KR20040077902A - 경질 피복층을 가진 표면 피복 절삭 공구 부재 및 이 경질피복층을 절삭 공구 표면에 형성하는 방법 - Google Patents
경질 피복층을 가진 표면 피복 절삭 공구 부재 및 이 경질피복층을 절삭 공구 표면에 형성하는 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (16)
- 경질 베이스체의 표면에, Ti 와 Y 의 복합 질화물층으로 이루어지는 경질 피복층을 1∼15㎛ 의 전체 평균 층두께로 물리증착하여 이루어지는 표면 피복 절삭 공구 부재로서,상기 경질 피복층은, 층두께 방향을 따라 Y 성분 최고 함유점 (Ti 성분 최저 함유점) 과 Y 성분 불함유점 (TiN 점) 이 소정 간격을 두고 교대로 반복되어 존재하고, 또한 상기 Y 성분 최고 함유점에서 상기 Y 성분 불함유점, 상기 Y 성분 불함유점에서 상기 Y 성분 최고 함유점으로 Y 성분 함유량이 연속적으로 변화하는 성분 농도 분포 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 표면 피복 절삭 공구 부재.
- 제 1 항에 있어서, 상기 Y 성분 최고 함유점은, 조성식 : (Ti1-XYx)N (단, 원자비로 X 는 0.05∼0.15 를 나타냄) 을 만족하고, 또한 인접하는 상기 Y 성분 최고 함유점과 Y 성분 불함유점의 간격이 0.01∼0.1㎛ 인 것을 특징으로 하는 표면 피복 절삭 공구 부재.
- 제 1 항에 있어서, 상기 Y 성분 최고 함유점은, 조성식 : (Ti1-XYx)N (단, 원자비로 X 는 0.005∼0.10 을 나타냄) 을 만족하고, 또한 인접하는 상기 Y 성분 최고 함유점과 Y 성분 불함유점의 간격이 0.01∼0.1㎛ 인 것을 특징으로 하는 표면피복 절삭 공구 부재.
- 제 3 항에 있어서, 상기 Y 성분 최고 함유점은, 조성식 : (Ti1-XYx)N (단, 원자비로 X 는 0.005∼0.07 을 나타냄) 을 만족하는 것을 특징으로 하는 표면 피복 절삭 공구 부재.
- 제 3 항에 있어서, 상기 Y 성분 최고 함유점은, 조성식 : (Ti1-XYx)N (단, 원자비로 X 는 0.01∼0.05 를 나타냄) 을 만족하는 것을 특징으로 하는 표면 피복 절삭 공구 부재.
- 제 1 항에 있어서, 상기 경질 베이스체는 탄화텅스텐기 초경 합금 베이스체인 것을 특징으로 하는 표면 피복 절삭 공구 부재.
- 제 1 항에 있어서, 상기 경질 베이스체는 탄질화티탄기 서멧 베이스체인 것을 특징으로 하는 표면 피복 절삭 공구 부재.
- 제 1 항에 있어서, 상기 경질 베이스체는 입방정 질화붕소기 소결 재료 베이스체인 것을 특징으로 하는 표면 피복 절삭 공구 부재.
- 아크 이온 플레이팅 장치 내의 회전 테이블 상에, 상기 회전 테이블의 중심축으로부터 반경방향으로 떨어진 위치에 경질 베이스체로 이루어지는 절삭 공구를 자전이 자유롭게 장착하고,상기 아크 이온 플레이팅 장치 내의 반응 분위기를 질소가스 분위기로 하고, 상기 회전 테이블을 사이에 두고 대향배치한 Y 성분 최고 함유점 (Ti 성분 최저 함유점) 형성용 Ti-Y 합금의 캐소드 전극 및 Y 성분 불함유점 (TiN 점) 형성용 금속 Ti 의 캐소드 전극과, 이들 캐소드 전극의 각각에 나란히 설치된 애노드 전극과의 사이에 아크 방전을 발생시키고,따라서 상기 회전 테이블 상에서 자전하면서 회전하는 상기 절삭 공구의 표면에,두께 방향을 따라, Y 성분 최고 함유점 (Ti 성분 최저 함유점) 과 Y 성분 불함유점 (TiN 점) 이 소정 간격을 두고 교대로 반복되어 존재하고, 또한 상기 Y 성분 최고 함유점에서 상기 Y 성분 불함유점, 상기 Y 성분 불함유점에서 상기 Y 성분 최고 함유점으로 Y (Ti) 성분 함유량이 연속적으로 변화하는 성분 농도 분포 구조를 갖는 Ti 와 Y 의 복합 산화물로 이루어지는 경질 피복층을 1∼15㎛ 의 전체 평균 층두께로 물리증착하는 것을 특징으로 하는, 경질 피복층을 절삭 공구 표면에 형성하는 방법.
- 제 9 항에 있어서, 상기 경질 피복층은 상기 Y 성분 최고 함유점이, 조성식: (Ti1- XYx)N (단, 원자비로 X 는 0.05∼0.15 를 나타냄) 을 만족하고, 또한 인접하는 상기 Y 성분 최고 함유점과 Y 성분 불함유점의 간격이 0.01∼0.1㎛ 인 것을 특징으로 하는, 경질 피복층을 절삭 공구 표면에 형성하는 방법.
- 제 9 항에 있어서, 상기 경질 피복층은, 상기 Y 성분 최고 함유점이, 조성식 : (Ti1- XYx)N (단, 원자비로 X 는 0.005∼0.10 을 나타냄) 을 만족하고, 또한 인접하는 상기 Y 성분 최고 함유점과 Y 성분 불함유점의 간격이 0.01∼0.1㎛ 인 것을 특징으로 하는, 경질 피복층을 절삭 공구 표면에 형성하는 방법.
- 제 9 항에 있어서, 상기 경질 피복층은, 상기 Y 성분 최고 함유점이, 조성식 : (Ti1- XYx)N (단, 원자비로 X 는 0.005∼0.07 을 나타냄) 을 만족하고, 또한 인접하는 상기 Y 성분 최고 함유점과 Y 성분 불함유점의 간격이 0.01∼0.1㎛ 인 것을 특징으로 하는, 경질 피복층을 절삭 공구 표면에 형성하는 방법.
- 제 9 항에 있어서, 상기 경질 피복층은, 상기 Y 성분 최고 함유점이, 조성식 : (Ti1- XYx)N (단, 원자비로 X 는 0.01∼0.05 를 나타냄) 을 만족하고, 또한 인접하는 상기 Y 성분 최고 함유점과 Y 성분 불함유점의 간격이 0.01∼0.1㎛ 인 것을 특징으로 하는, 경질 피복층을 절삭 공구 표면에 형성하는 방법.
- 제 9 항에 있어서, 상기 경질 베이스체는, 탄화텅스텐기 초경 합금 베이스체인 것을 특징으로 하는, 경질 피복층을 절삭 공구 표면에 형성하는 방법.
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