KR200427167Y1 - Automatic rotating system of cassette - Google Patents

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KR200427167Y1
KR200427167Y1 KR2020060018093U KR20060018093U KR200427167Y1 KR 200427167 Y1 KR200427167 Y1 KR 200427167Y1 KR 2020060018093 U KR2020060018093 U KR 2020060018093U KR 20060018093 U KR20060018093 U KR 20060018093U KR 200427167 Y1 KR200427167 Y1 KR 200427167Y1
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배상용
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(주)에이디에스
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Abstract

본 고안은 카세트 자동 순환 장치에 관한 것으로, 다수의 수직 프레임과 상/하부 수평 프레임으로 구성된 바디 프레임, 상기한 상부 수평 프레임에 설치되고, 이송수단에 의하여 클램핑 수단이 좌/우 이송하여 카세트를 고정하고 카세트의 승/하강시에는 고정상태를 해제하는 카세트 고정부, 상기한 하부 수평 프레임 상에 설치되고 카세트를 지지하는 지지프레임을 이송수단에 의하여 승/하강시켜 카세트를 승/하강시는 수직 이송부와, 상기한 수직 이송부를 수평 이송시켜 로딩부의 카세트를 언로딩부로 이송시키는 수평 이송부로 구성되는 카세트 자동 순환 장치를 제공하여 카세트의 이동에 걸리는 시간을 대폭 단축한 것이다.The present invention relates to a cassette automatic circulation device, the body frame consisting of a plurality of vertical frames and the upper and lower horizontal frames, is installed in the upper horizontal frame, the clamping means is conveyed left / right by a conveying means to fix the cassette And a cassette fixing part for releasing the fixed state when the cassette is lifted and lowered, and a support frame installed on the lower horizontal frame and supporting the cassette by lifting and lowering by a transfer means to move the cassette up and down. And a horizontal automatic transfer unit configured to horizontally transfer the vertical transfer unit to transfer the cassette of the loading unit to the unloading unit, thereby greatly reducing the time required for the movement of the cassette.

카세트, 유리, 순환, 로보트, 순환 Cassette, Glass, Circulation, Robot, Circulation

Description

카세트 자동 순환 장치{AUTOMATIC ROTATING SYSTEM OF CASSETTE}Automatic cassette circulation system {AUTOMATIC ROTATING SYSTEM OF CASSETTE}

도 1a는 본 고안에 따른 카세트 자동 순환 장치를 나타내는 정면도Figure 1a is a front view showing the cassette automatic circulation device according to the present invention

도 1b는 카세트 자동 순환 장치를 나타내는 측면도1B is a side view showing the cassette automatic circulation device

도 2a 및 도 2b는 수직 이송부를 나타내는 도면2a and 2b are views showing a vertical conveying part

도 3a는 카세트 고정부를 나타내는 정면도3A is a front view showing the cassette fixing part

도 3b는 카세트 고정부를 나타내는 측면도3B is a side view showing the cassette holder

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100 : 바디 프레임 200 : 카세트 고정부100: body frame 200: cassette fixing portion

210 : 지지 유니트 220 : 클램핑 수단210: support unit 220: clamping means

222 : 클램핑 실린더 224 : 클램핑 유니트222: clamping cylinder 224: clamping unit

230 : 이송수단 240 : 누름 스위치230: transfer means 240: push switch

300 : 수직 이송부 310 : 지지프레임300: vertical transfer unit 310: support frame

322 : 수직 이송 로보트 324 : 지지 플레이트322 vertical transfer robot 324 support plate

326 : 실린더 328 : 파워 베이스326 cylinder 328 power base

400 : 수평 이송부 LD : 로딩부400: horizontal feed part LD: loading part

ULD : 언로딩부 C : 카세트ULD: Unloading part C: Cassette

본 고안은 카세트 자동 순환 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 로딩부의 카세트를 언로딩부로 자동으로 이송시켜 작업시간을 단축할 수 있도록 하는 카세트 자동 순환 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette automatic circulation device, and more particularly to a cassette automatic circulation device that can reduce the working time by automatically transferring the cassette of the loading portion to the unloading portion.

일반적으로, LCD공정 등에 사용되는 판유리는 유리 이송용 로봇 암이 삽입될 수 있는 간격으로 20매 정도가 하나의 카세트에 20-30mm정도의 간격으로 투입되어 있다. In general, the plate glass used in the LCD process, etc. is inserted into the cassette 20 to 20-30mm intervals in the interval at which the glass transfer robot arm can be inserted.

그러나 이와 같이 투입된 유리는 전체 제조 공정에서 카세트로부터 배출되어 다시 카세트로 투입하는 과정을 여러번 반복하게 되고, 유리가 모두 배출된 로딩(Loading)부의 카세트는 언로딩(Unloading)부로 청정이송장치(Clean Transfer Vehicle)에 의하여 이송된다.However, the injected glass is repeatedly discharged from the cassette in the entire manufacturing process and re-injected into the cassette, and the cassette of the loading part in which all the glass is discharged is cleaned to the unloading part. Transported by vehicles.

그러나, 이와 같은 종래의 카세트 이동 구조에서는 청정이송장치가 구동할 공간이 필요하므로, 설비공간이 많이 소요될 뿐 아니라, 청정이송장치가 필요하므로 설치비가 많이 들고 유지 및 관리가 어려운 문제점이 있었다.However, such a conventional cassette moving structure requires a space for driving the clean transfer device, and thus requires a lot of facility space, and also requires a clean transfer device, resulting in high installation costs and difficulty in maintenance and management.

상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 고안의 목적은 작업공정으로 유리를 투입하는 로딩부와 작업이 완료된 유리가 배출되는 언로딩부의 카세트를 바닥으로부터 이격된 상부에 위치시키고, 로딩부의 카세트를 수직 이송부를 통해서 하강시킨 후 수평이송부를 사용하여 수평이동하여 다시 수직 이송부를 통해서 승강 시킴으로써 언로딩부로 자동 이송 되도록 하여 작업시간을 단축할 수 있도록 하는 카세트 자동 순환 장치를 제공하는 데 있다.An object of the present invention for solving the problems as described above is to place the cassette of the loading unit for injecting the glass into the working process and the unloading unit for discharging the finished glass in the upper portion separated from the bottom, the cassette of the loading unit vertical It is to provide a cassette automatic circulation device that can reduce the working time by automatically descending to the unloading unit by lowering through the conveying unit and then horizontally moving using the horizontal conveying unit to move up and down again through the vertical conveying unit.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 고안의 특징은 다수의 수직 프레임과 상/하부 수평 프레임으로 구성된 바디 프레임, 상기한 상부 수평 프레임에 설치되고, 이송수단에 의하여 클램핑 수단이 좌/우 이송하여 카세트를 고정하고 카세트의 승/하강시에는 고정상태를 해제하는 카세트 고정부, 상기한 하부 수평 프레임 상에 설치되고 카세트를 지지하는 지지프레임을 이송수단에 의하여 승/하강시켜 카세트를 승/하강시는 수직 이송부와, 상기한 수직 이송부를 수평 이송시켜 로딩부의 카세트를 언로딩부로 이송시키는 수평 이송부로 구성되는 카세트 자동 순환 장치를 제공하여 카세트의 이동에 걸리는 시간을 대폭 단축한 것이다.A feature of the present invention for achieving the above object is a body frame consisting of a plurality of vertical frames and upper and lower horizontal frames, is installed in the upper horizontal frame, the clamping means is conveyed left / right by a conveying means to convey the cassette When the cassette is lifted and lowered, the cassette fixing part for releasing the fixed state and the support frame installed on the lower horizontal frame and supporting the cassette are lifted and lowered by the transfer means to lift and lower the cassette. It provides a cassette automatic circulation device composed of a conveying part and a horizontal conveying part which conveys the cassette of the loading part to the unloading part by horizontally conveying the vertical conveying part horizontally, thereby greatly reducing the time required for the movement of the cassette.

이상과 같은 특징을 갖는 본 고안의 실시예를 하기에서 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 살펴본다.An embodiment of the present invention having the features as described above will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 1a는 본 고안에 따른 카세트 자동 순환 장치를 나타내는 정면도이고, 도 1b는 카세트 자동 순환 장치를 나타내는 측면도이며, 도 2a는 수직 이송부의 하강상태를 나타내는 도면이고, 도 2b는 수직 이송부의 승강 상태를 나타내는 도면이며, 도 3a는 카세트 고정부를 나타내는 정면도이고 도 3b는 카세트 고정부를 나타내는 측면도이다.Figure 1a is a front view showing the cassette automatic circulation device according to the present invention, Figure 1b is a side view showing the cassette automatic circulation device, Figure 2a is a view showing the lowered state of the vertical conveying unit, Figure 2b is a lifting state of the vertical conveying unit It is a figure which shows, FIG. 3A is a front view which shows a cassette fixing part, and FIG. 3B is a side view which shows a cassette fixing part.

본 고안에 따른 카세트 자동 순환 장치는 크게, 도 1a및 도 1b에 나타내는 바와 같이 다수의 수직 프레임(110)과 상/하부 수평 프레임(120)(130)으로 구성된 바디 프레임(100), 상기한 상부 수평 프레임(120)에 설치되어 카세트(C)를 상부 수평 프레임(120) 상에 고정하고 카세트(C)의 승/하강시에는 고정상태를 해제하는 카세트 고정부(200), 상기한 하부 수평 프레임(130) 상에 설치되고 카세트(C)를 지지하는 지지 프레임(310)을 이송수단(320)에 의하여 승/하강시켜 카세트(C)를 승/하강시는 수직 이송부(300)와, 상기한 수직 이송부(300)를 수평 이송시켜 로딩부(LD)의 카세트(C)를 언로딩부(ULD)로 이송시키는 수평 이송부(400)로 구성된다.Cassette automatic circulation device according to the present invention is largely, as shown in Figures 1a and 1b body frame 100 consisting of a plurality of vertical frame 110 and the upper and lower horizontal frame 120, 130, the upper A cassette fixing part 200 installed at the horizontal frame 120 to fix the cassette C on the upper horizontal frame 120 and releasing the fixed state when the cassette C is raised or lowered, the lower horizontal frame as described above. The support frame 310 installed on the 130 and supporting the cassette C is moved up and down by the transfer means 320 so that the cassette C is moved up and down by the vertical transfer part 300 and the above. It is composed of a horizontal conveying unit 400 for horizontally conveying the vertical conveying unit 300 to convey the cassette (C) of the loading unit (LD) to the unloading unit (ULD).

상기한 구성에서 수직 이송부(300)는 도 2a 및 도 2b에 나타내는 바와 같이 지지 프레임(310)을 이송시키는 이송수단(320)으로 구성되고, 상기한 이송수단(320)은 양측부에 구비되는 케이블체인(322a)을 사용하는 수직 이송 로보트(322)와, 상기한 수직 이송 로보트(322)의 케이블체인(322a) 종단에 일체로 설치되어 수직 이송 로보트(322)의 승/하강 길이만큼 승/하강하는 지지 플레이트(324), 상기한 지지 플레이트(324)에 일체로 설치되어 지지 프레임(310)을 승/하강시키는 실린더(326), 상기한 지지 프레임(310)과 지지 플레이트(324)에 일체로 설치되어 실린더(326)의 행정시에 지지 프레임(310)과 함께 승/하강하여 지지 프레임(310)이 흔들리지 않도록 지지 프레임(310)을 관통하여 설치되는 랙과 이에 맞물리며 지지 프레임(310)에 설치되어 회전하는 피니언으로 구성된 파워 베이스(328)로 구성되어, 수직 이송 로보트(322)에 의하여 지지 플레이트(324)가 승강한 후 실린더(326)에 의하여 지지 프레임(310)이 2차로 승강하도록 한다.In the above configuration, the vertical transfer unit 300 includes a transfer unit 320 for transferring the support frame 310 as shown in FIGS. 2A and 2B, and the transfer unit 320 includes cables provided at both sides. The vertical transfer robot 322 using the chain 322a and the cable chain 322a end of the vertical transfer robot 322 are integrally installed to move up / down by the length of the vertical transfer robot 322. The support plate 324 to be installed, the support plate 324 is integrally installed to the cylinder 326 for raising and lowering the support frame 310, the support frame 310 and the support plate 324 integrally The rack is installed through the support frame 310 so that the support frame 310 is not shaken by being moved up / down with the support frame 310 during the stroke of the cylinder 326, and meshed with the rack installed in the support frame 310. Power bar consisting of a pinion that rotates It is composed of a tooth 328, so that the support frame 310 is elevated by the cylinder 326 after the support plate 324 by the vertical transfer robot 322 is elevated.

그리고 상기한 카세트 고정부(200)는, 도 3a및 도 3b에 나타내는 바와 같이 카세트(C)의 하부를 받치는 지지 유니트(210)와, 클램핑 실린더(222)에 의하여 클램핑 유니트(224)를 수평 이동시켜 카세트(C)의 내측 하부 네모서리를 고정하는 클램핑 수단(220), 상기한 클램핑 실린더(222)와 지지 유니트(210)를 동시에 수평 이송하는 이송수단(230) 및, 상기한 지지 유니트(210)보다 상부로 다소 돌출되도록 스프링(242)을 매개로 누름단추(244)가 돌출 설치되어 카세트(C)의 진입을 확인하는 누름 스위치(240)로 구성된다.3A and 3B, the cassette fixing part 200 moves the clamping unit 224 horizontally by the support unit 210 which supports the lower part of the cassette C, and the clamping cylinder 222. As shown in FIG. Clamping means 220 for fixing the inner lower corners of the cassette C, the conveying means 230 for simultaneously horizontally conveying the clamping cylinder 222 and the support unit 210, and the support unit 210 described above. The push button 244 is protruded through the spring 242 so as to protrude slightly from the top, and is configured as a push switch 240 for checking the entry of the cassette C.

상기한 클램핑 수단(220)은 원반형의 클램핑 플레이트(224a)의 하부에 수직 지지봉(224b)을 일체로 설치한 4개의 클램핑 유니트(224)와, 상부 수평 프레임(120)에 고정 설치되어 있는 고정부 하부 프레임(250)에 실린더 바디가 고정설치되고 상기한 클램핑 유니트(224)의 수직 지지봉(224b)에 실린더 로드가 일체로 설치되어 클램핑 유니트(224)를 각각 수평 이동시키되 클램핑 유니트(224)가 카세트(C)의 중심을 향하여 전진 혹은 후진하도록 카세트(C)의 네모서리와 대응되는 위치에 카세트(C)의 중심을 향해서 설치된 4개의 클램핑 실린더(222)로 구성된다.The clamping means 220 includes four clamping units 224 integrally installed with a vertical support rod 224b at the lower portion of the disc shaped clamping plate 224a, and a fixing part fixedly installed on the upper horizontal frame 120. The cylinder body is fixedly installed on the lower frame 250 and the cylinder rod is integrally installed on the vertical support rod 224b of the clamping unit 224 to move the clamping unit 224 horizontally, respectively. It consists of four clamping cylinders 222 provided toward the center of the cassette C at positions corresponding to the four corners of the cassette C to move forward or backward toward the center of the (C).

그리고, 상기 지지 유니트(210)는 카세트(C)의 하부 가장자리를 받치는 다수의 받침편(212)과, 상기한 받침편(212)이 설치되며 고정부 하부 프레임(250)의 상부에 이격되게 설치되는 고정부 상부 프레임(260) 및, 상기한 고정부 상부 프레임(260)과 고정부 하부 프레임(250) 사이에 설치되는 압축 스프링(214), 상기한 고정부 하부 프레임(250)을 관통하고 고정부 상부 프레임(260)에 고정된 수직바(216), 상기한 수직바(216)의 하부 종단이 고정되는 고정부 베이스 프레임(270), 상기한 고정부 하부 프레임(250)과 고정부 베이스 프레임(270) 사이에 설치되는 완 충용 실린더(218)로 구성된다.The support unit 210 includes a plurality of support pieces 212 supporting the lower edge of the cassette C, and the support pieces 212 are installed to be spaced apart from the upper part of the fixing part lower frame 250. The fixing part upper frame 260, the compression spring 214 installed between the fixing part upper frame 260 and the fixing part lower frame 250, and penetrate the fixing part lower frame 250. The vertical bar 216 fixed to the top frame 260, the fixing base frame 270 to which the lower end of the vertical bar 216 is fixed, the fixing lower frame 250 and the fixing base frame It consists of a buffer cylinder 218 is installed between the (270).

상기한 지지 유니트(210)와 클램핑 실린더(222)를 수평 이송하는 이송수단(230)은 고정부 하부 프레임(250)에 일체로 설치되는 이송블록(232)과 상기한 이송블록(232)이 안내되는 이송레일(234) 및 이송블록(232)을 구동하는 실린더 혹은 모터의 구동수단(236)으로 구성된다.The conveying means 230 for horizontally conveying the support unit 210 and the clamping cylinder 222 is guided by the transfer block 232 and the transfer block 232 which are integrally installed on the lower frame 250 of the fixing part. It is composed of a driving rail 234 and the driving means 236 of the cylinder or motor for driving the transfer block 232.

한편, 상기한 수평 이송부(400)는 도 1a 및 도 1b에 나타내는 바와 같이 로딩부(LD)와 언로딩부(ULD)를 연결하는 가이드 레일(410)과, 상기한 가이드 레일(410)을 따라 이동하며 수직 이송부(300)와 일체로 설치된 이송블록(420) 및 상기한 수직 이송부(300)의 수직 이송 로보트(322)에 일측 종단이 일체로 설치되고 타측 종단은 바디 프레임(100)에 고정설치되어 수직 이송부(300)가 수평운동 하도록 하는 케이블 체인(430) 및, 이송블록(420)을 이동시키기 위한 구동모터와 랙 및 피니언으로 구성된 구동수단(440)으로 구성된다.On the other hand, the horizontal transfer unit 400 is a guide rail 410 for connecting the loading unit LD and the unloading unit (ULD), as shown in Figure 1a and 1b, along the guide rail 410 One end is integrally installed and the other end is fixedly installed on the body frame 100 while the transfer block 420 is installed integrally with the vertical transfer part 300 and the vertical transfer robot 322 of the vertical transfer part 300 moves. And a cable chain 430 for horizontal movement of the vertical transfer part 300, and a driving means 440 including a drive motor and a rack and pinion for moving the transfer block 420.

이상과 같이 구성된 본 고안의 실시예를 살펴본다.Look at the embodiment of the present invention configured as described above.

우선, 상기한 본 고안의 실시예에서 로딩부(LD)로 카세트(C)를 투입하고, 언로딩부(ULD)로부터 카세트(C)를 배출하는 작업은 청정 이송 장치(Clean Transfer Vehicle)에 의하여 이루어지므로 상세한 설명은 생략한다.First, in the above-described embodiment of the present invention, the cassette C is loaded into the loading unit LD, and the operation of discharging the cassette C from the unloading unit ULD is performed by a clean transfer vehicle. Detailed description thereof will be omitted.

상기한 바와 같이 청정 이송 장치에 의하여 로딩부(LD)로 카세트(C)가 이송되면 카세트 고정부(200)를 구성하는 이송수단(230)에 의하여 지지 유니트(210)와 클램핑 수단(220)은 전진한 상태를 유지하고 클램핑 실린더(222)에 의하여 클램핑 유니트(224)는 카세트(C)를 지지하고 있어서 유리를 작업공정으로 취출하는 과정에서 카세트(C)는 상부 수평 프레임(120) 상에 고정상태를 유지하게 된다.As described above, when the cassette C is transferred to the loading part LD by the clean transfer device, the support unit 210 and the clamping means 220 are moved by the transfer means 230 constituting the cassette fixing part 200. Maintaining the advanced state, the clamping unit 224 is supported by the clamping cylinder 222, the cassette (C), the cassette (C) is fixed on the upper horizontal frame 120 in the process of taking out the glass in the working process State is maintained.

이후, 상기한 클램핑 실린더(222)에 의하여 클팸핑 유니트(224)가 카세트(C)로부터 이격되면 상기한 수직 이송부(300)의 지지 프레임(310)이 수직 이송 로보트(322)와 실린더(326) 및 파워 베이스(328)에 의하여 최대로 상승하여 그 상부에 카세트(C)가 위치된다. 이때, 지지 프레임(310)은 클램핌 유니트(224) 및 누름 스위치(240)보다 상부에 위치하게 된다.Subsequently, when the clamping unit 224 is spaced apart from the cassette C by the clamping cylinder 222, the support frame 310 of the vertical transfer part 300 is the vertical transfer robot 322 and the cylinder 326. And the cassette C is positioned at the top thereof by being raised to the maximum by the power base 328. At this time, the support frame 310 is located above the clamp unit 224 and the push switch 240.

이후, 상기한 클램핑 수단(220)과 지지 유니트(210)가 이송수단(230)에 의하여 후퇴하면 상기한 지지프레임(310)은 실린더(326)와 파워 베이스(328) 및 수직 이송 로보트(322)에 의하여 하강하게 된다.Subsequently, when the clamping means 220 and the support unit 210 retreat by the transfer means 230, the support frame 310 is a cylinder 326, a power base 328, and a vertical transfer robot 322. To descend.

지지 프레임(310)의 하강이 완료되면 수평 이송부(400)에 의하여 카세트(C)를 언로딩부(ULD)로 이송한다.When the lowering of the support frame 310 is completed, the cassette C is transferred to the unloading unit ULD by the horizontal transfer unit 400.

이와 같이 언로딩부(ULD)로 이송된 카세트(C)는 수직 이송부(300)에 의하여 승강하며 이때 클램핑 수단(220)과 지지 유니트(210)는 후퇴한 상태를 유지하게 되고, 지지 프레임(310)이 완전히 승강한 상태에서 상기한 클램핑 수단(220)과 지지 유니트(210)는 이송수단(230)에 의하여 전진하고, 지지 프레임(310)이 하강을 시작하여 누름스위치(240)가 온되면 클램핑 실린더(222)가 구동되어 클램핑 유니트(224)가 카세트(C)의 네모서리를 고정하도록 한다.The cassette C transferred to the unloading unit ULD is lifted by the vertical transfer unit 300, and the clamping means 220 and the support unit 210 maintain their retracted state, and the support frame 310 is supported. ), The clamping means 220 and the support unit 210 are advanced by the conveying means 230 in the state of fully elevated, the support frame 310 starts to descend and the clamping when the push switch 240 is turned on The cylinder 222 is driven to allow the clamping unit 224 to fix the four corners of the cassette C.

상기한 수직 이송부(300)는 다시 로딩부(LD)로 이동하여 카세트(C)를 순환시킨다.The vertical transfer unit 300 moves to the loading unit LD again to circulate the cassette C.

상기한 바와 같이 구성된 본 고안에 의하면 로딩부의 카세트를 언로딩부로 자동이송하게 되므로, 이송을 위한 작업시간과 공간 등이 대폭 감소되는 효과가 있다.According to the present invention configured as described above, since the cassette of the loading unit is automatically transferred to the unloading unit, the working time and space for the transfer are greatly reduced.

Claims (5)

작업공정으로 유리를 투입하는 로딩부의 카세트를 언로딩부로 이송시키기 위한 장치에 있어서,In the device for transferring the cassette of the loading unit for feeding the glass to the unloading unit in the working process, 다수의 수직 프레임과 수직 프레임에 설치된 상/하부 수평 프레임으로 구성된 바디 프레임,Body frame consisting of a plurality of vertical frames and upper and lower horizontal frames installed in the vertical frame 상기한 상부 수평 프레임에 고정 설치되고, 이송수단에 의하여 클램핑 수단이 좌/우 이송하여 카세트를 고정함과 아울러 카세트의 승/하강시에는 고정상태를 해제하는 카세트 고정부, A cassette fixing part fixedly installed at the upper horizontal frame, the clamping means being fixed left / right by a conveying means to fix the cassette and releasing the fixing state when the cassette is raised or lowered, 상기한 하부 수평 프레임 상에 설치되고 카세트를 지지하는 지지프레임을 이송수단에 의하여 승/하강시켜 카세트를 승/하강시는 수직 이송부와,A vertical transfer part installed on the lower horizontal frame to move the cassette up / down by a transfer means to support the cassette; 상기한 수직 이송부를 수평 이송시켜 로딩부의 카세트를 언로딩부로 이송시키는 수평 이송부로 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 자동 순환 장치.And a horizontal conveying unit configured to horizontally convey the vertical conveying unit to convey the cassette of the loading unit to the unloading unit. 제 1항에 있어서, 상기한 수직 이송부는 양측부에 구비되며 케이블체인을 사용하는 수직 이송 로보트와, 상기한 수직 이송 로보트에 일체로 설치되는 지지 플레이트, 상기한 지지 플레이트 상에 고정설치되어 지지프레임을 승/하강 시키는 실린더, 랙과 피니언으로 구성되어 상기한 실린더의 행정시에 지지프레임을 안정하게 승/하강시키는 파워 베이스로 구성되어 수직 이송 로보트에 의하여 지지 플레이트가 승강된 후 실린더에 의하여 지지프레임이 2차로 승강되도록 한 것을 특징으로 하는 카세트 자동 순환 장치.According to claim 1, wherein the vertical conveying portion is provided on both sides of the vertical conveying robot using a cable chain, a support plate integrally installed on the vertical conveying robot, a fixed support is installed on the support plate It consists of a cylinder for lifting and lowering the shaft, a rack and pinion, and a power base for stably lifting and lowering the support frame during the stroke of the cylinder. The support frame is lifted by the cylinder after the support plate is lifted by the vertical transfer robot. A cassette automatic circulating device, characterized in that the secondary elevating. 제 2항에 있어서, 상기한 카세트 고정부는, 카세트의 하부를 받치는 지지유니트와, 클램핑 실린더에 의하여 클램핑 유니트를 수평 이동시켜 카세트의 내측 하부 네모서리를 고정하는 클램핑 수단 및, 상기한 클램핑 실린더와 지지 유니트를 동시에 수평 이송하는 이송수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 자동 순환 장치.3. The cassette fixing unit according to claim 2, wherein the cassette fixing unit includes a support unit which supports the lower part of the cassette, clamping means for horizontally moving the clamping unit by the clamping cylinder to fix the inner lower corners of the cassette, and the clamping cylinder and the support. Automatic cassette circulation device characterized in that consisting of a conveying means for simultaneously transporting the unit horizontally. 제 3항에 있어서, 카세트 고정부에는 지지유니트보다 다소 돌출되는 누름 단추가 스프링을 매개로 설치된 누름 스위치가 구비되어 카세트의 진입을 확인하는 것을 특징으로 하는 카세트 자동 순환 장치.4. The cassette automatic circulation device according to claim 3, wherein the cassette fixing part is provided with a push switch provided with a spring via a push button which protrudes slightly from the support unit. 제 4항에 있어서, 상기한 지지유니트가 설치된 고정부 상부 프레임과 클램핑실린더가 설치된 고정부 하부 프레임 사이에는 압축 스프링이 더 설치되고, 상기한 고정부 하부 프레임을 관통하고 고정부 상부 프레임에 일측 종단이 고정된 수직바는 고정부 하부 프레임의 하부에 위치되는 고정부 베이스 프레임에 타측 종단이 설치되며, 상기한 고정부 하부 프레임과 베이스 프레임 사이에는 완충용 실린더가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 카세트 자동 순환 장치.5. The method of claim 4, wherein a compression spring is further installed between the fixing part upper frame in which the support unit is installed and the fixing lower frame in which the clamping cylinder is installed. The fixed vertical bar is the other end is installed in the fixing base frame which is located in the lower portion of the lower frame of the fixing unit, the cassette automatic, characterized in that the buffer cylinder is further provided between the fixing unit lower frame and the base frame circulator.
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KR101013011B1 (en) 2010-10-21 2011-02-10 (주)우신시스템 Parts flow system using cassette
KR101110172B1 (en) 2007-08-02 2012-01-31 히라따기꼬오 가부시키가이샤 Component transfer apparatus and method
KR101393631B1 (en) 2007-08-21 2014-05-09 삼성디스플레이 주식회사 Conveying device for glass substrate

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101110172B1 (en) 2007-08-02 2012-01-31 히라따기꼬오 가부시키가이샤 Component transfer apparatus and method
KR101393631B1 (en) 2007-08-21 2014-05-09 삼성디스플레이 주식회사 Conveying device for glass substrate
KR100958272B1 (en) 2008-02-04 2010-05-19 에버테크노 주식회사 Loading and unloading apparatus of solid state disk test handler
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