KR20040088549A - Ｍｅｍｓ 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

Ｍｅｍｓ 장치 및 그 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20040088549A
KR20040088549A KR10-2004-7013279A KR20047013279A KR20040088549A KR 20040088549 A KR20040088549 A KR 20040088549A KR 20047013279 A KR20047013279 A KR 20047013279A KR 20040088549 A KR20040088549 A KR 20040088549A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
layer
elements
gap
changing
electrostatically
Prior art date
Application number
KR10-2004-7013279A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100944922B1 (ko
Inventor
추이클라렌스
마일즈마크더블유
Original Assignee
이리디즘 디스플레이 코포레이션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이리디즘 디스플레이 코포레이션 filed Critical 이리디즘 디스플레이 코포레이션
Publication of KR20040088549A publication Critical patent/KR20040088549A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100944922B1 publication Critical patent/KR100944922B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

본 발명의 일 양태는 각각 제 1 형상에 따르는 제 1 엘리먼트 (108) 들의 어레이를 제조하는 단계; 및 각각 제 2 형상에 따르는 제 2 엘리먼트 (112) 들의 하나 이상의 어레이를 제조하는 단계를 포함하며,
그 어레이들을 제조하는 단계는 제 1 및 제 2 엘리먼트 각각에 대하여 정의된 특징에 기초하여 제 1 및 제 2 형상 각각에 대하여 정의된 애스펙트를 선택하는 단계; 및 상기 제 1 엘리먼트 (108) 및 제 2 엘리먼트 (112) 각각을 작동시키는데 요구되는 작동 전압의 차이들을 정규화하는 단계로서, 그 차이들은 상기 선택되는 정의된 애스펙트의 결과이며, 그 엘리먼트들 각각에 대하여 정의된 특징은 변경되지 않는 정규화 단계를 포함하는 방법을 제공한다.

Description

ＭＥＭＳ 장치 및 그 제조 방법 {A MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING SAME}
발명의 분야
본 발명은 MEMS (microelectromechanical system) 장치의 작동에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 MEMC 장치의 어레이내의 엘리먼트들의 작동 또는 구동에 관한 것이다.
배경
MEMS 장치들은 엘리먼트들의 어레이들을 포함하며, 여기서 엘리먼트들은 작동 전압의 인가에 의해 하나 이상의 구동 상태와 하나 이상의 비구동 상태 사이에서 동작할 수 있다. 특정 MEMS 장치에 따라서, 엘리먼트들은 IMOD (interferometric modulator), 스위치, IR (Infra Red) 검출기 등을 구비할 수도 있다.
일부 MEMS 장치들에 있어서, 이는 복수의 어레이를 가져야 하며, 여기서 각 어레이는 특정 타입의 엘리먼트들만을 구비하며, 각 엘리먼트 타입은 다른 작동 전압을 필요로한다. 이러한 장치의 예는 미국 특허 제 6,040,937 호에 개시되는 컬러 IMOD 기반 디스플레이이며, 이는 적색/흑색, 녹색/흑색 및 청색/흑색의 컬러들 사이에서 전환하도록 설계된 IMOD 의 3 세트 또는 어레이를 포함한다. IMOD 의 각 어레이는 다른 작동 전압을 갖는다.
이 비구동 상태와 구동 상태 사이에서 이 복수의 어레이내의 엘리먼트들을 구동하면, 다른 작동 전압들이 요구되기 때문에 문제가 발생한다.
발명의 개요
본 발명의 제 1 양태에 따르면, 엘리먼트가 비구동 상태에 있는 경우에 각각 2 개 이상의 층 사이에 갭을 갖는 적층 관계로 배치되는 2 개 이상의 층을 갖는 복수의 엘리먼트로서, 각각 그 갭의 높이가 다른 2 개 이상의 다른 타입을 가지는 복수의 엘리먼트; 및 복수의 엘리먼트를 구동 상태로 구동시키는 구동 메커니즘으로서, 각 엘리먼트의 층들 중 하나의 층은 다른 층에 대하여 정전적으로 변위되며, 상기 구동 메커니즘을 작동시키는데 요구되는 최소 전압은 각 엘리먼트 타입에 대하여 실질적으로 동일한 구동 메커니즘을 구비하는 MEMS 장치를 제공한다.
본 발명의 제 2 양태에 따르면, 각각 제 1 층, 비구동상태에 있는 경우에 갭만큼 제 1 층으로부터 이격된 제 2 층, 및 활성화되는 경우에 구동 상태에 대응하여 제 2 층을 정전적으로 구동하여 제 1 층에 접촉시키기 위한 전극층을 갖는 엘리먼트들의 어레이를 구성하는 단계로서, 그 갭의 높이가 다른 2 개 이상의 다른 타입을 갖는, 엘리먼트들의 어레이의 구성 단계를 포함하며,
상기 구성 단계는 각 엘리먼트를 그 구동 상태로 구동하는데 요구되는 전압의 차이들을 보상하기 위하여 각 엘리먼트 타입의 구성을 변경시키는 단계를 포함하는 MEMS 장치의 제조 방법을 제공한다.
본 발명의 추가적인 양태에 따르면, 각각 제 1 층, 비구동 상태에 있는 경우 갭만큼 제 1 층으로부터 이격된 제 2 층, 및 활성화된 경우에 구동 상태에 대응하여 상기 제 2 층을 정전적으로 구동하여 상기 제 1 층에 접촉시키기 위한 전극층을 갖는 복수의 엘리먼트로서, 각각 그 갭의 높이가 다른 2 개 이상의 다른 종류를 갖는 복수의 엘리먼트; 및
상기 엘리먼트를 그 비구동 상태로부터 그 구동 상태로 변경시키기 위하여 각 엘리먼트의 전극층을 활성화하는 다중레벨 출력들을 갖는 집적 구동 회로를 구비하는 엘리먼트 구동 메커니즘을 구비하는 MEMS 장치를 제공한다.
본 발명의 다른 추가적인 양태에 따르면, 각각 제 1 형상에 따르는 제 1 엘리먼트들의 어레이를 제조하는 단계; 각각 제 2 형상에 따르는 제 2 엘리먼트들의 하나 이상의 어레이를 제조하는 단계를 포함하며,
그 어레이들을 제조하는 단계는,
제 1 및 제 2 엘리먼트 각각에 대하여 정의된 특징 (defining characteristic) 에 기초하여 제 1 및 제 2 형상 각각에 대하여 정의된 애스펙트 (defining aspect) 를 선택하는 단계; 및
제 1 엘리먼트 및 제 2 엘리먼트 각각을 작동시키는데 요구되는 작동 전압의 차이들을 정규화하는 단계로서, 그 차이들은 그 선택되는 정의된 애스팩트의 결과이며, 상기 엘리먼트들 각각에 대하여 정의된 특징은 변경되지 않는 정규화 단계를 포함하는 MEMS 장치의 제조 방법을 제공한다.
도면의 간단한 설명
도 1 은 본 발명의 양태들을 적용하는 일반적인 MEMS 장치의 간략화된 도면을 나타낸다.
도 2 는 엘리먼트들의 작동 전압들을 정규화하기 위하여, 본 발명의 일 실시형태에 따른 도 1 의 MEMS 장치내의 엘리먼트들의 형상 (geometry) 이 어떻게 변경될 수 있는지의 예를 나타낸다.
도 3a 는 엘리먼트의 구동층의 다른 형상을 나타내며, 구동층은 탭들을 갖는다.
도 3b 는 지지부들에 의해 지지된 도 3a 의 구동층의 3 차원 도면을 나타낸다.
도 3c 는 다른 탭 구성을 갖는 도 3a 의 구동층을 나타낸다.
도 4 는 본 발명의 일 실시형태에서 전압 정규화를 달성하기 위하여 각 엘리먼트 내의 전극의 구성이 어떻게 변경될 수 있는지의 예를 나타낸다.
도 5 는 본 발명의 또 다른 실시형태에 따른 전압 정규화를 달성하기 위하여 각 엘리먼트에서 구동되는 층의 강성 (stiffness) 이 어떻게 변경될 수 있는지의 예를 나타낸다.
도 6 은 전압 정규화를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시형태에 따른 IMOD 기반 디스플레이 어레이의 간략화된 도면을 나타내며, 여기서 각 IMOD 내에서 구동되는 층의 두께를 변경한다.
도 7 은 유전체 스택을 포함하는 IMOD 의 개략 단면도를 나타낸다.
도 8 은 본 발명의 일 실시형태에 따른 구동기의 블록도를 나타낸다.
상세한 설명
도 1 은 본 발명의 양태들이 관련되는 MEMS 장치 (100) 이 일반적인 구조를간략화된 형태로 나타낸다. 도 1 을 참조하면, MEMS 장치 (100) 는 각각 102 및 104 로 나타내는 2 개의 엘리먼트를 구비함을 알 수 있다. 엘리먼트 (102) 및 엘리먼트 (104) 각각은 공통 하부층 또는 베이스 층 (106) 을 갖는다. 엘리먼트 (102) 는 기둥 (110) 들의 형태를 갖는 복수의 지지부에 의해 베이스층 (106) 으로부터 이격되는 상부층 (108) 을 갖는다. 이와 유사하게, 엘리먼트 (104) 는 기둥 (114) 들의 형태를 갖는 지지부들에 의해 베이스층 (106) 으로부터 이격되는 상부층 (112) 을 갖는다. 기둥 (114) 들은 기둥 (110) 들 보다 더 높으므로 층 (106) 과 층 (108) 사이의 갭 (116) 의 높이는 층 (112) 과 층 (106) 사이의 갭 (118) 의 높이 보다 작음을 알 수 있다. 갭들 (116 및 118) 의 높이 차이 때문에, 도면들 중 도 1 에 나타내는 상태에 대응하여, 비구동 상태로부터 층들 (106 및 112) 이 베이스층 (116) 에 접촉하는 구동 상태 (미도시) 로 각각 층들 (108 및 112) 을 정전적으로 구동하는데 요구되는 작동 전압이 다르게 된다. 따라서, 어떤 구동 메커니즘은 작동 전압들의 차이들을 고려해야 한다.
상술한 바와 같이, 도 1 은 본 발명의 양태들을 적용한 일반적인 MEMS 장치의 간략화된 도면으로 간주된다. 실제 실시형태들에 있어서, MEMS 장치 (100) 는 그 엘리먼트들 (102 또는 108) 과 같은 엘리먼트들을 각각 구비하는 복수의 어레이를 포함할 수도 있다. 따라서, 각 어레이내의 엘리먼트들은 다른 작동 전압을 필요로 한다. 하나의 이러한 MEMS 장치의 예는 미국 특허 제 6,040,937 호에 개시된 IMOD 디스플레이에 의해 제공된다. 이 예에 있어서, 각 IMOD 내의 에어 갭의 크기로부터 발생하는 독특한 광학 특징을 가지도록 설계된 IMOD 의 형태의 엘리먼트들을 각각 구비하는 3 개의 어레이가 있다. 각 어레이는 독특한 광학 특징을 갖는 IMOD 만을 구비한다. 그 결과, 각 어레이내의 IMOD 를 구동하는데 다른 작동 전압들이 요구된다.
본 발명의 실시형태들은 상술한 바와 같은 MEMS 장치들을 구동하는데 있어서의 문제점과 관련되며, 여기서 다른 작동 전압들은 MEMS 장치내의 엘리먼트들에 의해 요구된다. 본 발명의 특정 실시형태들을 설명함에 있어, 미국 특허 제 6,040,937 호에 개시된 바와 같은 MEMS 장치를 참조한다. 그러나, 본 발명은 엘리먼트를 구동 또는 작동시켜 엘리먼트의 기하학적 구성 또는 상태를 변경시키기 위하여 각각 다른 작동 전압을 요구하는 엘리먼트들을 구비하는 어떠한 MEMS 장치에도 적용할 수도 있다. 이러한 엘리먼트들은 IMOD, 스위치, IR (Infra Red) 검출기 등을 구비할 수도 있으며, 여기서 기하학적 구성의 변경은 엘리먼트의 일 층을 또 다른 층에 접촉시키는 것을 포함한다. 구동되는 층은 비구동되는 층과 구별하기 위해 구동층이라 한다.
본 발명의 실시형태들에 따르면, 각 엘리먼트를 작동시키는데 요구되는 작동 전압을 정규화한다. 이는 각 어레이내의 엘리먼트들의 형상을 변경함으로써 달성된다. 물론, 엘리먼트에 대하여 정의되는 특징을 부여하는 엘리먼트의 형상의 양태들은 변경되지 않는다. 따라서, 미국 특허 제 6,040,937 호의 IMOD 디스플레이의 경우에서, 각 엘리먼트 (IMOD) 내의 에어 갭의 높이는 IMOD 에 대하여 정의되는 광학 특징을 제공하므로 변경되지 않는 IMOD 의 형상의 일 양태는 에어 갭의 높이가 된다.
도면들 중 도 2 는, 도면들 중 도 1 에 나타낸 엘리먼트 (102) 의 형상을 기둥 (110) 들의 개수를 증가시키고 그 사이의 간격을 감소시킴으로서 변경한 예를 나타낸다. 따라서, 층 (108) 은 더 크게 기둥 (110) 들에 의해 지지되므로, 층 (108) 을 층 (106) 에 접촉시키는데 더 큰 작동 전압이 요구된다. 기둥 (110) 들의 개수 및 그 기둥들 사이의 간격을 선택함으로써, 엘리먼트 (102 및 108) 를 구동하는데 요구되는 작동 전압들을 정규화할 수도 있음을 알 수 있다.
다른 실시형태들에서, 구동층의 형상은 구동층에 제공된 지지도를 증가 또는 감소시키기 위하여 변경될 수도 있다. 이를 도면들 중 도 3a 및 도 3b 에 나타낸다. 도 3a 및 도 3b 를 참조하면, 도 1 및 도 2 의 층들 (108 및 112) 에 유사한 층 (300) 을 나타낸다. 층 (300) 은 기둥 (304) 들에 의해 지지되는 범위들을 형성하는 탭 (302) 들에 의해 층들 (108 및 112) 의 형상과는 다른 형상을 갖는다. 따라서, 탭들의 두께 및 길이는 층 (300) 에 대한 지지도를 변경하도록 바뀔 수도 있다. 작동 전압이 층 (300) 을 도면들의 면으로 구동하는데 요구된다고 가정하면, 도 3a 의 탭 (302) 들은 도면들 중 도 3c 에 나타낸 탭 (302) 들보다 더 큰 지지도를 제공함을 알 수 있다. 따라서, 더 작은 작동 전압이 도면들 중 도 3a 에서 보다 도면들 중 도 3c 의 층 (300) 을 구동하는데 요구된다. 본 발명의 실시형태들은 도면들 중 도 3a 및 도 3c 에 나타낸 원리들을 이용하여 MEMS 장치내의 엘리먼트들을 작동시키는데 요구되는 작동 전압을 정규화하며, 여기서 동작가능한 상부층 (구동층) 은 갭을 가로질러 동작가능한 하부층을 향하여 구동된다. 갭이 큰 경우, 탭들의 형상을 도 3a 및 도 3c 에 나타낸 원리들에 따라 변경시켜 구동층에 제공된 지지도를 감소시킨다. 한편, 갭이 작은 경우, 지지부들의 형상은 구동층에 더 큰 지지도를 제공하도록 변경된다. 이런 식으로, 층을 구동시켜야 하는 갭의 크기에 상관없이, 층을 구동하는데 요구되는 전압을 정규화시킬 수 있다.
도면들 중 도 1 또는 도 2 에 나타내지는 않았지만, 층 (108 및 112) 들을 구동하는 구동 메커니즘은 층 (108 및 112) 들을 베이스 층 (106) 을 향하여 정전적으로 구동하는 전극들을 구비한다. 전극들은 층 (106) 에 배치되어 있다. 전극의 예를 일반적으로 도면들 중 도 4 의 참조 부호 400 으로 나타낸다. 본 발명의 일부 실시형태들에 따르면, MEMS 장치내의 엘리먼트들을 구동 또는 작동시키는데 요구되는 전압을 정규화하기 위하여, 전극 (400) 의 구성을 변경시킬 수도 있다. 전극의 구성을 변경시키는 것은, 예를 들어 전극 (400) 에 나타낸 슬롯 (402) 들과 같이, 전극의 형상을 변경시키거나 또는 전극에 개구들을 제공하는 것을 포함할 수도 있다. 따라서, 층이 작은 갭을 가로질러 구동되는 경우, 전극은 전극에 의해 생성되는 유효 정전기력을 감소시키는 기능을 하는 슬롯 (402) 들과 같은 슬롯들을 가질 수도 있다. 이에 의해 작동 전압을 층을 구동시키는 갭의 높이에 관계 없이 정규화시킬 수 있다.
본 발명이 다른 실시형태들에 따르면, 작동 전압을 정규화하기 위하여 엘리먼트들의 형상을 변경하는 것은 구동층의 강성을 변경하는 것을 포함할 수도 있다. 구동층의 강성을 변경하는 하나의 방법은 그 영율을 변경시키는 것을 포함한다. 따라서, 작은 에어 갭을 가로질러 구동되도록 요구되는 층은 더 큰 에어 갭을 가로질러 구동되는 층보다 더 높은 영율을 갖는 재료로 이루어질 수도 있다.
구동층의 강성을 변경시키는 또 다른 방법은 그 강성을 감소시키기 위하여 구동층에 개구들을 형성하는 것이다. 이를 도면들 중 도 5 에 나타내며 여기서, 층 (500) 은 탭 (502) 이외에 형성되는 개구들 또는 슬롯 (504) 들을 포함한다.
본 발명의 여러 양태들을 결합하여 적용할 수도 있으므로, 도 5 에 나타낸 예에서, 층 (500) 이 그 층 (500) 에 형성된 슬롯들을 가지며, 층 자체가 작동층 (500) 에 요구되는 작동 전압을 정규화시킬 수 있는 지지도를 층 (500) 에 제공하기 위하여 선택되는 두께를 갖는 탭 (502) 들에 의해 지지된다.
도면들 중 도 6 은 미국 특허 제 6,040,937 호에 개시되어 있는 바와 같이 IMOD 기반 디스플레이의 간략화된 버전 (600) 을 나타낸다. 디스플레이 (600) 는 3 개의 어레이 (602, 604, 및 606) 를 포함한다. 각 어레이는 기판 (608) 상에 제조되며, 2 ×4 격자의 IMOD 를 포함한다. 각 IMOD 는 사용시 갭을 가로질러 공통 하부층 (612) 을 향하여 구동되는 상부층 (610) 을 포함한다. 층 (610) 들은 2 개의 하향 연장 림 (limb)(611) 를 가짐으로써 자기 지지된다. 각 IMOD 는 층 (612) 상에 배치되는 전극 (614) 을 갖는다. 어레이 (602) 내의 IMOD 들은 가장 높은 갭을 가지며, 어레이 (604) 내의 IMOD 는 중간 크기의 갭을 가지며, 어레이 (606) 내의 IMOD 는 가장 작은 갭을 갖음을 알 수 있다. 이는 어레이 (602, 604, 및 606) 내의 IMOD 가, 비구동 상태에 있는 경우, 이들 각각이 적색광, 녹색광, 및 청색광을 각각 반사한다고 정의하는 특징을 가지도록 제조되기때문이다. 따라서, 층 (610) 들을 층 (612) 으로 향하게 하는데 요구되는 작동 전압은, 층을 구동시켜야 하는 갭의 높이가 증가함에 따라 증가한다. 따라서, 어레이 (602) 내의 IMOD 는 어레이 (604) 또는 어레이 (606) 내의 IMOD 보다 더 큰 작동 전압을 필요로 한다. 본 발명의 일 실시형태는 층 (610) 들의 두께를 층 (610) 을 구동시켜야 하는 갭의 크기에 반비례하여 변경시킴으로서 작동 전압들을 정규화시킬 수 있다. 따라서, 도 6 에서, 층 (610) 들의 두께는 각 어레이내의 IMOD 에 의해 요구되는 작동 전압들을 정규화시키도록 선택되어 있다.
본 발명의 또 다른 실시형태에서, 작동 전압들은, 층들을 구동시켜야 하는 갭의 높이가 각각 증가 또는 감소함에 따라서, 각 층 (610) 의 인장 강도를 증가 또는 감소시킴으로써 정규화될 수도 있다. 이는 증착 압력, 전력, 및 전계 바이어스와 같은 막의 증착 파라미터들을 제어함으로서 달성될 수 있다.
도면들 중 도 7 은 기판 (706) 상에 형성되는 기둥 (704) 들에 의해 지지되는 기계층 (702) 을 구비하는 IMOD 를 포함하는 MEMS 장치 (700) 의 실시형태를 나타낸다. 기판 (706) 상에 전극 (708) 을 배치하며, 그 위에 유전체 스택 (710) 을 형성한다. 기계층 (702) 과 유전체 스택 (708) 사이의 공간은 에어 갭을 정의한다. 사용시에, 층 (702) 을 유전체 스택 (710) 에 접촉시키기 위하여 작동 전압을 인가한다. 장치 (700) 는, 비구동 상태에 있는 경우, 각각 적색광, 청색광, 및 녹색광을 반사하기 위하여 통상적으로 그 에어 갭의 높이가 각각 다른 IMOD 의 3 세트를 포함한다. 각 IMOD 세트에 의해 요구되는 작동 전압들을 정규화하기 위하여, 본 발명의 일 실시형태에서, 유전체 스택 (710) 의 유전 상수를변경시키므로, 에어 갭이 더 높으면 높을수록 유전 상수는 더 커진다. 다른 방법으로, 에어 갭의 높이가 감소 (또는 증가) 될 때 유전체 스택의 두께를 증가 (또는 감소) 시키기 위하여 유전체 스택의 두께를 변경시킬 수도 있다.
본 발명의 또 다른 실시형태에 따르면, 다른 엘리먼트들이 다른 작동 전압들을 요구하는 MEMS 장치내의 다른 엘리먼트들을 구동시키는 문제는 도면들 중 도 8 에 나타낸 구동 메커니즘과 같은 구동 메커니즘을 제공함으로서 해결된다. 도 8 을 참조하면, 구동 메커니즘은 다중 레벨 출력 (802, 804, 및 806) 들을 갖는 집적 구동 회로를 포함하는 구동기 칩 (800) 을 구비한다. 출력들 (804 내지 806) 각각은 다른 전압을 전달하며, 비구동 상태에 있는 경우, 일 실시형태에서, 다른 크기의 에어 갭들을 갖는 IMOD 를 예를 들어 각각 적색광, 녹색광, 및 청색광을 반사하는 IMOD (808, 810, 812) 의 구동하는데 사용될 수도 있다. 구동기 칩 (800) 내의 구성요소들의 설계 및 통합은 공지되어 있으므로 더 이상 설명하지 않는다.
본 발명을 특정한 예시적인 실시형태들을 참조하여 설명하였지만, 청구항들에 설명된 본 발명의 더 넓은 사상을 벗어나지 않고 이 실시형태들을 다양하게 변경 및 변화시킬 수 있음을 알 수 있다. 따라서, 명세서 및 도면은 제한적인 의미보다는 예시적인 의미로 간주된다.

Claims (41)

  1. 엘리먼트가 비구동 상태에 있는 경우에 각각 2 개 이상의 층 사이의 갭에 대하여 적층 관계로 배치되는 2 개 이상의 층을 갖는 복수의 엘리먼트로서, 각각 그 갭의 높이가 다른, 2 개 이상의 다른 타입을 가지는 복수의 엘리먼트; 및
    상기 복수의 엘리먼트를 구동 상태로 구동시키는 구동 메커니즘을 구비하며,
    각 엘리먼트의 층들 중 하나의 층은 다른 층에 대하여 정전적으로 변위되며,
    상기 구동 메커니즘을 작동시키는데 요구되는 최소 전압은 각 엘리먼트 타입에 대하여 실질적으로 다른, MEMS (microelectromechanical system) 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 엘리먼트는 어레이 구조로 배열되고, 실질적으로 동일평면에 있는, MEMS 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    한 타입의 엘리먼트들만을 각각 포함하는 복수의 상기 어레이 구조들을 더 구비하는, MEMS 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    정전적으로 변위가능한 층은 기판상에 안착된 복수의 이격된 림 (limb) 을구비하여 자기 지지되는, MEMS 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    어레이 내의 각 엘리먼트의 층들은 연속적이며, 상기 정전적으로 변위가능한 층은, 제 1 축에 따라 이격되며 그 축에 가로지르는 방향으로 연장하는 복수의 지지부를 구비하는 지지 구조에 의해 지지되며, 각 지지부는 상기 엘리먼트들이 비구동 상태에 있는 경우 나머지 다른 층 위에 상기 정전적으로 변위가능한 층을 지지하는 지지면을 갖는, MEMS 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    각 어레이 내의 제 1 축에 따른 지지부들 사이의 간격은 상기 층들 사이의 갭의 높이에 의존하며, 그 갭이 높으면 높을수록 그 간격이 더 커지는, MEMS 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    어레이 내의 각 지지부의 지지면의 영역은 상기 층들 사이의 갭의 높이의 함수이며, 그 갭이 높으면 높을수록 그 영역이 더 작아지는, MEMS 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    각 엘리먼트의 상기 정전적으로 변위가능한 층은 그 갭의 높이의 함수인 영율을 가지며, 그 갭이 높으면 높을수록 그 영율이 더 낮아지는, MEMS 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    각 엘리먼트의 상기 정전적으로 변위가능한 층의 두께는 그 갭의 높이의 함수이며, 그 갭이 높으면 높을수록 그 두께가 더 작아지는, MEMS 장치.
  10. 제 1 항에 있어서,
    적어도 가장 높은 갭을 갖는 엘리먼트의 상기 정전적으로 변위가능한 층은 그 강성을 감소시키기 위하여 그 층에 형성된 개구들을 갖는 MEMS 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    각 엘리먼트의 상기 정전적으로 변위가능한 층은 그 갭의 높이가 감소함에 따라 증가하는 정도로 인장 응력을 받는, MEMS 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동 메커니즘은 활성화되는 경우 상기 정전적으로 변위가능한 층을 정전적으로 변위시키는 전극층을 구비하며,
    적어도 가장 작은 갭을 갖는 엘리먼트들을 구동하는 상기 전극층들은 상기 전극층들을 활성화하는데 요구되는 최소 전압을 증가시키기 위하여 상기 전극층들에 형성되는 개구들을 갖는, MEMS 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    각 엘리먼트의 상기 정전적으로 변위가능한 층은 상기 엘리먼트의 갭의 높이의 함수인 유전 상수를 갖는 유전체 재료위에 형성되며, 그 갭이 높으면 높을수록 상기 유전상수는 더 커지는, MEMS 장치.
  14. 제 1 항에 있어서,
    각 엘리먼트의 상기 정전적으로 변위가능한 층은 상기 엘리먼트의 갭의 높이의 함수인 두께를 갖는 유전체 재료위에 형성되며, 그 갭이 높으면 높을수록 상기 두께는 더 작아지는, MEMS 장치.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 최소 전압은 각종 엘리먼트에 대하여 동일한, MEMS 장치.
  16. 제 1 항에 있어서,
    상기 엘리먼트들 각각은 광을 변조하는 IMOD (interferometric modulator) 를 정의하는, MEMS 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    3 개의 다른 종류의 IMOD 를 구비하며, 각각은 비구동 상태에 있는 경우 각각 적색광, 청색광, 또는 녹색광을 반사하기 위하여 그 갭의 높이가 다른, MEMS 장치.
  18. 제 1 층, 비구동상태에 있는 경우에 갭만큼 제 1 층으로부터 이격되는 제 2 층, 및 활성화되는 경우에 구동 상태에 대응하여 상기 제 2 층을 정전적으로 구동하여 제 1 층에 접촉시키기 위한 전극층을 각각 갖는 엘리먼트들의 어레이를 구성하는 단계를 포함하며,
    상기 엘리먼트들은, 그 갭의 높이가 다른 2 개 이상의 다른 타입을 가지며,
    상기 구성 단계는 각 엘리먼트를 그 구동 상태로 구동하는데 요구되는 전압의 차이들을 보상하기 위하여 각 엘리먼트 타입의 구성을 변경시키는 단계를 포함하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  19. 제 18 항에 있어서,
    어레이내의 각 엘리먼트의 제 1 및 제 2 층은 제 1 축에 따라 이격되며 제 1 축을 가로지르는 방향으로 연장하는 복수의 지지부를 구비하는 지지 구조에 의해 지지되는 연속층들로 정의되며,
    각 지지부는 상기 엘리먼트들이 비구동 상태에 있는 경우에 제 2 층 위의 제 1 층을 지지하는 지지면을 가지며,
    각 엘리먼트 타입의 구성을 변경하는 단계는 상기 지지부들 사이의 간격을 변경하는 단계를 포함하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  20. 제 19 항에 있어서,
    각 엘리먼트 타입의 구성을 변경하는 단계는 각 지지부의 지지면의 면적을 변경하는 단계를 포함하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  21. 제 18 항에 있어서,
    각 엘리먼트 타입의 구성을 변경하는 단계는 각 엘리먼트 타입의 제 2 층에 대하여 다른 영율을 갖는 재료를 이용하는 단계를 포함하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  22. 제 18 항에 있어서,
    각 엘리먼트 타입의 구성을 변경하는 단계는 각 엘리먼트 타입의 제 2 층의 두께를 변경하는 단계를 포함하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  23. 제 18 항에 있어서,
    각 엘리먼트 타입의 구조를 변경하는 단계는 적어도 가장 높은 갭을 갖는 엘리먼트들의 제 2 층에 개구들을 형성하는 단계를 포함하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  24. 제 18 항에 있어서,
    각 엘리먼트 타입의 구성을 변경하는 단계는 각 엘리먼트의 제 2 층에 그 갭의 높이에 반비례하는 정도로 인장 응력을 가하는 단계를 포함하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  25. 제 18 항에 있어서,
    각 엘리먼트 타입의 구성을 변경하는 단계는 적어도 가장 작은 갭을 갖는 엘리먼트 타입들의 전극층에 개구들을 형성하는 단계를 포함하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  26. 제 18 항에 있어서,
    각 엘리먼트의 제 2 층은 유전체 재료위에 형성되며,
    각 엘리먼트 타입의 구성을 변경하는 단계는 그 위에 각 엘리먼트의 제 2 층이 형성된 유전체 재료의 유전 상수를 변경하는 단계를 포함하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  27. 제 26 항에 있어서,
    각 엘리먼트 타입의 구성을 변경하는 단계는 상기 유전체 재료의 두께를 변경하는 단계를 포함하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  28. 제 18 항에 있어서,
    상기 엘리먼트들은 광을 변조하는 IMOD 인, MEMS 장치의 제조 방법.
  29. 제 1 층, 비구동 상태에 있는 경우에 갭만큼 제 1 층으로부터 이격되는 제 2 층, 및 활성화된 경우에 구동 상태에 대응하여 상기 제 2 층을 정전적으로 구동하여 상기 제 1 층에 접촉시키기 위한 전극층을 각각 갖는 복수의 엘리먼트로서, 각각 그 갭의 높이가 다른 2 개 이상의 다른 종류를 갖는 복수의 엘리먼트; 및
    상기 엘리먼트를 그 비구동 상태로부터 그 구동 상태로 변경시키기 위하여 각 엘리먼트의 전극층을 활성화하는 다중레벨 출력들을 갖는 집적 구동 회로를 구비하는 엘리먼트 구동 메커니즘을 구비하는, MEMS 장치.
  30. 각각 제 1 형상 (geometry) 에 따르는 제 1 엘리먼트들의 어레이를 제조하는 단계;
    각각 제 2 형상에 따르는 제 2 엘리먼트들의 하나 이상의 어레이를 제조하는 단계를 포함하며,
    상기 어레이들을 제조하는 단계는,
    상기 제 1 및 제 2 엘리먼트 각각에 대하여 정의된 특징 (defining characteristic) 에 기초하여 제 1 및 제 2 형상 각각에 대하여 정의된 애스펙트 (defining aspect) 를 선택하는 단계; 및
    상기 제 1 엘리먼트 및 제 2 엘리먼트 각각을 작동시키는데 요구되는 작동 전압의 차이들을 정규화하는 단계를 포함하며,
    상기 차이들은 상기 선택되는 정의된 애스펙트의 결과이며, 상기 엘리먼트들각각에 대하여 정의된 특징은 변경되지 않는, MEMS 장치의 제조 방법.
  31. 제 30 항에 있어서,
    상기 정규화하는 단계는 상기 정의된 애스펙트들을 변경시키지 않고 상기 제 1 및 제 2 형상의 나머지 다른 애스펙트들을 변경시키는 단계를 포함하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  32. 제 30 항에 있어서,
    상기 정의된 애스펙트는 동작가능한 각 엘리먼트의 상부층과 하부층 사이의 갭을 포함하며, 상기 상부층 및 하부층은 지지부들에 의해 분리되는, MEMS 장치의 제조 방법.
  33. 제 32 항에 있어서,
    각 엘리먼트는 상기 작동 전압에 의해 작동되는 경우에 상기 상부층을 상기 하부층을 향하게 정전적으로 구동하는 전극을 구비하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  34. 제 33 항에 있어서,
    나머지 다른 양태들을 변경하는 단계는, 상기 상부층의 두께를 변경하는 단계, 및 상기 지지부들 사이의 거리를 변경하는 단계를 포함하는 그룹으로부터 선택되는 변경들을 포함하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  35. 제 31 항에 있어서,
    상기 정규화하는 단계는 각 제 1 엘리먼트 및 제 2 엘리먼트의 상부층의 강성을 변경시키는 단계를 포함하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  36. 제 35 항에 있어서,
    상기 강성을 변경시키는 단계는 각 제 1 엘리먼트 및 제 2 엘리먼트의 상부층의 영율을 변경시키는 단계를 포함하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  37. 제 35 항에 있어서,
    상기 강성을 변경시키는 단계는 상부층의 강성을 감소시키기 위하여 상부층에 개구들을 형성하는 단계를 포함하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  38. 제 33 항에 있어서,
    상기 정규화 단계는 각 제 1 엘리먼트 또는 각 제 2 엘리먼트의 전극의 구성을 변경시키는 단계를 포함하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  39. 제 38 항에 있어서,
    상기 전극의 구성을 변경하는 단계는 전극에 개구들을 형성하는 단계를 포함하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  40. 제 30 항에 있어서,
    상기 엘리먼트들은 유전체 재료위에 형성되며,
    상기 정규화하는 단계는 상기 유전체 재료의 유전 특성들을 변경하는 단계를 포함하는, MEMS 장치의 제조 방법.
  41. 제 30 항에 있어서,
    상기 제 1 엘리먼트 및 제 2 엘리먼트는 화소인, MEMS 장치의 제조 방법.
KR1020047013279A 2002-02-27 2002-04-29 Ｍｅｍｓ 장치 및 그 제조 방법 KR100944922B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/084,893 2002-02-27
US10/084,893 US6574033B1 (en) 2002-02-27 2002-02-27 Microelectromechanical systems device and method for fabricating same
PCT/US2002/013462 WO2003073151A1 (en) 2002-02-27 2002-04-29 A microelectromechanical systems device and method for fabricating same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040088549A true KR20040088549A (ko) 2004-10-16
KR100944922B1 KR100944922B1 (ko) 2010-03-03

Family

ID=22187877

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020047013279A KR100944922B1 (ko) 2002-02-27 2002-04-29 Ｍｅｍｓ 장치 및 그 제조 방법

Country Status (7)

Country Link
US (2) US6574033B1 (ko)
EP (1) EP1488271A4 (ko)
JP (1) JP4223406B2 (ko)
KR (1) KR100944922B1 (ko)
CN (1) CN100472270C (ko)
AU (1) AU2002308517A1 (ko)
WO (1) WO2003073151A1 (ko)

Families Citing this family (352)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5877897A (en) 1993-02-26 1999-03-02 Donnelly Corporation Automatic rearview mirror, vehicle lighting control and vehicle interior monitoring system using a photosensor array
US6822563B2 (en) 1997-09-22 2004-11-23 Donnelly Corporation Vehicle imaging system with accessory control
US6674562B1 (en) * 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US7550794B2 (en) * 2002-09-20 2009-06-23 Idc, Llc Micromechanical systems device comprising a displaceable electrode and a charge-trapping layer
US8014059B2 (en) 1994-05-05 2011-09-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for charge control in a MEMS device
US7297471B1 (en) * 2003-04-15 2007-11-20 Idc, Llc Method for manufacturing an array of interferometric modulators
US6891563B2 (en) 1996-05-22 2005-05-10 Donnelly Corporation Vehicular vision system
US7907319B2 (en) 1995-11-06 2011-03-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light with optical compensation
US7655894B2 (en) 1996-03-25 2010-02-02 Donnelly Corporation Vehicular image sensing system
US8928967B2 (en) 1998-04-08 2015-01-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
WO1999052006A2 (en) 1998-04-08 1999-10-14 Etalon, Inc. Interferometric modulation of radiation
US8023724B2 (en) * 1999-07-22 2011-09-20 Photon-X, Inc. Apparatus and method of information extraction from electromagnetic energy based upon multi-characteristic spatial geometry processing
WO2003007049A1 (en) 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US7167796B2 (en) * 2000-03-09 2007-01-23 Donnelly Corporation Vehicle navigation system for use with a telematics system
US6882287B2 (en) 2001-07-31 2005-04-19 Donnelly Corporation Automotive lane change aid
US7697027B2 (en) 2001-07-31 2010-04-13 Donnelly Corporation Vehicular video system
US6574033B1 (en) 2002-02-27 2003-06-03 Iridigm Display Corporation Microelectromechanical systems device and method for fabricating same
EP1504276B1 (en) 2002-05-03 2012-08-08 Donnelly Corporation Object detection system for vehicle
US7781850B2 (en) 2002-09-20 2010-08-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controlling electromechanical behavior of structures within a microelectromechanical systems device
CN1723606B (zh) * 2002-12-10 2011-01-12 爱普科斯公司 微电子机械系统单元阵列及其驱动方法
TWI289708B (en) 2002-12-25 2007-11-11 Qualcomm Mems Technologies Inc Optical interference type color display
TW200413810A (en) * 2003-01-29 2004-08-01 Prime View Int Co Ltd Light interference display panel and its manufacturing method
US7417782B2 (en) * 2005-02-23 2008-08-26 Pixtronix, Incorporated Methods and apparatus for spatial light modulation
US7218438B2 (en) * 2003-04-30 2007-05-15 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Optical electronic device with partial reflector layer
TW570896B (en) 2003-05-26 2004-01-11 Prime View Int Co Ltd A method for fabricating an interference display cell
US7065736B1 (en) 2003-09-24 2006-06-20 Sandia Corporation System for generating two-dimensional masks from a three-dimensional model using topological analysis
TW593126B (en) * 2003-09-30 2004-06-21 Prime View Int Co Ltd A structure of a micro electro mechanical system and manufacturing the same
US7308341B2 (en) 2003-10-14 2007-12-11 Donnelly Corporation Vehicle communication system
US7012726B1 (en) * 2003-11-03 2006-03-14 Idc, Llc MEMS devices with unreleased thin film components
US7430355B2 (en) * 2003-12-08 2008-09-30 University Of Cincinnati Light emissive signage devices based on lightwave coupling
US7123796B2 (en) * 2003-12-08 2006-10-17 University Of Cincinnati Light emissive display based on lightwave coupling
US7161728B2 (en) * 2003-12-09 2007-01-09 Idc, Llc Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators
US7342705B2 (en) 2004-02-03 2008-03-11 Idc, Llc Spatial light modulator with integrated optical compensation structure
US7119945B2 (en) * 2004-03-03 2006-10-10 Idc, Llc Altering temporal response of microelectromechanical elements
US7706050B2 (en) 2004-03-05 2010-04-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated modulator illumination
US7855824B2 (en) 2004-03-06 2010-12-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for color optimization in a display
US7526103B2 (en) 2004-04-15 2009-04-28 Donnelly Corporation Imaging system for vehicle
US7476327B2 (en) 2004-05-04 2009-01-13 Idc, Llc Method of manufacture for microelectromechanical devices
US7164520B2 (en) 2004-05-12 2007-01-16 Idc, Llc Packaging for an interferometric modulator
US7256922B2 (en) 2004-07-02 2007-08-14 Idc, Llc Interferometric modulators with thin film transistors
KR101354520B1 (ko) * 2004-07-29 2014-01-21 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크. 간섭 변조기의 미소기전 동작을 위한 시스템 및 방법
US7551159B2 (en) * 2004-08-27 2009-06-23 Idc, Llc System and method of sensing actuation and release voltages of an interferometric modulator
US7889163B2 (en) 2004-08-27 2011-02-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Drive method for MEMS devices
US7499208B2 (en) 2004-08-27 2009-03-03 Udc, Llc Current mode display driver circuit realization feature
US7560299B2 (en) * 2004-08-27 2009-07-14 Idc, Llc Systems and methods of actuating MEMS display elements
US7612932B2 (en) * 2004-09-27 2009-11-03 Idc, Llc Microelectromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US7928928B2 (en) 2004-09-27 2011-04-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method for reducing perceived color shift
US7532195B2 (en) 2004-09-27 2009-05-12 Idc, Llc Method and system for reducing power consumption in a display
US7630123B2 (en) * 2004-09-27 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for compensating for color shift as a function of angle of view
US7911428B2 (en) 2004-09-27 2011-03-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7130104B2 (en) * 2004-09-27 2006-10-31 Idc, Llc Methods and devices for inhibiting tilting of a mirror in an interferometric modulator
US7564612B2 (en) 2004-09-27 2009-07-21 Idc, Llc Photonic MEMS and structures
US7583429B2 (en) 2004-09-27 2009-09-01 Idc, Llc Ornamental display device
US7808703B2 (en) 2004-09-27 2010-10-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for implementation of interferometric modulator displays
US7893919B2 (en) 2004-09-27 2011-02-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display region architectures
US20060076634A1 (en) 2004-09-27 2006-04-13 Lauren Palmateer Method and system for packaging MEMS devices with incorporated getter
US7372613B2 (en) 2004-09-27 2008-05-13 Idc, Llc Method and device for multistate interferometric light modulation
US7692839B2 (en) * 2004-09-27 2010-04-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of providing MEMS device with anti-stiction coating
US7561323B2 (en) * 2004-09-27 2009-07-14 Idc, Llc Optical films for directing light towards active areas of displays
US7710636B2 (en) 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods using interferometric optical modulators and diffusers
US7944599B2 (en) * 2004-09-27 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US8124434B2 (en) 2004-09-27 2012-02-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for packaging a display
US7916103B2 (en) 2004-09-27 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for display device with end-of-life phenomena
US7710632B2 (en) 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device having an array of spatial light modulators with integrated color filters
US7446927B2 (en) 2004-09-27 2008-11-04 Idc, Llc MEMS switch with set and latch electrodes
US7679627B2 (en) * 2004-09-27 2010-03-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controller and driver features for bi-stable display
US7349141B2 (en) * 2004-09-27 2008-03-25 Idc, Llc Method and post structures for interferometric modulation
US7653371B2 (en) 2004-09-27 2010-01-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Selectable capacitance circuit
US7898521B2 (en) 2004-09-27 2011-03-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device and method for wavelength filtering
US7369296B2 (en) * 2004-09-27 2008-05-06 Idc, Llc Device and method for modifying actuation voltage thresholds of a deformable membrane in an interferometric modulator
US7289259B2 (en) 2004-09-27 2007-10-30 Idc, Llc Conductive bus structure for interferometric modulator array
US7420725B2 (en) 2004-09-27 2008-09-02 Idc, Llc Device having a conductive light absorbing mask and method for fabricating same
US8362987B2 (en) 2004-09-27 2013-01-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for manipulating color in a display
US7355780B2 (en) 2004-09-27 2008-04-08 Idc, Llc System and method of illuminating interferometric modulators using backlighting
US7424198B2 (en) 2004-09-27 2008-09-09 Idc, Llc Method and device for packaging a substrate
US7345805B2 (en) 2004-09-27 2008-03-18 Idc, Llc Interferometric modulator array with integrated MEMS electrical switches
US7710629B2 (en) 2004-09-27 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for display device with reinforcing substance
US7310179B2 (en) * 2004-09-27 2007-12-18 Idc, Llc Method and device for selective adjustment of hysteresis window
US7668415B2 (en) 2004-09-27 2010-02-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for providing electronic circuitry on a backplate
US7327510B2 (en) * 2004-09-27 2008-02-05 Idc, Llc Process for modifying offset voltage characteristics of an interferometric modulator
US7321456B2 (en) 2004-09-27 2008-01-22 Idc, Llc Method and device for corner interferometric modulation
US7302157B2 (en) 2004-09-27 2007-11-27 Idc, Llc System and method for multi-level brightness in interferometric modulation
US8878825B2 (en) 2004-09-27 2014-11-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for providing a variable refresh rate of an interferometric modulator display
US7508571B2 (en) 2004-09-27 2009-03-24 Idc, Llc Optical films for controlling angular characteristics of displays
US8514169B2 (en) 2004-09-27 2013-08-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and system for writing data to electromechanical display elements
US7701631B2 (en) 2004-09-27 2010-04-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device having patterned spacers for backplates and method of making the same
US7630119B2 (en) 2004-09-27 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Apparatus and method for reducing slippage between structures in an interferometric modulator
US7719500B2 (en) 2004-09-27 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reflective display pixels arranged in non-rectangular arrays
EP1800173A1 (en) * 2004-09-27 2007-06-27 Idc, Llc Method and device for multistate interferometric light modulation
US8310441B2 (en) * 2004-09-27 2012-11-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US7807488B2 (en) 2004-09-27 2010-10-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display element having filter material diffused in a substrate of the display element
US7304784B2 (en) 2004-09-27 2007-12-04 Idc, Llc Reflective display device having viewable display on both sides
US7813026B2 (en) 2004-09-27 2010-10-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of reducing color shift in a display
US7920135B2 (en) 2004-09-27 2011-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for driving a bi-stable display
US7373026B2 (en) * 2004-09-27 2008-05-13 Idc, Llc MEMS device fabricated on a pre-patterned substrate
US7724993B2 (en) 2004-09-27 2010-05-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS switches with deforming membranes
US7936497B2 (en) 2004-09-27 2011-05-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device having deformable membrane characterized by mechanical persistence
US7675669B2 (en) * 2004-09-27 2010-03-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and system for driving interferometric modulators
US7843410B2 (en) 2004-09-27 2010-11-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for electrically programmable display
US7684104B2 (en) 2004-09-27 2010-03-23 Idc, Llc MEMS using filler material and method
US7527995B2 (en) 2004-09-27 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of making prestructure for MEMS systems
US7545550B2 (en) * 2004-09-27 2009-06-09 Idc, Llc Systems and methods of actuating MEMS display elements
US8008736B2 (en) 2004-09-27 2011-08-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device
US7136213B2 (en) * 2004-09-27 2006-11-14 Idc, Llc Interferometric modulators having charge persistence
US7881496B2 (en) 2004-09-30 2011-02-01 Donnelly Corporation Vision system for vehicle
US7720580B2 (en) 2004-12-23 2010-05-18 Donnelly Corporation Object detection system for vehicle
TWI293720B (en) * 2004-12-30 2008-02-21 Au Optronics Corp Microelectrooptomechanical device
TWI293401B (en) * 2004-12-30 2008-02-11 Au Optronics Corp Microelectrooptomechanical device and fabricating method thereof
CN100360982C (zh) * 2005-01-13 2008-01-09 友达光电股份有限公司 微机电光学显示组件
CN1296271C (zh) * 2005-01-26 2007-01-24 友达光电股份有限公司 微机电光学显示元件的制造方法
US9082353B2 (en) 2010-01-05 2015-07-14 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US8159428B2 (en) 2005-02-23 2012-04-17 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US7675665B2 (en) 2005-02-23 2010-03-09 Pixtronix, Incorporated Methods and apparatus for actuating displays
US8482496B2 (en) 2006-01-06 2013-07-09 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling MEMS display apparatus on a transparent substrate
US8519945B2 (en) 2006-01-06 2013-08-27 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US7742016B2 (en) 2005-02-23 2010-06-22 Pixtronix, Incorporated Display methods and apparatus
US9158106B2 (en) 2005-02-23 2015-10-13 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US20080158635A1 (en) * 2005-02-23 2008-07-03 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US8310442B2 (en) 2005-02-23 2012-11-13 Pixtronix, Inc. Circuits for controlling display apparatus
US7755582B2 (en) 2005-02-23 2010-07-13 Pixtronix, Incorporated Display methods and apparatus
US7999994B2 (en) * 2005-02-23 2011-08-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US20070205969A1 (en) 2005-02-23 2007-09-06 Pixtronix, Incorporated Direct-view MEMS display devices and methods for generating images thereon
US9261694B2 (en) 2005-02-23 2016-02-16 Pixtronix, Inc. Display apparatus and methods for manufacture thereof
US7746529B2 (en) 2005-02-23 2010-06-29 Pixtronix, Inc. MEMS display apparatus
US9229222B2 (en) 2005-02-23 2016-01-05 Pixtronix, Inc. Alignment methods in fluid-filled MEMS displays
US7920136B2 (en) 2005-05-05 2011-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of driving a MEMS display device
CA2607807A1 (en) 2005-05-05 2006-11-16 Qualcomm Incorporated Dynamic driver ic and display panel configuration
US7948457B2 (en) 2005-05-05 2011-05-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods of actuating MEMS display elements
US7884989B2 (en) 2005-05-27 2011-02-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. White interferometric modulators and methods for forming the same
EP1910218A1 (en) * 2005-07-22 2008-04-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mems devices having support structures and methods of fabricating the same
EP2495212A3 (en) * 2005-07-22 2012-10-31 QUALCOMM MEMS Technologies, Inc. Mems devices having support structures and methods of fabricating the same
EP1907316A1 (en) 2005-07-22 2008-04-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Support structure for mems device and methods therefor
US20070052671A1 (en) * 2005-09-02 2007-03-08 Hewlett-Packard Development Company Lp Pixel element actuation
US7655324B2 (en) * 2005-09-20 2010-02-02 Sridhar Kasichainula Electro-magnetic storage device and method
JP2009509786A (ja) 2005-09-30 2009-03-12 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド Ｍｅｍｓ装置及びｍｅｍｓ装置における相互接続
US8391630B2 (en) 2005-12-22 2013-03-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for power reduction when decompressing video streams for interferometric modulator displays
US7795061B2 (en) 2005-12-29 2010-09-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of creating MEMS device cavities by a non-etching process
US7916980B2 (en) 2006-01-13 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interconnect structure for MEMS device
US7382515B2 (en) 2006-01-18 2008-06-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Silicon-rich silicon nitrides as etch stops in MEMS manufacture
US7652814B2 (en) 2006-01-27 2010-01-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device with integrated optical element
US8194056B2 (en) 2006-02-09 2012-06-05 Qualcomm Mems Technologies Inc. Method and system for writing data to MEMS display elements
US7603001B2 (en) 2006-02-17 2009-10-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing back-lighting in an interferometric modulator display device
US7550810B2 (en) * 2006-02-23 2009-06-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device having a layer movable at asymmetric rates
US8526096B2 (en) 2006-02-23 2013-09-03 Pixtronix, Inc. Mechanical light modulators with stressed beams
US7450295B2 (en) * 2006-03-02 2008-11-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods for producing MEMS with protective coatings using multi-component sacrificial layers
US7643203B2 (en) * 2006-04-10 2010-01-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric optical display system with broadband characteristics
US7903047B2 (en) 2006-04-17 2011-03-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mode indicator for interferometric modulator displays
US7711239B2 (en) 2006-04-19 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device and method utilizing nanoparticles
US8004743B2 (en) 2006-04-21 2011-08-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for providing brightness control in an interferometric modulator (IMOD) display
US8049713B2 (en) 2006-04-24 2011-11-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Power consumption optimized display update
US7369292B2 (en) * 2006-05-03 2008-05-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electrode and interconnect materials for MEMS devices
US7649671B2 (en) 2006-06-01 2010-01-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator device with electrostatic actuation and release
US7321457B2 (en) * 2006-06-01 2008-01-22 Qualcomm Incorporated Process and structure for fabrication of MEMS device having isolated edge posts
US7876489B2 (en) 2006-06-05 2011-01-25 Pixtronix, Inc. Display apparatus with optical cavities
US7471442B2 (en) 2006-06-15 2008-12-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus for low range bit depth enhancements for MEMS display architectures
US7702192B2 (en) 2006-06-21 2010-04-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods for driving MEMS display
US7835061B2 (en) 2006-06-28 2010-11-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Support structures for free-standing electromechanical devices
US7777715B2 (en) 2006-06-29 2010-08-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Passive circuits for de-multiplexing display inputs
US7527998B2 (en) 2006-06-30 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of manufacturing MEMS devices providing air gap control
JP4327183B2 (ja) * 2006-07-31 2009-09-09 株式会社日立製作所 内燃機関の高圧燃料ポンプ制御装置
US7763546B2 (en) 2006-08-02 2010-07-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods for reducing surface charges during the manufacture of microelectromechanical systems devices
WO2008024639A2 (en) 2006-08-11 2008-02-28 Donnelly Corporation Automatic headlamp control system
US7845841B2 (en) 2006-08-28 2010-12-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Angle sweeping holographic illuminator
US8872085B2 (en) 2006-10-06 2014-10-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device having front illuminator with turning features
EP2069838A2 (en) 2006-10-06 2009-06-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Illumination device with built-in light coupler
ATE556272T1 (de) 2006-10-06 2012-05-15 Qualcomm Mems Technologies Inc Optische verluststruktur in einer beleuchtungsvorrichtung
WO2008045462A2 (en) * 2006-10-10 2008-04-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device with diffractive optics
US7629197B2 (en) 2006-10-18 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Spatial light modulator
EP2080045A1 (en) 2006-10-20 2009-07-22 Pixtronix Inc. Light guides and backlight systems incorporating light redirectors at varying densities
US7864395B2 (en) 2006-10-27 2011-01-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light guide including optical scattering elements and a method of manufacture
US20080111834A1 (en) * 2006-11-09 2008-05-15 Mignard Marc M Two primary color display
US7724417B2 (en) * 2006-12-19 2010-05-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS switches with deforming membranes
US7556981B2 (en) 2006-12-29 2009-07-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Switches for shorting during MEMS etch release
US9176318B2 (en) 2007-05-18 2015-11-03 Pixtronix, Inc. Methods for manufacturing fluid-filled MEMS displays
US7852546B2 (en) 2007-10-19 2010-12-14 Pixtronix, Inc. Spacers for maintaining display apparatus alignment
US7957589B2 (en) * 2007-01-25 2011-06-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Arbitrary power function using logarithm lookup table
EP3624086A1 (en) 2007-01-25 2020-03-18 Magna Electronics Inc. Radar sensing system for vehicle
US7403180B1 (en) * 2007-01-29 2008-07-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Hybrid color synthesis for multistate reflective modulator displays
US7777954B2 (en) 2007-01-30 2010-08-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems and methods of providing a light guiding layer
US8115987B2 (en) 2007-02-01 2012-02-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Modulating the intensity of light from an interferometric reflector
US7733552B2 (en) 2007-03-21 2010-06-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc MEMS cavity-coating layers and methods
US7742220B2 (en) * 2007-03-28 2010-06-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device and method utilizing conducting layers separated by stops
US7715085B2 (en) * 2007-05-09 2010-05-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical system having a dielectric movable membrane and a mirror
US7643202B2 (en) 2007-05-09 2010-01-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical system having a dielectric movable membrane and a mirror
US7719752B2 (en) 2007-05-11 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS structures, methods of fabricating MEMS components on separate substrates and assembly of same
US8111262B2 (en) * 2007-05-18 2012-02-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator displays with reduced color sensitivity
US7643199B2 (en) * 2007-06-19 2010-01-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. High aperture-ratio top-reflective AM-iMod displays
US7782517B2 (en) 2007-06-21 2010-08-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Infrared and dual mode displays
US7569488B2 (en) * 2007-06-22 2009-08-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods of making a MEMS device by monitoring a process parameter
US7630121B2 (en) 2007-07-02 2009-12-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
US8068268B2 (en) 2007-07-03 2011-11-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS devices having improved uniformity and methods for making them
US7914187B2 (en) 2007-07-12 2011-03-29 Magna Electronics Inc. Automatic lighting system with adaptive alignment function
KR20100066452A (ko) 2007-07-31 2010-06-17 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크. 간섭계 변조기의 색 변이를 증강시키는 장치
US7570415B2 (en) 2007-08-07 2009-08-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device and interconnects for same
US8022896B2 (en) * 2007-08-08 2011-09-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. ESD protection for MEMS display panels
US8017898B2 (en) 2007-08-17 2011-09-13 Magna Electronics Inc. Vehicular imaging system in an automatic headlamp control system
US8072402B2 (en) 2007-08-29 2011-12-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric optical modulator with broadband reflection characteristics
EP2191457B1 (en) 2007-09-11 2014-12-10 Magna Electronics Imaging system for vehicle
US7773286B2 (en) 2007-09-14 2010-08-10 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Periodic dimple array
US7847999B2 (en) 2007-09-14 2010-12-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator display devices
US8446470B2 (en) 2007-10-04 2013-05-21 Magna Electronics, Inc. Combined RGB and IR imaging sensor
CN101828146B (zh) 2007-10-19 2013-05-01 高通Mems科技公司 具有集成光伏装置的显示器
US8058549B2 (en) 2007-10-19 2011-11-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Photovoltaic devices with integrated color interferometric film stacks
WO2009055393A1 (en) 2007-10-23 2009-04-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Adjustably transmissive mems-based devices
US7729036B2 (en) * 2007-11-12 2010-06-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Capacitive MEMS device with programmable offset voltage control
US8941631B2 (en) 2007-11-16 2015-01-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Simultaneous light collection and illumination on an active display
EP2067841A1 (en) * 2007-12-06 2009-06-10 Agfa HealthCare NV X-Ray imaging photostimulable phosphor screen or panel.
US7715079B2 (en) 2007-12-07 2010-05-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS devices requiring no mechanical support
US8068710B2 (en) 2007-12-07 2011-11-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Decoupled holographic film and diffuser
KR20100093590A (ko) * 2007-12-17 2010-08-25 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크. 후방 측 간섭계 마스크를 구비한 광전변환장치
RU2503068C2 (ru) 2008-02-11 2013-12-27 Квалкомм Мемс Текнолоджис, Инк. Измерение электрических управляющих параметров дисплея на основе мэмс и устройство для электрического измерения таких параметров
WO2009102733A2 (en) 2008-02-12 2009-08-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Integrated front light diffuser for reflective displays
KR20100127775A (ko) * 2008-02-12 2010-12-06 퀄컴 엠이엠스 테크놀로지스, 인크. 이중층 박막 홀로그래픽 태양광 집중장치/집광장치
WO2009102731A2 (en) 2008-02-12 2009-08-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Devices and methods for enhancing brightness of displays using angle conversion layers
US8451298B2 (en) * 2008-02-13 2013-05-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Multi-level stochastic dithering with noise mitigation via sequential template averaging
US8164821B2 (en) 2008-02-22 2012-04-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device with thermal expansion balancing layer or stiffening layer
US7643305B2 (en) * 2008-03-07 2010-01-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of preventing damage to metal traces of flexible printed circuits
US7944604B2 (en) 2008-03-07 2011-05-17 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric modulator in transmission mode
US7977931B2 (en) 2008-03-18 2011-07-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Family of current/power-efficient high voltage linear regulator circuit architectures
US7612933B2 (en) 2008-03-27 2009-11-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device with spacing layer
US7898723B2 (en) 2008-04-02 2011-03-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical systems display element with photovoltaic structure
US7969638B2 (en) 2008-04-10 2011-06-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Device having thin black mask and method of fabricating the same
US8248560B2 (en) 2008-04-18 2012-08-21 Pixtronix, Inc. Light guides and backlight systems incorporating prismatic structures and light redirectors
US8049951B2 (en) 2008-04-15 2011-11-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light with bi-directional propagation
US7851239B2 (en) 2008-06-05 2010-12-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Low temperature amorphous silicon sacrificial layer for controlled adhesion in MEMS devices
US7768690B2 (en) 2008-06-25 2010-08-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Backlight displays
US7746539B2 (en) 2008-06-25 2010-06-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method for packing a display device and the device obtained thereof
US8023167B2 (en) 2008-06-25 2011-09-20 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Backlight displays
US7859740B2 (en) 2008-07-11 2010-12-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Stiction mitigation with integrated mech micro-cantilevers through vertical stress gradient control
US7782522B2 (en) 2008-07-17 2010-08-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Encapsulation methods for interferometric modulator and MEMS devices
US7855826B2 (en) 2008-08-12 2010-12-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and apparatus to reduce or eliminate stiction and image retention in interferometric modulator devices
US8358266B2 (en) 2008-09-02 2013-01-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Light turning device with prismatic light turning features
US8169679B2 (en) 2008-10-27 2012-05-01 Pixtronix, Inc. MEMS anchors
EP2401176B1 (en) 2009-02-27 2019-05-08 Magna Electronics Alert system for vehicle
US8270056B2 (en) 2009-03-23 2012-09-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device with openings between sub-pixels and method of making same
US7864403B2 (en) 2009-03-27 2011-01-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Post-release adjustment of interferometric modulator reflectivity
US8248358B2 (en) 2009-03-27 2012-08-21 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Altering frame rates in a MEMS display by selective line skipping
US8736590B2 (en) 2009-03-27 2014-05-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Low voltage driver scheme for interferometric modulators
US8405649B2 (en) * 2009-03-27 2013-03-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Low voltage driver scheme for interferometric modulators
US20100266326A1 (en) * 2009-04-21 2010-10-21 Chuang Cheng-Hua Mark-erasable pen cap
US8376595B2 (en) 2009-05-15 2013-02-19 Magna Electronics, Inc. Automatic headlamp control
WO2010138765A1 (en) 2009-05-29 2010-12-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Illumination devices and methods of fabrication thereof
WO2010141767A1 (en) * 2009-06-05 2010-12-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for improving the quality of halftone video using an adaptive threshold
US7990604B2 (en) * 2009-06-15 2011-08-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator
WO2011014482A1 (en) 2009-07-27 2011-02-03 Magna Electronics Inc. Parking assist system
WO2011014497A1 (en) 2009-07-27 2011-02-03 Magna Electronics Inc. Vehicular camera with on-board microcontroller
WO2011028686A1 (en) 2009-09-01 2011-03-10 Magna Mirrors Of America, Inc. Imaging and display system for vehicle
US8270062B2 (en) 2009-09-17 2012-09-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display device with at least one movable stop element
US8488228B2 (en) 2009-09-28 2013-07-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interferometric display with interferometric reflector
US20110109615A1 (en) * 2009-11-12 2011-05-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Energy saving driving sequence for a display
US9090456B2 (en) * 2009-11-16 2015-07-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of manufacturing an electromechanical device by printing raised conductive contours
US20110164027A1 (en) * 2010-01-06 2011-07-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of detecting change in display data
US8310421B2 (en) * 2010-01-06 2012-11-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display drive switch configuration
US20110164068A1 (en) * 2010-01-06 2011-07-07 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reordering display line updates
US8884940B2 (en) * 2010-01-06 2014-11-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Charge pump for producing display driver output
CN102834763B (zh) 2010-02-02 2015-07-22 皮克斯特罗尼克斯公司 用于制造填充冷密封流体的显示装置的方法
CN103000141B (zh) 2010-02-02 2016-01-13 皮克斯特罗尼克斯公司 用于控制显示装置的电路
US8890955B2 (en) 2010-02-10 2014-11-18 Magna Mirrors Of America, Inc. Adaptable wireless vehicle vision system based on wireless communication error
EP2545543A1 (en) * 2010-03-12 2013-01-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Line multiplying to enable increased refresh rate of a display
US8659611B2 (en) * 2010-03-17 2014-02-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for frame buffer storage and retrieval in alternating orientations
EP2556403A1 (en) 2010-04-09 2013-02-13 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mechanical layer of an electromechanical device and methods of forming the same
US8848294B2 (en) 2010-05-20 2014-09-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and structure capable of changing color saturation
US9117123B2 (en) 2010-07-05 2015-08-25 Magna Electronics Inc. Vehicular rear view camera display system with lifecheck function
JP2013544370A (ja) 2010-08-17 2013-12-12 クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド 干渉ディスプレイデバイスの電荷中性電極の作動及び較正
US9057872B2 (en) 2010-08-31 2015-06-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Dielectric enhanced mirror for IMOD display
US8670171B2 (en) 2010-10-18 2014-03-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display having an embedded microlens array
US9180908B2 (en) 2010-11-19 2015-11-10 Magna Electronics Inc. Lane keeping system and lane centering system
US9900522B2 (en) 2010-12-01 2018-02-20 Magna Electronics Inc. System and method of establishing a multi-camera image using pixel remapping
US8902484B2 (en) 2010-12-15 2014-12-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Holographic brightness enhancement film
US9264672B2 (en) 2010-12-22 2016-02-16 Magna Mirrors Of America, Inc. Vision display system for vehicle
US20120188215A1 (en) * 2011-01-24 2012-07-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electromechanical devices with variable mechanical layers
US9085261B2 (en) 2011-01-26 2015-07-21 Magna Electronics Inc. Rear vision system with trailer angle detection
US8294184B2 (en) 2011-02-23 2012-10-23 Qualcomm Mems Technologies, Inc. EMS tunable transistor
US8780104B2 (en) 2011-03-15 2014-07-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of updating drive scheme voltages
US8345030B2 (en) 2011-03-18 2013-01-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for providing positive and negative voltages from a single inductor
US9134527B2 (en) 2011-04-04 2015-09-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US8963159B2 (en) 2011-04-04 2015-02-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Pixel via and methods of forming the same
US9194943B2 (en) 2011-04-12 2015-11-24 Magna Electronics Inc. Step filter for estimating distance in a time-of-flight ranging system
US8659816B2 (en) 2011-04-25 2014-02-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mechanical layer and methods of making the same
US9547795B2 (en) 2011-04-25 2017-01-17 Magna Electronics Inc. Image processing method for detecting objects using relative motion
US9357208B2 (en) 2011-04-25 2016-05-31 Magna Electronics Inc. Method and system for dynamically calibrating vehicular cameras
US9834153B2 (en) 2011-04-25 2017-12-05 Magna Electronics Inc. Method and system for dynamically calibrating vehicular cameras
US8988409B2 (en) 2011-07-22 2015-03-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods and devices for voltage reduction for active matrix displays using variability of pixel device capacitance
WO2013016409A1 (en) 2011-07-26 2013-01-31 Magna Electronics Inc. Vision system for vehicle
WO2013019707A1 (en) 2011-08-01 2013-02-07 Magna Electronics Inc. Vehicle camera alignment system
US20140218535A1 (en) 2011-09-21 2014-08-07 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system using image data transmission and power supply via a coaxial cable
US8786592B2 (en) 2011-10-13 2014-07-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods and systems for energy recovery in a display
US8836681B2 (en) 2011-10-21 2014-09-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for reducing effect of polarity inversion in driving display
US9146898B2 (en) 2011-10-27 2015-09-29 Magna Electronics Inc. Driver assist system with algorithm switching
US8736939B2 (en) 2011-11-04 2014-05-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Matching layer thin-films for an electromechanical systems reflective display device
WO2013074604A2 (en) 2011-11-15 2013-05-23 Magna Electronics, Inc. Calibration system and method for vehicular surround vision system
WO2013081985A1 (en) 2011-11-28 2013-06-06 Magna Electronics, Inc. Vision system for vehicle
US8847862B2 (en) 2011-11-29 2014-09-30 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems, devices, and methods for driving an interferometric modulator
US8669926B2 (en) 2011-11-30 2014-03-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Drive scheme for a display
US9030391B2 (en) 2011-11-30 2015-05-12 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems, devices, and methods for driving an analog interferometric modulator
US9762880B2 (en) 2011-12-09 2017-09-12 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with customized display
US8760751B2 (en) 2012-01-26 2014-06-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog IMOD having a color notch filter
US10457209B2 (en) 2012-02-22 2019-10-29 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with multi-paned view
WO2013126715A2 (en) 2012-02-22 2013-08-29 Magna Electronics, Inc. Vehicle camera system with image manipulation
US8694224B2 (en) 2012-03-01 2014-04-08 Magna Electronics Inc. Vehicle yaw rate correction
US9319637B2 (en) 2012-03-27 2016-04-19 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with lens pollution detection
US10089537B2 (en) 2012-05-18 2018-10-02 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with front and rear camera integration
US9135843B2 (en) 2012-05-31 2015-09-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Charge pump for producing display driver output
US9340227B2 (en) 2012-08-14 2016-05-17 Magna Electronics Inc. Vehicle lane keep assist system
US9305497B2 (en) 2012-08-31 2016-04-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Systems, devices, and methods for driving an analog interferometric modulator
DE102013217430A1 (de) 2012-09-04 2014-03-06 Magna Electronics, Inc. Fahrerassistenzsystem für ein Kraftfahrzeug
US9558409B2 (en) 2012-09-26 2017-01-31 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with trailer angle detection
US9446713B2 (en) 2012-09-26 2016-09-20 Magna Electronics Inc. Trailer angle detection system
US9723272B2 (en) 2012-10-05 2017-08-01 Magna Electronics Inc. Multi-camera image stitching calibration system
US9707896B2 (en) 2012-10-15 2017-07-18 Magna Electronics Inc. Vehicle camera lens dirt protection via air flow
US9090234B2 (en) 2012-11-19 2015-07-28 Magna Electronics Inc. Braking control system for vehicle
US10025994B2 (en) 2012-12-04 2018-07-17 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system utilizing corner detection
US9481301B2 (en) 2012-12-05 2016-11-01 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system utilizing camera synchronization
US9092986B2 (en) 2013-02-04 2015-07-28 Magna Electronics Inc. Vehicular vision system
US9445057B2 (en) 2013-02-20 2016-09-13 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with dirt detection
US10179543B2 (en) 2013-02-27 2019-01-15 Magna Electronics Inc. Multi-camera dynamic top view vision system
US9688200B2 (en) 2013-03-04 2017-06-27 Magna Electronics Inc. Calibration system and method for multi-camera vision system
US9134552B2 (en) 2013-03-13 2015-09-15 Pixtronix, Inc. Display apparatus with narrow gap electrostatic actuators
US10027930B2 (en) 2013-03-29 2018-07-17 Magna Electronics Inc. Spectral filtering for vehicular driver assistance systems
US9327693B2 (en) 2013-04-10 2016-05-03 Magna Electronics Inc. Rear collision avoidance system for vehicle
US10232797B2 (en) 2013-04-29 2019-03-19 Magna Electronics Inc. Rear vision system for vehicle with dual purpose signal lines
US9508014B2 (en) 2013-05-06 2016-11-29 Magna Electronics Inc. Vehicular multi-camera vision system
US9563951B2 (en) 2013-05-21 2017-02-07 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with targetless camera calibration
US9205776B2 (en) 2013-05-21 2015-12-08 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system using kinematic model of vehicle motion
US10567705B2 (en) 2013-06-10 2020-02-18 Magna Electronics Inc. Coaxial cable with bidirectional data transmission
US9260095B2 (en) 2013-06-19 2016-02-16 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with collision mitigation
US20140375476A1 (en) 2013-06-24 2014-12-25 Magna Electronics Inc. Vehicle alert system
US9499139B2 (en) 2013-12-05 2016-11-22 Magna Electronics Inc. Vehicle monitoring system
US9988047B2 (en) 2013-12-12 2018-06-05 Magna Electronics Inc. Vehicle control system with traffic driving control
US10160382B2 (en) 2014-02-04 2018-12-25 Magna Electronics Inc. Trailer backup assist system
US9487235B2 (en) 2014-04-10 2016-11-08 Magna Electronics Inc. Vehicle control system with adaptive wheel angle correction
US10328932B2 (en) 2014-06-02 2019-06-25 Magna Electronics Inc. Parking assist system with annotated map generation
US9925980B2 (en) 2014-09-17 2018-03-27 Magna Electronics Inc. Vehicle collision avoidance system with enhanced pedestrian avoidance
US9916660B2 (en) 2015-01-16 2018-03-13 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with calibration algorithm
US9499393B2 (en) * 2015-02-06 2016-11-22 Mks Instruments, Inc. Stress relief MEMS structure and package
US10309615B2 (en) 2015-02-09 2019-06-04 Sun Chemical Corporation Light emissive display based on lightwave coupling in combination with visible light illuminated content
US9764744B2 (en) 2015-02-25 2017-09-19 Magna Electronics Inc. Vehicle yaw rate estimation system
US10946799B2 (en) 2015-04-21 2021-03-16 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with overlay calibration
US10214206B2 (en) 2015-07-13 2019-02-26 Magna Electronics Inc. Parking assist system for vehicle
US10078789B2 (en) 2015-07-17 2018-09-18 Magna Electronics Inc. Vehicle parking assist system with vision-based parking space detection
US10086870B2 (en) 2015-08-18 2018-10-02 Magna Electronics Inc. Trailer parking assist system for vehicle
US11228700B2 (en) 2015-10-07 2022-01-18 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system camera with adaptive field of view
US10187590B2 (en) 2015-10-27 2019-01-22 Magna Electronics Inc. Multi-camera vehicle vision system with image gap fill
US10144419B2 (en) 2015-11-23 2018-12-04 Magna Electronics Inc. Vehicle dynamic control system for emergency handling
US11285878B2 (en) 2015-12-17 2022-03-29 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with camera line power filter
US11277558B2 (en) 2016-02-01 2022-03-15 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with master-slave camera configuration
US11433809B2 (en) 2016-02-02 2022-09-06 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with smart camera video output
US10160437B2 (en) 2016-02-29 2018-12-25 Magna Electronics Inc. Vehicle control system with reverse assist
US20170253237A1 (en) 2016-03-02 2017-09-07 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with automatic parking function
US10055651B2 (en) 2016-03-08 2018-08-21 Magna Electronics Inc. Vehicle vision system with enhanced lane tracking
US10300859B2 (en) 2016-06-10 2019-05-28 Magna Electronics Inc. Multi-sensor interior mirror device with image adjustment
US11968639B2 (en) 2020-11-11 2024-04-23 Magna Electronics Inc. Vehicular control system with synchronized communication between control units

Family Cites Families (316)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2534846A (en) 1946-06-20 1950-12-19 Emi Ltd Color filter
US3037189A (en) 1958-04-23 1962-05-29 Sylvania Electric Prod Visual display system
US3210757A (en) 1962-01-29 1965-10-05 Carlyle W Jacob Matrix controlled light valve display apparatus
DE1288651B (de) 1963-06-28 1969-02-06 Siemens Ag Anordnung elektrischer Dipole fuer Wellenlaengen unterhalb 1 mm und Verfahren zur Herstellung einer derartigen Anordnung
FR1603131A (ko) 1968-07-05 1971-03-22
US3653741A (en) 1970-02-16 1972-04-04 Alvin M Marks Electro-optical dipolar material
US3813265A (en) 1970-02-16 1974-05-28 A Marks Electro-optical dipolar material
US3725868A (en) 1970-10-19 1973-04-03 Burroughs Corp Small reconfigurable processor for a variety of data processing applications
JPS4946974A (ko) 1972-09-11 1974-05-07
DE2336930A1 (de) 1973-07-20 1975-02-06 Battelle Institut E V Infrarot-modulator (ii.)
US4099854A (en) 1976-10-12 1978-07-11 The Unites States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Optical notch filter utilizing electric dipole resonance absorption
US4196396A (en) 1976-10-15 1980-04-01 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Interferometer apparatus using electro-optic material with feedback
US4389096A (en) 1977-12-27 1983-06-21 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Image display apparatus of liquid crystal valve projection type
US4663083A (en) 1978-05-26 1987-05-05 Marks Alvin M Electro-optical dipole suspension with reflective-absorptive-transmissive characteristics
US4445050A (en) 1981-12-15 1984-04-24 Marks Alvin M Device for conversion of light power to electric power
US4228437A (en) 1979-06-26 1980-10-14 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Wideband polarization-transforming electromagnetic mirror
NL8001281A (nl) 1980-03-04 1981-10-01 Philips Nv Weergeefinrichting.
DE3012253A1 (de) 1980-03-28 1981-10-15 Hoechst Ag, 6000 Frankfurt Verfahren zum sichtbarmaschen von ladungsbildern und eine hierfuer geeignete vorichtung
US4377324A (en) 1980-08-04 1983-03-22 Honeywell Inc. Graded index Fabry-Perot optical filter device
US4441791A (en) 1980-09-02 1984-04-10 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror light modulator
FR2506026A1 (fr) 1981-05-18 1982-11-19 Radant Etudes Procede et dispositif pour l'analyse d'un faisceau de rayonnement d'ondes electromagnetiques hyperfrequence
NL8103377A (nl) 1981-07-16 1983-02-16 Philips Nv Weergeefinrichting.
US4571603A (en) 1981-11-03 1986-02-18 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror electrostatic printer
NL8200354A (nl) 1982-02-01 1983-09-01 Philips Nv Passieve weergeefinrichting.
US4500171A (en) 1982-06-02 1985-02-19 Texas Instruments Incorporated Process for plastic LCD fill hole sealing
US4482213A (en) 1982-11-23 1984-11-13 Texas Instruments Incorporated Perimeter seal reinforcement holes for plastic LCDs
JPS60159731A (ja) 1984-01-30 1985-08-21 Sharp Corp 液晶表示体
US5633652A (en) 1984-02-17 1997-05-27 Canon Kabushiki Kaisha Method for driving optical modulation device
US4566935A (en) 1984-07-31 1986-01-28 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4710732A (en) 1984-07-31 1987-12-01 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US5061049A (en) 1984-08-31 1991-10-29 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4596992A (en) 1984-08-31 1986-06-24 Texas Instruments Incorporated Linear spatial light modulator and printer
US5096279A (en) 1984-08-31 1992-03-17 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4662746A (en) 1985-10-30 1987-05-05 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4615595A (en) 1984-10-10 1986-10-07 Texas Instruments Incorporated Frame addressed spatial light modulator
US5172262A (en) 1985-10-30 1992-12-15 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
JPS6282454U (ko) 1985-11-13 1987-05-26
US4859060A (en) 1985-11-26 1989-08-22 501 Sharp Kabushiki Kaisha Variable interferometric device and a process for the production of the same
US5835255A (en) 1986-04-23 1998-11-10 Etalon, Inc. Visible spectrum modulator arrays
GB8610129D0 (en) 1986-04-25 1986-05-29 Secr Defence Electro-optical device
US4748366A (en) 1986-09-02 1988-05-31 Taylor George W Novel uses of piezoelectric materials for creating optical effects
US4786128A (en) 1986-12-02 1988-11-22 Quantum Diagnostics, Ltd. Device for modulating and reflecting electromagnetic radiation employing electro-optic layer having a variable index of refraction
NL8701138A (nl) 1987-05-13 1988-12-01 Philips Nv Electroscopische beeldweergeefinrichting.
DE3716485C1 (de) 1987-05-16 1988-11-24 Heraeus Gmbh W C Xenon-Kurzbogen-Entladungslampe
US4857978A (en) 1987-08-11 1989-08-15 North American Philips Corporation Solid state light modulator incorporating metallized gel and method of metallization
US4900136A (en) 1987-08-11 1990-02-13 North American Philips Corporation Method of metallizing silica-containing gel and solid state light modulator incorporating the metallized gel
GB2210540A (en) 1987-09-30 1989-06-07 Philips Electronic Associated Method of and arrangement for modifying stored data,and method of and arrangement for generating two-dimensional images
US4956619A (en) 1988-02-19 1990-09-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
US4856863A (en) 1988-06-22 1989-08-15 Texas Instruments Incorporated Optical fiber interconnection network including spatial light modulator
US5028939A (en) 1988-08-23 1991-07-02 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator system
JP2700903B2 (ja) 1988-09-30 1998-01-21 シャープ株式会社 液晶表示装置
US4982184A (en) 1989-01-03 1991-01-01 General Electric Company Electrocrystallochromic display and element
KR100202246B1 (ko) 1989-02-27 1999-06-15 윌리엄 비. 켐플러 디지탈화 비디오 시스템을 위한 장치 및 방법
US5446479A (en) 1989-02-27 1995-08-29 Texas Instruments Incorporated Multi-dimensional array video processor system
US5162787A (en) 1989-02-27 1992-11-10 Texas Instruments Incorporated Apparatus and method for digitized video system utilizing a moving display surface
US5214419A (en) 1989-02-27 1993-05-25 Texas Instruments Incorporated Planarized true three dimensional display
US5272473A (en) 1989-02-27 1993-12-21 Texas Instruments Incorporated Reduced-speckle display system
US5170156A (en) 1989-02-27 1992-12-08 Texas Instruments Incorporated Multi-frequency two dimensional display system
US5287096A (en) 1989-02-27 1994-02-15 Texas Instruments Incorporated Variable luminosity display system
US5192946A (en) 1989-02-27 1993-03-09 Texas Instruments Incorporated Digitized color video display system
US5214420A (en) 1989-02-27 1993-05-25 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator projection system with random polarity light
US5079544A (en) 1989-02-27 1992-01-07 Texas Instruments Incorporated Standard independent digitized video system
US5206629A (en) 1989-02-27 1993-04-27 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and memory for digitized video display
US4900395A (en) 1989-04-07 1990-02-13 Fsi International, Inc. HF gas etching of wafers in an acid processor
US5022745A (en) 1989-09-07 1991-06-11 Massachusetts Institute Of Technology Electrostatically deformable single crystal dielectrically coated mirror
US4954789A (en) 1989-09-28 1990-09-04 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator
US5381253A (en) 1991-11-14 1995-01-10 Board Of Regents Of University Of Colorado Chiral smectic liquid crystal optical modulators having variable retardation
US5124834A (en) 1989-11-16 1992-06-23 General Electric Company Transferrable, self-supporting pellicle for elastomer light valve displays and method for making the same
US5037173A (en) 1989-11-22 1991-08-06 Texas Instruments Incorporated Optical interconnection network
JP2910114B2 (ja) 1990-01-20 1999-06-23 ソニー株式会社 電子機器
US5500635A (en) 1990-02-20 1996-03-19 Mott; Jonathan C. Products incorporating piezoelectric material
CH682523A5 (fr) 1990-04-20 1993-09-30 Suisse Electronique Microtech Dispositif de modulation de lumière à adressage matriciel.
GB9012099D0 (en) 1990-05-31 1990-07-18 Kodak Ltd Optical article for multicolour imaging
US5018256A (en) 1990-06-29 1991-05-28 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5142405A (en) 1990-06-29 1992-08-25 Texas Instruments Incorporated Bistable dmd addressing circuit and method
EP0467048B1 (en) 1990-06-29 1995-09-20 Texas Instruments Incorporated Field-updated deformable mirror device
US5216537A (en) 1990-06-29 1993-06-01 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5083857A (en) 1990-06-29 1992-01-28 Texas Instruments Incorporated Multi-level deformable mirror device
US5099353A (en) 1990-06-29 1992-03-24 Texas Instruments Incorporated Architecture and process for integrating DMD with control circuit substrates
US5153771A (en) 1990-07-18 1992-10-06 Northrop Corporation Coherent light modulation and detector
US5526688A (en) 1990-10-12 1996-06-18 Texas Instruments Incorporated Digital flexure beam accelerometer and method
US5192395A (en) 1990-10-12 1993-03-09 Texas Instruments Incorporated Method of making a digital flexure beam accelerometer
US5044736A (en) 1990-11-06 1991-09-03 Motorola, Inc. Configurable optical filter or display
US5331454A (en) 1990-11-13 1994-07-19 Texas Instruments Incorporated Low reset voltage process for DMD
US5602671A (en) 1990-11-13 1997-02-11 Texas Instruments Incorporated Low surface energy passivation layer for micromechanical devices
IE71202B1 (en) 1990-12-17 1997-02-12 Akzo Nv Progestagen-only contraceptive
US5233459A (en) 1991-03-06 1993-08-03 Massachusetts Institute Of Technology Electric display device
US5136669A (en) 1991-03-15 1992-08-04 Sperry Marine Inc. Variable ratio fiber optic coupler optical signal processing element
DE4108966C2 (de) 1991-03-19 1994-03-10 Iot Entwicklungsgesellschaft F Elektro-optischer interferometrischer Lichtmodulator
CA2063744C (en) 1991-04-01 2002-10-08 Paul M. Urbanus Digital micromirror device architecture and timing for use in a pulse-width modulated display system
US5142414A (en) 1991-04-22 1992-08-25 Koehler Dale R Electrically actuatable temporal tristimulus-color device
US5226099A (en) 1991-04-26 1993-07-06 Texas Instruments Incorporated Digital micromirror shutter device
US5179274A (en) 1991-07-12 1993-01-12 Texas Instruments Incorporated Method for controlling operation of optical systems and devices
US5168406A (en) 1991-07-31 1992-12-01 Texas Instruments Incorporated Color deformable mirror device and method for manufacture
US5254980A (en) 1991-09-06 1993-10-19 Texas Instruments Incorporated DMD display system controller
US5358601A (en) 1991-09-24 1994-10-25 Micron Technology, Inc. Process for isotropically etching semiconductor devices
US5315370A (en) 1991-10-23 1994-05-24 Bulow Jeffrey A Interferometric modulator for optical signal processing
US5563398A (en) 1991-10-31 1996-10-08 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator scanning system
CA2081753C (en) 1991-11-22 2002-08-06 Jeffrey B. Sampsell Dmd scanner
US5233385A (en) 1991-12-18 1993-08-03 Texas Instruments Incorporated White light enhanced color field sequential projection
US5233456A (en) 1991-12-20 1993-08-03 Texas Instruments Incorporated Resonant mirror and method of manufacture
US5228013A (en) 1992-01-10 1993-07-13 Bik Russell J Clock-painting device and method for indicating the time-of-day with a non-traditional, now analog artistic panel of digital electronic visual displays
CA2087625C (en) 1992-01-23 2006-12-12 William E. Nelson Non-systolic time delay and integration printing
US5296950A (en) 1992-01-31 1994-03-22 Texas Instruments Incorporated Optical signal free-space conversion board
US5231532A (en) 1992-02-05 1993-07-27 Texas Instruments Incorporated Switchable resonant filter for optical radiation
US5212582A (en) 1992-03-04 1993-05-18 Texas Instruments Incorporated Electrostatically controlled beam steering device and method
EP0562424B1 (en) 1992-03-25 1997-05-28 Texas Instruments Incorporated Embedded optical calibration system
US5312513A (en) 1992-04-03 1994-05-17 Texas Instruments Incorporated Methods of forming multiple phase light modulators
WO1993021663A1 (en) 1992-04-08 1993-10-28 Georgia Tech Research Corporation Process for lift-off of thin film materials from a growth substrate
US5311360A (en) 1992-04-28 1994-05-10 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Junior University Method and apparatus for modulating a light beam
TW245772B (ko) 1992-05-19 1995-04-21 Akzo Nv
JPH0651250A (ja) 1992-05-20 1994-02-25 Texas Instr Inc <Ti> モノリシックな空間的光変調器およびメモリのパッケージ
US5638084A (en) 1992-05-22 1997-06-10 Dielectric Systems International, Inc. Lighting-independent color video display
JPH06214169A (ja) 1992-06-08 1994-08-05 Texas Instr Inc <Ti> 制御可能な光学的周期的表面フィルタ
US5818095A (en) 1992-08-11 1998-10-06 Texas Instruments Incorporated High-yield spatial light modulator with light blocking layer
US5345328A (en) 1992-08-12 1994-09-06 Sandia Corporation Tandem resonator reflectance modulator
US5293272A (en) 1992-08-24 1994-03-08 Physical Optics Corporation High finesse holographic fabry-perot etalon and method of fabricating
US5327286A (en) 1992-08-31 1994-07-05 Texas Instruments Incorporated Real time optical correlation system
US5325116A (en) 1992-09-18 1994-06-28 Texas Instruments Incorporated Device for writing to and reading from optical storage media
US5296775A (en) 1992-09-24 1994-03-22 International Business Machines Corporation Cooling microfan arrangements and process
US5659374A (en) 1992-10-23 1997-08-19 Texas Instruments Incorporated Method of repairing defective pixels
CN1057614C (zh) 1993-01-11 2000-10-18 德克萨斯仪器股份有限公司 用于空间光调制器的象素控制电路
US6674562B1 (en) 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US7830587B2 (en) 1993-03-17 2010-11-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light with semiconductor substrate
DE4317274A1 (de) 1993-05-25 1994-12-01 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung oberflächen-mikromechanischer Strukturen
JP3524122B2 (ja) 1993-05-25 2004-05-10 キヤノン株式会社 表示制御装置
US5559358A (en) 1993-05-25 1996-09-24 Honeywell Inc. Opto-electro-mechanical device or filter, process for making, and sensors made therefrom
US5324683A (en) 1993-06-02 1994-06-28 Motorola, Inc. Method of forming a semiconductor structure having an air region
US5489952A (en) 1993-07-14 1996-02-06 Texas Instruments Incorporated Method and device for multi-format television
US5673139A (en) 1993-07-19 1997-09-30 Medcom, Inc. Microelectromechanical television scanning device and method for making the same
US5365283A (en) 1993-07-19 1994-11-15 Texas Instruments Incorporated Color phase control for projection display using spatial light modulator
US5510824A (en) 1993-07-26 1996-04-23 Texas Instruments, Inc. Spatial light modulator array
US5526172A (en) 1993-07-27 1996-06-11 Texas Instruments Incorporated Microminiature, monolithic, variable electrical signal processor and apparatus including same
US5581272A (en) 1993-08-25 1996-12-03 Texas Instruments Incorporated Signal generator for controlling a spatial light modulator
US5552925A (en) 1993-09-07 1996-09-03 John M. Baker Electro-micro-mechanical shutters on transparent substrates
FR2710161B1 (fr) 1993-09-13 1995-11-24 Suisse Electronique Microtech Réseau miniature d'obturateurs de lumière.
US5457493A (en) 1993-09-15 1995-10-10 Texas Instruments Incorporated Digital micro-mirror based image simulation system
US5629790A (en) 1993-10-18 1997-05-13 Neukermans; Armand P. Micromachined torsional scanner
US5526051A (en) 1993-10-27 1996-06-11 Texas Instruments Incorporated Digital television system
US5497197A (en) 1993-11-04 1996-03-05 Texas Instruments Incorporated System and method for packaging data into video processor
US5459602A (en) 1993-10-29 1995-10-17 Texas Instruments Micro-mechanical optical shutter
US5452024A (en) 1993-11-01 1995-09-19 Texas Instruments Incorporated DMD display system
US5517347A (en) 1993-12-01 1996-05-14 Texas Instruments Incorporated Direct view deformable mirror device
CA2137059C (en) 1993-12-03 2004-11-23 Texas Instruments Incorporated Dmd architecture to improve horizontal resolution
US5583688A (en) 1993-12-21 1996-12-10 Texas Instruments Incorporated Multi-level digital micromirror device
US5448314A (en) 1994-01-07 1995-09-05 Texas Instruments Method and apparatus for sequential color imaging
US5500761A (en) 1994-01-27 1996-03-19 At&T Corp. Micromechanical modulator
US5444566A (en) 1994-03-07 1995-08-22 Texas Instruments Incorporated Optimized electronic operation of digital micromirror devices
US5526327A (en) 1994-03-15 1996-06-11 Cordova, Jr.; David J. Spatial displacement time display
US5665997A (en) 1994-03-31 1997-09-09 Texas Instruments Incorporated Grated landing area to eliminate sticking of micro-mechanical devices
GB9407116D0 (en) 1994-04-11 1994-06-01 Secr Defence Ferroelectric liquid crystal display with greyscale
US6040937A (en) 1994-05-05 2000-03-21 Etalon, Inc. Interferometric modulation
US7826120B2 (en) 1994-05-05 2010-11-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for multi-color interferometric modulation
US7808694B2 (en) 1994-05-05 2010-10-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
US6710908B2 (en) 1994-05-05 2004-03-23 Iridigm Display Corporation Controlling micro-electro-mechanical cavities
US7460291B2 (en) 1994-05-05 2008-12-02 Idc, Llc Separable modulator
US6680792B2 (en) 1994-05-05 2004-01-20 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US7852545B2 (en) 1994-05-05 2010-12-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
US7738157B2 (en) 1994-05-05 2010-06-15 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method for a MEMS device
US20010003487A1 (en) * 1996-11-05 2001-06-14 Mark W. Miles Visible spectrum modulator arrays
US7123216B1 (en) 1994-05-05 2006-10-17 Idc, Llc Photonic MEMS and structures
DE69522856T2 (de) 1994-05-17 2002-05-02 Sony Corp Anzeigevorrichtung mit Positionserkennung eines Zeigers
US5497172A (en) 1994-06-13 1996-03-05 Texas Instruments Incorporated Pulse width modulation for spatial light modulator with split reset addressing
US5673106A (en) 1994-06-17 1997-09-30 Texas Instruments Incorporated Printing system with self-monitoring and adjustment
US5454906A (en) 1994-06-21 1995-10-03 Texas Instruments Inc. Method of providing sacrificial spacer for micro-mechanical devices
US5499062A (en) 1994-06-23 1996-03-12 Texas Instruments Incorporated Multiplexed memory timing with block reset and secondary memory
US5485304A (en) 1994-07-29 1996-01-16 Texas Instruments, Inc. Support posts for micro-mechanical devices
US5636052A (en) 1994-07-29 1997-06-03 Lucent Technologies Inc. Direct view display based on a micromechanical modulation
US5703710A (en) 1994-09-09 1997-12-30 Deacon Research Method for manipulating optical energy using poled structure
US6053617A (en) 1994-09-23 2000-04-25 Texas Instruments Incorporated Manufacture method for micromechanical devices
US5619059A (en) 1994-09-28 1997-04-08 National Research Council Of Canada Color deformable mirror device having optical thin film interference color coatings
US6560018B1 (en) 1994-10-27 2003-05-06 Massachusetts Institute Of Technology Illumination system for transmissive light valve displays
US5650881A (en) 1994-11-02 1997-07-22 Texas Instruments Incorporated Support post architecture for micromechanical devices
US5552924A (en) 1994-11-14 1996-09-03 Texas Instruments Incorporated Micromechanical device having an improved beam
US5474865A (en) 1994-11-21 1995-12-12 Sematech, Inc. Globally planarized binary optical mask using buried absorbers
US5610624A (en) 1994-11-30 1997-03-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator with reduced possibility of an on state defect
US5726480A (en) 1995-01-27 1998-03-10 The Regents Of The University Of California Etchants for use in micromachining of CMOS Microaccelerometers and microelectromechanical devices and method of making the same
US5567334A (en) 1995-02-27 1996-10-22 Texas Instruments Incorporated Method for creating a digital micromirror device using an aluminum hard mask
US5610438A (en) 1995-03-08 1997-03-11 Texas Instruments Incorporated Micro-mechanical device with non-evaporable getter
US5636185A (en) 1995-03-10 1997-06-03 Boit Incorporated Dynamically changing liquid crystal display timekeeping apparatus
US5535047A (en) 1995-04-18 1996-07-09 Texas Instruments Incorporated Active yoke hidden hinge digital micromirror device
US5784190A (en) 1995-04-27 1998-07-21 John M. Baker Electro-micro-mechanical shutters on transparent substrates
US5641391A (en) 1995-05-15 1997-06-24 Hunter; Ian W. Three dimensional microfabrication by localized electrodeposition and etching
US6046840A (en) 1995-06-19 2000-04-04 Reflectivity, Inc. Double substrate reflective spatial light modulator with self-limiting micro-mechanical elements
US5739945A (en) 1995-09-29 1998-04-14 Tayebati; Parviz Electrically tunable optical filter utilizing a deformable multi-layer mirror
US5661591A (en) 1995-09-29 1997-08-26 Texas Instruments Incorporated Optical switch having an analog beam for steering light
GB9522135D0 (en) 1995-10-30 1996-01-03 John Mcgavigan Holdings Limite Display panels
WO1997017628A1 (en) 1995-11-06 1997-05-15 Etalon, Inc. Interferometric modulation
US5740150A (en) 1995-11-24 1998-04-14 Kabushiki Kaisha Toshiba Galvanomirror and optical disk drive using the same
US5825528A (en) 1995-12-26 1998-10-20 Lucent Technologies Inc. Phase-mismatched fabry-perot cavity micromechanical modulator
JP3799092B2 (ja) 1995-12-29 2006-07-19 アジレント・テクノロジーズ・インク 光変調装置及びディスプレイ装置
US5638946A (en) 1996-01-11 1997-06-17 Northeastern University Micromechanical switch with insulated switch contact
US5751469A (en) 1996-02-01 1998-05-12 Lucent Technologies Inc. Method and apparatus for an improved micromechanical modulator
US6624944B1 (en) 1996-03-29 2003-09-23 Texas Instruments Incorporated Fluorinated coating for an optical element
US5710656A (en) 1996-07-30 1998-01-20 Lucent Technologies Inc. Micromechanical optical modulator having a reduced-mass composite membrane
US5793504A (en) 1996-08-07 1998-08-11 Northrop Grumman Corporation Hybrid angular/spatial holographic multiplexer
US5838484A (en) 1996-08-19 1998-11-17 Lucent Technologies Inc. Micromechanical optical modulator with linear operating characteristic
US5912758A (en) 1996-09-11 1999-06-15 Texas Instruments Incorporated Bipolar reset for spatial light modulators
US5771116A (en) 1996-10-21 1998-06-23 Texas Instruments Incorporated Multiple bias level reset waveform for enhanced DMD control
US5786927A (en) 1997-03-12 1998-07-28 Lucent Technologies Inc. Gas-damped micromechanical structure
EP0877272B1 (en) 1997-05-08 2002-07-31 Texas Instruments Incorporated Improvements in or relating to spatial light modulators
US6480177B2 (en) 1997-06-04 2002-11-12 Texas Instruments Incorporated Blocked stepped address voltage for micromechanical devices
US5808780A (en) 1997-06-09 1998-09-15 Texas Instruments Incorporated Non-contacting micromechanical optical switch
US6239777B1 (en) 1997-07-22 2001-05-29 Kabushiki Kaisha Toshiba Display device
KR19990016714A (ko) 1997-08-19 1999-03-15 윤종용 다면 영상 디스플레이형 배면 투사 프로젝트 장치
US5994174A (en) 1997-09-29 1999-11-30 The Regents Of The University Of California Method of fabrication of display pixels driven by silicon thin film transistors
US6285424B1 (en) 1997-11-07 2001-09-04 Sumitomo Chemical Company, Limited Black mask, color filter and liquid crystal display
US6028690A (en) 1997-11-26 2000-02-22 Texas Instruments Incorporated Reduced micromirror mirror gaps for improved contrast ratio
US6180428B1 (en) 1997-12-12 2001-01-30 Xerox Corporation Monolithic scanning light emitting devices using micromachining
EP0969306B1 (en) 1998-01-20 2005-05-11 Seiko Epson Corporation Optical switching device and image display device
JPH11211999A (ja) 1998-01-28 1999-08-06 Teijin Ltd 光変調素子および表示装置
US6660656B2 (en) 1998-02-11 2003-12-09 Applied Materials Inc. Plasma processes for depositing low dielectric constant films
US6100861A (en) 1998-02-17 2000-08-08 Rainbow Displays, Inc. Tiled flat panel display with improved color gamut
US6195196B1 (en) 1998-03-13 2001-02-27 Fuji Photo Film Co., Ltd. Array-type exposing device and flat type display incorporating light modulator and driving method thereof
WO1999052006A2 (en) 1998-04-08 1999-10-14 Etalon, Inc. Interferometric modulation of radiation
US6097145A (en) 1998-04-27 2000-08-01 Copytele, Inc. Aerogel-based phase transition flat panel display
US5943158A (en) 1998-05-05 1999-08-24 Lucent Technologies Inc. Micro-mechanical, anti-reflection, switched optical modulator array and fabrication method
US6160833A (en) 1998-05-06 2000-12-12 Xerox Corporation Blue vertical cavity surface emitting laser
AU3987299A (en) 1998-05-12 1999-11-29 E-Ink Corporation Microencapsulated electrophoretic electrostatically-addressed media for drawing device applications
US6282010B1 (en) 1998-05-14 2001-08-28 Texas Instruments Incorporated Anti-reflective coatings for spatial light modulators
US6323982B1 (en) 1998-05-22 2001-11-27 Texas Instruments Incorporated Yield superstructure for digital micromirror device
US6147790A (en) 1998-06-02 2000-11-14 Texas Instruments Incorporated Spring-ring micromechanical device
US6295154B1 (en) 1998-06-05 2001-09-25 Texas Instruments Incorporated Optical switching apparatus
US6496122B2 (en) 1998-06-26 2002-12-17 Sharp Laboratories Of America, Inc. Image display and remote control system capable of displaying two distinct images
JP3800820B2 (ja) 1998-08-27 2006-07-26 セイコーエプソン株式会社 能動型マイクロ光学素子、及び、画像表示装置
GB2341476A (en) 1998-09-03 2000-03-15 Sharp Kk Variable resolution display device
US6113239A (en) 1998-09-04 2000-09-05 Sharp Laboratories Of America, Inc. Projection display system for reflective light valves
JP4074714B2 (ja) 1998-09-25 2008-04-09 富士フイルム株式会社 アレイ型光変調素子及び平面ディスプレイの駆動方法
JP3919954B2 (ja) 1998-10-16 2007-05-30 富士フイルム株式会社 アレイ型光変調素子及び平面ディスプレイの駆動方法
US6171945B1 (en) 1998-10-22 2001-01-09 Applied Materials, Inc. CVD nanoporous silica low dielectric constant films
US6288824B1 (en) 1998-11-03 2001-09-11 Alex Kastalsky Display device based on grating electromechanical shutter
US6335831B2 (en) * 1998-12-18 2002-01-01 Eastman Kodak Company Multilevel mechanical grating device
US6465956B1 (en) 1998-12-28 2002-10-15 Pioneer Corporation Plasma display panel
US6215221B1 (en) 1998-12-29 2001-04-10 Honeywell International Inc. Electrostatic/pneumatic actuators for active surfaces
US6358021B1 (en) 1998-12-29 2002-03-19 Honeywell International Inc. Electrostatic actuators for active surfaces
JP3864204B2 (ja) 1999-02-19 2006-12-27 株式会社日立プラズマパテントライセンシング プラズマディスプレイパネル
US6606175B1 (en) 1999-03-16 2003-08-12 Sharp Laboratories Of America, Inc. Multi-segment light-emitting diode
US6449084B1 (en) 1999-05-10 2002-09-10 Yanping Guo Optical deflector
US6201633B1 (en) 1999-06-07 2001-03-13 Xerox Corporation Micro-electromechanical based bistable color display sheets
US6862029B1 (en) 1999-07-27 2005-03-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Color display system
US6331909B1 (en) 1999-08-05 2001-12-18 Microvision, Inc. Frequency tunable resonant scanner
US6525310B2 (en) 1999-08-05 2003-02-25 Microvision, Inc. Frequency tunable resonant scanner
WO2003007049A1 (en) 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US6741383B2 (en) 2000-08-11 2004-05-25 Reflectivity, Inc. Deflectable micromirrors with stopping mechanisms
US6549338B1 (en) 1999-11-12 2003-04-15 Texas Instruments Incorporated Bandpass filter to reduce thermal impact of dichroic light shift
US6552840B2 (en) 1999-12-03 2003-04-22 Texas Instruments Incorporated Electrostatic efficiency of micromechanical devices
US6545335B1 (en) 1999-12-27 2003-04-08 Xerox Corporation Structure and method for electrical isolation of optoelectronic integrated circuits
US6548908B2 (en) 1999-12-27 2003-04-15 Xerox Corporation Structure and method for planar lateral oxidation in passive devices
US6674090B1 (en) 1999-12-27 2004-01-06 Xerox Corporation Structure and method for planar lateral oxidation in active
US6466358B2 (en) 1999-12-30 2002-10-15 Texas Instruments Incorporated Analog pulse width modulation cell for digital micromechanical device
US6407851B1 (en) * 2000-08-01 2002-06-18 Mohammed N. Islam Micromechanical optical switch
US6836366B1 (en) 2000-03-03 2004-12-28 Axsun Technologies, Inc. Integrated tunable fabry-perot filter and method of making same
US7008812B1 (en) 2000-05-30 2006-03-07 Ic Mechanics, Inc. Manufacture of MEMS structures in sealed cavity using dry-release MEMS device encapsulation
US6466190B1 (en) 2000-06-19 2002-10-15 Koninklijke Philips Electronics N.V. Flexible color modulation tables of ratios for generating color modulation patterns
US6473274B1 (en) 2000-06-28 2002-10-29 Texas Instruments Incorporated Symmetrical microactuator structure for use in mass data storage devices, or the like
TW535024B (en) 2000-06-30 2003-06-01 Minolta Co Ltd Liquid display element and method of producing the same
DE60142452D1 (de) 2000-07-03 2010-08-05 Sony Corp Optische Mehrschicht-Struktur, optische Schalteinrichtung und Bildanzeigevorrichtung
CA2352729A1 (en) * 2000-07-13 2002-01-13 Creoscitex Corporation Ltd. Blazed micro-mechanical light modulator and array thereof
US6456420B1 (en) 2000-07-27 2002-09-24 Mcnc Microelectromechanical elevating structures
US6853129B1 (en) 2000-07-28 2005-02-08 Candescent Technologies Corporation Protected substrate structure for a field emission display device
US6778155B2 (en) 2000-07-31 2004-08-17 Texas Instruments Incorporated Display operation with inserted block clears
JP2002062490A (ja) 2000-08-14 2002-02-28 Canon Inc 干渉性変調素子
US6635919B1 (en) 2000-08-17 2003-10-21 Texas Instruments Incorporated High Q-large tuning range micro-electro mechanical system (MEMS) varactor for broadband applications
US6376787B1 (en) 2000-08-24 2002-04-23 Texas Instruments Incorporated Microelectromechanical switch with fixed metal electrode/dielectric interface with a protective cap layer
US6643069B2 (en) 2000-08-31 2003-11-04 Texas Instruments Incorporated SLM-base color projection display having multiple SLM's and multiple projection lenses
US6466354B1 (en) 2000-09-19 2002-10-15 Silicon Light Machines Method and apparatus for interferometric modulation of light
US6859218B1 (en) 2000-11-07 2005-02-22 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Electronic display devices and methods
US6433917B1 (en) 2000-11-22 2002-08-13 Ball Semiconductor, Inc. Light modulation device and system
US6647171B1 (en) 2000-12-01 2003-11-11 Corning Incorporated MEMS optical switch actuator
US6847752B2 (en) 2000-12-07 2005-01-25 Bluebird Optical Mems Ltd. Integrated actuator for optical switch mirror array
US6906847B2 (en) 2000-12-07 2005-06-14 Reflectivity, Inc Spatial light modulators with light blocking/absorbing areas
JP2004516783A (ja) 2000-12-11 2004-06-03 ラド エイチ ダバイ 静電装置
US6775174B2 (en) 2000-12-28 2004-08-10 Texas Instruments Incorporated Memory architecture for micromirror cell
US6625047B2 (en) 2000-12-31 2003-09-23 Texas Instruments Incorporated Micromechanical memory element
US6912078B2 (en) 2001-03-16 2005-06-28 Corning Incorporated Electrostatically actuated micro-electro-mechanical devices and method of manufacture
US20020167072A1 (en) 2001-03-16 2002-11-14 Andosca Robert George Electrostatically actuated micro-electro-mechanical devices and method of manufacture
US6630786B2 (en) 2001-03-30 2003-10-07 Candescent Technologies Corporation Light-emitting device having light-reflective layer formed with, or/and adjacent to, material that enhances device performance
GB0108309D0 (en) 2001-04-03 2001-05-23 Koninkl Philips Electronics Nv Matrix array devices with flexible substrates
US20020149850A1 (en) 2001-04-17 2002-10-17 E-Tek Dynamics, Inc. Tunable optical filter
US6657832B2 (en) 2001-04-26 2003-12-02 Texas Instruments Incorporated Mechanically assisted restoring force support for micromachined membranes
US6465355B1 (en) 2001-04-27 2002-10-15 Hewlett-Packard Company Method of fabricating suspended microstructures
GB2375184A (en) 2001-05-02 2002-11-06 Marconi Caswell Ltd Wavelength selectable optical filter
EP1456699B1 (en) 2001-07-05 2008-12-31 International Business Machines Corporation Microsystem switches
JP3740444B2 (ja) 2001-07-11 2006-02-01 キヤノン株式会社 光偏向器、それを用いた光学機器、ねじれ揺動体
JP4032216B2 (ja) 2001-07-12 2008-01-16 ソニー株式会社 光学多層構造体およびその製造方法、並びに光スイッチング素子および画像表示装置
KR100452112B1 (ko) 2001-07-18 2004-10-12 한국과학기술원 정전 구동기
US6589625B1 (en) 2001-08-01 2003-07-08 Iridigm Display Corporation Hermetic seal and method to create the same
US6600201B2 (en) 2001-08-03 2003-07-29 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Systems with high density packing of micromachines
US6632698B2 (en) 2001-08-07 2003-10-14 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Microelectromechanical device having a stiffened support beam, and methods of forming stiffened support beams in MEMS
US6661562B2 (en) 2001-08-17 2003-12-09 Lucent Technologies Inc. Optical modulator and method of manufacture thereof
US20030053078A1 (en) 2001-09-17 2003-03-20 Mark Missey Microelectromechanical tunable fabry-perot wavelength monitor with thermal actuators
WO2003028059A1 (en) 2001-09-21 2003-04-03 Hrl Laboratories, Llc Mems switches and methods of making same
US7004015B2 (en) 2001-10-25 2006-02-28 The Regents Of The University Of Michigan Method and system for locally sealing a vacuum microcavity, methods and systems for monitoring and controlling pressure and method and system for trimming resonant frequency of a microstructure therein
JP3893421B2 (ja) 2001-12-27 2007-03-14 富士フイルム株式会社 光変調素子及び光変調素子アレイ並びにそれを用いた露光装置
US6608268B1 (en) 2002-02-05 2003-08-19 Memtronics, A Division Of Cogent Solutions, Inc. Proximity micro-electro-mechanical system
US6794119B2 (en) 2002-02-12 2004-09-21 Iridigm Display Corporation Method for fabricating a structure for a microelectromechanical systems (MEMS) device
WO2003069404A1 (fr) 2002-02-15 2003-08-21 Bridgestone Corporation Unite d'affichage d'images
US6643053B2 (en) 2002-02-20 2003-11-04 The Regents Of The University Of California Piecewise linear spatial phase modulator using dual-mode micromirror arrays for temporal and diffractive fourier optics
US6574033B1 (en) 2002-02-27 2003-06-03 Iridigm Display Corporation Microelectromechanical systems device and method for fabricating same
US6891658B2 (en) 2002-03-04 2005-05-10 The University Of British Columbia Wide viewing angle reflective display
US6980347B2 (en) 2003-07-03 2005-12-27 Reflectivity, Inc Micromirror having reduced space between hinge and mirror plate of the micromirror
US7161728B2 (en) 2003-12-09 2007-01-09 Idc, Llc Area array modulation and lead reduction in interferometric modulators
US7119945B2 (en) 2004-03-03 2006-10-10 Idc, Llc Altering temporal response of microelectromechanical elements
US7476327B2 (en) 2004-05-04 2009-01-13 Idc, Llc Method of manufacture for microelectromechanical devices
US7075700B2 (en) 2004-06-25 2006-07-11 The Boeing Company Mirror actuator position sensor systems and methods
ATE397759T1 (de) 2004-09-01 2008-06-15 Barco Nv Prismenanordnung
US7327510B2 (en) 2004-09-27 2008-02-05 Idc, Llc Process for modifying offset voltage characteristics of an interferometric modulator
US7893919B2 (en) 2004-09-27 2011-02-22 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Display region architectures
US7321456B2 (en) 2004-09-27 2008-01-22 Idc, Llc Method and device for corner interferometric modulation
US7372613B2 (en) 2004-09-27 2008-05-13 Idc, Llc Method and device for multistate interferometric light modulation
US7719500B2 (en) 2004-09-27 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Reflective display pixels arranged in non-rectangular arrays
US7420725B2 (en) 2004-09-27 2008-09-02 Idc, Llc Device having a conductive light absorbing mask and method for fabricating same
US7527995B2 (en) 2004-09-27 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of making prestructure for MEMS systems
US7289259B2 (en) 2004-09-27 2007-10-30 Idc, Llc Conductive bus structure for interferometric modulator array
US7302157B2 (en) 2004-09-27 2007-11-27 Idc, Llc System and method for multi-level brightness in interferometric modulation
US7554714B2 (en) 2004-09-27 2009-06-30 Idc, Llc Device and method for manipulation of thermal response in a modulator

Also Published As

Publication number Publication date
CN100472270C (zh) 2009-03-25
US6574033B1 (en) 2003-06-03
WO2003073151A1 (en) 2003-09-04
AU2002308517A1 (en) 2003-09-09
KR100944922B1 (ko) 2010-03-03
EP1488271A1 (en) 2004-12-22
JP2005525776A (ja) 2005-08-25
JP4223406B2 (ja) 2009-02-12
EP1488271A4 (en) 2013-05-29
USRE42119E1 (en) 2011-02-08
CN1633616A (zh) 2005-06-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100944922B1 (ko) Ｍｅｍｓ 장치 및 그 제조 방법
US7447891B2 (en) Light modulator with concentric control-electrode structure
US7733553B2 (en) Light modulator with tunable optical state
US7119945B2 (en) Altering temporal response of microelectromechanical elements
US6747785B2 (en) MEMS-actuated color light modulator and methods
US7221497B2 (en) Optical interference pixel display
US5665997A (en) Grated landing area to eliminate sticking of micro-mechanical devices
KR100218826B1 (ko) 박막 작동식 미러 장치
JP2002062490A (ja) 干渉性変調素子
US7245415B2 (en) High contrast spatial light modulator
JP2001215317A (ja) 順応型回折格子装置を具備した空間光変調器
EP1834201A1 (en) Light modulator device
US6844960B2 (en) Microelectromechanical device with continuously variable displacement
EP1618427A2 (en) Self-packaged optical interference display device having anti-stiction bumps, integral micro-lens, and reflection-absorbing layers
JP5085101B2 (ja) 可変分光素子
US7570417B2 (en) Micro-electro mechanical light modulator device
US7623142B2 (en) Flexure
WO2005093867A2 (en) Piezoelectric flexures for light modulator
US7471441B1 (en) Flexures
JPH11160635A (ja) 光学素子及びその製造方法並びにそれを用いた装置
JP4107860B2 (ja) 光学効率とコントラストが改良された電気機械コンフォーマル格子デバイスのリニアアレイ
KR20060047478A (ko) 오픈홀 기반의 회절 광변조기
CN113759540A (zh) 微镜的驱动装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130130

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140129

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150129

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee