KR20170001745U - 진공배관 클램프의 이중실링 센터링 구조물 - Google Patents

Abstract

제1 배관의 제1 플랜지와 제2 배관의 제2 플랜지 사이에는 일차적으로는 외부링으로 밀봉시키고, 이차적으로는 제1,2 외부링으로 밀봉시켜 장시간 사용시에도 리크(leak)에 의한 유해가스의 누출 방지에 따른 환경 안전 상태를 유지할 수 있는 개량된 진공배관 클램프의 이중실링 센터링 구조물이 개시된다. 진공배관 클램프의 이중실링 센터링 구조물은 외경을 따라 형성되는 주고정홈, 중앙 부위에 형성되는 통공 및 상기 통공의 가장 자리를 따라 서로 반대 방향을 향하여 돌출 형성되는 제1,2 림을 갖는 센터링 몸체: 상기 주고정홈에 분리 가능하게 결합되는 외부링; 및 상기 센터링 몸체의 양쪽면 중 적어도 하나의 면에 분리 가능하게 결합되는 내부링 수단이 포함된다.

Description

진공배관 클램프의 이중실링 센터링 구조물{Double sealing centering structure of vacuum pump clamp}

본 고안은 진공배관 클램프의 이중실링 센터링 구조물에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 내부가 중공인 제1 배관과 내부가 중공인 제1 플랜지와 제2 배관의 제2 플랜지가 서로 면 접촉된 상태에서 진공배관용 클램프에 의해 분리 가능하게 고정시키고, 이때 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이에 위치하여 밀봉 기능을 수행하는 센터링은 이중실링 구조물로서 제작하되, 센터링의 외경에는 외부링을 분리 가능하게 결합시키고, 센터링의 양쪽 측면에는 제1 내부링과 제2 내부링을 적어도 하나 분리 가능하게 접속시킴으로써, 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이에는 일차적으로는 외부링으로 밀봉시키고, 이차적으로는 제1,2 외부링으로 밀봉시켜 장시간 사용시에도 리크(leak)에 의한 유해가스의 누출 방지에 따른 환경 안전 상태를 유지할 수 있는 개량된 진공배관 클램프의 이중실링 센터링 구조물에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조 공정은 크게 전 공정(Fabrication 공정)과 후 공정(Assembly 공정)으로 이루어진다.

전 공정은 각종 프로세스 챔버 내에서 웨이퍼(Wafer) 상에 박막을 증착하고, 증착된 박막을 선택적으로 에칭하는 과정을 반복적으로 수행하여 특정의 패턴을 가공함으로써, 반도체 칩(Chip)을 제조하는 공정이다. 또한, 후공정은 전 공정에서 제조된 칩을 개별적으로 분리한 후, 리드 프레임과 결합하여 완제품으로 조립하는 공정을 말한다.

이때, 웨이퍼 상에 박막을 증착하거나 웨이퍼 상에 증착된 박막을 에칭하는 공정의 경우에는, 프로세스 챔버 내에서 유해 가스를 사용하여 고온에서 수행된다. 이러한 공정이 진행되는 동안 프로세스 챔버 내부에는 각종 발화성 가스와 부식성 이물질 및 유독 성분을 함유한 가스 등이 다량 발생한다. 즉, 챔버 내부에서는 유해 가스의 약 30%만 웨이퍼의 표면에 증착되고, 일부 반응하지 않은 가스는 배출되는 것이다.

이에, 프로세스 챔버를 진공상태로 만들어 주는 진공펌프의 후단에는, 프로세스 챔버로부터 배출되는 가스를 정화한 후 대기로 방출하기 위한 스크러버가 설치된다.

종래에는 프로세스 챔버, 진공펌프 및 스크러버는 배관에 의해 각각 연결되는데, 이러한 배관과 배관은 진공배관 클램프에 의해 분리 가능하게 고정하도록 되어 있다. 이때, 배관과 배관 사이에는 센터링이 위치되어 밀봉 기능을 수행하도록 한다. 이와 함께, 센터링의 외경에는 외부링이 분리 가능하게 결합된 상태로 되어 배관을 통과하는 유해 가스가 외부로 누출되지 않도록 하고 있는 것이다.

그러나 센터링의 외경에 분리 가능하게 결합된 외부링이 파손될 경우, 배관을 통과하는 유해 가스의 누출에 의한 환경 문제를 피할 수 없게 되었다. 이에 따라 센터링 구조물에 유해 가스 누출 방지를 위한 또 다른 기능을 추가할 필요성이 대두 되었다.

특허등록번호 제10-1320926호(고안의 명칭: 진공 배관용 클램프, 특허권자: 주식회사 엠아이, 등록일자: 2013.10.11)

상기 문제점을 해결하기 위해, 본 고안의 기술적 과제는 센터링의 외경에는 외부링을 분리 가능하게 결합시키고, 센터링의 양쪽 측면에는 제1 내부링과 제2 내부링을 적어도 하나 분리 가능하게 접속시킴으로써, 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이에는 외부링과 제1,2 외부링으로 이중 밀봉시켜 장시간 사용시에도 리크에 의한 유해가스의 누출 방지에 따른 환경 안전 상태를 유지할 수 있는 진공배관 클램프의 이중실링 센터링 구조물을 제공하는 데 있다.

상기한 본 고안의 과제는, 내부가 중공인 제1 배관의 제1 플랜지와 내부가 중공인 제2 배관의 제2 플랜지가 서로 면 접촉된 상태에서 진공배관용 클램프에 의해 분리 가능하게 고정되되, 상기 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이에 위치하여 밀봉 기능을 수행하는 센터링의 이중실링 구조물로서, 외경을 따라 형성되는 주고정홈, 중앙 부위에 형성되는 통공 및 상기 통공의 가장 자리를 따라 서로 반대 방향을 향하여 돌출 형성되는 제1,2 림을 갖는 센터링 몸체: 상기 주고정홈에 분리 가능하게 결합되는 외부링; 상기 센터링 몸체의 양쪽면 중 적어도 하나의 면에 분리 가능하게 결합되는 내부링 수단이 포함되고, 상기 센터링 몸체가 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이에 면 접촉될 때, 상기 외부링과 내부링 수단은 상기 제1 플랜지와 제2 플랜지에 밀착되는 것을 특징으로 하는 진공배관 클램프의 이중실링 센터링 구조물을 제공함으로써 달성되는 것이다.

여기서, 상기 센터링 몸체의 한 쪽 면에는 제1 고정홈이 고리 모양으로 형성되고, 다른 쪽 면에는 제2 고정홈이 고리 모양으로 형성되되, 상기 내부링 수단은 상기 제1 고정홈에 분리 가능하게 결합되는 제1 내부링과, 상기 제2 고정홈에 분리 가능하게 결합되는 제2 내부링으로 이루어는 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 제1 고정홈과 제2 고정홈은 상기 제1 내부링과 제2 내부링이 저절로 빠지지 않도록 일부가 개방된 역삼각형의 단면 구조를 갖는 것을 특징으로 할 수 있다.

상기 제1 고정홈과 제2 고정홈은 상기 센터링 몸체를 기준으로 대향된 면에 위치하는 대신, 서로 다른 엇갈린 위치의 면에 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.

본 고안의 직접 가열 기능을 갖는 진공배관 클램프의 이중실링 센터링 구조물의 삼방향 밸브에 따르면, 내부가 중공인 제1 배관과 내부가 중공인 제1 플랜지와 제2 배관의 제2 플랜지가 서로 면 접촉된 상태에서 진공배관용 클램프에 의해 분리 가능하게 고정시키고, 이때 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이에 위치하여 밀봉 기능을 수행하는 센터링은 이중실링 구조물로서 제작하되, 센터링의 외경에는 외부링을 분리 가능하게 결합시키고, 센터링의 양쪽 측면에는 제1 내부링과 제2 내부링을 적어도 하나 분리 가능하게 접속시킴으로써, 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이에는 외부링과 제1,2 외부링으로 밀봉시켜 장시간 사용시에도 리크(leak)에 의한 유해가스의 누출 방지에 따른 환경 안전 상태를 유지할 수 있는 효과가 있다.

여기서, 제1 내부링과 함께 제1 내부링과 제2 외부링을 선택적으로 적어도 하나 또는 그 이상을 적용하여 밀봉 기능을 효과를 크게 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 고안의 실시예에 따른 진공배관 클램프의 이중실링 센터링 구조물이 적용된 상태의 전체 사시도;
도 2는 도 1에서 A - A 선에 따른 단면도;
도 3은 본 고안의 실시예에 따른 진공배관 클램프의 이중실링 센터링 구조물을 보여주는 사시도;
도 4는 도 3의 분해 사시도;
도 5는 도 3에서 B - B 선에 따른 일부가 절개된 상태의 단면도;
도 6은 도 3에서 C - C 선에 따른 단면도;
도 7은 도 3의 이중실링 센터링 구조물과 제1 배관과 제2 배관의 분해 사시도; 및
도 8은 도 7에서 D - D 선에 따른 결합상태 단면도이다.

이하에서는, 실시예를 통해 본 고안의 내용을 첨부된 도면을 참조하여 상술한다. 하기 실시예는 예시에 불과한 것으로서 본 고안의 권리범위를 제한하는 것이 아님은 물론이다.

도 1은 본 고안의 실시예에 따른 이중실링 센터링 구조물(100)과 제1,2 배관(P10)(P20)을 진공배관 클램프(VC)에 의해 결합시킨 상태를 보여주는 도면이고, 도 2는 도 1에서 A - A 선에 따른 단면도이다.

도 1과 도 2를 참조하면, 내부가 중공인 제1 배관(P10)의 제1 플랜지(P12)와 내부가 중공인 제2 배관(P20)의 제2 플랜지(P22)가 서로 면 접촉된 상태에서 진공배관용 클램프(VC)에 의해 분리 가능하게 고정시킨다.

도 3은 본 고안의 실시예에 따른 진공배관 클램프(VC)의 이중실링 센터링 구조물(100)을 보여주는 도면이다. 도 4는 이중실링 센터링 구조물(100)의 상세 구조를 보여주기 위한 도 3의 분해 사시도이다. 도 5는 도 3에서 B - B 선에 따른 일부가 절개된 상태의 도면이고, 도 6은 도 3에서 C - C 선에 따른 단면도로, 외부링(120) 및 제1,2 내부링(130)(132)의 설치 상태를 자세하게 보여주기 위한 도면이다.

도 3 내지 도 6을 참조하면, 이중실링 센터링 구조물(100)은 제1 플랜지(P12)와 제2 플랜지(P22) 사이에 위치하여 밀봉 기능을 수행한다. 이중실링 센터링 구조물(100)은 센터링 몸체(110)를 포함한다. 센터링 몸체(110)는 내경을 따라 형성되는 주고정홈(112), 중앙 부위에 형성되는 통공(114) 및 그 통공의 가장자리를 따라 서로 반대 방향을 향하여 돌출 형성되는 제1,2 림(116)(118)을 갖는다. 이때, 제1,2 플랜지(P12)(P22)와의 사이에서 이중실링 센터링 구조물(100)이 결합되었을 때, 제1,2 림(116)(118)은 제2,2 플랜지(P12)(P22)의 내경에 형성된 요홈에 각각 끼워져 결합되는 것이다.

여기서, 센터링 몸체(110)의 주고정홈(112)에는 외부링(120)이 분리 가능하게 결합된다. 그 외부링(120)은 센터링 몸체(110)의 두께 보다 약간 크도록 설계되어 있다. 이는 제1,2 플랜지(P12)(P22) 사이에서 외부링(120)이 밀착되어 밀봉 기능을 향상시키기 위함이다.

또한, 내부링 수단은 센터링 몸체(110)의 양쪽 면 중 적어도 하나의 면에 분리 가능하게 결합될 수 있다. 이때, 제1 고정홈(119)은 센터링 몸체(110)의 한 쪽 면에는 고리 모양으로 형성되고, 다른 쪽 면에는 제2 고정홈이 고리 모양으로 형성된다. 여기서, 내부링 수단은 제1,2 내부링(130)(132)을 포함한다. 제1 내부링(130)은 제1 고정홈에 분리 가능하게 결합된다. 제2 내부링(132)은 제2 고정홈(119a)에 분리 가능하게 결합된다. 특히, 제1 고정홈(119)과 제2 고정홈(119a)은 제1 내부링(130)과 제2 내부링(132)이 저절로 빠지지 않도록 일부가 개방된 역삼각형의 단면 구조를 갖도록 형성된다. 아울러 제1,2 내부링(130)(132)은 이중실링 센터링 구조물(100)의 두께 보다 약간 튀어 나올 수 있는 직경으로 형성된다. 이는 제1,2 플랜지(P12)(P22)와 이중실링 센터링 구조물(100)이 서로 밀착되었을 때 제1,2 내부링(130)(132)에 의해 밀봉 기능을 향상시킬 수 있도록 한 것이다.

센터링 몸체(110)가 제1 플랜지(P12)와 제2 플랜지(P22) 사이에 면 접촉될 때, 외부링(120)과 제1,2 내부링(130)(132)은 제1 플랜지(P12)와 제2 플랜지(P22)에 각각 밀착된다.

여기서, 제1 고정홈(119)과 제2 고정홈(119a)은 센터링 몸체(110)를 기준으로 대향된 면에 위치하는 대신, 서로 다른 엇갈린 위치의 면에 형성되는 것이 바람직하다. 이는 센터링 몸체(110)의 두께가 워낙 얇아 제1,2 고정홈(119)(119a)을 쉽게 가공할 수 있도록 한 것이다.

본 고안에 따른 진공배관 클램프(VC)의 이중실링 센터링 구조물(100)의 조립 및 작동 상태를 보면 다음과 같다.

먼저, 이중실링 셈터링 구조물(100)은 센터링 몸체(110)의 주고정홈(112)에 외부링(120)이 분리 가능하게 결합된다. 이어, 센터링 몸체(110)의 제1,2 고정홈(119)(119a)에는 제1,2 내부링(130)(132)이 분리 가능하게 각각 결합된다. 이때, 외부링(120)은 센터링 몸체(110)의 직경에 비해 사이즈가 약간 커서 제1,2 플랜지(P12)(P22)가 각각 면 접촉되었을 때, 밀봉되는 것이다. 이와 함께, 제1,2 내부링(130)(132)은 센터링 몸체(110)의 표면으로부터 약간 돌출되도록 제공되어 제1,2 플랜지(P12)(P22) 사이에서 밀봉 기능을 수행하게 되는 것이다.

여기서, 도 7은 도 3의 이중실링 센터링 구조물(100)과 제1 배관(P10)과 제2 배관(P20)이 서로 분해된 상태의 도면이고, 도 8은 도 7에서 D - D 선에 따른 결합상태 단면도로, 외부링(120)과 제1,2 내부링(130)(132)에 의한 밀봉 상태를 보여주는 도면이다.

도 7과 도 8을 참조하면, 앞서 설명한 바와 같이, 외부링(120)과 제1,2 내부링(130)(132)이 센터링 몸체(110)에 결합된 상태에서, 이중실링 센터링 구조물(100)은 제1,2 배관(P10)(P20)의 밀봉 상태를 유지시키는 것이다. 즉, 제1 배관(P10)의 제1 플랜지(P12)와 제2 배관(P20)의 제2 플랜지(P22)를 서로 면접촉시킨다. 이때, 제1,2 플랜지(P12)(P22) 사이에는 이중실링 센터링 구조물(100)이 위치되는 것이다. 이 상태에서, 외부링(120)과 제1,2 내부링(130)(132)은 이중실링 센터링 구조물(100)의 센터링 몸체(110)와 강하게 밀착된 상태로 있게 된다. 이렇게 함으로써, 제1,2 배관(P10)(P20)의 내부를 통과하는 유해가스는 외부로 배출되지 않게 되는 것이다. 다시말해, 외부링(120)과 제1,2 내부링(130)(132)이 이중을 밀봉시키게 되는 것이다.

상기와 같이, 이중실링 센터링 구조물(100)이 중앙으로 위치된 상태에서, 제1 배관(P10)의 제1 플랜지(P12)와 제2 배관(P20)의 제2 플랜지(P22)는 진공배관 클램프(VC)에 의해 분리 가능하게 결합시키게 되는 것이다.

상기에서는 본 고안의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 실용신안등록청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

예를 들어, 전술한 상세한 설명과 첨부도면에서는 본 고안에 따른 직접 가열 기능을 갖는 이중실링 센터링 구조물(100)에는, 제1,2 내부링(130)(132)이 제공된다고 설명하였지만, 이러한 구성으로서 특별하게 한정하는 것은 아니며, 필요에 따라 제1,2 내부링(130)(132)이 하나 또는 그 이상으로 증가 또는 감소시켜 설치할 수도 있다. 또한, 위에서 언급한 바와 같이, 제1,2 내부링(130)(132)의 배치 상태를 하기의 실용신안등록청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있다.

P10 : 제1 배관 P12 : 제1 플랜지
P20 : 제2 배관 P22 : 제2 플랜지
100 : 이중실링 센터링 구조물 110 : 센터링 몸체
112 : 주고정홈 114 : 통공
116, 118 : 제1,2 림 119, 119a : 제1,2 고정홈
120 : 외부링 130 : 제1 내부링
132 : 제2 내부링 VC : 진공배관 클램프

Claims (4)

1. 내부가 중공인 제1 배관의 제1 플랜지와 내부가 중공인 제2 배관의 제2 플랜지가 서로 면 접촉된 상태에서 진공배관용 클램프에 의해 분리 가능하게 고정되되, 상기 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이에 위치하여 밀봉 기능을 수행하는 이중실링 센터링 구조물로서,
   외경을 따라 형성되는 주고정홈, 중앙 부위에 형성되는 통공 및 상기 통공의 가장 자리를 따라 서로 반대 방향을 향하여 돌출 형성되는 제1,2 림을 갖는 센터링 몸체:
   상기 주고정홈에 분리 가능하게 결합되는 외부링; 및
   상기 센터링 몸체의 양쪽면 중 적어도 하나의 면에 분리 가능하게 결합되는 내부링 수단이 포함되고,
   상기 센터링 몸체가 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이에 면 접촉될 때, 상기 외부링과 내부링 수단은 상기 제1 플랜지와 제2 플랜지에 밀착되는 것을 특징으로 하는 진공배관 클램프의 이중실링 센터링 구조물.
2. 청구항 1에 있어서, 상기 센터링 몸체의 한 쪽 면에는 제1 고정홈이 고리 모양으로 형성되고, 다른 쪽 면에는 제2 고정홈이 고리 모양으로 형성되되, 상기 내부링 수단은 상기 제1 고정홈에 분리 가능하게 결합되는 제1 내부링과, 상기 제2 고정홈에 분리 가능하게 결합되는 제2 내부링으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공배관 클램프의 이중실링 센터링 구조물.
3. 청구항 2에 있어서, 상기 제1 고정홈과 제2 고정홈은 상기 제1 내부링과 제2 내부링이 저절로 빠지지 않도록 일부가 개방된 역삼각형의 단면 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 진공배관 클램프의 이중실링 센터링 구조물.
4. 청구항 3에 있어서, 상기 제1 고정홈과 제2 고정홈은 상기 센터링 몸체를 기준으로 대향된 면에 위치하는 대신, 서로 다른 엇갈린 위치의 면에 형성되는 것을 특징으로 하는 진공배관 클램프의 이중실링 센터링 구조물.

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