KR20040070022A - 용액의 도포 장치 및 도포 방법 - Google Patents

Abstract

소정 방향으로 반송되는 기판에 용액을 소정의 도포 패턴으로 도포하는 용액의 도포 장치에 있어서,

상기 용액을 잉크 제트 방식에 의해 토출(吐出)하는 복수의 노즐(16)을 가지는 헤드(9)와, 이 헤드의 각 노즐로부터 용액을 간헐적으로 토출시키는 구동부(20)와, 상기 헤드에 설치된 노즐의 좌표 데이터가 기억되고, 그 좌표 데이터와 용액의 도포 패턴에 따라 상기 구동부의 구동을 제어하여 상기 노즐로부터 기판에 용액을 토출시키는 제어 장치(21)를 구비한다.

Description

용액의 도포 장치 및 도포 방법 {APPARATUS FOR APPLYING SOLUTION AND METHOD FOR APPLYING SOLUTION}

본 발명은 노즐로부터 용액을 토출(吐出)하여 기판에 소정의 도포 패턴으로 도포하는 도포 장치 및 도포 방법에 관한 것이다.

일반적으로 액정 표시 장치나 반도체 장치의 제조 공정에서는, 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 기판에 회로 패턴을 형성하기 위한 성막 프로세스가 있다. 이 프로세스에서는 기판의 판면에, 예를 들면 배향막(配向膜)이나 레지스트 등의 기능성 박막이 형성된다.

기판에 기능성 박막을 형성하는 경우, 이 기능성 박막을 형성하는 용액을 노즐로부터 토출하여 기판의 판면에 도포하는 잉크 제트 방식의 도포 장치가 사용된다. 이 도포 장치는 기판을 반송하는 반송 테이블을 가지고 있으며, 이 반송 테이블의 상방에는 상기 노즐이 형성된 복수의 헤드가 기판의 반송 방향과 거의 직교하는 방향에 따라 병설(竝設)되어 있다. 각 헤드에는 공급관을 통해 접속된 용액 탱크로부터 용액이 공급된다. 이에 따라, 소정 방향으로 반송되는 기판 상면에 노즐로부터 토출된 용액이 도포된다.

상기 기판에는 상기 용액을 소정의 도포 패턴으로 도포하는 것이 요구된다. 그러므로, 종래는 기판이 소정 위치로부터 소정 거리를 반송되는 동안 도포 패턴의 폭 치수에 대응하는 수의 노즐로부터 용액을 토출시키도록 하고 있다. 이에 따라, 상기 기판에는 격자형으로 배치된 다수의 도트로 이루어지는 용액에 의해 소정의 도포 패턴, 통상은 직사각형 형상의 도포 패턴으로 도포되도록 되어 있다.

기판에 도포되는 용액의 도포 패턴의 폭 치수에 따라 용액을 토출시키는 노즐의 수를 설정하고, 그 수로 기판이 소정 위치로부터 소정 거리를 반송되는 동안 용액을 토출시키도록 한 경우, 확실하게 용액을 직사각형 형상의 도포 패턴으로 도포하는 것은 가능하다. 그러나, 헤드에 형성된 복수의 노즐로부터의 용액의 토출량은 헤드에 접속된 용액 공급관의 접속 위치나 헤드로부터 용액을 유출시키는 배액관(排液管)의 접속 위치 등에 의해 불균일이 발생한다.

그러므로, 기판에 도포된 용액의 도포 패턴 내에서, 용액의 공급량에 불균일이 발생하기 때문에, 그 용액을 건조시킴으로써 형성되는 기능성 박막의 막 두께가 일정하게 되지 않는다고 하는 일이 있거나, 도포 패턴의 주변부에서의 용액의 공급량이 극단적으로 많은 경우 등에는 도포 패턴으로부터 용액이 비어져 나와, 도포 패턴의 형상이 손상된다고 하는 일이 있다.

본 발명은 헤드에 형성된 복수의 노즐로부터 용액을 기판에 토출시켜 소정의 도포 패턴으로 도포하는 경우, 그 도포 패턴 내에서의 용액 공급량을 거의 균등하게 할 수 있도록 한 용액의 도포 장치 및 도포 방법을 제공하는 것에 있다.

도 1은 본 발명의 한 실시예를 나타내는 도포 장치의 개략적 구성을 나타내는 정면도이다.

도 2는 도포 장치의 측면도이다.

도 3은 헤드의 종단면도이다.

도 4는 헤드의 하면도이다.

도 5는 각 헤드의 노즐로부터 용액을 토출(吐出)시키기 위한 제어 회로도이다.

도 6 (A)∼도 6 (C)는 헤드의 배치 상태와 기판에 도포된 용액의 패턴을 나타내는 설명도이다.

도 7은 하나의 헤드의 복수의 노즐로부터 토출 공급되는 용액의 양을 패턴 내에 균일하게 공급하기 위한 설명도이다.

도 8은 용액의 도포 패턴의 외주 에지 형상을 조정하면서 외주 에지부에 공급되는 용액의 양이 과잉이 되지 않도록 하기 위한 설명도이다.

도 9 (A)∼도 9 (C)는 소성(燒成)된 패턴의 형상 정밀도를 얻기 위한 설명도이다.

도 10 (A)∼도 10 (D)는 기판에 상이한 발수성(撥水性)의 막이 형성되어 있는 경우의 용액 도포 방법의 설명도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

9: 헤드, 16: 노즐, 20: 구동부, 21: 제어 장치.

본 발명은 소정 방향으로 반송되는 기판에 용액을 소정의 도포 패턴으로 도포하는 용액의 도포 장치에 있어서,

상기 용액을 잉크 제트 방식에 의해 토출하는 복수의 노즐을 가지는 헤드와,

이 헤드의 각 노즐로부터 용액을 간헐적으로 토출시키는 구동부와,

상기 헤드에 설치된 노즐의 좌표 데이터가 기억되고, 상기 좌표 데이터와 용액의 도포 패턴에 따라 상기 구동부의 구동을 제어하여 상기 노즐로부터 기판에 용액을 토출시키는 제어 장치

를 구비하는 것을 특징으로 하는 용액의 도포 장치에 있다.

본 발명은 헤드에 설치된 복수의 노즐로부터 용액을 잉크 제트 방식에 의해 토출시켜 소정 방향으로 반송되는 기판에 소정의 도포 패턴으로 도포하는 용액의 도포 방법에 있어서,

상기 노즐의 좌표 데이터를 기억시키는 공정과,

상기 좌표 데이터와 상기 기판에 도포되는 용액의 도포 패턴에 따라 상기 각 노즐로부터의 용액의 토출을 제어하는 공정

을 구비하는 것을 특징으로 하는 용액의 도포 방법에 있다.

본 발명에 의하면, 헤드에 설치된 복수의 노즐 위치를 좌표 데어터로 하고, 그 좌표 데이터와 용액의 도포 패턴에 의해 각 노즐마다 용액의 토출 횟수를 제어함으로써, 도포 패턴 내에 용액을 균등하게 도포하거나, 도포 패턴의 외형을 소정 형상으로 조정하는 등의 것이 가능해진다.

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 한 실시예를 설명한다. 도 1과 도 2에 나타내는 본 발명의 도포 장치는 대략 직6면체 형상의 베이스(1)를 가진다. 이 베이스(1) 하면의 소정 위치에는 각각 다리(2)가 설치되어 있으며, 상기 베이스(1)를 수평으로 지지하고 있다.

상기 베이스(1) 상면의 폭 방향 양단부에는, 길이 방향에 따라 각각 장착판(3)이 설치되어 있다. 이들 장착판(3)의 상기 베이스(1)의 폭 방향 내측의 일단부에는 길이 방향에 따라 각각 가이드 부재(4)가 설치되어 있다. 이들 가이드 부재(4)의 상면측에는 대략 직사각형 형상 판형의 반송 테이블(5)이 그 하면 양측에 평행으로 설치된 단면이 대략 L자형인 슬라이드 부재(6)를 통해 슬라이드 가능하게 지지되어 있다.

상기 반송 테이블(5)에는 도시하지 않은 구동 장치가 접속되어 있고, 이 구동 장치를 작동함으로써, 상기 반송 테이블(5)을 상기 가이드 부재(4)에 따라 구동할 수 있도록 되어 있다.

상기 반송 테이블(5)의 상면에는 정전(靜電) 척이나 흡인 척 등의 지지 수단에 의해, 예를 들면 액정 표시 장치에 사용되는 유리 기판 등의 기판(W)이 착탈(着脫) 가능하게 지지된다. 기판(W)은 상기 반송 테이블(5)의 상면에 지지됨으로써, 상기 베이스(1)의 길이 방향에 따라 반송된다.

상기 베이스(1)의 길이 방향 중도부에는 상기 한 쌍의 가이드 부재(4)를 걸치도록 문형(門型)의 지지체(7)가 세워서 설치되어 있다. 이 지지체(7)의 상부에는 각주(角柱)로 이루어지는 장착 부재(8)가 수평으로 설치되어 있고, 이 장착부재(8)의 한 측면에는 잉크 제트 방식의 복수의 헤드(9)가 기판(W)의 반송 방향에 대하여 지그재그 형상으로 2열로 배치되어 있다. 본 실시예에서는, 예를 들면 도 5와 도 6 (A)에 나타낸 바와 같이 7개의 헤드(9)가 2열로 지그재그 형상으로 배치되어 있다.

도 3과 도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 각 헤드(9)는 헤드 본체(11)를 구비하고 있다. 헤드 본체(11)는 상면측으로부터 하면측으로 연통(連通)되는 개구부(12)를 가지고 있으며, 그 하면 개구는 가요판(可撓板)(13)에 의해 폐쇄되어 있다. 상기 가요판(13)은 노즐 플레이트(14)에 의해 덮여져 있다. 이에 따라, 상기 헤드 본체(11)의 하면측에는 가요판(13)과 노즐 플레이트(14) 사이에 액실(液室)(15)이 형성되어 있다.

상기 헤드 본체(11)의 길이 방향 일단부에는 상기 액실(15)에 연통되는 공급 구멍(17)이 형성되어 있다. 이 공급 구멍(17)으로부터는 상기 액실(15)에, 예를 들면 배향막이나 레지스트 등의 기능성 박막을 형성하는 용액이 공급관(17a)을 통해 공급된다. 이에 따라, 상기 액실(15) 내는 용액으로 채워지도록 되어 있다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 상기 노즐 플레이트(14)에는 헤드 본체(11)의 길이 방향과 직교하는 폭 방향의 대략 중심부, 즉 기판(W)의 반송 방향으로 직교하는 방향에 따라 복수의 노즐(16)이 지그재그 형상으로 펀칭 설치되어 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 가요판(13)의 상면에는, 각각 노즐(16)에 대향하여 압전(壓電) 소자(18)가 설치되어 있다.

그리고, 복수의 헤드(9)는 각 헤드(9)의 노즐 플레이트(14)에 지그재그 형상으로 형성된 노즐(16)이 기판(W)의 반송 방향과 직교하는 폭 방향에 따라 일정 간격이 되도록, 도 6 (A)에 나타내는 소정의 겹치기 여유 부분(L)에서 2열의 지그재그 형상으로 배치되어 있다. 이에 따라, 기판(W)의 반송 방향과 직교하는 폭 방향 전장(全長)에서, 인접하는 헤드(9)의 노즐 플레이트(14)에 형성된 노즐(16) 간격이 일정하게 설정된다.

상기 각 압전 소자(18)에는 상기 개구부(12) 내에 형성된 구동부(20)를 통해 구동 전압이 공급된다. 이에 따라, 구동된 압전 소자(18)와 대응 위치하는 노즐(16)로부터 반송 테이블(5) 상의 기판(W)에 용액이 토출된다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 상기 헤드 본체(11)의 길이 방향 타단부에는 상기 액실(15)에 연통되는 횟수 구멍(19)이 형성되어 있다. 이 횟수 구멍(19)으로부터는 상기 액실(15)에 공급된 용액이 배액관(排液管)(19a)을 통해 횟수된다. 즉, 상기 각 헤드(9)는 상기 액실(15)에 공급된 용액을 각 노즐(16)로부터 분사시킬 뿐만 아니라, 상기 액실(15) 내를 순환시켜 상기 횟수 구멍(19)으로부터 횟수되도록 되어 있다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 각 헤드(9)에 형성된 구동부(20)는 제어 장치(21)에 의해 구동이 제어된다. 즉, 상기 제어 장치(21)에는 복수의 헤드(9)에 형성된 각 노즐(16)의 X, Y 좌표가 기억되어 있다. 각 노즐((16)의 X, Y 좌표는, 예를 들면 각 헤드(9)를 장착 부재(8)에 장착한 후, 그 헤드(9)의 장착 위치에 따라 설정된다. 그리고, 도 5에서는 구동부(20)를 헤드(9)로부터 분리하여 나타내고 있지만, 본 실시예에서는 상기 구동부(20)는 도 3에 나타나는 바와 같이 헤드(9) 내에 수용되어 있다.

상기 제어 장치(21)는 기억된 각 노즐(16)의 좌표와, 기판(W)에 도포되는 용액의 도포 패턴(P)에 따라 상기 구동부(20)의 구동을 제어하여, 용액을 토출시키는 노즐(16)에 대응하는 압전 소자(18)를 작동시키도록 되어 있다.

기판(W)에 용액의 토출을 개시시키는 타이밍과, 토출을 종료시키는 타이밍은 도 1에 나타낸 바와 같이 반송 테이블(5)에 의해 헤드(9)의 하방으로 반송되어 온 기판(W)의 선단 위치와, 헤드(9)의 하방을 통과하여 소정 위치에 도달한 기판(W)의 선단 위치를 각각 제1, 제2 센서(23, 24)에 의해 검지하고, 그 검지 신호에 의해 제어된다.

상기 압전 소자(18)가 1회 작동함으로써, 각 헤드(9)의 각 노즐(16)로부터 토출되는 용액의 양은 미리 예측되고 있다. 각 헤드(9)에서, 공급 구멍(17)에 가까운 위치에 있는 노즐(16)과, 횟수 구멍(19)에 가까운 위치에 있는 노즐(16)로부터는 전술한 바와 같이 헤드(9)의 폭 방향 중앙 부분에 위치하는 다른 노즐(16)보다 용액의 토출량이 많아지는 경향에 있다.

기판(W)을 소정 속도로 반송하면서, 각 헤드(9)의 노즐(16)로부터 용액을 소정 타이밍으로 토출시키면, 상기 기판(W)에는 도트 형상의 용액이 행렬(行列) 형상으로 토출되게 된다.

도 6 (A)에 나타내는 바와 같이, 복수의 헤드(9)는 지그재그 형상으로 배치되어 있고, 제어 장치(21)에 기억된 각 헤드(9)마다의 노즐(16)의 X, Y 좌표도 헤드(9)의 배치 상태와 동일한 지그재그 형상으로 기억되어 있다.

그러므로, 기판(W)에 용액을 직사각형 형상으로 도포하는 경우에는, 제어 장치(21)에 기억된 각 헤드(9)의 노즐(16)의 X, Y 좌표를, 이 제어 장치(21)에 내장된 도시하지 않은 변환부에 의해 지그재그 형상의 배치 상태와 역(逆)의 상태, 즉 각 헤드(9)가 일렬로 배치된 상태로 좌표 변환하고, 그 변환 좌표에 따라 각 헤드(9)의 노즐(16)로부터의 용액 토출의 타이밍을 제어한다.

이에 따라, 각각의 헤드(9)로부터 토출되는 용액은 도 6 (B)에 나타낸 바와 같이 전체로서 직사각형 형상의 도포 패턴(P)으로 도포되고, 도 6 (C)에 나타낸 바와 같이 헤드(9)의 배치 상태에 대응하여 각 헤드(9)의 패턴(Ph)마다 지그재그 형상으로 어긋나 도포되는 것이 방지된다.

하나의 헤드(9)의 복수의 노즐(16)로부터 기판(W)에 토출되는 용액의 분포를 고려하면, 전술한 이유에 의해 헤드(9)의 길이 방향의 양단 부분에의 용액의 공급량이 중앙 부분과 비교하여 많아진다. 따라서, 미리 측정된 각 노즐(16)로부터의 용액 토출량에 따라, 용액의 토출량이 많은 노즐(16)로부터의 토출 횟수를 솎아 내도록 한다.

예를 들면, 도 7에 나타낸 바와 같이 하나의 헤드(9)의 폭 방향(이 방향을 열 방향이라고 한다)에 배치된 각 노즐(16)로부터 용액을 기판(W)의 반송 방향(이 방향을 행 방향이라고 한다)에 따라 소정 피치로 12회 토출시켜 도포 패턴(Ph)을 형성하는 경우를 고려한다. 이 경우, n₁에 대응하는 열 방향의 양단에 용액을 공급하는 노즐(16)로부터의 토출 횟수는 12회 중 6회를 솎아 내도록 한다. 마찬가지로,폭 방향 안쪽으로 2열째의 n₂에 대응하는 노즐(16)로부터의 토출 횟수는 4회 솎아 내고, n₃으로 나타내는 3열째에 대응하는 노즐(16)로부터의 토출 횟수는 3회 솎아 내고, 또한 n₄로 나타내는 4열째에 대응하는 노즐(16)로부터의 토출 횟수는 2회 솎아 내도록 한다.

이에 따라, 헤드(9)의 열 방향에 위치하는 복수의 노즐(16)로부터 토출되는 용액의 양에 차이가 있어도, 그 차이에 따라 노즐(16)로부터 토출 횟수를 솎아 내고, 기판(W)에 형성되는 도트(d)의 수를 변경시키기 위해, 용액을 하나의 헤드(9)가 형성되는 도포 패턴(Ph)의 열 방향 및 행 방향에서 거의 균일한 양으로 공급할 수 있다. 따라서, 기판(W)에는 막 두께가 균일한 기능성 박막을 형성할 수 있다.

도 7에 나타내는 바와 같이 소정 개소가 솎아진 행렬 형상의 도트(d)에 의해 용액을 기판(W)에 도포 패턴(Ph)으로 도포하고, 복수의 헤드(9)의 도포 패턴(Ph)을 나란히 하여 도 6 (B)에 나타낸 직사각형 형상의 도포 패턴(P)을 형성하는 경우, 도포 패턴(P)의 외주 에지를 형성하는 도트(d)를 솎아 내면, 도포 후에 용액을 건조시켜 형성되는 기능성 박막의 외주 에지 형상이 직선형으로 되지 않게 되는 일이 있다. 즉, 도포 패턴(P)의 외형 정밀도가 손상되는 일이 있다.

그래서, 제어 장치(21)로부터의 제어 신호에 의해 도 6 (B)에 나타낸 직사각형 형상의 도포 패턴(P)을 형성하는 경우, 그 도포 패턴(P)의 외주 에지의 전체 둘레를 형성하는 도트(d)를 솎아 내지 않고 노즐(16)로부터 용액을 토출시킨다. 이에 따라, 도포 패턴(P)의 외주 에지의 직선 형상을 유지할 수 있기 때문에, 용액을 건조시킴으로써 형성되는 기능성 박막의 외형 형상의 정밀도도 확보하는 것이 가능해진다.

도포 패턴(P)의 외주 에지 형상을 조정하기 위해, 하나의 헤드(9)가 형성되는 도포 패턴(Ph)에서, 도 8에 n₁로 나타내는 폭 방향 1열째에의 용액의 토출 횟수를 솎아 내지 않도록 하면, 그 만큼 도포 패턴[P(Ph)]의 외주 에지부에 공급되는 용액의 양이 많아진다.

따라서, 그 경우에는, 도 8에 n₂로 나타내는 2열째, n₃으로 나타내는 3열째, n₄로 나타내는 4열째를 형성하는 도트(d)의 솎아내기 횟수를 도 7에 나타낸 도포 패턴(Ph)의 경우보다, 예를 들면 1회씩 많게 하도록 제어 장치(21)에 의해 노즐(16)로부터의 용액 토출 횟수를 제어한다.

이에 따라, 도포 패턴(P)의 외주 에지의 형상 정밀도를 유지하면서, 도포 패턴(P)의 주변부, 특히 도포 패턴(P)의 열 방향 양단 부분에 공급되는 용액의 양이 과잉이 되는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 필요에 따라 5열째 n₅이후의 도트(d)를 솎아 내도록 해도 된다.

도 9 (A)에 나타낸 바와 같이, 기판(W)에 용액을 소정의 도포 패턴(P)으로 도포하여 평탄화한 후, 그 용액을 소성하여 건조시킴으로써 기능성 박막이 형성되게 된다. 용액을 소성하면, 용액 중의 용매가 증발하는 등의 원인에 의해 도 9 (B)에 나타낸 바와 같이 기능성 박막의 형상(S)이 용액의 도포 패턴(P) 형상과 비교하여 작게 변형된다. 그 변형량은 미리 실험적으로 구하는 것이 가능하다.

따라서, 기판(W)에 용액을 도포할 때, 제어 장치(21)에 의해 도 9 (C)에 나타낸 바와 같이 용액의 소성에 따른 변형량을 보정한 도포 패턴(H)으로 용액을 도포하면, 도 9 (C)에 쇄선으로 나타낸 바와 같이 소성 후에 형성되는 기능성 박막의 패턴(P₁)을 원하는 형상 정밀도로 할 수 있다.

기판(W)이 액정 표시 패널에 사용되는 유리 기판의 경우, 도 10 (A)에 나타낸 바와 같이 기판(W)에는 크롬막(31) 상에 ITO막(32)이 겹쳐 형성되어 있는 부분이 있다. 크롬막(31)과 ITO막(32)에서는 용액에 대한 발수성이 상이하다. 즉, ITO막(32) 쪽이 크롬막(31)보다 용액에 대한 발수성이 높다. 그러므로, 기판(W) 상에 용액을 도포하면, 도 10 (B)에 나타내는 바와 같이 도포 패턴(P)에는 ITO막(32) 부분에 크롬막(31) 부분보다 기판(W)의 안쪽으로 움푹 들어간 오목부(33)가 형성된다.

따라서, 크롬막(31)에 ITO막(32)이 중합(重合)된 부분에 용액을 도포하는 경우에는, 제어 장치(21)에 의해 용액의 도포 상태를 제어하여, 도 10 (C)에 나타낸 바와 같이 도포 패턴(P)에, 크롬막(31)의 부분에서 용액이 안쪽으로 움푹 패이는 만큼 바깥 쪽으로 돌출된 볼록부(34)를 형성한다.

이에 따라, 도포 후 용액의 도포 패턴(P)은 도 10 (D)에 나타낸 바와 같이 크롬막(31) 상에 도포된 개소와, ITO막(32) 상에 도포된 개소가 거의 직선형으로 되기 때문에, 기판(W)에 발수성이 상이한 막이 형성되어 있어도, 도포 패턴(P)의 외주 에지에 요철이 생기는 것을 방지할 수 있다.

이상과 같이, 기판(W)에 용액을 도포하는 데 있어서, 제어 장치(21)에 복수의 헤드(9)에 형성된 노즐(16)의 X, Y 좌표를 기억시키고, 그 좌표와 기판(W)에 형성하는 패턴(P)에 따라 상기 각 노즐(16)로부터의 용액 토출을 제어하도록 했다.

그러므로, 기판(W)에 도포되는 용액의 도포 패턴을 제어 장치(21)에 의해 원하는 형상으로 정밀도 양호하게 제어하는 것이 가능해진다.

또한 각 헤드(9)에 형성된 복수의 노즐(16)로부터의 용액 토출량이 상이해도, 제어 장치(21)에 의해 토출 횟수를 제어함으로써, 도포 패턴(P) 내에서의 용액 공급량을 균일하게 하는 것이 가능해진다. 이에 따라, 기판(W)에 두께가 균일한 기능성 박막을 형성할 수 있다.

그리고 본 발명은 상기 한 실시예에 한정되지 않고, 예를 들면 기판에 형성하는 도포 패턴의 형상은 직사각형 형상에 한정되지 않고, 다른 형상이라도 되며, 어떠한 패턴의 형상이라도 노즐로부터 기판 상에 토출되는 용액이 이루는 도트의 배치를 제어 장치에 의해 제어함으로써 용액을 도포하는 것이 가능하다.

기판으로서는 액정 표시 패널의 유리 기판에 한정되지 않고, 반도체 웨이퍼라도 동일하게 본 발명을 적용할 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 헤드에 설치된 복수의 노즐 위치를 좌표 데이터로서 기억하고, 그 좌표 데이터와 용액의 도포 패턴에 따라 각 노즐로부터의 용액의 토출을 제어하도록 했다.

그러므로, 예를 들면 각 노즐로부터의 용액의 소정 시간 내의 토출 횟수를제어하는 등에 의해 도포 패턴 내에 용액을 거의 균일한 분포 상태로 도포하거나, 패턴의 외형을 소정 형태로 조정하는 것 등이 가능해진다.

Claims (7)

1. 소정 방향으로 반송되는 기판에 용액을 소정의 도포 패턴으로 도포하는 용액의 도포 장치에 있어서,

   상기 용액을 잉크 제트 방식에 의해 토출(吐出)하는 복수의 노즐을 가지는 헤드와,

   상기 헤드의 각 노즐로부터 용액을 간헐적으로 토출시키는 구동부와,

   상기 헤드에 설치된 노즐의 좌표 데이터가 기억되고, 상기 좌표 데이터와 용액의 도포 패턴에 따라 상기 구동부의 구동을 제어하여 상기 노즐로부터 기판에 용액을 토출시키는 제어 장치

   를 구비하는 것을 특징으로 하는 용액의 도포 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 제어 장치는 상기 구동부에 의해 토출되는 용액의 양이 많은 노즐로부터의 토출 횟수를 감소시키는 것을 특징으로 하는 용액의 도포 장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 제어 장치는 상기 도포 패턴의 외주 에지를 제외한 부분에서 토출량이 많은 노즐로부터의 용액의 토출 횟수를 감소시키는 것을 특징으로 하는 용액의 도포 장치.
4. 제1항에 있어서,

   복수의 헤드를 가지며, 상기 헤드는 지그재그 형상으로 배치되어 있고, 상기 제어 장치는 각 헤드의 노즐의 좌표 데이터를 각 헤드가 일렬로 배치된 상태로 보정하여 사용하는 것을 특징으로 하는 용액의 도포 장치.
5. 제1항에 있어서,

   상기 제어 장치는 상기 기판에 대한 상기 용액의 도포 패턴을 상기 용액이 건조됨으로써 변화되는 형상을 미리 보정한 패턴으로 설정하는 것을 특징으로 하는 용액의 도포 장치.
6. 제1항에 있어서,

   상기 기판의 상기 용액이 도포되는 부분에는 상기 용액에 대한 발수성(撥水性)이 상이한 복수의 막이 설치되어 있고, 상기 제어 장치는 상기 용액의 도포 패턴을 상기 복수의 막의 발수성 차이에 따라 보정하는 것을 특징으로 하는 용액의 도포 장치.
7. 헤드에 설치된 복수의 노즐로부터 용액을 잉크 제트 방식에 의해 토출시켜 소정 방향으로 반송되는 기판에 소정의 도포 패턴으로 도포하는 용액의 도포 방법에 있어서,

   상기 노즐의 좌표 데이터를 기억시키는 공정과,

   상기 좌표 데이터와 상기 기판에 도포되는 용액의 도포 패턴에 따라 상기 각 노즐로부터의 용액의 토출을 제어하는 공정

   을 구비하는 것을 특징으로 하는 용액의 도포 방법.