10の基体11が一対の微細流路16a1,16b1を備えていたのに対し、基体11−1が微細流路16a1を一つだけ備えている点のみにおいて相違している。これは、移動体110と流路13aとのギャップ(図3に示した隙間S)の断面積が一定値以上確保出来る場合に採用しうる形態であり、このような構造によって微細流路の加工の労力及び時間が半分で済むので、駆動デバイス10−1をより安価に製造することができる。ただし、この変形例では、電圧を印加していない初期状態における移動体110の静止位置を制御することは困難であり、その点においては第1実施形態の駆動デバイス10の方が優れている。
【0042】
なお、上述したギャップ(隙間S)に加えて、例えば、流路13aの断面図である図14に示したように、流路13aの内面に微細な溝Mを形成し、作動流体100の圧力変化が緩慢である限り同溝Mの中へ作動流体100は侵入・流動できるが、移動体110の表面は侵入できないように構成しても良い。なお、この溝Mは、本発明の他の実施形態にも適用でき、その個数、形状は適宜選択することができる。
【0043】
更に、上記駆動デバイス10,10−1(及び、後述する他の実施形態の駆動デバイス)の圧電膜12a,12b、ダイヤフラム17a,17b、及びポンプ室14a,14bには、例えば特開平10−78549号公報に開示されている表示装置用の圧電/電歪膜型アクチュエータを適用することができる。このアクチュエータは、小型で、且つ大きな加圧力を得ることができるので、本発明の駆動デバイスにとって好適である。また、図4乃至図6により説明した駆動を行う場合には、圧電膜12a,12b用の圧電材料として抗電界の大きな材料を選択することが重要である。これは、圧電膜12a,12bの分極方向に対して逆方向の電圧が印加される状態が発生するからであり、抗電界が小さいと分極方向と逆向きの印加電圧により、分極が乱される惧れがあるからである。
【0044】
また、環境温度の変化による作動流体100の熱膨張収縮量を低く抑える為には、ポンプ室14a,14bの体積を必要最小限に小さく抑えることが望ましく、そのためには、上記圧電/電歪膜型アクチュエータの製造工程で用いるダイヤフラム基板の製造方法において、特開平9−229013号公報に開示されている方法を用いることが好適である。この開示された方法によれは、ポンプ室14a,14bの深さを最小5〜10μm程度まで小さくすることが出来るからである。
【0045】
次に、本発明の第2実施形態に係る駆動デバイス20について、その製造方法を交えて具体的に説明する。図15は係る駆動デバイス20の縦断面図であり、図16は同駆動デバイス20の平面図である。なお、図15は図16の3−3線に沿った平面にて駆動デバイス20を切断した断面を示している。また、以下において、各実施形態間で同一の構成部分には同一の符号を付し、その詳細説明を省略する。
【0046】
この駆動デバイス20は、上面に流路13aが露呈するように形成されてなる基体21と、基体21の上に形成されたセラミックス薄板体の接続板(連通基板)22と、接続板22の上部に配設された一対のセラミックポンプ23a,23bとを備えている。
【0047】
接続板22は、X軸方向に離間した位置に中空円柱状に形成された左右一対の流路連通孔22a,22bを備えている。流路連通孔22a,22bの各底面は流路13aのX軸方向両端部にてそれぞれ同流路13aと接続している。
【0048】
セラミックポンプ23a,23bは、セラミックスからなる薄板体で、平面視で略正方形状のポンプ室構成部24a,24bと、同ポンプ室構成部24a,24bの各上面に固定された圧電膜25a,25bとをそれぞれ備えている。各ポンプ室構成部24a,24bは、第1実施形態の駆動デバイス10のポンプ室14a,14bと同様な形状を有するポンプ室24a1,24b1と、その上に形成される薄板状のダイヤフラム26a,26bと、ポンプ室24a1,24b1の各底面の一部を前記流路連通孔22a,22bの各上面にそれぞれ連通する中空円筒状のポンプ室連通孔24a2,24b2とを備えている。ポンプ室24a1,24b1、及びポンプ室連通孔24a2,24b2は、流路連通孔22a,22b、及び流路13a等と同様に、作動流体100により満たされている。
【0049】
このセラミックポンプ23a,23bは、先に引用した特開平10−78549号公報のほかに、特開平7−214779号公報に開示される方法や構成を用いて製造される圧電/電歪膜型アクチュエータであり、流路基板である基体21、及び接続板22の上に積層して形成されている。
【0050】
駆動デバイス20の移動体110を駆動(移動)するための作動は駆動デバイス10と同様である。また、ポンプ室24a1,24b1、ポンプ室連通孔24a2,24b2、流路連通孔22a,22b、及び流路13a内に充填されている作動流体100の熱膨張収縮に伴う内圧変化の吸収における作動についても、先の駆動デバイス10と同様である。
【0051】
次に、駆動デバイス20の製造方法について説明する。先ず、圧電/電歪膜型アクチュエータであるセラミックポンプ23a,23bの製造工程について述べると、図17に示したように、セラミックス製のグリーンシート201、202、203を準備する。次いで、グリーンシート202にはポンプ室24a1(24b1)を形成するための窓部202aを、グリーンシート203にはポンプ室24a1(24b1)と流路13aとを流路連通孔22a(22b)を介して流体的に接続するための前記ポンプ室連通孔24a2(24b2)となる孔部203aを、各々、打ち抜き等の機械加工により形成する。
【0052】
次に、グリーンシート201、202、203を加圧加熱積層し、焼成することで一体化してダイヤフラム基板204を得る。次いでその基板204の上に、下部電極205と、特開平5−267742号公報に開示されているような補助電極206とを、各々高融点金属で、例えばスクリーン印刷等の厚膜形成手法で形成し、必要に応じて焼成等の熱処理を施す。その上へ、同じく厚膜形成手法で圧電膜207を形成した後、最後に上部電極208を形成する。なお上部電極208に関しては、厚膜手法の他、スパッタ等の薄膜形成手法も適宜選択可能である。以上により、セラミックポンプ23a,23bに相当する部分が製造される。
【0053】
図18は、上記セラミックポンプ23a,23bに相当する部分を製造する別の製造方法を示している。この方法では、ダイヤフラム基板の製造工程において、上記グリーンシート202の代わりに、グリーンシート203の上面にスペーサー層202bを前記ポンプ室24a1(24b1)を形成するための窓部202aを有するようにスクリーン印刷で形成する。他は、上記図17により説明した製造方法と同様である。なお、本製造方法の詳細は特開平9−229013号公報に開示される技術が好適に使用可能であり、これにより、ポンプ室24a1(24b1)の深さ(組み立て状態における中空円筒のZ軸方向高さ)を10μm程度にまで小さくできるので、容積の小さいポンプ室24a1(24b1)を有するダイヤフラム基板(即ち、セラミックポンプ23a,23b)を得ることができる。
【0054】
次に、図19を参照しながら、基体(流路基板)21の製造方法について説明する。先ず、プラスチック、ガラス、金属、及びセラミックス等の中から適当な材料を選択して基板211、212、213を製作し、各々に流路13a、微細流路16a1,16b1、及び内圧緩衝室15aを形成する。また、基板213には、同基板213に形成される内圧緩衝室15aの下面から同基板213の下面まで貫通する作動流体注入孔213aを形成する。かかる基板211〜213に対する流路等の形成を行うための加工は、打ち抜き、エッチング、レーザー加工、コインニング、及びサンドブラスト等の中から適当な加工方法を選択する。次いで、このようにして得られた基板211〜213をエポキシ樹脂等で積層接着することで、基体21を製造する。
【0055】
なお、上記基板211〜213の材料としては、圧電/電歪膜型アクチュエータであるセラミックポンプ23a,23bと熱膨張率が極力一致するように、例えば、膨張率の近いガラス、又はセラミック基板が好適である。また、流路13aの加工、及び深さ200ミクロンの内圧緩衝室15aを形成する凹部加工には、エッチング、又はコインニングを用いることが好適である。或いは、流路13、又は内圧緩衝室15aに相当する窓部を打抜き加工したプレートと、閉塞用プレートとを接合することで、流路13a、又は内圧緩衝室15aを形成した基板211,213を得ることもできる。一方、高アスペクト比加工が必要な微細流路16a1,16b1の加工は、レーザー加工によるか、又はセラミックスのグリーンシートに高アスペクト比の孔を打ち抜き加工した後に焼成するといった手法が好適である。
【0056】
一方、図20に示したように、基板211と同様にして、接続板22となる接続基板214に一対の流路連通孔22a,22bを形成しておき、最後に、セラミックポンプ23a,23b(圧電/電歪膜型アクチュエータ)と、接続基板214、及び基体21を接着、圧接、拡散接合等の結合手段で積層一体化する。
【0057】
このとき、流路13aの所定の位置へ移動体110を収納する。移動体110が液胞(液体の塊)である場合、作動流体100は同液胞に対して非溶性の材料を選択し、移動体110をディスペンサー等を用いて流路13a内の所定の位置へ収納する。移動体が気泡の場合は、別途気体注入用の注入孔を流路13aから分岐して設置し、そこから同気泡と作動流体100を注入し、その後注入孔を封止する。
【0058】
そして、得られた積層体を真空チャンバー等で真空下に置き、注入孔213aからディスペンサー等の計量手段で作動流体100を所定量、内圧緩衝室15aへ注入する。なお注入時には、事前に作動流体100を真空脱気して溶存気体を除去しておくことが望ましい。注入した作動流体100が微細流路16a1,16b1を介して流路13aおよびポンプ室24a1,24b1等に充填されるよう、不活性ガス、作動流体100の蒸気、又はそれらの混合ガス等の圧縮性流体である封止ガス120によって流路内の気圧を所定の気圧まで加圧し、最後に注入孔213aを接着剤等で封止して、本発明の駆動デバイス20を得る。
【0059】
なお、内圧緩衝室15aの深さ(Z軸方向高さ)は、ポンプ室24a1,24b1、及び流路13aの各深さより深くしておくことが望ましい。これにより、形成される作動流体100が液体である場合に、内圧緩衝室15a内での液体の気液界面の曲率が上記充填中のポンプ室24a1,24b1内、及び流路13a内で形成される気液界面の曲率よりも大きくできるので、充填がよりスムーズに行い易くなる。
【0060】
次に、本発明の第3実施形態に係る駆動デバイス30について説明する。図21に縦断面が示されたこの駆動デバイス30は、図15に示した上記第2実施形態の駆動デバイス20において2つに分かれていたセラミックポンプ(圧電/電歪膜型アクチュエータ)23a,23bのポンプ室構成部24a,24bを一体化してなるポンプ室構成部24cを備え、且つ、駆動デバイス20が備える接続板22を省略している点においてのみ、駆動デバイス20と相違している。この駆動デバイス30によれば、接着箇所、及び部品点数が減るので、製造コストを低減し得るという効果がある。ただし、図15に示した駆動デバイス20においては、接続板22の材質を透明なガラス、又は電極を兼用できる金属板材とすることも可能であったが、図21に示した駆動デバイス30においては、接続板22が存在せず、従って、ポンプ室構成部24cの材質は圧電/電歪膜型アクチュエータのセラミック基板材質に限定される。
【0061】
次に、本発明の第4実施形態に係る駆動デバイス40について説明する。図22に縦断面が示されたこの駆動デバイス40においては、基体41が図15に示した上記第2実施形態の駆動デバイス20の微細流路16a1,16b1の代替として多孔質体16cを備え、同多孔質体16cを介して流路13aと内圧緩衝室15aとを接続している。多孔質体16cを備えることは、いわば極度に微細化した多数の微細流路16a1,16b1を形成することと同じ効果を奏する。多孔質体16cは、組み立て性とシール性を向上するために、図22に示したように、テーパー、又は段差を側面に備える形状とすることが好ましい。
【0062】
次に、本発明の第5実施形態に係る駆動デバイス50について説明する。図23は係る駆動デバイス50の縦断面図であり、図24は同駆動デバイス50の平面図である。なお、図23は図24の4−4線に沿った平面にて駆動デバイス50を切断した断面を示している。この駆動デバイス50は、図21に示した駆動デバイス30が備えるセラミックポンプ23bの圧電膜25bに代え、一対の圧電膜25c1,25c2を有するセラミックポンプ23cを備えている。これらの圧電膜25c1,25c2の分極方向は、圧電膜25aと同様に、Z軸正方向となっている。
【0063】
この圧電膜25c1,25c2は、平面視でY軸方向に長軸を有する長円形状を有し、同長軸が互いに平行になるようにX軸方向に所定の距離を隔ててセラミックスの薄板体であるダイヤフラム26bの上に固定されている。このダイヤフラム26bの下方に形成されたポンプ室27は、圧電膜25c1,25c2と同様に、平面視でY軸方向に長軸を有する長円形状を有している。そして、圧電膜25c1,25c2の各々は、平面視でポンプ室27を挟むように、且つ同圧電膜25c1,25c2の半分程度の部分が、平面視でポンプ室27とそれぞれ重なるように配設されている。
【0064】
次に、このように構成された駆動デバイス50の作動について説明する。この駆動デバイス50においては、図25に示したように、圧電膜25c1,25c2と、圧電膜25aとに同じ極性で電圧印加する。即ち、上部電極にプラス、下部電極にマイナスの極性の電圧であって、その電圧変化速度が大きい駆動電圧を印加する。これにより、ダイヤフラム26aは圧電膜25aの収縮により下方へ屈曲変形する。一方、ダイヤフラム26bにあっては、圧電膜25c1,25c2が収縮するため、その中央部が上方に変位する。これにより、作動流体100はポンプ室24a1内で加圧され、ポンプ室27内で減圧されるので、移動体110はポンプ室24a1からポンプ室27に向けて(X軸正方向に)移動する。
【0065】
このような作動を行う圧電/電歪膜型アクチュエータ(セラミックポンプ)は、特開平7−202284号公報に開示されているものを用いることができる。この第5実施形態(駆動デバイス50)では、第1〜第4実施形態と異なり、圧電膜25c1,25c2,25aへの印加電圧の極性は常に一定となることから、常に各圧電膜25c1,25c2,25aの分極電界と同じ極性で、同圧電膜25c1,25c2,25aを駆動することができる。このため、圧電膜25c1,25c2,25aに抗電界の低い材料を使用することが可能である。さらに、一対のポンプのうちの一つは加圧のみが可能、又は加減圧の双方が可能であって、他方のポンプは減圧のみが可能であるように駆動デバイスを構成し、そのように作動させた場合であっても、要求される機能・性能を十分満足できる場合がある。しかし、第1〜第4実施形態の駆動デバイス10,20,30,40におけるポンプ構造によると、電歪材料の膜は、前記減圧のみが可能なポンプの圧電膜としては、予めバイアス電圧を付与しておく等の駆動上の工夫なしには使用することができない。これは、電歪材料が、付与される電界と垂直な方向に収縮するものの、電界の向きに拘らず膨張することがないからであり、従って、ダイヤフラムを上方に屈曲変位できないからである。これに対し、本第5実施形態に係る駆動デバイス50のポンプ23cの圧電膜25c1,25c2は、収縮作用によりダイヤフラム26bを上方に屈曲変位させ、ポンプ室27内を減圧することができるので、電歪材料の膜を圧電膜25c1,25c2として、そのまま使用することができる。
【0066】
なお、図26に示したように、個々のデバイスの性能に応じ、適切な形状のポンプ室を備えた上記ポンプ23cと同様なポンプ23dを、必要な個数だけ設置しても良い。また、この場合、各ポンプを独立に駆動できるように構成することで、例えば、駆動するポンプ数を適宜変更して移動体110に加わる差圧を調整し、もって、同移動体110の移動量、及び/又は移動速度を制御するように構成してもよい。
【0067】
次に、上記第1〜第5実施形態に示した回路切換えスイッチ(駆動デバイス)の応用例について説明する。図27に示した回路切換えスイッチ60は、上記駆動デバイス10を含むとともに、白金、金、ニッケル等からなる共通電極61と、同じく白金、金、ニッケル等からなる一対の切換え用電極62a,62bとを備えている。
【0068】
共通電極61は、流路13aを構成する壁面のうちの一つの壁面である下側壁面(Z軸負方向側の壁面)13a1に、微細流路16a1と微細流路16b1との間の位置において同流路13aに露呈するように形成されていて、図示しない接続線(端子電極)によりその電位が切換えスイッチ60の外部に取り出され、同切換えスイッチ60の外部にて他の電気部品と電気的に接続されるようになっている。
【0069】
切換え用電極62a,62bは、互いに同一の形状を有するとともに、流路13aを構成する壁面のうちの他の一つの壁面である上側壁面(Z軸正方向側の壁面)13a2に、同流路13aに露呈し、X軸方向に互いに距離を隔て、前記共通電極61と対向するように形成されている。切換え用電極62a,62bは、互いに電気的に絶縁されていて、図示しない接続線(端子電極)により各電位が切換えスイッチ60の外部に取り出され、同切換えスイッチ60の外部にて他の電気部品と電気的に接続されるようになっている。なお、以下においては、切換え用電極62aを第1切換え用電極62a、切換え用電極62bを第2切換え用電極62bと云う。
【0070】
移動体110は、水銀やGa系合金等からなる導電性の液体金属であり、側面視において第1切換え用電極62a(又は、第2切換え用電極62b)と略同一の大きさを有していて、共通電極61に常に接触しながら流路13a内を移動するとともに、第1切換え用電極62a又は第2切換え用電極62bと選択的に接触するようになっている。
【0071】
次に、かかる切換えスイッチ60の作動について説明すると、図27に示したように、圧電膜12a,12bの何れの電極にも駆動のための電圧が印加されていない初期状態において、移動体110は第1切換え用電極62aと共通電極61とに接触し、且つ第2切換え用電極62bとは接触しない。これにより、第1切換え用電極62aと共通電極61とが電気的に接続される。なお、このような初期状態における移動体110の位置は、図9〜図12を参照して説明した方法により調整される。
【0072】
一方、駆動時においては、図28に示したように、図示しない制御回路により、圧電膜12aの上部電極にプラス、その下部電極にマイナスの極性の電圧が印加されるとともに、圧電膜12bの上部電極にマイナス、その下部電極にプラスの極性の電圧が印加される。この駆動電圧によりポンプ室14a,14bが作動し、それにより発生される作動流体100の圧力差により、移動体110は作動室13a1(ポンプ室14a)から作動室13a2(ポンプ室14b)へ向け(即ち、X軸正方向に)第2切換え用電極62bと接触する位置まで移動し、同第2切換え用電極62bと共通電極61とを電気的に接続する。
【0073】
また、制御回路は、この状態から、圧電膜12a,12bの各電極に印加していた駆動電圧を消滅させる。この結果、ポンプ室14a,14bは初期状態に復帰するため、移動体110は、この復帰時に発生される作動流体100の圧力差によって作動室13a2から作動室13a1へ向けて(即ち、X軸負方向に)第1切換え用電極62aと接触する位置まで移動し、同第1切換え用電極62aと共通電極61とを再び電気的に接続する。
【0074】
このように、切換えスイッチ61は、移動体110を移動させることにより、第1切換え用電極62a、及び第2切換え用電極62bを共通電極61と選択的に導通可能に接続する。移動体110は、第1切換え用電極62a、及び第2切換え用電極62bのそれぞれと濡れ性が良好であり、第1切換え用電極62a、及び第2切換え用電極62bが設けられていない流路13aの壁面とは濡れ性が良好でないから、初期状態、及び駆動時において第1切換え用電極62a、及び第2切換え用電極62bと確実に接触した状態を維持する。
【0075】
次に、上記回路切換えスイッチ60の具体的適用例について、図29を参照しながら説明する。図29に示したシステムは、上記切換えスイッチ60と同様な回路切換えスイッチを二つ備え、これらのスイッチを、無線通信可能に構成されたPDA(Personal Digital Assistant)と称呼される携帯情報端末のダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ、及び送信/受信切換え用スイッチとして使用している。
【0076】
具体的に説明すると、このシステムは、メインアンテナ301、ダイバーシティ・アンテナ302、切換えスイッチ60と同一構造を有するダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303、切換えスイッチ60と同一構造を有する送信/受信切換え用スイッチ304、パワーアンプ305、RF−IFコンバータ306、IFモデム307、ベースバンド・プロセッサ308を含んで構成されている。
【0077】
メインアンテナ301、及びダイバーシティ・アンテナ302は、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303の第1切換え用電極303a、及び第2切換え用電極303bと、それぞれ電気的に接続されている。また、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303の共通電極303cは、送信/受信切換え用スイッチ304の共通電極304cに電気的に接続されている。送信/受信切換え用スイッチ304の第1切換え用電極304aは、RF−IFコンバータ(無線周波−中間周波変換器)306に電気的に接続され、第2切換え用電極304bはパワーアンプ305に電気的に接続されている。ベースバンド・プロセッサ308は、IFモデム307を介してRF−IFコンバータ306に電気的に接続されるとともに、パワーアンプ305に電気的に接続されている。パワーアンプ305は、RF−IFコンバータ306にも接続されている。また、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303、及び送信/受信切換え用スイッチ304の各圧電膜の上部電極、及び下部電極は図示を省略した制御回路に接続されている。
【0078】
次に、このシステムの作動について説明すると、同システムが外部からの電波の受信を待っている「受信待ち受け状態」にある場合、制御回路はダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303の各圧電膜の上部電極及び下部電極に何らの駆動電圧も付与しない。この結果、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303は初期状態を維持し、その移動体303dは図29に示した位置に留まって、第1切換え用電極303aと共通電極303cとの接続状態を維持する。
【0079】
また、制御回路は、受信待ち受け状態において、送信/受信切換え用スイッチ304の各圧電膜の上部電極及び下部電極に何らの駆動電圧も付与しない。この結果、送信/受信切換え用スイッチ304は初期状態を維持し、その移動体304dは図29に示した位置に留まって、第1切換え用電極304aと共通電極304cとの接続状態を維持する。
【0080】
このように、本システムにおいては、受信待ち受け状態にある場合、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303、及び送信/受信切換え用スイッチ304により電力が一切消費されることなく、メインアンテナ301とRF−IFコンバータ306とが電気的に接続される。
【0081】
受信時においては、制御回路はメインアンテナ301、及びダイバーシティ・アンテナ302の中から受信に適切なアンテナ(例えば、受信電波強度が大きいアンテナ)が何れであるかを決定し、決定されたアンテナがメインアンテナ301である場合、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303の各圧電膜の上部電極及び下部電極に何らの駆動電圧も付与しない。この結果、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303は初期状態を維持し、その移動体303dは図29に示した位置に留まって第1切換え用電極303aと共通電極303cとの接続状態を維持する。
【0082】
他方、制御回路は、決定されたアンテナがダイバーシティ・アンテナ302である場合、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303の各圧電膜の上部電極及び下部電極に駆動電圧を付与する。この結果、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303の移動体303dは図29において右方向に移動し、第2切換え用電極303bと共通電極303cとを電気的に接続する。これにより、ダイバーシティ・アンテナ304がRF−IFコンバータ306、又はパワーアンプ305に電気的に接続され得る状態となる。また、制御回路は、必要に応じて送信/受信切換え用スイッチ304の各圧電膜の上部電極及び下部電極に駆動電圧を付与し、これにより、移動体304dを図29において左方に移動させ、同移動体304dと第2切換え用電極304bとを介して共通電極304cとパワーアンプ305とを接続する。この結果、受信信号の信号増幅が適宜行われる。なお、受信時には、常に送信/受信切換え用スイッチ304の各圧電膜の上部電極及び下部電極に駆動電圧を付与しないようにしておき、同スイッチ304を初期状態に維持していてもよい。
【0083】
更に、上述した受信待ち受け状態においても、上記受信時のように適切なアンテナを選択するように構成してもよい。このように構成された場合であっても、少なくともメインアンテナ301が適切なアンテナであると決定(選択)されている場合、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303により電力が消費されることなく、受信待ち受け状態が維持される。
【0084】
送信時においては、制御回路はダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303の各圧電膜の上部電極及び下部電極に何らの駆動電圧も付与せず、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303によりメインアンテナ301を送信用アンテナとして選択する。また、制御回路は、送信/受信切換え用スイッチ304の各圧電膜の上部電極及び下部電極に駆動電圧を付与し、これにより、移動体304dと第2切換え用電極304bとを介して共通電極304cとパワーアンプ305とを接続する。この結果、パワーアンプ305により増幅された送信信号がメインアンテナ301から発信される。もちろん、送信時においても、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303の各圧電膜の上部電極及び下部電極に駆動電圧も付与し、ダイバーシティ・アンテナ切換え用スイッチ303によりダイバーシティ・アンテナ302を適宜に選択してもよい。
【0085】
次に、駆動デバイス20と同様の駆動デバイス20’を含んでなる本発明による回路切換えスイッチ70について、図30を参照しながら説明する。この切換えスイッチ70は、駆動デバイス20’に、切換えスイッチ60と同様な共通電極71と、第1切換え用電極72aと、第2切換え用電極72bとを設けたものである。切換えスイッチ70の作動は、切換えスイッチ60の作動と同様である。
【0086】
この切換えスイッチ70の製造方法について説明すると、圧電/電歪膜型アクチュエータであるセラミックポンプ23a,23bは図17、又は図18に示した方法により製造される。基体21’は、図31に示した製造方法により製造される。図31に示した製造方法は、図19に示した製造方法に対し、基板211、基板212に相当する基板212’、及び基板213に相当する基板213’を積層して接着する前に、基板212’の上面に共通電極71の電位を取り出すための端子電極71a、第1切換え用電極72aの電位を取り出すための端子電極72a1、及び第2切換え用電極72bの電位を取り出すための端子電極72b1を、例えばスクリーン印刷等の厚膜形成手法で形成しておく点のみにおいて異なる。
【0087】
次いで、図32に示した製造方法により、切換えスイッチ70が製造される。図32に示した製造方法は、図20に示した製造方法に対し、基板214に対応する基板214’の下面に、第1切換え用電極72a、及び第2切換え用電極72bを、例えばスクリーン印刷等の厚膜形成手法で形成する点と、セラミックポンプ23a,23bと、接続基板214’、及び基体21’を接着、圧接、拡散接合等の結合手段で積層一体化する際に、第1切換え用電極72a、及び第2切換え用電極72bを、端子電極72a1、及び端子電極72b1とそれぞれ導電性接着剤等を用いて電気的に接続する点とにおいてのみ相違している。このようにして、切換えスイッチ70は製造される。
【0088】
以上、説明したように本発明による駆動デバイスは、移動体110を液体金属の液滴とし、かつ流路13aの壁面に、外部と導線で接続した複数の電極62a,62b等を設置することにより、小型のスイッチ、又は小型のリレーを構成することができる。
【0089】
このようなスイッチとしては、水銀の液滴を動かすことによりスイッチング動作を実現する水銀マイクロリレーであって、水銀液滴を動かす駆動力としてマイクロヒーターの加熱による瞬間的なバブル発生時の圧力を用いるタイプのものが研究されている(例えば、J. Kimら、Proc. 46th Annual Int. Relay Conf, Oak Brook, Il, Apr. 1998,pp.19-1-19-8.を参照。)。このスイッチは、周波数レンジが直流から10GHzまでと広く、GHz帯域での低い挿入損失と高い絶縁抵抗を有し、またシグナルバウンスが無い、といった様々な特徴を有するものとして、報告されている。
【0090】
このスイッチに対し、上記説明した本発明による切換えスイッチは、液体金属の液滴である移動体110の駆動力として圧電/電歪膜型アクチュエータを用いている。その結果、前述のバブル発生時の圧力を用いるタイプの水銀マイクロリレーと比較して、蓄熱がなく低消費電力であるという利点を有する。従って、本発明による切換えスイッチは、上記図29を参照して説明したように、例えば近年高機能化と無線通信対応が進んできたPDAにおいて、受信/発信(送信)兼用のアンテナを切換えるアンテナ切換え用スイッチ、及び発信(送信)回路と受信回路の何れかをアンテナに切換え接続するための回路切換え用スイッチ等として好適に用いる事ができる。
【0091】
本発明による切換えスイッチを上述の用途等に用いた場合、従来の半導体スイッチとは異なり、(a)受発信しない場合に待機電力が不要であり、システム全体の消費電力低減、電池駆動時間の延長が可能、(b)1GHz以上、さらには5GHz以上といった高周波数帯域の送受信信号に対しても劣化が全く無い、といった利点が得られる。また、水銀湿式リードスイッチと比較しても、本発明による切換えスイッチは、使用する際の傾斜角度の制限が無く、かつ駆動部(ポンプ室等の可動部)がセラックスで一体化されているためにはるかに高い長寿命を有するという利点を備える。
【0092】
なお、上述した切換えスイッチ60(70)においては、共通電極61(71)は一体となっているが、図33に示したように、共通電極を第1切換え用電極62a(72a)、及び第2切換え用電極62b(72b)に対応させて分割し(即ち、第1切換え用電極62aに対向する電極61aと、第2切換え用電極62bに対向する電極61bとを設け)、分割した電極61a,61bを駆動スイッチ60(70)の外部において電気的に接続する構成とした方がより好ましい。このようにすれば、電極表面に対して濡れ性の高い水銀等の移動体110が流路13a内を移動する際の抵抗が低くなるからである。
【0093】
以上、説明したように、本発明の各実施形態、及びその変形例によれば、マイクロマシンの小サイズや低消費電力の特徴を保ちつつ、磨耗や固着の問題を内在する機械的増幅機構をもたず、量産し易い駆動デバイス、及び同駆動デバイスを用いた回路切換えスイッチを提供することができた。また、周囲温度が上昇した場合でも、デバイス(スイッチ)の破損が生じないので、信頼性、及び耐久性の高い駆動デバイス(回路切換えスイッチ)を提供することができた。
【0094】
なお、本発明は上記実施形態に限定されることはなく、本発明の範囲内において種々の変形例を採用することができる。例えば、上記回路切換えスイッチにおいては、切換え用電極が2つであったが、同切換え用電極は2つ以上であってもよい。また、切換え用電極、及び共通電極は、流路13aに露呈するとともに互いの絶縁が維持される限り、例えば、切換え用電極と共通電極を対向する側壁面に設けたり、切換え用電極を側壁面に、共通電極を低壁面又は上壁面に設ける等、同流路13aのどのような壁面に設けてもよい。
【0095】
更に、例えば、本発明で開示している各駆動デバイスの基本構成を基に、ダイヤフラムを変形させる圧電/電歪材料膜を、反強誘電体材料膜(反強誘電体膜)に置き換えることができる。さらには、マイクロマシン研究で盛んに研究されている、ギャップを介して対向する電極間に生じる静電力や、通電加熱により形状記憶合金に生じる変形力を、圧電膜の変形力に代えて使用し、これらの力によりダイヤフラムを変形させてもよい。そのような構成においても、上記実施形態のように、上記微細流路16a1,16b1,16cと内圧緩衝室15aとを組み合わせることにより、環境温度の変化による駆動デバイスの破損を防止でき、しかも、駆動電圧(印加電圧)の制御によって初期状態での移動体の位置を制御できる。
【0096】
なお、本発明による駆動デバイスは、例えば、所謂ロッドレスシリンダーを、マイクロマシン化するためのデバイスに用いることができる。ロッドレスシリンダーは、例えば米国特許3,779,401に開示されるように、シリンダー稼動部が完全に密封されていて、密封された空間中で動く稼動部(本願でいう移動体)と磁力により結ばれた作動部が密封空間の外部で往復運動を行い、同可動部の動きを当該ロッドレスシリンダーの系外に及ぼすことができるものである。
【0097】
従って、本発明の移動体110を磁性体で形成し、外部に移動体110と磁力により結ばれた作動部を形成すれば、本発明による駆動デバイスを適用したマイクロ・ロッドレスシリンダーを得ることができる。また、流路13a内に微小な電極(検出電極)を随所に設け、移動体110を導電性の磁性体により形成することにより、移動体110の位置を同電極の「オン(閉成)」又は「オフ(開放)」により検知することが可能となるので、これを利用してマイクロ・ロッドレスシリンダーのストローク位置を制御することもできる。
【0098】
また、本発明による駆動デバイスは、単に機械的な物体移動を目的とするマイクロモーターのような用途のみならず、各種マイクロマシンに見られるような、広範囲な用途に応用可能である。例を挙げると、例えば流路13aを形成する壁面の一部ないし全体に透光性を有する材質を選択し、移動体110を気泡、有色液体、蛍光液体の液胞、又は光反射可能な微小金属体などで構成すれば、光学ディスプレイ素子を得ることもできる。更に、外部から磁気的、光学的、又は電気的手段等により移動体110の位置を検知することにより、本発明による駆動デバイスをメモリー素子として使用することもできる。また、移動体110に振動運動を行わせつつ、その運動にコリオリ力等の外力が及ぼす影響を電気的あるいは光学的等の手段によりセンシングすることで、ジャイロ等のセンサを形成することもできる。
【0099】
なお、本発明による上記駆動デバイス(回路切換えスイッチ)は、流路(13a)を有する基板(11,21,41)に、圧電/電歪膜ないし反強誘電体膜と電極とからなる膜型圧電素子とセラミックダイヤフラムとを有するセラミックポンプ(23a,23b,23c)を有し、当該流路は当該セラミックポンプ間をつなぐ形状で形成されるとともに、移動させるべき気泡ないし液胞あるいは微小固体である移動体(110)と液体(100)とが収納されており、また当該流路には、当該セラミックポンプによって高速に加圧ないし減圧した場合には、流体の出入速度が遅いために加圧ないし減圧に対する低減効果を時間遅れを伴って示す一方、低速加圧ないし低速減圧時には流体が出入することで流路内の圧力変動を実質的にゼロに抑える緩衝効果を示す微細流路(16a1,16b1,16c)と、その他方の端に緩衝空間(15a)を有することを特徴とするものと云うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施形態に係る駆動デバイスの断面図である。
【図2】 図1に示した駆動デバイスの平面図である。
【図3】 図1に示した駆動デバイスを図1の2−2線に沿った平面で切断した断面図である。
【図4】 図1に示した駆動デバイスの初期状態を示した断面図である。
【図5】 図1に示した駆動デバイスの作動状態を示した断面図である。
【図6】 図1に示した駆動デバイスの別の作動状態を示した断面図である。
【図7】 図1に示した駆動デバイスの周囲温度上昇時における作動流体の流れを示した断面図である。
【図8】 図1に示した駆動デバイスの周囲温度下降時における作動流体の流れを示した断面図である。
【図9】 図1に示した駆動デバイスの移動体の位置を微調整する際の作動を説明するための図である。
【図10】 図1に示した駆動デバイスの移動体の位置を微調整するために同駆動デバイスの圧電膜に印加する電圧波形を示したタイムチャートである。
【図11】 図1に示した駆動デバイスの移動体の位置を微調整する際の作動を説明するための図である。
【図12】 図1に示した駆動デバイスの移動体の位置を微調整する際の作動を説明するための図である。
【図13】 図1に示した駆動デバイスの変形例の断面図である。
【図14】 図1に示した駆動デバイスの流路の変形例を示す同流路の断面図である。
【図15】 本発明の第2実施形態に係る駆動デバイスの断面図である。
【図16】 図15に示した駆動デバイスの平面図である。
【図17】 図15に示した駆動デバイスの圧電/電歪アクチュエータの製造工程を説明する概念図である。
【図18】 図15に示した駆動デバイスの圧電/電歪アクチュエータの別の製造工程を説明する概念図である。
【図19】 図15に示した駆動デバイスの製造工程を説明する概念図である。
【図20】 図15に示した駆動デバイスの製造工程を説明する概念図である。
【図21】 本発明の第3実施形態に係る駆動デバイスの断面図である。
【図22】 本発明の第4実施形態に係る駆動デバイスの断面図である。
【図23】 本発明の第5実施形態に係る駆動デバイスの断面図である。
【図24】 図23に示した駆動デバイスの平面図である。
【図25】 図23に示した駆動デバイスの作動状態を示した断面図である。
【図26】 本発明の第5実施形態に係る駆動デバイスの変形例の平面図である。
【図27】 本発明による回路切換えスイッチの一実施形態の初期状態を示した断面図である。
【図28】 図27に示した回路切換えスイッチの駆動状態を示した断面図である。
【図29】 図27に示した回路切換えスイッチを携帯情報端末に適用したシステムのブロックである。
【図30】 本発明による回路切換えスイッチの他の実施形態の初期状態を示した断面図である。
【図31】 図30に示した回路切換えスイッチの製造工程を説明する概念図である。
【図32】 図30に示した回路切換えスイッチの製造工程を説明する概念図である。
【図33】 本発明による回路切換えスイッチの他の実施形態の初期状態を示した断面図である。
【符号の説明】
10,20,30,40,50…駆動デバイス、60,70…回路切換えスイッチ、11,21,21’、41…基体、12a,12b…圧電膜、13…流路構成部、13a…流路、13a1,13a2…作動室、14a,14b…ポンプ室、15…内圧緩衝室構成部、15a…内圧緩衝室、16a,16b…微細流路部、16a1,16b1…微細流路、17a,17b,26a,26b…ダイヤフラム、18a,18b…セラミックポンプ、21…基体、22…接続板、22a,22b…流路連通孔、23a,23b,23c…セラミックポンプ、24a,24b,24c…ポンプ室構成部、24a1,24b1…ポンプ室、24a2,24b2…ポンプ室連通孔、25a,25b…圧電膜、61,71…共通電極、62a,62b,72a,72b…切換え用電極、100…作動流体、110…移動体、120…圧力緩衝用流体(蒸気、圧縮性流体、封止ガス)。
Claims (2)
- 非圧縮性の作動流体を収容するとともに同作動流体とは異なる物質からなる移動体を収容し、同移動体により実質的に一対の作動室に区画される流路を構成する流路構成部と、
前記一対の作動室のそれぞれに連通するとともに前記作動流体が充填された各ポンプ室と、同各ポンプ室に対して備えられた各アクチュエータと、同各アクチュエータにより変形される各ダイヤフラムとを有し、同各ダイヤフラムの変形により同各ポンプ室内の作動流体を加圧又は減圧する一対のポンプと、
前記作動流体と圧縮性の圧力緩衝用流体とを収容する内圧緩衝室を構成する内圧緩衝室構成部と、
前記流路構成部の流路と前記内圧緩衝室構成部の内圧緩衝室とを連通するとともに、同流路内の作動流体の急激な圧力変動に対しては実質的に同作動流体の通過を不能とする大きな流路抵抗を示し、且つ、同流路内の作動流体の緩慢な圧力変動に対しては実質的に同作動流体の通過を可能とする小さな流路抵抗を示す微細流路を構成する微細流路部と、
を備えた回路切換えスイッチ。 - 前記アクチュエータは圧電/電歪膜又は反強誘電体膜と電極とからなる膜型圧電素子を含んでなり、前記ダイヤフラムはセラミックダイヤフラムである請求項1に記載の回路切換えスイッチ。
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