KR20040062449A - 기판 처리 시스템의 설치에 사용되는 데이텀 플레이트 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 처리 시스템의 설치에 사용되는 데이텀 플레이트에 관한 것이다. 데이텀 플레이트는 데이텀 플레이트를 챔버에 연결하기에 적합한 미리 설정된 부착 위치 세트; 하나 이상의 자동문 개방기 플랫폼을 데이텀 플레이트에 연결하기에 적합한 미리 설정된 부착 위치 세트; 및 상기 챔버에 담겨진 다수의 기판 처리기를 데이텀 플레이트에 연결하기에 적합한 미리 설정된 부착 위치 세트를 갖는다. 부착 위치들은 데이텀 플레이트가 챔버에 연결되고 자동문 개방기 플랫폼과 기판 처리기가 데이텀 플레이트에 연결될 때 기판 처리기와 자동문 개방기 플랫폼이 정렬되어 이들 사이에서 기판이 이송될 수 있도록 위치한다. 기판 저장 위치, 자동 모듈, 기판 캐리어 처리기 및/또는 기판 캐리어를 저장하기 위한 선반과 같은 다른 장치들은 미리 설정된 부착 위치 세트를 통해 데이텀 플레이트에 연결될 수 있다. 또한 데이텀 플레이트를 사용하는 기판 처리 시스템과 기판 처리 시스템을 설치하기 위한 방법이 제공된다. 일 태양에서 본 발명의 데이텀 플레이트는 챔보보다는 지지 프레임에 연결될 수 있다. 다양한 다른 태양들이 제공된다.

Description

기판 처리 시스템의 설치에 사용되는 데이텀 플레이트{DATUM PLATE FOR USE IN INSTALLATIONS OF SUBSTRATE HANDLING SYSTEMS}
종래 반도체 제조 시스템은 밀봉된 콘테이너 또는 포드(pod)와 같은 밀봉된 기판 캐리어 내의 다수의 기판을 이송시키고, 이로 인해 기판이 깨끗한/제어 환경 내에서 유지되게 한다. 따라서, 종래 프로세스 시스템은 밀봉된 포드가 개방되고, 기판이 이로부터 추출되며 프로세스 시스템으로 로딩되는 하나 이상의 자동문 개방기 스테이션을 포함한다. 통상적으로 각각의 자동문 개방기 스테이션은 다수의 기판을 담고 있는 밀봉된 포드를 수용하기에 적합한 도킹 플랫폼과 포드의 도어부(이하 포드 도어)를 맞물리고 열기(unlatch)에 적합한 포드 도어 수용부를 포함한다.
동작시, 도킹 플랫폼은 포드를 수용하고 포드를 포드 도어 수용부로 향하여 수평으로 이동시킨다. 그 후에, 포드 도어 수용부는 포드 내 기판에 깨끗하게 접근하기 위해 도드 도어와 맞물리고 열리며, 포드 도어를 도킹 플랫폼으로부터 수평으로 이동시키며, 포드 도어를 아래를 향하여 수직으로 이동시킨다.
비록 자동문 개방기가 신뢰가능한 도어 개방을 제공하지만, 이들은 오랜 설치와 설정 처리를 필요로 한다. 따라서, 자동문 개방기 설치 및 동작을 용이하게 하기 위한 방법과 장치가 필요하다.
본 발명은 일반적으로 제조 시스템에 관한 것으로서, 특히, 기판 처리 및/또는 프로세스 시스템의 다양한 부품들을 설치 및 정렬시키기 위한 장치와 방법에 관한 것이다.
도 1은 다수의 자동문 개방기 스테이션과 프로세스 툴 사이에서 기판을 이송시키기에 적합한 팩터로 인터페이스 기판 처리기를 갖는 프로세스 시스템의 평면도이다.
도 2a는 팩토리 인터페이스 측부에서 취한 데이텀 플레이트(41)의 등각 분해도이다.
도 2b는 데이텀 플레이트에 연결된 팩터리 인터페이스 기판 처리기를 나타내는 자동문 개방기 측부로부터 취한 데이텀 플레이트의 등각도이다.
도 2c는 자동문 개방기 측부로부터 취한 데이텀 플레이트의 등각 분해도이다.
도 2d는 팩터리 인터페이이스 챔버에 연결된 데이텀 플레이트를 나타내는 팩토리 인터페이스 챔버의 프레임에 대한 등각도이다.
도 2e는 프로세스 시스템의 다양함 부품들이 연결되어 도시된, 데이텀 플레이트의 개략적인 측면도이다.
도 2f는 프로세스 시스템의 다양한 부품들과 자동문 개방기 위에 위치한 다수의 저장 선반에 연결되어 도시된, 데이텀 플레이트의 개략적인 측면도이다.
도 3a-b는 포드 교환 위치 및 각각의 도킹 위치에서 도시된, 본 발명의 자동문 개방기의 측단면도이다.
도 3c는 본 발명의 문 개방기의 평면도이다.
도 4a-c는 종래 포드 문 개방기 키와 본 발명의 키의 두 개의 실시예에 대한 각각의 개략적인 측면도이다.
도 5는 포드 문 수용부의 정면도이다.
도 6a-c는 포드 문 수용부의 수평 및 수직 움직임을 순차적으로 나타내는 자동문 개방기의 개략적인 측면도이다.
도 7a-c는 포드 문 수용부 돌출부를 제어하는 메커니즘을 나타내는 개략적인 측면도이다.
제 1 태양에서, 데이텀 플레이트가 기판 처리 시스템의 설치에 사용되기 위해 제공된다. 데이텀 플레이트는 데이텀 플레이트를 챔버에 연결시키기에 적합한 미리 설정된 부착 위치 세트; 하나 이상의 자동문 개방기 플랫폼을 데이텀 플레이트에 연결하기 위해 적합한 미리 설정된 부착 위치 세트; 및 챔버 내에 담겨진 하나 이상의 기판 처리기를 데이텀 플레이트에 연결하기에 적합한 미리 설정된 부착 위치 세트를 포함한다. 부착 위치는 데이텀 플레이트가 챔버에 연결되고 자동문 개방기 플랫폼과 기판 처리기가 데이텀 플레이트에 연결될 때 기판 처리기와 자동문 개방기 플랫폼이 이들 사이에서 기판 이송을 위해 정렬되도록 위치가 설정된다. 기판 저장 위치, 자동 모듈, 기판 캐리어 처리기 및/또는 기판 캐리어 저장용 선반과 같은 다른 장치들 또한 미리 설정된 부착 위치 세트를 통해 데이텀 플레이트에 연결될 수 있다. 또한 데이텀 플레이트를 사용하는 기판 처리 시스템과 기판 처리 시스템을 설치하는 방법이 제공된다. 일 태양에서 본 발명의 데이텀 플레이트는 챔버보다는 지지 프레임에 연결될 수 있다. 다양한 다른 태양들이 제공된다.
본 발명의 추가의 특징과 장점은 실시예, 청구항 및 첨부된 도면에 대한 하기 설명에서 자명하게 나타날 것이다.
단일 데이텀 플레인 시스템 설치
도 1은 다수의 자동문 개방기 스테이션(15a-d)와 프로세스 툴(17) 사이에서 기판을 이송하기에 적합한 한 쌍의 팩토리 인터페이스 기판 처리기(13)를 갖는 프로세스 시스템(11)의 관련 부분만을 나타낸 개략적인 평면도이다. 도 1에 도시된 예시적인 프로세스 시스템(11)은 인터페이스 챔버(19)를 포함하며, 본 실시예에서 한 쌍의 로드락 챔버(23), 로드락 챔버(23)에 연결된 이송 챔버(25), 및 이송 챔버(25)에 연결된 다수의 프로세스 챔버(27)를 갖는 프로세스 툴(17)을 포함한다.
인터페이스 벽(29)은 "백색 영역" 클린 룸(31)을 덜 깨끗한 "녹색 영역" 클린 룸(33)으로부터 분리하기 위해 자동문 개방기 스테이션(15a-d)과 프로세스 시스템(11) 사이에 위치한다. 자동문 개방기 스테이션(15a-d)은 "백색 영역" 클린 룸(31) 내에 위치하고 프로세스 시스템(11)은 덜 깨끗한 "녹색 영역" 클린 룸(33) 내에 위치한다. 자동문 개방기 스테이션(15a-d)은 인터페이스 벽(29) 내의 포드 접근 개방부(35)에 인접하여 위치한다. 자동문 개방기 스테이션(15a-d)은 밀봉된 포드(도시안됨)를 수용하기에 적합한 도킹 플랫폼(P)과 포드의 잔류부로부터 포드문과 맞물리고 열기에 적합한 포드 문 수용부(37)를 포함한다. 도킹 플랫폼(P)은 포드 접근 개방부(35)의 백색 영역 측부 상에 위치하고 포드 문 수용부(37)는 포드 접근 개방부(35)의 녹색 영역 측부 상에 장착되어 있다.
이미 설명한 바와 같이, 인터페이스 챔버(19)는 도킹 플랫폼(P) 상에 위치한 개방 포드로부터 기판을 추출하고 로드락(23)으로 이송시키기에 적합한 하나 이상의 인터페이스 기판 처리기(13)를 포함한다. 프로세스 툴(17)의 이송 챔버(25)는 로드락 챔버(23)와 프로세스 챔버(27) 사이에서 기판(W)을 이송시키기에 적합한 이송 기판 처리기(39)를 포함한다. 다수의 자동문 개방기 스테이션(15a-d)과 인터페이스 챔버(19) 사이에 위치한 인터페이스 벽(29)의 일부분은 자동문 개방기 스테이션(15a-d)의 도킹 플랫폼(P)이 데이텀 플레이트(41)에 연결시키는 개방부(도시안됨)를 갖는다. 선택적으로, 팩토리 인터페이스 챔버(19)는 인터페이스 벽(29)으로서 작용할 수 있고, 인터페이스 벽(29)은 생략될 수 있다.
도 2a-e에 잘 도시된 것처럼, 자동문 개방기(15a-d)의 도킹 플랫폼(P)과 포드 문 수용부(37), 그리고 (데이텀 플레이트(41)를 지지하는) 인터페이스 챔버(19)는 각각 데이텀 플레이트(41)에 연결되어 있다. 따라서 데이터 플레이트(41)는 각각의 이들 부품에 대한 레퍼런스부의 단일 프레임을 제공하여, 도킹 플랫폼(P)과 포드 문 수용부(37) 그리고 인터페이스 챔버(19)가 레퍼런스부를 이용하여 데이텀 플레이트에만 설치되고 하나의 유닛으로서 레벨링되고 조절되게 한다. 데이텀 플레이트(41)는 자동문 개방기(15a-d), 인터페이스 기판 처리기(13) 및 인터페이스 챔버(19)가 미리 설정된 위치에서 연결되도록 (이들 부품이 x, y 및 z축 모두에서고정되게 함) 미리-기계화된 레퍼런스부, 정렬 핀, 가이드 또는 부착 위치(예컨대 미리 드릴링된 개구부)를 포함할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 시스템은 빠르고 용이하게 설치될 수 있으며, 부품들이 서로에 대해 더 정밀하게 위치하여, 기판 핸드-오프 동작이 더 신뢰가능하게 할 수 있다.
데이텀 플레이트(41)의 기능은 도 2a-e를 참조하여 더 완전하게 이해할 수 있다. 도 2a는 팩토리 인터페이스(19) 측부에서 취한 데이텀 플레이트(41)의 등각도이다. 도 2a에 도시된 바와 같이, 기판 처리기 장착 블록(43a-b)은 팩토리 인터페이스 기판 처리기(13)를 데이텀 플레이트(41)에 연결하기에 적합하게 되어 있고 장착 블록(43a-b)과 팩토리 인터페이스 기판 처리기(13)가 미리 설정된 위치와 방향에서 데이텀 플레이트(41)에 연결되게 하는 데이텀 플레이트(41) 상의 미리 드릴링된 홀에 대응하도록 데이텀 플레이트(41)를 관통하여 드릴링된 홀을 갖는다.
도 2c는 자동문 개방기 측부에서 취한 데이텀 플레이트(41)의 등각도이다. 도 2c에 도시된 바와 같이, 팩토리 인터페이스 장착 블록(45)은 데이텀 플레이트(41)를 팩토리 인터페이스 챔버(19)의 프레임에 연결하기에 적합하게 되어 있으며 장착 블록(45)이 미리 설정된 위치에서 미리 설정된 방향으로 데이텀 플레이트(41)에 연결되게 하는 데이텀 플레이트(41) 상의 미리 드릴링된 홀에 대응하는 데이텀 플레이트(41)를 관통하여 드릴링된 홀을 갖는다. 따라서, 데이텀 플레이트(41)는 자동문 개방기 측부에서 취한 도 2d의 등각도에서 도시된 바와 같이 볼트(46) (또는 팩토리 인터페이스 장착 블록(45)을 관통하고 데이텀 플레이트(41)를 관통하여 (팩토리 인터페이스 챔버의 프레임 상에 미리 드릴링된장착 홀을 통해) 팩토리 인터페이스 챔버(19)의 프레임으로 연장하는 유사한 고정 메커니즘)을 통해 팩토리 인터페이스 챔버(19)의 프레임에 연결될 수 있다. 볼트(46)는 팩토리 인터페이스 측부 또는 자동문 개방기 측부로부터 삽입될 수 있다는 것은 자명하다.
도 2b와 2d에 모두 도시된 바와 같이, 자동문 개방기 포스트(47)는 자동문 갭아기(15)의 프레임의 전면 상의 미리 설정된 위치(미리 드릴링된 홀, 도시안됨)에 연결되고 이에 따라 자동문 개방기(15)를 지지하기 위해 인터페이스 벽(29)(도 1)을 관통하여 연장하도록 데이텀 플레이트(41)의 자동문 개방기 측부로부터 충분한 거리로 연장하며, 이는 도 2e의 개략적인 측면도에 잘 도시되어 있다. 도 2a-2c에 도시된 바와 같이, 데이텀 플레이트(41)는 종래 액체 레벨 파인더와 같은 통합된 레벨 파인더(48)를 가질 수 있다.
도 2e는 데이텀 플레이트(41)에 연결될 수 있으며, 선택 기판 저장 위치(49)와 선택 자동 모듈(51)을 포함하는 다양한 부품을 개략적으로 도시한다. 선택 자동 모듈(51)은 기판 방향기, 중앙파인더, ID 판독기, 또는 계측/검사 스테이션을 포함할 수 있다.
도 2a-e에 도시된 부품들을 설치하고 정렬시키기 위해, 팩토리 인터페이스 챔버(19)가 먼저 제공된다. 데이텀 플레이트(41)는 장착 브래킷(45)(도 5a-c)을 통해 팩토리 인터페이스 챔버(19)에 연결(볼트로 연결)되고, 통합된 레벨 파인더(47)(도 2a-c)를 참조하면서 팩토리 인터페이스 챔버의 장착 피트(53)를 조절함으로써 레벨링된다. 그 후에, 남아 있는 부품들이 임의의 순서로 추가될 수있다. 각각의 부품은 미리한정된 장착 위치/정렬 포스트 등을 통해 데이텀 플레이트(41)에 연결되기 때문에, 각각의 부품은 데이텀 플레이트(41)에 의한 지지를 통해 고유하게 레벨링된다. 더욱이, 레벨링되는 것과는 별도로, 각각의 부품은 데이텀 플레이트(41)의 미리 설정된 장착 위치에 대한 연결을 통해 부품 상호간과 관련한 특정 위치를 점유한다.
또한, 지지 프레임(F)에 연결된 하나 이상의 포드 저장 선반(S)을 갖는 지지 프레임(F)은 도 2f에 도시된 바와 같이 데이텀 플레이트(41)에 연결될 수 있다. 또한 기판 캐리어 처리기(H)는 프레임(F)에 연결될 수 있고, 다수의 포드 저장 선반(S)과 하나 이상의 도킹 플랫폼(P) 중에서 기판 캐리어를 이동시키기에 적합하게 될 수 있다. 기판 캐리어 처리기(H)는 프레임(F)에 이동 가능하게 연결된 수직 및 수평 선형 가이드(도시안됨) 및 수직 또는 수평 선형 가이드에 연결된 엔드 이펙터(end effector)(E)를 포함할 수 있다. 자동문 개방기 위에 저장 선반들을 제공하기 위한 장치는 본 명세서에서 참조로 포함된 1998년 12월 1일자 미국특허출원 제09/201,737호에 개시되어 있다. 상기 미국특허출원 제09/201,737호에 개시된 장치의 선반 및/또는 기판 캐리어 처리기는 데이텀 플레이트(41)에 직접 연결되거나 또는 저장 장치와 프로세스 장치의 다양한 부품들이 더 빠르고 정확하게 정렬될 수 있도록 프레임(F)을 통해 연결될 수 있다.
일 태양에서, 선반(S)들이 점유한 돌출된 플로어 공간과 백색 영역 클린 룸(31)에 위치한 자동문 개방기(15)의 일부분은 동일할 수 있다. 즉, 백색 영역 클린 룸(31)에 위치한 자동문 개방기(15)의 일부분과 포드 저장 선반(S)은 동일한자국(footprint)를 점유할 수 있다.
지지 프레임(F)은 (인터페이스 챔버(19)를 지지하는 것과 같은) 레벨링 피트(53)를 통해 지지될 수 있고 이들의 정렬을 위해 (연결 메커니즘(C))을 통해 데이텀 플레이트(41)에 연결될 수 있다. 연결 메커니즘(C)이 X, Y 및 Z 평면에서 위치를 보장하기에 적합한 지주(strut), 볼트, 또는 임의의 유사한 메커니즘일 수 있다는 것은 자명하다.
여기서 사용된 "플레이트"란 용어는 임의의 특정 형상 또는 구성물로 제한되지 않으며 미리 설정된 장착 위치를 제공하고 서로에 대해 미리 설정된 위치에서 특정 부품들을 연결시키는 데이텀 포인트 또는 프레인으로서 기능하는 임의의 구조물을 포함하는 것으로 폭넓게 해석될 수 있다.
유사하게, 미리 설정된 장착 또는 부착 위치는 드릴링을 위해 마킹된 영역일 수 있거나, 또는 미리 드릴링되거나 및/또는 연결된 추가의 장착 메커니즘(브래킷, 볼트, 나사, 지주 등)을 갖는 영역일 수 있다.
데이텀 플레이트는 임의의 지지 구조물(챔버, 프레임 등)에 연결될 수 있거나 또는 데이텀 플레이트가 조절가능한 레벨링 피트를 가질 수 있는 경우에는 자유 직립형일 수 있다.
여기서 설명한 자동문 개방기는 단순한 예시일 뿐이다. 본 발명에 따른 데이텀 플레이트와 설치 방법은 문 개방을 위해 사용된 메커니즘과는 무관하게 임의의 자동문 개방기를이용하여 사용될 수 있다. 특정한 경우에, 자동문 개방기 플랫폼(개방 메커니즘에 인접한 밀봉된 또는 폐쇄된웨이퍼 캐리어를 홀딩하는 임의의메커니즘)이 본 발명에 따른 데이텀 플레이트에 연결되고 개방된 기판 캐리어로부터 기판을 추출하기 위한 기판 처리기가 본 발명에 따른 플레이트에 연결될 때, 기판 처리기는 개방된 기판 캐리어로/로부터의 기판 이송을 위해 적절하게 정렬될 것이다. 따라서, 본 발명에 따른 장치와 방법은 임의의 자동문 개방기를 이용하여 유리하게 사용될 수 있다.
본 발명에 따른 데이텀 플레이트와 설치 방법을 사용하여, 데이텀 플레이트의 부착/장착 위치가 다양한 부품들이 데이텀 플레이트에 연결될 때 다양한 부품들 사이의 기판 또는 기판 캐리어 이송을 위해 정렬되도록 위치함에 따라 데이텀 플레이트에 연결된 다양한 부품들 사이의 기판 및/또는 기판 캐리어 이송은 촉진될 수 있다.
프로그램가능한 도킹 플랫폼 속도 및 인터페이스 벽에 대한 위치
도 3a-b는 본 발명에 따른 자동문 개방기 스테이션(15)의 측단면도이다. 본 발명에 따른 자동문 개방기 스테이션(15)은 도킹 플랫폼(P)과 포드 문 수용부(37)를 포함한다. 포드(107)는 도킹 플랫폼(P)에 접속된 정렬 핀(109) 상에 위치된 것을 도시한다. 도킹 플랫폼(P)에 연결된 포드 클램프(111)는 도킹 플랫폼(P) 상에서 적절하게 정렬된 포드(107)를 고정한다. 도킹 플랫폼(P)은 도킹 플랫폼(P)을 지지하는 베이스 플레이트(115)에 (수평 액추에이터(119)를 통해) 이동가능하게 장착되어 있다. 인클루저 벽(117)은 수평 액추에이터(119)를 둘러싼다. 도 3에 도시된 실시예에서, 수평 액추에이터(119)는 리드 나사(119a)에 이동가능하게 장착된 고정부(119b)를 갖는 리드 나사(119a)를 포함한다. 포드 플랫폼(P)은고정부(119b)에 고정되게 장착되고 리드 나사(119a)를 따라 함께 이동한다.
(인코더(121a)를 갖는) 서보 모터(121)는 리드 나사(119a)를 회전시켜 고정부(119b)가 리드 나사를 따라 이동할 수 있도록 리드 나사(119a)에 연결되어 있다. 특정한 경우에, 인코더(121a)는 서보 모터(121)와 제어기(C)에 연결된다. 종래에 공지된 바와 같이, 제어기(C)는 서보 모터(121)가 이동해야하는 원하는 거리(많은 단계들)와 방향을 인코더(121a)에 제공한다. 다음에 인코더(121a)는 거리/방향 신호를 적절한 전류/전압 신호로 변환하고 이에 따라 서보 모터를 구동시킨다. 또한 제어기(C)는 리드 나사(119a)에 의해 나타난 회전 저항과 관련하여 (직접 또는 인코더(121a)를 통해) 서보 모터(121)로부터 피드백 정보(리드 나사(119a)에 인가된 토크량을 나타내는 전류 신호)를 수신할 수 있다. 이러한 방식으로, 도킹 플랫폼(P)(또는 그 위에 위치한 포드(107))이 포드 문 리스버(37) 또는 임의의 바람직하지 않은 장애물에 접촉할 때, 회전에 대한 리드 나사(119a)의 저항력은 증가하고 제어기(C)는 도킹 플랫폼의 계속된 순방향 또는 역방향 움직임을 제어하기 위해 상기 정보를 사용할 수 있다.
본 발명에 따라서, 제어기(C)가 하기 사항들이 이뤄지도록 서보 모터(121)를 제어할 수 있게 하는 컴퓨터 프로그램 코드(하나 이상의 컴퓨터 프로그램 제품)가 제공된다:
(1) 도킹 플랫폼(P)은 도킹 플랫폼(P) 상에 위치한 포드가 포드 접근 포트(23)를 둘러싸는 표면과 접촉하는 동안과 같은 도킹 플랫폼의 이동중 임의의 부분동안 낮은 속도로 이동한다; 및/또는
(2) 도킹 플랫폼(P)(및/또는 그 위에 배치된 포드)는 도킹 플랫폼(P)이 최종 위치에 도달할 때 (도 3b에 도시된 갭(24)이 그 사이에 존재하도록) 포드 접근 포트(23)를 둘러싸는 표면으로부터 이격되어 있다.
선택 사항(2)는 예컨대 도킹 플랫폼(P)을 포드 접근 포트(23)의 둘러싼 표면과 접촉하게 하고 (리드 나사(119b)의 회전 저항력 증가에 의해 검출되고) 반복가능하고/미리 설전된 갭(24)이 도킹 플랫폼(P)(및/또는 그 위에 배치된 포드)과 포드 접근 포트(23)를 둘러싸는 표면 사이에 남아 있도록 서보 모터(121)를 미리 설정된 거리만큼 뒤로 후퇴시키게 함으로써 이루어질 수 있다. 뒤로 후퇴시키는 것은 포드 문이 제거된 후에 수행될 수 있다.
도킹 플랫폼과 이동 가능하게 장착된 포드 ID 판독기
ID 판독기(141)는 도킹 플랫폼(P) 상에 장착되어 있으며, ID 판독기(141)가 도킹 플랫폼(P) 상에 위치한 포드(107)의 식별 태그(143)를 판독하도록 정렬 핀(109)과 고나련한 소정의 위치에 장착된다. ID 판독기(141)는 도킹 플랫폼(P)에 장착되어 있기 때문에, ID 판독기(141)는 도킹 플랫폼(P)이 포드 교환 위치(도 3a 참조)와 포드 접근 포트(35)에 인접한 도킹 위치(도 3b 참조) 사이에서 이동할 때 도킹 플랫폼(P)과 함께 이동한다. 따라서, 본 발명의 자동문 개방기(15)는 포드(107)가 캐리어 교환 위치(도 3a), 도킹 위치(도 3b) 또는 이들 사이의 임의의 위치에 있을 때 포드 ID 코드(143)를 판독할 수 있다. (정렬 핀(109)을 통해) 도킹 플랫폼(P) 상에 적절하게 위치한 포드(107)는 ID 판독기(141)에 의해 임의의 시간에 식별될 수 있다.
회전가능하고/수축가능한 포드 클램프
또한 도킹 플랫폼(P) 상에 정렬된 포드(107)를 적절하게 고정하는 클램프(111)는 도킹 플랫폼(P)과 함께 이동하도록 도킹 플랫폼(P)에 연결되어 있다. 클램프(111)는 기다란 헤드부(147)를 갖는 포스트(145)를 포함하며, 이는 도 3c에 잘 도시되어 있다. 클램프(111)의 크기와 정렬 핀(109)에 대한 위치는 클램프(111)가 초기에 동작하지 않는 위치에 있다가 정렬 핀(109) 상에 위치한 표준 포드(107)의 바닥부 상에서 대응하는 개구부(149)로 진입하게 되어 있다. 클램프(111)는 클램프(111)를 회전시키고 수축시키기에 적합한 액추에이터(151)에 연결되어 있다. 클램프(111)의 회전은 포드(107)가 X-방향으로 이동하는 것을 방지한다(도 3a 참조). 클램프(111)의 수축은 포드(107)를 제자리에서 더 견고하게 홀딩시킬 수 있으며 임의의 방향으로 포드(107)가 로킹(rocking), 틸팅(tilting) 또는 이동하는 것을 방지할 수 있다.
포드 감지 센서
본 발명의 자동문 개방기(15)에 추가하여 도킹 플랫폼(P)에서 발견된 또 다른 특징은 LED와 같은 광 방출기(151), 포토검출기와 같은 광 검출기(153)를 포함하는 (도 3a-b에 도시된) 포드 감지 검출기이다. 광 방출기(151)는 포드 문 개방기 프레임의 상부에 연결될 수 있으며 이로부터 방출된 광 빔이 도킹 플랫폼(P)의 부근을 거쳐 도킹 플랫폼(P)에 연결될 수 있는 광 검출기(153)로 향하도록 위치될 수 있다. 광 방출기(151)와 검출기(153)는 포드(107) 또는 일부 다른 방해물이 도킹 플랫폼(P)의 부근에 존재하지 않는다면 방출기(151)로부터 방출된 광 빔이 검출기(153)에 의해 검출되도록 배치된다. 따라서, 검출기(153)가 방출된 광 빔을 검출하지 않을 때, 검출기(153)는 캐리어 존재 신호를 검출기에 연결된 제어기(C)로 전송한다. 도시된 실시예에서, 제어기(C)는 모든 자동문 개방기의 센서와 이동 부분의 동작을 제어할 수 있다.
수축가능한 포드 문 수용부 키
본 발명의 자동문 개방기(15)에 추가하여 포드 문 수용부(37)와 관련한 특징부가 하기에서 설명된다. 도시된 바와 같이, 포드 문 수용부(37)는 포드 문(175)이 수용될 수 있는 함몰부(173)를 한정한다. 함몰부(173)는 플레이트(177)와 벽(179)에 의해 한정될 수 있다. 함몰부(173)의 플레이트(177)는 키(183)와 공기(pneumatic) 액추에이터(185)를 포함하는 메커니즘을 작동시키는 포드 문 키를 포함할 수 있으며, 공기 액추에이터(185)는 키(183)에 연결되고 포드(107)의 잔류부로부터 포드 문(175)을 열도록 키(183)를 회전시키기에 적합하고 포드 문(175)을 지지하도록 회전된 키(183)를 수축시키기에 적합하게 되어 있다. 또한 정렬 핀(187)은 포드 문 수용부 키(183)가 표준 포드(107)의 포드 문(175) 상에서 대응하는 키 홀(189)로 진입하도록 포드 문(175)을 포드 문 수용부(37)와 정렬시키기 위해 플레이트(177) 상에 제공될 수 있다.
포드 문 수용부 키 구조
클램프(111)와 유사하게, 포드 문 수용부 키(183)는 베이스부(195), 및 베이스부에 연결된 기다란 헤드부(197)를 포함한다(이는 도 4a-c에 잘 도시되어 있다). 본 발명은 종래 포드 문 개방기 키(183)의 고장 원인이 키 헤드(197)가 키의 회전동안 포드 문(175)의 내부 표면과 접촉하고 마찰된다는 사실에 있다고 착안한 것이다. 따라서 본 발명은 종래 키가 후속하는 키 고장의 원인이되거나 또는 종래 자동문 개방기를 통해 이송된 기판을 오염시킬 수 있는 입자를 발생시킨다는 사실에 착안하였다.
따라서, 본 발명의 자동문 개방기의 포드 문 키(183)는 자동문 개방기의 헤드부(197)가 포드 문(175)의 내부 표면과 접촉하지 않도록 설계되었다. 이는 키 헤드(197)의 두께를 감소시키거나, 또는 키의 베이스부(195)를 길게 함으로써 이뤄질 수 있다. 예컨대, 표준 포드(107)를 개방시킬 때, 키(183)의 전체 길이가 현재 반도체 제조 장비 재료 국제(SEMI:Semiconductor Equipment and Materrials International) 표준과 동일하다면, (화살표 t로 표시된) 키 헤드(197)의 두께는 현재 SEMI 표준보다 작을 것이며, 이는 도 4b에 도시되어 있다. 선택적으로 표준 포드(107)가 개방될 때, 포드 문 수용부 키(183)의 헤드부(197)가 현재 SEMI 표준에 개시된 것만큼 두껍다면, 키(183)의 전체 길이는 SEMI 표준보다 길어야 하며, 이는 도 4c에 도시되어 있다.
금속부의 표면 마감처리
본 발명은 종래 포드 문 고장 및/또는 기판 오염이 거친 표면 마감부를 발생시키는 회전된(turn) 부분에서 유발한다는 것에 착안하였다. 따라서, 본 발명에 따른 자동문 개방기(15)의 금속부중 임의의 부분은 매끄러운 표면 마감부를 갖도록 기계적으로 또는 화학적으로 마감처리될 수 있다. 특히, 포드 문 수용부 키(183)와 정렬 핀(182)이 연마될 수 있으며, 도킹 플랫폼 정렬 핀(109)과 클램프(111) 등이 될 수 있다.
프로그램 가능한 포드 문 수용부 수축 속도
본 발명의 자동문 개방기(15)에 추가하여 포드 문 수용부의 또 다른 특징은 제어기(C)가 프로그램 가능한 포드 문 수용부 수축 속도를 제공할 수 있다는 것이다. 특히, 도 5에 도시된 포드 문 수용부(37)의 전면도를 참조하면, 서보 모터(186)는 포드 문 수용부(37)에 연결되어 있고, 포드 문 수용부(37)와 서보 모터(186)는 서보 모터(186)가 인터페이스 벽(23) 내의 포드 접근 개구부(35)를 폐색하는(occlude) 상승된 위치와 포드 문 수용부(37)이 인터페이스 벽(23)(도 1)을 폐색하지 않는 하강된 위치 사이에서 포드 문 수용부(37)를 상승 및 하강시킬 수 있도록 적합하게 되어 있다. 포드 문 수용부(37)는 하나 이상의 가이드 레일(201)을 통해 유도될 수 있다.
도 5의 전면도에 도시된 바와 같이, 포드 문 수용부(37)는 브래킷(199)에 장착된 연장된 부분(37a)을 가질 수 있다. 브래킷(199)은 한 쌍의 가이드 레일(201)미끄러질 수 있게 연결되어 있고, 리드 나사(205)에 장착된 너트(203)에 고정되게 연결되어 있다. 서보 모터(186)는 리드 나사(205)를 회전시켜 너트(203)가 리드 나사(205)의 회전 방향에 따라 상승 또는 하강하여 이동하도록 적합하게 되어 있다. 포드 문 수용부(37)에 연결된 서보 모터(186)는 프로그램 가능한 제어기(C)(도 3c)에 연결되어 있고, 프로그램 가능한 제어기(C)는 사용자가 포드 문 수용부(37)가 상승 및 하강하는 속도를 지정할 수 있도록 프로그래밍되어 있다. 일 태양에서, 프로그램은 사용자가 포드 문 수용부의 이동중 임의의 이동 부분 동안 느린 속도를 선택할 수 있게 하며, 포드 문 수용부의 이동중 다른 이동 부분동안 빠른 속도를 선택하게 할 수 있다.
단일 액추에이션 이중 축 이동 포드 문 수용부
기판 캐리어 문 수용부(37)의 수축을 제어하는 자동문 개방기(15)의 부품은 포드 문 수용부의 동작을 순차적으로 도시하는 도 6a-c의 측면도를 참조하여 개시된다.
포드 문 수용부(37)의 수직 움직임은 수평 움직임(인터페이스 벽(29) 내의 포드 접근 개구부(35)로 향하고 이로부터 멀어지는 포드 문 수용부 움직임)으로 전달될 수 있으며, 이는 본 명세서에서 전문이 참조로 포함된 2000년 7월 7일자 출원된 미국특허출원 제60/217,147호(AMAT 5183)에 개시되어 있다. 특히, 수직 움직임 정지부(211)는 포드 문 수용부(37)의 수직 움직임을 정지시키기에 적합하게 될 수 있으며, 네 개의 막대로 이루어진(four-bar) 링크와 같은 움직임 전달 링크(213)는 포드 문 수용부의 수직 움직임이 수직 움직임 정지부를 통해 정지된 후에 포드 문 수용부(37)가 순방향으로 이동하도록 수직 움직임 정지부와 포드 문 수용부(37)에 연결될 수 있다.
도 6a-c에 도시된 바와 같이, 자동문 개방기(15)는 수직 동작이 기판 캐리어 문 수용부(37)의 수평 이동으로 전달되도록 수평 고정 부재(215)(수평 고정 부재(215)의 수직 움직임을 가능하게 하지만 수평 움직임을 제한하도록 트랙(217)을 통해 수평 움짐임에 대해 고정된 부재), 및 기판 캐리어 문 수용부(37)와 수평 고정 부재(215) 사이에 연결된 링크(213)를 포함하며, 이는 하기에서 설명된다.
링크(213)는 상부 링크(213a)와 하부 링크(213b)를 포함할 수 있으며, 이들 모두는 수축된 위치(도 6b)와 연장된 위치(도 6a) 사이에서 피봇되기에 적합하게 되어 있다. 상부 링크(213a)는 제 1 결합부(219)와 제 2 결합부(221)를 포함한다. 제 1 결합부(219)는 수평 고정 부재(215)에 연결되어 있고 제 2 결합부(221)는 기판 캐리어 문 수용부(37)에 연결되어 있다. 유사하게, 하부 링크(213b)는 제 1 결합부(219)와 제 2 결합부(221)를 포함하며, 또한 이들은 수평 고정 부재(215)와 기판 캐리어 수용부(37)에 각각 연결되어 있다. 따라서, 기판 캐리어 문 수용부(37), 수평 고정 부재(215), 상부 링크(213a), 및 하부 링크(213b)는 종래 공지된 4 개의 막대로 이루어진 링크와 같은 것을 포함하도록 구성될 수 있다.
자동문 개방기(15)의 수직 움직임 정지부(211)는 기판 캐리어 문 수용부(37)에 연결된 (수평 연장부와 같은) 캠 팔로워(223)를 포함하여, 캠 팔로워(223)가 기판 캐리어 문 수용부(37)와 수평 및 수직으로 이동할 수 있게 한다. 캠 팔로워(223)는 기판 캐리어 문 수용부(37)가 수직으로 상승하여 이동할 때 수직 고정 메커니즘(캠(225))과 접촉하여 캠 팔로워(223)와 기판 캐리어 문 수용부(37)의 수직 움직임이 정지하도록 적합하게 되어 있다.
캠(225)은 캠 팔로워(223)가 캠(225)과 접촉할 때 기판 캐리어 문 수용부(37)가 포드 접근 포트(35)와 도킹 플랫폼(P) 상에 위치한 포드의 문(175)과 (동일하게 상승하여) 맞물리는 위치에 있도록 위치한다. 캠(225)과 도킹 플랫폼(P)은 포드 문(175)과 관련하여 기판 캐리어 문 수용부(37)를 적절하게 위치시키기 위한 데이텀 포인트로서 기능할 수 있다.
또한, 기판 캐리어 문 수용부(37)를 상승시켜 바이어싱하기에 적합한 스프링(도시 안됨)과 같은 평형 메커니즘이 사용될 수 있다.
문 수용부(37) 움직임 전달기의 동작은 도 6a-c의 순차적인 그림을 참조하여 하기에서 설명된다. 상부 링크(111)와 하부 링크(113)는 도 6a에 도시된 바와 같이 초기에 연장된 위치에 있다. 수평 고정 부재(215)는 자동문 개방기(15)에 추가한 도킹 플랫폼(P) 상에 위치하기 때문에, 연장된 위치는 도 6a에 도시된 것처럼 기판 캐리어 문 수용부(37)를 포드 접근 포트(35)로부터 수평으로 떨어져 밀어낸다.
동작시, 액추에이터(186)는 포드 문 수용부(37)를 포드 문(175)과 적절하게 맞물리도록 위치시키기 위해 포드 문 수용부(37)를 수직방향으로 위로 이동시킨다. 포드 문 수용부(37)는 수직방향으로 위로 이동하고, 수평으로 연장하는 캠 팔로워(223)는 캠 팔로워(223)와 포드 문 수용부(37)가 수직방향으로 위로 더 이동하는 것을 방지하기 위해 캠(225)과 접촉한다.
수평 고정 부재(215)는 캠 팔로워(223)와 포드 문 수용부(37)와 관련하야 수직 방향으로 계속 이동하고, 이들 캠 팔로워와 포드 문 수용부는 캠 (225)에 의해 수직으로 정지하여 남아있게 된다. 수평 고정 부재(215)가 수직방향으로 위로 계속 이동할 때, 상부 링크(213a)와 하부 링크(213b)의 제 1 결합부(219)는 고정 부재와 함께 위로 이동한다. 수평 고정 부재(215)수평으로 수축하기 때문에, 이러한 수직 움직임은 상부 링크(213a)와 하부 링크(213b)를 도 6b에 도시된 것처럼 수축된 위치에 위치시키고, 이로 인해 포드 문 수용부(37)를 포드 접근 포트(35)의 내부 방향으로 수평으로 수축시킨다. 수평 고정 부재(215)가 포드 접근 포트(35)에 추가한 도킹 플랫폼(P) 상에 위치하기 때문에, 수축된 위치는 포드 문 수용부(37)를 포드 접근 포트(35)로 향하여 끌어 당긴다.
상부 링크(213a)와 하부 링크(213b)가 수축된 위치로 이동할 때, 캠 팔로워(223)와 캠 팔로워에 연결된 기판 캐리어 문 수용부(37)는 (캠 팔로워(223)와 수직 고정부가 캠(225)과 맞물릴 때 캠 팔로워와 이의 수직 고정부의 수평 직선 구성으로 인해) 도 6b에 도시된 것처럼 포드 접근 포트(35)로 향하는 직선 방향으로 수평으로 이동하여, 포드 문 수용부가 포드 문(175)을 수용할 수 있게 한다. 그 후에, 순서는 바뀌고 포드 문 수용부(37)는 하강하고, 포드 문(175)와 함께 이동한다.
상기 설명에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 포드 문 개방기(15)는 포드 문 수용부(37)를 수직 및 수평으로 이동시키기 위해 단일 액추에이터(186)를 사용할 수 있다.
더욱이, 캠(225)은 기판 캐리어 문 수용부(37)의 위치가 포드 접근 포트(35)와 관련하여 정확하게 제어되도록 종래 데이텀 포인트를 제공한다. 추가로, (캠 팔로워(223)의 직선 표면이 캠(225)을 뒤따를 수 있는) 포드 문 수용부(37)의 바람직한 직선 움직임은 포드 문 수용부(37)가 포드 문(175)과 접촉할 때 발생할 수 있는 입자 발생을 감소시킬 수 있다.
프로그램 가능한 FIMS 갭
본 발명의 자동문 개방기(15)에 추가하여 포드 문 수용부에서 발견된 또 다른 특징은 포드 문 수용부(37)가 도킹 플랫폼(P)으로 향하는 인터페이스 벽(29)의 표면으로부터 돌출하는 것을 조절할 수 있다는 것이다.
특히, 포드 문 수용부에 연결된 서보 모터(186)를 제어하는 제어기(C)는 수평 고정 메커니즘(215)의 수직 움직임을 수직 움직임 정지부로서 작용하는 캠(211)과 관련한 미리 설정된 위치에서 정지시키기 위해 프로그래밍될 수 있다. 캠(211)이 접촉한 후에, 수평 고정 메커니즘(215)이 수직 움직임 정지부(캠(211)) 위로 더 멀리 이동할수록 포드 문 수용부(37)는 도킹 플랫폼(P)으로 향하여 수평으로 더 멀리 이동하게 된다.
도 7a-c는 자동문 개방기(15)의 개략적인 측면도이다. 도 7a는 수직 움직임 정지부(캠(211))가 네 개의 막대로 이루어진 링크(213)를 연장시켜 포드 문 수용부(37)를 포드 접근 포트(35)로부터 떨어져 뒤로 밀어내게 할 때와 동일하게 상승하였을 때의 수평 고정 메커니즘(215)을 도시한다. 도 7b는 수직 움직임 정지부(캠(211)) 위에서 작은 거리(Y1)를 이동하여, 네 개의 막대로 이루어진 링크(213)가 작게 돌출하는(X1) 내부 방향으로 해당 거리만큼 포드 문 수용부(37)를 끌어 당기게 하는 수평 고정 메커니즘(215)을 도시한다. 도 7c는 수직 움직임 정지부 위에서 큰 거리(Y2)를 이동하여, 네 개의 막대로 이루어진 링크(213)가 크게 돌출하는(X2) 해당 거리 만큼 포드 문 수용부(37)를 끌어 당기게 하는 수평 고정 메커니즘(215)을 도시한다.
일 태양에서 프로그램 가능한 제어기(C)는 사용자가 포드 접근 개구부(35)에추가하여 도킹 플랫폼의 표면과 도킹 플랫폼(P)에 가장 인접한 포드 문 수용부(37)의 표면(팩토리 인터페이스 표면 또는 FIMS 갭) 사이에서 원하는 양성 또는 음성 갭을 선택하게 한다. FIMS 갭 제어 프로그램은 사용자가 원하는 FIMS 갭을 해당 모터 전류로 변환하는 검색 테이블을 포함하거나 또는 사용자가 원하는 FIMS 갭을 해당 모터 전류로 변환하기 위한 알고리즘을 포함할 수 있다.
자동문 개방기 동작
동작시, 본 발명의 자동문 개방기(15)와 팩토리 인터페이스 챔버(19)가 상기 설명한 바와 같이 데이텀 플레이트(41)에 연결된 후에, 도킹 플랫폼(P)에 연결된 수평 액추에이터(119)가 동장하여 도킹 플랫폼(P)이 데이텀 플레이트(41)로부터 떨어져 도 3a에 도시된 포드 수용 위치까지 이동하게 한다. 포드 감지 센서의 발광기(151)에 의해 방출된 광 빔은 검출기(153)에 의해 수신되고, 포드 감지 센서는 도킹 플랫폼(P)이 비어 있고 포드(107)가 그 위에 위치할 수 있다는 것을 나타내는 신호를 제어기(C)로 전송한다. 그 후에, 포드(107)는 자동 또는 수동 방식을 통해 포드 플랫폼(P) 상에 위치한다.
정렬 핀(109)은 표준 포드(107)의 바닥부 위에 있는 피처와 인터페이싱하고 도킹 플랫폼(P) 상의 포드(107)를 운동학적으로 정렬시킨다. 이와 동시에, 클램프(111)는 표준 포드(107)의 바닥부 상에 있는 대응 개구부(149)에 진입하고, 포드 간지 센서는 포드가 도킹 플랫폼(P) 상에 있는지를 감지한다. 제어기(C)는 포드 감지 신호를 수신하고, 이에 응답하여 클램프(111)를 회전 및 수축시켜 포드(107)를 도킹 플랫폼(P) 상의 적절한 위치에서 고정되게 홀딩한다. 더욱이,이미 설명한 바와 같이, ID 판독기(141)는 임의의 시간에서 도킹 플랫폼(P)에 클램핑된 포드(107)의 식별 태그를 판독될 수 있다.
도킹 플랫폼(P)은 표준 포드의 바닥부 상에 있는 피처와 인터페이싱하기에 적합한 세 개 또는 그 이상의 정렬 핀을 포함할 수 있다. 센서는 표준 포드가 세 개의 모든 센서를 동작시키고 센서에 연결된 제어기가 세 개 미만의 센서 동작이 도킹 플랫폼(P) 상에 포드가 적절하게 위치하지 않음을 나타내는 것을 인식하도록 각각의 정렬 핀에 인접하여 위치될 수 있다. 사용될 수 있는 대안적인 방법은 포드에 의해 눌려지는 플런저와 같은 집적 센서를 갖는 핀을 포함하고 플런저에 연결된 센서를 동작시키는 것이다. 이러한 집적 센서 핀은 본 명세서에서 전체가 참조로 포함된, 2001년 6월 27일자 미국특허출원 제09/894,383호에 개시되어 있다.
수평 액추에이터(119)는 인터페이스 벽(29) 내에 형성된 포드 접근 포트(35) 방향으로 도킹 플랫폼(P)을 이동시키기 시작하는 신호를 수신한다. 도킹 플랫폼(P)이 이동하는 속도는 속도를 변화시키도록 프로그램될 수 있는 제어기(C)에 의해 제어되어, 도킹 플랫폼(P)이 접근 포트(35)에 인접한 영역에서 느려지게 하여, 이미 설명한 바와 같이 포드 접근 포트(35)의 표면과 평평하게 되거나, 이를 통과하여 돌출하거나 또는 포드 접근 포트(35)의 표면으로부터 함몰될 수 있도록 포드 문 수용부(37)와 점차적으로 접촉하게 한다. 포드 문이 포드 문 수용부(37)의 함몰부로 진입할 때, 포드 문(175)은 함몰부 내에 담겨진 정렬 핀(187)에 의해 정렬되고, 키(133)는 밀봉된 포드(107)의 문(125) 상의 대응 개구부(139)로 진입한다. 포드 문(175)이 서서히 포드 문 수용부(37)와 접촉하고 함몰부 내에서 정렬된후에, 키(183)는 포드의 나머지 부분으로부터 포드 문(175)을 열기 위해 액추에이터에 의해 회전된다. 키(183)는 상기에서 설명한 얇은 헤드(197) 또는 긴 베이스부(195)를 갖기 때문에, 키(183)는 회전할 때 포드 문의 내부와 마찰하지 않는다.
그 후에, 인터페이스 챔버(19) 내에 담겨진 로봇(13)이 포드 접근 개구부(35)로부터 기판을 추출하고 프로세스 툴(17)로 기판을 이송할 수 있게 된다. 전체 프로세스 동안 포드(107)가 적절하게 고정되어 홀딩되고 수축된 포드 클램프(111)를 통해 로킹 또는 틸팅이 방지된다. 데이텀 플레이트(41)와 포드 클램프(111)로 인해 포드(107)를 포함하는 각각의 부품과 그 안에 담겨진 기판의 위치는 정확해지고 반복가능하다. 본 발명의 자동문 개방기(15)는 도킹 플랫폼(P)의 접근 속도, 포드 문 수용부(37)가 상승하는 속도 및 포드 문 수용부(또는 FIMS 갭)의 돌출을 제어할 수 있는 프로그램된 제어기로 인해 종래 시스템보다 더 큰 가용성을 제공한다. 또한 프로그램된 제어기는 천천히 이동하는 부분들 사이에서는 천천히 이동하여 접촉하게 하지만 이동 부분이 접촉하지 않는 시간동안에는 빠르게 움직이게 한다.
이러한 기능을 수행하는데 사용된 컴퓨터 프로그램 코드는 (1) 종래 당업자에 의해 개발될 수 있고; (2) 임의의 컴퓨터 프로그래밍 언어로 기록되며; 및/또는 (3) 제어기(C) 내의 메모리 위치내에 또는 또 다른 메모리 위치(도시 안됨) 내에 저장될 수 있다.
자기적 장착 케이싱
본 발명의 자동문 개방기(15)의 한 가지 최종적인 특징은 조립을 용이하게하고 조립과 수리를 위한 이동 부분에의 접근을 용이하게 한다. 특히, 종래 자동문 개방기의 이동 부분은 입자들을 둘러싸고 자동문 개방기의 미적 외관을 개선하는 기능을 하는 얇은 시트의 금속으로 둘러싸인다. 종래, 이들 금속 시트는 나사 또는 볼트에 의해 적절하게 고정된다. 그러나, 본 발명의 자동문 개방기(15)는 다수의 자석을 통해 적절하게 고정되는 얇은 금속 시트(바람직하게 광이나는 알루미늄)에 의해 둘러싸일 수 있다. 자석은 자동문 개방기의 프레임에 고정되게 장착될 수 있다. 따라서, 금속 시트는 본 발명의 자동문 개방기에 용이하게 제공되고 제거될 수 있다.
이전 설명은 본 발명의 바람직한 실시예만을 설명한 것이며; 본 발명의 범위 내에 있는 상기 장치의 수정이 당업자에 의해 용이하게 이뤄질 수 있다. 예컨대, 상기 설명한 자동문 개방기는 다수의 본 발명의 특징을 가지며, 이들 각각은 독립거으로 사용될 수 있다. 설명된 리드 나사 타입의 움직임 시스템은 단순히 예시일 뿐이며, 임의의 수의 움직임 시스템, 키, 검추기 등이 사용될 수 있다. 유사하게 데티텀 플레이트에 연결된 다양한 부품들과 관련한 데이터 플레이트의 특정 위치는 데이텀 플레이트의 기능에 영향을 주지 않으면서 바뀔 수 있다. 플레이트의 특정 형상은 제한되지 않으며, "플레이트"란 용어는 데이텀 플레이트를 임의의 특정 형상 또는 크기로 제한하고자 하는 것은 아니다. 데이텀 플레이트가 갖는 상기 설명한 기능을 제공하는 임의의 목적은 데이텀 플레이트가 되도록 고려될 수 있다.
따라서, 본 발명이 실시예와 함께 설명되었지만, 다른 실시예가 본 발명의 사상과 범위내에서 하기 청구범위에 의해 한정되는 바에 의해 이루어질 수 있다.

Claims (28)

  1. 데이텀 플레이트를 챔버에 연결하기에 적합한 미리 결정된 부착 위치 세트;
    하나 이상의 자동문 개방기 플랫폼을 상기 데이텀 플레이트에 연결하기에 적합한 미리 결정된 부착 위치 세트; 및
    상기 챔버 내에 담겨진 하나 이상의 기판 처리기를 상기 데이텀 플레이트에 연결하기에 적합한 미리 결정된 부착 위치 세트를 포함하는 데이텀 플레이트로서,
    상기 부착 위치들은 상기 데이텀 플레이트가 상기 챔버에 연결되고 및 상기 자동문 개방기 플랫폼과 상기 기판 처리기가 상기 데이텀 플레이트에 연결될 때, 상기 기판 처리기와 상기 자동문 개방기 플랫폼이 정렬되어 상기 기판을 상기 기판 처리기와 상기 자동문 개방기 플랫폼 사이에서 이동시키도록 위치한 데이텀 플레이트.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 부착 위치들은 미리 드릴링된 홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 데이텀 플레이트.
  3. 제 1 항에 있어서, 자동 모듈을 상기 데이텀 플레이터에 연결하기에 적합한 미리 설정된 부착 위치 세트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 데이텀 플레이트.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 자동 모듈은 기판 방향기를 포함하는 것을 특징으로하는 데이텀 플레이트.
  5. 제 3 항에 있어서, 상기 자동 모듈은 기판 중앙파인더를 포함하는 것을 특징으로 하는 데이텀 플레이트.
  6. 제 3 항에 있어서, 자동 모듈은 ID 판독기를 포함하는 것을 특징으로 하는 데이텀 플레이트.
  7. 제 3 항에 있어서, 상기 자동 모듈은 계측/검사 스테이션을 포함하는 것을 특징으로 하는 데이텀 플레이트.
  8. 제 3 항에 있어서, 기판 저장 위치를 상기 데이텀 플레이트에 연결하기에 적합한 미리 설정된 부착 위치 세트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 데이텀 플레이트.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 기판 저장 위치는 상기 챔버 내에서 저장하기 위한 것을 특징으로 하는 데이텀 플레이트.
  10. 제 1 항에 있어서, 기판 저장 위치를 상기 데이텀 플레이트에 연결하기에 적합한 미리 설정된 부착 위치 세트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 데이텀 플레이트.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 부착 위치들은 상기 데이텀 플레이트가 상기 챔버에 연결되고 상기 기판 처리기와 저장 위치가 상기 데이텀 플레이트에 연결될 때 상기 기판 처리기와 상기 저장 위치가 정렬되어 상기 기판을 상기 기판 처리기와 상기 저장 위치 사이에서 이송시키도록 위치한 것을 특징으로 하는 데이텀 플레이트.
  12. 제 1 항에 있어서, 하나 이상의 기판 캐리어 저장 선반을 가지며, 상기 플랫폼에 인접한 지지 프레임을 연결하기에 적합한 미리 설정된 부착 위치 세트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 데이텀 플레이트.
  13. 제 1 항에 있어서, 하나 이상의 기판 캐리어 저장 선반과 상기 기판 캐리어 저장 선반에 연결된 기판 캐리어 처리기를 갖는 지지 프레임을 연결하기에 적합한 미리 설정된 부착 위치 세트를 더 포함하고,
    상기 부착 위치들은 상기 데이텀 플레이트가 상기 챔버에 연결되고 상기 플랫폼과 상기 지지 프레임이 상기 데이텀 플레이트에 연결될 때, 상기 기판 캐리어 처리기, 상기 플랫폼, 및 상기 저장 선반이 정렬되어 상기 기판을 상기 기판 캐리어 처리기, 상기 플랫폼, 및 상기 저장 선반들 사이에서 이송시키도록 위치한 것을 특징으로 하는 데이텀 플레이트.
  14. 지지 프레임;
    데이텀 플레이트의 X,Y,Z의 상대 위치를 고정하기 위한 부착 메커니즘 세트 및 상기 데이텀 플레이트에 연결된 장치를 갖는 데이텀 플레이트;
    - 상기 데이텀 플레이트는 상기 부착 메커니즘 세트를 통해 상기 지지 프레임에 연결됨 -
    상기 부착 메커니즘 세트를 통해 상기 데이텀 플레이트에 연결된 기판 처리기; 및
    상기 부착 메커니즘 세트를 통해 상기 데이텀 플레이트에 연결된 적어도 하나의 자동문 개방기 플랫폼을 포함하는 기판 처리 시스템.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 지지 프레임은 챔버인 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  16. 제 14 항에 있어서, 상기 부착 메커니즘 세트를 통해 상기 데이텀 플레이트에 연결된 추가 지지 프레임을 더 포함하고;
    상기 추가 지지 프레임은 상기 데이텀 플레이트에 연결된 다수의 자동문 개방기 플랫폼들 사이에서 기판 캐리어를 이송시키기에 적합한 기판 캐리어 처리기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  17. 제 16 항에 있어서, 상기 추가 지지 프레임에 연결된 적어도 하나의 기판 캐리어 저장 선반을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  18. 제 14 항에 있어서, 상기 지지 프레임은 조적 가능한 레벨링 피트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  19. 제 18 항에 있어서, 상기 데이텀 플레이트는 상기 데이텀 플레이트에 부착된 레벨 파인더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  20. 제 14 항에 있어서, 상기 부착 메커니즘 세트를 통해 상기 데이텀 플레이트에 연결된 자동 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  21. 제 14 항에 있어서, 상기 부착 메커니즘 세트를 통해 상기 데이텀 플레이트에 연결된 자동 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 시스템.
  22. 지지 프레임을 제공하는 단계;
    데이텀 플레이트를 상기 지지 프레임에 연결하는 단계;
    기판 처리기를 상기 데이텀 플레이트 상의 미리 설정된 장착 위치에 연결하는 단계; 및
    적어도 하나의 자동문 개방기 플랫폼을 상기 데이텀 플레이트 상의 미리 설정된 장착 위치에 연결하는 단계를 포함하는 기판 처리 장치 설치 방법.
  23. 제 22 항에 있어서, 상기 지지 프레임에 연결된 레벨링 피트를 조절함으로써 상기 데이텀 플레이트의 레벨을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치 설치 방법.
  24. 제 22 항에 있어서, 추가 지지 프레임을 상기 데이텀 플레이트 상의 미리 설정된 장치 위치에 연결하는 단계를 더 포함하며, 상기 추가 지지 프레임은 상기 추가 지지 프레임에 연결되 기판 캐리어 처리기를 가지며 사수의 자동문 개방기 플랫폼들 사이에서 기판 캐리어를 이송시키기에 적합한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치 설치 방법.
  25. 제 24 항에 있어서, 적어도 하나의 기판 캐리어 지지 선반을 상기 추가 지지 프레임에 연결하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치 설치 방법.
  26. 제 22 항에 있어서, 적어도 하나의 기판 저장 위치를 상기 데이텀 플레이트 상의 미리 설정된 장착 위치에 연결하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치 설치 방법.
  27. 제 22 항에 있어서, 자동 모듈을 상기 데이텀 플레이트 상의 미리 설정된 장착 위치에 연결하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치 설치 방법.
  28. 제 16 항에 있어서, 상기 추가 지지 프레임은 조절가능한 레벨링 피트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치 설치 방법.
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