KR100971958B1 - 액정 패널 제작 시스템 및 제작 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 서로 다른 크기를 가지는 멀티 모델 액정 패널을 제작하기 위한 제작 시스템 및 제작방법에 관한 것이다.
본 발명의 목적은, 멀티 모델 액정 패널을 제작함에 있어, 멀티 모델 액정 패널 각각에 대응하는 노광기를 별도로 구비하여 노광공정을 진행함으로써 원하지 않는 위치에 액정 패널이 형성되어 불량이 발생하는 문제를 해결할 수 있는 멀티 모델 액정 패널 제작 시스템 및 제작 방법을 제공함에 있다.
본 발명은, 기판 상에 서로 다른 크기를 가지는 다수의 액정 패널을 제작하기 위한 액정 패널 제작 시스템으로서, 기판 상에 감광성물질을 도포하는 도포기와; 상기 감광성물질을 노광하며, 상기 다수의 액정 패널에 대응되는 마스크를 각각 구비하는 다수의 노광기와; 노광된 상기 감광성물질을 현상하기 위한 현상기와; 상기 마스크와 위치정렬을 하기 위한 위치정렬마크를 형성하는 마크 표시기를 포함하는 액정 패널 제작 시스템을 제공한다.
본 발명은, 액정표시장치용 원판 또는 포토레지스트에 위치정렬마크를 형성함으로써, 멀티 모델 액정 패널을 원하는 위치에 형성할 수 있게 된다. 따라서, 액정 패널의 배치 효율이 증가하는 효과가 있다.

Description

액정 패널 제작 시스템 및 제작 방법{Multi model liquid crystal panel manufacturing system and method}
도 1은 액정표시장치용 원판 상에 동일한 크기의 액정 패널을 도시한 평면도.
도 2는 액정표시장치용 원판 상에 서로 다른 크기으 멀티 모델 액정 패널을 도시한 평면도.
도 3은 멀티 모델 액정 패널을 형성하기 위한 종래의 제작 시스템을 도시한 블록도.
도 4는 멀티 모델 액정 패널을 형성하기 위한 노광기를 도시한 단면도.
도 5는 종래의 제작 시스템을 사용하여 멀티 모델 액정 패널을 형성하는 방법을 도시한 흐름도.
도 6a와 6b는 종래의 제작 시스템을 사용하여 멀티 모델 액정 패널이 형성되는 과정을 도시한 평면도.
도 7은 종래의 제작 시스템을 사용하여 원하지 않는 부분에 형성된 멀티 모델 액정 패널을 도시한 평면도.
도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 멀티 모델 액정 패널들을 형성하기 위 한 멀티 모델 액정 패널 제작 시스템을 도시한 블록도.
도 9는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 위치정렬 마크가 형성된 멀티 모델 액정 패널을 도시한 평면도이다.
도 10은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 멀티 모델 액정 패널을 형성하는 방법을 도시한 흐름도.
도 11a와 11b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치용 기판에 위치정렬 마크를 형성하는 방법을 도시한 단면도.
도 12는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 멀티 모델 액정 패널들을 형성하기 위한 멀티 모델 액정 패널 제작 시스템을 도시한 블록도.
도 13은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 멀티 모델 액정 패널을 형성하는 방법을 도시한 흐름도.
도 14a와 14b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 포토레지스트에 위치정렬 마크를 형성하는 방법을 도시한 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
200 : 노광기 210 : 조명계
220 : 스테이지 250 : 로봇
260 : 도포기 270 : 현상기
280 : 마크 표시기
본 발명은 서로 다른 크기를 가지는 멀티 모델 액정 패널을 제작하기 위한 제작 시스템 및 제작방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 패널(liquid crystal panel)은 액정표시장치용 원판에 다수가 위치하여, 노광 공정, 세정 공정, 검사 공정 등의 여러 공정이 동일하게 진행되고 형성되며, 모든 공정이 진행된 후에 커팅되어 하나의 액정 패널이 완성된다.
위와 같이, 다수의 액정 패널이 하나의 액정표시장치용 원판에서 동일한 공정으로 형성됨으로써, 많은 양의 액정 패널을 효율적으로 생산할 수 있게 된다.
도 1은 하나의 액정표시장치용 원판(10) 상에 동일한 공정을 거쳐 형성되는 다수의 액정 패널(20)을 도시하고 있다. 도시한 바와 같이, 일반적으로 다수의 액정 패널(20)은 동일한 크기로 형성된다.
한편, 액정 패널의 공정 효율을 더욱 증대시키기 위해, 서로 다른 크기를 가지는 멀티 모델(muti model) 액정 패널들이 하나의 액정표시장치용 원판에 위치하여 동일한 공정이 진행된다.
도 2는 하나의 액정표시장치용 원판(30) 상에 서로 다른 크기를 가지며 형성된 멀티 모델 액정 패널(40, 41)이 배치된 것을 도시하고 있다.
서로 다른 크기를 가지는 액정 패널(40, 41)들이 하나의 액정표시장치용 원판(30) 상에 형성됨으로써, 액정표시장치용 원판(30)의 공간 효율을 극대화 할 수 있게 된다. 또한, 다양한 크기의 액정 패널(40, 41)을 하나의 액정표시장치용 원판(30)에 생산할 수 있게 되어, 다양한 크기의 액정 패널(40, 41) 제작 요구에 유연하게 대응할 수 있게 된다.
도 3은 멀티 모델 액정 패널들을 하나의 액정표시장치용 원판에 형성하기 위한 종래의 제작 시스템을 도시한 블록도이며, 도 4는 멀티 모델 액정 패널을 노광하기 위한 노광기를 대략적으로 도시한 단면도이다. 그리고, 도 5는 도 3의 제작시스템를 사용하여 멀티 모델 액정 패널을 형성하는 방법을 도시한 흐름도이고, 도 6a은 6b는 도 3의 제작시스템을 사용하여 형성된 멀티 모델 액정 패널을 도시한 평면도이다.
멀티 모델 액정 패널(140, 141)을 제작하기 위한 시스템은, 포토레지스트(photoresist)를 도포하기 위한 도포기(160)와, 액정표시장치용 원판(130)을 주변기기로 이동시키기 위한 이동수단으로서 로봇(150 ; robot)과, 서로 다른 크기의 액정 패널(140, 141)을 노광하기 위한 두 개의 노광기(100)와, 현상공정을 진행하기 위한 현상기(170)를 구비한다.
도포기(160)는 노광 공정을 진행하기 전에, 감광성 수지로 이루어지는 포토레지스트를 액정표시장치용 원판(130) 상에 도포한다.
로봇(150)은, 각 공정 사이에 액정표시장치용 원판(130)을 이동시키는 이동수단으로서, 액정표시장치용 원판(130)을 도포기(160)와 제 1 노광기(100a) 또는 제 2 노광기(100b) 사이로 이동시키고, 제 1 노광기(100a)와 제 2 노광기(100b) 사이로 이동시키고, 제 1 노광기(100a) 또는 제 2 노광기(100b)와 현상기(170) 사이 로 이동시킨다.
노광기(100)는, 액정표시장치용 원판(130)이 놓여지며 액정표시장치용 원판(130)을 수평으로 이동시키는 스테이지(120)와, 스테이지(120) 상에 놓여진 액정표시장치용 원판(130)을 노광하기 위한 조명계(110)로 이루어진다.
조명계(110)는 액정표시장치용 원판(130)에 빛을 조사하기 위한 것으로서, 빛을 공급하기 위한 광원 시스템(105 ; illumination system)과, 패턴이 형성된 마스크(106 ; mask)와, 반사경을 통해 조사되는 빛을 정밀하게 제어하는 미러 시스템(107 ; mirror system)으로 이루어진다. 광원 시스템(105)으로부터 방출된 빛은 마스크(106)의 패턴(pattern)을 통과하여 미러 시스템(107)을 통해 액정표시장치용 원판(130)에 조사된다.
스테이지(120)는 수평방향으로 이동이 가능하여 액정표시장치용 원판(130) 상에서 패턴이 형성될 부분을 마스크(106)와 대응시키게 된다.
현상기(170)는 노광기(100)로부터 노광공정이 진행된 액정표시장치용 원판(130)에 대해 현상액을 사용하여 포토레지스트 패턴을 현상하게 된다.
이하, 도 3 내지 도 6a 및 6b를 참조하여, 멀티 모델 액정 패널 제작 시스템을 이용하여 멀티 모델 액정 패널을 제작하는 방법을 설명한다.
먼저, 도포기(160)를 사용하여 박막이 증착된 액정표시장치용 원판(130)에 포토레지스트를 도포한다.(S100) 사용되는 포토레지스트는, 빛을 받은 부분이 현상되는 파지티브 타입(positive type)과 빛을 받지 않은 부분이 현상되는 네거티브 타입(negative type) 중 선택된 하나를 사용한다.
포토레지스트 도포 후에, 로봇(150)을 사용하여, 도포기(160)에서 제 1 노광기(100a)로 액정표시장치용 원판(130)을 이동시킨다.(S110) 액정표시장치용 원판(130)은 제 1 노광기(100a)의 스테이지(120a)에 놓여진다.
제 1 노광기(100a)의 스테이지(120a)로 이동된 액정표시장치용 원판(130)은, 제 1 액정 패널(140)에 대응되는 마스크를 사용하여 제 1 노광기(100a)의 조명계(110a)를 통해 노광된다.(S120) 제 1 노광기(100a)로 제 1 액정 패널(140)이 형성될 부분에 노광 공정을 진행한다.
제 1 노광기(100a)로 노광한 후에, 로봇(150)을 사용하여 제 1 노광기(100a)에서 제 2 노광기(100b)로 액정표시장치용 원판(130)을 이동시킨다.(S130) 액정표시장치용 원판(130)은 제 2 노광기(100b)의 스테이지(120b)에 놓여진다.
제 2 노광기(100b)의 스테이지(120b)로 이동된 액정표시장치용 원판(130)은, 제 2 액정 패널(141)에 대응되는 마스크를 사용하여 제 2 노광기(100b)의 조명계(110b)를 통해 노광된다.(S140) 제 2 노광기(100b)로 제 2 액정 패널(141)이 형성될 부분에 노광 공정을 진행한다.
제 2 노광기(100b)로 노광한 후에, 로봇(150)을 사용하여 제 2 노광기(100b)에서 현상기(170)로 액정표시장치용 원판(130)을 이동시켜 현상 공정을 진행한다. (S150, S160)
현상 공정을 진행하게 되면, 제 1 노광기(100a)와 제 2 노광기(100b)를 통해 노광된 액정표시장치용 원판(130)에서 제 1 액정 패널(140)과 제 2 액정 패널(141)이 형성될 부분 각각에 대응하여 포토레지스트 패턴(미도시)이 형성된다.
현상 공정 후에, 식각 공정을 진행하고, 액정표시장치용 원판(130) 상에 형성된 포토레지스트 패턴을 제거하게 되면, 제 1 액정 패널(140)과 제 2 액정 패널(141)이 형성된다.
전술한 바와 같이, 멀티 모델 액정 패널(140, 141)을 형성하기 위해, 각 액정 패널(140, 141)을 노광하기 위한 노광기(100)가 개별적으로 사용된다. 제 1 액정 패널(140)과 제 2 액정 패널(141)을 노광하기 위한 노광기(100)를 개별적으로 구비하여, 멀티 모델 액정 패널(140, 141)을 형성하게 된다.
그런데, 제 1 노광기(100a)로 노광한 후, 제 2 노광기(100b)로 노광하여 멀티 모델 액정 패널(140, 141)을 형성함에 있어, 제 2 액정 패널(141)이 원하는 위치에 형성되지 않는 문제가 발생하게 된다. 그와 같은 문제는, 로봇(150)을 통해 두 대의 서로 다른 노광기(100)에 액정표시장치용 원판(130)을 위치시키는 과정에서 발생하게 된다. 노광기(100)는 위치정렬(alignment) 과정을 진행하는 과정에서 정밀도의 한계로 인해, 노광 공정시 원하는 부분에 노광되지 않을 수 있게 된다.
도 7은 전술한 바와 같은 문제로 인해, 액정표시장치용 원판(130) 상의 원하지 않는 부분에 제 2 액정 패널(141b)이 형성된 모습을 도시하고 있다. 도시한 바와 같이, 점선으로 표시된 부분에 제 2 액정 패널(141a)이 형성되어야 하나, 위치 정렬의 문제로 인해 원하지 않는 부분에 제 2 액정 패널(141b)이 형성되어 있다.
전술한 바와 같이 멀티 모델 액정 패널(140, 141)이 원하는 위치에 형성되지 않게 되면, 액정 패널(140, 141)의 합착 공정에서 박막트랜지스터(thin film transistor)가 위치하는 어레이 패널(array panel)과 컬러필터 패널(color panel) 의 위치 정렬 차이로 인해 불량이 발생하게 된다.
전술한 바와 같은 문제를 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 멀티 모델 액정 패널을 제작함에 있어, 멀티 모델 액정 패널 각각에 대응하는 노광기를 별도로 구비하여 노광공정을 진행함으로써 원하지 않는 위치에 액정 패널이 형성되어 불량이 발생하는 문제를 해결할 수 있는 멀티 모델 액정 패널 제작 시스템 및 제작 방법을 제공함에 있다.
전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 기판 상에 서로 다른 크기를 가지는 다수의 액정 패널을 제작하기 위한 액정 패널 제작 시스템으로서, 기판 상에 감광성물질을 도포하는 도포기와; 상기 감광성물질을 노광하며, 상기 다수의 액정 패널에 대응되는 마스크를 각각 구비하는 다수의 노광기와; 노광된 상기 감광성물질을 현상하기 위한 현상기와; 상기 마스크와 위치정렬을 하기 위한 위치정렬마크를 형성하는 마크 표시기를 포함하는 액정 패널 제작 시스템을 제공한다.
여기서, 상기 마크 표시기는, 상기 기판과 상기 감광성물질 중 선택된 하나에 상기 위치정렬마크를 형성할 수 있고, 상기 마크 표시기는 레이저를 조사하여 상기 위치정렬마크를 형성할 수 있다.
또한, 상기 다수의 노광기 각각은, 상기 기판이 놓여지는 스테이지와; 상기 마스크가 위치하는 조명계를 포함할 수 있다. 상기 조명계는, 빛을 공급하기 위한 광원 시스템과; 반사경을 통해 조사되는 빛을 정밀하게 제어하는 미러 시스템을 더욱 포함할 수 있다.
다른 측면에서, 본 발명은, 기판 상에 서로 다른 크기를 가지는 다수의 액정 패널을 제작하기 위한 액정 패널 제작방법으로서, 기판에 위치정렬마크를 형성하는 단계와; 위치정렬마크가 형성된 상기 기판 상에 박막을 형성하는 단계와; 상기 박막 상에 감광성물질을 도포하는 단계와; 상기 도포된 감광성물질을 노광하는 단계와; 상기 노광된 감광성물질을 현상하고 박막을 식각하는 단계를 포함하고, 상기 노광 단계는, 상기 서로 다른 크기의 다수의 액정 패널 각각에 대응하는 마스크와 상기 위치정렬마크를 정렬하여 노광하는 액정 패널 제작 방법을 제공한다.
여기서, 상기 위치정렬마크는 상기 기판에 레이저를 조사하여 형성될 수 있다.
또다른 측면에서, 기판 상에 서로 다른 크기를 가지는 다수의 액정 패널을 제작하기 위한 액정 패널 제작방법으로서, 기판 상에 박막을 형성하는 단계와; 상기 박막 상에 감광성물질을 도포하는 단계와; 도포된 상기 감광성물질에 위치정렬마크를 형성하는 단계와; 상기 위치정렬마크가 형성된 감광성물질을 노광하는 단계와; 상기 노광된 감광성물질을 현상하고 박막을 식각하는 단계를 포함하고, 상기 노광 단계는, 상기 서로 다른 크기의 다수의 액정 패널 각각에 대응하는 마스크와 상기 위치정렬마크를 정렬하여 노광하는 액정 패널 제작 방법을 제공한다.
여기서, 상기 위치정렬마크는 상기 감광성 물질에 레이저를 조사하여 형성될 수 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.
<제 1 실시예>
도 8은 본 발명의 제 1 실시예에 따른, 멀티 모델 액정 패널들을 형성하기 위한, 멀티 모델 액정 패널 제작 시스템을 도시한 블록도이고, 도 9는 본 발명의 제 1 실시예에 따라, 위치정렬 마크(alignment mark)가 형성된 멀티 모델 액정 패널을 도시한 평면도이다.
본 발명의 제 1 실시예는 액정표시장치용 원판에 위치정렬 마크를 형성함으로써, 멀티 모델 액정 패널을 원하는 위치에 형성할 수 있게 된다. 따라서, 멀티 모델 액정 패널의 배치 효율이 향상될 수 있다.
도시한 바와 같이, 멀티 모델 액정 패널(240, 241)을 제작하기 위한 시스템은, 포토레지스트(photoresist)를 도포하기 위한 도포기(260)와, 액정표시장치용 원판(230)을 주변기기로 이동시키기 위한 이동수단으로서 로봇(250)과, 서로 다른 크기의 액정 패널(240, 241)을 노광하기 위한 두 개의 노광기(200)와, 현상공정을 진행하기 위한 현상기(270)를 구비한다. 그리고, 액정표시장치용 원판에 위치정렬 마크를 형성하기 위한 마크 표시기(280)가 더욱 구비된다.
도포기(260)는 노광 공정을 진행하기 전에, 감광성 수지로 이루어지는 포토레지스트를, 일정한 패턴이 형성될 액정표시장치용 원판(230)의 박막 상에 도포한 다.
로봇(250)은, 각 공정 사이에 액정표시장치용 원판(230)을 이동시키는 이동수단으로서, 액정표시장치용 원판(230)을 도포기(260)와 제 1 노광기(200a) 또는 제 2 노광기(200b) 사이로 이동시키고, 제 1 노광기(200a)와 제 2 노광기(200b) 사이로 이동시키고, 제 1 노광기(200a) 또는 제 2 노광기(200b)와 현상기(270) 사이로 이동시킨다.
노광기(200)는, 액정표시장치용 원판(230)이 놓여지며 액정표시장치용 원판(230)을 수평으로 이동시키는 스테이지(220)와, 스테이지(220) 상에 놓여진 액정표시장치용 원판(230)을 노광하기 위한 조명계(210)로 이루어진다.
조명계(210)는 액정표시장치용 원판(230)에 빛을 조사하기 위한 것으로서, 빛을 공급하기 위한 광원 시스템(미도시)과, 패턴이 형성된 마스크(미도시)와, 반사경을 통해 조사되는 빛을 정밀하게 제어하는 미러 시스템(미도시)으로 이루어진다. 광원 시스템으로부터 방출된 빛은 마스크의 패턴을 통과하여 미러 시스템을 통해 액정표시장치용 원판(230)에 조사된다.
스테이지(220)는 수평방향으로 이동이 가능하여 액정표시장치용 원판(230) 상에서 패턴이 형성될 부분을 마스크와 대응시키게 된다.
현상기(270)는 노광기(200)로부터 노광공정이 진행된 액정표시장치용 원판(230)에 대해 현상액을 사용하여 포토레지스트 패턴을 현상하게 된다.
마크 표시기(280)은 액정표시장치용 원판(230)에 위치정렬 마크(S)를 형성하게 된다. 액정표시장치용 원판(230)에 형성된 위치정렬 마크(S)에 의해, 노광 공정 시 제 1, 2 노광 장치(200a, 200b) 각각에 장착되는 마스크는 액정표시장치용 원판(230)과 위치 정렬하게 되어, 제 1, 2 액정 패널(240, 241)을 원하는 위치에 형성하게 된다.
마크 표시기(280)는 액정표시장치용 원판(230)에 다양한 방법으로 위치정렬 마크(S)를 형성할 수 있는데, 특히 레이저(laser)를 사용하여 액정표시장치용 원판(230)에 위치 정렬 마크(S)를 형성할 수 있다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 멀티 모델 액정 패널 제작 시스템을 이용하여 멀티 모델 액정 패널(240, 241)을 제작하는 방법을 설명한다.
도 10은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 멀티 모델 액정 패널을 형성하는 방법을 도시한 흐름도이고, 도 11a와 11b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른, 액정표시장치용 기판에 위치정렬 마크를 형성하는 방법을 도시한 단면도이다.
먼저, 마크 표시기를 이용하여 액정표시장치용 원판에 위치정렬마크(S)를 형성한다.(S200) 도 11a와 11b에 도시한 바와 같이, 레이저를 액정표시장치용 원판(230)에 조사하여, 위치정렬마크를 형성하게 된다. 위치정렬마크를 형성한 후에 액정표시장치용 원판 상에 박막을 증착하게 된다.
다음으로, 도포기를 사용하여 액정표시장치용 원판(230)의 박막 상에 포토 레지스트를 도포한다.(S210) 사용되는 포토레지스트는, 빛을 받은 부분이 현상되는 파지티브 타입과 빛을 받지 않은 부분이 현상되는 네거티브 타입 중 선택된 하나를 사용한다.
포토레지스트 도포 후에, 로봇을 사용하여, 도포기에서 제 1 노광기로 액정 표시장치용 원판(230)을 이동시킨다.(S220) 액정표시장치용 원판(230)은 제 1 노광기의 스테이지에 놓여진다.
제 1 노광기의 스테이지로 이동된 액정표시장치용 원판(230)은, 제 1 액정 패널에 대응되는 제 1 마스크(미도시)를 사용하여 제 1 노광기의 조명계를 통해 노광된다.(S230) 제 1 노광기로 제 1 액정 패널이 형성될 부분에 노광 공정을 진행한다. 여기서, 제 1 마스크는 위치정렬마크와 위치정렬 과정을 거쳐 원하는 부분에 제 1 액정 패널을 형성하기 위한 노광 공정이 진행된다.
제 1 노광기로 노광한 후에, 로봇을 사용하여 제 1 노광기에서 제 2 노광기로 액정표시장치용 원판(230)을 이동시킨다.(S240) 액정표시장치용 원판(230)은 제 2 노광기의 스테이지에 놓여진다.
제 2 노광기의 스테이지로 이동된 액정표시장치용 원판(230)은, 제 2 액정 패널에 대응되는 제 2 마스크를 사용하여 제 2 노광기의 조명계를 통해 노광된다.(S250) 제 2 노광기로 제 2 액정 패널이 형성될 부분에 노광 공정을 진행한다. 여기서, 제 2 마스크는 위치정렬마크와 위치정렬 과정을 거쳐 원하는 부분에 제 2 액정 패널을 형성하기 위한 노광 공정이 진행된다.
제 2 노광기로 노광한 후에, 로봇을 사용하여 제 2 노광기에서 현상기로 액정표시장치용 원판(230)을 이동시켜 현상 공정을 진행한다. (S260, S270)
현상 공정을 진행하게 되면, 노광기를 통해 노광된 액정표시장치용 원판(230)에서 제 1 액정 패널과 제 2 액정 패널이 형성될 부분 각각에 대응하여 포토레지스트 패턴이 형성된다.
현상 공정 후에, 식각 공정을 진행하고, 액정표시장치용 원판(230) 상에 형성된 포토레지스트 패턴을 제거하게 되면, 제 1 액정 패널과 제 2 액정 패널이 형성된다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예는 액정표시장치용 원판에 위치정렬 마크를 형성함으로써, 멀티 모델 액정 패널을 원하는 위치에 형성할 수 있게 된다. 따라서, 멀티 모델 액정 패널의 배치 효율이 향상되어, 다양한 모델의 액정 패널을 불량 없이 형성할 수 있게 된다.
<제 2 실시예>
도 12는 본 발명의 제 2 실시예에 따른, 멀티 모델 액정 패널들을 형성하기 위한, 멀티 모델 액정 패널 제작 시스템을 도시한 블록도이다. 그리고, 도 13은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 멀티 모델 액정 패널을 형성하는 방법을 도시한 흐름도이고, 도 14a와 14b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른, 포토레지스트에 위치정렬 마크를 형성하는 방법을 도시한 단면도이다.
본 발명의 제 2 실시예에서는, 본 발명의 제 1 실시예와 동일하거나 대응되는 사항에 대해서는 설명을 생략한다.
본 발명의 제 2 실시예에서, 마크 표시기(280)는 포토레지스트(240)에 위치정렬마크(S)를 형성하게 된다. 도포기(260)를 통해 포토레지스트(240)가 도포된 액정표시장치용 원판(230)은 로봇(250)을 통해 마크표시기(280)로 이동하여, 위치정렬마크(S)가 형성된다.(S220)
포토레지스트(240)에 형성된 위치정렬마크(S)에 의해 노광기(200)에서 노광 공정이 진행되어 제 1, 2 액정 패널이 제작된다.
위치정렬마크(S)는, 도포기(260)를 사용하여 포토레지스트(240)가 도포된 후에, 포토레지스트(240)에 형성된다.
위치정렬마크는, 도 14a와 14b에 도시한 바와 같이, 도포기를 사용하여 박막(235) 상에 포토레지스트(240)를 도포하고, 마크 표시기를 통해 레이저를 조사하여 포로레지스트를 제거함으로써, 형성된다.
그와 같이 형성된 위치정렬마크에 따라 제 1, 2 노광기를 이용하여 제 1, 2 액정 패널을 원하는 위치에 제작할 수 있게 된다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따라, 액정표시장치용 원판 또는 포토레지스트에 위치정렬마크를 형성함으로써, 멀티 모델 액정 패널을 원하는 위치에 형성할 수 있게 된다. 본 발명의 실시예에서는 두 개의 노광기를 사용하여 서로 다른 두 모델의 액정 패널을 형성하는 경우을 예로 들어 설명했지만, 두 개 이상의 노광기를 사용하여 두 개 이상의 모델의 액정 패널을 형성하는 경우에도 적용가능하다.
전술한 바와 같이, 본 발명은, 액정표시장치용 원판 또는 포토레지스트에 위치정렬마크를 형성함으로써, 멀티 모델 액정 패널을 원하는 위치에 형성할 수 있게 된다. 따라서, 액정 패널의 배치 효율이 증가하는 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 기판 상에 서로 다른 크기를 가지는 다수의 액정 패널을 제작하기 위한 액정 패널 제작 시스템으로서,
    기판 상에 감광성물질을 도포하는 도포기와;
    상기 감광성물질을 노광하며, 상기 다수의 액정 패널에 대응되는 마스크를 각각 구비하는 다수의 노광기와;
    노광된 상기 감광성물질을 현상하기 위한 현상기와;
    상기 마스크와 위치정렬을 하기 위한 위치정렬마크를 형성하는 마크 표시기
    를 포함하는 액정 패널 제작 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 마크 표시기는, 상기 기판과 상기 감광성물질 중 선택된 하나에 상기 위치정렬마크를 형성하는 액정 패널 제작 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 마크 표시기는 레이저를 조사하여 상기 위치정렬마크를 형성하는 액정 패널 제작 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 노광기 각각은,
    상기 기판이 놓여지는 스테이지와;
    상기 마스크가 위치하는 조명계를 포함하는 액정 패널 제작 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 조명계는,
    빛을 공급하기 위한 광원 시스템과;
    반사경을 통해 조사되는 빛을 정밀하게 제어하는 미러 시스템을 더욱 포함하는 액정 패널 제작 시스템.
  6. 기판 상에 서로 다른 크기를 가지는 다수의 액정 패널을 제작하기 위한 액정 패널 제작방법으로서,
    기판에 위치정렬마크를 형성하는 단계와;
    위치정렬마크가 형성된 상기 기판 상에 박막을 형성하는 단계와;
    상기 박막 상에 감광성물질을 도포하는 단계와;
    상기 도포된 감광성물질을 노광하는 단계와;
    상기 노광된 감광성물질을 현상하고 박막을 식각하는 단계를 포함하고,
    상기 노광 단계는, 상기 서로 다른 크기의 다수의 액정 패널 각각에 대응하는 마스크와 상기 위치정렬마크를 정렬하여 노광하는,
    액정 패널 제작 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 위치정렬마크는 상기 기판에 레이저를 조사하여 형성되는 액정 패널 제작 방법.
  8. 기판 상에 서로 다른 크기를 가지는 다수의 액정 패널을 제작하기 위한 액정 패널 제작방법으로서,
    기판 상에 박막을 형성하는 단계와;
    상기 박막 상에 감광성물질을 도포하는 단계와;
    도포된 상기 감광성물질에 위치정렬마크를 형성하는 단계와;
    상기 위치정렬마크가 형성된 감광성물질을 노광하는 단계와;
    상기 노광된 감광성물질을 현상하고 박막을 식각하는 단계를 포함하고,
    상기 노광 단계는, 상기 서로 다른 크기의 다수의 액정 패널 각각에 대응하는 마스크와 상기 위치정렬마크를 정렬하여 노광하는,
    액정 패널 제작 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 위치정렬마크는 상기 감광성 물질에 레이저를 조사하여 형성되는 액정 패널 제작 방법.
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