KR20050025287A - Method and apparatus for optical inspection of a flat panel at a tilted view angle - Google Patents

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KR20050025287A KR1020040067531A KR20040067531A KR20050025287A KR 20050025287 A KR20050025287 A KR 20050025287A KR 1020040067531 A KR1020040067531 A KR 1020040067531A KR 20040067531 A KR20040067531 A KR 20040067531A KR 20050025287 A KR20050025287 A KR 20050025287A
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Abstract

An apparatus and a method for optically inspecting a flat panel with a tilted viewing angle are provided to inspect a viewing angle related to characteristics and defects of the panel by using a line scan method and to scan a panel with a tilted viewing angle between an imaging device and the panel. An apparatus for optically inspecting a flat panel includes a gantry. At least one imaging device(20) is aligned on the gantry. A mirror(30) is aligned on the gantry, and is positioned under the imaging device(20). A panel moving device(40) is aligned under the imaging device(20) and the mirror(30) in order to move a test panel(50). A tilted viewing angle of a viewing line of the imaging device(20) reflected to the test panel(50) is adjusted by adjusting an angle between a surface of the mirror(30) and the viewing line of the imaging device(20). An optical inspection system is provided to perform a line scan with the tilted viewing angle.

Description

경사진 시야각으로 플랫 패널을 광검사하는 방법 및 장치{Method and apparatus for optical inspection of a flat panel at a tilted view angle}Method and apparatus for optical inspection of a flat panel at a tilted view angle

본 발명은 플랫 패널의 광검사 방법 및 장치에 관한 것으로써, 특히 라인 스캔 영상 장치를 가지고 경사진 시야각으로 패널을 스캐닝함으로써 플랫 패널을 광학적으로 검사하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method and apparatus for light inspection of flat panels, and more particularly, to a method and apparatus for optically inspecting a flat panel by scanning the panel with an inclined viewing angle with a line scan imaging device.

일반적으로 에어리어 스캔(area scan)과 라인 스캔(line scan)의 두가지 종류의 패널 검사 방법이 있다. 에어리어 스캔 방법은 전 패널을 하나의 면적으로 정의하거나 패널을 수개의 면적으로 분할한 후에 각각의 면적을 스캐닝한다. 그러나 에어리어 스캔 방법은 다음과 같은 단점이 있다. 첫째, 넓은 면적에 대하여 균일한 평면으로 조명하는 것이 어렵다. 둘째, 평면 조명의 불균일성에 대한 플랫 필드 보정(flat field correction)의 데이터 크기가 크며 이것은 이미지 데이터 신호 처리(image DSP)를 실행하는 것이 느리고 어렵게 한다. 셋째, 이미지 보상을 계산하는 알고리즘이 더 어렵다.In general, there are two kinds of panel inspection methods: area scan and line scan. The area scanning method scans each area after defining the entire panel as one area or dividing the panel into several areas. However, the area scan method has the following disadvantages. First, it is difficult to illuminate in a uniform plane over a large area. Secondly, the data size of the flat field correction against the unevenness of the plane illumination is large, which makes it difficult and difficult to execute image data signal processing (image DSP). Third, the algorithm for calculating image compensation is more difficult.

한편, 라인 스캔 방법은 에어리어 스캔 방법의 단점을 극복할 수 있다. 예를 들면, 첫째, 선형 조명(linear lighting)은 긴 선 영역(line area)을 균일하게 더 쉽게 감쌀 수 있으며, 이것은 라인 스캔 후에 더 균일하게 에어리어 스캔를 할 수 있게 한다. 둘째, 선형 조명의 불균일성을 위한 플랫 필드 보정의 데이터 크기가 더 작으며, 이것은 이미지 데이터 신호 처리(image DSP)를 실행하는 것을 더 빠르게 한다. 셋째, 이미지 보상을 계산하는 알고리즘이 더 쉽다.On the other hand, the line scan method can overcome the disadvantages of the area scan method. For example, first, linear lighting can more easily wrap long line areas more uniformly, which allows more uniform area scans after line scans. Second, the data size of the flat field correction for non-uniformity of linear illumination is smaller, which makes it faster to execute image data signal processing (image DSP). Third, the algorithm for calculating the image compensation is easier.

그러나, 종래의 라인 스캔 방법은 수직 시야각으로 패널의 두개의 축을 따라서 면들을 단지 스캐닝한다. 즉, 수직 시야각으로 라인 스캔은 패널 면의 x축과 y축을 따라서 개별적으로 수행된다. 도 1은 종래의 라인 스캔 방법에 따라서 축 방향(수평 방향)으로 패널을 스캐닝하는 것을 보여준다. 도 1에서 이미징 장치(80)는 축 방향(수평 방향)에서 지그재그 경로를 따라서 시험 패널(90)을 스캐닝한다. 한편, 시선(line of sight)은 시험 패널(90)과 수직이다. 그러나, 플랫 패널 표시장치(FPD)의 결점들은 시야각과 관련이 있다, 즉, 종래의 라인 스캔 방법은 이미징 장치(80)와 시험 패널(90)이 수직 시야각만 정의하기 때문에 x축 방향이나 y축 방향을 따라서 수직의 시야각으로 라인 스캔를 수행할 수 있다. 따라서, 패널 특성들이나 결점들에 관련된 어떤 시야각을 검출할 수 없다.However, conventional line scan methods only scan faces along two axes of the panel with a vertical viewing angle. That is, the line scan at the vertical viewing angle is performed separately along the x and y axes of the panel plane. 1 shows scanning a panel in an axial direction (horizontal direction) according to a conventional line scan method. In FIG. 1, the imaging device 80 scans the test panel 90 along a zigzag path in the axial direction (horizontal direction). On the other hand, the line of sight is perpendicular to the test panel 90. However, the shortcomings of the flat panel display (FPD) are related to the viewing angle, i.e., the conventional line scan method defines the vertical viewing angle only because the imaging device 80 and the test panel 90 define the vertical viewing angle. Line scans can be performed at a vertical viewing angle along the direction. Thus, no viewing angle related to panel characteristics or defects can be detected.

본 발명의 목적은 종래의 에어리어 스캔 및 라인 스캔 광학 조사 방법들의 단점에 목적을 두면서, 패널 위의 패널 특성들이나 결점들에 관련된 시야각을 검사하기 위하여 라인 스캔 방법에 의하고 이미징 장치와 패널 사이의 경사진 시야각으로 패널을 스캐닝함으로써 패널의 광검사 방법 및 장치를 제공한는 것이다.The object of the present invention is to incline between an imaging device and a panel by a line scan method to examine a viewing angle related to panel characteristics or defects on the panel, while aiming at the disadvantages of conventional area scan and line scan optical irradiation methods. The present invention provides a method and apparatus for light inspection of a panel by scanning the panel at a viewing angle.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 경사진 시야각 광학 검사에 의하여 패널을 검사하는 방법은 하나 이상의 이미징 장치와 거울을 구비하는 갠트리(gantry)를 제공하는 단계; 상기 이미징 장치와 상기 거울 아래에 배치되어 시험 패널을 이송하는 패널 이송기(xy 테이블이나 패널 컨베이어)를 제공하는 단계; 상기 시험 패널을 상기 패널 이송기 위에 위치시키고 상기 긴 직사각형 거울로부터 짧은 거리를 유지하는 단계; 상기 이미징 장치의 시선(시선은 약 90°로 상기 시험 패널과 직각)과 상기 거울의 표면 사이의 각을 조절하여 이미징 장치의 시선이 상기 시험 패널로 반사된 후에 시야각이 약90°-2θ가 되는 단계; 그리고, 경사진 시야각으로 라인 스캔를 시작하고 상기 이미징 장치(들)와 상기 거울은 동일한 축 방향으로 연동하여 움직이는 단계; 상기 시험 패널의 축(예를 들면 x축)을 따라서 스캐닝이 끝난 후에 상기 갠트리는 연관된 이미징 장치(들)과 거울과 함께 상기 시험 패널 위에서 90°회전하는 단계; 그리고, 그리고 상기 시험 패널의 또 다른 축(예를 들면 y축)을 따라서 경사진 시야각으로 다른 라인 스캔을 수행하는 단계로 이루어진다.In order to achieve the above object, a method for inspecting a panel by an inclined viewing angle optical inspection according to the present invention comprises the steps of providing a gantry having at least one imaging device and a mirror; Providing a panel conveyer (xy table or panel conveyor) disposed under the imaging device and the mirror to convey a test panel; Placing the test panel over the panel feeder and maintaining a short distance from the long rectangular mirror; Adjust the angle between the line of sight of the imaging device (the line of sight is approximately 90 ° perpendicular to the test panel) and the surface of the mirror so that the field of view becomes about 90 ° -2θ after the line of sight of the imaging device is reflected back to the test panel. step; And starting a line scan at an inclined viewing angle and moving the imaging device (s) and the mirror in synchronism with the same axial direction; After completion of scanning along the axis of the test panel (eg x-axis), the gantry rotates 90 ° over the test panel with the associated imaging device (s) and mirror; And performing another line scan with a viewing angle inclined along another axis (e.g., y-axis) of the test panel.

상기한 또 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 경사진 시야각으로 패널을 광학적으로 검사하기 위한 장치는, 갠트리; 상기 갠트리에 배치되는 적어도 하나 이상의 이미징 장치; 상기 갠트리에 배치되고 상기 이미징 장치 아래에 위치한 거울; 상기 거울의 표면과 상기 이미징 장치의 시선(시선은 약 90°로 상기 시험 패널과 직각)사이의 각 θ가 조절될 수 있고, 상기 이미징 장치의 시선이 시험 패널로 반사된 후에 시야각이 약90°-2θ가 되도록, 상기 거울로부터 짧은 시험 패널의 동작을 위하여 상기 이미징 장치와 상기 거울 아래에 배치되는 패널 이송기로 구성되는 것을 특징으로 한다. 경사진 시야각으로 라인 스캔이 시작되고, 축(예를 들면 x축)을 따라서 시험 패널의 스캐닝이 완료된후, 상기 갠트리는 연관된 이미징 장치(들)와 거울과 같이 상기 시험 패널 위에서 90°회전하고, 그리고 상기 시험 패널의 또 다른 축(예를 들면 y축)을 따라서 경사진 시야각으로 다른 라인 스캔을 수행한다.In order to achieve the above another object, the apparatus for optically inspecting the panel at an inclined viewing angle according to the present invention, the gantry; At least one imaging device disposed in the gantry; A mirror disposed in the gantry and positioned below the imaging device; The angle θ between the surface of the mirror and the line of sight of the imaging device (the line of view is about 90 ° orthogonal to the test panel) can be adjusted, and the field of view is about 90 ° after the line of sight of the imaging device is reflected to the test panel. And a panel conveyer disposed below the mirror for the operation of a short test panel from the mirror to be −2θ. After the line scan begins with an inclined viewing angle and after scanning of the test panel along the axis (e.g. the x-axis) is complete, the gantry rotates 90 ° over the test panel, such as a mirror with associated imaging device (s), Then another line scan is performed with a viewing angle inclined along another axis (e.g., y-axis) of the test panel.

도 2a는 본 발명에 따른 경사진 시야각 광학 검사 장치의 사시도 이다. 도면에서, 본 발명에 따라서 경사진 시야각으로 라인 스캔 카메라에 의하여 패널의 특성과 결점을 스캐닝하는 경사진 시야각 광학 검사 시스템은 갠트리(도면에서 부호없음); 적어도 하나 이상의 이미징 장치(20); 긴 직사각형 거울(30); 선형 조명 장치(60); 패널 이송기(40)를 포함한다.2A is a perspective view of an inclined viewing angle optical inspection device according to the present invention. In the drawings, an inclined viewing angle optical inspection system for scanning the properties and defects of a panel by a line scan camera at an inclined viewing angle according to the present invention comprises a gantry (unsigned in the drawing); At least one imaging device 20; Long rectangular mirror 30; Linear lighting device 60; A panel conveyer 40.

갠트리는 이미징 장치(20)와 거울(30)을 지지하는데 사용된다. 이미징 장치(20)는 갠트리에 배치되고 이미징 장치(들)의 개수는 하나 이상이며, 바람직하게는 하나 또는 일열의 CMOS 라인 스캔 카메라 또는 하나 또는 일열의 CCD라인스캔카메라이다. 이미징 장치(20)의 수직 시선과 거울(30)의 면은 각 θ를 정의한다. 선형 조명 장치(60)는 시험 패널을 조사한다. 여기에서, 선형 조명 장치(60)의 축 방향은 거울(30)의 축 방향과 일치한다. 거울(30)은 갠트리에 배치되고 이미징 장치(20)아래에 위치하여 시험 패널(50)의 시선(초기에 시험 패널에 대략적으로 수직)은 거울(30)에 의하여 반사된 후에 약90°-2θ가 된다. 하나의 축(예를 들면 x축)을 따라서 시험 패널의 스캐닝이 끝난 후에 갠트리, 이미징 장치(20), 선형 조명 장치(60) 그리고 거울(30)은 시험 패널(50)위에서 모두 함께 수평으로 90°회전한다(또는 패널 이송기(40)가 수평으로 90°회전한다). 이후에 또 다른 축(예를 들면 y축)을 따라서 경사진 시야각으로 라인 스캔이 수행된다. 따라서, 시험 패널(50)과 특성 및 결점과 관련된 경사진 시야각이 검사될 수 있다The gantry is used to support the imaging device 20 and the mirror 30. The imaging device 20 is disposed in the gantry and the number of imaging device (s) is one or more, preferably one or a row of CMOS line scan cameras or one or a row of CCD line scan cameras. The vertical line of sight of the imaging device 20 and the plane of the mirror 30 define an angle θ. The linear lighting device 60 illuminates the test panel. Here, the axial direction of the linear lighting device 60 coincides with the axial direction of the mirror 30. The mirror 30 is placed in the gantry and positioned below the imaging device 20 so that the line of sight of the test panel 50 (initially approximately perpendicular to the test panel) is reflected by the mirror 30 and then about 90 ° -2θ. Becomes After scanning of the test panel along one axis (eg x-axis), the gantry, imaging device 20, linear illuminator 60 and mirror 30 are all horizontally together on the test panel 50 90 Rotate (or panel feeder 40 rotates 90 ° horizontally). The line scan is then performed at an angle of view that is inclined along another axis (eg the y axis). Thus, the tilted viewing angle associated with the test panel 50 and its characteristics and defects can be examined.

도 2b는 본 발명에 따른 경사진 시야각 광학 검사 장치의 다른 사시도이다. 도면에서, 시험 패널(50)이 반투명할 때에 선형 조명 장치(60)는 갠트리(도면에 부호없음) 와 시험 패널(50)아래에 위치하여 라인 스캔을 위한 후면 조사 선형 조명을 제공한다. 선형 조명 장치(60)의 축은 거울(30)의 축과 평행하다. 선형 조명 장치(60)와 거울(30)의 대응하는 수평 위치들(스캐닝 방향을 따라서)은 거울(30)의 각 θ와 관련된다. 2B is another perspective view of an inclined viewing angle optical inspection device according to the present invention. In the figure, the linear illumination device 60 is positioned below the gantry (unsigned in the figure) and the test panel 50 when the test panel 50 is translucent to provide back illumination linear illumination for line scan. The axis of the linear lighting device 60 is parallel to the axis of the mirror 30. The corresponding horizontal positions (along the scanning direction) of the linear illumination device 60 and the mirror 30 are related to the angle θ of the mirror 30.

도 2c는 본 발명에 따른 경사진 시야각 광학 검사 장치의 또 다른 사시도이다. 시험 패널(50)이 (유기 OELD)(제 1실시예에서 설명된 것처럼 신호 발생기에 연결된 후에 스스로 빛을 발산하는) 유기 발광 장치(OELD)같은 빛 방출 패널일 때에 갠트리(도면에 부호없음)아래에 조명 장치와 시험 패널(50)을 위치시킬 필요가 없다.2C is another perspective view of an inclined viewing angle optical inspection device according to the present invention. Under the gantry (unsigned in the drawing) when the test panel 50 is a light emitting panel such as an organic OELD (an organic light emitting device (OELD) which emits itself after being connected to a signal generator as described in the first embodiment) There is no need to place the lighting device and the test panel 50 in place.

도 3은 본 발명에 따라서 검사 장치의 거울에 의한 반사각과 입사각을 설명하는 도면이다. 도면에서 본 발명에 따라서 이미징 장치(60)의 시선이 거울(30)과 각 θ를 정의하며 거울(30)에 의하여 반사된 후에 이미징 장치(20)의 경사진 시야각에서 시선과 시험 패널(50)사이의 각은 약90°-2θ가 된다. 경사진 시야각 에서 라인 스캔은 시험 패널(50)과 약90°-2θ로 경사진 시야각으로 수행된다. 3 is a view for explaining the reflection angle and the incident angle by the mirror of the inspection apparatus according to the present invention. In the drawings, the line of sight and test panel 50 are defined at an inclined viewing angle of the imaging device 20 after the line of sight of the imaging device 60 defines the angle 30 and the angle θ and is reflected by the mirror 30. The angle between them is about 90 ° -2θ. The line scan at the tilted viewing angle is performed with the test panel 50 at a tilted viewing angle of about 90 ° -2θ.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 검사 장비의 이미징 장치와 거울의 동작을 보여준다. 도면에서 본 발명에 따른 이미징 장치(20)는 갠트리에 배치되고 이미징 장치(20)의 경사진 시야각에서 시선은 다른 경사진 시야각들로 다른 라인 스캔 효과를 얻기 위하여 모터와 같은 것을 포함하는 장치(돌출되기 때문에 미도시)에 의하여 조절될 수 있다(즉, 이미징 장치(20)와 거울(30)사이의 각이 조절됨). 시험 패널(50)을 위하여 수개의 경사진 시야각 스캐닝들이 x축과 y축을 따라서 다른 각 θ로 수행될 수 있다. 또한, 어떤 고정된 각 θ를 위하여 일정한 동작 거리를 유지하는 조절 장치는 z축을 따라서 이미징 장치(20)의 높이를 조절할 수 있다. 즉, 이미징 장치(20)로부터 시험 패널(50)까지의 (경사진 시야각으로 반사되는 시선의)동작 거리는 거울(30)의 각 θ의 조절과 관계없이 z축을 따라서 이미징 장치(20)의 높이를 조절함으로써 일정하게 유지할 수 있다. 따라서, 동일한 라인 스캔 확대를 얻을 수 있고 초점이 잡힌 상들을 얻을 수 있다.Figure 4 shows the operation of the imaging device and the mirror of the inspection equipment according to an embodiment of the present invention. In the figure, the imaging device 20 according to the invention is arranged in a gantry and the eye at an inclined viewing angle of the imaging device 20 comprises an apparatus such as a motor to obtain different line scan effects with different inclined viewing angles (protrusion) Can be adjusted (ie, the angle between the imaging device 20 and the mirror 30 is adjusted). Several tilted viewing angle scannings for the test panel 50 can be performed at different angles θ along the x and y axes. Also, an adjusting device that maintains a constant working distance for any fixed angle θ can adjust the height of the imaging device 20 along the z axis. That is, the operating distance from the imaging device 20 to the test panel 50 (of the line of sight reflected at the inclined viewing angle) increases the height of the imaging device 20 along the z axis irrespective of the adjustment of the angle θ of the mirror 30. It can be kept constant by adjusting. Thus, the same line scan magnification can be obtained and the focused images can be obtained.

도 5a는 본 발명에 따른 경사진 시야각 광학 검사 장치의 측면도이다. 도 5a에서 거울의 각 θ가 대략 0일때에 수직 시선이 후면 조사 선형 조명 장치(60)의 중심선에 인접하여 정열된다.5A is a side view of an inclined viewing angle optical inspection device according to the present invention. In FIG. 5A, when the angle θ of the mirror is approximately zero, the vertical line of sight is aligned adjacent to the centerline of the back-illumination linear illumination device 60.

도 5b에서 거울의 회전 각 θ가 회전한 후에 후면 조사 선형 조명 장치(60)는 경사진 시야각으로 이미징 장치(20)의 시선과 후면 조사 선형 조명 장치(60)의 중심선을 정열하기 위하여 새로운 위치로 수평 이동해야한다. 도 5b에서 Z축을 따라서 이미징 장치(20)의 시선은 더 조절되어 동작 거리를 일정하게 유지하고 동일한 라인 스캔 확대와 초점이 잡힌 상들을 얻을 수 있다. In FIG. 5B, after the rotation angle θ of the mirror is rotated, the back illumination linear illuminator 60 is moved to a new position to align the centerline of the back illumination linear illuminator 60 with the line of sight of the imaging device 20 at an oblique viewing angle. Should move horizontally. In FIG. 5B, the line of sight of the imaging device 20 is further adjusted along the Z axis to maintain a constant working distance and obtain the same line scan magnification and focused images.

또한, 제 1실시예(도2에 도시됨) 및 제 2실시예(도2b, 5a 및 5b에 도시됨)에서, 이미징 장치(20), 거울(30) 및 선형 조명 장치(60)는 경사진 시야각으로 선 조명하는 동안에 축 방향으로 연동하여 움직이고, 반면에 패널 이송기(40)는 고정된다. 다른 실시예에서, 이미징 장치(20), 거울(30) 및 선형 조명 장치(60)는 경사진 시야각으로 선 조명하는 동안에 고정되고, 반면에 패널 이송기(40)는 축을 따라서 움직인다.In addition, in the first embodiment (shown in FIG. 2) and the second embodiment (shown in FIGS. 2B, 5A, and 5B), the imaging device 20, the mirror 30, and the linear illumination device 60 are tilted. It moves in axial direction during line illumination with the photographic viewing angle, while the panel feeder 40 is fixed. In another embodiment, imaging device 20, mirror 30, and linear illumination device 60 are fixed during pre-illumination at an oblique viewing angle, while panel feeder 40 moves along an axis.

또한, 제 1실시예(도2에 도시됨) 및 제 2실시예(도2b, 5a 및 5b에 도시됨)에서, 거울(30)은 평판 거울이나 프리즘일 수 있다.Further, in the first embodiment (shown in FIG. 2) and the second embodiment (shown in FIGS. 2B, 5A and 5B), the mirror 30 may be a flat mirror or a prism.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 광학 검사 장비의 이미징 장치이다. 도 6에서 광학 검사 장비는 갠트리(미 도시) 와 회전 메카니즘(미 도시)을 포함한다. 회전 메카니즘은 모터와 기어 또는 아크 세레이션(arc serration)(돌출되기 때문에 회전 메카니즘은 미도시)으로 구성되는 것이 바람직하다. 회전 메카니즘은 이미징 장치(20)를 구동시켜 원주 운동을 형성하여 원호 회전 궤적(70)을 만든다. 회전 메카니즘은 갠트리에 장착될 수 있다. 이미징 장치(20)은 회전 메카니즘에 배치된다. 이미징 장치(20)의 경사진 시야각은 회전 메카니즘에 의하여 조절될 수 있다. 패널 이송기(40)는 이미징 장치(20)아래에 배치되어 시험 패널(50)을 이송한다. 이미징 장치(20)와 시험 패널 사이의 경사진 시야각은 이미징 장치(20)를 회전시켜 조절되어 경사진 시야각으로 라인 스캔를 시작한다. 시험 패널(50)이 x축을 따라서 스캐닝된 후에, 경사진 시야각으로 y축을 따라서 라인 스캔이 수행된다. 또한, 본 실시예에 따른 회전 메카니즘이 동심원의 회전 궤적(70)으로 고안되기 때문에 회전궤적의 어느 위치상의 이미징 장치(20)와 시험 패널(50)사이의 경사진 시야각에서의 동작 거리는 일정하게 유지될 수 있으며 이미징 장치(20)의 초점은 시작시에 한번만 조절되면 된다. 또한, 본 실시예에 따른 이미징 장치(20)는 적당히 경사진 시야각의 조절을 위하여 거울을 필요로 하지 않는다. 6 is an imaging device of the optical inspection equipment according to an embodiment of the present invention. In FIG. 6 the optical inspection equipment comprises a gantry (not shown) and a rotation mechanism (not shown). The rotation mechanism is preferably composed of a motor and a gear or arc serration (the rotation mechanism is not shown since it is projected). The rotation mechanism drives the imaging device 20 to form a circumferential motion to create an arcuate rotation trajectory 70. The rotation mechanism can be mounted to the gantry. Imaging device 20 is arranged in a rotation mechanism. The tilted viewing angle of the imaging device 20 can be adjusted by the rotation mechanism. The panel conveyer 40 is disposed below the imaging device 20 to convey the test panel 50. The inclined viewing angle between the imaging device 20 and the test panel is adjusted by rotating the imaging device 20 to start a line scan with the inclined viewing angle. After the test panel 50 is scanned along the x-axis, a line scan is performed along the y-axis with the tilted viewing angle. In addition, since the rotation mechanism according to the present embodiment is devised as a concentric rotation trajectory 70, the operation distance at an inclined viewing angle between the imaging device 20 and the test panel 50 on any position of the rotation trajectory is kept constant. The focus of the imaging device 20 only needs to be adjusted once at startup. In addition, the imaging device 20 according to the present embodiment does not require a mirror for adjusting the inclined viewing angle appropriately.

또한, 이미징 장치(20)와 선형 조명 장치(60)는 경사진 시야각으로 라인 스캔하는 동안에 동일한 축을 따라서 연동하여 움직이고, 반면에 패널 이송기(40)는 고정된다. 반대로, 라인 스캔하는 동안에 패널 이송기(40)가 축을 따라서 움직이는 동안 이미징 장치(20)와 선형 조명 장치(60)는 고정될 수 있다.In addition, the imaging device 20 and the linear illumination device 60 move in tandem along the same axis during the line scan at an oblique viewing angle, while the panel conveyor 40 is fixed. Conversely, the imaging device 20 and the linear illumination device 60 can be fixed while the panel feeder 40 moves along the axis during the line scan.

한편, 본 발명은 경사진 시야각으로 라인 스캔 카메라(들)에 의하여 패널의 특징 및 결점을 검사하는 패널의 광학 검사 방법을 제공한다. 광학 검사 방법은 적어도 하나 이상의 이미징 장치(20), 선현 조명 장치(60) 그리고 거울(30)을 구비하는 갠트리를 제공하는 단계(단계1); 이미징 장치(20)와 거울(30)아래에 배치되어 시험 패널(50)을 이송하는 패널 이송기(40)를 제공하는 단계(단계2); 시험 패널(50)을 패널 이송기(40)위에 위치시키는 단계(단계3); 이미징 장치(20)와 시험 패널(50)사이의 경사진 시야각이 90°-2θ가 되도록 거울(30)의 장축을 따라서 거울(30)의 각 θ를 조절하는 단계(단계4); 축(예를 들면 x축)을 따라서 경사진 시야각으로 라인 스캔를 수행하고 x축을 따라서 시험 패널의 스캐닝이 끝나고 갠트리가 시험 패널(50)에 대하여 이미징 장치(20)와 거울(30)과 함께 수평으로 90°회전한 후에, 또 다른 축(예를 들면 y축)을 따라서 경사진 시야각으로 라인 스캔을 수행하는 단계(단계5)로 이루어진다.On the other hand, the present invention provides a panel optical inspection method for inspecting the features and defects of the panel by the line scan camera (s) at an inclined viewing angle. The optical inspection method comprises the steps of: providing a gantry having at least one imaging device 20, a side lighting device 60 and a mirror 30 (step 1); Providing a panel conveyer 40 disposed under the imaging device 20 and the mirror 30 to convey the test panel 50 (step 2); Placing the test panel 50 on the panel conveyor 40 (step 3); Adjusting the angle θ of the mirror 30 along the long axis of the mirror 30 such that the inclined viewing angle between the imaging device 20 and the test panel 50 is 90 ° -2θ (step 4); Perform a line scan with a viewing angle inclined along an axis (e.g. x-axis), and after the scanning of the test panel along the x-axis is finished, the gantry is horizontal with the imaging device 20 and mirror 30 relative to the test panel 50 After rotating 90 [deg.], A step (step 5) is performed to perform a line scan with a viewing angle inclined along another axis (e.g., y axis).

단계1에서 이미징 장치(20)는 하나 또는 일열의 CMOS 라인 스캔 카메라들이거나 하나 또는 일열의 CCD 라인 스캔 카메라들이다. 단계5에서, 경사진 시야각으로 라인 스캔이 시작되고 시험 패널(50)이 반투명 할 때에, 선형 조명 장치(60)는 시험 패널(50) 아래에 배치되어 경사진 시야각에서 라인 스캔를 위하여 요구되는 후면 조사되는 선형 광원을 제공한다. 라인 스캔하는 동안에 이미징 장치(20), 거울(30) 그리고 선형 조명 장치(60)는 동일한 축을 따라서 함께 연동하여 움직이고, 반면에 패널 이송기(40)는 고정된다. 반대로 라인 스캔하는 동안에 패널 이송기(40)가 축을 따라서 움직이는 동안 이미징 장치(20)와 선형 조명 장치(60)는 고정될 수 있다.In step 1 the imaging device 20 is one or a row of CMOS line scan cameras or one or a row of CCD line scan cameras. In step 5, when the line scan begins with the tilted viewing angle and the test panel 50 is translucent, the linear illuminator 60 is placed under the test panel 50 to provide the backside illumination required for the line scan at the tilted viewing angle. It provides a linear light source. During the line scan, the imaging device 20, the mirror 30 and the linear illumination device 60 move together in tandem along the same axis, while the panel feeder 40 is fixed. In contrast, the imaging device 20 and the linear illumination device 60 can be fixed while the panel feeder 40 moves along the axis during the line scan.

도 5a 및 도 5b를 참조하면, 도 5a에서 거울(30)의 면이 시험 패널(50)과 90°를 이룰 때에 이미징 장치(20)의 수직 시선이 선형 조명 장치(60)의 중심 선과 대략적으로 정열된다. 도 5b에서 거울(30)의 반사각 θ는 조절되고 동시에 선형 조명 장치(60)도 조절된다. 즉, 선형 조명 장치(60)는 거울(30)의 반사각 θ가 조절됨에 따라서 수평 방향으로 움직일 수 있다. 그리하여 이미징 장치(20)의 경사진 시야각의 시선이 선형 조명 장치(60)의 중심 선에 정열되어 선형 조명의 일관성이 유지된다. 따라서 경사진 시야각으로 라인 스캔이 시작되고 축(예를 들면 x축)을 따라서 시험 패널의 스캐닝이 끝난 후에 갠트리가 시험 패널(50)에 대하여 이미징 장치(20), 거울(30) 그리고 선형 조명 장치(60)와 함께 수평으로 90°회전한다. 그리고 또 다른 축(예를 들면 y축)을 따라서 경사진 시야각으로 라인 스캔이 수행된다.Referring to FIGS. 5A and 5B, in FIG. 5A, when the face of the mirror 30 is at 90 ° to the test panel 50, the vertical line of sight of the imaging device 20 is approximately at the center line of the linear illumination device 60. Are aligned. In FIG. 5B the reflection angle θ of the mirror 30 is adjusted and at the same time the linear illumination device 60 is also adjusted. That is, the linear lighting device 60 may move in the horizontal direction as the reflection angle θ of the mirror 30 is adjusted. Thus, the line of sight of the inclined viewing angle of the imaging device 20 is aligned with the center line of the linear illumination device 60 to maintain the consistency of the linear illumination. Thus, after the line scan starts with a tilted viewing angle and after the end of the scanning of the test panel along the axis (e.g. x-axis), the gantry is placed on the imaging panel 20, mirror 30 and linear illumination device with respect to the test panel 50. Rotate 90 ° horizontally with (60). The line scan is then performed at a viewing angle inclined along another axis (e.g., y-axis).

또한, 도 5a에서 거울(30)의 면이 시험 패널(50)과 90°를 이룰 때에 시스템의 플랫 필드 보정이 이미징 장치(20)와 거울(30)의 표면을 위하여 한번 수행된다. 그런 후에 선형 조명 장치(60)가 수평으로 90°회전된다. 동일한 점 광도를 갖는 화소들을 위하여 플랫 필드 보정은 선형 조명 장치(60)를 이동시킴으로써 이미징 장치(20)의 모든 화소들을 위하여 한번 수행된다. 선형 조명 장치(60)를 위한 플랫 필드 보정은 상기 두개의 플랫 필드 보정에 따라서 이미징 장치(20)에 의하여 완전하게 수행된다. In addition, in FIG. 5A, when the face of the mirror 30 is at 90 ° to the test panel 50, the flat field correction of the system is performed once for the surface of the imaging device 20 and the mirror 30. The linear lighting device 60 is then rotated 90 ° horizontally. For the pixels having the same point luminance, flat field correction is performed once for all the pixels of the imaging device 20 by moving the linear illumination device 60. Flat field correction for the linear illumination device 60 is performed completely by the imaging device 20 according to the two flat field corrections.

도 6의 회전 방법과 회전 메카니즘(도면에서 부호 없음)의 회전 궤적(70)이 채택될 때에 본 발명에 따른 경사진 시야각으로 패널의 광학 검사 방법은, 회전 메카니즘에서 회전 궤적(70)을 따라서 경사진 시야각을 회전할 수 있는 이미징 장치(20)를 구비한 회전 메카니즘(미도시)을 구비한 갠트리(미도시)를 제공하는 단계(단계1); 이미징 장치(20) 아래에 배치되어 시험 패널(50)을 이송하는 패널 이송기(40)를 제공하는 단계(단계2); 이미징 장치(20)를 회전시켜 이미징 장치(20)와 시험 패널(50)사이의 경사진 시야각을 조절하는 단계(단계3); 경사진 시야각으로 축(예를 들면 x축)을 따라서 라인 스캔를 수행하고, x축을 따라서 시험 패널의 스캐닝이 끝나고 갠트리가 시험 패널(50)에 대하여 이미징 장치(20)와 거울(30)과 함께 수평으로 90°회전한 후에, 또 다른 축(예를 들면 y축)을 따라서 경사진 시야각으로 라인 스캔이 수행한는 단계(단계5)로 이루어진다.The optical inspection method of the panel with an inclined viewing angle according to the present invention when the rotation method of FIG. 6 and the rotational mechanism 70 of the rotation mechanism (unsigned in the figure) are adopted is a method of tilting along the rotational path 70 in the rotation mechanism. Providing a gantry (not shown) with a rotation mechanism (not shown) having an imaging device 20 capable of rotating the photographic viewing angle (step 1); Providing a panel conveyer 40 disposed below the imaging device 20 to convey the test panel 50 (step 2); Rotating the imaging device 20 to adjust the tilted viewing angle between the imaging device 20 and the test panel 50 (step 3); Perform a line scan along an axis (e.g. x-axis) at an oblique viewing angle, scanning of the test panel along the x-axis is complete and the gantry is horizontal with the imaging device 20 and mirror 30 relative to the test panel 50 After 90 ° of rotation, a step scan (step 5) is performed in which the line scan is performed at a viewing angle inclined along another axis (e.g., y axis).

단계1에서 이미징 장치(20)는 하나 또는 일열의 CMOS 라인 스캔 카메라들이거나 하나 또는 일열의 CCD 라인 스캔 카메라들이다. 단계3에서, 이미징 장치(20)가 회전할 때에 동작 거리와 초점은 일정하게 유지되거나 단계3은 동작 거리나 초점을 조절하는 단계를 더 포함한다. 단계4에서 경사진 시야각으로 라인 스캔이 시작되고 시험 패널(50)은 반투명하다. 이때, 후면 조사되는 선형 조명 장치(60)는 갠트리 아래에 제공되어 경사진 시야각으로 라인 스캔하는 데 요구되는 후면 조사 광원을 제공한다. 라인 스캔하는 동안에 패널 이송기(40)가 고정되고 이미징 장치(20)와 선형 조명 장치(60)는 동일한 축을 따라서 함께 연동하여 움직일 수 있다. 반대로 라인 스캔하는 동안에 패널 이송기(40)가 축을 따라서 움직이는 동안 이미징 장치(20)와 선형 조명 장치(60)는 고정될 수 있다.In step 1 the imaging device 20 is one or a row of CMOS line scan cameras or one or a row of CCD line scan cameras. In step 3, the operating distance and focus are kept constant when the imaging device 20 rotates, or step 3 further comprises adjusting the operating distance or focus. In step 4 the line scan begins with the tilted viewing angle and the test panel 50 is translucent. At this time, the back-illuminated linear illuminating device 60 is provided under the gantry to provide the back-illuminated light source required for line scanning at an inclined viewing angle. The panel conveyor 40 is fixed during the line scan and the imaging device 20 and the linear illumination device 60 can move together in coordination along the same axis. In contrast, the imaging device 20 and the linear illumination device 60 can be fixed while the panel feeder 40 moves along the axis during the line scan.

상기의 설명을 요약하면, 본 발명은 종래의 구성보다 효율을 향상시키고 특허 출원 요구사항에 더 부합한다. 본 발명은 상응하는 특허권의 부여 및 심사를 위하여 특허청에 출원되었다.In summary, the present invention improves efficiency and meets patent application requirements more than conventional configurations. The present invention has been filed with the Patent Office for granting and examination of the corresponding patent rights.

바람직한 실시예와 실례에 의하여 서술되었으나 본 발명은 여기에 한정되지 않는다. 역으로 다양한 변경들 및 유사한 구성들과 절차들을 포함하도록 의도되었다. 모든 변경들과 유사한 구성들을 포함하도록 첨부된 청구범위들의 범위는 가장 넓게 해석되어야 한다. Although described by preferred embodiments and examples, the invention is not limited thereto. Conversely, it is intended to include various modifications and similar arrangements and procedures. The scope of the appended claims is to be accorded the broadest interpretation so as to encompass all modifications and similar arrangements.

도 1은 축 방향(수평 방향)을 따라서 패널을 스캐닝하는 종래의 라인 스캔 방법.1 is a conventional line scan method for scanning a panel along an axial direction (horizontal direction).

도 2a는 본 발명에 따른 경사진 시야각 광학 검사 장치의 사시도.2A is a perspective view of an inclined viewing angle optical inspection device according to the present invention;

도 2b는 본 발명에 따른 경사진 시야각 광학 검사 장치의 다른 사시도.2b is another perspective view of an inclined viewing angle optical inspection device according to the present invention;

도 2c는 본 발명에 따른 경사진 시야각 광학 검사 장치의 또 다른 사시도.2C is another perspective view of the inclined viewing angle optical inspection device according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따라서 검사 장치의 거울에 의하여 반사된 후에 입사각의 시선각과 시선각의 확대도.Figure 3 is an enlarged view of the viewing angle and the viewing angle of the incident angle after being reflected by the mirror of the inspection apparatus according to the present invention.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 검사 장비의 이미징 장치와 거울의 동작도.4 is an operation of the imaging device and the mirror of the inspection equipment according to an embodiment of the present invention.

도 5a는 본 발명에 따른 경사진 시야각 광학 검사 장비의 측면도.5A is a side view of an inclined viewing angle optical inspection equipment according to the present invention.

도 5b는 본 발명에 따른 경사진 시야각 광학 검사 장비의 다른 측면도.5B is another side view of an inclined viewing angle optical inspection equipment according to the present invention.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 경사진 시야각 라인 스캔을 위한 회전 가능한 이미징 장치도.6 is a rotatable imaging device for inclined viewing angle line scan in accordance with an embodiment of the present invention.

Claims (35)

경사진 시야각으로 라인 스캔에 의하여 패널을 검사하는 경사진 시야각 광학 검사 시스템에 있어서,An inclined viewing angle optical inspection system for inspecting a panel by line scan at an inclined viewing angle, 갠트리;Gantry; 상기 갠트리 상에 배치되는 적어도 하나 이상의 이미징 장치;At least one imaging device disposed on the gantry; 상기 갠트리 위에 배치되고 상기 이미징 장치 아래에 위치한 거울; 그리고,A mirror disposed above the gantry and positioned below the imaging device; And, 상기 이미징 장치와 상기 거울 아래에 배치되어 시험 패널을 이송하는 패널 이송기를 포함하며, A panel conveyer disposed under the imaging device and the mirror to convey a test panel, 상기 시험 패널로 반사되는 이미징 장치의 시야선의 경사진 시야각은 상기 거울의 표면과 상기 이미징 장치의 시야선 사이에 포함된 각을 조절함으로써 조절되고, 상기 광학 검사 시스템은 경사진 시야각으로 라인 스캔을 수행할 수 있는 것을 특징으로 하는 광학 검사 시스템.The inclined viewing angle of the viewing line of the imaging device reflected by the test panel is adjusted by adjusting the angle included between the surface of the mirror and the viewing line of the imaging device, and the optical inspection system performs a line scan with the inclined viewing angle. The optical inspection system characterized by the above-mentioned. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 시험 패널이 하나의 축을 따라서 경사진 시야각에서 스캐닝된 후에, 상기 갠트리에 배치된 상기 이미징 장치와 상기 거울이 수평으로 90°회전하여 상기 시험 패널이 또 다른 축을 따라서 경사진 시야각으로 스캐닝되도록 상기 갠트리는 상기 시험 패널의 평면에 대하여 수평으로 90°회전할 수 있는 것을 특징으로 하는 광학 검사 시스템.After the test panel is scanned at an oblique viewing angle along one axis, the gantry such that the imaging device and the mirror disposed on the gantry is rotated 90 ° horizontally so that the test panel is scanned at an oblique viewing angle along another axis. Can rotate 90 ° horizontally with respect to the plane of the test panel. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이미징 장치는 CMOS 라인 스캔 카메라 및 CCD 라인 스캔 카메라의 집합에서 선택되는 하나인 것을 특징으로 하는 광학 검사 시스템.And said imaging device is one selected from a set of CMOS line scan cameras and CCD line scan cameras. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 갠트리는 상기 갠트리 아래에 배치되어 상기 라인 스캔에 요구되는 선형 광원을 제공하는 선형 조명 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 시스템.And the gantry further comprises a linear illumination device disposed below the gantry to provide a linear light source required for the line scan. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 선형 조명 장치는 상기 시험 패널 아래에 배치되어 상기 라인 스캔을 위하여 후면 조사 선형 광원을 제공하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 시스템.And said linear illumination device is disposed below said test panel to provide a back-illumination linear light source for said line scan. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 이미징 장치, 상기 거울 및 상기 선형 조명 장치는 경사진 시야각으로 라인 스캔하는 동안에 축 방향으로 연동하여 움직이고, 반면에 상기 시험 패널은 상기 패널 이송기에 고정되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 시스템.Wherein the imaging device, the mirror and the linear illumination device move in axial direction during line scan at an oblique viewing angle, while the test panel is secured to the panel conveyer. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 이미징 장치, 상기 거울 및 상기 선형 조명 장치는 경사진 시야각으로의 라인 스캔 동안에 정지되어 있는 반면, 상기 패널 이송기 상의 상기 시험 패널은 축을 따라서 움직이는 것을 특징으로 하는 광학 검사 시스템.Wherein said imaging device, said mirror and said linear illumination device are stationary during line scan to an oblique viewing angle, while said test panel on said panel feeder moves along an axis. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 거울의 표면과 상기 이미징 장치의 시선 사이의 각을 조절하는 장치와 선택적으로 상기 이미징 장치의 동작 거리와 초점을 조절하는 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 시스템.And an apparatus for adjusting the angle between the surface of the mirror and the line of sight of the imaging device and optionally for adjusting the operating distance and focus of the imaging device. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 거울은 평판 거울과 프리즘의 집합에서 선택되는 하나인 것을 특징으로 하는 광학 검사 시스템. The mirror is one selected from a set of flat mirrors and prisms. 경사진 시야각에서 라인 스캔에 의하여 패널을 검사하는 경사진 시야각 광학 검사 방법에 있어서,An inclined viewing angle optical inspection method for inspecting a panel by line scanning at an inclined viewing angle, 하나 이상의 이미징 장치와 거울을 구비하는 갠트리를 제공하는 단계;Providing a gantry having at least one imaging device and a mirror; 상기 이미징 장치와 상기 거울 아래에 배치되어 시험 패널을 이송하는 패널 이송기를 제공하는 단계;Providing a panel conveyer disposed under the imaging device and the mirror to convey a test panel; 상기 시험 패널을 상기 패널 이송기에 위치시키고 상기 거울로부터 짧은 거리를 유지하는 단계;Positioning the test panel in the panel feeder and maintaining a short distance from the mirror; 상기 시험 패널로 반사되는 시선의 경사진 시야각을 제어하는 상기 이미징 장치의 시선과 상기 거울의 표면 사이의 각을 조절하는 단계; 그리고,Adjusting an angle between the line of sight of the imaging device and the surface of the mirror to control the inclined field of view of the line of sight reflected to the test panel; And, 경사진 시야각으로 라인 스캔을 시작하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.Initiating a line scan at an inclined viewing angle. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 시험 패널이 하나의 축을 따라서 경사진 시야각에서 스캐닝된 후에, 상기 갠트리에 배치된 상기 이미징 장치와 상기 거울이 수평으로 90°회전하여 상기 시험 패널이 또 다른 축을 따라서 경사진 시야각으로 스캐닝되도록 상기 갠트리는 상기 시험 패널의 평면에 대하여 수평으로 90°회전할 수 있는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.After the test panel is scanned at an oblique viewing angle along one axis, the gantry such that the imaging device and the mirror disposed on the gantry is rotated 90 ° horizontally so that the test panel is scanned at an oblique viewing angle along another axis. The optical inspection method, characterized in that it can rotate 90 ° horizontally with respect to the plane of the test panel. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 이미징 장치는 CMOS 라인 스캔 카메라 및 CCD 라인 스캔 카메라의 집합에서 선택되는 하나인 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.And said imaging device is one selected from a set of CMOS line scan cameras and CCD line scan cameras. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 갠트리는 상기 갠트리 아래에 배치되어 상기 라인 스캔에 요구되는 선형 광원을 제공하는 선형 조명 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.And the gantry further comprises a linear illumination device disposed below the gantry to provide a linear light source required for the line scan. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 선형 조명 장치는 상기 시험 패널 아래에 배치되어 상기 라인 스캔을 위하여 후면 조사 선형 광원을 제공하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.And said linear illumination device is disposed under said test panel to provide a back-illumination linear light source for said line scan. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 이미징 장치, 상기 거울 및 상기 선형 조명 장치는 경사진 시야각에서라인 스캔을 수행하는 동안 축 방향으로 연동하여 움직이는 반면, 상기 시험 패널은 고정되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.Wherein said imaging device, said mirror and said linear illumination device move axially in an axial direction during a line scan at an oblique viewing angle, while said test panel is fixed. 제13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 이미징 장치, 상기 거울 및 상기 선형 조명 장치는 경사진 시야각에서 라인 스캔을 수행하는 동안에 고정되는 반면, 상기 시험 패널은 축을 따라서 움직이는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.Wherein said imaging device, said mirror and said linear illumination device are fixed during a line scan at an oblique viewing angle while said test panel is moving along an axis. 제 10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 거울의 표면과 상기 이미징 장치의 시선 사이의 각을 조절하는 장치를 더 포함하고, 선택적으로 상기 이미징 장치의 동작 거리와 초점을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.And further comprising adjusting an angle between the surface of the mirror and the line of sight of the imaging device, and optionally adjusting the operating distance and focus of the imaging device. 제 13항에 있어서,The method of claim 13, 상기 거울의 표면과 상기 이미징 장치의 시선 사이의 각을 조절하는 장치를 더 포함하고, 상기 선형 조명 장치의 위치를 수평으로 움직이는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.And a device for adjusting an angle between the surface of the mirror and the line of sight of the imaging device, further comprising horizontally moving the position of the linear illumination device. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 거울의 표면은 상기 시험 패널과 90°의 각을 이루고, 상기 이미징 장치는 상기 패널로 직접 향한 후에, 상기 조명 장치가 빛을 상기 시험 패널에 조사할 때, 상기 시스템을 위한 플랫 필드 보정이 상기 이미징 장치와 상기 시험 패널의 표면에 대하여 한번 수행되고; 그리고The surface of the mirror is at an angle of 90 ° to the test panel, and after the imaging device is directed directly to the panel, when the illumination device illuminates the test panel, the flat field correction for the system is Performed once on the surface of the imaging device and the test panel; And 상기 선형 조명 장치는 상기 시험 패널의 면을 따라서 수평으로 90°회전하고, 선 화소 방향을 따라서 상기 선형 조명 장치를 움직임으로써 동일한 점 광도의 화소들을 위한 플랫 필드 보정이 상기 이미징 장치의 모든 화소에 대하여 한번 수행되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.The linear illuminator rotates 90 ° horizontally along the plane of the test panel, and flat field correction for pixels of the same point luminance is achieved for all pixels of the imaging device by moving the linear illuminator along the line pixel direction. Optical inspection method, characterized in that performed once. 경사진 시야각에서 라인 스캔에 의하여 패널을 검사하는 경사진 시야각 광학 검사 시스템에 있어서,An inclined viewing angle optical inspection system for inspecting a panel by line scan at an inclined viewing angle, 갠트리;Gantry; 상기 갠트리에 구비되는 적어도 하나 이상의 회전 메카니즘;At least one rotation mechanism provided in the gantry; 상기 회전 메카니즘에 배치되고 상기 회전 메카니즘 내에서 회전할 수 있는 거울; 및A mirror disposed in the rotation mechanism and rotatable within the rotation mechanism; And 상기 이미징 장치와 상기 거울 아래에 배치되어 시험 패널을 이송하는 패널 이송기를 포함하며, A panel conveyer disposed under the imaging device and the mirror to convey a test panel, 상기 이미징 장치와 상기 시험 패널 사이의 경사진 시야각은 상기 이미징 장치를 회전시키는 회전 메카니즘을 사용하여 조절되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 시스템.An inclined viewing angle between the imaging device and the test panel is adjusted using a rotation mechanism to rotate the imaging device. 제20항에 있어서,The method of claim 20, 상기 시험 패널이 하나의 축을 따라서 경사진 시야각에서 스캐닝된 후에, 상기 갠트리에 배치된 상기 이미징 장치와 상기 거울이 수평으로 90°회전하여 상기 시험 패널이 또 다른 축을 따라서 경사진 시야각으로 스캐닝되도록 상기 갠트리는 상기 시험 패널의 평면에 대하여 수평으로 90°회전할 수 있는 것을 특징으로 하는 광학 검사 시스템.After the test panel is scanned at an oblique viewing angle along one axis, the gantry such that the imaging device and the mirror disposed on the gantry is rotated 90 ° horizontally so that the test panel is scanned at an oblique viewing angle along another axis. Can rotate 90 ° horizontally with respect to the plane of the test panel. 제20항에 있어서,The method of claim 20, 상기 이미징 장치는 CMOS 라인 스캔 카메라 및 CCD 라인 스캔 카메라의 집합에서 선택되는 하나인 것을 특징으로 하는 광학 검사 시스템.And said imaging device is one selected from a set of CMOS line scan cameras and CCD line scan cameras. 제20항에 있어서,The method of claim 20, 상기 갠트리는 상기 갠트리 아래에 배치되어 상기 라인 스캔에 요구되는 선형 광원을 제공하는 선형 조명 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 시스템.And the gantry further comprises a linear illumination device disposed below the gantry to provide a linear light source required for the line scan. 제23항에 있어서,The method of claim 23, wherein 상기 선형 조명 장치는 상기 시험 패널 아래에 배치되어 상기 라인 스캔을 위하여 후면 조사 선형 광원을 제공하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 시스템.And said linear illumination device is disposed below said test panel to provide a back-illumination linear light source for said line scan. 제23항에 있어서,The method of claim 23, wherein 경사진 시야각으로 라인 스캔하는 동안에 상기 이미징 장치와 상기 선형 조명 장치는 축 방향으로 연동하여 움직이는 반면, 상기 시험 패널은 상기 패널 이송기에 고정되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 시스템.And the test panel is fixed to the panel feeder while the imaging device and the linear illumination device move in axial direction during line scan at an oblique viewing angle. 제23항에 있어서,The method of claim 23, wherein 경사진 시야각으로 라인 스캔하는 동안 상기 이미징 장치와 상기 선형 조명 장치는 고정되는 반면, 상기 패널 이송기 위의 상기 시험 패널은 축을 따라서 움직이는 것을 특징으로 하는 광학 검사 시스템.Wherein the imaging device and the linear illumination device are fixed during the line scan at an oblique viewing angle while the test panel above the panel feeder moves along an axis. 제20항에 있어서,The method of claim 20, 상기 회전 메카니즘은 원형 회전 궤적의 중심이 상기 시험 패널에 맞도록 고안되고 상기 회전 메카니즘은 상기 이미징 장치로부터 상기 시험 패널까지의 동작 거리와 초점이 선택적으로 일정하게 유지되도록 고안되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 시스템.The rotation mechanism is designed such that the center of the circular rotational trajectory is fitted to the test panel and the rotation mechanism is designed such that the operating distance and focus from the imaging device to the test panel are selectively kept constant. system. 경사진 시야각으로 라인 스캔에 의하여 패널을 검사하는 경사진 시야각 광학 검사 방법에 있어서,An inclined viewing angle optical inspection method in which a panel is inspected by a line scan at an inclined viewing angle, 회전 메카니즘에서 회전할 수 있어서 이미징 장치와 시험 패널 사이의 경사진 시야각을 조절하는 적어도 하나 이상의 이미징 장치를 포함하는 적어도 하나 이상의 회전 메카니즘을 구비하는 갠트리를 제공하는 단계;Providing a gantry having at least one rotational mechanism that can rotate in a rotational mechanism, the at least one rotational mechanism including at least one imaging device that adjusts the tilted viewing angle between the imaging device and the test panel; 상기 이미징 장치 아래에 배치되어 상기 시험 패널을 이송하는 패널 이송기를 제공하는 단계;Providing a panel conveyer disposed below the imaging device to convey the test panel; 상기 시험 패널을 상기 패널 이송기 위에 위치시키는 단계;Positioning the test panel over the panel feeder; 상기 이미징 장치와 상기 시험 패널 사이의 경사진 시야각을 조절하는 단계; 그리고,Adjusting the inclined viewing angle between the imaging device and the test panel; And, 상기 경사진 시야각으로 라인 스캔을 시작하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.Initiating a line scan with the tilted viewing angle. 제28항에 있어서,The method of claim 28, 상기 시험 패널이 하나의 축을 따라서 경사진 시야각에서 스캐닝된 후에, 상기 갠트리에 배치된 상기 이미징 장치와 상기 거울이 수평으로 90°회전하여 상기 시험 패널이 또 다른 축을 따라서 경사진 시야각으로 스캐닝되도록 상기 갠트리는 상기 시험 패널의 평면에 대하여 수평으로 90°회전할 수 있는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.After the test panel is scanned at an oblique viewing angle along one axis, the gantry such that the imaging device and the mirror disposed on the gantry is rotated 90 ° horizontally so that the test panel is scanned at an oblique viewing angle along another axis. The optical inspection method, characterized in that it can rotate 90 ° horizontally with respect to the plane of the test panel. 제28항에 있어서,The method of claim 28, 상기 이미징 장치는 CMOS 라인 스캔 카메라 및 CCD 라인 스캔 카메라의 집합에서 선택되는하나인 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.And said imaging device is one selected from a set of CMOS line scan cameras and CCD line scan cameras. 제28항에 있어서,The method of claim 28, 상기 갠트리는 상기 갠트리 아래에 배치되어 상기 라인 스캔에 요구되는 선형 광원을 제공하는 선형 조명 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.And the gantry further comprises a linear illumination device disposed below the gantry to provide a linear light source required for the line scan. 제31항에 있어서,The method of claim 31, wherein 상기 선형 조명 장치는 상기 시험 패널 아래에 배치되어 상기 라인 스캔을 위하여 후면 조사 선형 광원을 제공하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.And said linear illumination device is disposed under said test panel to provide a back-illumination linear light source for said line scan. 제31항에 있어서,The method of claim 31, wherein 경사진 시야각으로 라인 스캔을 수행하는 동안, 상기 이미징 장치와 상기 선형 조명 장치는 축 방향으로 연동하여 움직이는 반면, 상기 시험 패널은 상기 패널 이송기에 고정되는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.While performing a line scan with an inclined viewing angle, the imaging device and the linear illuminator move in axial direction while the test panel is fixed to the panel feeder. 제31항에 있어서,The method of claim 31, wherein 경사진 시야각으로 라인 스캔을 수행하는 동안, 상기 이미징 장치와 상기 선형 조명 장치는 고정되는 반면, 상기 패널 이송기 위의 상기 시험 패널은 축을 따라서 움직이는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.While performing a line scan with an inclined viewing angle, the imaging device and the linear illumination device are fixed while the test panel on the panel feeder moves along an axis. 제28항에 있어서,The method of claim 28, 상기 회전 메카니즘이 회전할 때에 상기 경사진 시야각 이미징 장치의 동작 거리와 초점이 선택적으로 유지되도록 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 검사 방법.And selectively maintaining the operating distance and focus of the inclined viewing angle imaging device as the rotation mechanism rotates.
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