KR100558606B1

KR100558606B1 - Fume eliminating apparatus for LCD glass oven chamber

Info

Publication number: KR100558606B1
Application number: KR1020030055651A
Authority: KR
Inventors: 임은성
Original assignee: 주식회사 제우스
Priority date: 2003-08-12
Filing date: 2003-08-12
Publication date: 2006-03-13
Also published as: KR20050017991A

Abstract

본 발명은 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 유해 증기 제거 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for removing harmful vapors of an LCD glass oven chamber.

본 발명은, 따른 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 유해 증기 제거 장치는, 내부가 공간으로 이루어지는 사각통의 육면체로서, 그의 내부 공간의 아래쪽에는 공정을 수행하고자 하는 하나의 글라스 기판(2)이 배치되고, 상기 사각통의 육면체의 4개의 둘레 측면 중 어느 하나의 측면에는 상기 사각통의 내부로 상기 글라스 기판(2)을 로딩 및 언로딩하기 위한 출입구(13)가 형성되어 있으며, 상기 출입구(13)에는 셔터(14)가 설치되어 있는 엘씨디 글라스 오븐 쳄버(10)와; 상기 글라스 기판(2)을 올려 놓고 가열하는 핫 플레이트 수단 또는 상기 글라스 기판(2)에 적외선을 방사하여 가열하는 적외선 수단으로 이루어져 상기 오븐 쳄버(10)의 내부에 설치되는 가열원과; 상기 오븐 쳄버(10)의 4개의 측면중, 상기 출입구(13)가 설치된 측면과 이웃하는 양쪽 2개의 측면중 어느 하나의 측면의 천장면에 인접한 내부면에, 해당하는 측면의 길이방향을 따라 전체 길이에 걸쳐서 배치되어 오븐 쳄버(10) 내부로 외부 공기를 토출하는 급기 노즐통(110)과; 상기 오븐 쳄버(10)의 4개의 측면중, 상기 급기 노즐통(110)이 설치된 측면과 정면으로 마주하는 측면의 천장면에 인접한 내부면에, 해당하는 측면의 길이방향을 따라 전체 길이에 걸쳐 배치되는 배기 노즐통(140)과; 상기 오븐 쳄버(10)의 외부에 상기 급기 노즐통(110)에 연결되도록 설치되는 급기관(100) 및 상기 급기관(100)에 고온의 외부 공기를 공급하는 급기 유닛(120)과; 상기 오븐 쳄버(10)의 외부에 상기 배기 노즐통(140)에 연결되도록 설치되는 배기관(130) 및 상기 배기관(130)으로부터 공기를 배출시키는 배기 유닛(150)을 포함하며, 상기 급기 노즐통(110)은, 내부에 공간을 가지는 일체형의 통체로 이루어지고, 그의 횡단면은, 오븐 쳄버(10)의 외부를 향하는 면은 상기 급기관(100)과 연통되고, 오븐 쳄버(10) 내부를 향하는 면은 오븐 쳄버(10)의 외측방향으로부터 내측방향으로 갈수록 점차 하향 경사져서 상기 오븐 쳄버(10)의 천장을 비스듬하게 향하는 경사면(112)으로 이루어지는 형태를 가지며, 상기 경사면(112)에는 급기 노즐통(110)의 길이 방향을 따라 다수개의 토출구(111)가 형성되고, 상기 배기 노즐통(140)은, 내부에 공간을 가지는 일체형의 통체로 이루어지고, 그의 횡단면은, 오븐 쳄버(10)의 외부를 향하는 면은 상기 배기관(130)과 연통되고, 오븐 쳄버(10) 내부를 향하면서 상기 급기 노즐통(110)과 마주하는 면은 오븐 쳄버(10)의 외측방향으로부터 내측방향으로 갈수록 점차 하향 경사져서 상기 오븐 쳄버(10)의 천장을 비스듬하게 향하는 경사면(142)으로 이루어지는 형태를 가지며, 상기 경사면(112)에는 급기 노즐통(110)의 길이 방향을 따라 다수개의 토출구(141)가 형성됨으로써, 상기 급기 노즐통(100)에 형성된 다수개의 토출구(111)로부터 상기 오븐 쳄버(10)의 천장면을 비스듬하게 향하여 고온의 외부 공기가 토출되어 상기 오븐 쳄버(10)의 천장면에 밀착된 형태의 얇고 일정한 흐름으로 상기 배기 노즐통(140)에 형성된 다수개의 배출구(141)를 향해 흐르는 층류 흐름을 이루고, 상기 글라스 기판(2)으로부터 기화되어 오븐 쳄버(10)의 위쪽으로 상승되는 유해 증기는 상기 오븐 쳄버(10)의 천장면에 흐르는 고온의 외부 공기의 층류 흐름에 합류하여 오븐 쳄버(10)의 외부로 배출되도록 한 구성을 가진다. According to the present invention, the apparatus for removing harmful vapor of an LCD glass oven chamber according to the present invention is a cube-shaped cube having an inner space, and one glass substrate 2 to be subjected to a process is disposed below the inner space. At one side of the four circumferential side surfaces of the square cube, a doorway 13 for loading and unloading the glass substrate 2 into the inside of the box is formed, and the doorway 13 has a shutter. LCD glass oven chamber (10) is provided (14); A heating source provided on the inside of the oven chamber (10) comprising a hot plate means for placing and heating the glass substrate (2) or infrared means for radiating and heating infrared rays to the glass substrate (2); Of the four sides of the oven chamber 10, the inner surface adjacent to the ceiling surface of either side of the two sides adjacent to the side in which the doorway 13 is installed, the entire side along the longitudinal direction of the corresponding side An air supply nozzle barrel 110 disposed over the length to discharge external air into the oven chamber 10; Of the four side surfaces of the oven chamber 10, the inner surface adjacent to the ceiling surface of the side facing the front side with the air supply nozzle barrel 110 is disposed over the entire length along the longitudinal direction of the corresponding side surface. An exhaust nozzle barrel 140; An air supply pipe (100) installed to be connected to the air supply nozzle barrel (110) outside the oven chamber (10) and an air supply unit (120) for supplying high temperature external air to the air supply pipe (100); And an exhaust pipe 130 installed to be connected to the exhaust nozzle barrel 140 outside the oven chamber 10 and an exhaust unit 150 for discharging air from the exhaust pipe 130. 110 is formed of an integral cylinder having a space therein, the cross section of which faces the outside of the oven chamber 10 in communication with the air supply pipe 100 and faces the inside of the oven chamber 10. Has an inclined surface 112 which is gradually inclined downward from the outer direction of the oven chamber 10 toward the inward direction and obliquely faces the ceiling of the oven chamber 10, and the inclined surface 112 has an air supply nozzle barrel ( A plurality of discharge ports 111 are formed along the longitudinal direction of the 110, and the exhaust nozzle cylinder 140 is formed of an integral cylinder having a space therein, and a cross section of the exhaust nozzle cylinder 140 is formed outside the oven chamber 10. Face facing the ship The surface communicating with the engine 130 and facing the air supply nozzle barrel 110 toward the inside of the oven chamber 10 is gradually inclined downward from the outer direction of the oven chamber 10 toward the inner side so that the oven chamber ( 10 has a shape consisting of an inclined surface 142 facing obliquely to the ceiling of the 10, a plurality of discharge ports 141 are formed in the inclined surface 112 along the longitudinal direction of the air supply nozzle cylinder 110, thereby providing the air supply nozzle cylinder ( Hot air is discharged from the plurality of discharge ports 111 formed at 100 to the ceiling surface of the oven chamber 10 at an angle to the ceiling surface of the oven chamber 10 so as to be in close contact with the ceiling surface of the oven chamber 10. The toxic flow flowing toward the plurality of outlets 141 formed in the exhaust nozzle barrel 140, and vaporized from the glass substrate 2 to rise upward of the oven chamber 10 is the oven It joins the laminar flow of high temperature external air flowing to the ceiling surface of the chamber (10) has a configuration to be discharged to the outside of the oven chamber (10).

본 발명에 따른 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 유해 증기 제거 장치에 의하면, 오븐 쳄버 내부 분위기와 동일한 온도의 급기가 오븐 쳄버의 천장면에 최대한 밀착하여 얇은 두께로 일정하게 흐르는 층류 흐름이 실현되고, 이러한 외부 공기의 층류 흐름에 오븐 쳄버 내부의 유해 증기가 합류하여 배출되도록 함으로써 오븐 쳄버의 온도 균일성을 흐트러뜨리지 않으면서 쳄버 내부의 유해증기를 효과적으로 배출시킬 수 있다. According to the apparatus for removing harmful vapors of an LCD glass oven chamber according to the present invention, the air supply having the same temperature as the atmosphere inside the oven chamber is as close as possible to the ceiling surface of the oven chamber to realize a laminar flow that flows in a thin thickness, and the external air By allowing harmful vapor inside the oven chamber to be discharged by joining the laminar flow of the chamber, it is possible to effectively discharge the harmful vapor inside the chamber without disturbing the temperature uniformity of the oven chamber.

엘씨디, 글라스, 오븐, 쳄버, 증기, 제거, 포토레지스트, 핫 플레이트, 급기, 배기LCD, Glass, Oven, Chamber, Steam, Removal, Photoresist, Hot Plate, Air Supply, Exhaust

Description

Fume eliminating apparatus for LCD glass oven chamber

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유해 증기 제거 장치를 전체적으로 나타내는 사시도 1 is a perspective view showing an overall harmful vapor removal device according to a preferred embodiment of the present invention

도 2a 및 도 2b는 도 1의 A-A 단면도로서, 도 2a는 전체 단면도이고, 도 2b는 도 2a의 'R1'부분과 'R2'부분의 확대도 2A and 2B are cross-sectional views taken along line A-A of FIG. 1, and FIG. 2A is an overall cross-sectional view, and FIG.

도 3은 도 1에서 오븐 쳄버의 상부 커버를 제거한 상태로 쳄버 내부 구조를 도시한 평면도 Figure 3 is a plan view showing the internal structure of the chamber with the top cover of the oven chamber in Figure 1 removed

도 4는 도 1의 B-B 단면도 4 is a cross-sectional view taken along line B-B of FIG.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명> <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

2 : 엘씨디 글라스 기판 10 : 오븐 쳄버 2: LCD glass substrate 10: oven chamber

13 : 출입구 14 : 셔터 13: doorway 14: shutter

100 : 급기관 101 : 지관 100: supply pipe 101: branch pipe

110 : 급기 노즐통 111 : 토출구 110: air supply nozzle cylinder 111: discharge port

112 : 경사면 120 : 급기 유닛 112: inclined surface 120: air supply unit

130 : 배기관 131 : 지관 130: exhaust pipe 131: branch pipe

140 : 배기 노즐통 141 : 배출구 140: exhaust nozzle barrel 141: outlet

142 : 경사면 150 : 배기 유닛 142: inclined surface 150: exhaust unit

160,170 : 유량 조절 댐퍼 180 : 단열 커버 160170: flow control damper 180: heat insulation cover

190 : 단열 커버 200 : 후드 190: heat insulation cover 200: hood

210 : 흡기관 210: intake pipe

본 발명은 엘씨디 글라스 오븐 쳄버에 관한 것으로서, 특히 쳄버 내부의 공정 분위기와 온도 균일성을 흐트러뜨리지 않으면서 쳄버 내부에 발생되는 유해 증기를 효과적으로 제거할 수 있는 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 유해 증기 제거 방법 및 장치에 관한 것이다. The present invention relates to an LCD glass oven chamber, and more particularly, to a method and apparatus for removing harmful vapor from an LCD glass oven chamber which can effectively remove harmful vapors generated inside the chamber without disturbing the process atmosphere and temperature uniformity inside the chamber. It is about.

티에프티(TFT, Thin Film Transistor) 엘씨디 제조 공정에 있어서, 박막 트랜지스터, 화소 전극, RGB 화소 및 공통 전극들은, 박막 증착 공정과, 포토레지스트 코팅 공정과, 베이킹 공정과, 노광 공정과, 현상공정과, 식각 공정 등을 반복함으로써 형성된다. In thin film transistor (TFT) manufacturing process, a thin film transistor, a pixel electrode, an RGB pixel, and a common electrode include a thin film deposition process, a photoresist coating process, a baking process, an exposure process, a developing process, It is formed by repeating the etching process.

이와 같은 엘씨디 제조 공정에 있어서의 오븐 쳄버(Oven chamber)는, 쳄버 내부의 핫 플레이트(Hot plate) 수단 또는 적외선(IR, Infrared ray) 수단을 열원으로 하여 포토레지스트 코팅 설비에 투입하기 전에 글라스 기판에 열을 가하여 건조 및 예열시키거나, 또는 포토레지스트 막이 코팅된 글라스 기판에 일정시간 열을 가하여 포토레지스트 막을 경화시키는(베이킹 공정, Baking) 장비이다. The oven chamber in such an LCD manufacturing process uses a hot plate means or an infrared ray (IR) means as a heat source to the glass substrate before being introduced into the photoresist coating facility. It is an equipment to dry and preheat by applying heat, or to cure the photoresist film by applying heat for a predetermined time to the glass substrate coated with the photoresist film (baking process).

상기한 오븐 쳄버의 베이킹 온도는 대략 130℃ 전후의 높은 온도를 유지하게 됨으로써, 공정중 포토레지스트 막이 증발하여 유해 증기(Fume)를 생성하게 된다. The baking temperature of the oven chamber is maintained at a high temperature of about 130 ° C, thereby causing the photoresist film to evaporate during the process to generate harmful fumes.

이러한 유해 증기에는 각종의 미세 입자가 포함되어 있어, 이를 그대로 방치하는 경우, 미세 입자를 포함하는 증기가 오븐 쳄버 내부에 고착되어 오븐 쳄버를 오염시킴으로써 공정 수행을 어렵게 하거나, 글라스 기판에 고착되어 정밀도와 품질을 떨어뜨리게 된다. These harmful vapors contain a variety of fine particles, when left as it is, the vapor containing the fine particles are stuck inside the oven chamber to contaminate the oven chamber, making the process difficult or stuck to the glass substrate, The quality is reduced.

그러나, 오븐 쳄버 내부의 유해 증기를 외부로 배출하려고 할 때, 자칫하면 오븐 쳄버 내부의 공정 분위기와 글라스 기판의 온도 균일성(Uniformity)이 흐트러지는 문제가 발생하기 때문에, 이에 대한 대책이 시급히 요구되었다. 예를 들어, 오븐 쳄버 내부에 외부 공기를 유입시켜, 글라스 기판으로부터 기화된 유해 증기와 함께 배출시키고자 할 때, 유입된 외부 공기가 난류(亂流 : Turbulent flow)나 와류(渦流 : Swirl)를 형성하면서 오븐 쳄버 내부 전체로 흩어져, 오븐 쳄버 내부의 공정 분위기를 흐트러뜨리고, 글라스 기판에 직접 영향을 주어 국부적인 온도 변화를 야기한다. However, when trying to discharge the harmful vapor inside the oven chamber to the outside, there is a problem in that the process atmosphere inside the oven chamber and the temperature uniformity of the glass substrate are disturbed. . For example, when the outside air is introduced into the oven chamber and discharged along with the vaporized harmful vapor from the glass substrate, the introduced outside air is used to remove the turbulent flow or the swirl. As it forms, it spreads throughout the oven chamber, disrupting the process atmosphere inside the oven chamber and directly affecting the glass substrate, causing local temperature changes.

만일, 베이킹 공정을 진행하던 도중에 오븐 쳄버 내부와 글라스 기판의 온도 균일성이 깨지면, 글라스 코팅면에 얼룩이 발생하고 베이킹이 불균일해지며, 글라스 기판이 국부적인 열응력을 받아 다음의 공정에서 불량이 발생하거나 약간의 충격에도 쉽게 깨지게 된다. If the temperature uniformity of the inside of the oven chamber and the glass substrate is broken during the baking process, stains will occur on the glass coating surface and baking will be uneven, and the glass substrate will be subjected to local thermal stress, resulting in defects in the following processes. It is easily broken even with a slight shock.

따라서, 본 발명의 목적은, 오븐 쳄버 내부의 공정 분위기와 글라스 기판의 온도 균일성을 흐트러뜨리지 않으면서 오븐 쳄버 내부에서 발생되는 유해 증기를 효과적으로 제거할 수 있는 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 유해 증기 제거 장치를 제공하는 것에 있다. Accordingly, an object of the present invention is to provide an apparatus for removing harmful vapors of an LCD glass oven chamber which can effectively remove harmful vapors generated inside an oven chamber without disturbing the process atmosphere inside the oven chamber and the temperature uniformity of the glass substrate. It is to offer.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 유해 증기 제거 장치는, 내부가 공간으로 이루어지는 사각통의 육면체로서, 그의 내부 공간의 아래쪽에는 공정을 수행하고자 하는 하나의 글라스 기판(2)이 배치되고, 상기 사각통의 육면체의 4개의 둘레 측면 중 어느 하나의 측면에는 상기 사각통의 내부로 상기 글라스 기판(2)을 로딩 및 언로딩하기 위한 출입구(13)가 형성되어 있으며, 상기 출입구(13)에는 셔터(14)가 설치되어 있는 엘씨디 글라스 오븐 쳄버(10)와; 상기 글라스 기판(2)을 올려 놓고 가열하는 핫 플레이트 수단 또는 상기 글라스 기판(2)에 적외선을 방사하여 가열하는 적외선 수단으로 이루어져 상기 오븐 쳄버(10)의 내부에 설치되는 가열원과; 상기 오븐 쳄버(10)의 4개의 측면중, 상기 출입구(13)가 설치된 측면과 이웃하는 양쪽 2개의 측면중 어느 하나의 측면의 천장면에 인접한 내부면에, 해당하는 측면의 길이방향을 따라 전체 길이에 걸쳐서 배치되어 오븐 쳄버(10) 내부로 외부 공기를 토출하는 급기 노즐통(110)과; 상기 오븐 쳄버(10)의 4개의 측면중, 상기 급기 노즐통(110)이 설치된 측면과 정면으로 마주하는 측면의 천장면에 인접한 내부면에, 해당하는 측면의 길이방향을 따라 전체 길이에 걸쳐 배치되는 배기 노즐통(140)과; 상기 오븐 쳄버(10)의 외부에 상기 급기 노즐통(110)에 연결되도록 설치되는 급기관(100) 및 상기 급기관(100)에 고온의 외부 공기를 공급하는 급기 유닛(120)과; 상기 오븐 쳄버(10)의 외부에 상기 배기 노즐통(140)에 연결되도록 설치되는 배기관(130) 및 상기 배기관(130)으로부터 공기를 배출시키는 배기 유닛(150)을 포함하며, 상기 급기 노즐통(110)은, 내부에 공간을 가지는 일체형의 통체로 이루어지고, 그의 횡단면은, 오븐 쳄버(10)의 외부를 향하는 면은 상기 급기관(100)과 연통되고, 오븐 쳄버(10) 내부를 향하는 면은 오븐 쳄버(10)의 외측방향으로부터 내측방향으로 갈수록 점차 하향 경사져서 상기 오븐 쳄버(10)의 천장을 비스듬하게 향하는 경사면(112)으로 이루어지는 형태를 가지며, 상기 경사면(112)에는 급기 노즐통(110)의 길이 방향을 따라 다수개의 토출구(111)가 형성되고, 상기 배기 노즐통(140)은, 내부에 공간을 가지는 일체형의 통체로 이루어지고, 그의 횡단면은, 오븐 쳄버(10)의 외부를 향하는 면은 상기 배기관(130)과 연통되고, 오븐 쳄버(10) 내부를 향하면서 상기 급기 노즐통(110)과 마주하는 면은 오븐 쳄버(10)의 외측방향으로부터 내측방향으로 갈수록 점차 하향 경사져서 상기 오븐 쳄버(10)의 천장을 비스듬하게 향하는 경사면(142)으로 이루어지는 형태를 가지며, 상기 경사면(112)에는 급기 노즐통(110)의 길이 방향을 따라 다수개의 토출구(141)가 형성됨으로써, 상기 급기 노즐통(100)에 형성된 다수개의 토출구(111)로부터 상기 오븐 쳄버(10)의 천장면을 비스듬하게 향하여 고온의 외부 공기가 토출되어 상기 오븐 쳄버(10)의 천장면에 밀착된 형태의 얇고 일정한 흐름으로 상기 배기 노즐통(140)에 형성된 다수개의 배출구(141)를 향해 흐르는 층류 흐름을 이루고, 상기 글라스 기판(2)으로부터 기화되어 오븐 쳄버(10)의 위쪽으로 상승되는 유해 증기는 상기 오븐 쳄버(10)의 천장면에 흐르는 고온의 외부 공기의 층류 흐름에 합류하여 오븐 쳄버(10)의 외부로 배출되는 것을 기술적 특징으로 한다.
상기한 본 발명의 엘씨디 글라스 오븐 쳄버 유해 증기 제거 장치에 있어서, 상기 급기 유닛(120)으로부터 상기 급기 노즐(110)에 이르기까지의 급기관(100) 외부에는, 공급되는 공기의 온도 저하를 방지하기 위한 단열 커버(180)가 설치되는 것이 바람직하다.
또, 상기한 본 발명의 엘씨디 글라스 오븐 쳄버 유해 증기 제거 장치에 있어서, 상기 배기 유닛(150)으로부터 상기 배기 노즐(140)에 이르기까지의 배기관(130) 외부에는, 배출되는 공기의 온도 저하를 방지하기 위한 단열 커버(190)가 설치되는 것이 바람직하다.
또, 상기한 본 발명의 엘씨디 글라스 오븐 쳄버 유해 증기 제거 장치에 있어서, 상기 오븐 쳄버(10) 바깥쪽의 출입구(13)의 상부에 상기 출입구(13)를 통해 나오는 오븐 쳄버(10) 내부의 유해 증기를 모으기 위한 후드(200)가 설치되고, 상기 후드(200)에는 후드(200)에 모인 유해 증기를 흡입 및 배출하기 위한 흡기관(210)이 설치되는 것이 바람직하다.
또, 상기한 본 발명의 엘씨디 글라스 오븐 쳄버 유해 증기 제거 장치에 있어서, 상기 오븐 쳄버(10) 바깥쪽의 출입구(13)의 상부에 상기 출입구(13)를 통해 나오는 오븐 쳄버(10) 내부의 유해 증기를 모으기 위한 후드(200)가 설치되고, 상기 후드(200)에는 후드(200)에 모인 유해 증기를 흡입 및 배출하기 위한 흡기관(210)이 설치되며, 상기 흡기관(210)은 상기 배기관(130)에 연결되어 상기 배기 유닛(150)에 의해서 흡인력을 받도록 하는 것이 바람직하다.
또, 상기한 본 발명의 엘씨디 글라스 오븐 쳄버 유해 증기 제거 장치에 있어서, 상기 급기관(100) 및 배기관(130)에는 유량조절용 댐퍼(160)(170)를 설치하는 것이 바람직하다. In order to achieve the above object, the apparatus for removing harmful vapors of an LCD glass oven chamber according to the present invention is a cube of a rectangular cylinder having an interior space, and one glass substrate 2 to be subjected to a process below the interior space thereof. ) Is disposed, and an entrance 13 for loading and unloading the glass substrate 2 into the inside of the square cylinder is formed on one side of the four circumferential sides of the cube of the square cylinder. The doorway 13 has an LCD glass oven chamber 10 provided with a shutter 14; A heating source provided on the inside of the oven chamber (10) comprising a hot plate means for placing and heating the glass substrate (2) or infrared means for radiating and heating infrared rays to the glass substrate (2); Of the four sides of the oven chamber 10, the inner surface adjacent to the ceiling surface of either side of the two sides adjacent to the side in which the doorway 13 is installed, the entire side along the longitudinal direction of the corresponding side An air supply nozzle barrel 110 disposed over the length to discharge external air into the oven chamber 10; Of the four side surfaces of the oven chamber 10, the inner surface adjacent to the ceiling surface of the side facing the front side with the air supply nozzle barrel 110 is disposed over the entire length along the longitudinal direction of the corresponding side surface. An exhaust nozzle barrel 140; An air supply pipe (100) installed to be connected to the air supply nozzle barrel (110) outside the oven chamber (10) and an air supply unit (120) for supplying high temperature external air to the air supply pipe (100); And an exhaust pipe 130 installed to be connected to the exhaust nozzle barrel 140 outside the oven chamber 10 and an exhaust unit 150 for discharging air from the exhaust pipe 130. 110 is formed of an integral cylinder having a space therein, the cross section of which faces the outside of the oven chamber 10 in communication with the air supply pipe 100 and faces the inside of the oven chamber 10. Is inclined downward gradually from the outer direction of the oven chamber 10 toward the inward direction to form an inclined surface 112 obliquely facing the ceiling of the oven chamber 10, the inclined surface 112 has an air supply nozzle ( A plurality of discharge ports 111 are formed along the longitudinal direction of the 110, and the exhaust nozzle cylinder 140 is formed of an integral cylinder having a space therein, and a cross section of the exhaust nozzle cylinder 140 is formed outside the oven chamber 10. Face facing the ship The surface facing the air supply nozzle barrel 110 while communicating with the tube 130 and facing the inside of the oven chamber 10 is gradually inclined downward from the outside direction of the oven chamber 10 toward the inside, so that the oven chamber ( 10 has a shape consisting of an inclined surface 142 facing obliquely to the ceiling of the 10, a plurality of discharge ports 141 are formed in the inclined surface 112 along the longitudinal direction of the air supply nozzle cylinder 110, thereby providing the air supply nozzle cylinder ( Hot air is discharged from the plurality of discharge ports 111 formed at 100 to the ceiling surface of the oven chamber 10 at an angle to the ceiling surface of the oven chamber 10 so as to be in close contact with the ceiling surface of the oven chamber 10. Hazardous vapors flowing toward the plurality of outlets 141 formed in the exhaust nozzle barrel 140 and vaporized from the glass substrate 2 and rising upward of the oven chamber 10 are formed in the oven 쳄. It is a technical feature that the discharge to the outside of the oven chamber 10 by joining the laminar flow of hot external air flowing on the ceiling surface of the burr 10.
In the above-described LCD glass oven chamber harmful vapor removal apparatus of the present invention, to prevent the temperature drop of the air supplied to the outside of the air supply pipe 100 from the air supply unit 120 to the air supply nozzle 110. It is preferable that the thermal insulation cover 180 is installed.
In addition, in the above-described LCD glass oven chamber harmful vapor removal apparatus of the present invention, outside the exhaust pipe 130 from the exhaust unit 150 to the exhaust nozzle 140 is prevented from lowering the temperature of the discharged air. Insulating cover 190 is preferably installed to.
In addition, in the above-described LCD glass oven chamber harmful vapor removal apparatus of the present invention, the inside of the oven chamber 10 exiting through the doorway 13 above the doorway 13 outside the oven chamber 10. A hood 200 for collecting steam is installed, and the hood 200 is preferably provided with an intake pipe 210 for sucking and discharging harmful vapor collected in the hood 200.
In addition, in the above-described LCD glass oven chamber harmful vapor removal apparatus of the present invention, the inside of the oven chamber 10 exiting through the doorway 13 above the doorway 13 outside the oven chamber 10. A hood 200 for collecting steam is installed, and the hood 200 is provided with an intake pipe 210 for inhaling and discharging harmful vapor collected in the hood 200, and the intake pipe 210 is provided with the exhaust pipe. It is preferable to be connected to 130 to receive a suction force by the exhaust unit 150.
In addition, in the above-described LCD glass oven chamber harmful vapor removal apparatus of the present invention, it is preferable to provide the flow control dampers 160 and 170 in the air supply pipe 100 and the exhaust pipe 130.

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이하, 첨부된 예시도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 더욱 구체적으로 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings illustrating a preferred embodiment of the present invention in more detail.

첨부도면 도 1 내지 도 4는 본 발명에 따른 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 유해 증기 제거 장치를 나타내는 것으로서, 도 1에는 전체 사시도가 도시되어 있고, 도 2a 및 도 2b에는 도 1의 A-A 단면도가 도시되어 있으며, 도 3에는 도 1의 내부 구조를 나타내는 평면도가 도시되어 있고, 도 4에는 도 1의 B-B 단면도가 도시되어 있다. 1 to 4 show a harmful vapor removal apparatus of the LCD glass oven chamber according to the present invention, Figure 1 is a full perspective view, Figure 2a and Figure 2b is a cross-sectional view of Figure 1 AA. 3 is a plan view showing the internal structure of FIG. 1, and FIG. 4 is a sectional view taken along line BB of FIG. 1.

도 1 내지 도 4에 도시된 실시예에 있어서, 엘씨디 글라스 오븐 쳄버(10)는 글라스 기판을 핫 플레이트에 올려 놓고 가열하는 형태의 오븐 쳄버를 일례로 나타내고 있으나, 본 발명은 글라스 기판에 적외선을 방사하여 가열하는 형태의 오븐 쳄버에도 동일하게 적용가능하다. 1 to 4, the LCD glass oven chamber 10 shows an oven chamber in which a glass substrate is placed on a hot plate and heated as an example, but the present invention radiates infrared rays to the glass substrate. The same can be applied to the oven chamber of the heating form.

먼저, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 엘씨디 글라스 오븐 쳄버(10)는, 그의 형태가, 내부에 공간을 가지는 사각통 즉, 육면체로 이루어져 있다. 이러한 엘씨디 글라스 오븐 쳄버(10)의 내부 공간의 아래쪽에는 글라스 기판(2)을 공정 수행 온도로 가열하기 위한 핫 플레이트(11, 도 2a 참조)가 구비되어 있고, 이 핫 플레이트(11)에는 글라스 기판(11)을 받치기 위한 리프트 핀(12)이 구비되어 있다. 또한, 상기 육면체로 이루어진 오븐 쳄버(10)의 4개의 측면중 어느 하나의 측면에는 오븐 쳄버(10) 내부로 글라스 기판(2)을 로딩하거나 언로딩하기 위한 통로인 출입구(13, 도 4 참조)가 형성되어 있고, 이 출입구(13)에는 개폐용 셔터(14)가 설치되어 있다. First, as shown in FIGS. 1 to 3, the LCD glass oven chamber 10 is formed of a rectangular cylinder, that is, a cube having a space therein. A hot plate 11 (refer to FIG. 2A) for heating the glass substrate 2 to a process performing temperature is provided below the internal space of the LCD glass oven chamber 10, and the hot plate 11 is provided with a glass substrate. The lift pin 12 for supporting (11) is provided. In addition, any one side of the four sides of the oven chamber 10 made of a hexahedron is a doorway 13 (see Fig. 4) which is a passage for loading or unloading the glass substrate 2 into the oven chamber 10. Is formed, and the doorway 13 is provided with a shutter 14 for opening and closing.

상기와 같은 엘씨디 글라스 오븐 쳄버에 적용하기 위한 본 발명에 따른 유해 증기 제거 장치에 있어서, 엘씨디 글라스 오븐 쳄버(10)의 4개의 측면중 상기 출입구(13)가 설치된 측면과 이웃하는 양쪽 2개의 측면중 어느 하나의 측면의 내부면 상부에는 급기 노즐통(110)이 해당 측면의 길이방향을 따라 전체 길이에 걸쳐서 배치된다. 그리고, 상기 급기 노즐통(110)에 인접한 오븐 쳄버(10)의 외부에는 상기 급기 노즐통(110)에 연결되는 급기관(100)이 설치되어 있고, 상기 급기관(100)에는 오븐 쳄버(10) 내부의 공정 분위기(온도)와 동일한 온도를 가지는 고온의 외부 공기를 공급하기 위한 급기 유닛(120)이 연결되어 있다. In the noxious vapor removal device according to the present invention for applying to the above-described LCD glass oven chamber, among the four sides of the LCD glass oven chamber 10 of the two sides of the neighboring side and the side in which the entrance 13 is installed. The air supply nozzle barrel 110 is disposed over the entire length along the longitudinal direction of the corresponding side on the inner surface of any one side. In addition, an air supply pipe 100 connected to the air supply nozzle barrel 110 is installed outside the oven chamber 10 adjacent to the air supply nozzle cylinder 110, and the air supply pipe 100 includes an oven chamber 10. The air supply unit 120 for supplying high temperature external air having the same temperature as the internal process atmosphere (temperature) is connected.

따라서, 상기 급기 유닛(120)과 급기관(100)을 통해 공급된 고온의 공기는 상기 급기 노즐통(110)을 통해 오븐 쳄버(10) 내부로 토출된다. Therefore, the hot air supplied through the air supply unit 120 and the air supply pipe 100 is discharged into the oven chamber 10 through the air supply nozzle barrel 110.

여기서, 상기 급기 유닛(120)은, 공기를 가열하기 위한 히터 및 가열된 공기를 송출하기 위한 블로어(Blower)가 일체로 구비된 것을 사용하는 것이 바람직하다. Here, the air supply unit 120, it is preferable to use that the heater for heating the air and the blower (Blower) for sending the heated air is integrally provided.

그리고, 상기 오븐 쳄버(10)의 4개의 측면중 상기 급기 노즐통(110)이 설치된 측면과 정면으로 마주하는 측면 즉, 상기 급기 노즐통(110)이 설치된 측면에 대한 반대쪽 측면의 내부면의 상부에는 배기 노즐통(140)이 해당 측면의 길이방향을 따라 전체 길이에 걸쳐 배치된다.
그리고, 상기 배기 노즐통(140)에 인접한 오븐 쳄버(10)의 외부에는, 상기 배기 노즐통(140)에 연결되어 배기 노즐통(140)으로 흡입된 오븐 쳄버(10) 내부의 유해 증기를 외부로 배출시키기 위한 배기관(130)이 설치되고, 상기 배기관(130)의 말단에는 배기 유닛(150)이 설치된다. The upper side of the inner side of the four sides of the oven chamber 10 facing the front side with the side where the air supply nozzle cylinder 110 is installed, that is, the side opposite to the side where the air supply nozzle cylinder 110 is installed. In the exhaust nozzle barrel 140 is disposed over the entire length along the longitudinal direction of the side surface.
In addition, outside of the oven chamber 10 adjacent to the exhaust nozzle barrel 140, harmful vapor inside the oven chamber 10 connected to the exhaust nozzle barrel 140 and sucked into the exhaust nozzle barrel 140 is externally provided. An exhaust pipe 130 for discharging the gas is installed, and an exhaust unit 150 is installed at the end of the exhaust pipe 130.

상기와 같은 구성은, 상기 오븐 쳄버(10) 내부의 글라스 기판(2)에서 생성(기화)된 유해 증기는, 상기 급기 노즐통(110)으로부터 상기 배기 노즐통(140)을 향해 흐르는 고온의 외부 공기에 휩쓸려서 상기 배기 노즐통(140)을 통해 오븐 쳄버(10) 외부로 배출되도록 유도하기 위한 것이다. As described above, the harmful vapor generated (evaporated) in the glass substrate 2 inside the oven chamber 10 flows outside from the air supply nozzle cylinder 110 toward the exhaust nozzle cylinder 140. It is to induce to be discharged to the outside of the oven chamber 10 through the exhaust nozzle barrel 140 is swept by the air.

상기 배기 유닛(150)은 일반적인 팬(Fan)으로 이루어질 수 있다. The exhaust unit 150 may be formed of a general fan.

그리고, 도면에 도시된 실시예에 있어서, 상기 급기관(100)과 배기관(130)에는 유량 조절 댐퍼(160)(170)가 구비되어 있어, 오븐 쳄버(10) 내부로 즉, 상기 급기 노즐통(110)을 통해 오븐 쳄버(10) 내부로 토출되는 공기량과, 오븐 쳄버(10) 외부로 배출되는 공기량 즉, 상기 배기 노즐통(140)을 통해 오븐 쳄버(10) 외부로 배출되는 공기량을 조절(제어)할 수 있도록 하고 있다. In the embodiment shown in the drawings, the air supply pipe 100 and the exhaust pipe 130 are provided with flow control dampers 160 and 170, and thus, the air supply nozzle barrel into the oven chamber 10. The amount of air discharged into the oven chamber 10 through the 110 and the amount of air discharged to the outside of the oven chamber 10, that is, the amount of air discharged to the outside of the oven chamber 10 through the exhaust nozzle barrel 140 is controlled. (Control).

또한, 상기 급기관(100)과 배기관(130)은 다수의 지관(101)(131)을 가지는 것으로 구성되어 있고, 그에 따라 상기 유량 조절 댐퍼(160)(170)도 각 지관(101)(131)에 하나씩 구비되어 있다. In addition, the air supply pipe 100 and the exhaust pipe 130 is composed of having a plurality of branch pipes (101, 131), accordingly, the flow control damper (160, 170) also each branch pipe (101, 131). ) Are provided one by one.

특히, 본 발명에 있어서, 상기 급기 노즐통(110)과 배기 노즐통(140)은, 육면체의 오븐 쳄버(10)가 가지는 4개의 측면중 서로 정반대의 방향에서 정면으로 마주하는 상태로 배치됨으로써, 외부로부터 유입된 공기가, 오븐 쳄버(10) 내부 전체로 흩어지지 않고, 상기 급기 노즐통(110)으로부터 상기 배기 노즐통(140)을 향하여 한 방향(도 2a에서 F1 방향으로)으로 원활히(자연스럽게) 흐르도록 유도하여, 오븐 쳄버(10) 내부의 분위기를 흐트러뜨리지 않도록 구성되어 있다. In particular, in the present invention, the air supply nozzles 110 and the exhaust nozzles 140 are disposed in a state in which the four sides of the hexahedral oven chamber 10 face each other in the opposite direction to the front. The air introduced from the outside does not scatter to the whole inside of the oven chamber 10, and smoothly (naturally in one direction (in the direction F1 in FIG. 2A) toward the exhaust nozzle barrel 140 from the air supply nozzle barrel 110). Induced to flow, it is configured not to disturb the atmosphere inside the oven chamber (10).

상기한 급기 노즐통(110)은, 앞에서 설명한 바와 같이, 상기 오븐 쳄버(10)의 4개의 측면중 어느 하나의 측면의 전체 길이에 걸쳐 배치된다. 이러한 급기 노즐통(110)은, 도 2a, 도 2b 및 도 3에 잘 도시되어 있는 것과 같이, 내부에 공간을 가지는 일체형의 통체(筒體)로 이루어져서, 그 내부의 공간에 상기 급기관(100)으로부터 유입된 공기가 일시 체류할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 외부의 공기가 유입될 수 있도록 하기 위하여 상기 급기관(100)을 향하는 면(面)은 상기 지관(101)과 연통되도록 되어 있고, 오븐 쳄버(10) 내부를 향하는 면은 전체가 막혀있는 형태로 이루어진다. 여기서, 상기 급기 노즐통(110)의 오븐 쳄버(10) 내부를 향하는 면(面) 즉, 전술한 막혀있는 면에는, 급기 노즐통(110)의 길이 방향으로 다수개의 토출구(111)가 서로 일정 간격을 유지하여 형성되어 있다. As described above, the air supply nozzle barrel 110 is disposed over the entire length of any one of four side surfaces of the oven chamber 10. As shown in FIGS. 2A, 2B, and 3, the air supply nozzle cylinder 110 is formed of an integral cylinder having a space therein, and the air supply pipe 100 is disposed in the space therein. The air introduced from) can stay temporarily. In addition, the surface facing the air supply pipe 100 is configured to communicate with the branch pipe 101 in order to allow external air to flow therein, and the surface facing the inside of the oven chamber 10 is entirely blocked. In the form of Here, on the surface facing the inside of the oven chamber 10 of the air supply nozzle cylinder 110, that is, the above-described blocked surface, a plurality of discharge ports 111 are fixed to each other in the longitudinal direction of the air supply nozzle cylinder 110. It is formed keeping the gap.

또한, 상기 배기 노즐통(140)은, 도 2a, 도 2b 및 도 3에 잘 도시되어 있는 것과 같이, 상기 급기 노즐통(110)의 형태와 마찬가지로, 상기 오븐 쳄버(10)의 상기 급기 노즐통(110)이 설치되어 있는 측면과 마주하는 측면의 전체 길이에 걸쳐 배치됨과 아울러, 내부에 공간을 가지는 일체형의 통체로 이루어진다. 이와 같이 일체형의 통체로 이루어지는 배기 노즐통(140)은 배기관(130)을 향하는 면은 개방되어 상기 지관(131)과 연통되도록 되어 있고, 오븐 쳄버(10)의 내부를 향하는 면은 전체가 막혀 있으며, 오븐 쳄버(10)의 내부를 향하는 상기 막혀있는 면에는 배기 노즐통(140)의 길이방향을 따라 일정 간격을 유지하여 다수개의 배출구(141)가 형성되어 있다.
이러한 구성에 의해, 상기 급기관(100)으로부터 공급되는 고온의 공기는 상기 일체형의 통체로 이루어지는 급기 노즐통(110)의 내부 공간에 모여서 일시적으로 체류한 후, 그의 다수개의 토출구(111)를 통하여 오븐 쳄버(10) 내부로 토출된다.
그리고, 상기 급기 노즐통(110)과 마주하는 부분에는 배기 노즐통(140)이 배치되어 있고, 이 배기 노즐통(140)에는 다수개의 배출구(141)가 형성되어 있으며, 상기 배출구(141)에는 상기 배기 유닛(150)에 의한 흡인력 즉, 부압(負壓)이 작용하므로, 상기 급기 노즐통(110)의 다수개의 토출구(111)로부터 토출된 공기는 상기 배기 노즐통(140) 방향으로 유동되어 다수개의 배출구(141)를 통해 배출되게 된다. In addition, the exhaust nozzle cylinder 140 is, as is well shown in Figs. 2A, 2B and 3, the air supply nozzle cylinder of the oven chamber 10, similar to the form of the air supply nozzle cylinder 110. It is arrange | positioned over the full length of the side facing the side in which 110 is provided, and consists of an integral cylinder which has a space inside. In this way, the exhaust nozzle barrel 140 formed of an integral cylinder is open to the exhaust pipe 130 to communicate with the branch pipe 131, the entire surface facing the inside of the oven chamber 10 is blocked. On the blocked surface facing the inside of the oven chamber 10, a plurality of outlets 141 are formed at regular intervals along the longitudinal direction of the exhaust nozzle barrel 140.
By such a configuration, the hot air supplied from the air supply pipe 100 gathers in the internal space of the air supply nozzle barrel 110 formed of the integral cylinder and temporarily stays thereafter, and through the plurality of discharge ports 111 thereof. Discharged into the oven chamber 10.
In addition, an exhaust nozzle cylinder 140 is disposed at a portion facing the air supply nozzle cylinder 110, and a plurality of discharge ports 141 are formed in the exhaust nozzle cylinder 140, and the discharge port 141 is provided at the discharge nozzle cylinder 140. Since the suction force by the exhaust unit 150, that is, negative pressure acts, the air discharged from the plurality of discharge ports 111 of the air supply nozzle barrel 110 flows toward the exhaust nozzle cylinder 140. It is discharged through a plurality of outlets 141.

특히, 본 발명에 있어서는, 상기 급기 노즐통(110)의 토출구(111)로부터 상기 배기 노즐통(140)의 배출구(141)쪽으로 흐르는 공기를 오븐 쳄버(10)의 천장에 최대한 밀착된 상태로 천장의 전체면에 걸쳐 한 방향으로 층류(層流) 유동(Laminar Flow, 도 2a에서 F1 방향)시킴으로써, 오븐 쳄버(10) 내부의 공정 분위기를 흐트러뜨리거나 글라스 기판(2)에 직접 영향을 주지 않으면서, 글라스 기판(2)으로부터 기화되어 쳄버(10) 위로 상승하는 유해 증기(도 2a에서 F2 방향)가 오븐 쳄버(10)의 천장부에 밀착하여 층류 유동하는 외부 공기에 휩쓸려 배출되도록 하고 있다.
이를 위하여, 본 발명에서는, 도 2a, 도 2b 및 도 3에 도시된 것과 같이, 상기 급기 노즐통(110)을 오븐 쳄버(10)의 천장면에 최대한 가깝게 위치시킨다. 또한, 이와 함께, 일체형의 통체로 이루어지는 상기 급기 노즐통(110)에 있어서, 오븐 쳄버(10) 내부를 향해 돌출된 부분의 횡단면상 위쪽 부분을, 오븐 쳄버(10)의 천장을 비스듬하게 향하도록, 오븐 쳄버(10)의 외측방향으로부터 내측방향으로 갈수록 점차 하향 경사지는 경사면(112)을 이루도록 구성하고 있다. 따라서, 상기 급기 노즐통(110)은, 그의 횡단면상 경사면(112)이 급기 노즐통(110)의 길이 방향을 따라 오븐 쳄버(10)의 한쪽 측면의 전체 길이에 걸쳐 동일한 경사도로 연장된 형태를 가지게 된다. 그리고, 전술한 토출구(111)는 상기 경사면(112)에 급기 노즐통(110)의 길이 방향을 따라 일정 간격으로 다수개 형성된 형태로 이루어진다. 따라서, 상기 토출구(111)는 도 2a 및 도 2b에 잘 도시되어 있는 바와 같이, 오븐 쳄버(10)의 천장부를 향하여 비스듬하게 개구된 형태가 되므로, 상기 급기 노즐통(110) 내부에 있는 공기는 상기 토출구(111)로부터 오븐 쳄버(10)의 천장을 비스듬하게 향하는 방향으로 토출된다. In particular, in the present invention, the air flowing from the discharge port 111 of the air supply nozzle cylinder 110 toward the discharge port 141 of the exhaust nozzle cylinder 140 in a state in which the ceiling is in close contact with the ceiling of the oven chamber 10 as much as possible. Laminar flow (F1 direction in FIG. 2A) in one direction over the entire surface of the oven prevents disturbing the process atmosphere inside the oven chamber 10 or directly affecting the glass substrate 2. Thus, noxious vapors vaporized from the glass substrate 2 and raised above the chamber 10 (F2 direction in FIG. 2A) adhere to the ceiling of the oven chamber 10 to be swept away by the laminar flow of external air.
To this end, in the present invention, as shown in Figures 2a, 2b and 3, the air supply nozzle barrel 110 is positioned as close as possible to the ceiling surface of the oven chamber (10). In addition, in the air supply nozzle tube 110 formed of an integral cylinder, the upper portion of the cross section of the portion projecting toward the inside of the oven chamber 10 faces the ceiling of the oven chamber 10 at an angle. And the inclined surface 112 gradually inclined downward from the outer direction of the oven chamber 10 toward the inner side. Accordingly, the air supply nozzle cylinder 110 has a shape in which the inclined surface 112 thereof in a cross section extends at the same inclination over the entire length of one side of the oven chamber 10 along the longitudinal direction of the air supply nozzle cylinder 110. Have. In addition, the above-described discharge ports 111 are formed in a plurality of forms at regular intervals along the longitudinal direction of the air supply nozzle barrel 110 on the inclined surface 112. Thus, as the discharge port 111 is well shown in Figs. 2a and 2b, since the opening is obliquely opened toward the ceiling of the oven chamber 10, the air inside the air supply nozzle barrel 110 is The discharge port 111 is discharged in a direction facing the ceiling of the oven chamber 10 obliquely.

이와 더불어, 상기 배기 노즐통(140)도, 상기 오븐 쳄버(10)의 천장부에 최대한 가깝게 위치시켜, 상기 급기 노즐통(110)과 동일 높이를 유지하도록 배치된다. 또한, 이와 함께, 일체형의 통체로 이루어지는 배기 노즐통(140)에 있어서, 오븐 쳄버(10)의 내부를 향해 돌출된 부분의 횡단면상 위쪽 일부를 오븐 쳄버(10)의 천장을 비스듬하게 향하도록, 오븐 쳄버(10)의 외측방향으로부터 내측방향으로 갈수록 하향 경사지는 경사면(142)을 이루도록 구성한다. 따라서, 상기 배기 노즐통(140)은, 그의 횡단면상의 경사면(142)이 배기 노즐통(140)의 길이 방향으로 오븐 쳄버(10)의 한쪽 측면의 전체 길이에 걸쳐 동일한 경사도를 이루며 연장된 형태를 가진다. 그리고, 전술한 배출구(141)는, 상기 경사면(142)에 배기 노즐통(140)의 길이 방향을 따라 일정 간격을 유지하여 다수개 형성된다. 따라서, 상기 배출구(141)는, 도 2a 및 도 2b에 잘 도시되어 있는 바와 같이, 오븐 쳄버(10)의 천장부를 비스듬하게 향하여 개구된 형태가 된다.
이러한 급기 노즐통(110)과 배기 노즐통(140)의 구성에 의해, 상기 급기 노즐통(110)의 다수개의 토출구(111)로부터 토출되는 고온의 외부 공기는 오븐 쳄버(10)의 천장부(천장면)에 최대한 밀착된 상태로 얇은 두께로 일정한 흐름을 가지는 층류를 형성하여 배기 노즐통(140)의 다수개의 배출구(141)를 향해 흘러나간다. 이러한 과정에서, 글라스 기판(2)으로부터 기화되어 위쪽으로 상승되는 유해 증기는, 상기한 고온의 외부 공기의 흐름에 휩쓸려(합류하여) 오븐 쳄버(10)의 외부로 배출되는 것이다. In addition, the exhaust nozzle barrel 140 is also positioned to be as close as possible to the ceiling of the oven chamber 10 and is disposed to maintain the same height as the air supply nozzle barrel 110. In addition, in the exhaust nozzle barrel 140 formed of an integral cylinder, the upper portion of the cross section of the portion protruding toward the inside of the oven chamber 10 faces the ceiling of the oven chamber 10 at an angle. The inclined surface 142 is inclined downward from the outer direction of the oven chamber 10 toward the inward direction. Therefore, the exhaust nozzle barrel 140 has a shape in which the inclined surface 142 on its cross section extends in the longitudinal direction of the exhaust nozzle barrel 140 with the same inclination over the entire length of one side of the oven chamber 10. Have In addition, a plurality of discharge ports 141 described above are formed on the inclined surface 142 by maintaining a predetermined interval along the longitudinal direction of the exhaust nozzle barrel 140. Accordingly, the outlet 141 is open to the ceiling of the oven chamber 10 obliquely, as shown in FIGS. 2A and 2B.
Due to the configuration of the air supply nozzles 110 and the air exhaust nozzles 140, the high temperature external air discharged from the plurality of discharge ports 111 of the air supply nozzles 110 is a ceiling portion (cloth) of the oven chamber 10. Laminar flow having a constant flow in a thin thickness in a state of being in close contact with the scene) and flows toward the plurality of outlets 141 of the exhaust nozzle barrel 140. In this process, the harmful vapors vaporized from the glass substrate 2 and raised upward are swept (joined) by the flow of the high temperature external air and discharged to the outside of the oven chamber 10.

또한, 상기 급기 유닛(120)으로부터 상기 급기 노즐통(110)에 이르기까지 연장되어 있는 급기관(100)의 외부에는 단열 커버(180)가 설치(피복)된다. In addition, an insulation cover 180 is installed (coated) on the outside of the air supply pipe 100 extending from the air supply unit 120 to the air supply nozzle barrel 110.

상기 단열 커버(180)는 상기 급기 노즐통(110)으로 공급되는 외부 공기의 온도 저하를 방지함으로써 공급되는 외부 공기의 온도를 오븐 쳄버(10)내의 분위기(공정 온도)와 동일하게 유지할 수 있도록 하는데 도움을 준다. The insulation cover 180 is to maintain the temperature of the external air supplied to the atmosphere (process temperature) in the oven chamber 10 by preventing the temperature of the external air supplied to the air supply nozzle barrel 110 to decrease. To help.

마찬가지로, 상기 배기 유닛(150)으로부터 상기 배기 노즐통(140)에 이르기까지 연장되어 있는 배기관(130)의 외부에도 단열커버(190)가 설치(피복)된다. Similarly, the heat insulation cover 190 is installed (coated) on the outside of the exhaust pipe 130 extending from the exhaust unit 150 to the exhaust nozzle barrel 140.

상기 단열 커버(190)는 상기 오븐 쳄버(10)로부터 배출되는 공기의 온도 저하를 방지함으로써, 배출되는 공기중에 함유된 유해 증기가 냉각되어 배기관(130)에 고착(또는 부착)되는 것을 방지하게 된다. The insulation cover 190 prevents the temperature of the air discharged from the oven chamber 10 from being lowered, thereby preventing harmful vapors contained in the discharged air from being cooled and fixed to (or attached to) the exhaust pipe 130. .

다음, 도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 오븐 쳄버(10)의 글라스 기판을 로딩 및 언로딩하기 위한 전술한 출입구(13)의 위쪽 부분에는 후드(200)가 설치된다. 상기 후드(200)에는 상기 글라스 기판(2)을 로딩 및 언로딩하기 위해 출입구(13)를 개방시키는 경우, 상기 출입구(13)를 통해 나오는 오븐 쳄버(10) 내부의 유해 증기를 모아서 흡입.배출하는 역할을 한다. 이를 위하여, 상기 후드(200)에는 다수개의 흡기관(210)이 설치된다. Next, as shown in FIGS. 1 and 4, a hood 200 is installed at an upper portion of the aforementioned entrance 13 for loading and unloading the glass substrate of the oven chamber 10. In the hood 200, when the entrance 13 is opened to load and unload the glass substrate 2, the hood 200 collects and discharges harmful vapors inside the oven chamber 10 exiting through the entrance 13. It plays a role. To this end, the hood 200 is provided with a plurality of intake pipes 210.

상기 흡기관(210)은 상기 배기관(130)에 연결되어 상기 배기 유닛(150)으로부터 흡인력을 받아 배기관(130)을 통해 배출되는 공기와 함께 배출되도록 하는 것이 바람직하다.
상기와 같은 후드(200)와 흡기관(210)이 없는 경우에는, 글라스 기판(2)의 로딩 및 언로딩시, 상기 출입구(13)를 통해 오븐 쳄버(10) 내부의 유해 증기가 외부로 그대로 배출되기 때문에, 작업 공간을 오염시키고 제품의 정밀도를 떨어뜨리며, 작업자의 건강에 좋지 않은 영향을 준다. 그러나, 본 발명에서는 상기 출입구(13)를 통해 빠져나오는 유해 증기를 전술한 후드(200)와 흡기관(210)을 통해 배출시킴으로써 위와 같은 문제의 발생을 효과적으로 방지할 수 있다. The intake pipe 210 may be connected to the exhaust pipe 130 to receive a suction force from the exhaust unit 150 to be discharged together with the air discharged through the exhaust pipe 130.
If there is no hood 200 and the intake pipe 210 as described above, when loading and unloading the glass substrate 2, the harmful vapor in the oven chamber 10 is left outside through the entrance 13. Because of the emissions, it contaminates the work space, reduces the precision of the product and adversely affects the health of the worker. However, the present invention can effectively prevent the occurrence of the above problems by discharging the harmful vapor exiting through the doorway 13 through the hood 200 and the intake pipe 210 described above.

상기와 같이 이루어진 본 발명은, 오븐 쳄버(10) 내부의 분위기와 동일한 온도를 가지는 고온의 외부 공기를, 서로 마주하는 급기 노즐통(110)과 배기 노즐통(140)을 향해 오븐 쳄버(10)의 천장면을 따라 층류 유동시킴으로써, 오븐 쳄버(10) 내부의 공정 분위기를 흐트러뜨리지 아니함과 동시에, 엘씨디 글라스 기판(2)에 외부 공기가 직접 접촉하는 것을 줄여 엘씨디 글라스 기판(2)에 나쁜 열영향을 주지 않는다. 또한, 엘씨디 글라스 기판(2)의 베이킹시 발생하는 유해 증기는 상기 오븐 쳄버(10)의 천장면을 따라 한방향으로 층류를 이루어 흐르는 공기의 유동에 합류하여 배출된다. The present invention made as described above, the oven chamber 10 toward the air supply nozzle cylinder 110 and the exhaust nozzle cylinder 140 facing each other high-temperature external air having the same temperature as the atmosphere inside the oven chamber 10. Laminar flow flows along the ceiling surface of the oven, thereby not disturbing the process atmosphere inside the oven chamber 10, and reducing direct contact of external air with the LCD glass substrate 2, thereby adversely affecting the glass substrate 2. Does not give. In addition, the harmful vapor generated during baking of the LCD glass substrate 2 joins the flow of air flowing in the laminar flow in one direction along the ceiling surface of the oven chamber 10 is discharged.

만일, 유해 증기를 배출 또는 희석시키기 위하여 종래의 방식에 의해 단순히 외부의 공기를 무작정 오븐 쳄버(10) 내부로 강제 순환(환기)시키는 구성에 의하면, 오븐 쳄버(10) 내부의 온도 균일성(공정 분위기)이 흐트러지고, 오븐 쳄버(10) 내부의 온도 균일성이 흐트러지면, 글라스 기판(2)의 코팅면에 얼룩이 발생하거나, 베이킹이 불균일해 지고, 글라스 기판(2)이 국부적인 열응력을 받아 다음의 공정에서 불량 발생 확률이 높고, 약간의 충격에도 쉽게 깨지게 된다. According to the configuration in which the outside air is forcedly circulated (vented) into the oven chamber 10 in a random manner by a conventional method in order to discharge or dilute the harmful vapor, the temperature uniformity inside the oven chamber 10 (process Atmosphere) and the temperature uniformity inside the oven chamber 10 are disturbed, staining of the coating surface of the glass substrate 2 occurs, baking becomes uneven, and the glass substrate 2 is subjected to local thermal stress. In the following process, the probability of defects is high, and even a slight shock is easily broken.

그러나, 본 발명에 있어서는, 오븐 쳄버(10) 내부의 온도와 동일한 온도의 공기가 공급됨으로써, 글라스 기판(2)에 온도 변화에 기인하는 열충격을 주지 않고, 쳄버(10) 내부의 온도 균일성(Unifomity)을 유지하면서 유해 증기를 배출시킬 수 있게 된다. However, in the present invention, by supplying air at the same temperature as the temperature inside the oven chamber 10, the temperature uniformity inside the chamber 10 is not applied to the glass substrate 2 without giving a thermal shock due to the temperature change. It is possible to release harmful vapors while maintaining the Unifomity.

상기 급기 노즐(110)로부터 토출되는 공기의 온도가 쳄버(10) 내부의 온도와 동일하게 유지되도록 급기 유닛(120)의 가열 온도를 설정한다. The heating temperature of the air supply unit 120 is set so that the temperature of the air discharged from the air supply nozzle 110 is maintained to be the same as the temperature inside the chamber 10.

특히, 본 발명에서는 오븐 쳄버(10) 내의 온도 균일성을 유지하면서, 글라스 기판(2)에 악영향을 주지 않기 위하여 외부의 공기가 오븐 쳄버(10)의 천장면을 따라 한쪽 방향으로 층류(層流)를 형성하면서 유동하도록 유도하고 있다. In particular, in the present invention, in order to maintain the temperature uniformity in the oven chamber 10, in order not to adversely affect the glass substrate 2, outside air flows in one direction along the ceiling surface of the oven chamber 10 in one direction. To induce flow.

다시 말해서, 본 발명에 있어서는, 급기 노즐통(110)과 배기 노즐통(140)이 오븐 쳄버(10)의 천장면에 근접하여 설치되고, 이와 함께 급기 노즐통(110)과 배기 노즐통(140)이 서로 정면으로 마주보도록 배치되며, 더욱이 급기 노즐통(110)의 상부와 배기 노즐통(140)의 상부가 경사면(112)(142)으로 이루어져서, 상기 경사면(112)(142)에 다수개의 토출구(111)와 배출구(141)가 형성되므로, 상기 다수개의 토출구(111)와 배출구(141)는 오븐 쳄버(10)의 천장면을 비스듬하게 향하게 된다. 따라서, 상기 급기 노즐통(110)에 형성된 다수개의 토출구(111)로부터 토출되는 고온의 외부 공기는 오븐 쳄버(10)의 천장면에 비스듬하고 완만하게 다가간(부딪힌) 다음 곧이어 오븐 쳄버(10)의 천장면을 따라 얇은 층(Layer)을 형성하면서 상기 배기 노즐통(140)에 형성된 다수개의 배출구(141)를 향하는 하나의 방향으로 층류 유동을 형성하면서 자연스럽게 흐를 수 있게 됨으로써, 오븐 쳄버(10) 내부의 분위기를 교란시키거나, 공정 진행중인 글라스 기판(2)에 악영향을 주지 않고 안정적인 공정 수행이 가능해진다. In other words, in the present invention, the air supply nozzle cylinder 110 and the exhaust nozzle cylinder 140 are provided in close proximity to the ceiling surface of the oven chamber 10, and together with the air supply nozzle cylinder 110 and the exhaust nozzle cylinder 140. ) Are disposed to face each other in front of each other, and further, the upper portion of the air supply nozzle barrel 110 and the upper portion of the exhaust nozzle barrel 140 are formed with the inclined surfaces 112 and 142, and a plurality of the inclined surfaces 112 and 142. Since the discharge holes 111 and the discharge holes 141 are formed, the plurality of discharge holes 111 and the discharge holes 141 face the ceiling surface of the oven chamber 10 at an angle. Therefore, the high temperature external air discharged from the plurality of discharge ports 111 formed in the air supply nozzle barrel 110 obliquely and gently approaches (bumps) the ceiling surface of the oven chamber 10, and then immediately after the oven chamber 10 By forming a thin layer (Layer) along the ceiling surface, it is possible to flow naturally while forming a laminar flow in one direction toward a plurality of outlets 141 formed in the exhaust nozzle barrel 140, thereby, the interior of the oven chamber 10 It is possible to perform a stable process without disturbing the atmosphere or adversely affecting the glass substrate 2 in progress.

결국 본 발명에 의하면, 유해 증기를 제거하기 위해 오븐 쳄버(10) 내부로 공급 및 배출되는 외부 공기의 흐름이 오븐 쳄버(10) 안에서 난류(亂流)나 와류(渦流)를 형성하지 않고 오븐 쳄버(10)의 천장면을 따라 층류유동할 수 있도록 유도된다. As a result, according to the present invention, the flow of external air supplied and discharged into the oven chamber 10 to remove harmful vapors does not form turbulent flow or vortex in the oven chamber 10, but the oven chamber. It is induced to be laminar flow along the ceiling surface of (10).

따라서, 글라스 기판(2)에서 기화하여 상승되는 유해 물질을 포함하는 증기는 상기한 외부 공기의 층류적인 유동에 휩쓸려(합류하여) 자연스럽게 외부로 배출되게 된다. Therefore, the vapor containing harmful substances vaporized and raised in the glass substrate 2 is swept (joined) by the laminar flow of the external air and is naturally discharged to the outside.

한편, 상기한 외부 공기의 유동을 층류 유동으로 유도하기 위하여는, 상기 급기 노즐통(110)과 배기 노즐통(140)으로부터 공기가 동일 압력으로 공급 및 흡인되도록 급기 유닛(120)과 배기 유닛(150)의 출력을 일치시킴으로써 공기의 유동을 균일하고 안정적으로 유지하는데 도움을 줄수 있게 된다. On the other hand, in order to guide the flow of the outside air to the laminar flow, the air supply unit 120 and the exhaust unit (so that the air is supplied and sucked at the same pressure from the air supply nozzle 110 and exhaust nozzle barrel 140 ( By matching the output of 150, it is possible to help keep the flow of air uniform and stable.

한편, 상기 오븐 쳄버(10)에 글라스 기판을 로딩 및 언로딩 하기 위하여 셔터(14)를 개방시켜 출입구(13)가 열리는 경우, 본 발명에 의해 상기 출입구(13) 상부에 후드(200)가 설치되어 있고, 이 후드(200)에는 흡기관(210)이 설치되어 있으므로, 오븐 쳄버(10) 내부에 잔류하고 있다가 상기 출입구(13)를 통해 빠져나오는 유해 증기는 상기 후드(200)를 통해 상기 흡기관(210)으로 흡인되어 배출됨으로써, 작업장을 오염시키거나 작업자에게 좋지 않은 영향을 주는 것이 방지된다. On the other hand, when the doorway 13 is opened by opening the shutter 14 to load and unload the glass substrate in the oven chamber 10, the hood 200 is installed on the doorway 13 according to the present invention. Since the hood 200 is provided with an intake pipe 210, the harmful vapor remaining in the oven chamber 10 and exiting through the entrance 13 is discharged through the hood 200. By being sucked into the intake pipe 210 and discharged, it is prevented from contaminating the workplace or adversely affecting the worker.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 엘씨디 글라스 오븐 쳄버의 유해 증기 제거 장치에 의하면, 오븐 쳄버 내부 분위기와 동일한 온도의 외부 공기를 오븐 쳄버 내부로 유동시킴으로써 오븐 쳄버 내부의 온도 균일성을 흐트러뜨리지 않게 되며, 나아가 오븐 쳄버 내부를 흐르는 외부 공기를 서로 정면으로 마주하는 급기 노즐통과 배기 노즐통을 통하여 오븐 쳄버의 천장면(천장부)에 밀착한 상태의 층류 유동으로 유도함으로써, 공정 진행중인 글라스 기판에 외부 공기가 접촉하거나 부딪혀 악영향을 주는 것을 방지하면서 오븐 쳄버 내부의 유해증기를 효과적으로 배출시킬 수가 있다. As described above, according to the apparatus for removing harmful vapors of the LCD glass oven chamber according to the present invention, by flowing external air having the same temperature as the atmosphere inside the oven chamber into the oven chamber, the temperature uniformity inside the oven chamber is not disturbed. Furthermore, by introducing the outside air flowing in the oven chamber into the laminar flow in close contact with the ceiling surface (ceiling) of the oven chamber through the air supply nozzle and exhaust nozzle facing each other in front of each other, the outside air is applied to the glass substrate in the process. It is possible to effectively discharge harmful vapors inside the oven chamber while preventing contact or bumps from adverse effects.

Claims

delete

A rectangular cube hexahedron having an interior space, wherein one glass substrate 2 to be subjected to a process is disposed below the internal space, and one side surface of the four circumferential sides of the rectangular cube hexahedron is An entrance (13) for loading and unloading the glass substrate (2) is formed in a square cylinder, and the entrance (13) includes an LCD glass oven chamber (10) having a shutter (14);

A heating source provided on the inside of the oven chamber (10) comprising a hot plate means for placing and heating the glass substrate (2) or infrared means for radiating and heating infrared rays to the glass substrate (2);

Of the four sides of the oven chamber 10, the inner surface adjacent to the ceiling surface of either side of the two sides adjacent to the side in which the doorway 13 is installed, the entire side along the longitudinal direction of the corresponding side An air supply nozzle barrel 110 disposed over the length to discharge external air into the oven chamber 10;

Of the four side surfaces of the oven chamber 10, the inner surface adjacent to the ceiling surface of the side facing the front side with the air supply nozzle barrel 110 is disposed over the entire length along the longitudinal direction of the corresponding side surface. An exhaust nozzle barrel 140;

An air supply pipe (100) installed to be connected to the air supply nozzle barrel (110) outside the oven chamber (10) and an air supply unit (120) for supplying high temperature external air to the air supply pipe (100);

An exhaust pipe 130 installed to be connected to the exhaust nozzle barrel 140 outside the oven chamber 10 and an exhaust unit 150 for discharging air from the exhaust pipe 130,

The air supply nozzle cylinder 110 is formed of an integral cylinder having a space therein, the cross section of which is directed toward the outside of the oven chamber 10 communicates with the air supply pipe 100, and the oven chamber 10. The inwardly facing surface is inclined downward toward the inward direction of the oven chamber 10 to form an inclined surface 112 obliquely facing the ceiling of the oven chamber 10, and the inclined surface 112. The discharge nozzle 111 is formed in the longitudinal direction of the air supply nozzle barrel 110,

The exhaust nozzle cylinder 140 is formed of an integral cylinder having a space therein, the cross section of which is directed toward the outside of the oven chamber 10 communicates with the exhaust pipe 130, and the oven chamber 10. The inward facing surface of the air supply nozzle barrel 110 is gradually inclined downward toward the inward direction from the outside of the oven chamber 10 to the inclined surface 142 obliquely facing the ceiling of the oven chamber 10. In the inclined surface 112, a plurality of discharge ports 141 are formed along the longitudinal direction of the air supply nozzle barrel 110,

Hot air is discharged from the plurality of discharge ports 111 formed in the air supply nozzle barrel 100 obliquely toward the ceiling surface of the oven chamber 10 to be in close contact with the ceiling surface of the oven chamber 10. Thin and uniform flow forms a laminar flow flowing toward the plurality of outlets 141 formed in the exhaust nozzle barrel 140, and the harmful vapors vaporized from the glass substrate 2 to rise above the oven chamber 10 are An apparatus for removing harmful vapors of an LCD glass oven chamber, which is joined to a laminar flow of hot external air flowing on the ceiling surface of the oven chamber 10 and discharged to the outside of the oven chamber 10.

delete

The method of claim 2,

LCD glass oven, characterized in that the heat insulating cover 180 is installed outside the air supply pipe 100 from the air supply unit 120 to the air supply nozzle 110 to prevent a temperature drop of the supplied air. Chamber's noxious vapor removal device.

The method of claim 2,

LCD glass oven chamber, characterized in that the heat insulating cover 190 is provided outside the exhaust pipe 130 from the exhaust unit 150 to the exhaust nozzle 140 to prevent a temperature drop of the discharged air. Hazardous Vapor Removal Device.

The method of claim 2,

A hood 200 is installed at an upper portion of the doorway 13 outside the oven chamber 10 to collect harmful vapors inside the oven chamber 10 exiting through the doorway 13, and the hood 200 is installed in the hood 200. Harmful vapor removal device of the LCD glass oven chamber, characterized in that the intake pipe 210 for installing and discharging the harmful vapor collected in the hood (200).

The method of claim 2,

A hood 200 is installed at an upper portion of the doorway 13 outside the oven chamber 10 to collect harmful vapors inside the oven chamber 10 exiting through the doorway 13, and the hood 200 is installed in the hood 200. An intake pipe 210 is installed to suck and discharge harmful vapor collected in the hood 200, and the intake pipe 210 is connected to the exhaust pipe 130 to receive a suction force by the exhaust unit 150. Hazardous vapor removal apparatus of LCD glass oven chamber characterized by the above-mentioned.

The method of claim 2,

The air supply pipe 100 and the exhaust pipe 130, the flow control damper 160, 170 is installed, the harmful vapor removal device of the LCD glass oven chamber, characterized in that is installed.