JP4192144B2 - マイクロスケールにおけるガスバブルの移動を利用した流体ポンプ装置及びその方法 - Google Patents
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Description
している。ヒットパワード液体ポンプは、入口と出口バルブを有するチャンバーとチャンバーの底面に位置した加熱システムとから構成される。加熱システムによってチャンバー内の液体を加熱し、加熱された液体はバブルを生成する。熱エネルギーの状態に応じてバブルは膨張と収縮を繰り返し行う。このバブルは、膨張される間にはチャンバーから液体を押し出し、収縮される間にはチャンバー内に液体を引き込む圧力源として作用する。ここで、バブルの体積はバブルの大きさと数に依存する。したがって、このような方法により、バブルの体積に対応する液体の体積量を分離させて、移送させることができる。この方では、逆流を防止しながら流体移動網を得るために小さな移動バルブを用いる。しかし、この小さな移動バブル等は非常に注意深く製造されなければならない繊細な部品である。従って、長い間動作するには信頼性が落ちてしまう。
No.6, pages from 665 to 667, 2003に公開されたJ.H.
Tsai, L.Linによる文献「A thermal-Bubble-Actuated
Micronozzle-Diffuser Pump」には、サーマルバブル(熱気泡)を周期的に再生及び崩壊させる作用メカニズムを報告している。このマイクロポンプは、抵抗ヒータ、一対のノズル拡散流れ制御器及びポンプチャンバーから構成される。流体網は、ノズルから拡散器で発生する。しかし、このマイクロポンプでは、粒子がノズル拡散経路を遮断する可能性があり、バブル崩壊のためのパルスによりポンプチャンバーが破壊されるおそれがある。
注入する方法を開示している。導体及び不導体の液体は、液体チャンバー及び/またはマイクロフルイディック装置のチャネル内に配置される。エネルギー源には、チャンバーまたはチャネル内に蒸気バブルを形成するために、マイクロポンプが適用される。蒸気バブルの形成及び崩壊のサイクルは、マイクロポンプ内の液体を移送させるためのポンプの役割を果たす。
001に公開されたSongとZhaoによる文献「Modeling and test of thermally-driven phase change nonmechanical pump」には、熱駆動位相変化非機械マイクロポンプが発表されている。このポンプは、ガラスチューブと数個の均一空間に分布した熱元素とにより構成される。熱元素の電力制御により、ポンプはガラスチューブに沿って移動する熱元素の影響を受ける。この液体ポンプは、移動した熱元素が移動蒸気バブルを発生させる原理を利用したものである。しかしながら、このポンプは、10ワット以上の高い消費電力が要求される他、熱応答が遅く、位相成長が受動的制御によりなされる。
本発明5は、流体で満たされた流体貯蔵所と、前記流体貯蔵所と接続される流体で満たされたチャネルと、から形成されたパターンを有する基板と、前記基板の上部に位置するカバーと、前記チャネル内の流体を所定の移動方向に移動させるために、前記チャネルに注入されたガスバブルの、前記所定の移動方向に位置している先端付近の流体に所定のレベルで光を照射する移動光源と、を備えることを特徴とするマイクロ流体ポンプ装置を提供する。
<第1実施形態>
(1−1)マイクロ流体ポンプ装置の構造
図1は、本発明の一実施形態に係るマイクロ流体ポンプ装置の概略的な構造を示した斜視図である。図1のマイクロ流体ポンプ装置10は、基板5'と、カバー5と、光供給モジュール6(請求項における移動光源に相当する)とを含む。基板5'及びカバー5には、2つの流体貯蔵所2、2´の上部及び下部パターンと、2つのマイクロチャネル3(請求項におけるチャネルに相当する)、3´の上部及び下部パターンとが各々形成されている。光供給モジュール6は、カバー5上の所定高さにおいて、2つのマイクロチャネル3、3'のうち、いずれか1つのチャネルに沿って移動しながら光ビームを照射する。
(1−2)マイクロ流体ポンプ装置の動作
次に、本発明のマイクロ流体ポンプ装置10において、内部形成空間に適用される流体が満たされた後のポンプ動作を実施するための動作を説明する。まず、図2のように周辺空気、またはある非活性ガスに相応するガスバブル12は、注射器13によってカバー5に形成された微小な空隙14を介して対応するマイクロチャネル3、3'へ注入される。そしてガスバブル12は、光供給モジュール6から照射される光ビームの熱的な作用によって制御される毛細管力により駆動する。光ビームは、カバー5の透明壁を介して2つのマイクロチャネル3、3´に注入されたガスバブル12のうち、いずれかのマイクロチャネル(3、または3´)に注入されたガスバブル12近くの流体に投射され、注入された流体または基板の表面で吸収される。このような光ビームの熱的作用は、流体の毛細管圧力を減少させ、チャネル3を介してバブルの動きと共に流体を押し出す要因として作用する。
(1−3)ガスバブルを駆動する方法
マイクロスケールでよく知られた毛細管力は、流体動作に及ぼす他の力に比べて支配的である。このような毛細管力を制御する機構は、流体ポンプシステムの駆動メカニズムと関係している。提案する方法とは、注入された流体で満たされたマイクロチャネル3、3'に光ビーム22を投射し、光ビーム22の熱的な作用によって制御されたガスバブル12を駆動する方法である。なお、提案する方法は、ガスバブル12を駆動するために毛細管圧力を利用する。
εLambert法則で表される。
作用により生じる毛細管の圧力差ΔP=2cosθ△б/Rを生成する。これにより、ガス
バブル12及び流体ポンプが動作する。ここで、б´Tは温度表面張力係数、θは接触角、Rは曲率半径、ΔTはガスバブル12の両端間、即ち先端部24と先端部24の反対側の端部の温度差である。
(1−4)効果
光ビーム22を用いると、熱的な作用が流体の容量により直接的に吸収された光エネルギーによって生じるため、非常に効果的であり、t=10-10秒間で熱に変換される。
<第2実施形態>
(2−1)構成と作用
図4は、本発明の他の実施形態に係るマイクロ流体ポンプ装置の概略的な斜視図である。 マイクロ流体ポンプ装置110は、2つの石英板105、105´と、構造物層104と、光供給モジュール106(請求項の移動光源に相当)とを含む。構造物層104には、2つの石英板105、105´の間に、流体貯蔵所102、102´と2つのマイクロチャネル103、103´とが形成されている。光供給モジュール106は、上部の石英板105(請求項の第1平板に相当)上の所定の高さにおいて、2つのマイクロチャネル103、103´のうちのいずれかのチャネルに沿って移動しながら光ビームを照射するように設置されている。
部の石英板105を介して第1ガスバブル112近くの流体に投射される。注入過程において、第1ガスバブル112は、毛細管力によって、光ビームと共に最大速度Ub=0.3
mm/sで左側から右側へ移動し、同時に第2ガスバブル112´は、第1ガスバブルにより生成されたヘッド圧力によって右側から左側へ押される。
(2−2)効果
本発明のマイクロ流体ポンプ装置及び方法によると、マイクロスケール上で光を利用してガスバブルの制御を正確に行うことができる。したがって、機械的な移動部品やと抵抗ヒータを用いずマイクロチャネルを介してアクティブバブルの基盤としてバイオ流体または化学溶液を注入できる。
3、3´、103、103´:マイクロチャネル
5、105:カバー
5´、105´:基板
6、106:光供給モジュール
10、110:マイクロ流体ポンプ装置
12、112、112´:ガスバブル
13:注射器
14:微小な空隙
22:光ビーム
24:ガスバブルの先端
26、126:流体加熱領域
Claims (13)
- 流体で満たされた2つの流体貯蔵所と、前記2つの流体貯蔵所を各々接続し流体で満たされた2つのチャネルと、から形成されたパターンを有する基板と、
前記基板の上部に位置するカバーと、
前記基板及び/またはカバーに形成された微小な空隙を介して、前記2つのチャネルのうち、いずれかのチャネルに注入されたガスバブルの付近の流体に対し、一方の流体貯蔵所から他方の流体貯蔵所へ流体が移動されるように所定のレベルで光を照射する移動光源と、を備え、
前記移動光源は、前記チャネル内の流体の移動方向に位置しているガスバブルの先端部付近の流体に光を照射することを特徴とする、マイクロ流体ポンプ装置。 - 前記カバーは、透明材質の素材で形成されていることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロ流体ポンプ装置。
- 前記カバーは、光透過率の高い素材で形成されていることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロ流体ポンプ装置。
- 前記移動光源は、前記2つのチャネルのうち、いずれかのチャネルに沿って移動しながら光を照射することを特徴とする、請求項1に記載のマイクロ流体ポンプ装置。
- 流体で満たされた流体貯蔵所と、前記流体貯蔵所と接続される流体で満たされたチャネルと、から形成されたパターンを有する基板と、
前記基板の上部に位置するカバーと、
前記チャネル内の流体を所定の移動方向に移動させるために、前記チャネルに注入されたガスバブルの、前記所定の移動方向に位置している先端付近の流体に所定のレベルで光を照射する移動光源と、を備えることを特徴とする、マイクロ流体ポンプ装置。 - 第1平板と、
第2平板と、
前記第1平板と前記第2平板との間に位置しており、流体で満たされた2つの流体貯蔵所と、前記2つの流体貯蔵所を接続し流体で満たされた2つのチャネルと、を含む構造物層と、
前記第1平板及び/または第2平板に形成された微小な空隙を介して、前記2つのチャネルのうちいずれかのチャネルに注入されたガスバブル付近の流体に対し、一方の流体貯蔵所から他方の流体貯蔵所へ流体が移動されるように所定のレベルで光を照射する移動光源と、を備え、
前記移動光源は、前記チャネル内の流体の移動方向に位置しているガスバブルの先端部付近の流体に光を照射することを特徴とする、マイクロ流体ポンプ装置。 - 前記第1平板と前記第2平板とは、透明材質の素材で形成されていることを特徴とする、請求項6に記載のマイクロ流体ポンプ装置。
- 前記第1平板と前記第2平板とは、光透過率の高い素材で形成されていることを特徴とする、請求項6に記載のマイクロ流体ポンプ装置。
- 前記移動光源は、前記2つのチャネルのうち、いずれかのチャネルに沿って移動しながら光を照射することを特徴とする、請求項6に記載のマイクロ流体ポンプ装置。
- 第1平板と、
第2平板と、
前記第1平板と前記第2平板との間に位置しており、流体で満たされた流体貯蔵所と、前記流体貯蔵所を接続される流体で満たされたチャネルと、を含む構造物層と、
前記チャネル内の流体を所定の移動方向に移動させるために、前記チャネルに注入されたガスバブルの、前記所定の移動方向に位置している先端付近の流体に所定のレベルで光を照射する移動光源と、
を備えることを特徴とする、マイクロ流体ポンプ装置。 - 2つの流体貯蔵所と、前記2つの流体貯蔵所間の相互的な流体移送のための2つのチャネルとを有するマイクロ流体ポンプ装置のポンプ方法であって、
前記2つのチャネルのうち、いずれかのチャネルにガスバブルを注入するステップと、
注入された前記ガスバブルが移動し、流体が一方の前記流体貯蔵所から他方の前記流体貯蔵所へ移動するように、光源から照射される光ビームを少なくとも1つの前記ガスバブルに隣接した流体の所定部分に照射して、照射された流体の所定部分を加熱するステップと、を含み、
前記加熱するステップでは、
前記チャネル内の流体の移動方向に位置している前記ガスバブルの先端部付近の流体に前記光を照射することを特徴とする、マイクロ流体ポンプ装置のポンプ方法。 - 前記光ビームを照射するステップは、
前記チャネルに注入された前記ガスバブルに対して毛細管力を発生させるように光ビームを照射するステップと、
前記流体が前記2つのチャネルのうち、いずれかのチャネルに沿って移動して光ビームを照射するステップと、
を含むことを特徴とする、請求項11に記載のマイクロ流体ポンプ装置のポンプ方法。 - 流体貯蔵所と、前記流体貯蔵所間に接続されるチャネルとを有するマイクロ流体ポンプ装置のポンプ方法であって、
前記チャネルにガスバブルを注入するステップと、
前記チャネル内の流体を所定の移動方向に移動させるために、前記チャネルに注入されたガスバブルの、前記所定の移動方向に位置している先端付近の流体に所定のレベルで光を照射して、照射された流体の所定部分を加熱するステップと、
を含むことを特徴とする、マイクロ流体ポンプ装置のポンプ方法。
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