JP2006337074A - Visual inspection device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a visual examination device capable of enhancing the inspection accuracy of the inner peripheral surface of an inspection target, using a simple configuration. <P>SOLUTION: The visual inspection device 1 is equipped with the camera 4, arranged in the opening direction of the opening 100a of an O-ring 100, the mirror part 2 arranged between the O-ring 100 and the camera 4 on the outer peripheral side of the opening 100a, as seen from the camera 4 to photograph the mirror image of the inner peripheral surface 100b of the opening 100a and a processing part 5 for discriminating the flaws in the O-ring 100, based on the mirror image taken by the camera 4. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

Oリング等の開口部を有する製品の内周面の外観を検査する外観検査装置に関する。   The present invention relates to an appearance inspection apparatus for inspecting the appearance of an inner peripheral surface of a product having an opening such as an O-ring.

特許文献1では、Oリングの開口部が開口する方向に配置されたカメラによりOリングの内周面を撮像し、撮像した画像に基づいて欠陥を検出する技術が開示されている。   Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-133260 discloses a technique for capturing an inner peripheral surface of an O-ring with a camera arranged in a direction in which the opening of the O-ring opens and detecting a defect based on the captured image.

特許文献2では、円筒状の検査対象部の貫通孔に円錐状のミラーを挿入し、当該ミラーに映し出された鏡像を貫通孔の軸方向に設けられたカメラにより撮像し、撮像した画像に基づいて欠陥を検出する技術が開示されている。   In Patent Document 2, a conical mirror is inserted into a through hole of a cylindrical inspection target portion, a mirror image projected on the mirror is captured by a camera provided in the axial direction of the through hole, and based on the captured image. A technique for detecting defects is disclosed.

なお、検査対象物の内周面の検査を行うものではないが、円柱状の検査対象物の外周側に反射機構を配置し、反射機構に映し出された複数の鏡像を一の画像として撮像することにより、複数視点からの外観検査を一の視点からの画像により可能とする技術もある(特許文献3)。
特開平03−207169号公報 特開2004−205218号公報 特開平11−51620号公報
Although the inner peripheral surface of the inspection object is not inspected, a reflection mechanism is disposed on the outer periphery side of the cylindrical inspection object, and a plurality of mirror images projected on the reflection mechanism are captured as one image. Accordingly, there is a technique that enables appearance inspection from a plurality of viewpoints using images from a single viewpoint (Patent Document 3).
Japanese Patent Laid-Open No. 03-207169 JP 2004-205218 A Japanese Patent Laid-Open No. 11-51620

Oリングは断面略円形の環状部材であり、内周面は開口方向の中央側が縮径していることから、特許文献1の技術のような開口方向に設定された一の視点からの撮像では、カメラから見て内周面の背後側などについて検査に必要充分な画像を取得することができない。すなわち、十分な検査精度が得られない。   The O-ring is an annular member having a substantially circular cross section, and the inner peripheral surface has a reduced diameter on the center side in the opening direction. Therefore, in imaging from one viewpoint set in the opening direction as in the technique of Patent Document 1. As a result, it is impossible to obtain a sufficient image necessary for the inspection on the back side of the inner peripheral surface as viewed from the camera. That is, sufficient inspection accuracy cannot be obtained.

しかし、Oリングとカメラとの相対位置を変化させつつ複数視点からの画像を撮像したり、一のOリングに対して複数のカメラを配置して複数視点からの画像を撮像することとすれば、構成の複雑化、コスト増大、検査速度の低下等の不都合を招く。   However, if an image from a plurality of viewpoints is captured while changing the relative position between the O-ring and the camera, or a plurality of cameras are arranged for one O-ring to capture an image from a plurality of viewpoints. This causes inconveniences such as a complicated configuration, an increase in cost, and a decrease in inspection speed.

特許文献2の技術は、円錐状のミラーに映し出された鏡像を撮像することにより、開口方向に設定された一の視点からの撮像により、貫通孔内側からの内周面の撮像を実質的に行うとともに、360度の視野を実現している。しかし、ミラーは開口部よりも小径の円錐状であり、鏡像は実際の内周面よりも小さく映し出される。従って、鏡像が小さくなる分だけ検査精度が低下する。また、ミラーを開口部に出し入れすることから、そのための駆動機構が必要であり、ミラーと検査対象物との接触の可能性も生じる。   The technique of Patent Document 2 substantially captures an image of the inner peripheral surface from the inside of the through hole by capturing a mirror image projected on a conical mirror, and capturing from one viewpoint set in the opening direction. In addition, the field of view of 360 degrees is realized. However, the mirror has a conical shape with a smaller diameter than the opening, and the mirror image is projected smaller than the actual inner peripheral surface. Therefore, the inspection accuracy is reduced by the amount of the mirror image. Further, since the mirror is taken in and out of the opening, a drive mechanism for that purpose is necessary, and there is a possibility of contact between the mirror and the inspection object.

本発明は、簡素な構成で検査対象物の内周面の検査精度を向上可能な外観検査装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an appearance inspection apparatus capable of improving the inspection accuracy of the inner peripheral surface of an inspection object with a simple configuration.

本発明の外観検査装置は、検査対象物の開口部の開口方向に配置された撮像手段と、前記検査対象物と前記撮像手段との間において、前記撮像手段から見て前記開口部の外周側に配置され、前記開口部の内周面の鏡像を映し出す鏡部と、前記撮像手段により撮像された前記鏡像の画像に基づいて前記検査対象物の欠陥の有無を判別する判別手段と、を備える。   An appearance inspection apparatus according to the present invention includes an imaging unit disposed in an opening direction of an opening of an inspection object, and an outer peripheral side of the opening as viewed from the imaging unit between the inspection object and the imaging unit. And a discriminating unit that projects a mirror image of the inner peripheral surface of the opening, and a discriminating unit that discriminates whether there is a defect in the inspection object based on the image of the mirror image captured by the imaging unit. .

好適には、前記内周面は開口方向の中央側が縮径している。   Preferably, the inner peripheral surface has a reduced diameter on the center side in the opening direction.

好適には、前記鏡部は、前記撮像手段から見て前記開口部を囲むように配置され、前記内周面の鏡像を映し出す複数の平面鏡を備えている。   Preferably, the mirror unit includes a plurality of plane mirrors that are arranged so as to surround the opening as viewed from the imaging unit and project a mirror image of the inner peripheral surface.

好適には、前記検査対象物と前記撮像手段との間において、前記検査対象物側へ光を照射する第1の照明手段と、前記第1の照明手段と前記検査対象物との間において、前記第1の照明手段側へ光を照射する第2の照明手段と、前記第1の照明手段と前記第2の照明手段との間に設けられ、前記第1の照明手段からの光を前記検査対象物側へ拡散しつつ透過させ、前記第2の照明手段からの光を前記検査対象物側へ反射する拡散手段と、を更に備える。   Preferably, between the inspection object and the imaging means, between the first illumination means for irradiating light to the inspection object side, between the first illumination means and the inspection object, A second illuminating means for irradiating light toward the first illuminating means; and provided between the first illuminating means and the second illuminating means, and the light from the first illuminating means is Diffusion means for diffusing and transmitting to the inspection object side, and reflecting light from the second illumination means to the inspection object side.

好適には、前記第1の照明手段及び前記第2の照明手段は、前記撮像手段から見て前記開口部を囲む位置から光を照射するリング照明手段である。   Preferably, the first illumination unit and the second illumination unit are ring illumination units that irradiate light from a position surrounding the opening as viewed from the imaging unit.

好適には、前記判別手段は、前記鏡像の画像において、所定の輝度閾値よりも輝度の低い面積が、所定の面積閾値よりも大きいときに、前記検査対象物に欠陥が発生したと判別する。   Preferably, the determination unit determines that a defect has occurred in the inspection object when an area whose luminance is lower than a predetermined luminance threshold is larger than a predetermined area threshold in the mirror image.

好適には、前記撮像手段から見て前記検査対象物の背後に設けられ、前記検査対象物を、前記撮像手段による前記鏡像の撮像が可能な位置に対して、搬入及び搬出する搬送手段を更に備える。   Preferably, there is further provided conveying means provided behind the inspection object as viewed from the imaging means, and carrying the inspection object into and out of a position where the mirror image can be captured by the imaging means. Prepare.

本発明によれば、簡素な構成で検査対象物の内周面の検査精度を向上できる。   According to the present invention, it is possible to improve the inspection accuracy of the inner peripheral surface of the inspection object with a simple configuration.

図1は、本発明の実施形態の検査装置1の全体構成を示す概略図である。検査装置1は、検査対象としてのOリング100の内周面100bの外観を検査する装置として構成されている。なお、Oリング100は、流体等を密封するための断面が略円形(O形)の環状パッキンであり、例えばゴムにより形成されている。図1は、検査のためにOリング100が撮像位置Pに配置された状態を示している。   FIG. 1 is a schematic diagram showing an overall configuration of an inspection apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. The inspection apparatus 1 is configured as an apparatus for inspecting the appearance of the inner peripheral surface 100b of the O-ring 100 as an inspection target. The O-ring 100 is an annular packing having a substantially circular (O-shaped) cross section for sealing a fluid or the like, and is formed of, for example, rubber. FIG. 1 shows a state in which the O-ring 100 is disposed at the imaging position P for inspection.

検査装置1は、Oリング100の鏡像を映し出す鏡部2と、Oリング100を照明する照明部3と、鏡部2に映し出されたOリング100の鏡像を撮像するカメラ4と、カメラ4の撮像した画像に基づくOリング100の欠陥の検出等の種々の処理を行う処理部5と、Oリング100を搬送する搬送部6とを備えている。   The inspection apparatus 1 includes a mirror unit 2 that displays a mirror image of the O-ring 100, an illumination unit 3 that illuminates the O-ring 100, a camera 4 that captures a mirror image of the O-ring 100 that is displayed on the mirror unit 2, A processing unit 5 that performs various processes such as detection of defects in the O-ring 100 based on the captured image, and a transport unit 6 that transports the O-ring 100 are provided.

カメラ4は、例えばカメラ本体11と、カメラ本体11に取り付けられるCマウント型のレンズ12とを備え、撮像位置PのOリング100の開口部100aの開口方向(紙面上下方向)において、撮影方向(レンズ12の光軸方向)が開口方向と一致し、視野の中心(レンズ12の光軸LL)にOリング100の開口部100aの中心が位置するように配置されている。   The camera 4 includes, for example, a camera body 11 and a C-mount type lens 12 attached to the camera body 11, and in the opening direction (up and down direction on the paper surface) of the opening 100 a of the O-ring 100 at the imaging position P, The optical axis direction of the lens 12 is aligned with the opening direction, and the center of the opening 100a of the O-ring 100 is positioned at the center of the visual field (optical axis LL of the lens 12).

カメラ本体11は、例えば受光した光に応じた電気信号を出力するCCD(撮像素子)13を備えている。レンズ12はCCD13上に光像を結像し、CCD13は結像された光像に応じた電気信号を出力する。CCD13からの電気信号はカメラ本体11に内蔵された不図示の画像処理部を介して画像データとして処理部5に出力される。なお、カメラ4は、例えば不図示の制御部を備え、制御部は処理部5からの指示に従って、CCD13の動作を制御する。   The camera body 11 includes, for example, a CCD (imaging device) 13 that outputs an electrical signal corresponding to received light. The lens 12 forms an optical image on the CCD 13, and the CCD 13 outputs an electrical signal corresponding to the formed optical image. An electrical signal from the CCD 13 is output to the processing unit 5 as image data through an image processing unit (not shown) built in the camera body 11. The camera 4 includes a control unit (not shown), for example, and the control unit controls the operation of the CCD 13 in accordance with an instruction from the processing unit 5.

処理部5は、例えばパーソナルコンピュータにより構成され、本体部15、モニタ(表示手段)16、キーボード(入力手段)17を備えている。   The processing unit 5 is constituted by a personal computer, for example, and includes a main body unit 15, a monitor (display unit) 16, and a keyboard (input unit) 17.

本体部15は、例えば不図示のCPU、ROM、RAM等を含んで構成されており、CPUがROM等に記録されたプログラムを読み出して実行することにより、本体部15には、カメラ4の動作を制御する不図示のカメラ制御部、カメラ4から出力された画像データを画像処理する不図示の画像処理部、カメラ4から出力された画像データ又は当該画像データを画像処理したデータに基づいてOリング100の欠陥の有無を判別する不図示の判別部、搬送部6の動作を制御する不図示の搬送制御部等の種々の手段が構築される。   The main body unit 15 includes, for example, a CPU, a ROM, a RAM, and the like (not shown). When the CPU reads and executes a program recorded in the ROM or the like, the operation of the camera 4 is performed on the main body unit 15. Based on a camera control unit (not shown) that controls the image data, an image processing unit (not shown) that processes image data output from the camera 4, image data output from the camera 4, or data obtained by image processing of the image data. Various means such as a determination unit (not shown) that determines the presence or absence of a defect in the ring 100 and a transfer control unit (not shown) that controls the operation of the transfer unit 6 are constructed.

モニタ16は、例えばCRTにより構成され、本体部15からの指示に従って画像を表示する。例えば、本体部15によりOリング100に欠陥が発生した場合に、欠陥の発生をユーザに報知するための画像を表示する。また、キーボード17は、ユーザの入力操作を受け付けて、入力操作に応じた電気信号を本体部15に出力する。例えば、欠陥の有無の判断基準の変更、カメラ4の露出量の補正等を行うための操作を受け付けて本体部15に出力する。   The monitor 16 is constituted by a CRT, for example, and displays an image in accordance with an instruction from the main body unit 15. For example, when a defect occurs in the O-ring 100 by the main body unit 15, an image for notifying the user of the occurrence of the defect is displayed. In addition, the keyboard 17 accepts a user input operation and outputs an electrical signal corresponding to the input operation to the main body unit 15. For example, an operation for changing a criterion for determining the presence / absence of a defect, correcting an exposure amount of the camera 4, etc. is received and output to the main body unit 15.

搬送部6は、例えば送り機構21と、送り機構21を駆動するためのモータ22と、モータ22の動作を制御するためのモータ駆動部23とを備えている。   The transport unit 6 includes, for example, a feed mechanism 21, a motor 22 for driving the feed mechanism 21, and a motor drive unit 23 for controlling the operation of the motor 22.

送り機構21は、例えば、Oリング100が載置される搬送テーブル26を含んで構成されている。搬送テーブル26は、カメラ4から見て鏡部2及び照明部3の背後側に配置され、カメラ4の撮影方向に直交する方向に移動する。搬送テーブル26の移動は、例えば、搬送テーブル26を保持する不図示の可動アームにより、あるいは、搬送テーブル26下に複数配列され、回転可能な不図示のローラにより行われる。Oリング100は、搬送テーブル26の移動に伴って、カメラ4から見て鏡部2に鏡像が映し出される範囲に搬入されるとともに、当該範囲から搬出される。   The feed mechanism 21 includes, for example, a transfer table 26 on which the O-ring 100 is placed. The transfer table 26 is disposed behind the mirror unit 2 and the illumination unit 3 when viewed from the camera 4 and moves in a direction orthogonal to the shooting direction of the camera 4. The transfer table 26 is moved by, for example, a movable arm (not shown) that holds the transfer table 26 or a plurality of rollers that are arranged under the transfer table 26 and are rotatable. As the transport table 26 moves, the O-ring 100 is carried into a range where a mirror image is projected on the mirror unit 2 when viewed from the camera 4 and is carried out from the range.

なお、搬送テーブル26は例えば金属により形成され、搬送テーブル26のカメラ4側の面はOリング100よりも輝度が高くなるように形成されている。搬送テーブル26は搬送経路に沿って複数設けられてもよいし、一つでもよい。また、一の搬送テーブル26上に複数のOリング100が搬送方向に沿って複数配置されてもよいし、一の搬送テーブル26上に一のOリング100が配置されてもよい。   The transport table 26 is made of, for example, metal, and the surface of the transport table 26 on the camera 4 side is formed so as to have higher brightness than the O-ring 100. A plurality of transfer tables 26 may be provided along the transfer path, or one transfer table 26 may be provided. In addition, a plurality of O-rings 100 may be arranged on the one conveyance table 26 along the conveyance direction, or one O-ring 100 may be arranged on the one conveyance table 26.

モータ22は例えばサーボモータあるいはステッピングモータにより構成され、モータ駆動部23からの指示に従って適宜な速度で適宜な回転量だけ不図示の出力軸を回転させ、搬送テーブル26を移動させる。モータ駆動部23は、処理部5からの指示に基づいてモータ22の動作を制御する。   The motor 22 is composed of, for example, a servo motor or a stepping motor, and rotates the output shaft (not shown) by an appropriate rotation amount at an appropriate speed in accordance with an instruction from the motor drive unit 23 to move the transport table 26. The motor drive unit 23 controls the operation of the motor 22 based on instructions from the processing unit 5.

図2は、鏡部2の外観を示す斜視図であり、図3(a)は鏡部2の上面図、図3(b)は図3(a)のIIIb−IIIb線矢視方向における断面図である。なお、図2及び図3では、Oリング100が載置される送り機構21を簡略化して図示している。   2 is a perspective view showing the appearance of the mirror part 2. FIG. 3 (a) is a top view of the mirror part 2, and FIG. 3 (b) is a cross-section in the direction of arrows IIIb-IIIb in FIG. 3 (a). FIG. 2 and 3, the feeding mechanism 21 on which the O-ring 100 is placed is shown in a simplified manner.

鏡部2は、環状のミラー用基体31と、ミラー用基体31に複数配置されるミラーユニット32とを備えている。   The mirror unit 2 includes an annular mirror base 31 and a plurality of mirror units 32 arranged on the mirror base 31.

ミラー用基体31は、例えば金属により形成され、カメラ4から見てOリング100が露出するように開口している。具体的には、ミラー用基体31の開口部の内径はOリング100の外径よりも大きく、カメラ4の視野よりも広い。また、Oリング100の撮影位置Pは、例えばカメラ4から見てミラー用基体31の開口部中央である。   The mirror base 31 is made of, for example, metal, and is open so that the O-ring 100 is exposed when viewed from the camera 4. Specifically, the inner diameter of the opening of the mirror base 31 is larger than the outer diameter of the O-ring 100 and wider than the field of view of the camera 4. Further, the photographing position P of the O-ring 100 is, for example, the center of the opening of the mirror base 31 when viewed from the camera 4.

ミラーユニット32は、例えば、カメラ4から見てOリング100を囲むように8個設けられている。各ミラーユニット32は、Oリング100の鏡像を映し出すミラー34と、ミラー34を保持するための保持ブロック35、保持板36及びねじ37とを備えている。   For example, eight mirror units 32 are provided so as to surround the O-ring 100 when viewed from the camera 4. Each mirror unit 32 includes a mirror 34 that reflects a mirror image of the O-ring 100, a holding block 35 that holds the mirror 34, a holding plate 36, and a screw 37.

ミラー34は、例えば反射面が平面に形成された平面鏡により構成されている。ミラー34の平面形状は例えば矩形である。ミラー34は、撮像位置PのOリング100とカメラ4との間において、カメラ4から見てOリング100の外周を囲むように配置されている。図3(b)に示すように、ミラー34は少なくとも一部がカメラ4の視野内に位置し、反射面34aが光軸LLに対して傾斜するとともに反射面34aがカメラ4側に向くように配置されている。従って、カメラ4は、ミラー34に映し出されたOリング100の内周面100bの鏡像を撮像可能である。   The mirror 34 is constituted by, for example, a plane mirror having a reflective surface formed in a plane. The planar shape of the mirror 34 is, for example, a rectangle. The mirror 34 is disposed between the O-ring 100 at the imaging position P and the camera 4 so as to surround the outer periphery of the O-ring 100 when viewed from the camera 4. As shown in FIG. 3B, at least a part of the mirror 34 is located in the field of view of the camera 4 so that the reflecting surface 34a is inclined with respect to the optical axis LL and the reflecting surface 34a faces the camera 4 side. Has been placed. Accordingly, the camera 4 can capture a mirror image of the inner peripheral surface 100b of the O-ring 100 projected on the mirror 34.

なお、図1に示すように、反射面34aの傾斜角θ1は、Oリング100とカメラ4との相対位置、カメラ4の視野角、Oリング100の大きさ、内周面100bに対する要求される撮像角度等の種々の条件に応じて適宜に設定される。例えば、図1では、載置面に対して角度θ2で見た内周面100bの像が光軸LLに略平行な方向へ反射されるように反射面34aの傾斜角θ1を設定した場合を例示しており、例えばθ2=40度では、θ1=25度である。また、この場合、幅Wは例えば30mmである。   As shown in FIG. 1, the inclination angle θ1 of the reflecting surface 34a is required with respect to the relative position between the O-ring 100 and the camera 4, the viewing angle of the camera 4, the size of the O-ring 100, and the inner peripheral surface 100b. It is appropriately set according to various conditions such as an imaging angle. For example, in FIG. 1, the case where the inclination angle θ1 of the reflecting surface 34a is set so that the image of the inner peripheral surface 100b viewed at an angle θ2 with respect to the mounting surface is reflected in a direction substantially parallel to the optical axis LL. For example, when θ2 = 40 degrees, θ1 = 25 degrees. In this case, the width W is, for example, 30 mm.

図2及び図3(a)に示すように、ミラー34は、Oリング100側が密になるように配列されている。ミラー34のカメラ4側は、ミラー34が外周側へ傾いている分だけミラー34間に隙間が生じている。なお、ミラー34の平面形状を、カメラ4側の端部よりもOリング100側の端部が幅広となる台形とし、カメラ4側のミラー34間の隙間がなくなるようにしてもよい。   As shown in FIGS. 2 and 3A, the mirrors 34 are arranged so that the O-ring 100 side is dense. On the camera 4 side of the mirror 34, a gap is generated between the mirrors 34 as much as the mirror 34 is inclined toward the outer peripheral side. The planar shape of the mirror 34 may be a trapezoid in which the end on the O-ring 100 side is wider than the end on the camera 4 side, and the gap between the mirrors 34 on the camera 4 side may be eliminated.

保持ブロック35は、図3(b)に示すように、例えば金属により形成され、全体として断面が略L字を横にした形状である。保持ブロック35は、ミラー用基体31に取り付けられる取付部35aと、ミラー34を保持する保持部35bとを備えている。取付部35aがL字の一辺を、保持部35bがL字の他の一辺を構成している。   As shown in FIG. 3B, the holding block 35 is made of, for example, metal, and has a cross-sectional shape that is substantially L-shaped as a whole. The holding block 35 includes an attachment part 35 a attached to the mirror base 31 and a holding part 35 b that holds the mirror 34. The attachment portion 35a constitutes one side of the L shape, and the holding portion 35b constitutes the other side of the L shape.

取付部35aは、例えば略直方体状に形成されており、ミラー用基体31上に載置され、取付部35aに設けられた不図示の貫通孔に挿入されたねじ38等の締結手段がミラー用基体31に設けられた不図示のねじ穴に螺合されることにより、ミラー用基体31に対して固定されている。   The attachment portion 35a is formed, for example, in a substantially rectangular parallelepiped shape, and is placed on the mirror base 31. Fastening means such as a screw 38 inserted in a through hole (not shown) provided in the attachment portion 35a is used for the mirror. The mirror 31 is fixed to the mirror base 31 by being screwed into a screw hole (not shown) provided in the base 31.

保持部35bは、断面が略台形状に形成されており、ミラー34が配置される傾斜面35cを有している。傾斜面35cの幅(図3(b)の紙面奥手方向)はミラー34の幅と同等の大きさであり、傾斜面35cの高さ方向の長さ(図3(b)の紙面上下方向)はミラー34の高さ方向の長さよりも若干短い。   The holding portion 35b has a substantially trapezoidal cross section and has an inclined surface 35c on which the mirror 34 is disposed. The width of the inclined surface 35c (the depth direction in the drawing of FIG. 3B) is the same size as the width of the mirror 34, and the length of the inclined surface 35c in the height direction (the vertical direction of the drawing in FIG. 3B). Is slightly shorter than the length of the mirror 34 in the height direction.

保持板36及びねじ37は、保持ブロック35のカメラ4側及びOリング100側の光端面に設けられている。保持板36は、平板状の平板部36aと、突条部を形成するように湾曲する湾曲部36bとを備えている。   The holding plate 36 and the screw 37 are provided on the optical end surface of the holding block 35 on the camera 4 side and the O-ring 100 side. The holding plate 36 includes a flat plate portion 36a and a curved portion 36b that curves to form a ridge portion.

平板部36aは、保持ブロック35のカメラ4側又はOリング100側の端面に沿って配置されている。平板部36aに設けられた不図示の貫通孔にねじ37が挿通され、ねじ37が保持ブロック35に設けられた不図示のねじ穴に螺合されることにより保持板36は保持ブロック35に対して固定される。   The flat plate portion 36a is disposed along the end surface of the holding block 35 on the camera 4 side or the O-ring 100 side. A screw 37 is inserted into a through hole (not shown) provided in the flat plate portion 36 a, and the screw 37 is screwed into a screw hole (not shown) provided in the holding block 35, whereby the holding plate 36 is attached to the holding block 35. Fixed.

湾曲部36bは、ミラー34の外方に凸となっている。具体的には、保持ブロック35のカメラ4側の保持板36は、湾曲部36bがカメラ4側に凸となるように、保持ブロック35のOリング100側の保持板36は、湾曲部36bがOリング100側に凸となるように配置されている。   The curved portion 36 b is convex outward of the mirror 34. Specifically, the holding plate 36 on the camera 4 side of the holding block 35 has the bending portion 36b on the holding plate 36 on the O-ring 100 side of the holding block 35 so that the bending portion 36b protrudes toward the camera 4 side. It arrange | positions so that it may become convex at the O-ring 100 side.

湾曲部36bの凹となっている部分には、保持ブロック35の傾斜面35cから突出したミラー34の端部が挿入されている。湾曲部36bは、ミラー34の端部に当接して上下方向においてミラー34を支持している。また、湾曲部36bは、湾曲部36bを平板状に伸ばす方向に歪が与えられた状態でミラー34の端部が挿入されており、弾性力により光軸LLに直交する方向(図3(b)の紙面左右方向)においてもミラー34を支持している。   The end of the mirror 34 protruding from the inclined surface 35c of the holding block 35 is inserted into the concave portion of the curved portion 36b. The curved portion 36b contacts the end of the mirror 34 and supports the mirror 34 in the vertical direction. Further, the end of the mirror 34 is inserted in a state where the bending portion 36b is distorted in a direction in which the bending portion 36b extends in a flat plate shape, and a direction perpendicular to the optical axis LL due to elastic force (FIG. 3B). The mirror 34 is also supported in the left and right direction of the sheet.

なお、図3(b)に示すように、ミラー用基体31は、カメラ4や搬送部6に対して固定的に設けられた支持台55に対してねじ等の締結手段により固定されている。支持台55は、例えば複数のコラム55a、ビーム55bを組み合わせて構成されている。各コラム55aとビーム55bとは、例えば溶接又は締結手段により互いに固定されており、締結手段による締結位置の変更等により、ミラー用基体31のカメラ4や搬送部6に対する相対位置を調整可能に構成されている。なお、支持台55は例えば金属により構成されている。   As shown in FIG. 3B, the mirror base 31 is fixed to a support base 55 fixed to the camera 4 and the transport unit 6 by fastening means such as screws. The support base 55 is configured by combining, for example, a plurality of columns 55a and beams 55b. Each column 55a and the beam 55b are fixed to each other by, for example, welding or fastening means, and the relative position of the mirror base 31 with respect to the camera 4 and the transport unit 6 can be adjusted by changing the fastening position by the fastening means. Has been. The support base 55 is made of, for example, metal.

図1及び図3(b)に示すように、照明部3は、照明用基体41と、Oリング100を照明するための第1リング照明42、第2リング照明43と、これら照明部42、43からの光を拡散等するための拡散板44とを備えている。   As shown in FIGS. 1 and 3B, the illumination unit 3 includes an illumination base 41, a first ring illumination 42 and a second ring illumination 43 for illuminating the O-ring 100, and these illumination units 42, And a diffusion plate 44 for diffusing the light from 43.

照明用基体41は、例えば金属により形成され、カメラ4から見てOリング100が露出するようにミラー用基体31と略同等の大きさの環状部材として構成されている。ミラー用基体31と照明用基体41とは例えば不図示の締結手段により互いに固定されている。なお、ミラー用基体31と照明用基体41とを一体的に形成してもよい。   The illumination base 41 is made of, for example, metal, and is configured as an annular member having a size substantially equal to that of the mirror base 31 so that the O-ring 100 is exposed when viewed from the camera 4. The mirror base 31 and the illumination base 41 are fixed to each other by fastening means (not shown), for example. The mirror base 31 and the illumination base 41 may be integrally formed.

第1リング照明42は、図1に示すように、例えば、基板46に点光源47が環状に配列されることにより構成されている。基板46は環状に形成されており、開口部の大きさはミラー34のOリング100側の端部により構成される開口部の大きさと略同等である。基板46は照明用基体41のカメラ4側に例えば締結手段により固定されている。点光源47は、例えば白色LEDにより構成され、基板46のOリング100側に配列されている。   As shown in FIG. 1, the first ring illumination 42 is configured, for example, by arranging point light sources 47 in a ring shape on a substrate 46. The substrate 46 is formed in an annular shape, and the size of the opening is substantially the same as the size of the opening formed by the end of the mirror 34 on the O-ring 100 side. The board | substrate 46 is being fixed to the camera 4 side of the base 41 for illumination by the fastening means, for example. The point light source 47 is composed of, for example, a white LED, and is arranged on the O-ring 100 side of the substrate 46.

第2リング照明43は、第1リング照明42と同様の構成であり、基板48及び点光源49を備えている。ただし、基板48は照明用基体41のOリング100側に配置され、点光源49は、基板48のカメラ4側に配列されている。換言すれば、第1リング照明43及び第2リング照明43は、所定の間隔で互いに対向するように配置されている。なお、点光源47、49の動作は、光源駆動部51を介して処理部5により制御される。   The second ring illumination 43 has the same configuration as the first ring illumination 42 and includes a substrate 48 and a point light source 49. However, the substrate 48 is disposed on the O-ring 100 side of the illumination base 41, and the point light source 49 is arranged on the camera 4 side of the substrate 48. In other words, the first ring illumination 43 and the second ring illumination 43 are arranged to face each other at a predetermined interval. The operations of the point light sources 47 and 49 are controlled by the processing unit 5 through the light source driving unit 51.

図4は、拡散板44を示す拡大図である。拡散板44は、例えば乳白色の樹脂により形成されている。拡散板44は、第1リング照明42の点光源47と、第2リング照明43の点光源49との間に配置されるとともに、光軸LLに対してθ5だけ傾斜するように配置されている。従って、拡散板44は、第1リング照明42からの光を拡散させつつOリング100へ透過させ、第2リング照明43からの光をOリング100の方向へ反射する。なお、拡散板44は、円錐体を輪切りにした形状でもよいし、平板状の拡散板をミラー34のようにOリング100を囲むように配列して構成してもよい。   FIG. 4 is an enlarged view showing the diffusion plate 44. The diffusion plate 44 is made of, for example, milky white resin. The diffuser plate 44 is disposed between the point light source 47 of the first ring illumination 42 and the point light source 49 of the second ring illumination 43 and is disposed so as to be inclined by θ5 with respect to the optical axis LL. . Accordingly, the diffusion plate 44 diffuses the light from the first ring illumination 42 and transmits it to the O-ring 100, and reflects the light from the second ring illumination 43 toward the O-ring 100. The diffusing plate 44 may have a shape obtained by cutting a conical body, or may be configured by arranging a flat diffusing plate so as to surround the O-ring 100 like the mirror 34.

図5は、検査装置1の処理部5が実行する検査処理の手順を示すフローチャートである。検査装置1に電源が投入され、所定の検査開始を指示する操作がキーボード17に対してなされると、処理部5は初期動作を行う(ステップS1)。例えば、処理部5は、光源駆動部51を介して第1リング照明42、第2リング照明43を点灯する。また、不図示の検出センサ等により送り機構21の位置検出を行う。   FIG. 5 is a flowchart showing the procedure of the inspection process executed by the processing unit 5 of the inspection apparatus 1. When the inspection apparatus 1 is turned on and an operation for instructing the start of a predetermined inspection is performed on the keyboard 17, the processing unit 5 performs an initial operation (step S1). For example, the processing unit 5 turns on the first ring illumination 42 and the second ring illumination 43 via the light source driving unit 51. Further, the position of the feed mechanism 21 is detected by a detection sensor (not shown) or the like.

ステップS2では、処理部5は搬送部6を駆動する。すなわち、モータ駆動部23に指示信号を出力してモータ22を回転させ、送り機構21によりOリング100を搬送する。なお、例えば不図示のOリング製造装置から送り機構21へ複数のOリング100が順次供給されることにより、送り機構21には複数のOリング100が一定間隔で搬送テーブル26の移動方向に沿って複数配列されている。   In step S <b> 2, the processing unit 5 drives the transport unit 6. That is, an instruction signal is output to the motor drive unit 23 to rotate the motor 22, and the O-ring 100 is conveyed by the feed mechanism 21. For example, when a plurality of O-rings 100 are sequentially supplied from an unillustrated O-ring manufacturing apparatus to the feeding mechanism 21, the plurality of O-rings 100 are moved along the moving direction of the transport table 26 at regular intervals. Are arranged.

Oリング100が撮像位置Pに到達すると、処理部5は搬送部6を停止させる(ステップS3)。具体的には、例えば処理部5はカメラ4から時々刻々出力される画像データに基づいてOリング100が鏡部2及び照明部3の開口部の略中央に位置したか否か判定し、略中央に位置したと判定した場合に搬送部6を停止させる。あるいは、初期位置から予め定められた量だけモータ22を回転させたときに搬送部6を停止させる。   When the O-ring 100 reaches the imaging position P, the processing unit 5 stops the transport unit 6 (step S3). Specifically, for example, the processing unit 5 determines whether or not the O-ring 100 is positioned substantially at the center of the opening of the mirror unit 2 and the illumination unit 3 based on the image data output from the camera 4 every moment. The transport unit 6 is stopped when it is determined that it is located in the center. Alternatively, the conveyance unit 6 is stopped when the motor 22 is rotated by a predetermined amount from the initial position.

ステップS4では、カメラ4により鏡部2に映し出された撮像位置PのOリング100の鏡像を撮像する。なお、上述のようにカメラ4によりOリング100の位置検出を行い、検出結果に基づいて搬送部6を制御する場合、位置検出の場合の画質のレベルを当該ステップS4における画質のレベルよりも低くし、カメラ4や処理部5の負担を軽減してもよい。   In step S <b> 4, a mirror image of the O-ring 100 at the imaging position P projected on the mirror unit 2 by the camera 4 is captured. When the position of the O-ring 100 is detected by the camera 4 as described above and the transport unit 6 is controlled based on the detection result, the image quality level in the case of position detection is lower than the image quality level in step S4. However, the burden on the camera 4 and the processing unit 5 may be reduced.

ステップS5では、処理部5は、ステップS4で得られた画像データに基づいてOリング100の欠陥の有無を判定する。欠陥が無いと判定した場合はステップS2に戻る。欠陥があると判定した場合は、所定の欠陥発生時処理を実行し(ステップS6)、ステップS2に戻る。   In step S5, the processing unit 5 determines the presence / absence of a defect in the O-ring 100 based on the image data obtained in step S4. If it is determined that there is no defect, the process returns to step S2. If it is determined that there is a defect, a predetermined defect occurrence process is executed (step S6), and the process returns to step S2.

欠陥発生時処理では、例えば、欠陥が発生したと判定されたOリング100を他のOリング100と分別して回収するために、欠陥が発生したOリング100を特定するための情報が処理部5のRAM等に記録される。Oリング100を特定する情報は、例えば欠陥が発生したOリング100が撮像位置Pにある時のモータ22の回転位置等である。その後、欠陥が発生したOリング100が搬送部6により所定位置まで搬送されると、搬送部6の搬送先に設けられた不良品回収装置により欠陥のあるOリング100は回収される。   In the processing at the time of defect occurrence, for example, information for identifying the O-ring 100 in which the defect has occurred is collected in order to separate and collect the O-ring 100 determined to have a defect from the other O-rings 100. Recorded in the RAM. The information for specifying the O-ring 100 is, for example, the rotational position of the motor 22 when the O-ring 100 in which a defect has occurred is at the imaging position P. After that, when the defective O-ring 100 is transported to a predetermined position by the transport unit 6, the defective O-ring 100 is recovered by the defective product recovery device provided at the transport destination of the transport unit 6.

なお、ステップS3で搬送部6を停止させずに、搬送中のOリング100を撮像した画像に基づいて欠陥の有無を判別してもよい。   Note that the presence or absence of a defect may be determined based on an image obtained by capturing the O-ring 100 being transported without stopping the transport unit 6 in step S3.

図6(a)はステップS4でカメラ4により撮像した画像を示す図であり、図6(b)は図6(a)の一部拡大図であり、図6(c)及び図6(d)は第1リング照明42又は第2リング照明43のみにより照明して撮像した場合の画像を、図6(b)と同一の範囲で示す図である。   6A is a diagram showing an image captured by the camera 4 in step S4, FIG. 6B is a partially enlarged view of FIG. 6A, and FIG. 6C and FIG. FIG. 6B is a diagram showing an image in the same range as FIG. 6B when the first ring illumination 42 or the second ring illumination 43 is used to illuminate and take an image.

図6(a)に示すように、画像G1の中央には、Oリング100からの反射光を撮像した画像、すなわち、Oリング100を直接的に撮像した直接画像G2が含まれている。また、その周囲には、ミラー34に映し出されたOリング100の鏡像を撮像した鏡像画像G3が含まれている。鏡像画像G3は、8枚のミラー34に対応する8個の部分鏡像画像G3aからなる。搬送テーブル26のカメラ4側の表面は反射率が比較的高く設定されていることから、部分鏡像画像G3aは、搬送テーブル26の表面の画像G5よりも輝度が低くなっている。   As shown in FIG. 6A, the center of the image G1 includes an image obtained by imaging reflected light from the O-ring 100, that is, a direct image G2 obtained by directly imaging the O-ring 100. In addition, a mirror image G3 obtained by capturing a mirror image of the O-ring 100 projected on the mirror 34 is included in the periphery. The mirror image G3 includes eight partial mirror image images G3a corresponding to the eight mirrors 34. Since the surface of the transport table 26 on the camera 4 side is set to have a relatively high reflectance, the partial mirror image G3a has a lower luminance than the image G5 of the surface of the transport table 26.

処理部5は、画像G1に対して種々の画像処理を実行して欠陥の有無を判定する。例えば、まず、エッジ処理により各部分鏡像画像G3aの輪郭を特定する。そして、各部分鏡像画像G3a内の輝度を特定し、輝度が所定の輝度閾値よりも低くなる画素数が所定の画素数閾値を超えたときに欠陥が発生したと判定する。図6(b)では、領域A5に凹状の欠陥が生じ、領域A5に陰影が生じている場合を例示している。なお、輝度が輝度閾値よりも低くなる画素数が画素数閾値を超えたか否かの判定は、輝度が輝度閾値よりも低くなる面積が、所定の面積閾値よりも大きくなるか否かの判定の一例である。   The processing unit 5 performs various image processes on the image G1 to determine the presence / absence of a defect. For example, first, the contour of each partial mirror image G3a is specified by edge processing. Then, the luminance in each partial mirror image G3a is specified, and it is determined that a defect has occurred when the number of pixels whose luminance is lower than a predetermined luminance threshold exceeds a predetermined pixel number threshold. FIG. 6B illustrates a case where a concave defect is generated in the area A5 and a shadow is generated in the area A5. The determination as to whether or not the number of pixels whose luminance is lower than the luminance threshold exceeds the pixel number threshold is a determination of whether or not the area where the luminance is lower than the luminance threshold is greater than a predetermined area threshold. It is an example.

なお、直接画像G2及び鏡像画像G3の双方に基づいて欠陥の有無を判定してもよい。例えば、直接画像G2に基づいて従来と同様に欠陥の有無を判定するとともに、上述のように鏡像画像G3に基づいて欠陥の有無を判定し、いずれにおいても欠陥が無いと判定された場合に、最終的に欠陥がないと判定するようにしてもよい。   The presence or absence of a defect may be determined based on both the direct image G2 and the mirror image G3. For example, when the presence / absence of a defect is determined based on the direct image G2 as in the conventional case, and the presence / absence of a defect is determined based on the mirror image G3 as described above. You may make it finally determine that there is no defect.

Oリング100を直接的に撮像した画像も用いて欠陥の有無を判定する場合、Oリング100を直接的に撮像した画像及び鏡像の画像は、一の画像として取得してもよいし、それぞれ別の画像として取得してもよい。それぞれ別の画像として取得する場合には、Oリングを直接的に撮像する場合と鏡像を撮像する場合とで照明方法を切り換えて、それぞれの撮像に好適な照明条件としてもよい。   When determining the presence / absence of a defect using an image obtained by directly capturing the O-ring 100, an image obtained by directly capturing the O-ring 100 and a mirror image may be acquired as one image or different from each other. You may acquire as an image. In the case where the images are acquired as separate images, the illumination method may be switched between direct imaging of the O-ring and when mirror images are captured, and illumination conditions suitable for the respective imaging may be set.

図6(c)に示すように、第1リング照明42のみによってOリング100を照明した場合、図6(b)に比較して、全体的に暗くなるとともに、拡散光であるために欠陥が生じた領域A5′の陰影が小さい。   As shown in FIG. 6C, when the O-ring 100 is illuminated only by the first ring illumination 42, it becomes darker as a whole than in FIG. The shadow of the generated area A5 ′ is small.

図6(d)に示すように、第2リング照明43のみによってOリング100を照明した場合、図6(b)に比較して、全体的に暗くなる。また、図6(c)に比較して、全体的に暗い。ただし、Oリング100のカメラ4側の部分(図6(d)の紙面上方側)の領域A7については、図6(c)よりも広い範囲について明るくなっている。また、拡散板44により反射した光は、拡散板44を透過した光に比較して直接光に近いため、図6(c)に比較して領域A5″の陰影が大きい。   As shown in FIG. 6D, when the O-ring 100 is illuminated only by the second ring illumination 43, it becomes darker as a whole compared to FIG. 6B. Moreover, it is dark as a whole compared with FIG.6 (c). However, an area A7 of the O-ring 100 on the camera 4 side (upper side in the drawing of FIG. 6D) is brighter in a wider range than FIG. 6C. Further, since the light reflected by the diffusion plate 44 is closer to the direct light than the light transmitted through the diffusion plate 44, the shadow of the region A5 ″ is larger than that of FIG. 6C.

第1リング照明42によって照明できなかったOリング100のカメラ4側の部分が、第2リング照明43により照明される様子を図4に示す。図4の矢印y1で示すように第1照明リング42から光軸LLに平行な方向へ照射された光は、矢印y2で示すように拡散板44から拡散しつつOリング100へ照射される。矢印y3で示す拡散光の中心と拡散板44との角度はθ5である。一方、矢印y4で示すように第2リング照明43から光軸LLに平行な方向へ照射された光は、矢印y5で示すように拡散板44により反射されてOリング100へ照射される。矢印y5と拡散板44との角度はθ6である。一般にθ6>θ5であることから、第1照明リング42では十分に照明できないOリング100のカメラ4側(紙面上方)の部分を第2リング照明43により照明できる。   FIG. 4 shows a state in which the portion on the camera 4 side of the O-ring 100 that could not be illuminated by the first ring illumination 42 is illuminated by the second ring illumination 43. The light emitted from the first illumination ring 42 in the direction parallel to the optical axis LL as indicated by the arrow y1 in FIG. 4 is applied to the O-ring 100 while diffusing from the diffusion plate 44 as indicated by the arrow y2. The angle between the center of the diffused light indicated by the arrow y3 and the diffuser plate 44 is θ5. On the other hand, the light emitted from the second ring illumination 43 in the direction parallel to the optical axis LL as indicated by the arrow y4 is reflected by the diffusion plate 44 and applied to the O-ring 100 as indicated by the arrow y5. The angle between the arrow y5 and the diffusion plate 44 is θ6. Since θ6> θ5 in general, the second ring illumination 43 can illuminate a portion of the O-ring 100 on the camera 4 side (above the paper surface) that cannot be sufficiently illuminated by the first illumination ring 42.

以上の実施形態によれば、Oリング100の外周側に配置されたミラー34により内周面100bの鏡像を映し出し、鏡像を撮像した画像に基づいて欠陥の有無を判別することから、開口部にミラーを出し入れすることなく内周面100bの画像を十分に得ることができ、簡素な構成で検査対象物の内周面の検査精度を向上可能である。   According to the above embodiment, the mirror 34 disposed on the outer peripheral side of the O-ring 100 projects the mirror image of the inner peripheral surface 100b, and the presence or absence of a defect is determined based on the image obtained by capturing the mirror image. An image of the inner peripheral surface 100b can be sufficiently obtained without taking in and out the mirror, and the inspection accuracy of the inner peripheral surface of the inspection object can be improved with a simple configuration.

特に、検査対象物がOリングのように内周面の中央側が縮径しているものである場合には、開口方向に配置したカメラから内周面の広い範囲の画像を得ることが困難であることから、本実施形態の検査装置1は有効である。   In particular, when the object to be inspected is an O-ring having a reduced diameter on the center side of the inner peripheral surface, it is difficult to obtain an image of a wide range of the inner peripheral surface from a camera arranged in the opening direction. Therefore, the inspection apparatus 1 according to the present embodiment is effective.

鏡部2は、平面鏡としてのミラー34がOリング100を囲むように複数配置されて構成されていることから、汎用性の高いミラー、すなわち、安価なミラーにより、内周面100bの全周検査を実現できる。   Since the mirror unit 2 is configured by arranging a plurality of mirrors 34 as plane mirrors so as to surround the O-ring 100, the entire circumference inspection of the inner peripheral surface 100b is performed by a highly versatile mirror, that is, an inexpensive mirror. Can be realized.

第1リング照明42と、第2リング照明43とを対向させ、第1リング照明42からの光をOリング100側へ拡散しつつ透過させ、第2リング照明43からの光をOリング100側へ反射する拡散板44を設けていることから、全体としてコンパクトな照明部3により、Oリング100の内周面100bを均等に且つ広い範囲に亘って照明できる。   The first ring illumination 42 and the second ring illumination 43 are opposed to each other, the light from the first ring illumination 42 is transmitted while diffusing to the O ring 100 side, and the light from the second ring illumination 43 is transmitted to the O ring 100 side. Since the diffuser plate 44 that reflects toward the surface is provided, the inner peripheral surface 100b of the O-ring 100 can be illuminated uniformly and over a wide range by the compact illumination unit 3 as a whole.

鏡部2はカメラ4とOリング100との間に配置されるため、カメラ4から見てOリング100の背後側に設けられる送り機構21の設計の自由度が高い。つまり、鏡部2が送り機構21の設計の自由度に及ぼす影響が少ない。   Since the mirror unit 2 is disposed between the camera 4 and the O-ring 100, the feed mechanism 21 provided on the back side of the O-ring 100 when viewed from the camera 4 has a high degree of freedom in design. That is, the influence of the mirror unit 2 on the degree of freedom in designing the feeding mechanism 21 is small.

本発明は以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施してよい。   The present invention is not limited to the above embodiment, and may be implemented in various aspects.

例えば、検査対象物は開口部を有するものであればよく、Oリングに限定されない。開口部の径が開口方向に亘って一定のシール部材であってもよいし、軸受部材のように、他の部材が挿入される貫通孔を有する製品であってもよい。   For example, the inspection object only needs to have an opening, and is not limited to an O-ring. The opening member may be a seal member having a constant diameter in the opening direction, or may be a product having a through hole into which another member is inserted, such as a bearing member.

鏡部は、検査対象物の開口部の外周側に配置されて当該開口部の内周面の鏡像を撮像手段へ映し出せるものであればよく、複数の平面鏡を開口部と同心状に配置して構成されるものに限定されない。例えば、一枚の平面鏡を配置して内周部の特定の部分についてのみ検査するようにしてもよいし、開口部を囲む環状の鏡を配置してもよい。   The mirror part is not limited as long as it is arranged on the outer peripheral side of the opening of the inspection object and can project a mirror image of the inner peripheral surface of the opening to the imaging means, and a plurality of plane mirrors are arranged concentrically with the opening. It is not limited to what is comprised. For example, a single plane mirror may be arranged to inspect only a specific part of the inner periphery, or an annular mirror surrounding the opening may be arranged.

処理部により判定される欠陥は、検査対象物の外観に係わるものであればよく、内周面の凹凸(輪郭)に限定されない。例えば内周面の変色を検出してもよい。   The defect determined by the processing unit is not limited to the unevenness (contour) on the inner peripheral surface as long as it relates to the appearance of the inspection object. For example, discoloration of the inner peripheral surface may be detected.

リング照明は検査対象物の開口部を囲む位置から光を照射できるものであればよく、点光源を環状に配置するものに限定されず、例えば開口部を囲む位置から光ファイバにより光が出射されてもよい。   The ring illumination only needs to be able to irradiate light from the position surrounding the opening of the inspection object, and is not limited to the one in which the point light source is arranged in an annular shape. For example, light is emitted from the position surrounding the opening by an optical fiber. May be.

本発明の実施形態の検査装置を示す概略図である。It is the schematic which shows the inspection apparatus of embodiment of this invention. 図1の検査装置の鏡部の斜視図である。It is a perspective view of the mirror part of the inspection apparatus of FIG. 図1の検査装置の鏡部の平面図及び断面図である。It is the top view and sectional drawing of the mirror part of the inspection apparatus of FIG. 図1の検査装置の照明部の一部拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view of the illumination part of the inspection apparatus of FIG. 図1の検査装置の処理部が実行する検査処理の手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the procedure of the inspection process which the process part of the inspection apparatus of FIG. 1 performs. 図1の検査装置のカメラにより撮像される画像を示す図である。It is a figure which shows the image imaged with the camera of the inspection apparatus of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

100…Oリング(検査対象物)、100a…内周面、4…カメラ(撮像手段)、2…鏡部、5…処理部(判別手段)。

DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... O-ring (inspection object), 100a ... Inner peripheral surface, 4 ... Camera (imaging means), 2 ... Mirror part, 5 ... Processing part (discriminating means).

Claims (7)

検査対象物(100)の開口部(100a)の開口方向に配置された撮像手段(4)と、
前記検査対象物と前記撮像手段との間において、前記撮像手段から見て前記開口部の外周側に配置され、前記開口部の内周面(100b)の鏡像を映し出す鏡部(2)と、
前記撮像手段により撮像された前記鏡像の画像(G3)に基づいて前記検査対象物の欠陥の有無を判別する判別手段(5)と、
を備えた外観検査装置(1)。
Imaging means (4) arranged in the opening direction of the opening (100a) of the inspection object (100);
A mirror unit (2) disposed between the inspection object and the imaging unit on the outer peripheral side of the opening as viewed from the imaging unit and displaying a mirror image of the inner peripheral surface (100b) of the opening;
Discriminating means (5) for discriminating the presence or absence of defects of the inspection object based on the mirror image (G3) imaged by the imaging means;
Appearance inspection apparatus (1) provided with.
前記内周面は開口方向の中央側が縮径している
請求項1に記載の外観検査装置。
The appearance inspection apparatus according to claim 1, wherein the inner peripheral surface has a reduced diameter on the center side in the opening direction.
前記鏡部は、前記撮像手段から見て前記開口部を囲むように配置され、前記内周面の鏡像を映し出す複数の平面鏡(34)を備えている
請求項1又は2に記載の外観検査装置。
3. The appearance inspection apparatus according to claim 1, wherein the mirror unit includes a plurality of plane mirrors (34) arranged so as to surround the opening as viewed from the imaging unit and projecting a mirror image of the inner peripheral surface. .
前記検査対象物と前記撮像手段との間において、前記検査対象物側へ光を照射する第1の照明手段(42)と、
前記第1の照明手段と前記検査対象物との間において、前記第1の照明手段側へ光を照射する第2の照明手段(43)と、
前記第1の照明手段と前記第2の照明手段との間に設けられ、前記第1の照明手段からの光を前記検査対象物側へ拡散しつつ透過させ、前記第2の照明手段からの光を前記検査対象物側へ反射する拡散手段(44)と、
を更に備えた請求項1〜3のいずれか1項に記載の外観検査装置。
A first illumination means (42) for irradiating light to the inspection object side between the inspection object and the imaging means;
A second illuminating means (43) for irradiating light to the first illuminating means side between the first illuminating means and the inspection object;
Provided between the first illuminating means and the second illuminating means, allowing the light from the first illuminating means to transmit while diffusing to the inspection object side, and from the second illuminating means. Diffusing means (44) for reflecting light to the inspection object side;
The visual inspection apparatus according to claim 1, further comprising:
前記第1の照明手段及び前記第2の照明手段は、前記撮像手段から見て前記開口部を囲む位置から光を照射するリング照明手段である
請求項4に記載の外観検査装置。
The visual inspection apparatus according to claim 4, wherein the first illuminating unit and the second illuminating unit are ring illuminating units that irradiate light from a position surrounding the opening as viewed from the imaging unit.
前記判別手段は、前記鏡像の画像において、所定の輝度閾値よりも輝度の低い面積が、所定の面積閾値よりも大きいときに、前記検査対象物に欠陥が発生したと判別する
請求項1〜5のいずれか1項に記載の外観検査装置。
The determination unit determines that a defect has occurred in the inspection object when an area whose luminance is lower than a predetermined luminance threshold is larger than a predetermined area threshold in the mirror image. The visual inspection apparatus according to any one of the above.
前記撮像手段から見て前記検査対象物の背後に設けられ、前記検査対象物を、前記撮像手段による前記鏡像の撮像が可能な位置に対して、搬入及び搬出する搬送手段(26)を更に備えた
請求項1〜6のいずれか1項に記載の外観検査装置。
Further provided is a conveying means (26) provided behind the inspection object as viewed from the imaging means and for carrying the inspection object into and out of a position where the mirror image can be taken by the imaging means. The appearance inspection apparatus according to any one of claims 1 to 6.
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009293999A (en) * 2008-06-03 2009-12-17 Panasonic Electric Works Co Ltd Wood defect detector
JP2011191190A (en) * 2010-03-15 2011-09-29 Bridgestone Corp Visual inspection device and visual inspection method
WO2016121681A1 (en) * 2015-01-26 2016-08-04 株式会社エヌテック Inspection device
JP2017053766A (en) * 2015-09-10 2017-03-16 株式会社豊田中央研究所 Surface imaging device, surface inspection device, and surface imaging method
JP2017530408A (en) * 2014-09-25 2017-10-12 ライカ マイクロシステムズ シーエムエス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングLeica Microsystems CMS GmbH Mirror device
KR20180035484A (en) * 2016-09-29 2018-04-06 주식회사 제이이노텍 Apparatus and method for inspection of welding state of cylindrical battery
CN109386276A (en) * 2017-08-09 2019-02-26 中国石油化工股份有限公司 Visualize the device and method of Seepage Experiment
JP2019056950A (en) * 2017-09-19 2019-04-11 株式会社住田光学ガラス Inspection apparatus and inspection method
JP2021051032A (en) * 2019-09-26 2021-04-01 第一実業ビスウィル株式会社 Appearance inspecting apparatus of annular product
IT202000002656A1 (en) * 2020-02-11 2021-08-11 Utpvision S R L DEVICE FOR DETECTION OF SURFACE DEFECTS IN AN OBJECT

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63133044A (en) * 1986-11-25 1988-06-04 Matsushita Electric Works Ltd Lighting fixture for inspection
JPH03207169A (en) * 1990-01-09 1991-09-10 Nok Corp Photographing method
JPH0694646A (en) * 1992-09-14 1994-04-08 Fuji Electric Co Ltd Circular container inner surface inspecting device
JPH1054807A (en) * 1996-08-08 1998-02-24 Kirin Techno Syst:Kk Apparatus for inspecting side face of mouth of bottle
JP2004163425A (en) * 2002-10-22 2004-06-10 Sealive Inc Visual examination apparatus

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63133044A (en) * 1986-11-25 1988-06-04 Matsushita Electric Works Ltd Lighting fixture for inspection
JPH03207169A (en) * 1990-01-09 1991-09-10 Nok Corp Photographing method
JPH0694646A (en) * 1992-09-14 1994-04-08 Fuji Electric Co Ltd Circular container inner surface inspecting device
JPH1054807A (en) * 1996-08-08 1998-02-24 Kirin Techno Syst:Kk Apparatus for inspecting side face of mouth of bottle
JP2004163425A (en) * 2002-10-22 2004-06-10 Sealive Inc Visual examination apparatus

Cited By (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009293999A (en) * 2008-06-03 2009-12-17 Panasonic Electric Works Co Ltd Wood defect detector
JP2011191190A (en) * 2010-03-15 2011-09-29 Bridgestone Corp Visual inspection device and visual inspection method
JP2017530408A (en) * 2014-09-25 2017-10-12 ライカ マイクロシステムズ シーエムエス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングLeica Microsystems CMS GmbH Mirror device
US10768399B2 (en) 2014-09-25 2020-09-08 Leica Microsystems Cms Gmbh Mirror device
TWI676798B (en) * 2015-01-26 2019-11-11 日商N-Tech股份有限公司 Inspection device
WO2016121681A1 (en) * 2015-01-26 2016-08-04 株式会社エヌテック Inspection device
JPWO2016121681A1 (en) * 2015-01-26 2017-11-09 株式会社エヌテック Inspection device
JP2017053766A (en) * 2015-09-10 2017-03-16 株式会社豊田中央研究所 Surface imaging device, surface inspection device, and surface imaging method
KR20180035484A (en) * 2016-09-29 2018-04-06 주식회사 제이이노텍 Apparatus and method for inspection of welding state of cylindrical battery
KR101894961B1 (en) * 2016-09-29 2018-09-05 주식회사 제이이노텍 Apparatus for inspecting welding state of cylindrical battery
CN109386276A (en) * 2017-08-09 2019-02-26 中国石油化工股份有限公司 Visualize the device and method of Seepage Experiment
CN109386276B (en) * 2017-08-09 2022-04-12 中国石油化工股份有限公司 Device and method for visual seepage experiment
JP2019056950A (en) * 2017-09-19 2019-04-11 株式会社住田光学ガラス Inspection apparatus and inspection method
JP2021051032A (en) * 2019-09-26 2021-04-01 第一実業ビスウィル株式会社 Appearance inspecting apparatus of annular product
JP7307520B2 (en) 2019-09-26 2023-07-12 第一実業ビスウィル株式会社 Appearance inspection device for circular products
IT202000002656A1 (en) * 2020-02-11 2021-08-11 Utpvision S R L DEVICE FOR DETECTION OF SURFACE DEFECTS IN AN OBJECT
EP3865863A1 (en) * 2020-02-11 2021-08-18 UTPVision S.r.l. Device for detecting surface defects in an object
WO2021160709A1 (en) * 2020-02-11 2021-08-19 Utpvision S.R.L Device for detecting surface defects in an object

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