JP2004063983A - 半導体製造装置及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】生産効率を高く維持すると共にウェハとマスクパターンの合わせずれを大幅に抑制し、より低コストの半導体製造装置及び半導体装置を提供する。
【解決手段】恒温チャンバー10内において、照明系11が併設され、マスクステージ12、投影光学系13、アライメント系14、半導体基板Wafを保持するウェハステージ15、オートフォーカス機構16が配備されている。マスクステージ12においてレチクルパターンと同等の機能を有するLCDパネルマスク17が配備されている。CADツール及びマスクパターンデータベースを利用した演算制御部により構成されるCADシステム18により液晶駆動制御信号が得られ、パネル表示部171における各セグメントで液晶分子の配向が制御され露光光が通過/遮断されるマスクパターンが形成される。これにより、半導体基板Waf上に塗布されたレジストに対し、露光処理がなされる。
【選択図】 図1
【解決手段】恒温チャンバー10内において、照明系11が併設され、マスクステージ12、投影光学系13、アライメント系14、半導体基板Wafを保持するウェハステージ15、オートフォーカス機構16が配備されている。マスクステージ12においてレチクルパターンと同等の機能を有するLCDパネルマスク17が配備されている。CADツール及びマスクパターンデータベースを利用した演算制御部により構成されるCADシステム18により液晶駆動制御信号が得られ、パネル表示部171における各セグメントで液晶分子の配向が制御され露光光が通過/遮断されるマスクパターンが形成される。これにより、半導体基板Waf上に塗布されたレジストに対し、露光処理がなされる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置製造に係り、特に半導体基板への集積回路に関るパターンを露光していく製造ライン中の半導体製造装置及び半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
LSI製造に必要な回路パターンは、複数のフォトマスク(レチクル)により準備されるマスクパターンによって半導体基板上に順次露光される。例えば、所定のフォトマスクがセットされた縮小投影半導体製造装置(図示せず)は、半導体基板上の被投影領域を次々とずらしながら繰り返しパターンを投影露光する。このようなステップアンドリピート方式により、半導体基板内に所定個数分の集積回路チップ領域を取得する。
【0003】
集積回路チップ領域の一つの領域は、複数のフォトマスクによるそれぞれのパターン露光が例えばスクライブライン領域内に存在する位置合わせマークに従って重ね合わされる。このような露光処理は、フォトマスクの配置ばらつきから、ウェハとの合わせずれ、フォーカスずれに起因するパターン不良が懸念される。これにより、微細化が制限される場合もある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このように、LSI製造に必要な回路は、複数のフォトマスクを用いて下層から上層へ縦方向に合わせ込み、積層させて集積する。これにより、特にマスクとウェハとの合わせのばらつきにより特性が実現できない、設計変更等をせざるを得ない状況に陥ることもある。このときはマスク変更による多大な製造コストが嵩む。
【0005】
本発明は、上記のような事情を考慮してなされたもので、生産効率を高く維持すると共にウェハとマスクパターンの合わせずれを抑制し、より低コストの半導体製造装置及び半導体装置を提供しようとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の[請求項1]に係る半導体製造装置は、
ステージに保持された半導体基板上のレジストに対し投影露光系を介してLCDパネルを用いたマスクパターンでもって露光処理を各ショット領域毎順次行うことのできる機構を有したことを特徴とする。
【0007】
上記本発明に係る半導体製造装置によれば、一つのLCDパネルを用いることにより表示パターンの変更で複数種類のマスクパターンが実現できる。データに応じて迅速に設計変更に応じることも可能であり、半導体装置の生産効率向上に寄与する。
【0008】
本発明の[請求項2]に係る半導体製造装置は、[請求項1]に従属され、
前記露光処理に伴うフォーカス条件が決定され前記LCDパネルを固定したまま、前記LCDパネルが適宜自動的に液晶パターンを変更して前記露光処理に応じたマスクパターンを構成することを特徴としている。
【0009】
本発明の[請求項3]に係る半導体製造装置は、
ステージに保持された半導体基板上に対しLCDパネルを用いたマスクパターンでもって光CVD処理を行うことのできる機構を有したことを特徴とする。
また、本発明の[請求項4]に係る半導体製造装置は、[請求項3]に従属され、
前記光CVD処理は配線形成または絶縁膜形成に利用されることを特徴とする。
【0010】
上記本発明に係る半導体製造装置によれば、光CVD処理により選択的に金属部材、絶縁部材の形成が可能である。半導体装置の生産効率の向上に寄与する。
【0011】
なお、本発明の[請求項5]に係る半導体製造装置は、[請求項1]〜[請求項4]いずれかに従属され、
前記LCDパネルはCADデータに基いたパターン表示をマスクパターンとしていることを特徴とする。
【0012】
また、本発明の[請求項6]に係る半導体製造装置は、[請求項1]〜[請求項4]いずれかに従属され、
前記LCDパネルはCADデータに基いたパターン表示の反転表示をマスクパターンとしていることを特徴とする。
【0013】
本発明の[請求項7]に係る半導体装置は、前記[請求項1]〜[請求項6]いずれかに記載の半導体製造装置を用いて形成されることを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体製造装置の要部構成を示す概観図である。図は露光機としての半導体製造装置を示す。恒温チャンバー10内において、照明系11が併設され、マスクパターンを配置するマスクステージ12、投影光学系13、アライメント系14、半導体基板Wafを保持するウェハステージ15が配備されている。また、オートフォーカス機構16は、ショット領域の所定点について自動的に焦点調節する。
【0015】
この実施形態では、マスクステージ12においてレチクルパターンと同等の機能を有するLCD(液晶ディスプレイ)パネルマスク17が配備されている。パネル表示部171にはCADデータに応じたマスクパターンが表示される。
【0016】
例えば、CADツール及びマスクパターンデータベースを利用した演算制御部により構成されるCADシステム18により液晶駆動制御信号が得られる。この液晶駆動制御信号により、LCDパネルマスク17の図示しない細分化されたセグメントそれぞれが駆動される。すなわち、LCDパネルマスク17は照明系11からの露光光を透過する透明電極が用いられ、各セグメントで液晶分子の配向が制御され露光光が通過/遮断されるマスクパターンが形成される。これにより、半導体基板Waf上に塗布されたレジストに対し、露光処理がなされる。
【0017】
各マスクパターンがスクライブライン領域内に存在する位置合わせマークに従って順次重ね合わされるのは従来と同様である。しかし、この各マスクパターンが1つの固定されたLCDパネルマスク17から作られることにより、マスクパターンが変わる毎に位置合わせする必要がなく、位置合わせ誤差も大幅に減少する。
【0018】
上記第1実施形態による半導体製造装置によれば、一つのLCDパネルマスク17を用いることにより表示パターンの変更で複数種類のマスクパターンが実現できる。マスクパターンに関するデータに応じて迅速に設計変更に応じることも可能である。マスクパターンデータベースに近接効果補正などの補正データを含ませることによって、近接効果補償用マスクパターンも得られる。これにより、設計変更等をせざるを得ない状況において、従来のマスク変更による多大な製造コストをなくした対処が可能である。これにより、低コストで半導体装置の生産効率向上に寄与する。
【0019】
図2は、本発明の第2実施形態に係る半導体製造装置の要部構成を示す概略図である。図は光CVD方式の半導体製造装置を示す。ガスチャンバー20は、半導体基板Wafを保持するサセプタ21を有する。ガスチャンバー20上部には、基板Wafと近接して対向するマスクパターンが配備される。このマスクパターンがLCDパネルマスク22によって構成されるのである。ガスチャンバー20内において基板WafとLCDパネルマスク22の対向領域に光CVD用の反応ガスGASが流し込まれる。LCDパネルマスク22上方には照明系23が併設され、LCDパネルマスク22のマスクパターンを介して半導体基板Waf上の所定パターン領域に電子ビームやレーザーまたは紫外線、赤外線等、所定の反応用光RLが照射される。これにより、光励起による選択的な金属膜の成長または絶縁膜の成長が期待できる。
【0020】
LCDパネルマスク22は、基板Wafとのアライメント完了後、固定されたままで、パネル表示部221にはCADデータに応じたマスクパターンが表示される。例えば、CADツール及びマスクパターンデータベースを利用した演算制御部により構成されるCADシステム24により液晶駆動制御信号が得られる。この液晶駆動制御信号により、LCDパネルマスク22の図示しない細分化されたセグメントそれぞれが駆動される。すなわち、LCDパネルマスク22は照明系23からの反応用光を透過する透明電極が用いられ、各セグメントで液晶分子の配向が制御され反応用光が通過/遮断されるマスクパターンが形成される。
【0021】
図3(a),(b)は、それぞれ上記図2に示すような光CVD方式の半導体製造装置を利用した配線層の形成を示す断面図である。図3(a)または(b)において、固定されたLCDパネルマスク22は、半導体基板Wafとアライメント済みである。パネル表示部221にCADデータに応じたマスクパターンが表示され、光CVD用の反応ガス供給及び反応用光RLの照射がなされる。素子領域や配線層のビア接続に関する配線金属31や所定配線層を構成する配線金属32の選択的な成長が期待できる。
【0022】
図4は、上記図3(a)の状態から、さらに、前記図2に示すような光CVD方式の半導体製造装置を利用した絶縁層の形成を示す断面図である。上記図3(a)で用いたCADデータの反転データを利用したマスクパターンが表示され、別の光CVD用の反応ガス供給及び反応用光の照射がなされる。これにより、配線金属31以外の領域へ絶縁層41の選択的な成長が期待できる。
【0023】
上記第2実施形態による半導体製造装置によれば、被処理基板と近接対向させる一つのLCDパネルマスク22を、固定し続けて用いることができる。これにより、合わせ精度を考慮する必要がほとんどなくなる。また、パネル表示部221における表示パターンの変更で複数種類のマスクパターンが実現できる。これにより、マスクパターンに関するデータに応じて迅速に設計変更に応じることも可能である。従って、設計変更等をせざるを得ない状況において、従来のマスク変更による多大な製造コストをなくした対処が可能である。これにより、低コストで半導体装置の生産効率向上に寄与する。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、一つのLCDパネルマスクを用いることにより表示パターンの変更で複数種類のマスクパターンが実現できる。データに応じて迅速に設計変更に応じることも可能である。これにより、マスクパターン変更の多大なる時間とコストが抑えられ、半導体装置の生産効率向上に寄与する。この結果、生産効率を高く維持すると共にウェハとマスクパターンの合わせずれを大幅に抑制し、より低コストの半導体製造装置及び半導体装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る半導体製造装置の要部構成を示す概観図である。
【図2】本発明の第2実施形態に係る半導体製造装置の要部構成を示す概略図である。
【図3】(a),(b)は、それぞれ上記図2に示すような光CVD方式の半導体製造装置を利用した配線層の形成を示す断面図である。
【図4】上記図3(a)の状態から、さらに、前記図2に示すような光CVD方式の半導体製造装置を利用した絶縁層の形成を示す断面図である。
【符号の説明】
10…恒温チャンバー
11,23…照明系
12…マスクステージ
13…投影光学系
14…アライメント系
15…ウェハステージ
16…オートフォーカス機構
17,22…LCDパネルマスク
171,221…パネル表示部
18,24…CADシステム
20…ガスチャンバー
21…サセプタ
31,32…配線金属
41…絶縁層
GAS…光CVD用の反応ガス
RL…反応用光
Waf…基板
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置製造に係り、特に半導体基板への集積回路に関るパターンを露光していく製造ライン中の半導体製造装置及び半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
LSI製造に必要な回路パターンは、複数のフォトマスク(レチクル)により準備されるマスクパターンによって半導体基板上に順次露光される。例えば、所定のフォトマスクがセットされた縮小投影半導体製造装置(図示せず)は、半導体基板上の被投影領域を次々とずらしながら繰り返しパターンを投影露光する。このようなステップアンドリピート方式により、半導体基板内に所定個数分の集積回路チップ領域を取得する。
【0003】
集積回路チップ領域の一つの領域は、複数のフォトマスクによるそれぞれのパターン露光が例えばスクライブライン領域内に存在する位置合わせマークに従って重ね合わされる。このような露光処理は、フォトマスクの配置ばらつきから、ウェハとの合わせずれ、フォーカスずれに起因するパターン不良が懸念される。これにより、微細化が制限される場合もある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このように、LSI製造に必要な回路は、複数のフォトマスクを用いて下層から上層へ縦方向に合わせ込み、積層させて集積する。これにより、特にマスクとウェハとの合わせのばらつきにより特性が実現できない、設計変更等をせざるを得ない状況に陥ることもある。このときはマスク変更による多大な製造コストが嵩む。
【0005】
本発明は、上記のような事情を考慮してなされたもので、生産効率を高く維持すると共にウェハとマスクパターンの合わせずれを抑制し、より低コストの半導体製造装置及び半導体装置を提供しようとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の[請求項1]に係る半導体製造装置は、
ステージに保持された半導体基板上のレジストに対し投影露光系を介してLCDパネルを用いたマスクパターンでもって露光処理を各ショット領域毎順次行うことのできる機構を有したことを特徴とする。
【0007】
上記本発明に係る半導体製造装置によれば、一つのLCDパネルを用いることにより表示パターンの変更で複数種類のマスクパターンが実現できる。データに応じて迅速に設計変更に応じることも可能であり、半導体装置の生産効率向上に寄与する。
【0008】
本発明の[請求項2]に係る半導体製造装置は、[請求項1]に従属され、
前記露光処理に伴うフォーカス条件が決定され前記LCDパネルを固定したまま、前記LCDパネルが適宜自動的に液晶パターンを変更して前記露光処理に応じたマスクパターンを構成することを特徴としている。
【0009】
本発明の[請求項3]に係る半導体製造装置は、
ステージに保持された半導体基板上に対しLCDパネルを用いたマスクパターンでもって光CVD処理を行うことのできる機構を有したことを特徴とする。
また、本発明の[請求項4]に係る半導体製造装置は、[請求項3]に従属され、
前記光CVD処理は配線形成または絶縁膜形成に利用されることを特徴とする。
【0010】
上記本発明に係る半導体製造装置によれば、光CVD処理により選択的に金属部材、絶縁部材の形成が可能である。半導体装置の生産効率の向上に寄与する。
【0011】
なお、本発明の[請求項5]に係る半導体製造装置は、[請求項1]〜[請求項4]いずれかに従属され、
前記LCDパネルはCADデータに基いたパターン表示をマスクパターンとしていることを特徴とする。
【0012】
また、本発明の[請求項6]に係る半導体製造装置は、[請求項1]〜[請求項4]いずれかに従属され、
前記LCDパネルはCADデータに基いたパターン表示の反転表示をマスクパターンとしていることを特徴とする。
【0013】
本発明の[請求項7]に係る半導体装置は、前記[請求項1]〜[請求項6]いずれかに記載の半導体製造装置を用いて形成されることを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体製造装置の要部構成を示す概観図である。図は露光機としての半導体製造装置を示す。恒温チャンバー10内において、照明系11が併設され、マスクパターンを配置するマスクステージ12、投影光学系13、アライメント系14、半導体基板Wafを保持するウェハステージ15が配備されている。また、オートフォーカス機構16は、ショット領域の所定点について自動的に焦点調節する。
【0015】
この実施形態では、マスクステージ12においてレチクルパターンと同等の機能を有するLCD(液晶ディスプレイ)パネルマスク17が配備されている。パネル表示部171にはCADデータに応じたマスクパターンが表示される。
【0016】
例えば、CADツール及びマスクパターンデータベースを利用した演算制御部により構成されるCADシステム18により液晶駆動制御信号が得られる。この液晶駆動制御信号により、LCDパネルマスク17の図示しない細分化されたセグメントそれぞれが駆動される。すなわち、LCDパネルマスク17は照明系11からの露光光を透過する透明電極が用いられ、各セグメントで液晶分子の配向が制御され露光光が通過/遮断されるマスクパターンが形成される。これにより、半導体基板Waf上に塗布されたレジストに対し、露光処理がなされる。
【0017】
各マスクパターンがスクライブライン領域内に存在する位置合わせマークに従って順次重ね合わされるのは従来と同様である。しかし、この各マスクパターンが1つの固定されたLCDパネルマスク17から作られることにより、マスクパターンが変わる毎に位置合わせする必要がなく、位置合わせ誤差も大幅に減少する。
【0018】
上記第1実施形態による半導体製造装置によれば、一つのLCDパネルマスク17を用いることにより表示パターンの変更で複数種類のマスクパターンが実現できる。マスクパターンに関するデータに応じて迅速に設計変更に応じることも可能である。マスクパターンデータベースに近接効果補正などの補正データを含ませることによって、近接効果補償用マスクパターンも得られる。これにより、設計変更等をせざるを得ない状況において、従来のマスク変更による多大な製造コストをなくした対処が可能である。これにより、低コストで半導体装置の生産効率向上に寄与する。
【0019】
図2は、本発明の第2実施形態に係る半導体製造装置の要部構成を示す概略図である。図は光CVD方式の半導体製造装置を示す。ガスチャンバー20は、半導体基板Wafを保持するサセプタ21を有する。ガスチャンバー20上部には、基板Wafと近接して対向するマスクパターンが配備される。このマスクパターンがLCDパネルマスク22によって構成されるのである。ガスチャンバー20内において基板WafとLCDパネルマスク22の対向領域に光CVD用の反応ガスGASが流し込まれる。LCDパネルマスク22上方には照明系23が併設され、LCDパネルマスク22のマスクパターンを介して半導体基板Waf上の所定パターン領域に電子ビームやレーザーまたは紫外線、赤外線等、所定の反応用光RLが照射される。これにより、光励起による選択的な金属膜の成長または絶縁膜の成長が期待できる。
【0020】
LCDパネルマスク22は、基板Wafとのアライメント完了後、固定されたままで、パネル表示部221にはCADデータに応じたマスクパターンが表示される。例えば、CADツール及びマスクパターンデータベースを利用した演算制御部により構成されるCADシステム24により液晶駆動制御信号が得られる。この液晶駆動制御信号により、LCDパネルマスク22の図示しない細分化されたセグメントそれぞれが駆動される。すなわち、LCDパネルマスク22は照明系23からの反応用光を透過する透明電極が用いられ、各セグメントで液晶分子の配向が制御され反応用光が通過/遮断されるマスクパターンが形成される。
【0021】
図3(a),(b)は、それぞれ上記図2に示すような光CVD方式の半導体製造装置を利用した配線層の形成を示す断面図である。図3(a)または(b)において、固定されたLCDパネルマスク22は、半導体基板Wafとアライメント済みである。パネル表示部221にCADデータに応じたマスクパターンが表示され、光CVD用の反応ガス供給及び反応用光RLの照射がなされる。素子領域や配線層のビア接続に関する配線金属31や所定配線層を構成する配線金属32の選択的な成長が期待できる。
【0022】
図4は、上記図3(a)の状態から、さらに、前記図2に示すような光CVD方式の半導体製造装置を利用した絶縁層の形成を示す断面図である。上記図3(a)で用いたCADデータの反転データを利用したマスクパターンが表示され、別の光CVD用の反応ガス供給及び反応用光の照射がなされる。これにより、配線金属31以外の領域へ絶縁層41の選択的な成長が期待できる。
【0023】
上記第2実施形態による半導体製造装置によれば、被処理基板と近接対向させる一つのLCDパネルマスク22を、固定し続けて用いることができる。これにより、合わせ精度を考慮する必要がほとんどなくなる。また、パネル表示部221における表示パターンの変更で複数種類のマスクパターンが実現できる。これにより、マスクパターンに関するデータに応じて迅速に設計変更に応じることも可能である。従って、設計変更等をせざるを得ない状況において、従来のマスク変更による多大な製造コストをなくした対処が可能である。これにより、低コストで半導体装置の生産効率向上に寄与する。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、一つのLCDパネルマスクを用いることにより表示パターンの変更で複数種類のマスクパターンが実現できる。データに応じて迅速に設計変更に応じることも可能である。これにより、マスクパターン変更の多大なる時間とコストが抑えられ、半導体装置の生産効率向上に寄与する。この結果、生産効率を高く維持すると共にウェハとマスクパターンの合わせずれを大幅に抑制し、より低コストの半導体製造装置及び半導体装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る半導体製造装置の要部構成を示す概観図である。
【図2】本発明の第2実施形態に係る半導体製造装置の要部構成を示す概略図である。
【図3】(a),(b)は、それぞれ上記図2に示すような光CVD方式の半導体製造装置を利用した配線層の形成を示す断面図である。
【図4】上記図3(a)の状態から、さらに、前記図2に示すような光CVD方式の半導体製造装置を利用した絶縁層の形成を示す断面図である。
【符号の説明】
10…恒温チャンバー
11,23…照明系
12…マスクステージ
13…投影光学系
14…アライメント系
15…ウェハステージ
16…オートフォーカス機構
17,22…LCDパネルマスク
171,221…パネル表示部
18,24…CADシステム
20…ガスチャンバー
21…サセプタ
31,32…配線金属
41…絶縁層
GAS…光CVD用の反応ガス
RL…反応用光
Waf…基板
Claims (7)
- ステージに保持された半導体基板上のレジストに対し投影露光系を介してLCDパネルを用いたマスクパターンでもって露光処理を各ショット領域毎順次行うことのできる機構を有したことを特徴とする半導体製造装置。
- 前記露光処理に伴うフォーカス条件が決定され前記LCDパネルを固定したまま、前記LCDパネルが適宜自動的に液晶パターンを変更して前記露光処理に応じたマスクパターンを構成することを特徴とした請求項1記載の半導体製造装置。
- ステージに保持された半導体基板上に対しLCDパネルを用いたマスクパターンでもって光CVD処理を行うことのできる機構を有したことを特徴とする半導体製造装置。
- 前記光CVD処理は配線形成または絶縁膜形成に利用されることを特徴とする請求項3記載の半導体製造装置。
- 前記LCDパネルはCADデータに基いたパターン表示をマスクパターンとしていることを特徴とする請求項1〜4記載の半導体製造装置。
- 前記LCDパネルはCADデータに基いたパターン表示の反転表示をマスクパターンとしていることを特徴とする請求項1〜4記載の半導体製造装置。
- 前記[請求項1]〜[請求項6]いずれかに記載の半導体製造装置を用いて形成されることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002223163A JP2004063983A (ja) | 2002-07-31 | 2002-07-31 | 半導体製造装置及び半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002223163A JP2004063983A (ja) | 2002-07-31 | 2002-07-31 | 半導体製造装置及び半導体装置 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004063983A true JP2004063983A (ja) | 2004-02-26 |
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Family Applications (1)
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JP2002223163A Withdrawn JP2004063983A (ja) | 2002-07-31 | 2002-07-31 | 半導体製造装置及び半導体装置 |
Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP2004063983A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100643500B1 (ko) | 2005-05-24 | 2006-11-10 | 삼성전자주식회사 | 레티클 마스킹장치를 갖는 반도체 제조용 스캔 설비 |
JP2007065668A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置及びレチクル誘導cduを補償するデバイス製造方法 |
US20100245795A1 (en) * | 2009-03-26 | 2010-09-30 | Hashemi Fardad A | Intermediate vacuum seal assembly for sealing a chamber housing to a workpiece |
-
2002
- 2002-07-31 JP JP2002223163A patent/JP2004063983A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100643500B1 (ko) | 2005-05-24 | 2006-11-10 | 삼성전자주식회사 | 레티클 마스킹장치를 갖는 반도체 제조용 스캔 설비 |
JP2007065668A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置及びレチクル誘導cduを補償するデバイス製造方法 |
US8937705B2 (en) | 2005-08-31 | 2015-01-20 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method with radiation beam inspection using moveable reflecting device |
US20100245795A1 (en) * | 2009-03-26 | 2010-09-30 | Hashemi Fardad A | Intermediate vacuum seal assembly for sealing a chamber housing to a workpiece |
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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