KR20040070763A - 웨이퍼 이송용 브레이드 어셈블리 - Google Patents

웨이퍼 이송용 브레이드 어셈블리 Download PDF

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KR20040070763A
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김태훈
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Abstract

본 발명은 웨이퍼 이송용 브레이드 어셈블리에 관한 것이다.
본 발명의 적재된 웨이퍼를 이송하는 브레이드 어셈블리에 있어서, 상기 브레이드의 후단에 일체로 형성되어 상기 본체 내부에 위치하는 연장부와; 상기 연장부가 수평 이동 가능하도록 상기 본체의 내측면에 설치된 평판베어링과; 상기 브레이드의 연장부 끝단에 설치되어 압축되는 스프링과; 상기 본체에 직교 설치되어 상기 연장부의 후진 정도를 감지하는 감지센서와; 상기 감지센서의 신호를 받아 작동을 제어하는 제어부를; 포함하는 구성임을 특징으로 한다. 따라서 브레이드에 충격이 가해지면 내장된 센서에 의하여 동작이 즉시 중지되어 사고를 미연에 방지하여 수율 향상 및 생산성 향상의 효과가 있다.

Description

웨이퍼 이송용 브레이드 어셈블리{WAFER TRANSPORTATION BLADE ASSEMBLY}
본 발명은 웨이퍼 이송용 브레이드 어셈블리에 관한 것으로써, 기판 처리 시스템에서 챔버 사이에 또는 챔버를 통해 웨이퍼를 이송하는데 사용되는 웨이퍼 이송용 브레이드 어셈블리에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼 브레이드 어셈블리는 이송 로봇 전체의 어셈블리의 업/다운을 시켜주는 리드(lead)부위 및 웨이퍼를 들고 언로딩을 하는 브레이드와 이를 동작하게 구성하는 로테이션, 리트랙트(retract)/업, 다운의 동작을 위한 기어 및 각 모터로 구성되어 있으며, 또한 이를 각 스텝 움직임에 맞게 동작시키는 모터 구동부를 구비하고 있다. 이러한 핸들러의 브레이드에 의한 로딩 동작은 브레이드를 카세트로 삽입하여 웨이퍼를 슬롯에 끼우고 하강하므로서 웨이퍼가 슬롯에 놓여져 탑재하는 것이고, 언로딩 동작은 브레이드를 카세트로 삽입하여 슬롯에 탑재된 웨이퍼를 약간 들어올려 브레이드에 웨이퍼가 탑재되도록 하는 것이다.
도 1은 종래의 웨이퍼 이송용 브레이드의 어셈블리의 사시도이다.
웨이퍼가 적재되는 브레이드(2)와, 브레이드(2)의 내측 베어링부에 연결되는 아암피봇(3)과, 상기 아암피봇(3)과 볼트(4) 체결되는 아암(5)으로 구성된다.
그러나 브레이드(2)가 웨이퍼 이송도 중 종종 로봇에 충돌하게되어 로봇이나 웨이퍼 등에 큰 손상을 입게 된다. 작게는 브레이드(2)가 파손되며, 아암(5)이 휘어져 이탈하는 경우에는 전원 공급부에 로드(load)를 주어 로봇 앗세이에 심한 손상을 주어 교체를 해야 하는 경우가 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 결점을 해소시키기 위하여 안출된 것으로서, 브레이드에 충격이 가해지면 내장된 센서에 의하여 동작이 즉시 중지되어 사고를 미연에 방지하는 웨이퍼 이송용 브레이드 어셈블리를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 브레이드와, 상기 브레이드를 고정하는 어퍼클램프와 로우클램프로 이루어진 본체와, 상기 본체의 내측 베어링부에 연결되는 아암피봇과, 상기 아암피봇과 볼트 체결되는 아암으로 구성되어 적재된 웨이퍼를 이송하는 브레이드 어셈블리에 있어서; 상기 브레이드의 후단에 일체로 형성되어 상기 본체 내부에 위치하는 연장부와; 상기 연장부가 수평 이동 가능하도록 상기 본체의 내측면에 설치된 평판베어링과; 상기 브레이드의 연장부 끝단에 설치되어 압축되는 스프링과; 상기 본체에 직교 설치되어 상기 연장부의 후진 정도를 감지하는 감지센서와; 상기 감지센서의 신호를 받아 작동을 제어하는 제어부를; 포함하는 구성임을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 브레이드 어셈블리를 제공한다.
본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술되는 발명의 바람직한 실시 예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.
도 1은 종래의 웨이퍼 이송용 브레이드 어셈블리의 사시도이고,
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 이송용 브레이드 어셈블리의 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 브레이드 20 : 본체
21 : 어퍼클램프(upper clamp) 22 : 로우클램프(lower clamp)
23 : 평판베어링 24 : 스프링
25 : 베어링부 26 : 아암피봇(arm pivot)
27 : 아암 30 : 감지센서
32 : 발광소자 34 : 수광소자
40 : 제어부
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 이송용 브레이드 어셈블리의 단면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이 웨이퍼 이송용 브레이드 어셈블리는, 웨이퍼가 적재되는 브레이드(10)와, 브레이드(10)의 후단을 고정하는 어퍼클램프(21)와 로우클램프(22)로 이루어진 본체(20)와, 상기 본체(20)의 내측 베어링부(25)에 연결되는 아암피봇(26)과, 아암피봇(26)과 볼트 체결되는 아암(27)으로 크게 구성된다.
여기서 본 발명의 특징에 따라 본체(20) 내부에 브레이드(10)가 충돌되면 즉시 동작이 중지되는 장치가 설치된다.
브레이드(10)의 후단에 일체로 연장 형성된 연장부(12)가 본체(20) 내부에 설치된다. 그리고 연장부(12)의 수평 이동이 용이하도록 본체(20)의 내측면에 평판베어링(23)이 설치된다.
수평 이동하는 연장부(12)에 의하여 압축되고, 복원력을 가지는 스프링(24)이 연장부(12)의 일단에 고정 설치된다.
그리고 본체(20) 상에 직교 방향으로 감지센서(30)가 설치된다.
감지센서(30)는 브레이드(10)와 일체의 연장부(12)가 후진하는 정도를 감지하게 된다.
감지센서(30)는 어퍼클램프(21) 상에 설치되어 일정한 파장을 가지는 빛을 출력하는 발광소자(32)와, 발광소자(32)로부터 출력되는 빛을 수신받도록 상기 로우클램프(22) 상에 설치되어 감지신호를 출력하는 수광소자(34)로 구성된다.
그리고 감지센서(30)의 신호를 받아 작동을 제어하는 제어부(40)가 설치된다.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 웨이퍼 이송용 브레이드 어셈블리의 작용을 설명하면 다음과 같다.
다시 도 2를 참조하면, 공정 적용상 카세트로부터 웨이퍼를 올려놓아 이송하게 된다.
이 때, 브레이드(10)가 타 부품 등에 충돌을 하게 되면, 브레이드(10)와 일체의 연장부(12)가 스프링(24)을 압축하면서 후퇴하게 된다.
연장부(12)가 일정 힘 이상에서 소정 거리까지 후퇴하면 감지센서(30)에서 감지하게 된다. 감지센서(30)의 발광소자(32)에서 일정한 파장을 가지며 발광되는 빛이 연장부(12)에 부딪혀서 수광소자(34)에 도달하지 못하게 된다.
그럼 감지센서(30)의 신호가 제어부(40)로 전달되어 전원을 다운시켜 로봇의 작동을 멈추게 한다.
이 후, 브레이드(10)에 가해지는 힘이 해제되면, 스프링(24)의 복원력으로 브레이드(10)와 연장부(12)가 원위치 이동된다. 이어서 감지센서(30)의 정상 신호가 제어부(40)로 전달되어 전원이 온(on)되어 로봇이 정상적인 작동을 하게 된다.
따라서 무리하게 브레이드(10)에 가해지는 힘에 의하여 웨이퍼와 브레이드 어셈블리가 손상되는 것을 방지하게 된다.
이상, 상기 내용은 본 발명의 바람직한 일실시 예를 단지 예시한 것으로 본 발명의 당업자는 본 발명의 요지를 변경시킴이 없이 본 발명에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있음을 인지해야 한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 웨이퍼 이송용 브레이드 어셈블리는, 브레이드에 충격이 가해지면 내장된 센서에 의하여 동작이 즉시 중지되어 사고를 미연에 방지하여 수율 향상 및 생산성 향상의 효과가 있다.

Claims (2)

  1. 브레이드와, 상기 브레이드를 고정하는 어퍼클램프와 로우클램프로 이루어진 본체와, 상기 본체의 내측 베어링부에 연결되는 아암피봇과, 상기 아암피봇과 볼트 체결되는 아암으로 구성되어 적재된 웨이퍼를 이송하는 브레이드 어셈블리에 있어서;
    상기 브레이드의 후단에 일체로 형성되어 상기 본체 내부에 위치하는 연장부와;
    상기 연장부가 수평 이동 가능하도록 상기 본체의 내측면에 설치된 평판베어링과;
    상기 브레이드의 연장부 끝단에 설치되어 압축되는 스프링과;
    상기 본체에 직교 설치되어 상기 연장부의 후진 정도를 감지하는 감지센서와;
    상기 감지센서의 신호를 받아 작동을 제어하는 제어부를;
    포함하는 구성임을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 브레이드 어셈블리.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 감지센서는,
    상기 어퍼클램프 상에 설치되며, 일정한 파장을 가지는 빛을 출력하는 발광소자와;
    상기 발광소자로부터 출력되는 빛을 수신받도록 상기 로우클램프 상에 설치되어 상기 제어부로 감지신호를 각각 출력하는 수광소자;로
    구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 브레이드 어셈블리.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100801654B1 (ko) * 2006-07-24 2008-02-05 세메스 주식회사 기판 이송 장치

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