KR20050035002A - 액정표시장치용 노광장치 및 그것을 사용한 노광방법 - Google Patents

액정표시장치용 노광장치 및 그것을 사용한 노광방법 Download PDF

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Abstract

노광 공정시 마스크를 교체함으로써 발생하는 작업 손실을 개선할수 있는 액정표시장치용 노광장치 및 노광방법에 관한 것이다.
본 발명의 목적은, 멀티 모델 액정 패널 각각에 대응하는 마스크를 교체하는 과정을 개선하여 노광 작업 시간을 단축할 수 있는 노광 장치 및 노광 방법을 제공함에 있다.
본 발명은, 멀티 모델 액정 패널들이 위치하는 액정표시장치용 원판이 놓여지는 플레이트 스테이지와; 빛을 공급하는 광원시스템과; 다수의 마스크와; 다수의 마스크가 놓여지는 마스크 스테이지를 포함하며, 마스크 스테이지가 이동하여 다수의 마스크 각각에 대응하는 멀티 모델 액정 패널들을 노광하는 액정표시장치용 노광 장치 및 그것을 사용한 노광 방법을 제공한다.
본 발명은, 마스크 스테이지에 다수의 마스크를 위치시키고 마스크를 이동시켜 노광 공정을 진행함으로써 멀티 모델 액정 패널을 노광하는 과정에서 발생하는 작업 시간을 단축할 수 있으며, 다양한 액정 패널에 대한 노광 공정에 있어 유연한 대응이 가능한 효과가 있다.

Description

액정표시장치용 노광장치 및 그것을 사용한 노광방법{Light exposure device for liquid crystal display device and light exposure method using the same}
본 발명은 액정표시장치의 노광 공정을 진행하기 위한 노광장치 및 노광방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 노광 공정시 마스크를 교체함으로써 발생하는 작업 손실을 개선할수 있는 액정표시장치용 노광장치 및 노광방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 패널(liquid crystal panel)은 액정표시장치용 원판에 동일한 크기로 다수가 위치하여, 노광 공정, 세정 공정, 검사 공정 등의 여러 공정이 동일하게 진행되고 형성되며, 모든 공정이 진행된 후에 커팅되어 하나의 액정 패널이 완성된다.
위와 같이, 다수의 액정 패널이 하나의 액정표시장치용 원판에서 동일한 공정으로 형성됨으로써, 많은 양의 액정 패널을 효율적으로 생산할 수 있게 된다.
한편, 액정표시장치용 원판의 공정 효율을 더욱 증대시키기 위해, 서로 다른 크기를 가지는 액정 패널들이 하나의 액정표시장치용 원판에 위치하여 동일한 공정이 진행된다.
이하, 서로 다른 크기를 가지는 액정 패널들을 노광하기 위한 종래의 노광장치(100)와 노광방법에 대해 설명한다.
도 1은 종래의 노광장치(100)를 개략적으로 도시하고 있고, 도 2는 서로 다른 크기의 액정 패널을 노광하여 패턴(pattern)을 형성하기 위해 종래의 노광장치(100)에 장착되는 마스크(mask)를 도시하고 있다.
도시한 바와 같이, 노광장치(100)는 하나의 마스크(110)를 장착하여 노광 공정을 진행하게 된다.
노광장치(100)는, 빛을 조사하는 광원시스템(150 ; illumination system)과, 마스크(110)와, 마스크(110)가 놓여지며 일방향, 예를 들면 y 축 방향으로 이동 가능한 마스크 스테이지(120 ; mask stage)와, 액정표시장치용 원판(190)이 놓여지며 수평방향, 예를 들면 x 축 y 축 방향으로 이동 가능한 플레이트 스테이지(plate stage)(140)와, 마스크(110)를 통과한 빛이 액정 패널에 바람직하게 조사되도록 하는 미러 시스템(130 ; mirror system)을 구비한다.
광원시스템(150)은, 노광 공정을 진행하기 위한 자외선(ultra-violet : UV)과 같은 빛을 방출한다. 일정한 출력 조도로 빛이 방출되는데, 대략 2300mW/㎠~2500mW/㎠의 조도값으로 빛이 방출된다.
마스크(110)에는, 노광 공정시 액정 패널에 대응하는, 동일한 패턴을 가지는 두 개의 패턴 형태(112)가 배치되어 있으며, 서로 다른 크기의 액정 패널을 노광하기 위해서 마스크(110)는 교체된다.
마스크 스테이지(120)는 마스크(110)가 놓여지는 지지체로서, y 축 방향으로 이동이 가능하다. 마스크 스테이지(120) 상에는 하나의 마스크(110)가 놓여진다.
플레이트 스테이지(140)는, 액정표시장치용 원판(190)이 놓여지는 지지체로서, x 축 y 축 방향으로 이동하여 액정 패널이 노광되도록 한다.
미러 시스템(130)은 반사경을 이용하여 마스크(110)를 통과한 빛을 액정 패널에 정밀하게 조사한다. 미러 시스템(130)은 다수의 반사경(미도시)을 사용하여 빛을 반사시키게 되는데, 사용되는 반사경은 사다리꼴 반사경(trapezoidal mirror)와, 오목 반사경(concave mirror), 볼록 반사경(convex mirror)이 사용된다. 위와 같은 반사경을 통해 반사된 빛은 정밀하게 액정 패널에 조사된다.
전술한 바와 같은 종래의 노광장치(100)는 하나의 마스크(110)를 사용하여 액정 패널을 노광하게 된다.
이하, 종래의 노광장치(100)를 사용하여 서로 다른 크기를 가지는 액정 패널을 노광하는 방법을 설명한다.
도 3은 액정 패널(195a, 195b)과, 액정 패널(195a, 195b)을 노광하기 위한 마스크(110)를 도시하고 있다. 액정 패널(195a, 195b)은 서로 다른 크기를 가지는 제 1 액정 패널(195a)과, 제 2 액정 패널(195b)로 나뉘어져 액정표시장치용 원판(190)에 배치되어 있다.
먼저 제 1 액정 패널(195a)들을 노광하기 위해 제 1 액정 패널(195a)들에 대응하는 마스크(110)를 마스크 스테이지(도 1의 120 참조)에 위치시킨다. 그리고, 제 1 액정 패널(195a)들에 대응하는, 동일한 두 개의 패턴 형태(112)가 마스크(110)에 배치되어 있다.
제 1 액정 패널(195a)들에 대응하는 마스크(110)를 통해, 제 1 액정 패널(195a)들을 노광하게 된다. S1->S2->S3->S4->S5->S6의 순서로 마스크(110)를 사용하여 노광 공정을 진행하게 되면, 액정표시장치용 원판(190) 상에 위치하는 제 1 액정 패널(195a)들은 전체가 노광된다.
제 1 액정 패널(195a)들을 노광한 후에, 제 2 액정 패널(195b)들을 노광하게 된다. 제 2 액정 패널(195b)들을 노광하기 위해서, 제 2 액정 패널(195b)과 대응하는 패턴 형태(미도시)를 가지는 마스크(미도시)를 마스크 스테이지에 위치시키게 된다. 따라서, 제 1 액정 패널(195a)들에 대응하는 마스크(110)를 마스크 스테이지에서 제거하고, 제 2 액정 패널(195b)들에 대응하는 마스크를 위시키는 과정이 필요하게 된다.
위와 같은 마스크 교체 과정 후에, 제 2 액정 패널(195b)을 노광하게 되는데, S7->S8->S9와 같은 순서로 노광 공정이 진행된다.
전술한 바와 같이, 종래의 노광장치(100)는 하나의 마스크(110)를 장착하게 되고, 서로 다른 크기의 액정 패널(195a, 195b)을 노광하기 위해서, 마스크(110)를 교체해야 하는 번거로움이 발생하게 된다.
노광 공정을 진행하기 위해 마스크(110)를 교체해야 함에 따라, 마스크(110) 교체에 따른 작업 시간이 손실되는 문제가 발생하게 된다. 또한, 동일한 패턴 형태(112)를 가지는 마스크(110)를 사용함에 따라, 액정 패널(195a, 195b)을 노광하는 노광 공정 시간이 증가하는 문제가 발생하게 된다.
전술한 바와 같은 문제를 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 액정표시장치용 원판 상에 서로 다른 크기를 가지는 액정 패널을 노광하기 위해 서로 다른 액정 패널 각각에 대응하는 마스크를 교체하는 과정을 개선하여 노광 작업 시간을 단축할 수 있는 노광 장치 및 노광 방법을 제공함에 있다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 서로 다른 크기의 멀티 모델 액정 패널들이 위치하는 액정표시장치용 원판이 놓여지며, 상기 액정표시장치용 원판과 평행한 방향으로 이동 가능한 플레이트 스테이지와; 빛을 공급하는 광원시스템과; 다수의 마스크와; 상기 다수의 마스크가 놓여지며, 상기 액정표시장치용 원판과 평행한 방향으로 이동 가능한 마스크 스테이지를 포함하며, 상기 마스크 스테이지가 이동함으로써 상기 다수의 마스크 각각에 대응하는 상기 멀티 모델 액정 패널들을 노광하는 액정표시장치용 노광장치를 제공한다.
여기서, 상기 마스크는 상기 마스크 스테이지에 두 개가 놓여질 수 있다. 상기 두 개의 마스크는 제 1 마스크와 제 2 마스크로 나뉘어지며, 상기 제 1 마스크는 패턴이 서로 동일한 패턴 형태가 배치되고, 상기 제 2 마스크는 패턴이 서로 상이한 패턴 형태가 배치될 수 있다.
또한, 상기 두 개의 마스크는 제 1 마스크와 제 2 마스크로 나뉘어지며, 상기 제 1 마스크와 상기 제 2 마스크 각각은, 패턴이 서로 동일한 패턴 형태가 배치될 수 있다. 상기 제 1 마스크에 배치된 패턴 형태와 상기 제 2 마스크에 배치된 패턴 형태는 서로 다른 패턴을 가질 수 있다.
다른 측면에서, 본 발명은, a) 서로 다른 크기의 멀티 모델 액정 패널이 위치하며 M 개의 영역으로 나뉘어진 액정표시장치용 원판이 플레이트 스테이지에 놓여지고, 상기 M 개의 영역 각각에 대응하는 M 개의 마스크가 마스크 스테이지에 놓여지는 단계와; b) 상기 a) 단계 후에, 상기 M 개의 영역 중 제 n 영역을 상기 n 영역에 대응하는 마스크를 사용하여 노광 공정을 진행하는 단계와; c) 상기 a) 단계를 진행한 후에, 상기 제 n 영역과 다른 제 k 영역에 대해 노광 공정을 진행하기 위해, 상기 k 영역에 대응하는 마스크를 상기 k 영역에 대응하도록 상기 마스크 스테이지가 이동하는 단계를 포함하고, 상기 c) 단계를 진행한 후에 상기 멀티 모델 액정 패널 전체를 노광할때까지 상기 b) 단계와 상기 c) 단계를 순차적으로 반복 진행하는 액정표시장치 노광방법을 제공한다.
여기서, 상기 액정표시장치용 원판은 제 1 영역과 제 2 영역으로 나뉘어지고, 상기 두 개의 마스크는 제 1 마스크와 제 2 마스크로 나뉘어지며, 상기 제 1 영역은 상기 제 1 마스크와 대응되고, 상기 제 2 영역은 상기 제 2 마스크에 대응되어 노광 공정이 진행될 수 있다.
상기 제 1 마스크는 패턴이 서로 동일한 패턴 형태가 배치되고, 상기 제 2 마스크는 패턴이 서로 상이한 패턴 형태가 배치되어 노광 공정이 진행될 수 있다.
또한, 상기 제 1 마스크와 상기 제 2 마스크 각각은, 패턴이 서로 동일한 패턴 형태가 배치되어 노광 공정이 진행될 수 있다. 상기 제 1 마스크에 배치된 패턴 형태와 상기 제 2 마스크에 배치된 패턴 형태는 서로 다른 패턴을 가져 노광 공정이 진행될 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 노광장치(200)를 개략적으로 도시하고 있고, 도 5는 서로 다른 크기의 액정 패널을 노광하여 패턴을 형성하기 위해 본 발명의 실시예에 따른 노광장치(200)에 장착되는 마스크(210a, 21b)를 도시하고 있다.
도시한 바와 같이, 본 발명의 노광장치(200)는 두 개의 마스크(210a, 210b)를 장착하여, 노광 공정시 마스크(210a, 210b)를 교체하지 않고 선택적으로 노광에 필요한 마스크(210a, 210b)를 위치시킬 수 있게 된다.
노광장치(200)는, 빛을 조사하는 광원시스템(250)과, 마스크(210a, 210b)와, 마스크(210a, 210b)가 놓여지며, 수평방향 예를 들면 x 축 y 축 방향으로 이동 가능한 마스크 스테이지(220)와, 액정표시장치용 원판(290)이 놓여지며 수평방향, 예를 들면 x 축 y 축 방향으로 이동 가능한 플레이트 스테이지(240)와, 마스크(210a, 210b)를 통과한 빛이 액정 패널에 바람직하게 조사되도록 하는 미러 시스템(230)을 구비한다.
광원시스템(250)은, 노광 공정을 진행하기 위한 자외선과 같은 빛을 방출하며, 일정한 출력 조도로 빛을 방출한다.
마스크(210a, 210b)는 서로 다른 제 1, 2 마스크(210a, 210b)가 마스크 스테이지(220) 상에 위치한다. 제 1 마스크(210a)는 동일한 패턴을 가지는 두 개의 제 1 패턴 형태(212a)가 배치되어 있으며, 제 2 마스크(210b)는 서로 다른 패턴을 가지는 제 1, 2 패턴 형태(212, 213)가 배치되어 있다.
서로 다른 크기를 가지는 액정 패널을 노광 하는 과정에서, 제 1 마스크(210a)와 제 2 마스크(210b)를 선택적으로 액정 패널들에 대응하여 위치시키게 된다.
마스크 스테이지(220)는 마스크(210a, 210b)가 놓여지는 지지체로서, 액정표시장치용 원판(290)과 수평하게 이동가능한데, 예를 들면 x 축 y 축 방향으로 이동이 가능하다. 마스크 스테이지(220)는 x 축 방향으로 이동함으로써, 노광 공정시 제 1, 2 마스크(210a, 210b)를 선택적으로 사용하도록 한다.
플레이트 스테이지(240)는, 액정표시장치용 원판(290)이 놓여지는 지지체로서, x 축 y 축 방향으로 이동하여 액정 패널이 노광되도록 한다.
미러 시스템(230)은 반사경을 이용하여 마스크(210a, 210b)를 통과한 빛을 액정 패널에 정밀하게 조사한다. 미러 시스템(230)은 다수의 반사경을 사용하여 빛을 반사시키게 되는데, 사용되는 반사경은 사다리꼴 반사경(trapezoidal mirror)와, 오목 반사경(concave mirror), 볼록 반사경(convex mirror)이 사용된다. 위와 같은 반사경을 통해 반사된 빛은 정밀하게 액정 패널에 조사된다.
전술한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 노광장치(200)는 마스크 스테이지(220)에 놓여진 두 개의 마스크(210a, 210b)를 선택적으로 이동시켜 사용함으로써, 서로 다른 크기의 액정 패널을 효과적으로 노광하게 된다.
이하, 본 발명의 실시예에 따라, 제 1, 2 마스크(210a, 210b)를 선택적으로 사용할 수 있는 노광장치(200)를 사용하여 서로 다른 크기를 가지는 액정 패널들을 노광하는 방법을 설명한다.
도 6은 액정 패널(295a, 295b)과, 액정 패널(295a, 295b)을 노광하기 위한 마스크(210a, 210b)를 도시하고 있다. 액정 패널(295a, 295b)은 서로 다른 크기를 가지는 제 1 액정 패널(295a)과, 제 2 액정 패널(295b)로 나뉘어져 액정표시장치용 원판(290)에 배치되어 있다. 그리고, 노광장치(200)에 장착되는 마스크(210a, 210b)는 제 1, 2 마스크(210a, 210b)로 나뉘어져 있으며, 노광 공정시 이동되어 선택적으로 사용 가능하다.
먼저 M1 영역에 위치하는 제 1 액정 패널(295a)들을 노광하기 위해 제 1 액정 패널(295a)들과 제 1 마스크(210a)를 대응시킨다. 여기서, 제 1 액정 패널(295a)에 대응하는 동일한 두 개의 제 1 패턴 형태(212)가 제 1 마스크(210a)에 배치되어 있다.
제 1 액정 패널(295a)들에 대응하는 제 1 마스크(210a)를 통해, 제 1 액정 패널(295a)들을 노광하게 된다. S1->S2->S3의 순서로 제 1 마스크(210a)를 사용하여 노광 공정을 진행하게 되면, M1 영역 내에 위치하는 제 1 액정 패널(295a)들은 전체가 노광된다.
M1 영역 내에 위치하는 제 1 액정 패널(295a)들을 노광한 후에, M2 영역 내에 위치하는 제 1 액정 패널(295a)들과 제 2 액정 패널(295b)들을 노광하게 된다.
M2 영역 내에 위치하는 제 1 액정 패널(295a)들과 제 2 액정 패널(295b)들을 노광하기 위해서, 서로 다른 제 1, 2 패턴 형태(212, 213)를 가지는 제 2 마스크(210b)를 사용하게 된다. 여기서, 제 2 패턴 형태(213)는 제 2 액정 패널(295b)과 대응된다. 제 2 마스크(210b)를 노광 공정에 사용하기 위해, 마스크 스테이지(220)를 x 축으로 이동하게 된다.
제 1 액정패널(295a)과 제 1 패턴 형태(212)가 대응되도록, 제 2 액정패널(295b)과 제 2 패턴 형태(213)가 대응되도록 하여, S4->S5->S6의 순서로 제 2 마스크(210b)를 사용하여 노광 공정을 진행하게 되면, M2 영역 내에 위치하는 제 1 액정 패널(295a)들과 제 2 액정 패널(295b)들은 전체가 노광된다.
전술한 바에 있어서, 제 1 마스크(210a)는 동일한 두 개의 제 1 패턴 형태(212)로 이루어지며, 제 2 마스크(210b)는 서로 다른 제 1, 2 패턴 형태(212, 213)로 이루어져, 제 1 마스크(210a)와 제 2 마스크(210b)를 선택적으로 이동함으로써, 액정표시장치용 원판(200) 상에 위치하는 제 1 액정 패널(295a)들과 제 2 액정 패널(295b)들을 노광하게 된다.
한편, 도 7은 도 6에 도시한 액정표시장치용 원판(290)과 다른 액정 패널(295a, 295b) 배치 구조를 가지며, 그와 같은 배치 구조를 가지는 액정표시장치용 원판(290)을 노광하기 위한 마스크(210a, 210b)를 도시하고 있다.
도시한 바와 같이, 제 1 마스크(210a)는 제 1 액정 패널(295a)과 대응하는 제 1 패턴 형태(212)로 이루어지며, 제 2 마스크(210b)는 제 2 액정 패널(295b)과 대응하는 제 2 패턴 형태(213)로 이루어진다.
이하, 도 7에 도시한 바와 같은 구조를 가지는 액정표시장치용 원판(290)을 노광하는 방법을 설명한다.
먼저 M1 영역에 위치하는 제 1 액정 패널(295a)들을 노광하기 위해 제 1 액정 패널(295a)들과 제 1 마스크(210a)를 대응시킨다.
제 1 액정 패널(295a)들에 대응하는 제 1 마스크(210a)를 통해, 제 1 액정 패널(295a)들을 노광하게 된다. S1->S2->S3의 순서로 제 1 마스크(210a)를 사용하여 노광 공정을 진행하게 되면, M1 영역 내에 위치하는 제 1 액정 패널(295a)들은 전체가 노광된다.
M1 영역 내에 위치하는 제 1 액정 패널(295a)들을 노광한 후에, M2 영역 내에 위치하는 제 2 액정 패널(295b)들을 노광하게 된다.
M2 영역 내에 위치하는 제 2 액정 패널(295b)들을 노광하기 위해서 마스크 스테이지(220)를 x 축으로 이동시켜, 제 2 액정 패널(295b)과 대응하는 제 2 마스크(210b)를 대응시킨다.
제 2 액정 패널(295b)들에 대응하는 제 2 마스크(210b)를 통해, 제 2 액정 패널(295b)들을 노광하게 된다. S4->S5->S6의 순서로 제 2 마스크(210b)를 사용하여 노광 공정을 진행하게 되면, M2 영역 내에 위치하는 제 2 액정 패널(295b)들은 전체가 노광된다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따라, 마스크 스테이지(220) 상에 제 1, 2 마스크(210a, 210b)를 장착하게 되면, 노광 공정시 마스크(210a, 210b)를 교체하지 않고 마스크 스테이지(220)를 이동함으로써 선택적으로 노광에 필요한 마스크(210a, 210b)를 위치시킬 수 있게 되어, 서로 다른 크기를 가지는 액정 패널(295a, 295b)을 효과적으로 노광할 수 있다. 그리고, 액정 패널(295a, 295b)의 배치 구조에 따라 마스크(210a, 210b) 내에 형성된 패턴 형태를 변형하여 적용함으로써 효율적으로 액정 패널(295a, 295b)을 노광할 수 있다.
따라서, 서로 다른 액정 패널(295a, 295b)이 배치된 액정표시장치용 원판(290)을 노광함에 있어, 작업 시간을 감소할 수 있고 다양한 액정 패널(295a, 295b) 크기 및 배치에 따라 유연하게 대응하여 노광할 수 있게 된다.
전술한 본 발명의 실시예는, 본 발명에 있어서 하나의 실시예에 지나지 않으며, 다양한 크기의 액정 패널에 대응하여 마스크 스테이지 상에 위치하여 이동 가능한 마스크의 개수와, 마스크 내에 형성된 패턴 형태의 배치 등에 대해서는 본 발명의 정신에 포함되는 한 다양한 변형이 가능하며, 그와 같은 변형이 본 발명의 권리 범위에 속한다 함은 자명한 사실이다.
전술한 바와 같이, 본 발명은, 마스크 스테이지 상에 두 개의 마스크를 위치시키고 필요에 따라 선택적으로 마스크를 이동시켜 노광 공정을 진행함으로써 액정표시장치용 원판 상에 배치된 서로 다른 크기를 가지는 액정 패널을 노광하는 과정에서 발생하는 작업 시간을 단축할 수 있으며, 다양한 액정 패널에 대한 노광 공정에 있어 유연한 대응이 가능한 효과가 있다.
도 1은 하나의 마스크를 장착한 종래의 노광장치를 도시한 단면도.
도 2는 종래의 노광장치에서 마스크와, 마스크 스테이지 및 플레이트 스테이지를 도시한 평면도.
도 3은 종래의 노광장치에 장착된 마스크를 사용하여, 액정표시장치용 원판 상에 배치된 서로 다른 크기의 액정 패널을 노광하는 방법을 도시한 평면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따라, 마스크 스테이지 상에 두 개의 마스크가 위치하는 노광장치를 도시한 단면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따라, 두 개의 마스크와, 마스크 스테이지 및 플레이트 스테이지를 도시한 평면도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 노광장치에 장착된 두 개의 마스크를 사용하여, 액정표시장치용 원판상에 배치된 서로 다른 크기의 액정 패널을 노광하는 방법을 도시한 평면도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 노광장치에 장착된 두 개의 마스크를 사용하여, 도 6과 다른 액정표시장치용 원판상에 배치된 서로 다른 크기의 액정 패널을 노광하는 방법을 도시한 평면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
200 : 노광장치 210a, 210b : 마스크
220 : 마스크 스테이지 230 : 미러 시스템
240 : 플레이트 스테이지 250 : 광원 시스템
290 : 액정표시장치용 원판

Claims (10)

  1. 서로 다른 크기의 멀티 모델 액정 패널들이 위치하는 액정표시장치용 원판이 놓여지며, 상기 액정표시장치용 원판과 평행한 방향으로 이동 가능한 플레이트 스테이지와;
    빛을 공급하는 광원시스템과;
    다수의 마스크와;
    상기 다수의 마스크가 놓여지며, 상기 액정표시장치용 원판과 평행한 방향으로 이동 가능한 마스크 스테이지를 포함하며,
    상기 마스크 스테이지가 이동함으로써 상기 다수의 마스크 각각에 대응하는 상기 멀티 모델 액정 패널들을 노광하는,
    액정표시장치용 노광장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 마스크는 상기 마스크 스테이지에 두 개가 놓여지는 액정표시장치용 노광장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 두 개의 마스크는 제 1 마스크와 제 2 마스크로 나뉘어지며,
    상기 제 1 마스크는 패턴이 서로 동일한 패턴 형태가 배치되고,
    상기 제 2 마스크는 패턴이 서로 상이한 패턴 형태가 배치되는 액정표시장치용 노광장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 두 개의 마스크는 제 1 마스크와 제 2 마스크로 나뉘어지며,
    상기 제 1 마스크와 상기 제 2 마스크 각각은, 패턴이 서로 동일한 패턴 형태가 배치되는 액정표시장치용 노광장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 마스크에 배치된 패턴 형태와 상기 제 2 마스크에 배치된 패턴 형태는 서로 다른 패턴을 가지는 액정표시장치용 노광장치.
  6. a) 서로 다른 크기의 멀티 모델 액정 패널이 위치하며 M 개의 영역으로 나뉘어진 액정표시장치용 원판이 플레이트 스테이지에 놓여지고, 상기 M 개의 영역 각각에 대응하는 M 개의 마스크가 마스크 스테이지에 놓여지는 단계와;
    b) 상기 a) 단계 후에, 상기 M 개의 영역 중 제 n 영역을 상기 n 영역에 대응하는 마스크를 사용하여 노광 공정을 진행하는 단계와;
    c) 상기 a) 단계를 진행한 후에, 상기 제 n 영역과 다른 제 k 영역에 대해 노광 공정을 진행하기 위해, 상기 k 영역에 대응하는 마스크를 상기 k 영역에 대응하도록 상기 마스크 스테이지가 이동하는 단계를 포함하고,
    상기 c) 단계를 진행한 후에 상기 멀티 모델 액정 패널 전체를 노광할때까지 상기 b) 단계와 상기 c) 단계를 순차적으로 반복 진행하는
    액정표시장치 노광방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 액정표시장치용 원판은 제 1 영역과 제 2 영역으로 나뉘어지고, 상기 두 개의 마스크는 제 1 마스크와 제 2 마스크로 나뉘어지며,
    상기 제 1 영역은 상기 제 1 마스크와 대응되고, 상기 제 2 영역은 상기 제 2 마스크에 대응되어 노광 공정이 진행되는 액정표시장치 노광방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 마스크는 패턴이 서로 동일한 패턴 형태가 배치되고,
    상기 제 2 마스크는 패턴이 서로 상이한 패턴 형태가 배치되어 노광 공정이 진행되는 액정표시장치 노광방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 마스크와 상기 제 2 마스크 각각은, 패턴이 서로 동일한 패턴 형태가 배치되어 노광 공정이 진행되는 액정표시장치 노광방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 마스크에 배치된 패턴 형태와 상기 제 2 마스크에 배치된 패턴 형태는 서로 다른 패턴을 가져 노광 공정이 진행되는 액정표시장치 노광방법.
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