KR20040088899A - 원판그래스의 마크로 검사장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (6)
- 3축(X,Y,Z축) 이동 수단이 차례로 결합되어 각 축으로 이동을 하면서 상단에 설치한 검사대의 위치를 이동하면서 검사대에 놓인 검사부품을 검사하는 장치에 있어서,엑스축 이동수단(100) 위에 설치된 와이축 이동수단(200)을 이루는 와이축 구동모터(210)의 회전축(212)에 결합하여 와이축 직선 운동을 가능토록 기능하는 와이 가이드(222)를 일체로 형성하고, 호형 레일(320)을 상면에 설치한 쎄타 베이스(310)와;쎄타 베이스(310)에 설치한 쎄타 구동모터(330)의 축(332)에 일체로 형성한 웜(334)과 쎄타 회전 가능토록 기어 결합하는 웜휠(340)과;웜휠(340)을 저면 중앙에 결합하고, 모서리 저면에 상기 호형 레일(320)과 미끄럼 결합하는 쎄타 가이드(350)를 설치하고, 상면에 요잉수단(400)을 힌지 결합하는 요잉 베어링(420)을 설치하며, 웜휠(340)과 일체로 쎄타 회전하는 요잉 베이스(410)를 포함하여 구성하고;상기 요잉수단(400)은 요잉베이스(410)에 설치한 요잉모터(430)와, 이에 연동하여 직선 운동하는 요잉 구동판(440)과, 검사대(610)를 상단에서 지지하는 요잉프레임(460) 저면에 일단이 유착되고, 타단은 상기 요잉 구동판(440)에 유착된 요잉로드(450)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 원판그래스의 마크로 검사장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 요잉수단(400)을 이루는 요잉프레임(460) 양단은 상방으로 연장한 수직부(462)를 이루며, 수직부(462) 상단에 지지되는 검사대(610)는 부가한 틸팅모터(600)의 회전축에 회전 가능토록 결합되고, 틸팅모터(600)는 수직의 틸팅모터 고정판(620)에 고정되고, 틸팅모터 고정판(620)은 요잉프레임(460)의 수직부(462)에 설치한 제트축 구동모터(500)의 회전축에 연동하여 상하 이동하는 수직 이동자(510)에 결합되어 상하 이동 가능토록 구성한 것을 특징으로 하는 원판그래스의 마크로 검사장치.
- 제 2 항에 있어서, 제트축 구동모터(500)는 요잉프레임(460)의 양 수직부(462)에 각각 설치한 것을 특징으로 하는 원판그래스의 마크로 검사장치.
- 제 1 항에 있어서, 요잉로드(450)는 요잉구동판(440) 양측에 각각 설치되며, 각 요잉로드(450)의 일단은 요잉베어링(420)에서 요잉 가능한 거리를 둔 요잉 프레임(460) 저면 위치에 유착된 것을 특징으로 하는 원판그래스의 마크로 검사장치.
- 제 1 항에 있어서, 호형레일(320)은 쎄타베이스(310)의 양측에 가상 원주를 이루도록 대향 설치되며, 양 호형레일(320) 사이에 쎄타구동모터(330)의 축(332)이 위치하도록 구성한 것을 특징으로 하는 원판그래스의 마크로 검사장치.
- 제 5 항에 있어서, 호형레일(320)위를 미끄럼 이동하는 쎄타가이드(350)는 초기 호형레일(320)의 중간 위치에 안치하도록 구성한 것을 특징으로 하는 원판그래스의 마크로 검사장치.
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2003
- 2003-04-14 KR KR10-2003-0023339A patent/KR100530267B1/ko active IP Right Grant
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