KR20040097438A - 방사선 발생장치를 이용하는 회로기판 검사장치 - Google Patents

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KR20040097438A
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Abstract

사용자의 부주의 또는 기계의 오류로 발생할 수 있는 방사선 피폭을 방지할 수 있는 방사선 발생장치를 이용한 회로기판 검사장치가 개시된다. 개시된 본 발명에 의한 방사선 발생장치를 이용한 회로기판 검사장치는, X선 발생장치와, 피검사 대상이 되는 회로기판이 안착되는 회로기판 안착대 및 X선 발생장치를 제어하는 제어유닛을 포함하는 방사선 발생장치를 이용하는 회로기판 검사장치에 있어서, X선 발생장치에서 조사되는 X선의 외부 유출을 차폐하는 차폐수단을 포함하는 회로기판 검사장치 본체; 회로기판 검사장치 본체에 개폐가능하게 설치되어, 회로기판 안착대에 피검사 대상물을 투입할 수 있는 도어; 도어에 설치되어 상기 X선 발생장치가 작동할 경우, 도어의 개방을 록킹하는 록킹유닛; 및 X선 발생장치가 작동할 경우, 발광유닛을 작동시켜 표준방사선마크를 점등하는 발광부착표시등;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

방사선 발생장치를 이용하는 회로기판 검사장치{Circuit board tester that use radioactive rays generator}
본 발명은 회로기판 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, X-선을 사용하여, 집적회로가 납땜되어 설치되는 회로기판의 구조적 오류를 검사할 수 있으며, 사용자의 부주의에 의한 방사선 피폭을 방지할 수 있도록 안전장치가 강화된 방사선 발생장치를 이용하는 회로기판 검사장치에 관한 것이다.
일반적인 방사선 발생장치를 이용하는 회로기판 검사장치는, 대한민국 공개특허 특1987-0008499호(1987년 09월 26일)에 공개되어 있다.
즉, 상기 회로기판 검사장치는, X선 빔을 제공하기 위한 X선 수단과, 회로 기판을 수용하며 상기 X선 빔내에 회로기판을 선택적으로 배치시키기 위한 다중-축 배치 수단과, 회로기판을 통해 전달되는 상기 X선 빔으로부터의 X선을 검출하여 전자 이미지를 제공하기 위한 이미지 수단과, 상기 전자 이미지를 그레이 스케일의코드화 이미지로 변환시키기 위한 처리수단과, 측정 알고리즘이 라이브러리로부터의 선택된 측정 알고리즘에 의한 상기 그레이 스케일 코드화 이미지상의 예정된 연산 측정을 이행하며, 소정의 구조 특성에 따르는 예정의 측정 표준으로부터의 상기 그레이 스케일 코드화 이미지의 상기 측정의 변화에 따르는 출력을 제공하기 위한 연산수단을 구비한다.
이 때, 상기 이미지 수단은, 회로기판을 통해 전달되는 X선 강도에 대응하는 광이미지를 제공하기 위한 광이미지 수단과; 상기 광 이미지를 관련 전기 이미지로 변환 시키기 위한 전자 이미징 수단이 구비된다.
또한, 상기 전자 이미지 수단은, 비데오 카메라와, 상기 광 이미지 수단에서 상기 비데오 카메라로 상기 광이미지를 변환시키기 위해 상기 비데오 카메라에 인접하게 장착된 변환 및 증폭 수단이 구비된다.
그리고, 상기 다중-축 배치 시스템은, 예정된 위치 신호를 제공하기 위해 상기 연산 수단에 의해 발생되는 지시신호에 응답하는 제어 수단과, X, Y 및 Z수직축상에 장착되며 각축에서 회전하는 회로기판을 이동시키기 위해 상기 위치신호에 응답하는 이동 테이블이 구비된다.
이와 같은 방사선 발생장치를 이용하는 회로검사 장치는, 인체에 대단히 유해한 방사능을 이용하여 검사를 하는 장비로 사용자의 안전에 각별한 관심이 필요하다. 따라서, 사용자의 작동상의 실수 또는 기계적 오류로 발생할 수 있는 방사선 피폭을 방지할 수 있는 안전장치가 요구되고 있다.
본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로, 사용자의 부주의 또는 기계적 오류로 발생할 수 있는 방사선 피폭을 방지할 수 있도록 안전장치가 구비된 방사선 발생장치를 이용하는 회로기판 검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 본 발명에 의한 방사선 발생장치를 이용하는 회로기판 검사장치를 나타낸 사시도,
도 2는 도 1의 요부확대도로, 조작패널의 구조를 나타낸 분해 사시도,
도 3은 회로기판 안착대의 구조를 나타낸 분해 사시도,
도 4는 도 3의 회로기판 안착대가 결합된 상태를 나타낸 사시도,
도 5는 도 3의 회로기판 안착대가 회로기판 검사장치의 후벽면으로 조립되는 상태를 나타낸 사시도,
도 6은 이미지 처리장치가 회로기판 검사장치의 상부면에 결합되는 상태를 나타낸 분해 사시도,
도 7은 도 6의 이미지 처리장치를 회로기판 검사장치의 내부에서 바라본 상태를 나타낸 사시도,
도 8은 회로기판 검사장치의 하부면에 설치된 X선 발생장치를 나타낸 사시도, 그리고,
도 9는 도 1의 요부확대도로, 록킹유닛을 구비한 도어를 나타낸 사시도 이다.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
100; 회로기판 검사장치 본체 110; 조작패널
120; 도어 121; 납유리
122; 록킹유닛 122a; 록커
122b; 록킹홈 210; 회로기판 안착대
220; 이미지 처리장치 230; X선 발생장치
320; 발광부착표시등
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 방사선 발생장치를 이용하는 회로기판 검사장치는, X선 발생장치와, 피검사 대상이 되는 회로기판이 안착되는 회로기판 안착대 및 상기 X선 발생장치를 제어하는 제어유닛을 포함하는 방사선 발생장치를 이용하는 회로기판 검사장치에 있어서, 상기 X선 발생장치에서 조사되는 X선의 외부 유출을 차폐하는 차폐수단을 포함하는 회로기판 검사장치 본체; 상기 회로기판 검사장치 본체에 개폐가능하게 설치되어, 상기 회로기판 안착대에 피검사 대상물을 투입할 수 있는 도어; 상기 도어에 설치되어 상기 X선 발생장치가 작동할 경우, 상기 도어의 개방을 록킹하는 록킹유닛; 및 상기 X선 발생장치가 작동할 경우, 발광유닛을 작동시켜 표준방사선마크를 점등하는 발광부착표시등;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 X선 발생장치는, 전원을 공급하는 전원장치에 과부하가 발생할 경우 자동으로 차단되는 것이 좋다.
그리고, 상기 도어는, 상기 회로기판 안착대를 외부에서 관찰할 수 있도록 방사선 차폐수단을 포함하는 납유리를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 록킹유닛은, 상기 X선 발생장치에 전원이 인가될 경우 작동하며, 상기 발광부착표시등은, 별도의 우회회로를 가지는 다수의 발광다이오드(LED)를 포함한다.
한편, 상기 제어유닛은, 상기 록킹유닛 및 발광부착표시등과 연결되어, 상기 록킹유닛이 작동하거나, 발광부착표시등이 작동중일 경우, 상기 X선 발생장치에 전원을 차단하는 것이 바람직하다.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면과 함께 설명한다.
도 1은 본 발명에 의한, 방사선 발생장치를 이용하는 회로검사장치 본체(100)를 나타낸 것으로, 전면부에는 조작패널(110)과, 내부상태를 관찰할 수 있도록 방사선 차폐처리된 윈도우(121)가 마련된 도어(120)가 개폐가능하게 설치된다. 상기 회로검사장치 본체(100)는, 회로기판 안착대(210)와 이미지 처리장치(220) 및 X선 발생장치(230)가 설치되는 제 1 캐비넷(100a)과, 제어유닛 및 제어컴퓨터 등이 설치되는 제 2 캐비넷(100b)으로 구비된다. 상기 제 1 및 제 2 캐비넷(100a)(100b) 사이는 방사선의 누출을 막을 수 있도록 납을 이용한 차폐수단이 구비된다. 그리고, 회로검사장치 본체(100)의 상부에는 후술할 이미지 처리장치(230)가 설치되는 제 3 캐비넷(130)이 돌출되어 있는데, 그 전면부에는 방사선 발생장치가 작동될 경우에 점등되는 표준방사선마크(310)가 구비된 발광부착표시등(320)이 설치된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 조작패널(110)은, 시작버튼(111)과, 종료버튼(112), 각각의 축 별로 구성되어 회로기판 안착대(210, 도 3 참조)의 배치상태를 조정하는 조이스틱(113), 컴퓨터 조작을 위한 키보드(114) 및 위급한 상황에 긴급하게 회로검사 장치를 정지시키는 긴급정치 버튼(115)이 마련될 수 있다. 바람직하게는 작업 공간을 효율적으로 사용하기 위해, 상기 키보드(114)를 양측면이 슬라이딩 브래킷(116a)에 의해 지지되는 수납서랍(116)에 탑재하는 것이 좋다. 상기와 같이 구성된 조작패널(110)은 마운팅 플레이트(117)에 의해 상기 회로검사장치 본체(100)의 전면부에 고정된다.
상기 회로검사장치 본체(100)는, 도 3 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 그 내부에 회로기판 안착대(210)와, 이미지 처리장치(220) 및 X선 발생장치(230)를 구비한다.
상기 도어(120)의 개구부와 수평한 위치에는 피검사 대상이 되는 회로기판을 설치하기 위한 회로기판 안착대(210)가 설치된다. 이 회로기판 안착대(210)는 회로검사장치 본체(100) 외부에 설치되는 조작패널(110)을 통해 X, Y 및 Z 축으로 이동이 가능하다.
상기 회로기판 안착대(210)는, 베이스 프레임(211)에 의해, 회로검사장치 본체(100)의 후벽면에 결합된다. 상기 베이스 프레임(211)에는 외팔보 형태로 연장형성되되, 상기 회로기판 안착대(210)의 양 끝단을 지지하는 지지부재(212)가 설치되고, 지지부재(212)에는 슬라이딩 가능하게 결합되어 전후방향으로 상기 회로기판 안착대(210)를 이동시킬 수 있는 제 1 슬라이딩 프레임(213)과, 상기 제 1 슬라이딩 프레임(213)에 결합되되, 상기 회로기판 안착대(210)를 좌우방향으로 이동시킬 수 있는 제 2 슬라이딩 프레임(214)이 설치된다. 상기 제 1 및 제 2 슬라이딩 프레임(213)(214)에 의해 상기 회로기판 안착대(210)는 X, Y축 방향으로 슬라이딩 이동이 가능하다. 한편, 상기 지지부재(212)는 Z축 방향으로 승강 가능하도록 승강 프레임(211a)에 의해 상기 베이스 프레임(211)에 설치된다. 또한, 상기 회로기판 안착대(210)의 최대 승강점을 구속하기 위해 제한 프레임(211b)이 상기 베이스 프레임(211)에 결합된다.
상기와 같이 구성된 회로기판 안착대(210)를 X, Y 및 Z 축 방향으로 이송시키기 위해 각각의 축방향 구동유닛이 구비되는데, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, X축 방향의 구동을 위해서는 제 1 구동모터(215a)가 제 1 동력전달 유닛(215b)을 통해 제 1 동력절환 유닛(215c)에 동력을 전달한다. 상기 제 1 동력전달 유닛(215b)은 기어트레인으로 마련되는 것이 좋으며, 제 1 동력절환 유닛(215c)은 회전운동을 직선운동으로 바꾸어 줄 수 있도록 스크류 기어가 사용되는 것이 좋다. 그리고, Y축 방향의 구동을 위해서는 제 2 구동모터(216a)가 제 2 동력절환 유닛(216c)에 동력을 전달한다. 상기 제 1 동력절환 유닛(216c)은 회전운동을 직선운동으로 바꾸어 줄 수 있도록 스크류 기어가 사용될 수 있다. 또한, Z축 방향의 구동을 위해서는 제 3 구동모터(217a)가 제 3 동력절환 유닛(217c)에 동력을 전달한다. 상기 제 3 동력절환 유닛(216c) 역시 회전운동을 직선운동으로 바꾸어 줄 수 있도록 스크류 기어가 사용되는 것이 좋다.
또한, 상기 회로기판 안착대(210)에는 X축 및 Y축 방향으로 눈금이 표시된 지그(ZIG)(218)(219)가 설치된다. 이 지그(ZIG)(218)(219)는, 피검사 대상이 되는 회로기판의 사방을 고정하는 역할을 하며, 눈금을 통해 항상 일정한 위치에 피검사 대상이 되는 회로기판을 설치할 수 있어 사용자 편이성이 향상된다. 지그(ZIG)(218)(219)에 피검사 대상이 되는 회로기판을 설치하기 위해서는 손잡이가 있는 나사(218a)(219a)가 사용될 수 있다. 사용자는 상기 나사(218a)(219a)를 손으로 돌려 결합 및 해제를 할 수 있으므로, 별도의 공구 없이 회로기판을 설치 및 취출할 수 있다.
상기와 같이 구성된 회로기판 안착대(210)는 상기 조이스틱(113)에 의해 X, Y 및 Z축으로 이동될 수 있어, 검사 위치를 변경하면서 사용하는 것이 가능하다. 또한, Z축 방향의 이동을 통해 사용자가 원하는 배율로 피검사 대상인 회로기판에 확대 및 축소된 이미지를 확인할 수 있다.
그리고, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 회로기판 안착대(210)의 상부측에는 이미지 처리장치(220)가 설치된다. 상기 이미지 처리장치(220)는 상기 제 1 캐비넷(100a)의 상부측에 결합되는 지지 프레임(131)에 일단이 결합되며, 상기 지지 프레임(131)은 상기 제 1 캐비넷(100a) 내부에 마련된 설치 프레임(132)에 고정 브라켓(133)에 의해 견고하게 고정된다. 이상과 같이 설치된 이미지 처리장치(220)를 방사선 차폐하기 위해 연당량 1.5mm이상의 강판으로 이루어진 제 3 캐비넷(130)이 설치되며, 그 상부면에는 정비를 위해 개폐가능하게 구비되는 상부 덮개(134)가 설치된다. 상기 제 3 캐비넷(130)의 전면부에는 방사선 발생장치의 동작 유무를 시각적으로 확인할 수 있도록 표준방사선 마크(310)가 구비된 발광부착표시등(320)이 설치되며, 이에 대해서는 후에 자세히 설명한다.
상기와 같은, 이미지 처리장치(220)는, 피검사 대상인 회로기판을 통과한 X선을 검출하여, 컴퓨터 작업이 가능한 디지털신호로 변화하는 장치로, CCD(charge coupled device)를 이용하여 구비될 수 있다. 상기 이미지 처리장치(220)에는 레이저 포인터(221)가 그 중심을 기준으로 서로 엇갈려, 상기 회로기판 안착대(210)에 고정된 피검사 대상인 회로기판에 십자선을 나타낸다. 이와 같은, 레이저 포인터(221)에 의하면, 사용자가 피검사 대상의 회로기판에 X선이 조사되는 위치가 십자선으로 표시되기 때문에, 현재 검사되는 위치가 어느 부위인지 사용자가 손쉽게 알 수 있다.
상기 이미지 처리장치(220)로 부터 출력된 디지털 신호는 제 2 캐비넷(100b) 내부에 설치된 컴퓨터에 인스톨된 전용 소프트웨어에 의해 모니터로 출력되며, 사용자는 실시간으로 출력되는 영상정보에 의해 회로기판의 오류 여부를 판단하는 것이 가능하다.
상기 X선 발생장치(230)는, 회로검사장치 본체(100)의 제 1 캐비넷(100a) 하부면에 상부면을 향해 X선이 조사될 수 있도록 X선 발생부(231)가 상부면을 향하도록 설치되는 것이 바람직하다. 이 X선 발생장치(230)에 전원은 미도시된 제어유닛에 의해 단속되도록 하여, 위험한 상황 또는 안전 수단이 완전하지 않을때, 방사선이 조사되는 것을 방지한다.
한편, 상기 도어(120)는, 상기 회로기판 안착대(210)를 외부에서 관찰 할 수 있도록 방사선 차폐수단이 구비된 윈도우(121)를 포함한다. 상기 윈도우(121)는, 연당량 1.5mm의 납유리로 마련되는 것이 바람직하다.
상기 도어(120)에는, 상기 X선 발생장치(230)가 작동중일 때 사용자가 도어(120)를 오픈하는 것을 방지하기 위한 록킹유닛(122)이 설치되어 있다. 이 록킹유닛(122)은 상기 X선 발생장치(230)에 전원이 인가될 경우 작동되는 것이 바람직하며, 록킹유닛(122)이 작동될 경우, 작동중임을 나타내는 신호를 제어유닛(미도시)에 출력한다.
상기 록킹유닛(122)은, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 도어(120)에 설치되는 록커(122a)와, 상기 방사선 발생장치를 이용한 검사장치 회로검사장치 본체(100)에 관통형성되는 록킹홈(122b)으로 구비된다. 상기 록커(122a)는 제어유닛과 연결되어 현재 도어(120)가 개방되었는지, 폐쇄되었는지를 나타내는 신호를 출력한다.
한편, 상기 검사장치 회로검사장치 본체(100)의 상부면에는 발광부착표시등(320)이 마련되는데, 그 내부에 다수의 우회회로를 가지는 발광다이오드(LED)가 설치된다. 이 발광부착표시등(320)은, X선 발생장치가 작동중에 표준방사능 표시가 점등되는 것으로, 하나의 발광다이오드(LED)의 수명연한이 진행되어 더이상 점등되지 않을 경우를 대비하여, 다수의 발광다이오드를 구비한다.
이 경우, 하나의 발광다이오드가 끊어지는 일이 발생하더라도, 그 외의 다수의 발광다이오드가 정상적으로 점등될 수 있기 때문에, 사용자가 검사장치의 동작유무를 시각적으로 확인할 수 있다.
상기와 같은 록킹유닛(122) 및 발광부착표시등(320)은 제어유닛에 연결되어 있는데, 상기 제어유닛은 상기 록킹유닛(122)과, 발광부착표시등(320) 모두가 정상적으로 작동될 경우에만, X선 발생장치(230)에 전원이 공급한다. 즉, 상기 록킹유닛(122)이 도어(120)를 록킹한 상태임을 알리는 신호를 출력하고, 상기 발광부착표시등(320)이 점등된 상태에만 X선 발생장치(230)에 전원을 공급한다.
이하, 첨부된 도면과 함께, 본 발명에 의한 방사선 발생장치를 이용한 회로기판 검사장치의 동작을 설명한다.
전원이 연결된 상태에서 사용자가 시작버튼을 눌러 검사장치를 가동시키면, 제어유닛은 안전장치의 작동여부를 확인한다. 즉, 도어(120)가 현재 닫혀 있는 상태에 있는지 확인하여, 만일 개방된 상태라면, X선 발생장치(230)에 전원이 인가되는 것을 차단한다.
사용자가 도어(120)를 개방하여 피검사 대상이 회로기판을 지그(218)(219)를 이용하여, 정해진 위치에 설치하고 도어(120)를 폐쇄하면, 상기 도어(120)에 설치된 록킹유닛(122)은 정상적으로 폐쇄된 상태임을 나타내는 신호를 상기 제어유닛에 출력한다.
도어(120)의 록킹 신호가 제어유닛에 확인되면, 제어유닛는 X선 발생장치(230)에 전원을 인가하여, X선이 피검사 대상인 회로기판에 조사되도록 한다. 조사된 X선은 회로기판을 거쳐 이미지 처리장치(220)에 의해 컴퓨터가 판독 가능한 디지털 신호로 변환되어, 사용자가 시각적으로 확인할 수 있는 영상정보로 모니터에 투영된다.
만일, 동일한 회로기판의 대량 검사가 필요할 경우에는 검사가 이루어지는 복수의 검사 위치를 소프트웨어에 입력하여, 자동으로 각각의 검사위치의 오류 여부를 확인하는 것도 가능하다.
상기한 바와 같이 X선 발생장치(230)에 전원이 인가되어 X선이 조사되면, 검사장치의 외부에 설치된 발광부착표시등(320)이 점등되어 사용자에게 X선이 조사중임을 시각적으로 확인할 수 있도록 한다. 상기 제어유닛은 발광부착표시등(320)이 점등되었는지의 여부를 확인하여, 정상적으로 점등된 경우에만, 상기 X선 발생장치(230)에 전원을 계속 인가한다.
만일 상기 발광부착표시등(320)을 구성하는 복수의 발광다이오드 중 일부가 정상적으로 동작하지 않을 경우, 상기 제어유닛은 발광다이오드 교체 표시를 모니터상에 출력하여, 사용자가 끊어진 발광다이오드를 교체해야 함을 인지시킨다. 만일 단선된 발광다이오드의 교체가 이루어지지 않을 경우, 상기 제어유닛은 X선 발생장치(230)의 방사선 발생이 차단되는 인터록 기능이 마련되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 도어(120)에 장착된 록킹유닛(122)은 X선 발생장치(230)의 동작중에는 도어(120)가 오픈되지 않도록 록킹하여, 사용자가 실수로 도어(120)를 개방하여 방사선에 피폭되는 것을 방지한다.
이상과 같은 본 발명에 의한, 방사선 발생장치를 이용하는 회로기판 검사장치에 의하면, 사용자의 부주의로 검사장치 작동중에 도어가 오픈되는 것을 방지할 수 있으며, 기계적 오류 예컨대로 발생할 수 있는 방사선 피폭을 방지할 수 있다.
이상, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 설명하고 도시하였으나, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려, 첨부된 특허청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 다양한 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.

Claims (6)

  1. X선 발생장치와, 피검사 대상이 되는 회로기판이 안착되는 회로기판 안착대 및 상기 X선 발생장치를 제어하는 제어유닛을 포함하는 방사선 발생장치를 이용하는 회로기판 검사장치에 있어서,
    상기 X선 발생장치에서 조사되는 X선의 외부 유출을 차폐하는 차폐수단을 포함하는 회로기판 검사장치 본체;
    상기 회로기판 검사장치 본체에 개폐가능하게 설치되어, 상기 회로기판 안착대에 피검사 대상물을 투입할 수 있는 도어;
    상기 도어에 설치되어 상기 X선 발생장치가 작동할 경우, 상기 도어의 개방을 록킹하는 록킹유닛; 및
    상기 X선 발생장치가 작동할 경우, 발광유닛을 작동시켜 표준방사선마크를 점등하는 발광부착표시등;을 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 발생장치를 이용하는 회로기판 검사장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 X선 발생장치는,
    전원을 공급하는 전원장치에 과부하가 걸릴경우 자동으로 차단되는 것을 특징으로 하는 방사선 발생장치를 이용하는 회로기판 검사장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 도어는,
    상기 회로기판 안착대를 외부에서 관찰할 수 있도록 방사선 차폐수단을 포함하는 납유리를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 발생장치를 이용하는 회로기판 검사장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 록킹유닛은,
    상기 X선 발생장치에 전원이 인가될 경우 작동하는 것을 특징으로 하는 방사선 발생장치를 이용하는 회로기판 검사장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 발광부착표시등은,
    별도의 우회회로를 가지는 다수의 발광다이오드(LED)를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 발생장치를 이용하는 회로기판 검사장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 제어유닛은,
    상기 록킹유닛 및 발광부착표시등과 연결되어, 상기 록킹유닛이 작동하거나, 발광부착표시등이 작동중일 경우, 상기 X선 발생장치에 전원을 차단하는 것을 특징으로 하는 방사선 발생장치를 이용하는 회로기판 검사장치.
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KR20180067103A (ko) * 2016-12-12 2018-06-20 (주)자비스 다수 개의 전자 부품의 탐지를 위한 엑스레이 장치 및 그에 의한 전자 부품의 탐지 방법
KR20190047684A (ko) * 2019-04-30 2019-05-08 (주)자비스 다수 개의 전자 부품의 탐지를 위한 엑스레이 장치 및 그에 의한 전자 부품의 탐지 방법

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