KR20040089573A - 스위치 및 이를 포함하는 장치 - Google Patents

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KR20040089573A
KR20040089573A KR1020040025205A KR20040025205A KR20040089573A KR 20040089573 A KR20040089573 A KR 20040089573A KR 1020040025205 A KR1020040025205 A KR 1020040025205A KR 20040025205 A KR20040025205 A KR 20040025205A KR 20040089573 A KR20040089573 A KR 20040089573A
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웡마빈글렌
보트카줄리우스케이
도브루이스알
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애질런트 테크놀로지스, 인크.
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Abstract

스위치는 다수의 공동의 적어도 일부분을 정의하는 채널 플레이트를 구비한다. 스위칭 유체는 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동 내에 수용되고, 이 스위칭 유체에 인가되는 함에 응답하여 적어도 제 1 및 제 2 상태 사이에서 이동가능하다. 다수의 평면의 신호 도전체는 스위치의 에지에서부터 스위칭 유체를 수용하는 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동 내로 연장하고, 스위칭 유체와 습식 접촉을 한다. 평면의 신호 도전체의 경로에서의 코너는 90°보다 크게, 약 135°로 또는 135°와 동일하게 또는 더 크게 제한될 수 있다. 일 실시예에서, 신호 경로 코너는 그렇게 제한되더라도, 평면의 신호 도전체는 스위치의 에지까지 연장하지 않는다. 또 다른 실시예에서, 스위칭 유체를 수용하는 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동은 굴곡의 스위칭 유체 채널에 의해 적어도 부분적으로 정의된다.

Description

스위치 및 이를 포함하는 장치{FORMATION OF SIGNAL PATHS TO INCREASE MAXIMUM SIGNAL-CARRYING FREQUENCY OF A FLUID-BASED SWITCH}
본 출원은, "Bent Switching Fluid Cavity"(본 명세서에 참조로써 합체됨)라는 제목으로 본 출원과 동일한 날짜에 출원된, 웡 마빈 글렌 등에 의한 출원 번호가 제 10/414,343 호이고 도켓 번호가 10030547-1인 미국 특허 출원과 관련이 있다.
액체 금속 마이크로 스위치(liquid metal micro switches; LIMMS)와 같은 유체 기반 스위치는 빠르고, 분명한 스위칭이 요구되는 환경에서 유용한 것으로 판명되었다. 이들 스위치의 최대 신호 전달 주파수는, 1) 스위치의 스위칭 유체로 하여금 원하는 상태를 취하도록 야기하는 임의의 신호를 전파하는데 요구되는 시간, 2) 스위치의 현재 상태를 통해 신호를 전파하는데 필요한 시간을 포함하는 다수의 요소에 의존한다. 이들 두 개의 시간 중 하나 또는 모두를 감소시키는 임의의 구현이 바람직하다.
본 발명의 하나의 관점은 스위치로 구현된다. 이 스위치는 다수의 공동(cavities)의 적어도 일부분을 정의하는 채널 플레이트를 포함한다. 스위칭 유체는 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동 내에 수용되고, 스위칭 유체에 인가된 힘(force)에 응답하여 적어도 제 1 및 제 2 스위치 상태 사이에서 이동가능하다. 다수의 평면 신호 도전체(a plurality of planar signal conductor)는 스위치의 에지에서부터 스위칭 유체를 수용하는 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동 내로 연장한다. 평면 신호 도전체는 스위칭 유체와 습식 접촉(wetted contact)을 한다.
본 발명의 또 다른 관점은 기판 및 스위치를 포함하는 장치로 구현된다. 이 스위치는 기판 상에 장착되고 기판 상의 하나 또는 그 보다 큰 수의 도전체 소자와 전기적으로 결합된다. 이 스위치는 앞 단락에서 설명한 바와 같이 구성된다.
본 발명의 또 다른 관점은 또한 스위치로 구현된다. 이 스위치는 다수의 공동을 적어도 일부분을 정의하는 채널 플레이트를 포함한다. 스위칭 유체는 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동 내에 수용되고, 이 스위칭 유체에 인가되는 힘에 응답하여 적어도 제 1 스위치 및 제 2 스위치 상태 사이에서 이동가능하다. 스위치는 다수의 표면 콘택트 및 이 다수의 표면 콘택트 중 대응하는 표면 콘택트에 전기적으로 결합하는 다수의 도전성 비아를 포함한다. 다수의 평면의 신호 도전체는 도전성 비아들 중 대응 도전성 비아에서부터 스위칭 유체를 수용하는 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동 내로 연장한다. 평면의 신호 도전체는 스위칭 유체와 습식 접촉을 한다. 평면의 신호 도전체들 중 하나에 의해 취해지는 경로는 코너를 포함하고, 평면의 신호 도전체들 중 임의의 도전체에 의해 취해지는 경로의 가장 급한 코너(the tightest corner)는 약 135°이다.
본 발명의 다른 실시예도 개시되어 있다.
도 1은 스위치에 관한 제 1 실시예의 평면도,
도 2는 도 1에 도시된 스위치 층의 입면도,
도 3은 도 1에 도시된 스위치의 채널 플레이트의 평면도,
도 4는 도 1에 도시된 스위치의 채널 플레이트 및 기판 내/상의 소자들의 대응을 도시하는 평면도,
도 5는 도 1에 도시된 스위치의 기판의 평면도,
도 6 내지 도 9는 도 1에 도시된 스위치를 기판에 결합하는 다양한 방법을 도시하는 도면,
도 10은 도 1에 도시된 스위치의 제 1 또 다른 실시예를 도시하는 평면도,
도 11은 도 1에 도시된 스위치의 제 2 또 다른 실시예를 도시하는 평면도.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
100 : 스위치 104 : 기판
202 : 금속층 204 : 절연층
300 : 공동 310 : 스위칭 유체 채널
312 : 스위칭 유체 314 : 구동 유체
400 : 가열기 저항 506 : V형 트레이스
본 발명의 예시적인 실시예는 도면에 도시되어 있다.
도 1 내지 도 5는 스위치(100)의 제 1 실시예를 도시한다. 이 스위치는 다수의 공동(300,302,304,306,308)(도 3)의 적어도 일부분을 정의하는 채널 플레이트(102)를 포함한다. 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동은 채널 플레이트(102)에서 스위칭 유체 채널(310)에 의해 적어도 부분적으로 정의될 수 있다. 공동(300 내지 308)의 나머지 부분은 비록 있더라 하더라도, 채널 플레이트(102)와 짝을 이루며 그에 봉인되는 기판(104)에 의해 정의될 수 있다. 도 2를 참조하라.
채널 플레이트(102) 및 기판(104)은 접착제, 가스킷, 나사(압축력을 제공함) 및/또는 다른 수단을 통해 서로 봉인될 수 있다. 하나의 적절한 접착제는 CytopTM이다(일본 토쿄의 아사히 글래스사에 의해 제조됨). CytopTM은 애플리케이션에 따라 두 개의 상이한 접착 촉진제 패키지가 제공된다. 채널 플레이트(102)가 무기 조성물을 갖는 경우, CytopTM의 무기 접착 촉진제가 사용될 수 있다. 유사하게, 채널 플레이트(102)가 유기 조성물을 갖는 경우, CytopTM의 유기 접착제가 사용될 수 있다.
도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 스위칭 유체(312)(예로, 수은과 같은 도전성 액체 금속)는 스위칭 유체 채널(310)에 의해 정의된 공동(304) 내에 수용된다. 스위칭 유체(312)는 스위칭 유체(312)에 인가되는 힘에 응답하여 적어도 제 1 및 제 2 스위치 상태 사이에서 이동가능하다. 도 3은 제 1 상태의 스위칭 유체(312)를 도시한다. 이 제 1 상태에서, 공동(302)의 전면에 있는 스위칭 유체(312)에는 갭이 존재한다. 이 갭은 공동(300) 내에 수용된 구동 유체(314)(예로, 불활성 기체 또는 액체)에 의해 스위칭 유체(312)에 인가된 힘의 결과로서 형성된다. 이 제 1 상태에서, 스위칭 유체(312)는 콘택트 패드(106 및 108)(도 1 및 도 4)를 적시고 그와 연결된다. 스위칭 유체(312)는 구동 유체(314)에 의해 그에 인가되는 힘을 감소시키고, 구동 유체(316)에 의해 그에 인가되는 힘을 증가시킴으로써 제 2 상태로 놓여질 수 있다. 이 제 2 상태에서, 공동(306)의 전면에 있는 스위칭 유체(312)에 갭이 형성되고, 도 3에 도시된 갭은 닫히게 된다. 이 제 2 상태에서, 스위칭 유체(312)는 콘택트 패드(108 및 110)(도 1 및 도 4)를 적시고 그와 연결된다.
도 1 및 도 5에 도시되어 있는 바와 같이, 다수의 평면의 신호 도전체(112,114,116)는 스위치(100)의 에지에서부터 스위칭 유체 채널(310)에 의해 정의된 공동(304) 내로 연장한다. 스위치(100)가 어셈블링되는 경우, 이들도전체(112 내지 116)는 스위칭 유체(312)와 습식 접촉을 한다. 스위칭 유체(312)가 적시는 평면의 신호 도전체(112 내지 116)의 종단(106 내지 110)은 (예를 들어, 금 또는 구리로) 도금될 수 있으나, 꼭 그럴 필요는 없다. 스위치(100)의 에지로 연장하는 평면의 신호 도전체(112 내지 116)는 정확히 스위치(100)의 에지까지 연장될 수 있거나, 또는 스위치(100)의 정확한 에지로부터 짧은 간격을 두고 연장될 수 있다(도 1에 도시되어 있음). 본 명세서의 설명을 위해, 도전체(112 내지 116)는 위의 어느 경우에나 스위치의 "에지"까지 연장하는 것으로 고려된다.
이상적으로, 스위치(100)는 도 6에 도시되어 있는 바와 같이 기판(600)(예로, 인쇄 회로 보드)에 장착되어, 스위치의 평면의 신호 도전체(112 내지 116)는 전기적으로 결합될 필요가 있는 기판(600) 상의 도전성 소자와 공통평면에 존재한다. 이러한 방식에서, 공통면의 와이어본드(coplanar wirebonds)(602,604)(예로, 리본 와이어본드)는 스위치의 평면의 신호 도전체(112 내지 116)를 기판의 도전성 소자에 결합하는데 사용될 수 있다.
신호 전파를 위해 평면의 신호 도전체(112 내지 116)를 사용하면 비아를 통한 신호의 라우팅은 불필요하게 되어, 신호가 이전에 통과해야 했던 네 개의 직각(즉, 땜납 볼(solder ball) 또는 다른 표면 콘택트에서 스위치 입력 비아(120)가 기판에 결합되는 제 1 직각, 스위치 입력 비아(120)가 내부 스위치 회로(114)에 결합되는 제 2 직각, 내부 스위치 회로(116)가 스위치 출력 비아(122)에 결합되는 제 3 직각 및 스위치 출력 비아(122)가 기판에 결합되는 제 4 직각)까지 불필요하게 된다. 이들 직각의 불필요는 원치 않는 신호 반사의 원인을 제거하고, 원치 않는 신호 반사의 감소는 그러한 영향을 받은 신호 경로를 통해 신호가 보다 신속히 전파하게 하는 경향이 있다.
모든 환경이 스위치(100)의 에지 결합부에 대해 반드시 도전적이지 아닐 수 있더라도, 스위치(100)는 평면의 신호 도전체(112 내지 116)를 땜납 볼(예를 들어 도 8의 납땜 볼(800)을 참조)과 같은 다수의 표면 콘택트에 전기적으로 결합하는 다수의 도전성 비아(118,120,122)가 또한 제공될 수 있다. 이와 달리, 비아(118 내지 122)는 평면의 신호 도전체(112 내지 116)를 다른 유형의 표면 콘택트(예로, 핀, 또는 LGA(land grid array)의 패드)에 결합할 수 있다.
신호가 스위치(100)를 통해 전파될 수 있는 속도를 더 증가시키기 위해, 다수의 평면 접지 도전체(124,126,128)는 평면의 신호 도전체(112 내지 116)(도 1 및 도 5) 각각의 한 측면에 인접하게 형성될 수 있다. 평면의 신호 및 접지 도전체(112-116, 124-128)는 신호 라우팅을 위한 평면의 동축 구조체를 형성하고, 1) 보다 나은 임피던스 매칭을 제공하고, 2) 보다 높은 주파수에서의 신호 유도를 감소시킨다.
도 1 및 도 5에 도시되어 있는 바와 같이, 신호 접지 도전체는 신호 도전체(112 내지 116) 중 하나 이상의 측면과 경계를 이룰 수 있다(예로, 접지 도전체(124)는 신호 도전체(112 및 116)의 측면과 경계를 이룰 수 있다). 또한, 접지 도전체(124 내지 128)는 균일한 그리고 보다 일관된 접지를 달성하기 위해 스위치(100) 내에서 서로 결합될 수 있다. 기판(104)은 교번적인 금속 및 절연 층(200 내지 206)(도 2)을 포함하는 경우, 접지 도전체(124 내지 128)는 제 1 금속층(126)에 형성될 수 있고, 절연 층(204)에 형성된 다수의 도전성 비아(500,502,504)에 의해 제 2 금속 층(202)의 V형 트레이스(506)에 결합될 수 있다.
평면의 신호 도전체(112 내지 116)와 유사하게, 평면의 접지 도전체(124 내지 128)는 스위치(100)의 에지까지 연장되어 그들은 와이어본드를 통해 인쇄 회로 보드 또는 다른 기판에 결합될 수 있다. 그러나, 다시 모든 환경이 스위치(100)의 에지 결합부에 대해 반드시 도전적이지 아닐 수 있더라도, 접지 도전체(124 내지 128)는 또한 접지 도전체(124 내지 128)를 스위치(100)의 다수의 표면 콘택트에 결합하는 다수의 도전성 비아(508)에 결합될 수 있다.
이전의 설명에서, 스위칭 유체(312)가 공동(300,308) 내에 수용된 구동 유체(314)에 의해 그에 인가된 힘에 의해 하나의 상태에서 또 다른 상태로 이동될 수 있다는 것이 개시되었다. 그러나, 구동 유체(314,316)가 스위칭 유체(312)에 대해 어떻게 힘(또는 힘들)을 발휘하는지에 대해서도 개시되어야 한다. 구동 유체가 힘을 발휘하도록 하는 하나의 방법은 구동 유체(314)를 수용하는 공동(300) 내에 노출된 가열기 저항(400)에 의해 구동 유체(314)를 가열하는 것이다. 구동 유체(314)가 가열됨에 따라, 그것은 팽창하려는 경향이 있고, 따라서 스위칭 유체(312)에 대해 힘을 발휘한다. 유사한 방식으로, 구동 유체(316)는 가열기 저항(402)에 의해 가열될 수 있다. 그러므로, 구동 유체(314) 또는 구동 유체(316)를 교대로 가열함으로써, 교번적인 힘이 스위칭 유체(312)에 인가되어, 그것이 두 개의 상이한 스위칭 상태 중 하나를 취하도록 야기한다. 가열기 저항에 의해 유체기반 스위치를 활성화하는 방법에 대한 부가적인 세부 사항은 "Electrical Contact Breaker Switch, Integrated Electrical Contact Breaker Switch, and Electrical Contact Switching Method"이라는 제목의, Kondoh 등의 미국 특허 #6,323,447 호에 개시되어 있고, 이는 본 명세서에서 참조로써 합체된다.
구동 유체(314)가 힘을 발휘하도록 하는 또 다른 방법은 구동 유체(314)를 수용하는 공동(300,302)의 크기를 감소시키는 것이다. 그러므로 도 10은 스위치(100)의 또 다른 실시예를 도시하는데, 가열기 저항(400,402)은, 전압이 인가되는 경우 공동(302,306) 내로 편향되는 다수의 압전 소자(1000,1002,1004,1006)로 교체된다. 공동(302) 내에 노출된 압전 소자(1000,1003) 및 공동(306) 내에 노출된 압전 소자(1004,1006)에 전압이 교대로 인가되는 경우, 스위칭 유체(312)에 교대로 힘이 인가되어, 그것이 두 개의 상이한 스위칭 상태 중 하나를 취하도록 야기할 수 있다. 압전 펌핑에 의해 유체 기반 스위치를 구동시키는 방법에 관한 부가적인 세부사항은 "A Piezoelectrically Actuated Liquid Metal Switch"라는 제목으로 웡 마빈 글렌에 의해 2002년 5월 2일에 출원된 미국 특허 출원 제 10/137,691 호에 개시되어 있으며, 이는 본 명세서에서 참조로써 합체된다.
위에서 참조한 특허 및 특허 출원은 이중 푸시/풀 구동 유체 공동(dual push/pull actuating fluid cavities)에 의한 스위칭 유체의 모멘트를 개시하지만, 상당히 충분한 푸시/풀 압력 변화가 공동으로부터 스위칭 유체에 부가될 수 있으면 단일 푸시/풀 구동 유체 공동으로도 충분하다.
앞서 설명한 가열기 저항(400,402) 또는 압전 소자(1000 내지 1006)의 보다빠른 순환을 야기하기 위해, 각각은 스위치의 에지까지 연장하는 한 쌍의 평면의 도전체(130/126,132/128) 사이에 결합될 수 있다. 도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 이들 평면의 도전체(126,128)의 일부는 평면의 신호 도전체(112 내지 116)에 인접하게 연장하는 평면의 접지 도전체일 수 있다. 필요한 경우, 이들 도전체(130,132)를 스위치(100) 상의 표면 콘택트에 결합하기 위해 도전성 비아(510,512)가 제공될 수 있다.
도 1,3 및 도 4에 도시되어 있는 스위칭 유체 채널(310)은 굴곡부(bend)를 포함하지만, 이 채널은 그럴 필요는 없다. 직선 스위칭 채널(1102)을 포함하는 스위치(1100)는 도 11에 도시되어 있다(도 11에 도시되어 있는 다른 소자들은 도 1에 도시되어 있는 소자에 대응하고, 도 1에 사용된 참조 번호에 프라임 기호(')를 사용하여, 즉 참조번호(102'-132', 300', 308', 400'&402')로 참조된다. 굴곡의 스위칭 유체 채널(310)이 사용되는 경우, 하나의 평면의 신호 도전체(114)는 굴곡부"에서" 스위칭 유체 채널(310)에 의해 정의된 공동(310) 내에 존재할 수 있고, 평면의 신호 도전체(112,116)의 부가적인 도전체는 굴곡부의 "어느 한 측면 상의" 공동(310) 내에 존재할 수 있다. 굴곡의 스위칭 유체 채널(310)에 의해 제공되는 장점은 그 내부에 수용되는 스위칭 유체(312)의 내부 또는 외부로 전파하는 신호가 직각 방향전환을 취할 필요가 없다는 것이다. 따라서, 이상적인 접속 환경에서, 도 1 내지 도 5에 예시된 스위치(100)는 신호 경로에 있어서의 모든 직각 방향전환을 불필요하게 하여, 신호 반사를 감소시키고, 신호가 스위치를 통해 전파할 수 있는 속도를 증가시키며, 궁극적으로 스위치(100)의 최대 신호 전달 주파수를 증가시키는데 사용될 수 있다.
신호 루트를 스위치(100)에 결합하는 것을 보다 쉽게 하기 위해, 신호 입력을 스위치의 한 측면 상에 그룹핑하고 신호 출력은 스위치의 또 다른 측면 상에 그룹핑하는 것이 바람직할 수 있다. 이러한 것이 이루어진 경우, 임의의 평면의 신호 도전체의 경로에 의해 취하여진 가장 급한 코너를 90°보다 크게, 또는 보다 바람직하게 약 135°로, 보다 더 바람직하게는 135°와 동일 또는 더 크게 제한하는 것(즉, 도전체 코너에서의 신호 반사의 수를 감소시키는 것)이 바람직하다.
예를 들어, 도 1 내지 도 5에 도시된 스위치(100)는 도 6 내지 도 9 중 임의의 도면에 도시된 보다 큰 장치의 기판(예로, 인쇄 회로 보드)에 결합될 수 있다.
도 6에서, 스위치(100)는 접착제, 땜납, 소켓 또는 다른 수단에 의해 기판(600)에 기계적으로 결합된다. 그러나, 스위치(100)와 기판(600) 사이의 모든 전기적 접속은, 1) 스위치(100)의 평면의 신호 도전체(112 내지 116), 2) 기판(600) 상의 도전성 소자와 공통면에 존재하는 와이어본드(602,604)(예로, 리본 와이어본드)에 의해 이루어진다.
도 7에서, 스위치(100)는 접착제, 땜납, 소켓 또는 다른 수단에 의해 기판(700)에 기계적으로 결합되나, 스위치(100)와 기판(700) 상의 도전성 소자(예로, 기판 상의 트레이스) 사이의 전기적 접속은 와이어본드(예로, 리본 와이어본드)에 의해 이루어진다.
도 6 및 도 7에 도시된 구성에서, 도 1 및 도 5에 도시된 도전성 비아(118-122, 508-512)는 신호 인덕턴스를 최소로 유지하기 위해 제거될 수 있고, 따라서스위치(100)의 최대 신호 전달 주파수를 증가시킬 수 있다는 것을 유의해야 한다.
도 8에서, 스위치(100)는 땜납 볼(예로, BGA(ball grid array))에 의해 기판(812)에 기계적으로 결합되나, 스위치(100)와 기판(812) 상의 도전성 소자 사이의 전기적 접속은 땜납 볼(800-806)과 와이어본드(808,810)의 결합물에 의해 이루어진다. 바람직하게, 적어도 평면의 신호 도전체(112-116)는 와이어본드(808,810)에 의해 기판(812) 상의 도전성 소자에 결합된다. 그러나, 가열기 저항(400,402)(또는 도 10에 도시된 압전 소자(1000-1006) 및/또는 평면의 접지 도전체(124-128)에 결합된 평면의 도전체(126-132)는 땜납 볼(800-806)을 통해 기판(812) 상의 도전성 소자에 결합될 수 있다.
도 9에서, 스위치(100)는 표면 콘택트(예로, 땜납 볼(902, 904, 906, 908)를 통해 기판(900) 상에 기계적 및 전기적으로 결합된다. 이러한 구성에서, 평면의 도전체(112-116, 124-132)는 스위치(100)의 에지까지 연장할 필요는 없다. 그러나, 신호가 땜납 볼(902-908) 및 도전성 비아(118-122, 508-512)에서 직각 방향전환을 통해 스위치(100) 내로 전파할 필요가 있게될 지라도, 스위치(100)는 예각의 코너(acute angle corners)를 갖는 신호 경로 및/또는 굴곡의 스위칭 유체 채널(310)로부터 여전히 이점을 얻을 수 있다.
도 6 및 도 7에 도시된 스위칭 장착 구성은 보다 높은 신호 전달 주파수가 필요한 애플리케이션에 적절하게 이용될 것이고, 도 8 및 도 9에 도시된 스위칭 장착 구성은 다소 보다 적당한 신호 전달 주파수로도 충분한 애플리케이션에 적절히 사용될 것이다.
위의 설명은 본 명세서에서 도시하고 설명한 스위치(100,1100)의 문맥에서 설명되었지만, 본 발명의 개념의 적용은 본 명세서에서 도시된 유체 기반 스위치에 제한되지 않는다.
본 발명의 예시적이고 바람직한 실시에가 본 명세서에서 상세히 설명되었지만, 본 발명의 개념은 이와 달리 다양하게 구현되고 이용될 수 있고, 첨부된 청구항은 종래 기술에서 제한하는 것을 제외한 이러한 다양한 변형을 포함하도록 의도된다는 것을 이해될 것이다.
본 발명에 따르면, 스위칭에 있어서 보다 높은 신호 전달 주파수 및 적당한 신호 전달 주파수를 달성할 수 있다.

Claims (25)

  1. a) 다수의 공동의 적어도 일부분(at least a portion of a number of cavities)을 정의하는 채널 플레이트와,
    b) 스위칭 유체에 인가되는 힘에 응답하여 적어도 제 1 및 제 2 스위치 상태 사이에서 이동가능한, 상기 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동 내에 수용된 스위칭 유체와,
    c) 스위치의 에지에서 상기 스위칭 유체를 수용하는 상기 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동 내로 연장하고, 상기 스위칭 유체와 습식 접촉(wetted contact)을 하는 다수의 평면의 신호 도전체
    를 포함하는 스위치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    a) 상기 스위칭 유체를 수용하는 상기 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동은 상기 채널 플레이트의 굴곡의 스위칭 유체 채널에 의해 적어도 부분적으로 정의되고,
    b) 상기 평면의 신호 도전체들 중 하나는 굴곡부(bend)에서 상기 굴곡의 스위칭 유체 채널에 의해 정의된 상기 공동 내에 존재하고,
    c) 상기 평면의 신호 도전체의 다른 것들은 상기 굴곡부의 어느 한 측면 상에서 상기 굴곡의 스위칭 유체 채널에 의해 정의된 상기 공동 내에 존재하는
    스위치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 임의의 평면의 신호 도전체에 의해 취하여진 경로의 가장 급한 코너(the tightest corner)는 약 135°이되, 상기 스위치는 각 평면의 신호 도전체의 어느 한 측면 상에 인접한 평면의 접지 도전체를 더 포함하는 스위치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 평면의 신호 도전체 중 하나에 의해 취하여진 경로는 코너를 포함하고, 상기 임의의 평면의 신호 도전체에 의해 취하여진 경로의 가장 급한 코너는 90°보다 큰 스위치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 임의의 평면의 신호 도전체에 의해 취하여진 경로의 상기 가장 급한 코너는 약 135°인 스위치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 임의의 평면의 신호 도전체에 의해 취하여진 경로의 상기 가장 급한 코너는 약 135°와 동일 또는 더 큰 스위치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    평면의 신호 도전체 각각의 어느 한 측면 상에 인접한 평면의 접지 도전체를 더 포함하는 스위치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    a) 다수의 표면 콘택트와,
    b) 상기 평면의 신호 도전체를 상기 표면 콘택트에 전기적으로 결합하는 다수의 도전성 비아
    를 더 포함하는 스위치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    a) 상기 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동 내에 수용된, 상기 스위칭 유체에상기 힘을 인가하는 구동 유체와,
    b) 상기 구동 유체를 수용하는 공동 내에 노출된 하나 또는 그 보다 큰 수의 가열기 저항과,
    c) 상기 스위치의 에지에서 각 가열기 저항기로 연장하는 한 쌍의 평면의 도전체
    를 더 포함하는 스위치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    각 가열기 저항에 결합된 상기 평면의 도전체 중 하나는 상기 평면의 신호 도전체 중 하나에 인접하게 진행하는 평면의 접지 도전체인 스위치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    a) 상기 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동 내에 수용된, 상기 스위칭 유체에 상기 힘을 인가하는 구동 유체와,
    b) 상기 구동 유체를 수용하는 공동 내에 노출된 하나 또는 그 보다 큰 수의 압전 소자와,
    c) 상기 스위치의 에지에서 각 압전 소자로 연장하는 한 쌍의 평면의 도전체
    를 더 포함하는 스위치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    각 압전 소자에 결합된 상기 평면의 도전체 중 하나는 상기 평면의 신호 도전체 중 하나에 인접하게 진행하는 평면의 접지 도전체인 스위치.
  13. a) 다수의 공동의 적어도 일부분을 정의하는 채널 플레이트와,
    b) 스위칭 유체에 인가되는 힘에 응답하여 적어도 제 1 및 제 2 스위치 상태 사이에서 이동가능한, 상기 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동 내에 수용된 스위칭 유체와,
    c) 다수의 표면 콘택트와,
    d) 상기 다수의 표면 콘택트 중 대응하는 표면 콘택트에 전기적으로 결합된 다수의 도전성 비아와,
    e) 상기 도전성 비아의 대응하는 표면 콘택트에서부터 상기 스위칭 유체를 수용하는 상기 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동 내로 연장하고, 상기 스위칭 유체와 습식 접촉을 하되, 상기 평면의 신호 도전체 중 하나에 의해 취하여진 경로는 코너를 포함하고, 상기 임의의 평면의 신호 도전체에 의해 취하여진 경로의 가장 급한 코너는 약 135°인 다수의 평면의 신호 도전체
    를 포함하는 스위치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    a) 상기 스위칭 유체를 수용하는 상기 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동은 상기 채널 플레이트에서 굴곡의 스위칭 유체 채널에 의해 적어도 부분적으로 정의되고,
    b) 상기 평면의 신호 도전체 중 하나는 굴곡부에서 상기 굴곡의 스위칭 유체 채널에 의해 정의된 상기 공동 내에 존재하고,
    c) 상기 평면의 신호 도전체 중 다른 것들은 상기 굴곡부의 어느 한 측면 상에서 상기 굴곡의 스위칭 유체 채널에 의해 정의된 상기 공동 내에 존재하는
    스위치.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 임의의 평면의 신호 도전체에 의해 취하여진 경로의 가장 급한 코너는 135°와 동일하거나 또는 더 큰 스위치.
  16. 제 13 항에 있어서,
    각 평면의 신호 도전체의 어느 한 측면 상에 인접한 평면의 접지 도전체를 더 포함하는 스위치.
  17. a) 기판과,
    b) 상기 기판 상에 장착되고 상기 기판 상의 하나 또는 그 보다 큰 수의 도전성 소자에 전기적으로 결합된 스위치
    를 포함하되, 상기 스위치는
    i) 다수의 공동의 적어도 일부분을 정의하는 채널 플레이트와,
    ii) 스위칭 유체에 인가되는 힘에 응답하여 적어도 제 1 및 제 2 스위치 상태 사이에서 이동가능한, 상기 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동 내에 수용된 스위칭 유체와,
    iii) 상기 스위치의 에지에서부터 상기 스위칭 유체를 수용하는 상기 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동 내로 연장하고, 상기 스위칭 유체와 습식 접촉을 하는 다수의 평면의 신호 도전체
    를 포함하는
    장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 다수의 평면의 신호 도전체를 상기 기판 상의 도전성 소자에 결합하는 와이어본드(wirebonds)를 더 포함하는 장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 스위치는,
    a) 상기 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동 내에 수용된, 상기 스위칭 유체에 상기 힘을 인가하는 구동 유체와,
    b) 상기 구동 유체를 수용하는 공동 내에 노출된 하나 또는 그 보다 큰 수의 가열기 저항과,
    c) 다수의 도전성 비아와,
    d) 각 가열기 저항과 상기 도전성 비아 사이에 연장하는 한 쌍의 평면의 도전체
    를 더 포함하되,
    상기 장치는 상기 도전성 비아를 상기 기판의 도전성 소자에 결합하는 땜납 볼을 더 포함하는
    장치.
  20. 제 18 항에 있어서,
    상기 스위치는,
    a) 상기 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동 내에 수용된, 상기 스위칭 유체에 상기 힘을 인가하는 구동 유체와,
    b) 상기 구동 유체를 수용하는 공동 내에 노출된 하나 또는 그 보다 큰 수의 가열기 저항과,
    c) 상기 스위치의 에지에서부터 각 가열기 저항으로 연장하는 한 쌍의 평면의 도전체
    를 더 포함하되,
    상기 장치는 각 가열기 저항의 평면의 도전체를 상기 기판 상의 도전성 소자에 결합하는 와이어본드를 더 포함하는
    장치.
  21. 제 18 항에 있어서,
    상기 스위치는,
    a) 상기 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동 내에 수용된, 상기 스위칭 유체에 상기 힘을 인가하는 구동 유체와,
    b) 상기 구동 유체를 수용하는 공동 내에 노출된 하나 또는 그 보다 큰 수의 압전 소자와,
    c) 다수의 도전성 비아와,
    d) 각 압전 소자와 상기 도전성 비아 사이에서 연장하는 한 쌍의 평면의 도전체
    를 더 포함하되,
    상기 장치는 상기 도전성 비아를 상기 기판 상의 도전성 소자에 결합하는 땜납 볼을 더 포함하는
    장치.
  22. 제 18 항에 있어서,
    상기 스위치는,
    a) 상기 하나 또는 그 보다 큰 수의 공동 내에 수용된, 상기 스위칭 유체에 상기 힘을 인가하는 구동 유체와,
    b) 상기 구동 유체를 수용하는 공동 내에 노출된 하나 또는 그 보다 큰 수의 압전 소자와,
    c) 상기 스위치의 에지에서 각 압전 소자로 연장하는 한 쌍의 평면의 도전체
    를 더 포함하되,
    상기 장치는 각 압전 소자의 평면의 도전체를 상기 기판 상의 도전성 소자에 결합하는 와이어본드를 더 포함하는
    장치.
  23. 제 18 항에 있어서,
    상기 스위치의 상기 평면의 신호 도전체는 그들이 전기적으로 결합되는 상기기판 상의 도전성 소자와 공통면에 존재하는 장치.
  24. 제 18 항에 있어서,
    상기 스위치는 각 평면의 신호 도전체의 어느 한 측면 상에 인접한 평면의 접지 도전체를 더 포함하는 장치.
  25. 제 24 항에 있어서,
    상기 평면의 접지 도전체를 상기 기판 상의 도전성 소자에 결합하는 와이어본드를 더 포함하는 장치.
KR1020040025205A 2003-04-14 2004-04-13 스위치 및 이를 포함하는 장치 KR20040089573A (ko)

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