KR200455956Y1 - 챔버 지지용 프레임 - Google Patents

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Abstract

프레임 내측의 보트에 기판을 적재할 때 기판의 크기에 대응하여 복수개의 단위 도어가 순차적으로 개폐되는 챔버 지지용 프레임이 개시된다. 본 고안에 따른 프레임은, 복수개의 기판에 대하여 기판 처리 공간을 제공하는 챔버를 하부에서 지지하는 챔버 지지용 프레임으로서, 챔버 지지용 프레임(1)의 전방으로 설치되는 도어 프레임(10); 도어 프레임(10)의 중앙에 형성되는 개구부(20); 개구부(20)에서 슬라이딩 방식으로 순차적으로 이동하며 개구부(20)를 개폐시키는 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b); 및 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)를 이동시키는 실린더(200); 를 포함하고, 실린더(200)에 의해 제1 단위 도어(100a)를 개구부(20)의 중앙에서 일측으로 이동시키면 제1 단위 도어(100a)는 제2 단위 도어(200b)와 겹쳐져 개구부(20)의 일측으로 이동하여 개구부(20)가 개방되도록 하고, 실린더(200)에 의해 제1 단위 도어(100a)와 제2 단위 도어(100b)를 개구부(20)의 일측에서 중앙으로 이동시키면 제2 단위 도어(100b)와 제1 단위 도어(100a)가 순차적으로 개구부(20)를 폐쇄하는 것을 특징으로 한다.
프레임, 프레임 도어, 기판

Description

챔버 지지용 프레임{FRAME FOR SUPPORTING CHAMBER}
본 고안은 챔버 지지용 프레임에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 프레임 내측의 보트에 기판을 적재할 때 기판의 크기에 대응하여 복수개의 단위 도어가 순차적으로 개폐되는 챔버 지지용 프레임에 관한 것이다.
최근 평판 디스플레이에 대한 수요가 폭발적으로 증가할 뿐만 아니라 점점 대화면 디스플레이를 선호하는 경향이 두드러지기 때문에, 평판 디스플레이 제조용 대면적 기판 처리 시스템에 대한 관심이 고조되고 있다.
대면적 기판 처리 시스템은 복수개의 기판이 적재된 보트가 챔버에 로딩된 후 기판 처리가 수행된다. 이때, 기판 처리 공간을 제공하는 챔버의 하부에는 챔버를 지지하는 프레임이 설치되고, 프레임의 내부에는 보트가 승강 장치에 의해 승강될 수 있도록 설치된다.
이때, 처리 대상인 기판은 프레임 전방에 설치되어 있는 개구부를 통해 보트에 적재될 수 있다. 이때, 프레임에 설치되는 개구부 양측에는 슬라이딩 방식으로 개폐되는 도어가 설치되어 있다. 기판 적재시 도어는 양측으로 슬라이딩 이동하여 트랜스퍼 암을 이용한 기판의 적재가 용이하도록 한다. 보트에 기판이 적재된 후 에는 도어가 폐쇄됨으로써, 프레임의 내부가 외부와 격리되도록 한다.
이때, 기판은 점차 대면적화되고 있어 기판의 안정적 탑재를 위해서는 기판의 출입을 위해 개구부와 도어의 폭이 대면적 기판에 대응할 수 있도록 확대되어야 하고 크기가 확대된 도어의 개방을 위한 공간 확보를 위해 프레임의 크기도 대형화되어야 하지만, 이로 인해 기판 처리 장치 전체의 제작 비용이 상승하는 문제점이 있었다.
이에 본 고안은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 복수개의 단위 도어를 포함하여 기판의 크기에 대응하여 단위 도어가 순차적으로 개폐될 수 있는 챔버 지지용 프레임을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 순차적으로 개폐되는 복수개의 단위 도어를 포함하여 프레임의 전체 크기를 대형화하지 않고도 대면적 기판이 출입하는 개구부를 확보할 수 있는 챔버 지지용 프레임을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 고안에 따른 챔버 지지용 프레임은, 복수개의 기판에 대하여 기판 처리 공간을 제공하는 챔버를 하부에서 지지하는 챔버 지지용 프레임으로서, 상기 챔버 지지용 프레임의 전방으로 설치되는 도어 프레임; 상기 도어 프레임의 중앙에 형성되는 개구부; 상기 개구부에서 슬라이딩 방식으로 순차적으로 이동하며 상기 개구부를 개폐시키는 제1 및 제2 단위 도어; 상기 제1 및 제2 단위 도어를 이동시키는 실린더; 를 포함하고, 상기 실린더에 의해 상기 제1 단위 도어를 상기 개구부의 중앙에서 일측으로 이동시키면 상기 제1 단위 도어는 상기 제2 단위 도어와 겹쳐져 상기 개구부의 일측으로 이동하여 상기 개구부가 개방되도록 하고, 상기 실린더에 의해 상기 제1 단위 도어와 상기 제2 단위 도어를 상기 개구부의 일측에서 중앙으로 이동시키면 상기 제2 단위 도어와 상기 제1 단위 도어가 순차적으로 상기 개구부를 폐쇄하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 및 제2 단위 도어의 이동시 상기 제1 및 제2 단위 도어에 의한 개방 충격을 흡수하는 충격 흡수부를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 단위 도어의 이동을 가이드하는 제1 LM 가이드 및 상기 제2 단위 도어의 이동을 가이드하는 제2 LM 가이드를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 및 제2 단위 도어가 상기 개구부의 폐쇄를 위해 이동할 때 상기 제2 단위 도어의 이동을 제한하는 도어 폐쇄 브라켓을 더 포함할 수 있다.
상기 개구부의 폐쇄를 감지하는 제1 도어 개폐 센서 및 상기 개구부의 개방을 감지하는 제2 도어 개폐 센서를 더 포함할 수 있다.
본 고안에 따르면, 챔버 지지용 프레임에 순차적으로 개폐되는 복수개의 단위 도어가 배치됨으로써 프레임 내측의 보트에 기판을 용이하게 적재할 수 있는 효과를 갖는다.
또한, 본 고안에 따르면, 챔버 지지용 프레임에 순차적으로 개폐되는 복수개의 단위 도어가 배치됨으로써 프레임의 전체 크기를 대형화하지 않고도 프레임 내측의 보트에 대면적 기판을 용이하게 적재할 수 있는 효과를 갖는다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 구성을 상세하게 설명하도록 한다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 챔버 지지용 프레임(1)의 구성을 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 챔버 지지용 프레임(1)의 전방으로는 도어 프레임(10)에 의해 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)가 배치되어 있음을 알 수 있다.
챔버 지지용 프레임(1)은 내부와 외부가 전체적으로 밀폐되도록 구성되지만, 도면에서는 챔버 지지용 프레임(1)의 내부 구성을 알 수 있도록 전면을 제외한 면이 개방된 상태로 도시되어 있다.
챔버 지지용 프레임(1)은 복수개의 기판에 대하여 기판 처리 공간을 제공하는 챔버(미도시)를 챔버의 하부에서 지지한다. 챔버 지지용 프레임(1)은 금속 재질의 빔(beam), 앵글(angle) 또는 프로파일(profile) 등을 이용하여 육면체 형태로 제작된다. 이때, 챔버 지지용 프레임(1)의 상부로는 기판 처리 공간을 제공하는 챔버가 탑재되므로, 챔버 지지용 프레임(1)은 챔버가 안정적으로 탑재될 수 있는 크기와 강도로 제작되어야 한다.
챔버 지지용 프레임(1)의 내측 공간으로는 복수개의 기판이 적재되는 보트(미도시)와 보트를 기판 처리가 이루어지는 챔버로 승강 및 하강시키는 이송장치(미도시)가 배치된다.
또한, 챔버 지지용 프레임(1)의 전방으로는 도어 프레임(10) 및 기판(미도시)을 보트(미도시)에 로딩하거나 언로딩할 때 개폐되는 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)가 배치될 수 있다. 도어 프레임(10) 및 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)의 구성에 대해서는 후술하기로 한다.
챔버 지지용 프레임(1)은 후술하는 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)가 배치된 후, 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)가 원활히 개폐 동작할 수 있도록 충분한 폭을 갖도록 형성되는 것이 바람직하다.
도 2 및 도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 단위 도어 프레임(10a) 및 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)의 전면측의 구성을 나타내는 분해 사시도 및 사시도이다. 또한, 도 4 및 도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 단위 도어 프레임(10a) 및 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)의 후면측의 구성을 나타내는 분해 사시도 및 사시도이다.
도 2 내지 도 5를 참조하면, 본 고안에 따른 챔버 지지용 프레임(1)은 도어 프레임(10), 제1 단위 도어(100a), 제2 단위 도어(100b), 실린더(200) 및 제1 및 제2 LM 가이드(220, 230)를 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 본 고안에 따른 챔버 지지용 프레임(1)은 충격 흡수부(120), 이송기구 감지센서(130) 및 제1 및 제2 도어 개폐 센서(210a, 210b)를 더 포함할 수 있다.
이하에서는 각각의 구성을 상세하게 살펴보기로 한다.
챔버 지지용 프레임(1)의 전면으로는 후술하는 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)의 지지를 위한 도어 프레임(10)이 배치된다.
도어 프레임(10)은 챔버 지지용 프레임(1)의 전면을 커버할 수 있는 크기로 배치된다. 본 실시예에서는 도어 프레임(10)은 제작의 편의를 위해 'ㄷ'형태로 형성된 단위 도어 프레임(10a, 10b)을 챔버 지지용 프레임(1)의 전면 양측에 배치하여 제작될 수 있다.
본 실시예에서 도어 프레임(10)은 양측으로 분리되는 2개의 단위 도어 프레임(10a, 10b)으로 형성되어 있으나, 단위 도어 프레임의 개수는 제작의 편의를 위해서 그 이상으로 형성될 수 있다. 단위 도어 프레임은 서로 대칭되는 형태로 형성되는 것이 바람직하다.
도 2 및 도 4를 참조하면, 단위 도어 프레임(10a)의 후방으로는 인너 커버(12a)가 설치된다. 단위 도어 프레임(10a)의 인너 커버의 설치는 양측의 단위 도어 프레임(10a, 10b)에 모두 적용된다. 인너 커버(12a)는 단위 도어 프레임(10a)과 전체적으로 동일한 형태로 형성된다. 단위 도어 프레임(10a)과 인너 커버(12a)의 사이로는 후술하는 구성 요소들이 배치되는 소정의 공간이 제공되어, 단위 도어 프레임(10a)의 후면에 배치되는 구성 요소들이 손상을 입는 것을 방지할 수 있다.
본 실시예에서 사용하는 도어 프레임(10)의 중심부에는 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)의 설치를 위해 사각형의 개구부(20)가 형성된다. 개구부(20)를 통해서는 기판이 챔버 지지용 프레임(1) 내측의 보트에 적재될 수 있다. 본 실시예에서 후술하는 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)는 사각형 형태로 형성되어 있어, 개구부(20)는 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)와 마찬가지로 사각형 형태로 형성된다. 여기서, 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)가 다른 형태(예를 들어 원형)로 형성된다면 개구부(20)의 형태는 원형으로 형성될 수 있다. 다만, 개구부(20)의 면적은 후술하는 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b) 면적의 합에 해당하는 것이 바람직하다.
개구부(20)의 양측 각각에는 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)가 배치된다. 제1 단위 도어(100a)와 제2 단위 도어(100b)는 개구부(20)의 중심측에서 일측으로 차례대로 배치된다. 본 실시예에서는 개구부의 좌측에 배치되는 단위 도어의 개수는 2개이지만, 기판을 보트에 탑재하거나 탑재된 기판을 외부로 이송하는 경우에 순차적으로 개폐될 수 있도록 구성된다면, 단위 도어의 개수는 그 이상일 수 있다.
제1 단위 도어(100a)와 제2 단위 도어(100b)는 기판을 보트에 탑재하거나 탑재된 기판을 외부로 이송하는 경우에 순차적으로 이동하며 개구부(20)를 개폐한다. 본 실시예에서 제1 단위 도어(100a)와 제2 단위 도어(100b)의 이동은 후술하는 실린더(200)에 의해 이루어진다.
여기서, 좌측과 우측에 각각 배치되는 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)는 동작 방향이 서로 반대인 것을 제외하면 그 구성과 형태는 동일하다. 본 실시예에서는 좌측의 단위 도어 프레임(10a)에 배치되는 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)의 구성을 예로 들어 설명하기로 한다.
도 2 및 도 4를 참조하면, 제1 단위 도어(100a)는 전면 커버(102)와 후면 커버(104)로 이루어진다. 전면 커버(102)와 후면 커버(104)는 동일한 형태로 형성된다. 전면 커버(102)와 후면 커버(104)의 사이에는 후술하는 제2 단위 도어(100b)가 배치되는 공간이 제공된다. 또한, 후술하는 제2 단위 도어(100b)가 전면 커버(102)와 후면 커버(104)의 사이에서 슬라이딩 이동 가능하게 한다.
제2 단위 도어(100b)는 사각형의 평판 형태로 형성된다. 제2 단위 도어(100b)는 제1 단위 도어(100a)가 개구부(20)의 개방을 위해 이동하는 경우, 제1 단위 도어(100a)와 함께 이동한다. 또한, 제2 단위 도어(100b)의 이동이 멈춰진 상태에서 제1 단위 도어(100a)의 이동에 의해 전면 커버(102)와 후면 커버(104)의 사이에 위치될 수 있다.
제2 단위 도어(100b)는 제1 단위 도어(100a)가 개구부(20)의 폐쇄를 위해 이동하는 경우에는 제1 단위 도어(100a)의 내측에 위치된 상태에서 제1 단위 도 어(100a)와 함께 개구부(20)의 중앙으로 슬라이딩 이동한다. 이때, 제2 단위 도어(100b)는 이동 도중 후술하는 도어 폐쇄 브라켓(110)에 의해 이동이 제한될 수 있다.
제2 단위 도어(100b)의 후단부에는 도어 폐쇄 브라켓(110)과의 접촉을 용이하게 하기 위해 'ㄴ'형태의 걸림단(106)이 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 제2 단위 도어(100b)의 후단부에는 도어 폐쇄 브라켓(110)과 접촉 시 손상을 입는 것을 방지하기 위한 커버가 씌어질 수 있다.
개구부(20)의 양측 후부에는 제2 단위 도어(100b)의 이동을 제한하는 도어 폐쇄 브라켓(110)이 배치된다. 도어 폐쇄 브라켓(110)은 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)가 개구부(200)의 폐쇄를 위해 이동할 때 제2 단위 도어(100b)가 일정 부분에서 이동을 멈추도록 한다.
제2 단위 도어(100b)의 걸림단(106) 후단에는 충격 흡수부(120)가 수직으로 배치된다. 충격 흡수부(120)는 제2 단위 도어(100b)의 개방시 제2 단위 도어(100b)의 후단부가 챔버 지지용 프레임(1)의 일측 내면에 접촉하며 발생되는 충격을 흡수한다. 충격 흡수부(120)는 제2 단위 도어(100b)의 후단부 상부와 하부에 배치될 수 있다. 또한, 제2 단위 도어(100b)의 후단부 전체에 걸쳐 배치될 수 있다. 충격 흡수부(120)는 고무와 같은 탄성 재질로 형성되는 것이 바람직하다. 본 실시예에서 충격 흡수부(120)는 관 형태로 형성되어 있으나 완충 역할을 할 수 있다면 다른 형태로 형성될 수 있다.
한편, 제1 단위 도어(100a)와 제2 단위 도어(100b)의 표면에는 단위 도어의 강성을 증가시키기 위해 격자 형태의 구조물이 형성되는 것이 바람직하다.
또한, 이송기구 감지센서(130)가 개구부(20)의 양측 내주부에 배치될 수 있다. 이송기구 감지센서(130)는 센서 고정 브라켓(132)에 의해 고정된다.
이송기구 감지센서(130)는 로봇 암, 기판 트랜스퍼 암과 같은 이송 기구를 이용하여 기판을 보트에 로딩하거나 보트에서 언로딩할 때 로봇 암(미도시)이 제1 또는 제2 단위 도어(100a, 100b)에 접촉하는 것을 감지한다. 이송기구 감지센서(130)는 개구부(20)의 양측 내주부에 배치되지만, 제1 또는 제2 단위 도어(100a, 100b)에 로봇 암이 접촉할 때 단위 도어를 통해 전달되는 충격에 의해 암의 접촉을 감지할 수 있다. 로봇 암(미도시)이 제1 또는 제2 단위 도어(100a, 100b)에 접촉하는 것을 감지할 수 있다면, 이송기구 감지센서(130)는 다른 부위에 부착될 수 있다. 이송기구 감지센서(130)는 신호선에 의해 외부의 표시장치(미도시)와 연결된다.
도 6은 본 고안의 일 실시예에 따른 단위 도어 프레임에 배치된 실린더의 구성을 나타내는 도면으로서, 실린더와 실린더에 연결된 구성 요소들의 구성을 좀더 상세히 나타낸다. 도 6을 참조하면, 단위 도어 프레임(10a)에는 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)의 이동을 위해 실린더(200)가 배치된다. 실린더(200)는 유압 또는 공압으로 동작하며 제1 단위 도어(100a)를 이동시킨다. 실린더(200)는 단위 도어 프레임(10a)의 후면에 고정된다. 그리고, 실린더(200)의 피스톤 블록(202)은 고정 브라켓(204)에 의해 제1 단위 도어(100a)와 연결된다. 실린더(200)가 동작하면 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)가 개구부(20)에서 슬라이딩 이동한다.
본 실시예에서 실린더(200)는 단위 도어 프레임(10a)의 내측 하부에 배치되어 있으나, 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)를 이동시킬 수 있다면 단위 도어 프레임(10a)의 내측 상부에 배치되어도 무방하다.
실린더(200)의 양단부에는 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)에 의한 개구부(20)의 개폐를 감지하는 제1 및 제2 도어 개폐 센서(210a, 210b)가 부착된다. 제1 및 제2 도어 개폐 센서(210a, 210b)는 고정 브라켓(212)에 의해 실린더(200)의 양단부에 각각 부착된다.
제1 도어 개폐 센서(210a)는 개구부(20)의 폐쇄를 감지하고, 제2 도어 개폐 센서(200b)는 개구부(20)의 개방을 감지한다. 본 실시예에서 센서의 설치를 용이하게 하고 다른 구성 요소와의 관계를 고려하여 제1 도어 개폐 센서(210a)와 제2 도어 개폐 센서(210b)가 실린더(200)의 양단부에 배치되어 있으나, 개구부(20)의 개방을 감지할 수 있다면 다른 위치에 배치되어도 무방하다.
제1 및 제2 도어 개폐 센서(210a, 210b)는 피스톤 블록(202)의 양단부와 접촉하는 방식으로 개구부(20)의 개폐를 감지하거나 초음파 등을 이용하여 비접촉 방식으로 개구부(20)의 개폐를 감지할 수 있다. 제1 및 제2 도어 개폐 센서(210a, 210b)는 개구부(20)의 개폐를 감지할 수 있다면, 접촉식 센서 또는 비접촉식 센서 어느 것이라도 사용할 수 있다. 또한, 제1 및 제2 도어 개폐 센서(210a, 210b)는 신호선에 의해 외부의 표시 장치와 연결되어, 감지 결과를 외부의 작업자에게 알려준다.
제1 단위 도어(100a)의 상부측과 하부측에는 제1 LM 가이드(220)가 배치된 다. 제1 LM 가이드(220)는 제1 단위 도어(100a)의 이동시, 제1 단위 도어(100a)의 이동이 원활하도록 제1 단위 도어(100a)를 가이드한다.
제1 단위 도어(100a)의 후면 커버(104)의 내측으로는 제2 LM 가이드(230)가 복수개로 배치된다. 제2 LM 가이드(230)는 제2 단위 도어(100b)의 이동을 가이드 한다. 제2 LM 가이드(230)는 후면 커버(104)의 내측 상부에서 하부로 복수개가 평행하게 배치된다. 제2 단위 도어(100b)의 가이드를 수행할 수 있다면 제2 LM 가이드(230)는 전면 커버(102)의 내측으로 배치될 수도 있다. 본 실시예에서 제2 LM 가이드(230)는 5개가 설치되어 있으나, 제2 단위 도어(100b)의 가이드를 원활히 할 수 있다면 제2 LM 가이드(230)의 설치 개수는 증감될 수 있다.
제1 LM 가이드(220)와 제2 LM 가이드(230)는 일반적인 LM 가이드와 같이 가이드 레일과 가이드 블록으로 구성되므로 제1 및 제2 LM 가이드(220, 230)의 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
본 실시예에서는 제1 LM 가이드(220)의 가이드 레일은 단위 도어 프레임(10a)에 부착되고, 가이드 블록은 제1 단위 도어(100a)에 부착되지만, 제1 단위 도어(100a)의 이동시, 제1 단위 도어(100a)를 가이드할 수 있다면, 가이드 레일은 제1 단위 도어(100a)에, 가이드 블록은 단위 도어 프레임(10a)에 부착되어도 무방하다. 또한, 제2 LM 가이드(230)의 가이드 레일은 제1 단위 도어(100a)에 부착되고, 제2 LM 가이드(230)의 가이드 블록은 제2 단위 도어(100b)에 부착되지만, 제2 단위 도어(100b)가 이동할 때, 제2 단위 도어(100b)를 가이드할 수 있다면, 반대로 부착되어도 무방하다.
상기와 같이 구성된 본 고안은 다음과 같이 동작할 수 있다.
도 7 내지 도 12는 본 고안에 의한 챔버 지지용 프레임의 제1 및 제2 단위 도어의 동작을 나타내는 도면이다. 도면에서는 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)에 의한 개구부(20)의 폐쇄를 용이하게 설명하기 위해 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b), 실린더(200) 및 제2 LM 가이드(230)를 위주로 하여 도시하였다.
프레임(1)의 내측으로 기판 처리 대상인 기판을 적재하고자 할 때, 본 고안은 다음과 같이 동작된다.
도 7을 참조하면, 사용자의 조작에 의해 실린더(200)를 동작시키면, 제1 단위 도어(100a)는 개구부(20)의 중앙에서 일측으로 이동하며 개구부(20)가 개방된다.
도 8을 참조하면, 제1 단위 도어(100a)의 이동에 의해 개구부(20)의 중앙부는 개방된 상태가 된다. 여기서, 실린더(200)는 제1 단위 도어(100a)의 하부측 또는 상부측으로 연결되어 있으므로 실린더(200)로부터 전달되는 구동력이 제1 단위 도어(100a)의 일측으로만 전달되어 제1 단위 도어(100a)의 이동이 원활하지 않을 수 있다. 이때, 제1 단위 도어(100a)의 상부와 하부에 각각 연결되어 있는 제1 LM가이드(220)는 제1 단위 도어(100a)의 이동이 원활하도록 한다.
실린더(200)에 의해 제1 단위 도어(100a)가 이동할 때 제1 단위 도어(100a)와 제2 단위 도어(100b)는 함께 이동한다. 즉, 제1 단위 도어(100a)는 개구부(20)의 일측으로 이동하고, 개구부(20)의 일측에 위치되어 있던 제2 단위 도어(100b)는 단위 도어 프레임(12a)의 후방으로 이동한다.
도 9를 참조하면, 실린더(200)에 의해 계속적으로 이동하는 제2 단위 도어(100b)의 후단부는 챔버 지지용 프레임(1)의 내측 벽에 접촉한다. 제2 단위 도어(100b)의 후단부가 챔버 지지용 프레임(1)의 내측 벽에 접촉하여 더 이상 이동하지 않는 상태에서도 실린더(200)에 의해 제1 단위 도어(100a)는 계속 이동한다. 제1 단위 도어(100a)의 계속적인 이동에 의해 제2 단위 도어(100b)는 제1 단위 도어(100a)의 내측으로 삽입되어 위치되면서, 개구부(20)는 개방된다.
제2 도어 개폐 센서(210b)는 개구부(20)가 개방되었음을 감지한다.
한편, 다시 도 8과 도 9를 참조하면, 제2 단위 도어(100b)가 제1 단위 도어(100a)의 내측으로 이동할 때, 제2 LM 가이드(230)는 제2 단위 도어(100b)에 연결된 가이드 블록(234)이 가이드 레일(232)을 따라 일단에서 다른 일단으로 이동하며 제2 단위 도어(100b)를 가이드함을 알 수 있다.
제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)의 이동에 의해 개구부(20)가 완전 개방되면, 제2 단위 도어(100b)는 제1 단위 도어(100a)의 내측에 위치되므로 제1 및 제2 단위 도어(100a, 100b)가 차지하는 공간은 개구부(20) 폐쇄시에 비해 반으로 줄어든 상태가 된다.
개구부(20)가 개방되면, 기판 이송 암과 같은 기판 이송 장치를 이용하여 처리 대상인 기판을 프레임 내측의 보트에 적재한다. 보트에 기판을 적재하는 기술은 이 분야에서는 널리 알려진 종래의 기술이므로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
기판의 이송 중, 기판을 이송하는 이송 장치가 도어에 접촉될 수 있다. 이때, 이송기구 감지센서(130)는 이송 장치가 도어에 접촉되었음을 경고하는 신호를 출력하여, 작업자에게 알린다.
프레임 내측의 보트에 기판의 적재가 완료되면 다음과 같이 도어를 폐쇄한다.
다시 도 9를 참조하면, 제1 및 제2 단위 도어(100b)가 단위 도어 프레임(12a)의 후방으로 이동하여 개구부(20)는 완전히 개방된 상태이다. 이 상태에서 실린더(200)는 개구부(20)의 개방시와 반대 방향으로 동작된다.
도 10을 참조하면, 실린더(200)의 동작에 의해 제1 단위 도어(100a)는 개구부(20)의 중앙부로 이동한다. 이때, 제1 단위 도어(100a)의 내측에는 제2 단위 도어(100b)가 위치된 상태이다. 제1 단위 도어(100a)가 개구부(20)의 중앙으로 이동하는 도중, 제2 단위 도어(100b)의 걸림단(106)이 도어 폐쇄 브라켓(110)에 걸리면서 제2 단위 도어(100b)는 더 이상의 이동이 제한되어, 개구부(20)의 일측에 정지된다. 제2 단위 도어(100b)의 정지에 의해 개구부(20)는 양측이 폐쇄된다.
도 11을 참조하면, 제2 단위 도어(100b)가 개구부(20)의 일측에 정지한 이후에도, 실린더(200)의 동작에 의해 제1 단위 도어(100a)는 개구부(20)의 중앙부로 계속 이동한다.
도 12를 참조하면, 실린더(200)의 동작에 의해 제1 단위 도어(100a)가 개구부(20)의 중앙에 위치되면, 개구부(20)는 완전 폐쇄된다.
이때, 제1 도어 개폐 센서(210a)는 개구부(20)가 완전히 폐쇄되었음을 감지한다. 이후, 보트를 챔버로 승강시켜 기판 처리를 수행하도록 한다.
한편, 다시 도 10, 도 11 및 도 12를 참조하면, 제2 단위 도어(100b)가 제1 단위 도어(100a)의 내측에서 외측으로 이동할 때, 제2 LM 가이드(230)는 제2 단위 도어(100b)에 연결된 가이드 블록(234)이 가이드 레일(232)을 따라 단부에서 단부로 이동하며 제2 단위 도어(100b)를 가이드함을 알 수 있다.
상기와 같이 챔버의 하부에서 챔버를 지지하는 프레임의 개구부에는 제1 및 제2 단위 도어가 좌우 양측에 순차적으로 개폐되도록 배치되므로 도어의 개방을 위해 필요로 하는 공간이 적어져 프레임의 크기를 대형화하지 않고도 기판이 출입하는 개구부의 면적을 확보할 수 있다.
본 고안은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 고안의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 고안과 첨부된 실용신안등록청구범위 의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 챔버 지지용 프레임의 구성을 나타내는 도면.
도 2 및 도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 단위 도어 프레임 및 제1 및 제2 단위 도어의 전면측의 구성을 나타내는 분해 사시도 및 사시도.
도 4 및 도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 단위 도어 프레임 및 제1 및 제2 단위 도어의 후면측의 구성을 나타내는 분해 사시도 및 사시도.
도 6은 본 고안의 일 실시예에 따른 단위 도어 프레임에 배치된 실린더의 구성을 나타내는 도면.
도 7은 내지 도 12는 본 고안에 의한 챔버 지지용 프레임의 제1 및 제2 단위 도어의 동작을 나타내는 도면
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1: 챔버 지지 프레임
10: 도어 프레임
12a: 인너 커버
20: 개구부
100a, 100b: 제1 및 제2 단위 도어
102: 전면 커버
104: 후면 커버
110: 도어 폐쇄 브라켓
120: 충격 흡수부
130: 이송기구 감지센서
200: 실린더
210a, 210b: 제1 및 제2 도어 개폐 센서
220: 제1 LM 가이드
230: 제2 LM 가이드

Claims (5)

  1. 복수개의 기판에 대하여 기판 처리 공간을 제공하는 챔버를 하부에서 지지하는 챔버 지지용 프레임으로서,
    상기 챔버 지지용 프레임의 전방으로 설치되는 도어 프레임;
    상기 도어 프레임의 중앙에 형성되는 개구부;
    상기 개구부에서 슬라이딩 방식으로 순차적으로 이동하며 상기 개구부를 개폐시키는 제1 및 제2 단위 도어;
    상기 제1 및 제2 단위 도어를 이동시키는 실린더; 및
    상기 제1 및 제2 단위 도어가 상기 개구부의 폐쇄를 위해 이동할 때 상기 제2 단위 도어의 이동을 제한하는 도어 폐쇄 브라켓
    을 포함하고,
    상기 실린더에 의해 상기 제1 단위 도어를 상기 개구부의 중앙에서 일측으로 이동시키면 상기 제1 단위 도어는 상기 제2 단위 도어와 겹쳐져 상기 개구부의 일측으로 이동하여 상기 개구부가 개방되도록 하고,
    상기 실린더에 의해 상기 제1 단위 도어와 상기 제2 단위 도어를 상기 개구부의 일측에서 중앙으로 이동시키면 상기 제2 단위 도어와 상기 제1 단위 도어가 순차적으로 상기 개구부를 폐쇄하는 것을 특징으로 하는 챔버 지지용 프레임.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 단위 도어의 이동시 상기 제1 및 제2 단위 도어에 의한 개방 충격을 흡수하는 충격 흡수부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버 지지용 프레임.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 단위 도어의 이동을 가이드하는 제1 LM 가이드 및
    상기 제2 단위 도어의 이동을 가이드하는 제2 LM 가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버 지지용 프레임.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 개구부의 폐쇄를 감지하는 제1 도어 개폐 센서 및
    상기 개구부의 개방을 감지하는 제2 도어 개폐 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버 지지용 프레임.
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