KR200422136Y1 - 가스 흡 배출관의 연결 클램프 - Google Patents

가스 흡 배출관의 연결 클램프 Download PDF

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Abstract

본 고안은 반도체 생산에서 각종 가스의 흡출관이나 배출관을 연결하는데 사용되는 가스 흡 배출관 연결용 클램프에 관한 것이다. 흡 배출관 연결용 클램프는 볼트로 연결하게 된 2개 1조의 반쪽 클램프 부분으로 구성되며 내주면에 흡 배출관의 연결 링의 플랜지나 단부 폐쇄판의 주연부에 형성된 홈에 삽입되어 걸리는 걸림턱을 갖고 있고 일측 반쪽 클램프 부분의 외단부에는 돌출된 연장부를 갖고 있으며 타측 반쪽 클램프 부분의 외단부에는 전술한 연장부가 안착되는 외벽이 없는 홈을 갖고있는 구성으로 되었다. 본 고안에 의하면 두께가 두꺼운 연결 플랜지를 연결하기 위하여 두 반쪽 부분을 볼트로 체결하였을 때 일측 반쪽 부분의 외주연부에 형성된 연장부가 타측 반쪽 부분의 홈에 안착되면서 결합되므로 두 반쪽 부분이 안정되게 결합되는 이점이 있다.

Description

가스 흡 배출관의 연결 클램프{CLAMP COUPLING THE GAS PIPE}
도1은 본 고안의 클램프를 가스 흡 배출관의 연결에 사용한 상태를 보여주는 사시도,
도2는 본 고안의 클램프를 완전 결합시킨 상태를 보여주는 단면도,
도3는 본 고안의 클램프를 단부 폐쇄판의 연결에 설치한 상태를 보여주는 분해 사시도,
도4는 본 고안의 클램프를 가스 흡 배출관의 단부 폐쇄판의 연결에 사용한 상태를 보여주는 사시도,
도5는 본 고안의 클램프를 두꺼운 단부링의 연결에 사용한 상태를 보여주는 단면도,
도6은 공지된 클램프를 가스 흡 배출관의 연결에 사용한 상태를 보여주는 단면도.
<도면의 주요 부호 설명>
10... 클램프 12,14... 두 반쪽 클램프 16...볼트
13,15... 구멍 18,20... 걸림턱 22,24... 연결링
26,28... 홈 27,29... 외벽 30... 연장부 32... 홈
36...연장부 내면 38... 홈 내면 40... 단부 폐쇄판
본 고안은 반도체 산업에서 사용하는 각종 가스 흡 배출용 배관의 연결에 사용되는 클램프에 관한 것으로서, 더 상세하게 설명하면 볼트로 연결하게 된 2개 1조로 구성된 클램프 부분을 두께가 두꺼운 연결 플랜지나 단부 폐쇄판을 연결할 때 전ㆍ후로 비틀림이 없이 안정되게 연결되도록 구성한 가스 흡 배출관 연결용 클램프에 관한 것이다.
본 고안의 클램프는 반도체 산업에 사용하는 가스 흡 배출관의 연결에 사용할 수 있고, 진공관의 단부 폐쇄판의 연결에도 사용할 수 있으며, 기타 분리된 두개의 제품을 연결하는데도 사용할 수 있다.
종래에도 각종 가스의 흡 배출에 사용되는 배관을 연결하는 클램프가 알려져 있다. 일반적으로 대형 가스 흡 배출관의 연결에는 일단에 흡 배출관이 고정된 연결 링을 클램프로 연결하고 있다. 특히 대형 흡 배출관의 연결에 사용되거나 단부 폐쇄판의 연결에 사용되는 클램프 장치는 볼트로 결합시키게 된 2개 1조로 구성되었으며 일측 클램프 부분의 내단부에 흡 배출관 연결 링이나 단부 폐쇄판의 주연부에 형성된 결합 홈에 결합되는 걸림턱이 형성되어 두 클램프 부분의 걸림턱이 각각 연결 링이나 단부 폐쇄판의 결합 홈에 결합 되도록 한 다음 두 반쪽 클램프 부분을 볼트로 체결하면 흡 배출관이나 단부 폐쇄판이 밀봉 결합 되도록 되었다.
이러한 종래 클램프 장치의 한 예는 도6에 도시되었다. 도6는 가스관 연결에 적용시킨 경우의 클램프 장치를 도시한 것으로서 도6에 따르면 가스 흡 배출관(a)의 단부에 결합된 가스 흡 배출관의 연결 링(b)과 가스 흡 배출관(c)을 결합시키는 클램프는 2개 1조로 구성된 두 개의 반쪽 부분(d),(e)으로 형성되었으며, 두 반쪽 부분의 내주면에는 각각 가스 흡 배출관의 연결 링(b),(c)의 표면에 형성된 원륜상 걸림턱(f),(g)에 걸리는 걸림턱(h),(i)이 형성되었으며, 일측 반쪽 클램프 부분(d)의 접촉면 외단부에 연장부(j)가 연장되고 타측 반쪽 클램프 부분(e)은 접촉 표면(k)이 평면으로 형성되었다. 이러한 구성에 따르면 두 반쪽 클램프 부분을 볼트로 조이면 일측 반쪽 부분의 표면에 돌출된 연장부를 지축으로 하여 두 클램프 부분이 내측으로 경도되면서 결합되게 되었다.
이러한 종래의 클램프 장치에서 나타나는 문제점은 가스의 흡 배출에 사용하는 경우 진동이 심하게 나타나게 되는바, 연결 링이나 단부 폐쇄판의 두께가 두꺼운 경우 연장부가 들려 있게 되므로 상하 반쪽 클램프의 결합이 안정되게 이루어지지 않는다는 것이다. 특히 전술한 형태의 클램프는 볼트를 체결하여 연결할 때 전후방으로 경도되어 클램프의 연결 상태가 불안정하게 된다는 것이다.
따라서 전술한 종래 클램프 장치에서 나타나는 불안정성을 개선하여 보다 클램프가 전ㆍ후방으로는 물론이고 좌ㆍ우로도 안정되고 결합하였을 때 외관이 우수한 클램프 장치가 요구되고 있다.
본 고안의 목적은 두꺼운 연결 링이나 단부 폐쇄판을 연결하는데 사용하였을 때 두 클램프 반쪽 부분이 안정되게 결합되고 결합 된 상태의 외관이 우수한 가스 흡 배출관 연결용 클램프를 제공하는 것이다.
전술한 본 고안의 목적은 볼트로 결합시키게 된 두 반쪽 클램프 부분으로 구성된 흡 배출관 연결용 클램프에 있어서, 일측 반쪽 클램프 부분의 외단부에 연장부를 형성하고 타측 클램프 반쪽 부분에는 전술한 연장부가 안착되는 홈을 형성하여서 된 본 고안의 흡 배출관 연결용 클램프에 의하여 달성된다.
본 고안은 2개 1조로 구성되고 가스 흡 배출관의 플랜지에 형성된 홈에 걸리는 걸림턱이 내단부에 형성되어 볼트로 두 클램프 반쪽 부분을 결합시켜 흡 배출관을 밀봉 연결하게 된 흡 배출관 연결용 클램프에 있어서, 일측 클램프 반쪽 부분의 외단부에 연장부가 형성되고 타측 클램프 반쪽 부분의 외단부에는 전술한 걸림턱이 안착되어 안정되게 지지되는 외벽이 없는 홈을 형성하여서 된 클램프로 구성된다.
본 고안에 따르면 흡 배출관 연결용 링은 흡 배출관의 단부에 용접에 의하여 밀봉 결합되게 되었고 외주면에 홈이 형성되고 홈의 외주벽은 노출되게 형성된 구성으로 되었다. 가스 흡 배출관의 끝 부분을 밀봉하는 경우에는 일측 흡 배출관 대신에 단부 폐쇄판으로 구성될 수 있다.
연결되는 가스 흡 배출관의 연결 링 사이에는 밀봉링을 개재시켜 결합시키도록 되었으며 연결 링의 주연부에는 원륜상 홈이 형성되었다. 이 홈에는 두 클램프 반쪽 부분의 내단부에 돌출되게 형성된 걸림턱이 삽입되어 걸리도록 되었다.
두 반쪽 클램프 부분의 내단부에는 결합되었을 때 대향되는 걸림턱이 돌출되게 형성되었으며 걸림턱의 내측에는 홈이 형성되었다. 일측 반쪽 클램프 부분은 두 클램프 반쪽 부분이 접촉하는 접촉 표면의 외측 단부에 길게 연장된 연장부를 갖고 있으며, 타측 클램프 반쪽 부분의 접촉 표면의 외단부에는 전술한 일측 반쪽 클램프 부분의 연장부가 삽입되는 홈이 형성되었다. 이 홈은 외벽이 없는 단턱의 형태로 형성되었다. 전술한 일측 클램프 부분의 연장부 높이는 홈의 깊이와 일치하여 두 클램프 부분이 완전히 결합 되었을 때 간격이 벌어지지 않도록 하는 것이 바람직하다. 전술한 일측 클램프 반쪽 부분에 형성된 연장부는 높이가 타측 반쪽 클램프 부분의 중앙 부분까지 이르도록 형성하는 것이 바람직하다. 따라서 타측 반쪽 클램프 부분의 깊이도 전술한 연장부의 깊이에 맞도록 형성하는 것이 바람직하다. 그러나 필요에 따라서는 일측 반쪽 클램프 부분의 연장부 높이를 타측 반쪽 클램프 부분의 중앙까지 도달하지 않도록 낮게 형성하거나 또는 타측 반쪽 클램프 부분의 중앙 부분을 지나도록 높게 형성할 수도 있다.
본 고안에 따르면, 가스 흡 배출관 연결 링을 결합시키는 클램프는 4개 이상, 특히 4개를 연결 링의 네 방향에 설치하는 것이 바람직하다.
전술한 형태에 따르면 두 흡 배출관의 단부에 결합된 연결 링의 두께가 두꺼운 경우 일측 연결 링의 연장부가 타측 연결 링의 단부에 지지되어 클램프에 의한 결합이 안정성을 유지하게 된다.
이하 본 고안을 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도1 및 도3은 본 고안의 클램프를 가스 흡 배출관의 연결에 사용한 상태를 보여주는 사시도와 본 고안에 의한 클램프의 분해 사시도로서, 본 고안의 가스 흡 배출관 연결 클램프(10)는 두 개의 반쪽 클램프 부분(12),(14)으로 구성되었으며, 2개 1조로 구성된 클램프는 볼트(16)에 의하여 연결되게 되었다.
도1 및 2에 따르면, 가스 흡 배출관 연결 클램프(10)의 두 반쪽 클램프(12),(14)는 각각 내단부에 대향되게 돌출된 걸림턱(18),(20)을 갖고 있으며, 도 5에 따르면 이 걸림턱은 연결 링(22),(24)의 접촉면 반대측 표면의 외주연부에 형성된 홈(26),(28)에 삽입되어 홈(26),(28)의 외벽(27),(29)에 걸리게 되었다. 두 반쪽 클램프 부분(12),(14)은 각각 볼트(16)가 삽입되어 체결되는 볼트 구멍(13),(15)을 갖고 있다. 이 홈(32)는 외측이 개방된 단턱 형태로 구성되었다.
일측 클램프 반쪽 부분(12)은 외단부에 접촉면 측으로 향하여 돌출된 측벽 연장부(30)를 갖고 있으며, 타측 반쪽 클램프(14)는 외단부에 내측으로 절삭된 홈(32)을 갖고 있다.
전술한 연장부(30)의 높이는 홈(32)의 깊이와 동일하게 형성되어 있거나 약간 낮게 형성되어 있어서 클램프가 두 연결 링을 완전히 밀착되게 연결할 수 있도록 되었다.
본 고안의 가스 흡 배출관 연결 클램프(10)는 두 반쪽 클램프(12),(14)의 걸림턱(18),(20)이 가스 흡 배출관 연결 링(22),(24)의 외주연부에 형성된 홈(26),(28)의 외벽(27),(29)에 걸리도록 4개 내지 6개의 클램프를 4방에 설치하여 볼트(16)로 체결하여 가스 흡 배출관을 연결한다.
도3 및 도4는 본 고안의 클램프를 가스 흡 배출관과 단부 폐쇄판(40)의 연결에 사용한 상태를 보여주는 도면이다. 단부 폐쇄판(40)은 단부 벽에 의하여 폐쇄되 게 된 차이만 있을 뿐이고 클램프가 설치되는 부분은 연결링(22)과 동일하게 형성되었다.
이러한 구성에 의하면 연결 링(22),(24)이 두꺼운 경우에도 연장부(30)의 하단부가 홈(32)내에 위치하면서 연장부의 내면(36)이 홈의 내면(38)에 접촉하면서 지지되게 되어 두 클램프 반쪽 부분(12),(14)들이 서로 안정되게 지지되게 된다.
본 고안에 의하면 두께가 두꺼운 연결 링을 연결하는 경우에도 클램프 반쪽 부분(12),(14)이 완전히 분리되지 않고 연장부에서 일측 클램프 반쪽 부분(12)에 형성된 연장부(30)의 내면이 타측 클램프 반쪽 부분(14)에 형성된 홈(32)의 내면에 접촉하면서 지지되므로 두 클램프의 결합이 안정되게 이루어지는 효과가 있다.

Claims (3)

  1. 내단부에 걸림턱이 형성되고 볼트에 의하여 연결하도록 구성된 2개 1조의 반쪽 클램프 부분으로 구성된 가스 흡 배출관 연결용 클램프에 있어서, 일측 반쪽 클램프 부분(12)의 외단부에 연장부(30)가 돌출되게 형성되고, 타측 반쪽 클램프 부분(14)의 외단부에는 전술한 연장부가 안착되는 외벽이 없는 홈(32)이 형성되었음을 특징으로 하는 가스 흡 배출관 연결용 클램프.
  2. 제1항에서, 연장부(30)의 높이가 타측 반쪽 클램프 부분의 중앙 부분까지 이르도록 형성되었음을 특징으로 하는 가스 흡 배출관 연결용 클램프.
  3. 제1항에 있어서, 연장부(30)의 높이가 홈(32)의 깊이와 동일하게 형성되었음을 특징으로 하는 가스 흡 배출관 연결용 클램프.
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