KR20050017991A - Fume eliminating method and apparatus for LCD glass oven chamber - Google Patents
Fume eliminating method and apparatus for LCD glass oven chamberInfo
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Abstract
Description
본 발명은 엘씨디 글라스 오븐 쳄버에 관한 것으로서, 특히 쳄버 내부의 온도 균일성을 흐트러뜨리지 않으면서 쳄버 내부에 발생되는 유해 증기를 효과적으로 제거할 수 있는 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 유해 증기 제거 방법 및 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an LCD glass oven chamber, and more particularly, to a method and apparatus for removing harmful vapor from an LCD glass oven chamber which can effectively remove harmful vapors generated inside the chamber without disturbing the temperature uniformity inside the chamber. .
티에프티(TFT, Thin Film Transistor) 엘씨디 제조 공정에 있어서, 박막 트랜지스터, 화소 전극, RGB 화소 및 공통 전극들은, 박막 증착 공정과, 포토레지스트 코팅 공정과, 베이킹 공정과, 노광 공정과, 현상공정과, 식각 공정 등을 반복함으로써 형성된다. In thin film transistor (TFT) manufacturing process, a thin film transistor, a pixel electrode, an RGB pixel, and a common electrode include a thin film deposition process, a photoresist coating process, a baking process, an exposure process, a developing process, It is formed by repeating the etching process.
이와 같은 엘씨디 제조 공정에 있어서의 오븐 쳄버(Oven chamber)는, 쳄버 내부의 핫 플레이트(Hot plate) 또는 적외선(IR, Infrared ray)을 열원으로 하여 포토레지스트 코팅 설비에 투입하기 전에 글라스 기판에 열을 가하여 건조 및 예열시키거나, 또는 포토레지스트 막이 코팅된 글라스 기판에 일정시간 열을 가하여 포토레지스트 막을 경화시키는(베이킹 공정, Baking) 장비이다. The oven chamber in such an LCD manufacturing process uses a hot plate or infrared (IR, Infrared ray) inside the chamber as a heat source to heat the glass substrate before inputting it to the photoresist coating facility. It is an equipment to harden a photoresist film by baking and preheating or by applying heat to a glass substrate coated with a photoresist film for a predetermined time (baking process).
상기한 오븐 쳄버의 베이킹 온도는 대략 130℃ 전후의 높은 온도를 유지하게 됨으로써, 공정중 포토레지스트 막이 증발하여 유해 증기(Fume)를 생성하게 된다. The baking temperature of the oven chamber is maintained at a high temperature of about 130 ° C, thereby causing the photoresist film to evaporate during the process to generate harmful fumes.
상기한 증기에는 각종의 미세 입자가 포함되어 있어, 이를 그대로 방치하는 경우, 미세 입자를 포함하는 증기가 오븐 쳄버 내부에 고착되어 오븐 쳄버를 오염시킴으로써 공정 수행을 어렵게 하거나, 글라스 기판에 고착되어 정밀도와 품질을 떨어뜨리게 된다. Since the steam contains various fine particles, when it is left as it is, the steam containing the fine particles is stuck inside the oven chamber to contaminate the oven chamber, thereby making it difficult to carry out the process, or stuck to a glass substrate, The quality is reduced.
그러나, 오븐 쳄버 내부의 유해 증기를 외부로 배출하려고 할 때, 자칫하면 오븐 쳄버 내부의 온도 균일성(Uniformity)이 흐트러지는 문제가 발생하기 때문에, 이에 대한 대책이 시급히 요구되었다. However, when trying to discharge the harmful vapor inside the oven chamber to the outside, there is a problem that the temperature uniformity (Uniformity) inside the oven chamber is disturbed, so a countermeasure has been urgently required.
만일, 오븐 쳄버 내부의 온도 균일성이 깨지면, 글라스 코팅면에 얼룩이 발생하고 베이킹이 불균일해지며, 글라스 기판이 국부적인 열응력을 받아 다음의 공정에서 불량이 발생하거나 약간의 충격에도 쉽게 깨지게 된다. If the temperature uniformity inside the oven chamber is broken, staining occurs on the glass coating surface and baking becomes uneven, and the glass substrate is subjected to local thermal stress, so that a defect may occur in the following process or be easily broken in a slight impact.
따라서, 본 발명의 목적은, 오븐 쳄버 내부의 온도 균일성을 흐트러뜨리지 않으면서 오븐 쳄버 내부에서 발생되는 유해 증기를 효과적으로 제거할 수 있는 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 유해 증기 제거 장치를 제공하는 것에 있다. It is therefore an object of the present invention to provide an apparatus for removing harmful vapors from an LCD glass oven chamber which can effectively remove harmful vapors generated inside the oven chamber without disturbing the temperature uniformity inside the oven chamber.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 엘씨디 글라스 오븐 쳄버 유해 증기 제거 방법은, 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 일측면 상부에 급기 노즐을 설치하고, 상기 오븐 쳄버의 타측면에는 상기 급기 노즐과 마주보는 배기 노즐을 설치하여 상기 급기 노즐로부터 토출되는 공기를 상기 오븐 쳄버의 천정에 밀착되는 상태로 상기 배기 노즐로 유동되도록 하고, 상기 급기 노즐에는 상기 오븐 쳄버 내부의 분위기와 동일한 온도를 가지는 고온의 공기를 공급함으로써, 상기 오븐 쳄버 내부에 발생되는 유해 증기가 상기 오븐 쳄버의 천정측에서 유동되는 고온의 공기에 휩쓸려 상기 배기 노즐을 통해 배출되도록 하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the LCD glass oven chamber harmful vapor removal method according to the present invention, the air supply nozzle is installed on the upper surface of one side of the LCD glass oven chamber, the other side of the oven chamber exhaust facing the air supply nozzle A nozzle is installed to allow the air discharged from the air supply nozzle to flow into the exhaust nozzle in a state of being in close contact with the ceiling of the oven chamber, and the air supply nozzle supplies hot air having a temperature equal to the atmosphere inside the oven chamber. By doing so, the harmful vapor generated in the oven chamber is swept away by the hot air flowing in the ceiling side of the oven chamber to be discharged through the exhaust nozzle.
한편, 본 발명에 따른 엘씨디 글라스 오븐 쳄버 유해 증기 제거 장치는, 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 일면 외측 상부에 설치되는 급기관; 상기 오븐 쳄버 내부로 공기를 토출하기 위하여 상기 급기관에 연결된 상태로 상기 오븐 쳄버의 일측면 내측 상부에 설치되는 급기 노즐; 상기 급기관으로 고온의 공기를 공급하기 위한 급기 유닛; 상기 오븐 쳄버의 타측면 외측 상부에 설치되는 배기관; 상기 오븐 쳄버 내부의 공기를 외부로 배출하기 위하여 상기 배기관에 연결된 상태로 상기 오븐 쳄버의 타측면 내측 상부에 설치되는 배기 노즐; 및 상기 배기관으로부터 공기를 배출시키기 위한 배기 유닛을 포함함으로써, 상기 오븐 쳄버 내부에 발생된 유해 증기가 상기 급기 노즐을 통해 공급된 고온의 공기에 휩쓸려 상기 배기 노즐을 통해 배출되도록 구성되는 것을 특징으로 한다. On the other hand, the LCD glass oven chamber harmful vapor removing device according to the present invention, the air supply pipe is installed on the upper side of one side of the LCD glass oven chamber; An air supply nozzle installed on an inner side of one side of the oven chamber in a state connected to the air supply pipe to discharge air into the oven chamber; An air supply unit for supplying hot air to the air supply pipe; An exhaust pipe disposed above the other side of the oven chamber; An exhaust nozzle installed at an inner upper side of the other side of the oven chamber in a state connected to the exhaust pipe so as to discharge air inside the oven chamber to the outside; And an exhaust unit for discharging air from the exhaust pipe, wherein the harmful vapor generated inside the oven chamber is swept away by the hot air supplied through the air supply nozzle and discharged through the exhaust nozzle. .
이하, 첨부된 예시도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
첨부도면 도 1 내지 도 4는 본 발명에 따른 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 유해 증기 제거 장치를 나타내는 것으로서, 도 1에는 전체 사시도가 도시되어 있고, 도 2에는 도 1의 A-A 단면도가 도시되어 있으며, 도 3에는 도 1의 내부 구조를 나타내는 평면도가 도시되어 있고, 도 4에는 도 1의 B-B 단면도가 도시되어 있다. 1 to 4 show a harmful vapor removal apparatus of the LCD glass oven chamber according to the present invention, Figure 1 is an overall perspective view, Figure 2 is a cross-sectional view of Figure 1 AA, Figure 3 1 is a plan view illustrating the internal structure of FIG. 1, and FIG. 4 is a sectional view taken along the line BB of FIG. 1.
도 1 내지 도 4에 도시된 실시예에 있어서, 엘씨디 글라스 오븐 쳄버(10)는 핫 플레이트를 열원으로 하는 쳄버를 일례로 나타내고 있으나, 본 발명은 적외선을 열원으로 하는 오븐 쳄버에도 동일하게 적용가능하다. In the embodiment shown in Figs. 1 to 4, the LCD glass oven chamber 10 is shown as an example of a chamber using a hot plate as a heat source, but the present invention is equally applicable to an oven chamber using an infrared heat source. .
먼저, 도 1 내 지 도 3에 도시된 바와 같이, 엘씨디 글라스 오븐 쳄버(10)는, 그의 내부에 핫 플레이트(11)가 구비되어 있고, 이 핫 플레이트(11)에는 글라스 기판(2)을 지지하기 위한 리프트 핀(12)이 구비되어 있으며, 오븐 쳄버(10)의 전방측에는 쳄버(10) 내부로 글라스 기판(2)을 로딩하거나 언로딩하기 위한 통로인 출입구(13)가 형성되어 있고, 이 출입구(13, 도 4 참조)에는 셔터(14)가 설치되어 있다. First, as shown in FIGS. 1 to 3, the LCD glass oven chamber 10 is provided with a hot plate 11 inside thereof, and the hot plate 11 supports the glass substrate 2. A lift pin 12 is provided to the front side of the oven chamber 10. An entrance 13, which is a passage for loading or unloading the glass substrate 2 into the chamber 10, is formed at the front side of the oven chamber 10. The shutter 14 is provided in the doorway 13 (refer FIG. 4).
상기와 같은 엘씨디 글라스 오븐 쳄버에 있어서, 본 발명에 따른 유해 가스 제거 장치는, 엘씨디 글라스 오븐 쳄버(10)의 일면 외측 상부에 급기관(100)이 설치되고, 오븐 쳄버(10) 내부에는 상기 급기관(100)에 연결되는 급기 노즐(110)이 설치되며, 상기 급기관(100)에는 고온의 공기를 공급하기 위한 급기 유닛(120)이 연결된다. In the LCD glass oven chamber as described above, the harmful gas removal device according to the present invention, the air supply pipe 100 is installed on the upper side of the outer side of the LCD glass oven chamber 10, the inside of the oven chamber 10 An air supply nozzle 110 connected to the engine 100 is installed, and the air supply unit 100 is connected to an air supply unit 120 for supplying hot air.
따라서, 상기 급기 유닛(120)과 급기관(100)을 통해 공급된 고온의 공기는 상기 급기 노즐(110)을 통해 오븐 쳄버(10) 내부로 토출된다. Therefore, the hot air supplied through the air supply unit 120 and the air supply pipe 100 is discharged into the oven chamber 10 through the air supply nozzle 110.
여기서, 상기 급기 유닛(120)은, 공기를 가열하기 위한 히터, 및 가열된 공기를 송출하기 위한 블로어(Blower)가 일체로 구비된 것을 사용하는 것이 바람직하다. Here, the air supply unit 120, it is preferable to use that the heater for heating the air, and a blower (Blower) for sending the heated air is integrally provided.
그리고, 상기 오븐 쳄버(10)의 타측면 외측 상부에는 배기관(130)이 설치되고, 오븐 쳄버(10) 내부에는 상기 배기관(130)에 연결되는 배기 노즐(140)이 설치되며, 상기 배기관(130)의 말단에는 배기 유닛(150)이 설치된다. In addition, an exhaust pipe 130 is installed at an upper portion of the outer side of the oven chamber 10, an exhaust nozzle 140 connected to the exhaust pipe 130 is installed in the oven chamber 10, and the exhaust pipe 130 is disposed. The exhaust unit 150 is installed at the end of the).
따라서, 상기 오븐 쳄버(10) 내부에 발생된 유해 증기는 상기 급기 노즐(110)을 통해 공급된 고온의 공기에 휩쓸려 상기 배기 노즐(140)을 통해 배출되도록 한 구조로 이루어진다. Accordingly, the harmful vapor generated in the oven chamber 10 is swept away by the hot air supplied through the air supply nozzle 110 to be discharged through the exhaust nozzle 140.
상기 배기 유닛(150)은 일반적인 팬(Fan)으로 이루어질 수 있다. The exhaust unit 150 may be formed of a general fan.
도면에 도시된 실시예에 있어서, 상기 급기관(100)과 배기관(130)에는 유량 조절 댐퍼(160)(170)가 구비되어 있어, 오븐 쳄버(10) 내부로 공급되는 공기량과 오븐 쳄버(10) 외부로 배출되는 공기량을 조절(제어)할 수 있도록 하고 있다. In the embodiment shown in the drawings, the air supply pipe 100 and the exhaust pipe 130 is provided with a flow control damper 160, 170, the amount of air supplied to the oven chamber 10 and the oven chamber 10 It controls the amount of air discharged to the outside.
또한, 상기 급기관(100)과 배기관(130)은 다수의 지관(101)(131)을 가지는 것으로 구성되어 있고, 그에 따라 상기 유량 조절 댐퍼(160)(170)도 각 지관(101)(131)에 하나씩 구비되어 있다. In addition, the air supply pipe 100 and the exhaust pipe 130 is composed of having a plurality of branch pipes (101, 131), accordingly, the flow control damper (160, 170) also each branch pipe (101, 131). ) Are provided one by one.
한편, 상기 급기 노즐(110)과 배기 노즐(140)은 서로 마주보는 상태로 배치됨으로써, 급기로 하여금 일방향으로 원활히 흐르도록 유도하여, 쳄버(10) 내부의 분위기를 흐트러뜨리지 않으면서, 급기 노즐(110)로부터 토출된 공기가 자연스럽게 상기 배기 노즐(140)로 유동되도록 되어 있다. On the other hand, the air supply nozzle 110 and the exhaust nozzle 140 is disposed in a state facing each other, induces the air to flow smoothly in one direction, without disturbing the atmosphere inside the chamber 10, the air supply nozzle ( The air discharged from the 110 flows naturally into the exhaust nozzle 140.
상기한 급기 노즐(110)은, 상기 오븐 쳄버(10)의 일측 전체 길이에 걸쳐 배치되는 일체형의 통체로 이루어지며, 일체형 통체에 다수의 토출구(111)가 형성되어 있다. The air supply nozzle 110 is formed of an integral cylinder disposed over the entire length of one side of the oven chamber 10, and a plurality of discharge ports 111 are formed in the integral cylinder.
상기 배기 노즐(140)도 상기 급기 노즐(110)과 마찬가지로, 상기 오븐 쳄버(10)의 일측 전체 길이에 걸쳐 배치되는 일체형의 통체로 이루어지며, 일체형 통체에 다수의 배출구(141)가 형성되어 있다. Like the air supply nozzle 110, the exhaust nozzle 140 is formed of an integral cylinder disposed over the entire length of one side of the oven chamber 10, and a plurality of outlets 141 are formed in the integral cylinder. .
도면에 도시된 실시예에 있어서, 상기 급기 노즐(110)은, 토출된 고온의 공기를 상기 오븐 쳄버(10)의 천정에 최대한 밀착되는 상태로 유동(층류 유동)되도록 유도하기 위하여, 급기 노즐(110)의 상면이 상기 오븐 쳄버(10)의 천정을 비스듬하게 향하는 경사면(112)으로 이루어진다. 그에 따라, 상기 다수의 토출구(111)는 상기 경사면(112)에 형성된다. In the embodiment shown in the drawing, the air supply nozzle 110, in order to induce the discharged high-temperature air to flow (laminar flow flow) in the state as closely as possible to the ceiling of the oven chamber 10, The upper surface of the 110 consists of an inclined surface 112 facing obliquely to the ceiling of the oven chamber 10. Accordingly, the plurality of discharge ports 111 are formed on the inclined surface 112.
이와 더불어, 상기 배기 노즐(140)은, 오븐 쳄버(10) 내부의 증기를 오븐 쳄버(10)의 천정부분으로부터 유입시키기 위하여, 배기 노즐(140)의 상면이 상기 오븐 쳄버(10)의 천정을 비스듬하게 향하는 경사면(142)으로 이루어진다. 그에 따라, 상기 다수의 배출구(141)는 상기 경사면(142)에 형성된다. In addition, the exhaust nozzle 140, the upper surface of the exhaust nozzle 140 to the ceiling of the oven chamber 10 in order to introduce the steam in the oven chamber 10 from the ceiling portion of the oven chamber 10. It consists of an inclined surface 142 facing obliquely. Accordingly, the plurality of outlets 141 are formed on the inclined surface 142.
또한, 상기 급기 유닛(120)으로부터 상기 급기 노즐(110)에 이르기까지의 급기관(100) 외부에는 단열 커버(180)가 설치된다. In addition, the heat insulation cover 180 is installed outside the air supply pipe 100 from the air supply unit 120 to the air supply nozzle 110.
상기 단열 커버(180)는 상기 급기 노즐(110)로 공급되는 공기의 온도 저하를 방지함으로써 공급되는 공기의 온도를 쳄버(10)내의 분위기 온도와 동일한 온도로 유지할 수 있도록 한다. The insulation cover 180 may maintain the temperature of the supplied air at the same temperature as the ambient temperature in the chamber 10 by preventing the temperature of the air supplied to the air supply nozzle 110 from dropping.
마찬가지로, 상기 배기 유닛(150)으로부터 상기 배기 노즐(140)에 이르기까지의 배기관(130) 외부에도 단열커버(190)가 설치된다. Similarly, the heat insulation cover 190 is installed outside the exhaust pipe 130 from the exhaust unit 150 to the exhaust nozzle 140.
상기 단열 커버(190)는 상기 오븐 쳄버(10)로부터 배출되는 공기의 온도 저하를 방지함으로써, 배출되는 공기중에 함유된 유해 증기가 배기관(130)에 고착되는 것을 방지하게 된다. The insulation cover 190 prevents the temperature of the air discharged from the oven chamber 10 from being lowered, thereby preventing the harmful vapor contained in the discharged air from being fixed to the exhaust pipe 130.
다음, 도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 오븐 쳄버(10)의 글라스 기판을 로딩및 언로딩하기 위한 출입구(13) 상부에 후드(200)가 설치되고, 이 후드(200)에는 상기 글라스 기판 출입구(13)를 통해 내부의 유해 증기를 흡입.배출하기 위한 흡기관(210)이 설치된다. Next, as shown in FIGS. 1 and 4, a hood 200 is installed on the entrance 13 for loading and unloading the glass substrate of the oven chamber 10, and the hood 200 is mounted on the hood 200. An intake pipe 210 is installed to suck and discharge harmful vapor therein through the glass substrate entrance 13.
상기 흡기관(210)은 상기 배기관(130)에 연결되어 상기 배기 유닛(150)에 의해서 흡인력을 받도록 하는 것이 바람직하다. The intake pipe 210 is preferably connected to the exhaust pipe 130 to receive a suction force by the exhaust unit 150.
상기와 같이 이루어진 본 발명은, 오븐 쳄버(10) 내부의 분위기와 동일한 온도를 가지는 고온의 공기를 공급함으로써, 그리고, 일측의 급기 노즐(110)로부터 타측의 배기 노즐(140)로 천정을 따라 층류 유동시킴으로써, 오븐 쳄버(10) 내부의 분위기를 흐트러뜨리지 아니하면서 상기 엘씨디 글라스 기판(2) 베이킹시 발생하는 유해 증기를 상기 쳄버(10)의 천정을 흐르는 공기의 유동을 따라 배출되도록 한 것이다. The present invention made as described above, by supplying hot air having the same temperature as the atmosphere inside the oven chamber 10, and laminar flow along the ceiling from the air supply nozzle 110 on one side to the exhaust nozzle 140 on the other side By flowing, harmful vapors generated during baking of the LCD glass substrate 2 are discharged along the flow of air flowing through the ceiling of the chamber 10 without disturbing the atmosphere inside the oven chamber 10.
만일, 오븐 쳄버(10) 내부의 온도 균일성이 깨지면, 글라스 코팅면에 얼룩이 발생하거나, 베이킹이 불균일해 지고, 글라스 기판이 국부적인 열응력을 받아 다음의 공정에서 불량 발생 확률이 높고, 약간의 충격에도 쉽게 깨지게 된다. If the temperature uniformity inside the oven chamber 10 is broken, stains may occur on the glass coating surface, baking becomes uneven, and the glass substrate is subjected to local thermal stress, so that a high probability of failure occurs in the following process, and It is easily broken even in shock.
그러나, 본 발명에 있어서는, 오븐 쳄버(10) 내부의 온도와 동일한 온도의 공기가 공급됨으로써, 글라스 기판(2)에 온도 충격을 주지 않고, 쳄버(10) 내부의 온도 균일성(Unifomity)을 유지하면서 유해 증기를 배출시킬 수 있게 된다. However, in the present invention, by supplying air at the same temperature as the temperature inside the oven chamber 10, the temperature uniformity inside the chamber 10 is maintained without giving a temperature shock to the glass substrate 2. It is possible to release harmful vapors.
상기 급기 노즐(110)로부터 토출되는 공기의 온도가 쳄버(10) 내부의 온도와 동일하게 유지되도록 급기 유닛(120)의 가열 온도를 설정한다. The heating temperature of the air supply unit 120 is set so that the temperature of the air discharged from the air supply nozzle 110 is maintained to be the same as the temperature inside the chamber 10.
또한, 본 발명에서는 오븐 쳄버(10) 내의 온도 균일성을 유지하기 위하여 급기의 유동을 쳄버(10)의 천정을 따라 층류(層流)를 형성하도록 유도하고 있다. Moreover, in this invention, in order to maintain the temperature uniformity in oven chamber 10, the flow of air supply is guide | induced to form laminar flow along the ceiling of the chamber 10. As shown in FIG.
즉, 본 발명에 있어서는, 급기 노즐(110)과 배기 노즐(140)이 오븐 쳄버(10)의 천정부분에 근접하여 설치되고, 나아가 급기 노즐(110)과 배기 노즐(140)이 서로 마주보도록 배치되며, 더욱이 급기 노즐(110)의 토출구(111)와 배기 노즐(140)의 배출구(141)가 각각 천정을 비스듬하게 향하는 경사면(112)(142)에 형성되어 있으므로, 급기 노즐(110)로부터 토출되는 공기는 오븐 쳄버(10)의 천정에 비스듬하고 완만하게 부딪혀 쳄버(10)의 천정을 따라 상기 배기 노즐(140)측으로 자연스럽게 흐를 수 있게 됨으로써, 쳄버(10) 내부의 분위기를 교란시키지 아니하게 되는 것이다. That is, in the present invention, the air supply nozzles 110 and the exhaust nozzles 140 are provided close to the ceiling of the oven chamber 10, and further the air supply nozzles 110 and the exhaust nozzles 140 are disposed to face each other. Further, since the discharge port 111 of the air supply nozzle 110 and the discharge port 141 of the exhaust nozzle 140 are formed on the inclined surfaces 112 and 142 facing the ceiling obliquely, respectively, discharge from the air supply nozzle 110 is performed. When the air is obliquely and gently hits the ceiling of the oven chamber 10 to flow naturally along the ceiling of the chamber 10 toward the exhaust nozzle 140, the air inside the chamber 10 is not disturbed. will be.
다시 말하면, 상기 급기 노즐(110)을 통하여 토출되는 공기는, 난류(亂流)나 와류(渦流)를 형성하지 않고 쳄버(10)의 천정을 따라 층류유동되도록 유도된다. In other words, the air discharged through the air supply nozzle 110 is induced to laminarly flow along the ceiling of the chamber 10 without forming turbulent flow or vortex.
따라서, 글라스 기판(2)에서 발생한 증기는 상기한 급기의 유동을 따라 자연스럽게 배출되게 된다. Therefore, the steam generated in the glass substrate 2 is naturally discharged along the flow of the air supply described above.
여기서, 상기한 급기를 층류 유동으로 유도하기 위하여는, 상기 급기 노즐(110)과 배기 노즐(140)로부터 급기가 동일 압력으로 공급 및 흡인되도록 함으로써 급기의 유동을 균일하게 유지할 수 있게 된다. Here, in order to guide the air supply to the laminar flow, it is possible to maintain the flow of the air supply by allowing the air supply and suction at the same pressure from the air supply nozzle 110 and the exhaust nozzle 140.
한편, 상기 오븐 쳄버(10)에 글라스 기판을 로딩 및 언로딩 하기 위하여 셔터(14)를 개방시켜 출입구(13)가 열리는 경우, 본 발명에 의해 상기 출입구(13) 상부에 후드(200)가 설치되어 있고, 이 후드(200)에는 흡기관(210)이 설치되어 있으므로, 오븐 쳄버(10) 내부에 잔류하고 있는 유해 증기는 상기 출입구(13)를 통해 상기 흡기관(210)으로 흡인되어 배출된다. On the other hand, when the doorway 13 is opened by opening the shutter 14 to load and unload the glass substrate in the oven chamber 10, the hood 200 is installed on the doorway 13 according to the present invention. Since the hood 200 is provided with an intake pipe 210, the harmful vapor remaining in the oven chamber 10 is sucked into the intake pipe 210 through the entrance 13 and discharged. .
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 유해 증기 제거 방법 및 장치에 의하면, 오븐 쳄버 내부 분위기와 동일한 온도의 급기를 유동시킴으로써 오븐 쳄버의 온도 균일성을 흐트러뜨리지 않게 되며, 나아가 급기를 서로 대향하는 급기 노즐과 배기 노즐을 통하여 쳄버의 천정부에 밀착한 상태의 층류 유동을 유도함으로써 쳄버 내부의 분위기를 흐트러뜨지지 않으면서도 쳄버 내부의 유해증기를 효과적으로 배출시킬 수 있다. As described above, according to the method and apparatus for removing harmful vapors of an LCD glass oven chamber according to the present invention, by supplying air at the same temperature as the atmosphere inside the oven chamber, the temperature uniformity of the oven chamber is not disturbed. By inducing laminar flow in close contact with the ceiling of the chamber through the air supply nozzles and the exhaust nozzles facing each other, it is possible to effectively discharge the harmful vapor in the chamber without disturbing the atmosphere inside the chamber.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유해 증기 제거 장치를 전체적으로 나타내는 사시도 1 is a perspective view showing an overall harmful vapor removal device according to a preferred embodiment of the present invention
도 2는 도 1의 A-A 단면도 2 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.
도 3은 도 1에서 오븐 쳄버의 상부 커버를 제거한 상태로 쳄버 내부 구조를 도시한 평면도 Figure 3 is a plan view showing the internal structure of the chamber with the top cover of the oven chamber in Figure 1 removed
도 4는 도 1의 B-B 단면도 4 is a cross-sectional view taken along line B-B of FIG.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
2 : 엘씨디 글라스 기판 10 : 오븐 쳄버 2: LCD glass substrate 10: oven chamber
13 : 출입구 14 : 셔터 13: doorway 14: shutter
100 : 급기관 101 : 지관 100: supply pipe 101: branch pipe
110 : 급기 노즐 111 : 토출구 110: air supply nozzle 111: discharge port
112 : 경사면 120 : 급기 유닛 112: inclined surface 120: air supply unit
130 : 배기관 131 : 지관 130: exhaust pipe 131: branch pipe
140 : 배기 노즐 141 : 배출구 140: exhaust nozzle 141: outlet
142 : 경사면 150 : 배기 유닛 142: inclined surface 150: exhaust unit
160,170 : 유량 조절 댐퍼 180 : 단열 커버 160170: flow control damper 180: heat insulation cover
190 : 단열 커버 200 : 후드 190: heat insulation cover 200: hood
210 : 흡기관 210: intake pipe
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|---|---|---|---|---|
| WO2007029927A1 (en) * | 2005-09-09 | 2007-03-15 | Vessel Co., Ltd. | Lcd glass oven system door and apparatus for controlling the same |
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