KR101002342B1

KR101002342B1 - 리뷰 스테이션

Info

Publication number: KR101002342B1
Application number: KR1020030095479A
Authority: KR
Inventors: 박성덕
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2003-12-23
Filing date: 2003-12-23
Publication date: 2010-12-17
Also published as: KR20050064177A

Abstract

본 발명은 사용자의 편의 및 공정수율을 증대시킬 수 있는 리뷰 스테이션에 관한 것으로, 다수개의 액정표시장치용 기판이 담긴 카세트가 놓여져 안착되는 카세트 포트와, 상기 카세트에 담긴 기판을 검사하기 위한 검사장비를 포함하여 구성되는 리뷰 스테이션에 있어서, 몸체와; 상기 몸체상에 구비되어 상기 카세트가 안착 및 고정되는 스테이지와; 상기 스테이지의 가장자리에 형성되어 상기 카세트를 상기 스테이지에 고정하기 위한 제 1, 제 2 클램프와; 상기 몸체의 일측에 구비되어 상기 제 2 클램프를 작동시키기 위한 버튼 및 다른 기능을 수행하기 위한 다수개의 버튼이 설치된 제 1 인터페이스 보드와; 상기 몸체로부터 배선을 통하여 연장되어 상기 제 2 클램프를 원거리에서 작동시키기 위한 버튼 및 다른 기능을 수행하기 위한 다수개의 버튼이 설치된 제 2 인터페이스 보드를 포함하여 구성되는 것이다.

액정표시장치, 리뷰 스테이션, 카세트 포트, 로봇암, 검사장비, 인터페이스 보드, 클램프

Description

리뷰 스테이션{REVIEW STATION}

도 1은 종래의 리뷰 스테이션의 개략적인 구성도

도 2는 종래의 카세트 포트에 대한 사시도

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 카세트 포트의 사시도

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 카세트 포트가 포함된 리뷰 스테이션을 대한 개략적인 구성도

＊도면의 주요부에 대한 부호 설명

112a : 제 1 클램프 112b : 제 2 클램프

113 : 스테이지 114 : 몸체

111 : 카세트 포트 118a, 160a : 인풋 버튼

118b, 160b : 인풋 엔드 버튼 118c, 160c : 아웃풋 버튼

118d, 160d : 아웃풋 엔드 버튼 B1 : 제 1 인터페이스 보드

B2 : 제 2 인터페이스 보드 L : 배선

본 발명은 액정표시장치의 제조장치에 관한 것으로, 특히 원거리에서 스테이지상에 카세트를 고정시키거나 분리할 수 있도록 하여 사용자의 편의 및 공정수율을 증대시킬 수 있는 리뷰 스테이션에 대한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.

이와 같이 액정표시장치가 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 장점과 배치되는 면이 많이 있다.

따라서, 액정표시장치가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.

이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정표시패널과 상기 액정표시 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정표시패널은 공간을 갖고 합착된 제 1, 제 2 기판과, 상기 제 1, 제 2 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.

여기서, 상기 제 1 기판(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인과, 상기 각 게이트 라인과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되어 정의된 각 화소 영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과 상기 게이트 라인의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인의 신호를 상기 각 화소전극에 전달하는 복수개의 박막트랜지스터가 형성되어 있다.

그리고, 제 2 기판(컬러필터 기판)에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙매트릭스층과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R, G, B 칼라필터층과 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성되어 있다.

이와 같은 상기 제 1, 제 2 기판은 스페이서(spacer)에 의해 일정 공간을 갖고 시일재(sealant)에 의해 합착되고 상기 두 기판 사이에 액정층이 형성된다.

한편, 상기 제 1 기판과 제 2 기판의 마주보는 면에는 각각 배향막이 형성되고 상기 액정층을 배향시키기 위하여 러빙처리된다.

이와 같이 구성된 액정표시장치에 사용되는 각 기판은 서로 합착되기 전에, 상기 각 기판에 형성된 패턴, 예를 들면 상술한 바와 같은 게이트 라인 및 데이터 라인 등과 같은 신호 배선의 불량 검사를 하게 된다.

즉, 상기 게이트 라인 및 데이터 라인과 같은 패턴의 단락 및 쇼트 등을 검 사하게 된다.

이와 같은 기판의 불량을 검사하는 장비로, 통상 리뷰 스테이션이라는 장비가 사용된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 리뷰 스테이션을 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래의 리뷰 스테이션의 개략적인 구성도이고, 도 2는 종래의 카세트 포트에 대한 사시도이다.

종래의 리뷰 스테이션은, 도 1에 도시된 바와 같이, AGV(Automatic Guide Vehicle) 등과 같은 카세트 반송수단(도시되지 않음)에 의해 전달된 카세트(50)가 안착되는 카세트 포트(11)와, 상기 카세트(50)에 담긴 기판(80)의 불량을 검사하기 위한 검사장비(31)와; 상기 카세트(50)에 담긴 기판(80)을 상기 검사장비(31)로 이동시키기 위한 로봇암(21)과, 상기 카세트 포트(11), 상기 검사장비(31) 및 상기 로봇암(21)의 동작을 제어하기 위한 오퍼레이팅부(41)로 크게 구성되어 있다.

여기서, 상기 카세트 포트(11)는 AGV 등과 같은 카세트(50) 반송수단을 통해 전달된 카세트(50)를 다음 공정을 준비하는 동안 잠시 안착시키는 곳으로서, 도 2에 도시된 바와 같이, 몸체(14)와, 상기 몸체(14)의 상부에 구비되어 상기 카세트(50)가 안착되는 스테이지(13)와, 상기 스테이지(13)의 상부면에 구비되어 상기 카세트(50)가 상기 스테이지(13)상에 놓여지는 것을 감지하여 센싱신호를 출력하는 센서부(도시되지 않음)와, 상기 스테이지(13)상에 안착된 카세트(50)를 올바른 위치에 고정시키기 위해 상기 스테이지(13)의 일측 가장자리에 고정되는 제 1 클램프(12a) 및 상기 제 1 클램프(12a)와 대각선 방향으로 마주보도록 상기 스테이지(13)의 타측 가장자리에 이동 가능하게 연결되는 제 2 클램프(12b)와, 상기 몸체(14)의 일측에 구비되어 상기 제 2 클램프(12b)를 동작시키기 위한 버튼 및 다른 기능을 수행하기 위한 다수개의 버튼이 설치된 인터페이스 보드(B)를 포함하여 구성되어 있다.

여기서, 상기 인터페이스 보드(B)에는, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 스테이지(13)에 카세트(50)가 안착될 때, 이를 감지하는 센서부로부터 출력된 센싱신호에 의해 자동으로 불이 들어오는 인풋(Input) 버튼(18a)과, 상기 카세트(50)를 상기 스테이지(12)에 고정시키기 위해 상기 제 2 클램프(12b)를 상기 제 1 클램프(12a) 방향으로 이동하도록 작동시키기 위한 인풋 엔드(Input End) 버튼(18b)과, 상기 카세트(50)에 담긴 모든 기판(80)의 검사가 종료되었을 때 자동으로 불이 들어오는 아웃풋(Output) 버튼(18c)과, 상기 검사가 종료된 카세트(50)로부터 제 2 클램프(12b)를 분리하기 위해 상기 제 2 클램프(12b)를 상기 제 1 클램프(12a)로부터 이격되도록 동작시키기 위한 아웃풋 엔드(Output End) 버튼(18d)이 구비되어 있다.

이와 같이 구성된 리뷰 스테이션을 이용한 기판(80)의 불량을 검사하는 공정을 상세히 설명하면 다음과 같다.

먼저, AGV 등을 통하여 카세트(50)를 상기 카세트 포트(11)의 스테이지(13)에 안착시킨다.

그러면, 상기 카세트 포트(11)의 스테이지(13)에 구비된 센서부는 상기 카세 트(50)가 상기 스테이지(13)에 안착되었다는 센싱신호를 상기 인터페이스 보드(B)에 출력하여, 상기 인터페이스 보드(B)의 인풋 버튼(18a)에 노란불이 들어오도록 하여, 사용자에게 상기 카세트(50)가 상기 카세트 포트(11)의 스테이지(13)에 안착되었다는 것을 알린다.

이때, 사용자는 카세트(50)를 상기 카세트(50) 포트(11)의 스테이지(13)상에 고정하기 위해 상기 인터페이스 보드(B)의 인풋 엔드 버튼(18b)을 눌러, 상기 제 2 클램프(12b)를 상기 제 1 클램프(12a) 방향으로 이동시킨다.

그러면, 상기 카세트(50)는 상기 제 1, 제 2 클램프(12a, 12b) 사이에 밀착되어 고정된다.

이어서, 상기 로봇암(21)이 상기 카세트(50)로부터 하나의 기판(80)을 취부하여 상기 검사장비(31)로 전달하면, 상기 기판(80)은 상기 검사장비(31)의 스테이지(33)상에 안착 및 고정된다.

이어서, 사용자는 상기 검사장비(31)의 스테이지(33)의 상부에 구비된 광학부(42)의 렌즈를 통해 상기 스테이지(33)상에 안착 및 고정된 기판(80)에 형성된 각 패턴을 관찰하게 된다.

실제로, 사용자는 상기 광학부(42)의 렌즈에 보여지는 기판(80)의 각 패턴에 대한 영상을 오퍼레이팅부(41)의 모니터를 통해서 관찰하게 된다.

이와 같이 하나의 기판(80)에 대한 검사가 종료되면, 상기 로봇암(21)은 상기 검사가 종료된 기판(80)을 취부하여 상기 검사가 종료된 기판(80)을 상기 카세트(50)에 수납하고, 이후 검사할 또 다른 기판(80)을 상기 카세트(50)로부터 취부 하여 상기 검사장비(31)로 전달한다.

이와 같은 공정을 통해 상기 카세트(50)에 수납된 모든 기판(80)에 대한 검사가 종료되면, 상기 카세트 포트(11)에 구비된 인터페이스 보드(B)의 아웃풋 버튼(18c)에 불이 들어오면서, 상기 카세트(50)의 모든 기판(80)에 대한 검사가 종료되었음을 사용자에게 알려준다.

이때, 사용자는 상기 인터페이스 보드(B)의 아웃풋 엔드 버튼(18d)을 직접 눌러 상기 카세트 포트(11)에 구비된 스테이지(13)의 제 2 클램프(12b)를 상기 제 1 클램프(12a)로부터 이격되도록 이동시킨다.

그러면, 상기 카세트 포트(11)의 스테이지(13)에 안착되있던 검사가 종료된 기판(80)이 수납된 카세트(50)는 상기 제 1, 제 2 클램프(12b)로부터 분리된다.

이어서, 상기 검사가 종료된 기판(80)이 수납된 카세트(50)는 상기와 같은 AGV를 통해 스토커(도시되지 않음)와 같은 카세트(50) 저장고로 옮겨지고, 검사하고자 하는 기판(80)이 수납된 또 다른 카세트(50)가 상기 AGV를 통해 상기 카세트 포트(11)로 전달된다.

이와 같은 공정을 반복하여, 다수개의 카세트(50)에 담기 다수개의 기판(80)에 대한 불량을 검사하게 된다.

그러나, 상기 카세트 포트(11)의 제 2 클램프(12b)를 동작시키기 위해서는 사용자가 직접 상기 카세트 포트(11)로 이동하여 상기 카세트 포트(11)의 일측에 구비된 인터페이스 보드(B)의 인풋 엔드 버튼(18b)을 직접 눌러야만 한다.

그리고 나서, 사용자는 다시 상기 검사장비(31) 및 오퍼레이팅부(41)로 이동 하여 상기 한 카세트(50)의 기판(80)을 모두 검사한 후, 상기 카세트(50)를 제 1, 제 2 클램프(12a, 12b)로부터 분리시키기 위해 다시 상기 카세트 포트(11)로 이동하여 상기 인터페이스 보드(B)의 아웃풋 엔드 버튼(18d)을 직접 눌러야만 하므로, 사용자의 이동 거리가 늘어나게 되어 각 카세트(50)에 담긴 기판(80)에 대한 검사시간이 늘어나는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 카세트 포트의 일측에 구비된 인터페이스 보드로부터 배선을 통해 연장되는 또 다른 인터페이스 보드를 구비하여 원거리에서 카세트 포트의 동작을 제어할 수 있는 리뷰 스테이션를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 리뷰 스테이션은, 다수개의 액정표시장치용 기판이 담긴 카세트가 놓여져 안착되는 카세트 포트와, 상기 카세트에 담긴 기판을 검사하기 위한 검사장비를 포함하여 구성되는 리뷰 스테이션에 있어서, 몸체와; 상기 몸체상에 구비되어 상기 카세트가 안착 및 고정되는 스테이지와; 상기 스테이지의 가장자리에 형성되어 상기 카세트를 상기 스테이지에 고정하기 위한 제 1, 제 2 클램프와; 상기 몸체의 일측에 구비되어 상기 제 2 클램프를 작동시키기 위한 버튼 및 다른 기능을 수행하기 위한 다수개의 버튼이 설치된 제 1 인터페이스 보드와; 상기 몸체로부터 배선을 통하여 연장되어 상기 제 2 클램프를 원거리에서 작동시키기 위한 버튼 및 다른 기능을 수행하기 위한 다수개의 버튼이 설치된 제 2 인터페이스 보드를 포함하여 구성되는 것을 그 특징으로 한다.

여기서, 상기 제 2 인터페이스 보드는 상기 제 1 인터페이스 보드로부터 배선을 통해 연장되는 것을 특징으로 한다.

상기 스테이지의 상면에 구비되어 상기 카세트가 상기 스테이지상에 놓이는 것을 감지하여 센싱신호를 생성하고, 상기 센싱신호를 상기 제 1, 제 2 인터페이스 보드로 출력하기 위한 센서부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

상기 제 1 클램프는 상기 스테이지의 일측 가장자리에 고정되어 형성되며, 상기 제 2 클램프는 상기 제 1 클램프와 대각선 방향으로 마주보도록 상기 스테이지의 타측 가장자리에 이동 가능하게 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 제 1, 제 2 인터페이스 보드는, 상기 센서부로부터 출력된 센싱신호를 입력받아 상기 카세트가 상기 스테이지에 안착되었음을 알려주는 인풋 버튼과; 상기 제 2 클램프를 상기 제 1 클램프 방향으로 이동하도록 작동시키기 위한 인풋 엔드 버튼과; 상기 스테이지에 안착된 카세트의 기판에 대한 검사가 끝났음을 알려주는 아웃풋 버튼과; 상기 제 2 클램프를 상기 제 1 클램프로부터 이격되도록 작동시키기 위한 아웃풋 엔드 버튼을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 리뷰 스테이션을 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 카세트 포트의 사시도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 카세트 포트가 포함된 리뷰 스테이션을 대한 개략적인 구성도이다.

본 발명의 실시예에 따른 카세트 포트(111)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 몸체(114)와; 상기 몸체(114)의 상부에 구비되어 상기 카세트(150)가 안착 및 고정되는 스테이지(113)와; 상기 스테이지(113)의 상부면에 구비되어 상기 카세트(150)가 상기 스테이지(113)상에 놓여지는 것을 감지하여 센싱신호를 출력하는 센서부(도시되지 않음)와; 상기 스테이지(113)의 가장자리에 구비되어 상기 카세트(150)를 상기 스테이지(113)의 올바른 위치에 고정하기 위한 제 1, 제 2 클램프(112a, 112b)와; 상기 몸체(114)의 일측에 구비되어 상기 제 2 클램프(112b)를 작동시키기 위한 버튼 및 다른 여러 가지 기능을 수행하기 위한 다수개의 또 다른 버튼이 설치된 제 1 인터페이스 보드(B1)와; 상기 몸체(114)로부터 배선(L)을 통하여 연장되어 상기 제 2 클램프(112b)를 원거리에서 작동시키기 위한 버튼 및 다른 여러 가지 기능을 수행하기 위한 다수개의 버튼이 설치된 제 2 인터페이스 보드(B2)로 구성되어 있다.

여기서, 상기 제 1 클램프(112a)는 ㄱ 자 모양을 가지고 상기 스테이지의 일측 가장자리에 고정되어 있으며, 상기 제 2 클램프(112b)는 ㄴ 자 모양을 가지고 상기 제 1 클램프(112a)와 대각선으로 마주보도록 상기 스테이지의 타측에 이동가능하게 연결되어 있다.

즉, 상기 제 1 클램프(112a)는 고정되어 있으며, 상기 제 2 클램프(112b)는 상기 제 1 클램프(112a)를 향해서 이동가능하게 연결되어, 상기 스테이지(113)상에 올려진 카세트(150)는 상기 제 2 클램프(112b)의 이동에 의해 상기 제 1, 제 2 클램프(112b) 사이에 밀착되어 고정된다.

또한, 상기 제 1, 제 2 인터페이스 보드(B2)는, 상기 센서부로부터 출력된 센싱신호를 입력받아 상기 카세트(150)가 상기 스테이지(113)상에 올려졌다는 것을 사용자에게 알려주기 위해서 노란불이 들어오는 인풋(Input) 버튼(118a, 160a)과, 상기 제 2 클램프(112b)를 상기 제 1 클램프(112a) 방향으로 이동하도록 작동시키기 위한 인풋 엔드(Input End) 버튼과(118b, 160b), 상기 카세트(150)에 담긴 기판(180)의 검사가 끝났을 때, 상기 카세트(150)에 담긴 기판(180)의 모든 검사가 완료되었음을 사용자에게 알려주기 위해 노란불이 들어오는 아웃풋(Output) 버튼(118c, 160c)과, 상기 제 2 클램프(112b)를 상기 제 2 클램프(112b)로부터 이격시켜 상기 카세트(150)가 상기 제 1, 제 2 클램프(112a, 112b)로부터 분리되도록 작동시키기 위한 아웃풋 엔드(Output End) 버튼(118d, 160d)으로 구성되어 있다.

따라서, 사용자는 원거리에서도 상기 제 2 인터페이스 보드(B2)를 통해 공정진행 상태를 확인할 수 있고, 또한 상기 제 2 클램프(112b)를 작동시킬 수 있다.

여기서, 상기 제 2 인터페이스 보드(B2)는 상기 제 1 인터페이스 보드(B1)와 직접 배선(L)을 통해 연결될 수도 있다.

여기서, 전술한 바와 같이, 상기 카세트 포트(111)는 리뷰 스테이션에 포함되는 하나의 장비로서, 상기 리뷰 스테이션은, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 카세트(150)가 안착되는 카세트 포트(111)이외에도, 상기 카세트(150)에 담긴 기판(180)의 불량을 검사하기 위한 검사장비(131)와; 상기 카세트(150)에 담긴 기판(180)을 상기 검사장비(131)로 이동시키기 위한 로봇암(121)과, 상기 카세트 포트(111), 상기 검사장비(131) 및 상기 로봇암(121)의 동작을 제어하기 위한 제어신 호를 출력하는 오퍼레이팅부(141)를 더 포함한다.

여기서, 상기 로봇암(121)은 상기와 같이 구성된 카세트 포트(111)에 안착된 카세트(150)로부터 기판(180)을 하나씩 취부하여 상기 검사장비(131)로 전달하는 기능을 하는 것으로서, 상기 로봇암(121)은 하나의 축에 연결된 두 개의 제 1, 제 2 암으로 구성되어 있으며, 상기 제 1 암은 상기 제 2 암보다 축의 상부에 구비되어 있다.

그리고, 상기 검사장비(131)는 상기 로봇암(121)으로부터 기판(180)을 전달받아 불량을 검사하는 장비로서, 상기 카세트(150)에 담긴 기판(180)이 안착 및 고정되는 스테이지(133)와, 상기 스테이지(133)의 상부에 구비되어 상기 기판(180)의 불량을 검사하기 위한 다수개의 렌즈가 배율별로 설치된 광학부(142)를 포함하여 구성되어 있다.

한편, 상기 오퍼레이팅부(141)에는 모니터가 설치되어 있어서, 상기 모니터에는 상기 광학부(142)의 렌즈를 통과한 기판(180)의 각 패턴에 대한 영상이 보여지게 된다.

또한, 상기 오퍼레이팅부(141)는 상기 검사장비(131), 로봇암(121) 및 카세트 포트(111)에 각 장비가 수행할 명령을 입력할 수 있는 입력부(도시되지 않음)를 더 포함한다.

이와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 카세트 포트(111)가 포함된 리뷰 스테이션에서의 기판(180)의 검사작업 공정을 상세히 설명하면 다음과 같다.

먼저, AGV와 같은 카세트(150) 반송수단을 통해 상기 카세트 포트(111)의 스 테이지(113)에 상기 카세트(150)가 올려지면, 상기 스테이지(113)의 상면에 구비된 센서부는 상기 카세트(150)가 상기 스테이지에 안착되었다는 것을 알리는 센싱신호를 상기 제 1, 제 2 인터페이스 보드(B1, B2)로 동시에 출력하고, 이때 상기 제 1, 제 2 인터페이스 보드(B1, B2)의 각 인풋 버튼(118a, 160a)에 노란 불이 들어오게 되며, 사용자는 상기 제 1 또는 제 2 인터페이스 보드(B1, B2)의 각 인풋 버튼(118a, 160a)의 노란불을 확인하여 상기 카세트(150)가 상기 스테이지(113)상에 안착되었다는 것을 인지한다.

이어서, 상기 제 1 또는 제 2 인터페이스 보드(B1, B2)의 인풋 엔드 버튼(118b, 160b)을 사용자가 직접 눌러 상기 스테이지(113)의 가장자리에 위치한 제 2 클램프(112b)를 제 1 클램프(112a) 방향으로 이동시킨다.

이때, 상기 제 1, 제 2 클램프(112a, 112b) 사이에 위치한 카세트(150)는 상기 제 2 클램프(112b)의 이동에 의해 상기 제 2 클램프(112b)로 밀려들어가면서, 상기 제 1, 제 2 클램프(112a, 112b) 사이에 밀착되어 고정된다.

여기서, 상기 각 인풋 버튼(118a, 1601)의 노란불은 꺼지고 상기 인풋 엔드 버튼(118b, 160b)에 노란불이 들어온다.

이이서, 오퍼레이팅부(141)의 입력부를 통해 상기 카세트(150)로부터 얼마만큼의 수량의 기판(180)을 검사할 것인지를 입력하고, 상기 입력된 정보를 검사장비(131), 로봇암(121) 및 카세트 포트(111)에 각각 송신한다.

일반적으로, 상기 카세트(150)에는 다수개의 기판(180)이 놓여지는 다수개의 슬롯이 형성되어 있으며, 상기 다수개의 슬롯에는 약 25매(l lot) 정도의 기판(180)이 수납된다.

이후, 상기 로봇암(121)은 상기 오퍼레이팅부(141)의 명령을 받아 제 1 암을 사용하여 상기 카세트(150)로부터 하나의 기판(180)을 취부하여 상기 검사장비(131)에 전달하며, 이에 따라 상기 기판(180)은 상기 검사장비(131)의 스테이지(133)상에 안착 및 고정된다.

이때, 상기 로봇암(121)의 제 2 암은 이후 검사할 기판(180)을 취부한 상태로 대기하게 된다.

다음으로, 사용자는 상기 검사장비(131)의 스테이지(133)의 상부에 구비된 광학부(142)의 렌즈를 통해 상기 스테이지(133)상에 안착 및 고정된 기판(180)에 형성된 각 패턴을 관찰하게 된다.

실제로, 사용자는 상기 광학부(142)의 렌즈에 보여지는 기판(180)의 각 패턴에 대한 영상을 상기 오퍼레이팅부(141)의 모니터를 통해서 관찰하게 된다.

이때, 상기 검사장비(131)의 스테이지(133)를 X축 및 Y축 방향으로 이동시켜 상기 기판(180)의 모든 부분을 관찰할 수 있으므로, 상기 기판(180)의 모든 부분에서의 불량여부를 확인할 수 있다.

여기서, 상기 검사장비(131)의 스테이지(133)의 이동에 대한 제어는 상기 오퍼레이팅부(141)를 통해서 이루어진다.

이와 같이 한 장의 기판(180)에 대한 검사가 종료되면, 상기 로봇암(121)은 상기 오퍼레이팅부(141)로부터 명령을 받아 상기 검사가 종료된 기판(180)을 제 1 로봇암(121)으로 취부하여 상기 카세트(150)에 수납한다.

이때, 상기 검사가 종료된 기판(180)은 상기 기판(180)이 위치했던 슬롯에 삽입된다.

이어서, 다음에 검사할 기판(180)을 취부하고 있던 제 2 암이 상기 기판(180)을 상기 검사장비(131)의 스테이지(133)상에 전달한다.

이와 같은 공정을 반복하여, 이전에 상기 오퍼레이팅부(141)를 통해 입력된 수량만큼의 기판(180)을 모두 검사하게 되면, 상기 오퍼레이팅부(141)는 상기 기판(180)에 대한 검사가 종료되었다는 제어신호를 상기 검사장비(131), 로봇암(121) 및 카세트 포트(111)로 송신한다.

그러면, 상기 카세트 포트(111)에 구비된 제 1, 제 2 인터페이스 보드(B1, B1)의 각 인풋 엔드 버튼(118b, 160b)의 불이 꺼지면서 각 아웃풋 버튼(118c, 160c)에 불이 들어오게 되면서, 상기 카세트(150)의 기판(150)에 대한 검사작업이 종료되었다는 것을 사용자에게 알려준다.

이때, 사용자는 상기 제 1 또는 제 2 인터페이스 보드(B1, B2)의 아웃풋 엔드 버튼(118d, 160d)을 직접 눌러 상기 카세트 포트(111)에 구비된 스테이지(113)의 제 2 클램프(112b)를 상기 제 1 클램프(112a)로부터 이격되도록 이동시킨다.

그러면, 상기 카세트 포트(111)의 스테이지(113)에 안착되있던 검사가 종료된 기판(180)이 수납된 카세트(150)는 상기 제 1, 제 2 클램프(112a, 112b)로부터 분리된다.

이어서, 상기 검사가 종료된 기판(180)이 수납된 카세트(150)는 AGV를 통해 스토커(도시되지 않음)와 같은 카세트(150) 저장고로 옮겨지고, 검사하고자 하는 또 다른 다수개의 기판(180)이 수납된 또 다른 카세트(150)가 상기 AGV를 통해 상기 카세트 포트(111)로 전달된다.

이와 같은 공정을 반복하여, 다수개의 카세트(150)에 담긴 다수개의 기판(180)에 대한 불량을 검사하게 된다.

이와 같이 사용자는 원거리까지 이동 가능한 제 2 인터페이스 보드(B2)를 상기 오퍼레이팅부(141)에 근접하도록 설치하여 상기 카세트 포트(111)까지 원거리를 왕복할 필요없이, 상기 카세트 포트(111)의 공정 진행과정 및 상기 제 2 클램프(112b)의 동작에 대한 제어를 한 곳에서 수행할 수 있으므로, 이와 같은 상기 제 2 인터페이스 보드(B2)를 통해 사용자의 편의 및 공정 수율을 증대시킬 수 있다.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

이상에서 설명한 본 발명에 따른 리뷰 스테이션에는 다음과 같은 효과가 있다.

본 발명에 따른 리뷰 스테이션은 원거리에서 상기 카세트 포트에 대한 제어를 할 수 있는 제 2 인터페이스 보드가 구비되어 있다.

따라서, 상기 제 2 인터페이스 보드를 사용자의 현 위치에 근접하도록 설치하여 상기 카세트 포트까지 원거리를 왕복할 필요없이, 상기 카세트 포트의 공정 진행과정 및 상기 제 2 클램프의 동작에 대한 제어를 한 곳에서 수행할 수 있으므로, 사용자의 편의 및 공정 수율을 증대시킬 수 있다.

Claims

다수개의 액정표시장치용 기판이 담긴 카세트가 놓여져 안착되는 카세트 포트와, 상기 카세트에 담긴 기판을 검사하기 위한 검사장비를 포함하여 구성되는 리뷰스테이션에 있어서,

상기 카세트 포트가,

몸체와;

상기 몸체상에 구비되어 상기 카세트가 안착 및 고정되는 스테이지와;

상기 스테이지의 가장자리에 형성되어 상기 카세트를 상기 스테이지에 고정하기 위한 제 1, 제 2 클램프와;

상기 몸체의 일측에 구비되어 상기 제 2 클램프를 작동시키기 위한 버튼 및 다른 기능을 수행하기 위한 다수개의 버튼이 설치된 제 1 인터페이스 보드와;

상기 몸체로부터 배선을 통하여 연장되어 상기 제 2 클램프를 원거리에서 작동시키기 위한 버튼 및 다른 기능을 수행하기 위한 다수개의 버튼이 설치된 제 2 인터페이스 보드를 포함하며;

상기 제 2 인터페이스 보드가 상기 검사장비에 근접하여 위치한 것을 특징으로 하는 리뷰 스테이션.
제 1 항에 있어서,

상기 제 2 인터페이스 보드는 상기 제 1 인터페이스 보드로부터 배선을 통해 연장되는 것을 특징으로 하는 리뷰 스테이션.
제 1 항에 있어서,

상기 스테이지의 상면에 구비되어 상기 카세트가 상기 스테이지상에 놓이는 것을 감지하여 센싱신호를 생성하고, 상기 센싱신호를 상기 제 1, 제 2 인터페이스 보드로 출력하기 위한 센서부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 리뷰 스테이션.
제 1 항에 있어서,

상기 제 1 클램프는 상기 스테이지의 일측 가장자리에 고정되어 형성되며, 상기 제 2 클램프는 상기 제 1 클램프와 대각선 방향으로 마주보도록 상기 스테이지의 타측 가장자리에 이동 가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는 리뷰 스테이션.
제 3 항에 있어서,

상기 제 1, 제 2 인터페이스 보드는, 상기 센서부로부터 출력된 센싱신호를 입력받아 상기 카세트가 상기 스테이지에 안착되었음을 알려주는 인풋 버튼과;

상기 제 2 클램프를 상기 제 1 클램프 방향으로 이동하도록 작동시키기 위한 인풋 엔드 버튼과;

상기 스테이지에 안착된 카세트의 기판에 대한 검사가 끝났음을 알려주는 아웃풋 버튼과;

상기 제 2 클램프를 상기 제 1 클램프로부터 이격되도록 작동시키기 위한 아웃풋 엔드 버튼을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 리뷰 스테이션.