KR20040101355A - 슬라이드 게이트 및 슬라이드 게이트의 작동방법 - Google Patents

슬라이드 게이트 및 슬라이드 게이트의 작동방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20040101355A
KR20040101355A KR10-2004-7015078A KR20047015078A KR20040101355A KR 20040101355 A KR20040101355 A KR 20040101355A KR 20047015078 A KR20047015078 A KR 20047015078A KR 20040101355 A KR20040101355 A KR 20040101355A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
slide
housings
plates
measured
pressure
Prior art date
Application number
KR10-2004-7015078A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101005647B1 (ko
Inventor
피에르 게르버
우르스 바스러
Original Assignee
스토핑크 아크티엔게젤샤프트
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 스토핑크 아크티엔게젤샤프트 filed Critical 스토핑크 아크티엔게젤샤프트
Publication of KR20040101355A publication Critical patent/KR20040101355A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101005647B1 publication Critical patent/KR101005647B1/ko

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22DCASTING OF METALS; CASTING OF OTHER SUBSTANCES BY THE SAME PROCESSES OR DEVICES
    • B22D41/00Casting melt-holding vessels, e.g. ladles, tundishes, cups or the like
    • B22D41/14Closures
    • B22D41/22Closures sliding-gate type, i.e. having a fixed plate and a movable plate in sliding contact with each other for selective registry of their openings
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22DCASTING OF METALS; CASTING OF OTHER SUBSTANCES BY THE SAME PROCESSES OR DEVICES
    • B22D41/00Casting melt-holding vessels, e.g. ladles, tundishes, cups or the like
    • B22D41/14Closures
    • B22D41/22Closures sliding-gate type, i.e. having a fixed plate and a movable plate in sliding contact with each other for selective registry of their openings
    • B22D41/28Plates therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22DCASTING OF METALS; CASTING OF OTHER SUBSTANCES BY THE SAME PROCESSES OR DEVICES
    • B22D41/00Casting melt-holding vessels, e.g. ladles, tundishes, cups or the like
    • B22D41/14Closures
    • B22D41/22Closures sliding-gate type, i.e. having a fixed plate and a movable plate in sliding contact with each other for selective registry of their openings
    • B22D41/38Means for operating the sliding gate

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Casting Support Devices, Ladles, And Melt Control Thereby (AREA)
  • Lock And Its Accessories (AREA)
  • Vehicle Step Arrangements And Article Storage (AREA)
  • Steering Control In Accordance With Driving Conditions (AREA)
  • Cable Accessories (AREA)
  • Input Circuits Of Receivers And Coupling Of Receivers And Audio Equipment (AREA)

Abstract

본 발명은 야금용기의 슬라이드 게이트(10)에 관한 것으로 서로 장력을 가하는 최소한 두 개의 내염(耐焰) 폐쇄판(21,22)으로 구성되고, 하우징(17,19) 내의 스프링요소(23)는 폐쇄판(21,22)에 장력을 가한다. 하나의 폐쇄판(22)은 하우징(19)과 함께 구동요소로 개방 및 폐쇄된다. 오프라인 및/또는 온라인 작동상태 진단이 폐쇄판(21,22,41,42)에서 크기, 온도, 압력 및/또는 힘의 변화가 감지될 때 행해져서 작동정지를 크게 예방할 수 있다.

Description

슬라이드 게이트 및 슬라이드 게이트의 작동방법{METHOD FOR OPERATING A SLIDING GATE, AND SLIDING GATE}
이들 내염 부재는 효율을 높이기 위하여 슬라이드 게이트 내에 위치하고 가능하면 오래 사용된다. 사용자에 의하여 팬(pan)을 비우는 것은 폐쇄판 및 슬리브를 영상제어 및 경험으로 할 수 있다. 그러나 실제로는 불충분한 제어능력 및 부정확한 추정에 의해 고장이 일어나고, 용융 철강이 임의로 슬라이드 게이트로 흘러서 손상 및 고장이 발생한다.
본 발명은 슬라이드 게이트의 작동방법에 관한 것으로, 장력이 가해지는 내염(耐焰) 폐쇄판으로 구성되고, 하우징의 활주면에 위치하고, 스프링요소의 장력으로 최소한 하나의 하우징에서 닫히고, 하나의 폐쇄판은 구동부재에 의하여 열린다.
슬라이드 게이트는 주조공장의 컨테이너에 사용된다. 내염 폐쇄판 및 내염 슬리브는 슬라이드 게이트에 이용되어, 이곳으로 용융된 철강이 흐르고, 이는 소모성이 강하므로, 판 및 슬리브는 자주 교체한다.
도 1은 평가수단을 포함한 슬라이드 게이트를 도시한 도면.
도 2는 측정유닛이 있는 슬라이드 게이트의 단면도.
*부호설명*
10 : 슬라이드 게이트 15 : 야금용기
12 : 내염재 17,19 : 하우징
14 : 중공석 21,22 : 내염 폐쇄판
본 발명의 목적은 상기 형태의 슬라이드 게이트의 작동 방법을 제공하여 작동 안전성을 높이고 고장을 조기에 진단하는 것이다.
상기 목적은 폐쇄판의 작동 조건을 온라인 및/또는 오프라인으로 진단하여 해결되고, 크기, 온도, 압력 및/또는 힘을 측정하고 평가하여 작동조건을 판단하여 슬라이드 게이트를 지속적으로 사용 가능하게 한다.
본 발명의 방법은 작동 오류 및 고장을 감지하여 예방하게 하여, 폐쇄판 기구 및 자주 파손되는 금형을 보호한다. 특히 슬라이드 게이트의 잘못된 결합을 감지하여 파손을 방지한다.
각 하우징들사이에는 폐쇄판이 대각선으로 수납되어 서로의 거리가 몇 군데에서 측정된다. 두 하우징 사이의 측정된 거리는 폐쇄판의 위치를 진단한다.
구동부재의 압력 및 폐쇄판의 행정 위치는 측정되고 기록되어 평가되고, 마찰관계 및 밀폐판들의 상태가 접촉상태의 슬라이드면들로부터 유추될 수 있다.
도 1은 슬라이드 게이트(10)를 도시한다. 야금용기(15)는 강철주조의 사출금형의 팬(pan)과 같은 구성이다. 용기(15)는 강철 재킷(11), 중공석(14), 프루프 슬리브(13) 및 출구(16)로 구성된다.
상부 하우징(17)에는 내염 폐쇄판(21)이 고정된다. 하우징(19)에는 슬라이드 되는 폐쇄판(22)이 고정된다. 하우징(19)은 하우징 프레임(18)에 고정되어 구동부재(25)에 의하여 도시된 개방위치에서 폐쇄위치로 이동할 수 있다. 이 구동부재(25)는 유압 실린더/피스톤의 형태이고 배관(26,27)을 통하여 유압유닛(29)로 작동된다. 폐쇄판(21,22)은 스프링 부재(23)에 의하여 서로 압착되고 폐쇄판사이에 적당한 기밀이 형성된다.
본 발명에 의하면 슬라이드 게이트(10)의 작동 조건은 온/오프라인으로 진단된다. 특히 폐쇄판(21,22) 부근에서, 크기, 온도, 압력 및/또는 힘을 측정하고 추가 파라미터와 함께 평가되어 작동조건을 판단하고 슬라이드 게이트(10)의 지속적인 이용을 가능하게 한다.
실제 측정값은 목표값 또는 목표범위와 비교되고, 허용치를 초과하면 점검 또는 슬라이드 게이트의 비상접근이 작동된다.
구동부재의 압력 및 폐쇄판의 슬라이드 행정위치는 기록되고 평가되어서, 마찰관계 및 폐쇄판의 접촉상태를 판단한다. 이를 위해서 실린더의 공급라인(26,27)에는 압력센서(28)가 장치되어 공급압력을 감지하여 전선(28')을 통하여 평가수단(20)으로 전송한다.
슬라이드 판(22)의 행정위치와 관련된 판(21,22)의 마찰은 구동부재의 압력 및 스프링요소(23)의 압력으로 알 수 있다. 허용값을 넘으면 주입 공정이 중단되고, 점검되어, 폐쇄판 또는 다른 손상부품을 교체한다. 허용값의 범위내이면 슬라이드 게이트는 계속 사용된다.
폐쇄판(21,22)의 온도를 측정하기 위하여 하우징(17,19)에는 여러 위치에 온도센서(31,32)가 설치된다. 측정된 신호는 전선(33,34)를 통하여 평가수단(20)에 전송된다. 온도를 측정하여 판 사이, 또는 판과 슬리브 사이에서 발생할 수 있는 용융금속의 누출을 조기에 감지할 수 있다. 측정된 온도값이 허용치를 넘으면 폐쇄판이 닫히고 점검하라는 메시지를 보낸다.
평가수단(20)은 모니터(61) 및 키보드(62)가 있는 컴퓨터이다. 경고를 위한 비상등(63) 및 알람(64)이 있다. 평가수단(20)은 외부 제어센터의 중앙 컴퓨터와 연결될 수 있다.
추가로, 스프링요소(23)의 압력은 스트레인 게이지나 피에조 요소 등으로 측정되어 스프링요소가 제대로 기능 하는지 알 수 있다.
사출공정이 오프라인일지라도 압력 및 온도는 온라인으로 측정할 수 있고, 사출공정이 끝나고, 슬라이드 게이트가 팬과 결합된 위치에 있을 때이다.
목표값 또는 목표범위는 추가 공정 파라미터로 측정되고 슬라이드 게이트의 사용 중에 조절할 수 있다. 활주면이 마모되면, 폐쇄판의 유동로에 영향을 미쳐서 온도센서(31,32)가 감지한다. 공정 파라미터의 변화는 측정된 값을 평가하는데 고려해야 한다.
측정된 데이터의 프로토콜 및 저장으로 사출공정의 온도, 처리법, 주입시간 등에 관한 정보를 제공한다. 저장된 데이터는 평가를 위한 파라미터로도 사용되고, 목표값을 수정할 수 있다.
도 2는 WO-A-00/6325에 포함된 슬라이드 게이트(40)를 도시한다. 상부 하우징(47)은 용기(35)에 고정되고, 폐쇄판(41)은 하부 하우징(49)에 고정되고, 수직으로 이동 가능하게 배치된다. 롤러 가이드(44)가 상부 하우징(47)에 고정된다. 스프링 요소가 롤러 가이드(44)를 통하여 상부 폐쇄판(41,42)을 하방으로 이동시킨다.
하우징(47,49)에는 두 개의 센서(50)가 양측에 서로 거리를 두고 장치되어서 두 하우징 사이의 거리(53)를 측정하여 전선(51)을 통하여 평가수단(20)으로 전송한다.
측정센서(50) 및 측정요소(52)는 밀봉되어 외상으로부터 보호될 수 있다. 또한 센서는 하우징(47,49)에 직접 통합될 수 있다.
하우징 사이의 거리(53)를 측정하여 폐쇄판(41,42)의 위치를 점검하고, 활주면(41'.42')을 진단할 수 있다. 만약, 용융 금속이 두 판들사이에 들어가서 얇은 막을 형성하면 틈이 생기고 용융 금속이 누출될 수 있다.
본 발명의 예로 상기의 설명이 제시되지만 다른 변형예도 가능하다. 대개 프로그램 제어방법으로, 원칙적으로 슬라이드 게이트는 상기의 값, 즉, 크기, 온도, 압력 및/또는 힘의 하나만으로 평가 가능하다.

Claims (10)

  1. 상기 슬라이드 게이트(10,40)가 서로 장력이 작용하는 최소한 두 개의 내염 폐쇄판(21,22,41,42)이로 구성되고, 폐쇄판은 하우징(17,19,47,49) 내에 위치하여 슬라이드 되고, 스프링 요소(23)가 하우징(17,19,47,49)의 최소한 하나에 결합하여 폐쇄판(21,22,41,42)에 장력을 주고, 하우징(19,49) 내의 하나의 폐쇄판(22,42)이 밀려서 폐쇄될 수 있고, 구동부재로 개방위치가 되고, 야금용기를 위한 슬라이드 게이트의 작동방법에 있어서,
    폐쇄판의 영역내에서 온라인 및/또는 오프라인을 통해 작동상태가 진단되고, 크기, 온도, 압력 및/또는 힘과 관련된 하나 이상의 값이 측점 및 평가되어 직접 또는 함께 추가 파라미터와 평가되어 작동조건을 판단할 수 있고, 슬라이드 게이트(10,40)의 연속 사용을 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 작동방법.
  2. 제 1항에 있어서, 폐쇄판(21,22,41,42)의 하나를 수납하는 하우징(17,19,47,49)의 거리(53)로부터 활주면의 방향을 진단하고 기록되고 평가수단(20)으로 전송되고, 상기 거리(53)가 몇 군데의 위치에서 측정되는 것을 특징으로 하는 작동방법.
  3. 제 1 또는 2항에 있어서, 구동수단(25)의 압력이 슬라이드되는 폐쇄판(22,42)의 행정위치와 함께 측정되어 기록 및 평가되고, 활주면(41',42')와 접한곳의 마찰관계 및 폐쇄판(21,22,41,42)의 상태를 판단할 수 있는 것을 특징으로 하는 작동방법.
  4. 제 1 내지 3항 중 한 항에 있어서, 하우징(17,19,47,49) 근처, 폐쇄판(21,22,41,42), 및/또는 다른 위치의 온도를 측정 및 평가하는 것을 특징으로 하는 작동방법.
  5. 제 1 내지 4항 중 한 항에 있어서, 한 개이상의 스프링요소(23)의 작동여부를 결정하기 위하여 폐쇄판(21,22,41,42)에 장력을 가하는 스프링요소(23)의 압력이 측정되는 것을 특징으로 하는 작동방법.
  6. 제 1 내지 5항 중 한 항에 있어서, 실제값은 목표값 또는 목표범위와 비교하여 평가하고 표시하여 점검 또는 슬라이드 게이트(10,40)의 비상 폐쇄를 작동하거나 또는 허용치 내에 있으면 계속 사용하는 것을 특징으로 하는 작동방법.
  7. 제 6에 있어서, 목표값 또는 목표범위가 폐쇄판(21,22,41,42)의 사용 중에 활주면의 마모로 유동통로 및/또는 온도가 변화하여 파라미터에 의하여 조절되는 것을 특징으로 하는 작동방법.
  8. 제 1 내지 7항 중 한 항에 있어서, 팬 및 주조에 관한 데이터와 슬라이드 게이트(10,40)의 측정크기를 프로토콜화하고 저장하는 작업이, 작업 변수로서 정의되고 목표값을 결정하는 동안 형성되는 온도, 처리법, 주입시간 등에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 작동방법.
  9. 제 1 내지 8항 중 한 항의 방법을 위한 슬라이드 게이트에 있어서, 온라인 및/또는 오프라인 작동상태 진단을 위한 하나 또는 다수의 센서 또는 이와 유사한 것이 하우징(17,19,47,49)에 인접하여 있고, 구동부재(25), 및/또는 다른 위치 특히 폐쇄판(21,22,41,42)의 영역에서, 크기, 온도 ,압력 및/또는 힘이 측정되어 평가되는 것을 특징으로 하는 슬라이드 게이트.
  10. 제 9항에 있어서, 하우징(47,49)이 최소한 하나의 센서(50), 하나의 측정요소(52)가 장치되어, 두 하우징 사이의 거리를 측정하여 평가수단(20)으로 전송하여 활주면(41',42')의 상태를 평가하는 것을 특징으로 하는 슬라이드 게이트.
KR1020047015078A 2002-03-25 2003-03-22 야금용기용 슬라이드 게이트 및 야금용기용 슬라이드 게이트를 작동시키기 위한 방법 KR101005647B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH0513/02 2002-03-25
CH5132002 2002-03-25
PCT/EP2003/003006 WO2003080274A1 (de) 2002-03-25 2003-03-22 Verfahren zum betrieb eines schiebeverschlusses sowie schiebeverschluss

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040101355A true KR20040101355A (ko) 2004-12-02
KR101005647B1 KR101005647B1 (ko) 2011-01-05

Family

ID=28048292

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020047015078A KR101005647B1 (ko) 2002-03-25 2003-03-22 야금용기용 슬라이드 게이트 및 야금용기용 슬라이드 게이트를 작동시키기 위한 방법

Country Status (10)

Country Link
US (1) US7171326B2 (ko)
EP (1) EP1485219B1 (ko)
JP (1) JP4404641B2 (ko)
KR (1) KR101005647B1 (ko)
CN (1) CN100402194C (ko)
AT (1) ATE450331T1 (ko)
AU (1) AU2003223976A1 (ko)
DE (1) DE50312185D1 (ko)
ES (1) ES2337671T3 (ko)
WO (1) WO2003080274A1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120106770A (ko) * 2009-12-21 2012-09-26 스토핑크 아크티엔게젤샤프트 금속야금 용기용 슬라이딩 클로져
KR101602437B1 (ko) * 2014-12-23 2016-03-15 주식회사 세아베스틸 잉곳 하주조괴법을 위한 전면 밀폐주입 장치 및 방법

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006528070A (ja) * 2003-07-22 2006-12-14 ベスビウス グループ ソシエテ アノニム 耐火板および耐火装置を再使用するか廃棄するかを決定する方法
EP1888274A2 (de) * 2005-05-25 2008-02-20 Stopinc Aktiengesellschaft Schiebeverschluss für metallurgische gefässe
DE102007021172B4 (de) 2007-05-05 2010-11-18 Refractory Intellectual Property Gmbh & Co. Kg Verwendung eines Sensors
AT506190B1 (de) 2007-12-20 2010-05-15 Siemens Vai Metals Tech Gmbh Vorrichtung zum auswechselbaren anschliessen eines giessrohres an einen ausguss eines schmelzenbehälters
JP5123692B2 (ja) * 2008-02-29 2013-01-23 黒崎播磨株式会社 スライディングノズル用プレートの寿命判定方法
EP2319640A1 (fr) * 2009-10-21 2011-05-11 Vesuvius Group S.A Busette de coulée et assemblage d'une telle busette de coulée avec une busette interne
CH702754A2 (de) * 2010-02-19 2011-08-31 Stopinc Ag Überwachungseinrichtung für einen Schiebeverschluss, einen Giessrohrwechsler oder dergleichen an einem metallurgischen Gefäss.
JP2011214924A (ja) * 2010-03-31 2011-10-27 Kurosaki Harima Corp 押圧力測定装置
KR101652420B1 (ko) * 2014-12-17 2016-09-09 주식회사 포스코 래들의 슬라이드 게이트 개폐 상태 알림 장치
BR112021025652B1 (pt) * 2019-06-18 2024-01-02 Vesuvius Group S.A Sistema para rastrear e avaliar a condição de elementos refratários substituíveis em uma instalação metalúrgica e método implementado por pelo menos um processador
EP4088837A1 (de) * 2021-05-14 2022-11-16 Refractory Intellectual Property GmbH & Co. KG Verfahren insbesondere zur instandstellung eines schiebeverschlusses an einem metallschmelze enthaltenden gefäss, sowie ein schiebeverschluss

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2802483A (en) * 1956-03-01 1957-08-13 Allied Chem & Dye Corp Hydraulically-operated gate valves
JPS5857268B2 (ja) * 1974-12-25 1983-12-19 日本鋼管株式会社 ヤキンヨウヨウキノ シユウドウカイヘイソウチニ オケル タイカブツジヨウキヨウノ ハンテイホウホウ
JPS5527470A (en) * 1978-08-21 1980-02-27 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Detector for position of sliding nozzle in continuous casting machine
CH640442A5 (de) * 1979-05-25 1984-01-13 Stopinc Ag Drehschiebeverschluss fuer metallurgische gefaesse, insbesondere stahlgiesspfannen.
US4545406A (en) * 1980-12-31 1985-10-08 Flo-Con Systems, Inc. Valve position indicator and method
JPS6136361U (ja) * 1984-08-08 1986-03-06 住友金属工業株式会社 ロ−タリ−ノズルのレンガ面圧測定装置
JPS6350067Y2 (ko) * 1986-03-06 1988-12-22
JPH0264898U (ko) * 1988-11-01 1990-05-16
JPH03169474A (ja) * 1989-11-29 1991-07-23 Nkk Corp 耐熱容器内張りの残厚測定方法
JPH04128648A (ja) * 1990-09-19 1992-04-30 Hitachi Ltd メカニカルシールの寿命測定装置
JPH08257876A (ja) * 1995-03-24 1996-10-08 Toshiba Mach Co Ltd 工具摩耗量自動計測方法および工作機械における工具摩耗量自動計測装置
US5939016A (en) * 1996-08-22 1999-08-17 Quantum Catalytics, L.L.C. Apparatus and method for tapping a molten metal bath
ATE258090T1 (de) * 1997-04-30 2004-02-15 Stopinc Ag Schiebeverschluss für ein metallschmelze enthaltendes gefäss
JP2000167657A (ja) * 1998-12-07 2000-06-20 Nippon Steel Corp 取鍋底部の異常判定方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20120106770A (ko) * 2009-12-21 2012-09-26 스토핑크 아크티엔게젤샤프트 금속야금 용기용 슬라이딩 클로져
KR101602437B1 (ko) * 2014-12-23 2016-03-15 주식회사 세아베스틸 잉곳 하주조괴법을 위한 전면 밀폐주입 장치 및 방법

Also Published As

Publication number Publication date
ATE450331T1 (de) 2009-12-15
CN100402194C (zh) 2008-07-16
AU2003223976A1 (en) 2003-10-08
JP4404641B2 (ja) 2010-01-27
US20050242094A1 (en) 2005-11-03
EP1485219A1 (de) 2004-12-15
JP2005536349A (ja) 2005-12-02
ES2337671T3 (es) 2010-04-28
KR101005647B1 (ko) 2011-01-05
DE50312185D1 (de) 2010-01-14
WO2003080274A1 (de) 2003-10-02
CN1642679A (zh) 2005-07-20
US7171326B2 (en) 2007-01-30
EP1485219B1 (de) 2009-12-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20040101355A (ko) 슬라이드 게이트 및 슬라이드 게이트의 작동방법
CN102384303B (zh) 截止阀控制系统
CA2715846C (en) Diagnostic method for detecting control valve component failure
US4523286A (en) Apparatus for making diagnosis of valve device in turbine system
JP2010513889A (ja) 格納式アセンブリ
WO2010082526A1 (ja) 密閉式混練機
JP2011005796A (ja) トグル式型締装置におけるトグル機構の劣化診断方法および装置
KR20040076194A (ko) 자기진단기능을 가지는 밸브 액츄에이터 및 인텔리전트형밸브 액츄에이터
CN110118283B (zh) 用于测定阀的磨损度的方法和用于执行该方法的装置
JP2004257420A (ja) インテリジェント型バルブアクチュエータ
TW202105253A (zh) 用於追蹤及評估冶金設施中的耐火元件的狀態的系統
JP7265328B2 (ja) バルブメンテナンス支援装置および支援方法
KR102406848B1 (ko) 웨지 드라이브 툴을 모니터링하기 위한 디바이스 및 방법
JP5356045B2 (ja) 密閉式混練機、および密閉式混練機の固定側シール部材位置監視方法
KR20200081229A (ko) 밸브체 상태 감시 장치 및 유체압 구동 장치
KR102334472B1 (ko) 원자층 증착을 위한 다이아프램 밸브의 응답 산출 장치
JP2001082417A (ja) 流体圧シリンダの移動位置検出方法及び装置
JPS6350067Y2 (ko)
JP2004257419A (ja) 自己診断機能を持つバルブアクチュエータ
US10983025B2 (en) System and method of monitoring a diagnostic system of a process control system
KR20000045505A (ko) 연속주조중 핀치롤 변위를 이용한 응고말기점 측정방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131220

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141218

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee