KR20040099119A - 마이크로 렌즈의 제조 방법 및 마이크로 렌즈, 광학 장치,광전송 장치, 레이저 프린터용 헤드, 및 레이저 프린터 - Google Patents

마이크로 렌즈의 제조 방법 및 마이크로 렌즈, 광학 장치,광전송 장치, 레이저 프린터용 헤드, 및 레이저 프린터 Download PDF

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KR20040099119A
KR20040099119A KR1020040028063A KR20040028063A KR20040099119A KR 20040099119 A KR20040099119 A KR 20040099119A KR 1020040028063 A KR1020040028063 A KR 1020040028063A KR 20040028063 A KR20040028063 A KR 20040028063A KR 20040099119 A KR20040099119 A KR 20040099119A
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Abstract

본 발명은 형상을 임의로 제어하여 집광기능 등의 렌즈 특성을 양호하게 하는 동시에, 그 편차를 억제하도록 한, 마이크로 렌즈의 제조 방법 및 마이크로 렌즈, 또 이 마이크로 렌즈를 구비한 광학 장치, 광전송 장치, 레이저 프린터용 헤드, 레이저 프린터를 제공한다.
본 발명은 기체(3)상에 형성된 토대 부재(4b) 상면에 형성된 마이크로 렌즈(8a)이다. 토대 부재(4b) 상면이 발액 처리되어 있다. 마이크로 렌즈(8a)가, 복수의 노즐을 구비한 액적 토출 헤드(34)에 의해, 적어도 그 두개의 노즐로부터 발액 처리한 토대 부재(4b) 상면에 렌즈 재료(7)가 복수 도트 토출되어 형성되어 있다.

Description

마이크로 렌즈의 제조 방법 및 마이크로 렌즈, 광학 장치, 광전송 장치, 레이저 프린터용 헤드, 및 레이저 프린터{METHOD OF MANUFACTURING MICROLENS AND MICROLENS, OPTICAL DEVICE, OPTICAL TRANSMISSION DEVICE, HEAD FOR LASER PRINTER, AND LASER PRINTER}
본 발명은 마이크로 렌즈의 제조 방법과 이것에 의해서 얻어진 마이크로 렌즈, 및 이 마이크로 렌즈를 구비한 광학 장치, 광전송 장치, 레이저 프린터용 헤드, 레이저 프린터에 관한 것이다.
근년, 마이크로 렌즈로 불리는 미소 렌즈를 다수 가진 광학 장치가 제공되고 있다. 이러한 광학 장치로는, 예를 들면 레이저를 구비한 발광 장치나, 광섬유의 광 인터커넥션, 또는 입사광을 모으기 위한 집광 렌즈를 가진 고체 촬상 소자 등이 있다.
그런데, 이러한 광학 장치를 구성하는 마이크로 렌즈는, 종래에는 금형을 사용한 성형법이나, 포토리소그래피법에 의해서 성형되었다(예를 들면, 일본 특개2000-35504호 공보 참조).
또한, 근년에는 프린터 등에 사용되고 있는 액적 토출법을 사용하여, 미세 패턴인 마이크로 렌즈를 형성하는 제안도 되어 있다(예를 들면, 일본 특개2000-280367호 공보 참조).
그러나, 금형을 사용한 성형법이나 포토리소그래피법에서는, 마이크로 렌즈 형성을 위해서 금형이나 복잡한 제조 공정을 필요로 하기 때문에, 그 만큼 비용이 높아지고, 또한, 임의의 형상의 마이크로 렌즈를 임의의 위치에 형성하는 것이 곤란하다는 과제가 있었다.
또한, 단지 액적 토출법을 채용하는 것만으로는, 마이크로 렌즈를 임의의 위치에 형성하는 것은 용이하지만, 그 형상을 소망하는 형상으로 제어하는 것이 곤란하였다. 또한, 액적을 토출하는 토출 헤드는 통상 다수의 노즐을 가지고 있지만, 이들 노즐간에는, 예를 들면 근소한 구조의 차이 등 때문에 토출량에 미묘하게 편차가 생겨버리는 경우가 있고, 따라서 이러한 토출량의 편차에 기인하여 얻어지는 마이크로 렌즈의 형상의 균일성이 손상되어, 결과적으로 광학 특성에 편차가 생기는 경우가 있다.
본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적으로 하는 바는 형상을 임의로 제어하여 집광 기능 등의 광학 특성을 양호하게 하는 동시에, 그 편차를 억제하도록 한, 마이크로 렌즈의 제조 방법 및 마이크로 렌즈, 또 이 마이크로 렌즈를 구비한 광학 장치, 광전송 장치, 레이저 프린터용 헤드, 레이저 프린터를 제공하는 것에 있다.
도 1(a)∼(e)는 본 발명의 마이크로 렌즈의 제조 공정도.
도 2(a)∼(c)는 잉크젯 헤드의 개략 구성도.
도 3(a), (b)는 본 발명의 마이크로 렌즈의 제조 공정도.
도 4(a)∼(c)는 본 발명의 마이크로 렌즈를 나타내는 도면.
도 5(a)∼(c)는 마이크로 렌즈의 집광 기능을 나타내는 도면.
도 6은 발액 처리에 의한 렌즈 재료의 접촉각을 설명하기 위한 도면.
도 7은 본 발명의 레이저 프린터용 헤드의 개략 구성도.
[부호의 설명]
1…GaAs 기판, 2…면발광 레이저, 3…기체, 4…토대 부재 재료층, 4b…토대 부재, 7…렌즈 재료, 8a…마이크로 렌즈, 18…노즐, 34…잉크젯 헤드(액적 토출 헤드)
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 마이크로 렌즈의 제조 방법에서는, 기체 상에 토대 부재를 형성하는 공정과, 상기 토대 부재의 상면을 발액 처리하는 공정과, 복수의 노즐을 구비한 액적 토출 헤드에 의해, 적어도 그 두개의 노즐을 사용하여 상기 발액 처리한 토대 부재상에 렌즈 재료를 복수 도트 토출하여, 상기 토대 부재상에 마이크로 렌즈를 형성하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하고 있다.
이 마이크로 렌즈의 제조 방법에 의하면, 토대 부재상에 마이크로 렌즈를 형성하므로, 토대 부재의 상면의 크기나 형상을 적당히 형성함에 의해, 얻어지는 마이크로 렌즈의 크기나 형상을 적당히 형성할 수 있게 된다. 또한, 토대 부재의 상면을 발액 처리하도록 하였으므로, 토출 배치된 렌즈 재료의 토대 부재 상면에 대한 접촉각을 크게 할 수 있고, 이것에 의해 토대 부재 상면에 실리는 렌즈 재료의 양을 많게 할 수 있게 된다. 또한, 이와 같이 토대 부재 상면에 실리는 렌즈 재료의 양을 많게 할 수 있도록 한 상태 하에, 렌즈 재료를 복수 도트 토출하도록 하고 있으므로, 도트수를 적당히 조정함으로써 얻어지는 마이크로 렌즈의 크기나 형상을 양호하게 제어할 수 있고, 따라서 예를 들면 구(球)에 가까운 형상의 마이크로 렌즈를 형성할 수도 있게 된다.
또한, 복수의 도트를, 특히 복수의 노즐을 구비한 액적 토출 헤드에 의해, 적어도 그 두개의 노즐을 사용하여 토출하도록 하였으므로, 개개의 노즐에 토출량의 편차가 있다해도, 두개 이상의 노즐을 사용하여 한개의 마이크로 렌즈를 형성하므로, 노즐간의 토출량의 편차의 영향이 경감된다. 따라서, 얻어지는 마이크로 렌즈의 형상의 불균일화가 억제되고, 이것에 의해 광학 특성의 편차가 방지된다.
또한, 상기 마이크로 렌즈의 제조 방법에 있어서는, 상기 발액 처리하는 공정에서, 상기 토대 부재 형성 재료로 형성한 평면에 대해서 상기 렌즈 재료를 배치했을 때, 그 렌즈 재료의 접촉각이 20°이상으로 되는 발액성을 발휘하도록 발액 처리하는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 토출 배치된 렌즈 재료의 토대 부재 상면에 대한 접촉각이 확실히 커지므로, 토대 부재 상면에 실리는 렌즈 재료의 양을 보다 많게 할 수 있다.
또한, 상기 마이크로 렌즈의 제조 방법에서는, 상기 토대 부재를 형성하는공정에서, 상기 토대 부재 상면 형상을 원형 또는 타원형, 또는 다각형으로 형성하는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 보다 구에 가까운 마이크로 렌즈를 형성할 수 있게 되고, 따라서 그 곡률(曲率)을 적당히 형성함으로써 집광기능 등의 광학 특성을 조정할 수 있게 된다.
또한, 상기 마이크로 렌즈의 제조 방법에서는, 상기 액적 토출법에 의해 렌즈 재료를 토출할 때에, 형성하는 마이크로 렌즈 상면측의 곡률이 미리 설정한 소정의 곡률로 되도록, 토출하는 도트수를 결정하는 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 상면측의 곡률을 미리 설정한 소정의 곡률로 되도록 형성하므로, 이 상면측으로부터 광을 투과시키도록 함에 의해, 소망한 광학 특성을 가진 마이크로 렌즈를 형성할 수 있다.
또한, 상기 마이크로 렌즈의 제조 방법에서는, 상기 렌즈 재료가, 비용제계의 광투과성 수지로 되어 있어도 좋다.
이와 같이 하면, 얻어지는 마이크로 렌즈의 크기·형상이 토출한 렌즈 재료의 도트수에 의해서 보다 양호하게 규정되므로, 토출하는 도트수를 적당히 조정함에 의해, 얻어지는 마이크로 렌즈를 소망하는 크기·형상으로 보다 정밀도 좋게 형성할 수 있게 된다.
본 발명의 마이크로 렌즈는, 기체 상에 형성된 토대 부재 상면에 형성된 마이크로 렌즈로서, 상기 토대 부재 상면이 발액 처리되고, 상기 마이크로 렌즈가, 복수의 노즐을 구비한 액적 토출 헤드에 의해, 적어도 그 두개의 노즐로부터 상기발액 처리한 토대 부재상에 렌즈 재료가 복수 도트 토출되어 형성된 것을 특징으로 하고 있다.
이 마이크로 렌즈에 의하면, 토대 부재상에 마이크로 렌즈가 형성되어 있으므로, 토대 부재 상면의 크기나 형상이 적당히 형성됨에 의해, 그 크기나 형상이 적당한 것으로 된다. 또한, 토대 부재 상면이 발액 처리되어 있으므로, 토출 배치된 렌즈 재료의 토대 부재 상면에 대한 접촉각이 커지고, 따라서 토대 부재 상면에 실리는 렌즈 재료의 양을 많게 할 수 있게 된다. 따라서, 토출되는 렌즈 재료의 도트수가 적당히 조정됨에 의해, 얻어지는 마이크로 렌즈의 크기나 형상이 양호하게 제어된 것으로 되어, 예를 들면 구에 가까운 형상의 것으로도 형성할 수 있게 된다.
또한, 특히 복수의 노즐이 구비된 액적 토출 헤드에 의해, 적어도 그 두개의 노즐이 사용되어 복수의 도트가 토출되고, 마이크로 렌즈가 형성되어 있으므로, 개개의 노즐에 토출량의 편차가 있다해도, 두개 이상의 노즐이 사용되어 한개의 마이크로 렌즈가 형성됨에 의해, 노즐간의 토출량의 편차의 영향이 경감되어 있다. 따라서, 얻어지는 마이크로 렌즈의 형상의 불균일화가 억제되고, 이것에 의해 광학 특성의 편차가 방지된 것으로 된다.
또한, 상기 마이크로 렌즈에서는, 상기 토대 부재의 상면 형상이 원형 또는 타원형, 또는 다각형인 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 보다 구에 가까운 것으로 되고, 따라서 그 곡률이 적당히 형성됨으로써 집광 기능 등의 광학 특성이 양호하게 조정된 것으로 된다.
또한, 상기 마이크로 렌즈에서는, 상기 토대 부재 상면과 평행으로 되는 마이크로 렌즈의 횡단면의 최대 외경이, 상기 토대 부재 상면의 외경보다 큰 것이 바람직하다.
이와 같이 하면, 토대 부재 상면의 외경보다 큰 횡단면을 가지므로, 이 마이크로 렌즈가 예를 들면 구에 가까운 형상으로 되고, 따라서 그 곡률이 적당히 형성됨으로써 집광기능 등의 광학 특성이 양호하게 조정된 것으로 된다.
또한, 상기 마이크로 렌즈에서는, 상기 토대 부재가 투광성을 가짐이 바람직하다.
이와 같이 하면, 토대 부재측에 발광원을 배치하여 사용한 경우에, 이 발광원으로부터의 광을 마이크로 렌즈 상면측으로부터 양호하게 출사하게 되고, 따라서, 이 상면측의 곡률 등에 의해서 집광기능 등을 양호하게 발휘하게 된다.
본 발명의 광학 장치는, 면발광 레이저와, 상기의 제조 방법에 의해서 얻어진 마이크로 렌즈, 또는 상기의 마이크로 렌즈를 구비하고, 상기 마이크로 렌즈를 상기 면발광 레이저의 출사측에 배설한 것을 특징으로 하고 있다.
이 광학 장치에 의하면, 상술한 바와 같은 크기나 형상이 양호하게 제어된 마이크로 렌즈를 상기 면발광 레이저의 출사측에 배설하고 있으므로, 이 마이크로 렌즈에 의해서 발광 레이저로부터의 출사광의 집광 등을 양호하게 행할 수 있게 되고, 따라서 양호한 발광 특성(광학 특성)을 갖게 된다.
본 발명의 광전송 장치는, 상기의 광학 장치와, 수광 소자와, 상기 광학 장치로부터의 출사광을 상기 수광 소자에 전송하는 광전송 수단을 구비한 것을 특징으로 하고 있다.
이 광전송 장치에 의하면, 상술한 바와 같이 양호한 발광 특성(광학 특성)을 가진 광학 장치를 구비하고 있으므로, 전송 특성이 양호한 광전송 장치로 된다.
본 발명의 레이저 프린터용 헤드는, 상기 광학 장치를 구비한 것을 특징으로 하고 있다.
이 레이저 프린터용 헤드에 의하면, 상술한 바와 같이 양호한 발광 특성(광학 특성)을 가진 광학 장치를 구비하고 있으므로, 묘화 특성이 양호한 레이저 프린터용 헤드로 된다.
본 발명의 레이저 프린터는,상기의 레이저 프린터용 헤드를 구비한 것을 특징으로 하고 있다.
이 레이저 프린터에 의하면, 상술한 바와 같이 묘화 특성이 양호한 레이저 프린터용 헤드를 구비하고 있으므로, 이 레이저 프린터 자체가 묘화 특성이 뛰어난 것으로 된다.
[발명의 실시 형태]
이하, 본 발명을 상세하게 설명한다.
우선, 본 발명의 마이크로 렌즈의 제조 방법에 대해서 설명한다. 본 발명의 마이크로 렌즈의 제조 방법은, 기체 상에 토대 부재를 형성하는 공정과, 상기 토대 부재의 상면을 발액 처리하는 공정과, 복수의 노즐을 구비한 액적 토출 헤드에 의해, 적어도 그 두개의 노즐을 사용하여 상기 발액 처리한 토대 부재의 상면 상에 렌즈 재료를 복수 도트 토출하여, 상기 토대 부재상에 마이크로 렌즈를 형성하는공정을 구비하고 있다.
여기서, 본 발명에서「기체」라 함은 상기 토대 부재를 형성할 수 있는 면을 가진 것을 말하고, 구체적으로는 유리 기판이나 반도체 기판, 또는 이들에 각종의 기능성 박막이나 기능성 요소를 형성한 것을 말한다. 또한, 상기 토대 부재를 형성할 수 있는 면에 대해서는, 평면이어도 곡면이어도 좋으며, 또한 기체 자체의 형상에 대해서도 특별히 한정되지 않고 여러 가지 형상의 것을 채용할 수 있다.
본 발명에서는, 도 1(a)에 나타내는 바와 같이 예를 들면 GaAs 기판(1)을 사용하고, 이 GaAs 기판(1)에 다수의 면발광 레이저(2)를 형성한 것을 기체(3)로서 준비한다. 또한, 이 기체(3) 상면측, 즉 상기 면발광 레이저(2)의 출사측으로 되는 면상에, 토대 부재의 형성 재료를 마련하여, 토대 부재 재료층(4)을 형성한다. 또한, 면발광 레이저(2)에는, 그 출사구의 주변에 폴리이미드 수지 등으로 이루어지는 절연층(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 여기서, 토대 부재의 형성 재료로는, 투광성을 가진 재료, 즉, 상기 면발광 레이저(2)로부터의 발광광의 파장역에서 거의 흡수를 일으키지 않고, 따라서 실질적으로 이 발광광을 투과시키는 재료로 하는 것이 바람직하고, 예를 들면 폴리이미드계 수지, 아크릴계 수지, 에폭시계 수지, 또는 불소계 수지 등이 적합하게 사용되지만, 특히 폴리이미드계 수지가 보다 적합하게 사용된다.
본 실시 형태에서는, 토대 부재의 형성 재료로서 폴리이미드계 수지를 사용하는 것으로 한다. 또한, 이 폴리이미드계 수지의 전구체를 기체(3)상에 도포하고, 그 후 약 150℃에서 가열 처리함으로써, 도 1(a)에 나타내는 바와 같은 토대부재 재료층(4)으로 한다. 또한, 이 토대 부재 재료층(4)에 대해서는, 이 단계에서는 충분히 경화를 진행시키지 않고, 그 형상을 유지할 수 있을 정도의 경도로 해 둔다.
이와 같이 하여 폴리이미드계 수지로 이루어지는 토대 부재 재료층(4)을 형성한 후, 도 1(b)에 나타내는 바와 같이 이 토대 부재 재료층(4)상에 레지스트층(5)을 형성한다. 또한, 소정의 패턴을 형성한 마스크(6)를 레지스트층 (5)을 사용하여 노광하고, 현상함에 의해, 도 1(c)에 나타내는 바와 같이 레지스트 패턴(5a)을 형성한다.
그 다음에, 레지스트 패턴(5a)을 마스크로서, 예를 들면 알칼리계 용액을 사용한 웨트 에칭에 의해서 토대 부재 재료층(4)을 패터닝한다. 이것에 의해, 도 1(d)에 나타내는 바와 같이 기체(3) 상에 토대 부재 패턴(4a)이 형성된다. 여기서, 형성하는 토대 부재 패턴(4a)에 대해서는, 그 상면 형상을 원형 또는 타원형, 또는 다각형으로 형성하는 것이, 이것 위에 마이크로 렌즈를 형성하는데 바람직하며, 본 실시 형태에서는 표면 형상을 원형으로 하고 있다. 또한, 이러한 원형의 상면의 중심 위치가, 기체(3)에 형성한 상기 면발광 레이저(2)의 출사구(도시하지 않음)의 바로 윗쪽에 위치하도록 형성한다.
그 후, 도 1(e)에 나타내는 바와 같이 레지스트 패턴(5a)을 제거하고, 약 350℃에서 열처리를 더 행함에 의해, 토대 부재 패턴(4a)을 충분히 경화시켜 토대 부재(4b)로 한다.
그 다음에, 이 토대 부재(4b) 상면을 발액 처리한다. 이 발액 처리로는, 예를 들면 대기 분위기 중에서 테트라플루오로메탄을 처리 가스로 하는 플라즈마 처리법(CF4플라즈마 처리법)이 적합하게 채용된다. 이 CF4플라즈마 처리의 조건은, 예를 들면 플라즈마 파워가 50∼1000kW, 테트라플루오로메탄(CF4)의 가스 유량이 50∼100㎖／분, 플라즈마 방전 전극에 대한 기체(3)의 반송 속도가 0.5∼1020mm／초, 기체 온도가 70∼90℃로 한다.
또한, 처리 가스로는, 테트라플루오로메탄(CF4)에 한정되는 것은 아니며, 다른 플루오로카본계의 가스를 사용할 수도 있다. 이러한 발액화 처리를 행함에 의해, 토대 부재(4b)의 상면에는 이것을 구성하는 수지 중에 불소기가 도입되어, 이것에 의해서 높은 발액성이 부여된다.
여기서, 이러한 발액 처리에 대해서는, 특히, 상기 토대 부재(4b)의 형성 재료로 형성된 평면에 대해서 후술하는 렌즈 재료를 배치했을 때, 그 렌즈 재료의 접촉각이 20°이상으로 되는 발액성을 발휘하도록, 행하는 것이 바람직하다.
즉, 도 6에 나타내는 바와 같이 상기 토대 부재(4b)의 형성 재료(본 예에서는 폴리이미드계 수지)로 토대 부재 재료층(4)을 형성하고, 그 표면을 평면으로 한다. 그리고, 이 표면에 대해서 상술한 발액 처리를 행한다. 그 다음에, 이 표면상에 렌즈 재료(7)를 액적 토출법에 의해서 배치한다.
그러면, 렌즈 재료(7)는 토대 부재 재료층(4)의 표면에 대한 젖음성에 따른 형상의 액적으로 된다. 이 때, 토대 부재 재료층(4)의 표면장력을 γS,렌즈재료(7)의 표면장력을 γL, 토대 부재 재료층(4)과 렌즈 재료(7) 사이의 계면 장력을 γSL, 토대 부재 재료층(4)에 대한 렌즈 재료(7)의 접촉각을 θ로 하면, γS,γL,γSL,θ 사이에는 이하의 식이 성립한다.
　 γS＝γSL＋γL·cosθ
후술하는 바와 같이 마이크로 렌즈로 되는 렌즈 재료(7)는, 그 곡률이 상기의 식에 의해서 결정되는 접촉각(θ)에 의해 제한을 받는다. 즉, 렌즈 재료(7)를 경화시킨 뒤에 얻어지는 렌즈의 곡률은, 최종적인 마이크로 렌즈의 형상을 결정하는 요소의 하나이다. 따라서, 본 발명에서는, 얻어지는 마이크로 렌즈의 형상이 보다 구상에 가깝게 되도록, 발액 처리에 의해서 토대 부재 재료층(4)과 렌즈 재료(7) 사이의 계면 장력(γSL)을 크게 함으로써, 상기 접촉각(θ)을 크게, 즉 20°이상으로 함이 바람직하기 때문이다.
이와 같이, 도 6에 나타낸 접촉각(θ)이 20°이상으로 되는 조건에 의한 발액 처리를, 상기 토대 부재(4b)의 상면에 행함으로써, 후술하는 바와 같이 이 토대 부재(4b)의 상면에 토출 배치되는 렌즈 재료(7)의, 토대 부재(4b) 상면에 대한 접촉각(θ')이 확실히 커진다. 따라서, 토대 부재 상면에 실리는 렌즈 재료의 양을 보다 많게 할 수 있어, 이것에 의해 그 형상을 토출량(토출 도트량)으로 제어하는 것이 용이해진다.
이와 같이 하여 토대 부재(4b) 상면에 발액 처리를 행한 후, 이 토대부재(4b) 상에 액적 토출법에 의해서 렌즈 재료(7)를 복수 도트 토출한다. 여기서, 액적 토출법으로는, 디스팬서법이나 잉크젯법 등을 채용할 수 있다. 디스팬서법은 액적을 토출하는 방법으로서 일반적인 방법이며, 비교적 넓은 영역에 액적을 토출하기에 유효한 방법이다. 잉크젯법은 잉크젯 헤드를 사용하여 액적을 토출하는 방법이며, 액적을 토출하는 위치에 대해서 ㎛ 오더의 단위로 제어할 수 있고, 또한, 토출하는 액적의 양도 피코리터 오더의 단위로 제어할 수 있기 때문에, 특히 미세한 렌즈(마이크로 렌즈)의 제조에 적합하다.
그래서, 본 실시 형태에서는, 액적 토출법으로서 잉크젯법을 사용하는 것으로 한다. 이 잉크젯법은, 잉크젯 헤드(34)로서, 예를 들면 도 2(a)에 나타내는 바와 같이 스텐레스제의 노즐 플레이트(12)와 진동판(13)을 구비하고, 양자를 칸막이 부재(리졸버 플레이트)(14)를 거쳐서 접합한 것을 사용한다. 노즐 플레이트(12)와 진동판(13) 사이에는, 칸막이 부재(14)에 의해서 복수의 캐비티(15…)과 리졸버 (16)가 형성되어 있고, 이들 캐비티(15…)와 리졸버(16)는 유로(17)를 거쳐서 연통해 있다.
각 캐비티(15)와 리졸버(16)의 내부는 토출하기 위한 액상체(렌즈 재료)로 채워지도록 되어 있고, 이들 간의 유로(17)는 리졸버(16)로부터 캐비티(15)에 액상체를 공급하는 공급구로서 기능하도록 되어 있다. 또한, 노즐 플레이트(12)에는, 캐비티(15)로부터 액상체를 분사하기 위한 구멍상의 노즐(18)이, 예를 들면 도 2(b)에 나타내는 잉크젯 헤드(34)의 저면과 같이 세로 방향으로 2열, 가로 방향으로 12열 정렬한 상태로 형성되어 있다. 한편, 진동판(13)에는, 리졸버(16)내로 개구하는 구멍(19)이 형성되어 있고, 이 구멍(19)에는 액상체 탱크(도시하지 않음)가 튜브(도시하지 않음)를 거쳐서 접속되도록 되고 있다.
또한, 진동판(13)의 캐비티(15)를 향하는 면과 반대 측면 상에는, 도 2(c)에 나타내는 바와 같이 압전소자(피에조 소자)(20)가 접합되어 있다. 이 압전소자 (20)는 한 쌍의 전극(21, 21)간에 끼어져, 통전에 의해 외측으로 돌출하도록 하여 요곡하게 구성된 것으로, 본 발명에서의 토출 수단으로서 기능하는 것이다.
이러한 구성 하에 압전소자(20)가 접합된 진동판(13)은, 압전소자(20)와 일체로 되어 동시에 외측으로 요곡하고, 이것에 의해 캐비티(15)의 용적을 증대시킨다. 그러면, 캐비티(15)내와 리졸버(16)내가 연통하고 있어, 리졸버(16)내에 액상체가 충전되어 있는 경우에는, 캐비티(15)내에 증대한 용적분에 상당하는 액상체가, 리졸버(16)로부터 유로(17)를 거쳐서 유입한다.
또한, 이러한 상태로부터 압전소자(20)로의 통전을 해제하면, 압전소자(20)와 진동판(13)은 동시에 원래의 형상으로 돌아온다. 따라서, 캐비티(15)도 원래의 용적으로 돌아오므로, 캐비티(15) 내부의 액상체의 압력이 상승하여, 노즐(18)로부터 액상체의 액적(22)이 토출된다.
또한, 잉크젯 헤드의 토출 수단으로는, 상기의 압전소자(피에조 소자)(20)를 사용한 전기 기계 변환체 이외라도 좋고, 예를 들면, 에너지 발생 소자로서 전기열변환체를 사용한 방식이나, 대전 제어형, 가압 진동형이라는 연속 방식, 정전 흡인 방식, 또는 레이져 등의 전자파를 조사하여 발열시켜, 그 발열에 의한 작용으로 액상체를 토출시키는 방식을 채용할 수도 있다.
또한, 토출하는 렌즈 재료(7), 즉 마이크로 렌즈로 되는 렌즈 재료(7)로는, 광투과성 수지가 사용된다. 구체적으로는, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리히드록시에틸메타크릴레이트, 폴리시클로헥실메타크릴레이트 등의 아크릴계 수지, 폴리디에틸렌글리콜비스알릴카보네이트, 폴리카보네이트 등의 알릴계 수지, 메타크릴 수지, 폴리우레탄계 수지, 폴리에스테르계 수지, 폴리염화비닐계 수지, 폴리아세트산비닐계 수지, 셀룰로오스계 수지, 폴리아미드계 수지, 불소계 수지, 폴리프로필렌계 수지, 폴리스티렌계 수지 등의 열가소성 또는 열경화성 수지를 들 수 있고, 이들 중의 일종을 사용하거나, 또는 복수종을 혼합하여 사용할 수 있다.
또한, 본 발명에서는, 상기 광투과성 수지로서, 특히 비용제계의 것이 적합하게 사용된다. 이 비용제계의 광투과성 수지는 유기 용제를 사용하여 광투과성 수지를 용해하며, 액상체로 하지 않고, 예를 들면 이 광투과성 수지를 그의 모노머로 희석함으로써 액상화하여, 잉크젯 헤드(34)로부터 토출할 수 있게 한 것이다. 또한, 이 비용제계의 광투과성 수지에는, 비이미다졸계 화합물 등의 광중합 개시제를 배합함에 의해, 방사선 조사 경화형의 것으로서 사용할 수 있도록 하고 있다. 즉, 이러한 광중합 개시제를 배합함에 의해, 상기 광투과성 수지에 방사선 조사 경화성을 부여할 수 있기 때문이다. 여기서, 방사선이라 함은 가시광선, 자외선, 원자외선, X선, 전자선 등의 총칭이며, 특히 자외선이 일반적으로 사용된다.
이러한 렌즈 재료(7)를 상기 구성으로 이루어지는 잉크젯 헤드(34)에 의해서 도 3(a)에 나타내는 바와 같이 토대 부재(4b)상에 복수 도트, 예를 들면 10∼30도트 토출하여, 토대 부재(4b)상에 마이크로 렌즈 전구체(8)를 형성한다. 여기서,잉크젯 헤드(34)에는, 도 2(b)에 나타내는 바와 같이 그 노즐 플레이트(12)에 노즐(18)이 종횡으로 정렬한 상태로 복수 형성되어 있지만, 이들 노즐(18)간에는, 예를 들면 그 위치의 다름 등으로 토출량이 미묘하게 달라져 있는 경우가 있다.
그래서, 본 발명에서는, 이 잉크젯 헤드(34)로부터 잉크 재료(7)의 액적을 복수 도트 토출할 때, 한개의 노즐(18)로부터 모든 도트를 토출하는 것이 아니라, 두개 이상의 노즐(18)을 사용하여, 이들로부터 한개의 토대 부재(4b) 상면에 렌즈 재료(7)를 토출하도록 하고 있다.
예를 들면, 한개의 토대 부재(4b)상에 잉크 재료(7)를 10도트 토출하여, 마이크로 렌즈 전구체(8)를 형성하는 경우에, 도 2(b)에 나타낸 노즐(18…) 중, 가로 방향으로 배열된 12개의 노즐(18) 중의 한쪽 측으로부터 차례로 1도트씩 토출하고, 10개의 노즐(18)로 합계 10 토트를 토출함에 의해, 마이크로 렌즈 전구체(8)를 형성한다.
또한, 도 2(b)에 나타낸 가로 방향으로 배열된 노즐(18…) 중의, 서로 이웃하는 두개의 노즐(18)을 사용하여, 하나의 토대 부재(4b) 상에 이들 노즐(18)로부터 교대로 1도트씩 토출하고, 2개의 노즐(18)로 5도트씩, 합계 10도트 토출함에 의해, 마이크로 렌즈 전구체(8)를 형성하도록 해도 좋다.
또한, 이들 토출 예는 복수의 노즐(18)을 사용하여 복수 도트를 토출하는 태양의 일부 예이며, 이들 외에도, 여러 가지 토출 태양을 채용할 수 있는 것은 물론이다.
이와 같이 복수의 도트를, 두개 이상의 노즐(18)을 사용하여 토출하도록 하였으므로, 개개의 노즐(18)에 토출량의 편차가 있다해도, 두개 이상의 노즐을 사용하여 한개의 마이크로 렌즈 전구체(8)를 형성함에 의해, 노즐(18)간의 토출량의 편차의 영향을 경감할 수 있다. 또한, 특히 10개의 노즐(18)을 사용하는 예와 같이 다수의 노즐(18)을 사용하여 토출을 행하면, 보다 노즐(18)간의 편차의 영향을 적게 할 수 있어, 바람직하다.
여기서, 본 실시 형태에서는 잉크젯법에 의해서 렌즈 재료(7)를 토출하고 있으므로, 렌즈 재료(7)를 토대 부재(4b)상의 거의 중심부에 정밀도 좋게 배치할 수 있다. 또한, 상술한 바와 같이 토대 부재(4b) 상면을 발액 처리함에 의해, 토출된 렌즈 재료(7)의 액적은 토대 부재(4b)의 상면 상에 젖어 퍼지기 어렵게 되어 있고, 따라서 토대 부재(4b)상에 배치된 렌즈 재료(7)는 토대 부재(4b)로부터 넘쳐흘러 떨어짐 없이, 토대 부재(4b)상에 안정된 상태로 유지되도록 되어 있다. 또한, 단속적으로 수(數) 도트(본 예에서는 30도트)가 토출됨에 의해, 이 토출된 렌즈 재료(7)로 이루어지는 마이크로 렌즈 전구체(8)는, 그 횡단면(토대 부재(4b) 상면과 평행한 수평면)이 결국은 토대 부재(4b) 상면보다 커진다.
즉, 렌즈 재료(7)의 토출 초기에서는, 렌즈 재료(7)의 토출량이 적어지기 때문에, 도 4(a)에 나타내는 바와 같이 토대 부재(4b)의 상면 전체에 퍼진 상태에서는 전체로서는 크게 솟아오르지 않아, 토대 부재(4b) 상면에 대한 접촉각(θ')은 예각으로 된다.
이 상태에서 렌즈 재료(7)의 토출을 더 계속하면, 뒤에 토출된 렌즈 재료(7)는 당연히 먼저 토출된 렌즈 재료(7)에 대한 밀착성이 높으므로, 도 4(b)에 나타내는 바와 같이 이것으로부터 넘쳐흘러 떨어지지 않고 일체화한다. 그러면, 이 일체화된 렌즈 재료(7)는 그 체적이 커져서 솟아오르고, 이것에 의해서 토대 부재(4b) 상면에 대한 접촉각(θ')이 커져서, 결국은 직각을 넘게 된다.
이 상태에서 렌즈 재료(7)의 토출을 더 계속하면, 특히 잉크젯법으로 토출하고 있으므로 도트마다에서는 큰 양으로 되지 않으므로, 토대 부재(4b) 상에서의 전체로서의 밸런스가 유지되고, 결과적으로 도 4(c)에 나타내는 바와 같이 접촉각(θ')이 큰 둔각으로 되어, 결과적으로 구에 가까운 상태로 된다.
이와 같이, 토대 부재(4b)의 상면을 발액 처리해 두고, 이 발액 처리면상에 소량의 도트를 양 및 토출 위치에 대해서 정밀도 좋게 토출할 수 있는 잉크젯법(액적 토출법)으로 렌즈 재료(7)를 복수 도트 배치함에 의해, 접촉각(θ')이 비교적 작은 예각의 것으로부터 큰 둔각으로 되는 것까지, 마이크로 렌즈 전구체(8)의 형상을 다양하게 만들 수 있다. 즉, 토출 도트수를 형성하는 마이크로 렌즈의 형상에 따라 미리 적당히 결정해 둠에 의해, 소망한 형상의 마이크로 렌즈를 형성할 수 있기 때문이다.
이와 같이 하여 소망 형상(본 실시 형태에서는 도 4(c)에 나타낸 바와 같은 구형에 가까운 형상으로 함)의 마이크로 렌즈 전구체(8)를 형성한 후, 도 3(b)에 나타내는 바와 같이 이들 마이크로 렌즈 전구체(8)를 경화시켜, 마이크로 렌즈(8a)를 형성한다.
마이크로 렌즈 전구체(8)의 경화 처리로는, 상술한 바와 같이 렌즈 재료(7)로서 유기 용제를 첨가하지 않고, 방사선 조사 경화성이 부여된 것을 사용하기 때문에, 특히 자외선(파장λ＝365nm)의 조사에 의한 처리 방법이 적합하게 사용된다.
또한, 이러한 자외선 조사에 의한 경화 처리 후, 예를 들면 100℃에서 1시간 정도의 열처리를 행하는 것이 바람직하다. 이러한 열처리를 행함에 의해, 자외선 조사에 의한 경화 처리의 단계에서 경화 불균일이 생겨도, 이 경화 불균일을 감소시켜 전체로서 거의 균일한 경화도로 할 수 있다.
이와 같이 하여 마이크로 렌즈(8a)를 형성한 후, 필요에 따라서 기체(3)를 절단하여, 개편화(個片化) 또는 어레이상으로 형성함 등에 의해, 소망한 형태로 제조한다.
또한, 이와 같이 하여 제조한 마이크로 렌즈(8a)와, 기체(3)에 미리 형성한 상기 면발광 레이저(2)로부터, 본 발명의 일실시 형태로 되는 광학 장치를 얻을 수 있다.
이러한 마이크로 렌즈(8a)의 제조 방법에서는, 토대 부재(4b) 상에 마이크로 렌즈(8a)를 형성하므로, 토대 부재(4b) 상면의 크기나 형상을 적당히 형성함에 의해, 얻어지는 마이크로 렌즈(8a)의 크기나 형상을 적당히 형성할 수 있다. 또한, 토대 부재(4b) 상면을 발액 처리하고 있으므로, 토출 배치된 렌즈 재료(7)의 토대 부재(4b) 상면에 대한 접촉각(θ')을 크게 할 수 있어, 이것에 의해 토대 부재(4b) 상면에 실리는 렌즈 재료(7)의 양을 많게 할 수 있다. 또한, 이와 같이 토대 부재(4b) 상면에 실리는 렌즈 재료(7)의 양을 많게 할 수 있도록 한 상태 하에, 렌즈 재료(7)를 복수 도트 토출하도록 하고 있으므로, 도트수를 적당히 조정함에 의해, 얻어지는 마이크로 렌즈(8a)의 크기나 형상을 양호하게 제어할 수 있다.
즉, 상술한 바와 같이 마이크로 렌즈(8a)의 형상을 도 4(a)∼(c)에 나타낸 여러 가지 형상, 즉 납작한 형상(도 4(a))으로부터 측면이 반구에 가까운 형상(도 4(b)), 또한 측면이 구에 가까운 형상(도 4(c))으로 까지 만들어 나눌 수 있다. 따라서, 특히 본 실시 형태의 경우에, 기체(3)에 형성한 면발광 레이저(2)로부터의 출사광(발광광)이 토대 부재(4b)를 투과하여 이 토대 부재(4b)와 반대 측, 즉 마이크로 렌즈(8a) 상면측으로부터 출사하지만, 도 4(a)∼(c)에 나타낸 바와 같이 이 마이크로 렌즈(8a) 상면측의 곡률을 적당히 다양하게 만들 수 있으므로, 이 마이크로 렌즈(8a)의 집광기능을 미리 설정한 바와 같이 조정할 수 있다.
따라서, 예를 들면 면발광 레이저(2)로부터의 출사광(발광광)이 방사광으로서 토대 부재(4b)를 투과하여 마이크로 렌즈(8a)에 입사하는 경우에, 미리 방사광의 방사의 정도에 따라 마이크로 렌즈(8a)의 형상, 즉 마이크로 렌즈(8a) 상면측의 곡률을 미리 설정한 곡률로 되도록 형성해 둠에 의해, 면발광 레이저(2)로부터의 방사광(출사광)을 예를 들면 도 5(a)∼(c)에 나타내는 바와 같이 마이크로 렌즈(8a)로 양호하게 집광할 수 있다.
또한, 역으로 면발광 레이저(2) 등의 발광원으로부터의 광이 방사성을 갖지 않고, 직진성을 갖는 경우, 마이크로 렌즈(8a)를 투과시킴으로써 이 투과광에 방사성을 갖게 할 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 복수의 도트를 두개 이상의 노즐(18)을 사용하여 토출하도록 하였으므로, 개개의 노즐(18)에 토출량의 편차가 있다해도, 두개 이상의 노즐을 사용하여 한개의 마이크로 렌즈 전구체(8)를 형성함에 의해, 노즐(18)간의토출량의 편차의 영향을 경감할 수 있다. 따라서, 얻어지는 마이크로 렌즈(8a)의 형상의 불균일화를 억제하여, 광학 특성의 편차를 방지하여 양호한 광학 특성을 가진 마이크로 렌즈(8a)를 형성할 수 있다.
또한, 특히 도 4(b), (c)에 나타낸 바와 같이, 토대 부재(4b) 상면의 외경(A)에 대해서 마이크로 렌즈(8a)를, 상기 상면과 평행으로 되는 횡단면 중의 최대로 되는 횡단면의 외경(B) 쪽이 커지도록 형성함에 의해, 이 마이크로 렌즈(8a)가 도 4(a)에 나타낸 것 등에 비해 구에 가까운 것으로 된다. 따라서, 그 상면측의 곡률을 비교적 작게 할 수 있기 때문에, 집광기능을 보다 높일 수 있다.
또한, 이와 같이 하여 제조된 마이크로 렌즈(8a)와 기체(3)로 형성한 상기 면발광 레이저(2)로 되는 광학 장치에서는, 상술한 바와 같이 크기나 형상이 양호하게 제어되고, 또한 그 편차가 방지된 마이크로 렌즈(8a)를 상기 면발광 레이저(2)의 출사측에 배설하고 있으므로, 이 마이크로 렌즈(8a)에 의해서 면발광 레이저(2)로부터의 출사광의 집광 등을 양호하게 행할 수 있고, 따라서 양호한 발광 특성(광학 특성)을 갖는 것으로 된다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 기체(3) 상에 토대 부재 재료층(4)을 형성하여 이 토대 부재 재료층(4)으로 토대 부재(4b)를 형성하도록 하였지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 예를 들면 기체(3)의 표층부가 투광성 재료에 의해서 형성되어 있는 경우 등에서는, 이 표층부에 토대 부재를 직접 형성하도록 해도 좋다.
또한, 토대 부재(4b)의 형성 방법에 대해서도, 상술한 포토리소그래피법에 한정되지 않고, 다른 형성 방법, 예를 들면 선택 성장법이나 전사법 등을 채용할수 있다.
또한, 토대 부재(4b)의 상면 형상에 대해서도, 형성하는 마이크로 렌즈에 요구되는 특성에 따라, 삼각형이나 사각형 등 여러 가지 형상으로 할 수 있고, 또한 토대 부재(4b) 자체의 형상에 대해서도, 테이퍼형나 역테이퍼형 등 여러 가지 형상으로 할 수 있다.
또한, 상기 실시 형태에서는, 마이크로 렌즈(8a)가 토대 부재(4b) 상에 형성된 상태인 채로 렌즈로서 사용되어, 기능하도록 하였으나, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 토대 부재(4b)로부터 적당한 방법으로 분리 또는 박리하여, 마이크로 렌즈(8a)를 단독의 광학 부품으로서 사용하도록 해도 좋다. 그 경우, 제조에 사용하는 토대 부재(4b)에 대해서는, 당연하지만 투광성을 가질 필요는 없다.
또한, 본 발명에서는, 상기의 면발광 레이저(2)와 마이크로 렌즈(8a)로 이루어지는 광학 장치에 더하여, 이 광학 장치로부터의 출사광을 전송하는 광섬유나 광도파로 등으로 이루어지는 광전송 수단과, 이 광전송 수단으로 전송된 광을 수광하는 수광 소자를 구비함에 의해, 광전송 장치로서 기능시킬 수 있다.
이러한 광전송 장치에서는, 상술한 바와 같이 양호한 발광 특성(광학 특성)을 가진 광학 장치를 구비하고 있으므로, 이 광전송 장치도 양호한 전송 특성을 갖게 된다.
또한, 본 발명의 레이저 프린터용 헤드는, 상기 광학 장치를 구비하여 되는 것이다. 즉, 이 레이저 프린터용 헤드에 사용된 광학 장치는, 도 7에 나타내는 바와 같이 다수의 면발광 레이저(2)를 직선적으로 배치하여 이루어지는 면발광 레이저 어레이(2a)와, 이 면발광 레이저 어레이(2a)를 구성하는 개개의 면발광 레이저(2)에 대해서 배설된 마이크로 렌즈(8a)를 구비하여 이루어지는 것이다. 또한, 면발광 레이저(2)에 대해서는 TFT 등의 구동 소자(도시하지 않음)가 마련되어 있고, 또한, 이 레이저 프린터용 헤드에는 온도 보상 회로(도시하지 않음)가 마련되어 있다.
또한, 이러한 구성의 레이저 프린터용 헤드를 구비함에 의해, 본 발명의 레이저 프린터가 구성된다.
이러한 레이저 프린터용 헤드에서는, 상술한 바와 같이 양호한 발광 특성(광학 특성)을 가진 광학 장치를 구비하고 있으므로, 묘화 특성이 양호한 레이저 프린터용 헤드로 된다.
또한, 이 레이저 프린터용 헤드를 구비한 레이저 프린터에서도, 상술한 바와 같이 묘화 특성이 양호한 레이저 프린터용 헤드를 구비하고 있으므로, 이 레이저 프린터 자체가 묘화 특성이 뛰어난 것으로 된다.
또한, 본 발명의 마이크로 렌즈는, 상기한 용도 이외에도 여러 가지 광학 장치에 적용할 수 있고, 예를 들면 고체 촬상 장치(CCD)의 수광면이나 광섬유의 광결합부 등에 마련되는 광학 부품으로서도 사용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 형상을 임의로 제어하여 집광 기능 등의 광학 특성을 양호하게 하는 동시에, 그 편차를 억제하도록 한, 마이크로 렌즈의 제조 방법 및 마이크로 렌즈, 또 이 마이크로 렌즈를 구비한 광학 장치, 광전송 장치, 레이저 프린터용 헤드, 레이저 프린터를 제공할 수 있다.

Claims (13)

  1. 기체 상에 토대(土臺) 부재를 형성하는 공정과,
    상기 토대 부재의 상면을 발액 처리하는 공정과,
    복수의 노즐을 구비한 액적 토출 헤드에 의해, 적어도 그 두개의 노즐을 사용하여 상기 발액 처리한 토대 부재상에 렌즈 재료를 복수 도트 토출하여, 상기 토대 부재상에 마이크로 렌즈를 형성하는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 발액 처리하는 공정에서는, 상기 토대 부재 형성 재료로 형성된 평면에 대해서 상기 렌즈 재료를 배치했을 때, 그 렌즈 재료의 접촉각이 20°이상으로 되는 발액성을 발휘하도록 발액 처리하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈의 제조 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 토대 부재를 형성하는 공정에서, 상기 토대 부재의 상면 형상을 원형 또는 타원형, 또는 다각형으로 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈의 제조 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 액적 토출법에 의해 렌즈 재료를 토출할 때에, 형성하는 마이크로 렌즈 상면측의 곡률(曲率)이 미리 설정한 소정의 곡률로 되도록, 토출하는 도트 수를 결정하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈의 제조 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 렌즈 재료가, 비용제계의 광투과성 수지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈의 제조 방법.
  6. 기체 상에 형성된 토대 부재의 상면에 형성된 마이크로 렌즈로서,
    상기 토대 부재의 상면이 발액 처리되어 이루어지고,
    상기 마이크로 렌즈가 복수의 노즐을 구비한 액적 토출 헤드에 의해, 적어도 그 두개의 노즐로부터 상기 발액 처리한 토대 부재상에 렌즈 재료가 복수 도트 토출되어 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 토대 부재의 상면 형상이 원형 또는 타원형, 또는 다각형인 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    상기 토대 부재의 상면과 평행으로 되는 마이크로 렌즈의 횡단면의 최대 외경이, 상기 토대 부재의 상면의 외경보다 큰 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 토대 부재가 투광성을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈.
  10. 면(面)발광 레이저와, 제1항 기재의 제조 방법에 의해서 얻어진 마이크로 렌즈, 또는 제6항 기재의 마이크로 렌즈를 구비하고, 상기 마이크로 렌즈를 상기 면(面)발광 레이저의 출사측에 배설한 것을 특징으로 하는 광학 장치.
  11. 제10항 기재의 광학 장치와, 수광 소자와, 상기 광학 장치로부터의 출사광을 상기 수광 소자에 전송하는 광전송 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 광전송 장치.
  12. 제10항 기재의 광학 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 레이저 프린터용 헤드.
  13. 제12항 기재의 레이저 프린터용 헤드를 구비한 것을 특징으로 하는 레이저 프린터.
KR1020040028063A 2003-05-16 2004-04-23 마이크로 렌즈의 제조 방법 및 마이크로 렌즈, 광학 장치,광전송 장치, 레이저 프린터용 헤드, 및 레이저 프린터 KR100600525B1 (ko)

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