KR20040090535A - 웨이퍼 처리 장치의 입출력 모듈 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼를 처리하기 위한 각종 명령을 내리는 중앙처리장치와 각 프로세스 유닛들 사이에 별도의 입출력 모듈을 구비하여 입력과 출력을 곧바로 실시간적으로 디스플레이하도록 함으로써 유지 보수의 용이성을 확보하고, 또한 중앙처리장치의 부하를 감소시킬 수 있도록 하는 웨이퍼 처리 장치의 입출력 모듈을 제공하는데 그 목적이 있다.

이와 같은 목적은, 기판 상에 다수의 입력 커넥터가 구비되고, 각 입력 커넥터는 다수의 프로세스 유닛들 중 하나의 프로세스 유닛과 연결되어 각 프로세스 유닛으로부터의 처리 신호를 인가 받아 중앙처리장치로 출력함과 아울러 상기 입력 커넥터에는 표시 수단이 서로 대응되어 구비된 입력부;

기판 상에 다수의 출력 커넥터가 구비되고, 각 출력 커넥터는 다수의 프로세스 유닛들 중 하나의 프로세스 유닛과 연결되어 중앙처리장치로부터의 제어 명령 신호를 인가 받아 각 프로세스 유닛으로 출력함과 아울러 상기 출력 커넥터에는 표시 수단이 서로 대응되어 구비된 출력부;로 구성됨으로써 달성된다.

Description

웨이퍼 처리 장치의 입출력 모듈{Input/Output module of wafer process apparatus}

본 발명은 웨이퍼 처리 장치의 입출력 모듈에 관한 것으로, 특히 웨이퍼가 처리되는 프로세스의 신호 입출력 상태를 별도의 입출력 모듈에서 시각적으로 즉시 확인할 수 있도록 한 웨이퍼 처리 장치의 입출력 모듈에 관한 것이다.

일반적으로 웨이퍼를 처리하기 위하여 핫 플레이트(Hot Pate), 쿨 플레이트 (Cool Plate), 에디젼 유닛(Adhesion Unit), 코터(Coater), 디벨로퍼(Developer) 등이 처리 장치에 구비된다.

각 프로세스 유닛은 중앙처리장치로부터 제어 명령을 인가 받아 그 명령에 따르는 웨이퍼 처리 동작을 수행함으로써 웨이퍼의 표면에 포토레지스트(Photo Resist) 액이나 현상(Development) 액을 도포하게 된다.

그런데, 이러한 종래의 웨이퍼 처리 장치는 유지 보수할 때나 웨이퍼를 제조하는 공정 중에 각 프로세스 유닛이 정상적으로 동작하고 있는가를 확인하기 위해서는 작업자가 직접 프로세스 유닛이 위치한 곳으로 이동하여 동작 상태를 하나하나를 관찰하여야 하는 불편함이 있었다.

또한, 이의 동작 진행 상태를 화면상에 나타내는 경우에는 이를 처리하는 중앙처리장치에서의 부하가 증대되어 성능 저하 및 각종 고장의 원인이 되는 경우가 발생한다.

이로 인해, 작업 수율이 떨어지고 유지 보수의 용이성을 저하되어 생산성의저하로 이어지는 문제점이 있는 것이다.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 웨이퍼를 처리하기 위한 각종 명령을 내리는 중앙처리장치와 각 프로세스 유닛들 사이에 별도의 입출력 모듈을 구비하여 입력과 출력을 곧바로 실시간적으로 디스플레이하도록 함으로써 유지 보수의 용이성을 확보하고, 또한 중앙처리장치의 부하를 감소시킬 수 있도록 하는 웨이퍼 처리 장치의 입출력 모듈을 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1 은 본 발명에 의한 웨이퍼 제조 장치의 입출력 모듈의 평면도.

도 2 는 본 발명이 적용된 반도체 제조 장치의 제어 블록도.

도 3 은 프로세스 유닛에 제어 명령을 입력하기 위한 화면 상태의 일 예를 보여주는 도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100 : 기판 110 : 입력 커넥터

120 : 입력 LED 130 : 출력 커넥터

140 : 출력 LED 200 : 중앙처리장치

300 : 프로그램 저장부 400 : 프로세스부

500 : 키입력부 600 : 모니터

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명 웨이퍼 처리 장치의 입출력 모듈은,

웨이퍼를 처리하기 위한 다수의 프로세스 유닛이 구비되고, 상기 각 프로세스 유닛에 웨이퍼 처리 명령을 인가하기 위한 중앙처리장치가 구비된 웨이퍼 처리 장치에 있어서,

기판 상에 다수의 입력 커넥터가 구비되고, 각 입력 커넥터는 다수의 프로세스 유닛들 중 하나의 프로세스 유닛과 연결되어 각 프로세스 유닛으로부터의 처리 신호를 인가 받아 상기 중앙처리장치로 출력함과 아울러 상기 입력 커넥터에는 표시 수단이 서로 대응되어 구비된 입력부;

기판 상에 다수의 출력 커넥터가 구비되고, 각 출력 커넥터는 다수의 프로세스 유닛들 중 하나의 프로세스 유닛과 연결되어 상기 중앙처리장치로부터의 제어명령 신호를 인가 받아 각 프로세스 유닛으로 출력함과 아울러 상기 출력 커넥터에는 표시 수단이 서로 대응되어 구비된 출력부;로 구성된 것을 특징으로 한다.

이와 같이 구성되는 본 발명을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1 은 본 발명의 평면도를 나타내 것으로, 하나의 기판(100)상에 왼쪽에는 입력 커넥터(110)와 입력 LED(120)가 구비되는데, 이 입력 LED(120)는 입력 커넥터(110)와 1:1 대응되게 구비된다.

또한, 기판(100)의 오른쪽에는 출력 커넥터(130)와 출력 LED(140)가 구비되는데, 이 또한 출력 커넥터(130)와는 1:1 대응되게 구비된다.

상기 입력 커넥터(100)는 도 2 에 도시한 바와 같이 프로세스부(400)의 각 프로세스 유닛(410,420,430,...)으로부터 처리되는 상태를 나타내는 신호를 각각 인가 받게 되는데, 예를 들면, 프로세스 유닛 1(410)은 입력 커넥터 1과 연결되고, 프로세스 유닛 2(420)는 입력 커넥터 2와 연결되며, 프로세스 유닛 3(430)은 입력 커넥터 3과 연결된다.

또한, 상기 입력 LED(120)는 입력 커넥터(110)와 병렬로 연결되어, 프로세스부(400)로부터의 처리 신호를 동시에 인가 받게 된다.

즉, 입력 LED 1은 입력 커넥터 1과 연결되고, 입력 LED 2는 입력 커넥터 2와과 연결되며, 입력 LED 3은 입력 커넥터 3과 연결되도록 구성된다.

따라서, 입력 커넥터(110)로 입력되는 신호의 전압에 의해 입력 LED가 점등과 소등을 반복하게 된다.

그러므로, 작업자는 이의 입력 LED(120)의 점등되는 상태를 관찰함으로써 프로세스부(400)의 각 프로세스 유닛(410,420,430,...)의 동작 상태를 확인할 수 있으며, 중앙처리장치(200)에서 수행하여야 할 동작 상태의 디스플레이를 입출력 모듈(100)에서 수행하게 되어 시스템의 부하가 감소된다.

상기 입력 커넥터(110)는 중앙처리장치(200)와 연결되는데, 중앙처리장치 (200)의 각 프로세스 유닛(410,420,430,...)의 진행 상태를 감시하여 프로그램 저장부(300)에 저장된 프로그램을 순차적으로 불러들여 프로세스부(400)를 제어하게 된다.

여기서, 상기 프로그램 저장부(300)는 각 프로세스 유닛(410,420,430,...) 즉, 핫 플레이트(Hot Pate), 쿨 플레이트(Cool Plate), 에디젼 유닛(Adhesion Unit), 코터(Coater), 디벨로퍼(Developer) 등을 제어하기 위한 공정 프로그램이 저장되어 있다.

상기 중앙처리장치(200)는 입력 커넥터(110)로부터 입력되는 공정 수행 상태에 따라 이후의 명령을 프로그램 저장부(300)로부터 순차적으로 읽어 들여 입출력 모듈(100)의 출력 커넥터(130)로 출력하게 되어 이의 제어 명령이 프로세스부(400)의 해당 유닛으로 인가될 수 있도록 한다.

상기 출력 커넥터(130)는 중앙처리장치(200)로부터 인가되는 제어 명령을 인가 받게 되는데, 프로세스 유닛 1(410)은 출력 커넥터 1과 연결되고, 프로세스 유닛 2(420)는 출력 커넥터 2와 연결되며, 프로세스 유닛 3(430)은 출력 커넥터 3과연결된다.

또한, 출력 LED(140)는 출력 커넥터(130)와 병렬로 연결되어, 중앙처리장치 (200)로부터의 처리 신호를 동시에 인가 받게 된다.

즉, 출력 LED 1은 출력 커넥터 1과 연결되고, 출력 LED 2는 출력 커넥터 2와과 연결되며, 출력 LED 3은 출력 커넥터 3과 연결되도록 구성된다.

따라서, 출력 커넥터(130)로 입력되는 신호의 전압에 의해 입력 LED가 점등과 소등을 반복하게 된다.

그러므로, 작업자는 이의 출력 LED(140)의 점등되는 상태를 관찰함으로써 중앙처리장치(200)로부터 프로세스부(400)의 각 프로세스 유닛(410,420,430,...)으로 인가되는 제어 명령이 올바르게 인가되고 있는 가를 확인할 수 있으며, 이 또한 중앙처리장치(200)에서 수행하여야 할 동작 상태의 디스플레이를 입출력 모듈(100)에서 수행하게 되어 시스템의 부하가 감소되는 것이다.

도 3 은 프로세스 유닛에 제어 명령을 입력하기 위한 화면 상태의 일 예를 보여주는 도로서, 프로세스부(400)의 유지 보수 시에 하나의 동작을 화면상의 버튼에 의해 수행하도록 한다.

예를 들면, 모니터(600)의 화면상에 도 3 과 같이 유지 보수화면이 디스플레이되었다면, 현재 프로세스 유닛에 진공이 걸리지 않는 상태가 된다.

즉, 중앙처리장치(200)로부터 프로세스부(400)로 출력하는 제어 명령이 진공을 걸지 않는 명령(VacuumOff)이므로, 출력창(OUTPUT)에는 ‘VacuumOff’ 버튼에표시가 행해져 있다.

결국, 현재 해당 프로세스 유닛은 진공이 오프된 상태로 있는 것이다.

이때, 입력창(INPUT)에는 ‘Vacuum_On’ 버튼이 활성화되어 있어 진공을 인가할 대기 상태에 있게 된다.

이 상태에서 작업자가 해당 프로세스 유닛에 진공을 인가하고자 할 때, 키입력부(500)를 통해 입력창(INPUT)의 ‘Vacuum_On’ 버튼을 입력하게 되면, 중앙처리장치(200)는 프로그램 저장부(300)로부터 해당 공정 프로그램을 불려 들여 출력 커넥터(130)로 출력하게 된다.

이와 동시에 중앙처리장치(200)는 모니터(600)에 디스플레이되는 화면의 ‘Vacuum_On’ 버튼을 ‘Vacuum_Off’ 버튼으로 전환시키게 되고, 출력창(OUTPUT)의 ‘VacuumOff’ 버튼에는 표시를 삭제하게 된다.

결국, 진공이 인가되는 상태를 표시하는 것이다.

중앙처리장치(200)는 프로세스 유닛에 진공이 인가되는 상태에 대한 처리 신호를 입력 커넥터(110)를 통하여 프로세스 유닛으로부터 제공받게 되고, 올바른 동작이 수행되는 경우에만 모니터(600)에 디스플레이되는 화면의 ‘Vacuum_On’버튼을 ‘Vacuum_Off’ 버튼으로 전환시키게 되는 것이다.

또한, 작업자가 키입력부(500)를 통하여 ‘Vaccum_On’ 버튼을 입력하게 되면, 상기에서 설명한 초기 상태의 화면 즉, 입력창(INPUT)에는 ‘Vacuum-On’ 버튼이 활성화되고, 출력창(OUTPUT)에는 ‘VacuumOff’ 버튼이 표시된다.

그러므로, 프로세스 유닛의 공정 수행 상태를 입력 및 출력 LED(120,140)와모니터(600)를 통해 동시에 디스플레이 할 수도 있는 것이다.

이와 같은 본 발명 웨이퍼 처리 장치의 입출력 모듈은, 웨이퍼를 처리하기 위한 각종 명령을 내리는 중앙처리장치와 각 프로세스 유닛들 사이에 별도의 입출력 모듈을 구비하여 입력과 출력을 곧바로 실시간적으로 디스플레이하도록 함으로써 유지 보수의 용이성을 확보하고, 또한 중앙처리장치의 부하를 감소시킬 수 있는 효과가 있다,

Claims (2)

1. 웨이퍼를 처리하기 위한 다수의 프로세스 유닛이 구비되고, 상기 각 프로세스 유닛에 웨이퍼 처리 명령을 인가하기 위한 중앙처리장치가 구비된 웨이퍼 처리 장치에 있어서,

   기판 상에 다수의 입력 커넥터가 구비되고, 각 입력 커넥터는 다수의 프로세스 유닛들 중 하나의 프로세스 유닛과 연결되어 각 프로세스 유닛으로부터의 처리 신호를 인가 받아 상기 중앙처리장치로 출력함과 아울러 상기 입력 커넥터에는 표시 수단이 서로 대응되어 구비된 입력부;

   기판 상에 다수의 출력 커넥터가 구비되고, 각 출력 커넥터는 다수의 프로세스 유닛들 중 하나의 프로세스 유닛과 연결되어 상기 중앙처리장치로부터의 제어 명령 신호를 인가 받아 각 프로세스 유닛으로 출력함과 아울러 상기 출력 커넥터에는 표시 수단이 서로 대응되어 구비된 출력부;로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 처리 장치의 입출력 모듈.
2. 제 1 항에 있어서, 중앙처리장치는 입력부 및 출력부의 입출력 상태를 모니터에 디스플레이하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 처리 장치의 입출력 모듈.