KR200497510Y1 - 적외선을 이용한 웨이퍼 얼라인 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 고안의 목적은 불투명 웨이퍼에 대해 마스크와의 얼라인을 확인하고 교정할 수 있는 웨이퍼 얼라인 시스템을 제공하고자 하는 것이다.
상기 목적에 따라 본 고안은 적외선 카메라를 적용한 웨이퍼 얼라인 시스템을 제공한다.
즉, 본 고안은 웨이퍼와 그 아래 배치된 마스크에 대하여, 웨이퍼 이면에 제1 마크를, 마스크 상면에 제2마크를 형성하고, 적외선 카메라를 웨이퍼 위편에 배치하여, 제1 마크가 인식될 수 있는 초점 거리에 적외선 카메라를 위치시켜 웨이퍼 위치를 정렬한 다음, 적외선 카메라를 하강시켜 제2 마크가 인식될 수 있는 초점 거리에 도달시켜 제2 마크를 인식하여 마스크와 웨이퍼를 최종 정렬한다.

Description

적외선을 이용한 웨이퍼 얼라인 시스템{Align system for wafer with IR}
본 고안은 마이크로 올레드(Micro OLED) 제조 증착 공정에 적용되는 웨이퍼 얼라인 시스템에 관한 것이다.
실리콘 웨이퍼에 박막을 형성하고자 하는 경우, 마스크를 웨이퍼에 합착하고 웨이퍼와 마스크의 얼라인 상태를 확인 및 교정할 필요가 있다. 그런데 실리콘 웨이퍼는 투명성이 낮아 기존의 유리기판과 같은 투명 기판에 적용되던 얼라인 시스템을 그대로 적용할 수 없다.
공개특허 10-2018-0031692호는 웨이퍼 얼라인 시스템에 대해 공개하지만, 여기서도 투명 웨이퍼를 전제로 하고 있다.
본 고안의 목적은 불투명 웨이퍼에 대해 마스크와의 얼라인을 확인하고 교정할 수 있는 웨이퍼 얼라인 시스템을 제공하고자 하는 것이다.
상기 목적에 따라 본 고안은 적외선 카메라를 적용한 웨이퍼 얼라인 시스템을 제공한다.
본 고안은 웨이퍼와 그 아래 배치된 마스크에 대하여, 웨이퍼 이면에 제1 마크를, 마스크 상면에 제2마크를 형성하고, 적외선 카메라를 웨이퍼 위편에 배치하여, 제1 마크가 인식될 수 있는 초점 거리에 적외선 카메라를 위치시켜 웨이퍼 위치를 정렬한 다음, 적외선 카메라를 하강시켜 제2 마크가 인식될 수 있는 초점 거리에 도달시켜 제2 마크를 인식하여 마스크와 웨이퍼를 최종 정렬한다.
상기에서, 정렬의 정밀도는 10μm 이내로 한다.
상기에서, 웨이퍼와 마스크의 간격은 1 내지 10mm로 유지한다.
상기에서, 제1 마크와 제2 마크는 웨이퍼와 마스크 각각의 에지부분에 4개의 점을 포함하게 하며, 웨이퍼와 마스크에 대해 각각 다른 적외선 파장을 발생시키는 소재로 구성한다.
본 고안에 따르면 불투명 웨이퍼에 대해 마스크와의 얼라인을 확인하고 교정할 수 있다.
도 1은 본 고안을 설명하는 개략적인 구성도이다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.
도 1을 보면, 실리콘 웨이퍼와 니켈로 된 마스크가 이격된 상태로 배치되고 웨이퍼 상부에 적외선 카메라가 배치된 것이 나타나있다.
실리콘 웨이퍼는 불투명하므로 일반 카메라를 이용하여 얼라인 할 수 없으며, 본 고안은 적외선 카메라를 적용하여 그러한 문제점을 극복하였다.
실리콘 웨이퍼 후면에 4개의 점을 포함한 제1 마크를 형성한다. 적외선 카메라에 의해 명확히 식별될 수 있도록 실리콘과 다른 적외선 파장을 방출하는 소재로 구성한다. 마스크의 경우 상면에 4개의 점을 포함한 제2 마크를 형성하며 이때에도 적외선 카메라의 식별력을 고려하여 마스크와 다른 적외선 파장을 방출하는 소재로 마크를 형성한다. 마크는 웨이퍼 상면, 마스크 이면에 형성될 수도 있지만 본 실시예에서와 같이 서로 간격을 좁히도록 형성되는 것이 바람직하다.
웨이퍼와 마스크의 얼라인은 다음과 같이 실시한다.
웨이퍼 위편에 배치된 적외선 카메라를 하강시켜, 제1 마크가 인식될 수 있는 초점 거리에 위치시켜 제1 마크를 기준으로 하여 웨이퍼 위치를 정렬한다. 초점거리는 대략 30mm(±10μm) 정도이다.
다음, 적외선 카메라를 하강시켜 제2 마크가 인식될 수 있는 초점 거리에 도달시켜 제2 마크를 인식하여 마스크와 웨이퍼를 최종 정렬한다.
본 실시예의 경우, 웨이퍼와 마스크의 간격은 1mm 정도로 하였지만, 웨이퍼와 마스크의 간격은 1 내지 10mm로 유지할 수 있다.
본 고안에 따른 정렬의 정밀도는 10μm 이내로 상당히 높은 신뢰도를 나타낼 수 있다.
상기에서, 마스크의 소재는 니켈 외에 다른 소재로 아루어질 수 있다.
이와 같이 하여 기존의 투명 기판과 마스크를 정렬하던 얼라인 시스템을 거의 그대로 활용하면서 불투명한 웨이퍼와 마스크를 얼라인할 수 있다.
본 고안의 권리는 위에서 설명된 실시 예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 고안의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.

Claims (2)

  1. 마이크로 올레드(Micro OLED) 제조 증착 공정에 적용되는 웨이퍼 얼라인 시스템으로서,
    웨이퍼와 마스크를 얼라인하기 위하여,
    불투명성의 실리콘 웨이퍼;
    상기 웨이퍼와 이격되게 배치된 마스크;
    상기 웨이퍼 상부에 배치된 적외선 카메라;
    상기 웨이퍼의 이면에 형성되되, 적외선 카메라에 의해 식별될 수 있도록, 실리콘 웨이퍼와 다른 적외선 파장을 방출하는 소재로 형성된 제1 마크; 및
    상기 마스크 상면에 형성되되, 적외선 카메라에 의해 식별될 수 있도록, 상기 마스크와 다른 적외선 파장을 방출하는 소재로 형성된 제2 마크;를 포함하고,
    제1 마크가 인식될 수 있는 초점 거리에 적외선 카메라를 위치시켜 웨이퍼 위치를 정렬한 다음, 적외선 카메라를 하강시켜 제2 마크가 인식될 수 있는 초점 거리에 도달시켜 제2 마크를 인식하여 마스크와 웨이퍼를 최종 정렬 하며, 정렬의 정밀도는 10μm 이내인 것을 특징으로 하는 마이크로 올레드(Micro OLED) 제조 증착 공정에 적용되는 웨이퍼 얼라인 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 제1 마크와 제2 마크는 각각 4개의 점을 포함하고, 웨이퍼와 마스크의 간격은 1 내지 10mm로 유지하는 것을 특징으로 하는 마이크로 올레드(Micro OLED) 제조 증착 공정에 적용되는 웨이퍼 얼라인 시스템.

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