KR200471270Y1 - 기판 반송장치 - Google Patents

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KR200471270Y1
KR200471270Y1 KR2020090007811U KR20090007811U KR200471270Y1 KR 200471270 Y1 KR200471270 Y1 KR 200471270Y1 KR 2020090007811 U KR2020090007811 U KR 2020090007811U KR 20090007811 U KR20090007811 U KR 20090007811U KR 200471270 Y1 KR200471270 Y1 KR 200471270Y1
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박환서
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Abstract

평판표시소자용 기판을 제조하는 공정에 사용하는 기판 반송장치를 개시한다.
그러한 기판 반송장치는, 프레임과, 양쪽 단부에 베어링을 구비하고 상기 프레임 일측에서 타측을 따라 이격된 복수 개의 지점에 배치되는 이송용 샤프트들과, 상기 이송용 샤프트들의 양쪽 단부를 거치할 수 있도록 상기 프레임 상에 형성된 제1 지지대 및 제2 지지대 그리고, 상기 이송용 샤프트들의 단부를 끼움결합으로 잡아줄 수 있도록 상기 제1 지지대 및 제2 지지대 측에 형성된 홈부들로 구성되는 끼움결합부를 포함한다.
Figure R2020090007811
기판 반송 작업, 이송용 샤프트들의 조립성 향상, 끼움결합 방식

Description

기판 반송장치{substrate transfer apparatus}
본 고안은 평판표시소자용 기판을 로울러 컨베이어 방식으로 간편하게 이송할 수 있는 기판 반송장치에 관한 것이다.
평판표시소자용 기판의 제조 공정(예: 에칭)에 사용하는 기판 반송장치들은 대부분 로울러 컨베이어 타입의 이송 구조를 갖는다.
이러한 로울러 컨베이어 타입의 기판 반송장치는, 프레임과, 이 프레임 상에 복수 개가 이격 배치되는 이송용 샤프트들과, 이 이송용 샤프트 측에 끼워져서 기판을 지지하는 접지용 로울러들 그리고, 상기 이송용 샤프트들의 회전을 위한 동력을 발생 및 전달하는 구동부를 포함하여 이루어진다.
특히, 상기 이송용 샤프트들은 양쪽 단부에 베어링(예: 레이디얼 베어링)이 끼워져서 이 베어링에 지지된 상태로 회전될 수 있도록 상기 프레임 상에 설치된다.
그리고, 상기 이송용 샤프트들의 양쪽 단부를 프레임 상에 고정하는 방법으로는 예를 들어, 볼트와 같은 체결부재로 가압판을 조여서 베어링의 외부면(외륜) 일측을 가압 고정하는 이른바, 볼트 조임 방식이 널리 알려져 있다
하지만, 상기한 볼트 조임 방식은 이송용 샤프트들을 프레임 상에 설치하거나 분리할 때 여러 가지의 단점이 있다.
즉, 이송용 샤프트들을 프레임 상에 설치하려면 가압판으로 베어링의 외부면을 누를 수 있도록 매번 볼트를 조이거나 푸는 공정을 거쳐야 하므로 작업 시간이 과다하게 소요될 뿐만 아니라, 별도의 도구(예: 렌치)가 있어야만 설치 및 해체가 가능하므로 만족할 만한 조립 편의성을 기대하기 어렵다.
그리고, 기판 제조 공정의 특성 상 내부식성 및 내약품성 등이 우수한 고가(高價)의 볼트를 사용해야 하므로 장치의 제작시 비용이 과다하게 소요될 수 있다.
또한, 볼트 조임 방식은 예를 들어, 볼트를 조이거나 풀 때 나사부의 마모가 쉽게 발생하여 만족할 만한 내구성과 작동 안전성을 기대하기 어렵고, 마모에 의해 발생된 각종 분진들이 기판 측에 달라붙어서 기판의 오염을 유발할 수 있다.
본 고안은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서,
본 고안의 목적은 특히 이송용 샤프트(shaft)들의 탈,부착이 용이하여 장치의 제작 또는 유지보수할 때 한층 향상된 조립 편의성을 확보할 수 있는 기판 반송장치를 제공하는데 있다.
상기한 바와 같은 본 고안의 목적을 실현하기 위하여,
프레임;
양쪽 단부에 베어링을 구비하고 상기 프레임 일측에서 타측을 따라 이격된 복수 개의 지점에 배치되는 이송용 샤프트들;
상기 이송용 샤프트들의 양쪽 단부를 거치할 수 있도록 상기 프레임 상에 형성된 제1 지지대 및 제2 지지대;
상기 이송용 샤프트들의 단부를 끼움결합으로 잡아줄 수 있도록 상기 제1 지지대 및 제2 지지대 측에 형성된 홈부들로 구성되는 끼움결합부;
를 포함하는 기판 반송장치를 제공한다.
이와 같은 본 고안은, 프레임 상에 제공되는 이송용 샤프트들의 회전에 의해 상기 프레임 일측에서 타측을 향하여 로울러 컨베이어 방식으로 기판을 간편하게 이송할 수 있다.
특히, 본 고안은 상기 프레임 상에서 상기 이송용 샤프트들의 양쪽 단부를 끼움결합으로 탈,부착이 가능하게 잡아줄 수 있도록 형성된 끼움결합부를 구비하고 있으므로 예를 들어, 볼트(bolt)로 조여서 샤프트를 고정하는 종래의 볼트 조임 방식과 비교할 때 결합 구조가 간단하고, 샤프트의 탈,부착에 소요되는 시간을 대폭 단축시킬 수 있다.
그리고, 본 고안은 볼트와 같은 체결부재를 일체 사용하지 않으므로 제작비를 절감할 수 있을 뿐만 아니라, 볼트를 조이거나 풀 때 나사부가 쉽게 마모 및 변형되면서 내구성 및 작동 안전성 등이 조기에 저하되는 것을 방지할 수 있다.
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 고안의 바람직한 실시 예를 설명한다.
본 고안의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 고안의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.
따라서, 본 고안의 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 고안의 실용신안등록청구범위는 아래에서 설명하는 실시 예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 고안의 일실시 예에 따른 기판 반송장치의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2 및 도 3은 본 고안의 일실시 예에 따른 기판 반송장치의 주요 부분의 세부 구조를 설명하기 위한 도면으로서, 도면 부호 2는 프레임을 지칭한다.
상기 프레임(2)은 좌,우로 연장되어 기판(G)의 이송 거리와 대응하는 이송 구간을 제공할 수 있도록 형성된다.
상기 프레임(2)은 예를 들어, 금속파이프나 금속판들이 통상의 방법(예: 용접 또는 볼팅)으로 연결되면서 도 1에서와 같이 좌,우로 연장된 프레임체 형태로 형성될 수 있다.
상기 본 고안의 일실시 예에 따른 기판 반송장치는, 이송용 샤프트(4)들을 포함한다.
상기 이송용 샤프트(4)들은 상기 프레임(2) 일측에서 타측을 향하여 기판(G)의 이송이 가능하게 배치된다.
즉, 상기 이송용 샤프트(4)들은 도 1에서와 같이 상기 프레임(2) 일측에서 타측을 따라 이격된 복수 개의 지점에 배치된다.
상기 이송용 샤프트(4)들은 접지로울러(R)들을 구비하여 이루어진다.
도 2를 참조하면, 상기 접지로울러(R)들은 상기 이송용 샤프트(4)들을 따라 회전되면서 외부면으로 기판(G) 저면을 지지할 수 있도록 상기 이송용 샤프트(4) 측에 설치된다.
상기 접지로울러(R)들은 상기 이송용 샤프트(4)의 직경보다 큰 외부 둘레를 갖는 고무 또는 합성수지 로울러를 사용할 수 있으며, 상기 각 이송용 샤프트(4) 측에 복수 개가 이격 설치된다.
그리고, 상기 이송용 샤프트(4)들은 양쪽 단부에 베어링(B)이 각각 끼워진 상태로 제공된다.
도 3을 참조하면, 상기 베어링(B)은 예를 들어, 레디얼 베어링(radial bearing) 중에서 사용할 수 있으며, 상기 이송용 샤프트(4)의 양쪽에 단차부(B1)를 형성하여 이 단차부(B1) 측에 상기 베어링(B)의 내륜(內輪)을 끼워서 고정할 수 있다.
상기 베어링(B)들은 상기 이송용 샤프트(4)의 단부에서 이탈하지 않도록 예를 들어, 상기 베어링(B)들의 내륜을 상기 단차부(B1) 측에 억지 끼움으로 결합할 수 있다. 이외에도 도면에는 나타내지 않았지만 상기 이송용 샤프트(2)의 단부 측에 볼트 형태를 갖는 캡을 끼워서 이 캡을 돌릴 때 발생하는 조임력으로 상기 베어링(B)의 내륜을 누르는 방식으로 고정할 수도 있다.
그리고, 상기 이송용 샤프트(4)들은 예를 들어, 모터와 워엄기어들로 구성되는 통상의 샤프트 구동부로부터 동력을 전달받아서 축선을 중심으로 회전되도록 셋팅될 수 있다. 이러한 구조는 해당 분야에서 평균적인 지식을 가진 자라면 용이하게 실시할 수 있는 것이므로 더욱 상세한 설명은 생략한다.
다시 도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 프레임(2) 상에는 제1 지지대(6)와 제2 지지대(8)가 제공된다.
상기 제1 지지대(6)와 제2 지지대(8)는 상기 프레임(2) 상에서 상기 이송용 샤프트(4)들의 양쪽 단부를 거치하기 위한 것이다.
즉, 상기 제1 지지대(6)와 제2 지지대(8)는 좌,우 방향으로 연장된 판상의 형태로 이루어질 수 있으며, 상기 프레임(2) 상에서 상기 이송용 샤프트(4)들의 일측 단부 및 타측 단부와 대응하도록 이격 배치된다.
상기 제1 지지대(6)와 제2 지지대(8)는 상기 프레임(2) 상부에 세워진 상태로 위치하도록 예를 들어, 볼트와 같은 체결부재를 통상의 방법으로 체결하여 상기 프레임(2) 상에 고정할 수 있다.
상기 제1 지지대(6)와 제2 지지대(8)는 내부식성 및 내구성이 우수한 금속판이나 합성수지판 중에서 사용할 수 있다.
한편, 상기 제1 지지대(6)와 제2 지지대(8) 측에는 상기 이송용 샤프트(4)들과 대응하는 끼움결합부(10)가 제공된다.
상기 끼움결합부(10)는 상기 프레임(2) 상에서 끼움결합 방식으로 상기 이송용 샤프트(4)들을 탈,부착이 가능하게 잡아줄 수 있도록 형성된다.
다시 도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 끼움결합부(10)는, 상기 이송용 샤프트(4)들의 일측 단부를 끼움결합으로 잡아줄 수 있도록 상기 제1 지지대(6) 측에 형성된 제1 끼움홈부(H1)와, 상기 이송용 샤프트(4)들의 타측 단부를 끼움결합으로 잡아줄 수 있도록 상기 제2 지지대(8) 측에 형성된 제2 끼움홈부(H2)를 포함한다.
그리고, 상기 끼움결합부(10)는 상기 제1 끼움홈부(H1) 또는 제2 끼움홈부(H2) 측에서 상기 이송용 샤프트(4)들의 단부가 이탈하는 것을 방지할 수 있도록 형성된 걸림구(12)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 제1 끼움홈부(H1)와 제2 끼움홈부(H2)는 상기 프레임(2) 상에 배치된 이송용 샤프트(4)들의 단부에 설치된 베어링(B)들의 외부면(외륜)을 끼움결합으로 잡아줄 수 있도록 상기 제1 지지대(6) 및 제2 지지대(8) 측에 형성된 홈부들로 구성된다.
상기 제1 끼움홈부(H1)와 제2 끼움홈부(H2)는 도 3을 기준으로 할 때 상기 이송용 샤프트(4)들의 베어링(B)이 수직방향으로 끼워지는 수직홈(H1a, H2a)과, 이 수직홈(H1a, H2a) 하부에서 일측을 향하여 수평하게 연장된 수평홈(H1b, H2b)으로 구성된다.
즉, 상기 제1 끼움홈부(H1)와 제2 끼움홈부(H2)는 대략 "L"자 모양의 홈부를 가지며 상기 제1 지지대(6)와 제2 지지대(8) 측에 형성될 수 있다.
그리고, 상기 수평홈(H1b, H2b)들의 양쪽에는 상부가 일정 크기로 각각 개방된 개구부(H1c, H2c)들이 형성된다.
상기 개구부(H1c, H2c)들은 상기 이송용 샤프트(4)들의 직경보다는 크고, 상기 베어링(B)들의 직경보다는 작은 크기로 이루어져서 상기 베어링(B)들이 측방향으로 이동하는 것을 걸림 접촉으로 제한할 수 있도록 형성된다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 이송용 샤트프(4)들의 베어링(B)을 상기 제1 끼움홈부(H1) 및 제2 끼움홈부(H2) 측에 밀어 넣거나 빼내면서 끼움결합 방식으로 상기 제1 지지대(6) 및 제2 지지대(8) 측에 간편하게 탈,부착할 수 있다.
도 4 및 도 5는 상기 끼움결합부(10)의 제1 끼움홈부(H1) 및 제2 끼움홈부(H2)의 작용을 설명하기 위한 도면들이다.
즉, 도 4에서와 같이 상기 제1 지지대(6)와 제2 지지대(8) 위쪽에서 상기 이송용 샤프트(4)를 아래로 이동시켜서 상기 제1 끼움홈부(H1)와 제2 끼움홈부(H2)의 수직홈(H1a, H2a) 측에 베어링(B)을 밀어 넣는다.
그런 다음, 도 5를 기준으로 할 때 상기 이송용 사프트(4)를 좌측으로 수평 하게 이동시키면, 상기 베어링(B)들의 외륜이 상기 제1 끼움홈부(H1) 및 제2 끼움홈부(H2)의 수평홈(H1b, H2b) 측에 각각 끼워진다.
이러한 끼움결합 상태에서는 상기 이송용 샤프트(4)를 상기한 끼움결합 방향과 반대로 이동시켜야만 상기 제1 끼움홈부(H1) 및 제2 끼움홈부(H2) 측에서 분리할 수 있다.
그러므로, 상기 이송용 샤프트(4)는 상기 제1 끼움홈부(H1) 및 제2 끼움홈부(H2) 측에 양단이 각각 끼움결합되어 상기 제1 지지대(6) 및 제2 지지대(8) 측에 회전 가능한 상태로 지지될 수 있다.
그리고, 상기 걸림구(12)는 예를 들어, 상기 제1 끼움홈부(H1) 또는 제2 끼움홈부(H2)의 수직홈(H1a, H2a) 측에 끼워질 수 있고, 하부에는 상기 이송용 샤프트(4)들의 외부면 일측과 대응하는 접지면(12a)을 갖는 형태로 이루어질 수 있다.
도 6은 상기 끼움결합부(10)의 걸림구(12)의 작용을 설명하기 위한 도면이다.
즉, 도 6을 참조하면, 상기 제1 끼움홈부(H1) 및 제2 끼움홈부(H2)의 수평홈(H1b, H2b) 측에 상기 이송용 샤프트(4)의 베어링(B)들이 끼워진 상태일 때 상기 제1 끼움홈부(H1) 및 제2 끼움홈부(H2)의 수직홈(H1a, H2a) 측에 상기 걸림구(12)들을 밀어 넣는다.
그러면, 상기 걸림구(12)들은 상기 이송용 샤프트(4)의 베어링(B)이 상기 수평홈(H1b, H2b) 측에서 상기 수직홈(H1a, H2a) 측으로 이동하는 것을 걸림 접촉으로 제한할 수 있는 일종의 스토퍼(stopper) 역할을 한다.
그러므로, 상기와 같이 걸림구(12)들을 설치하면, 상기 이송용 샤프트(4)의 양쪽 단부가 상기 제1 지지대(6) 또는 제2 지지대(8) 측에서 비정상으로 분리되는 것을 방지하여 설치 안전성을 높일 수 있다.
그리고, 상기에서는 제1 및 제2 끼움홈부(H1, H2) 측에 상기 걸림구(12)가 각각 끼워지는 것을 일 예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이외에도 예를 들어, 두 개의 끼움홈부(H1, H2) 중에서 어느 한쪽에만 끼워질 수도 있다.
따라서, 상기한 구조로 이루어지는 본 고안의 일실시 예에 따른 기판 반송장치는, 상기 프레임(2) 상에 설치된 이송용 샤프트(4)들의 회전에 의해 상기 프레임(2) 일측에서 타측을 향하여 로울러 컨베이어 방식으로 기판(G)을 간편하게 이송할 수 있다.
특히, 본 고안은 상기 이송용 샤프트(4)들의 양쪽 단부를 끼움결합 방식으로 상기 프레임(2) 상에 간편하게 탈,부착할 수 있도록 형성된 끼움결합부(10)를 구비하고 있으므로, 예를 들어, 종래와 같이 볼트로 조여서 샤프트의 베어링을 고정하는 이른바 볼트 조임 방식과 비교할 때 다음과 같은 장점이 있다.
즉, 장치를 제작하거나 유지 보수할 때 상기 이송용 샤프트(4)들을 상기 프레임(2) 측에서 설치하거나 분리하는 작업을 간편하고 신속하게 진행할 수 있다.
그리고, 내부식성 및 내약품성 등이 우수한 고가의 볼트들을 사용하지 않아도 되므로 제작 비용을 절감할 수 있다.
또한, 볼트 체결시 발생할 수 있는 나사부의 마모 또는 파손 등에 의해 장치의 내구성 및 작동 안정성이 조기에 저하되는 현상을 개선할 수 있다.
도 7은 끼움결합부(10)의 다른 구조를 설명하기 위한 도면이다.
본 실시 예에는 상기한 실시 예와 비교할 때 제1 끼움홈부(H1)와 제2 끼움홈부(H2)의 홈부가 서로 다르게 형성된 차이점이 있다.
예를 들어, 상기 제1 끼움홈부(H1)는 수직홈(H1a)과 수평홈(H1b)을 가지며 제1 지지대(6) 측에 형성되는 반면, 상기 제2 끼움홈부(H2)는 수평홈(H2b)으로만 구성되어 제2 지지대(8) 측에 형성될 수 있다. 그리고, 아래에서 미 설명 구조는 상기한 실시 예와 동일하다.
이와 같은 끼움결합부(10)의 다른 구조에 의하면, 특히 이송용 샤프트(4)들을 설치할 때 이 이송용 샤프트(4)의 양쪽 단부 중에서 어느 한쪽 단부만 상기 제1 끼움홈부(H1)의 수직홈(H1a)과 대응하도록 위치를 맞춘 상태로 끼움결합하면 되므로 한층 향상된 조립 편의성을 제공할 수 있다.
도 1은 본 고안의 일실시 예에 따른 기판 반송장치의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2 및 도 3은 본 고안의 일실시 예에 따른 기판 반송장치의 주요 부분들의 세부 구조를 설명하기 위한 도면들이다.
도 4 및 도 5는 본 고안의 일실시 예에 따른 기판 반송장치의 끼움결합부의 제1 끼움홈부 및 제2 끼움홈부의 작용을 설명하기 위한 도면들이다.
도 6은 본 고안의 일실시 예에 따른 기판 반송장치의 끼움결합부의 걸림구의 작용을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 고안의 일실시 예에 따른 기판 반송장치의 끼움결합부의 다른 구조를 설명하기 위한 도면이다.
[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]
2: 프레임 4: 이송용 샤프트 6: 제1 지지대
8: 제2 지지대 10: 끼움결합부 G: 기판
B: 베어링 H1: 제1 끼움홈부 H2: 제2 끼움홈부

Claims (6)

  1. 프레임;
    양쪽 단부에 베어링을 구비하고 상기 프레임 일측에서 타측을 따라 이격된 복수 개의 지점에 배치되는 이송용 샤프트들;
    상기 이송용 샤프트들의 양쪽 단부를 거치할 수 있도록 상기 프레임 상에 형성된 제1 지지대 및 제2 지지대;
    상기 이송용 샤프트들의 일측 단부 베어링을 끼움결합으로 잡아줄 수 있는 상태로 상기 제1 지지대 측에 형성되는 제1 끼움홈부와, 상기 이송용 샤프트들의 타측 단부 베어링을 끼움결합으로 잡아줄 수 있는 상태로 상기 제2 지지대 측에 형성되는 제2 끼움홈부를 구비한 끼움결합부;
    를 포함하며,
    상기 끼움결합부의 상기 제1 끼움홈부 및 상기 제2 끼움홈부는,
    상기 베어링들의 외륜을 상기 제1 지지대 또는 상기 제2 지지대 측에 수직방향으로 끼운 다음, 수평 방향으로 밀어 넣을 수 있도록 연장 형성된 홈부들로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 이송용 샤프트들은,
    기판 저면을 지지하기 위한 접지로울러들을 구비하고, 상기 프레임 상에서 상기 베어링들에 지지된 상태로 축선을 중심으로 회전되면서 상기 프레임 일측에서 타측을 향하여 기판을 이송할 수 있도록 셋팅된 기판 반송장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 지지대 및 제2 지지대는,
    상기 이송용 샤프트들의 양단에 위치하는 베어링들과 대응하도록 상기 프레 임 상에 이격 배치되는 기판 반송장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 끼움결합부는,
    걸림구를 더 포함하며,
    상기 걸림구는,
    상기 제1 끼움홈부 또는 제2 끼움홈부 내측에 끼워져서 상기 베어링들의 이동을 걸림 접촉으로 제한할 수 있도록 형성된 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
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