JPH07122615A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ロボットおよびマガジンの占有面積を縮小し
て小型化を達成した基板搬送装置を提供しようとするも
のである。 【構成】 先端に基板保持部を有する回転および伸縮が
可能な多関節アーム１３を支持、制御するためのロボッ
ト１１と、複数枚の基板２１を収納した複数のマガジン
２０ａ〜２０ｄとを具備し、前記マガシン２０ａ〜２０
ｄ内の基板２１を前記ロボット１１の多関節アーム１３
により１枚ずつ取出す搬送装置において、前記ロボット
１１は、前記多関節アーム１３の取り付け中心と前記マ
ガジン２０ａ〜２０ｄの中心とが直線状もしくはほぼ直
線状に並ぶように配置されていることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置または
液晶表示装置の製造装置等に使用され基板搬送装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】大規模集積回路（ＬＳＩ）または液晶表
示装置（ＬＣＤ）などの製造および検査に使用される装
置は、無人で自動運転される場合が多く、かつ一般に基
板搬送装置が併設されている。前記基板搬送装置は、複
数枚の基板（例えばウェハやレチクル）を製造および検
査工程において所定の位置に搬送するために使用され
る。

【０００３】ところで、従来の基板搬送装置は図５、図
６または図７に示す構造のものが知られている。すなわ
ち、図５においてロボット１はその上部に多関節アーム
２を支持している。前記多関節アーム２は、その先端に
基板保持部（例えば真空チャック部）を有し、回転およ
び伸縮の動作がなされると共にそれらの動作は前記ロボ
ット１からの指令により制御されている。例えば４つの
エレベータ３ａ〜３ｄは、前記ロボット１を中心にして
円弧状に配置されている。複数枚の基板４が収納された
マガジン５ａ〜５ｄは、前記各エレベータ３ａ〜３ｄ上
にそれぞれ設置されている。このような構成の基板搬送
装置において、指定されたマガジン（例えば５ａ）が設
置されたエレベータ３ａを上下動させて前記マガジン５
ａに収納された所定の基板４を前記ロボット１の多関節
アーム２と同レベルとなるように位置設定した後、前記
ロボット１の多関節アーム２を回転し、伸縮することに
よって前記マガジン５ａ内の所定の基板４を取出し、製
造・検査装置の所定位置に搬送することができる。

【０００４】しかしながら、図５に示す基板搬送装置は
前記ロボット１を中心にして前記エレベータ３ａ〜３ｄ
を円弧状に配置しているため、前記エレベータ３ａ〜３
ｄの間にかなりのデッドスペースが生じ、装置の占有面
積が大きくなるという問題があった。

【０００５】図６において、図５と同様な機構を有する
ロボット１はガイドレール６に沿って一軸方向に移動可
能な移動テーブル７上に設置されている。例えば４つの
エレベータ３ａ〜３ｄは、前記ガイドレール６に沿って
配置されている。複数枚の基板４が収納されたマガジン
５ａ〜５ｄは、前記各エレベータ３ａ〜３ｄ上にそれぞ
れ設置されている。このような構成の基板搬送装置にお
いて、前記ガイドレール６および前記移動テーブル７に
より前記ロボット１を指定されたマガジン（例えば５
ａ）が設置されたエレベータ３ａに対向するように移動
させ、前記エレベータ３ａを上下動させて前記マガジン
５ａに収納された所定の基板４を前記ロボット１の多関
節アーム２と同レベルとなるように位置設定した後、前
記ロボット１のアームを回転し、伸縮することによって
前記マガジン５ａ内の所定の基板４を取出し、製造・検
査装置の所定位置に搬送することができる。

【０００６】しかしながら、図６に示す基板搬送装置は
前記移動テーブル７上に設置されたロボット１と前記エ
レベータ３ａ〜３ｄとが平行に配置されているため、前
述した図５に示す搬送装置に比べて多少小型化できるも
のの、前記ロボット１を移動させる領域が必要になり、
同様に装置の占有面積が大きくなるという問題があっ
た。

【０００７】図７において、ロボット１は前述した図５
と同様な機構を有する。上下動可能で回転可能な回転体
８は、前記ロボット１に近接して配置されている。複数
枚の基板４が収納された例えば４つのマガジン５ａ〜５
ｄは、前記回転体８上にそれぞれ設置されている。この
ような構成の基板搬送装置において、前記回転体８を所
望角度回転し、前記回転体８上の指定されたマガジン
（例えば５ａ）を前記ロボット１に対向させ、さらに前
記回転体８を上下動させて前記マガジン５ａに収納され
た所定の基板４を前記ロボット１の多関節アーム２と同
レベルとなるように位置設定した後、前記ロボット１の
多関節アーム２を回転し、伸縮することによって前記マ
ガジン５ａ内の所定の基板４を取出し、製造・検査装置
の所定位置に搬送することができる。なお、前記搬送装
置において前記回転体８を上下動させる代わりに前記ロ
ボット１自体を上下動させてもよい。

【０００８】しかしながら、図７に示す基板搬送装置は
マガジン５ａ〜５ｄを回転体８上に設置するため、大型
になると共にデッドスペースも増加し、前述した図５の
装置と同様に占有面積が大きくなるという問題があっ
た。

【０００９】以上、半導体素子などの製造装置および検
査装置はクリーンルーム内で生産ラインに組み込まれて
使用されるため、小型化が要求されている。小型化は、
クリーンルーム内での占有面積を縮小化できるため、よ
り多くの製造装置および検査装置を設置できる。その結
果、生産コスト当たりのクリーンルームの維持費を低減
でき、コストの削減を図ることが可能になる。特に、高
精度の加工、検査が要求される装置では基板の恒温化も
重要になり、高価な恒温チャンバに入れて使用すること
が多い。このため、装置全体の小型化もさることなが
ら、コスト低減の観点から搬送装置の小型化も重要な課
題になっている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ロボ
ットおよびマガジンの占有面積を縮小して小型化を達成
した基板搬送装置を提供しようとするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明に係わる基板搬送
装置は、先端に基板保持部を有する回転および伸縮が可
能な多関節アームを支持、制御するためのロボットと、
複数枚の基板を収納した複数のマガジンとを具備し、前
記マガシン内の基板を前記ロボットの多関節アームによ
り１枚ずつ取出す基板搬送装置において、前記ロボット
は、前記多関節アームの取り付け中心と前記マガジンの
中心とが直線状もしくはほぼ直線状に並ぶように配置さ
れていることを特徴とするものである。

【００１２】

【作用】本発明によれば、先端に基板保持部を有する回
転および伸縮が可能な多関節アームを支持、制御するた
めのロボットを、前記多関節アームの取付け中心と半導
体装置の製造に供される複数枚の基板を収納した複数の
マガジンの中心とが直線状もしくはほぼ直線状に並ぶよ
うに配置することによって、前記ロボットおよび前記複
数のマガジンの占有面積を長方形型にできるため、前述
した図５、図６または図７に示すレイアウトを有する従
来の基板搬送装置に比べて小形化することができる。こ
のような小型化によって、前記ロボットの多関節アーム
先端に取着された基板保持部により前記マガジン内の基
板を１枚ずつ取り出す際、前記多関節アームの移動範囲
を狭くすることができるため、従来より短時間で前記基
板を搬送することができる。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。 実施例１ 図１は実施例１の搬送装置を示す平面図、図２は図１の
搬送装置の正面図である。ロボット１１は、その本体１
２の上部に多関節アーム１３を支持している。前記多関
節アーム１３は、例えば前記本体１２の上部側から第
１、第２および第３のアーム１４〜１６により構成さ
れ、回転および伸縮の動作がなされる。具体的には、前
記多関節アーム１３は図１に示す状態を保ったまま全体
が回転する動作、先端側の前記第３アーム１６を一方向
に保ったまま残りの第１、第２のアーム１４、１５が伸
縮する動作、または前記第１アーム１４のみが回転する
動作、等それぞれのアーム１４〜１６が独立して動作で
きるようになっている。このような多関節アーム１３の
一連の動作は、各種駆動制御回路１７からの指令により
なされる。基板保持部である吸着板１８は、前記多関節
アーム１３の第３アーム１６に連結されている。

【００１４】例えば４つのエレベータ１９ａ〜１９ｄ
は、前記エレベータ１９ｂ、１９ｃの間に前記ロボット
１１が位置するように直線状に並んで配置されている。
マガジン２０ａ〜２０ｄは、前記エレベータ１９ａ〜１
９ｄ上にそれらの基板取出口が前記ロボット１１側に位
置するようにそれぞれ載置され、かつ複数枚の基板２１
は前記マカジン２０ａ〜２０ｄ内にそれぞれ収納されて
いる。したがって、前記ロボット１１は前記多関節アー
ム１３の取り付け中心と前記マガジン２０ａ〜２０ｄの
中心とが直線状に並ぶように前記マガジン２０ｂ、２０
ｃの間に配置されている。前記エレベータ１９ａ〜１９
ｄは、前記各種駆動制御回路１７からの指令に基づいて
駆動される。前記ロボット１１の多関節アーム１３の全
長および前記各マガジン２０ａ〜２０ｄの配置は、前記
多関節アーム１３が最大限伸び切った状態よりも前記マ
ガジン２０ａ内の基板２１（またはマガジン２０ｄ内の
基板２１）の中心から前記多関節アーム１３の回転中心
までの距離が若干短くなるように決められている。ま
た、前記多関節アーム１３と前記多関節アーム１３に近
接して配置されるエレベータ１９ｂ、１９ｃとは前記多
関節アーム１３の原点位置（前記多関節アーム１３の形
状が最も小さくなる位置）において前記第１アーム１４
と前記各エレベータ１９ｂ、１９ｃ上の前記マガジン２
０ｂ、２０ｃ、または多関節アーム１３に支持された基
板２１と前記マガジン２０ｂ、２０ｃが互いに干渉しな
いように配置されている。

【００１５】また、前記各種駆動制御回路１７に接続さ
れる制御回路２２と、センサ２３ａ〜２３ｄと、前記各
センサ２３ａ〜２３ｄを前記制御回路２２に接続するた
めの信号線２４ａ〜２４ｄと前記ロボット１１の駆動状
況を前記制御回路２２に入力するための信号線２５とに
よりインターロック機構を構成している。前記センサ２
３ａ〜２３ｄは、前記エレベータ１９ａ〜１９ｄの下部
に取り付けられ、前記各エレベータ１９ａ〜１９ｄの原
点位置を検出し、その検出信号は前記信号線２４ａ〜２
４ｄを通して前記制御回路２２にそれぞれ入力される。
なお、前記センサ２３ａ〜２３ｄは前記エレベータ１９
ａ〜１９ｄの原点位置を検出できる位置であれば、前記
エレベータ１９ａ〜１９ｄの下部に限定されない。この
ようなインターロック機構は、次のような動作を制約す
る。

【００１６】（１）前記ロボット１１の多関節アーム１
３は、回転動作が原点位置のみでなされる。 （２）前記ロボット１１から離れて位置するエレベータ
１９ａ（または１９ｄ）が前記各種駆動制御回路１７で
選択されて駆動される場合、前記ロボット１１と近接し
て配置された非駆動状態のエレベータ１９ｂ、１９ｃ
は、前記センサ２３ｂ、２３ｄにより原点位置の検出が
なされる。前記エレベータ１９ｂ、１９ｃが原点位置に
存在しない場合、前記センサ２３ｂ、２３ｃからその信
号が信号線２４ｂ、２４ｃを通して前記制御回路２２に
入力され、前記制御回路２２から前記各種駆動制御回路
１７に制御信号が入力されることによりエレベータ１９
ｂ、１９ｃの駆動および前記多関節アーム１３の駆動が
禁止される。

【００１７】（３）前記ロボット１１の多関節アーム１
３が原点位置である時は、前記ロボット１１から信号線
２５を通して前記制御回路２２に入力されるため、前記
制御回路２２から前記各種駆動制御回路１７による前記
各エレベータ１９ａ〜１９ｄの上下動作を許可する信号
が出力される。すなわち、前記多関節アーム１３が原点
位置から外れて位置すると前記各エレベータ１９ａ〜１
９ｄの上下動作が禁止される。

【００１８】このような構成によれば、前記各種駆動制
御回路１７により指定されたマガジン（例えば２０ｄ）
が設置されたエレベータ１９ｄを上昇させて前記マガジ
ン２０ｄをその内部に収納された所定の基板２１が前記
ロボット１１の多関節アーム１３に取着された吸着板１
８と同レベルになるように上昇させる。この状態で前記
各種駆動制御回路１７により前記多関節アーム１３全体
を回転させて前記第３アーム１６に保持した吸着板１８
の先端を指定された前記マガジン２０ｄに向け、さらに
伸縮によって前記マガジン２０ｄ内の所定の基板２１ｄ
まで前記吸着板１８を延出させて吸着保持する。つづい
て、前記多関節アーム１３を駆動してその形状が最も小
さくなる位置、つまり原点位置に戻す。このような前記
吸着板１８による基板２１ｄの吸着保持、取出の動作に
おいて、前記エレベータ１９ｄを多少下降させて、前記
前記多関節アーム１３により前記吸着板１８を元の位置
に戻す際に、前記マガジン２０ｄ内で前記基板２１が滑
らないようにすることが好ましい。この後、前記多関節
アーム１３全体を９０゜回転させ、再度、各アーム１４
〜１６の伸縮させて製造・検査装置の所定位置に前記基
板を搬送することにより基板のアンローディングが完了
される。ローディングは、前記アンローディングと逆の
操作がなされ、これにより基板を前記マガジン２０ｄ内
に収納させることができる。

【００１９】次に、前記マガジン２０ｃが指定された場
合、前記各種駆動制御回路１７により前記エレベータ１
９ｃが上下動作され、前述したのと同様なローディング
シーケンスによって前記マガジン２０ｃ内の基板２１を
搬送する。この後、再度、前記ロボット１１を中心にし
て前記マガジン２０ｃの後方に位置する前記マガジン２
０ｄが指定された場合、前記マガジン２０ｃを載置した
前記エレベータ１９ｃが自動的に原点位置に戻り、前記
マガジン２０ｄを載置した前記エレベータ１９ｄが上昇
して前記マガジン２０ｄ内の基板２１のアクセスがなさ
れる。

【００２０】したがって、実施例１の基板搬送装置によ
れば先端に吸着板１８を有する回転および伸縮が可能な
多関節アーム１３を支持、制御するためのロボット１１
を、前記多関節アーム１３の取付け中心と複数のマガジ
ン２０ａ〜２０ｄの中心とが直線状に並ぶように配置す
ることによって、前記ロボット１１および前記複数のマ
ガジン２０ａ〜２０ｄの占有面積を長方形型にできるた
め、前述した図５、図６または図７に示すレイアウトを
有する従来の基板搬送装置に比べて小形化することがで
きる。このような小型化によって前記ロボット１１の多
関節アーム１３の先端に取着された吸着板１８により前
記マガジン２０ａ〜２０ｄ内の基板２１を１枚ずつ取り
出す際、前記多関節アーム１３の移動範囲を狭くするこ
とができるため、従来より短時間で前記基板を搬送する
ことができる。

【００２１】さらに、前述した一連の基板のアンローデ
ィング／ローディングを行う際、前述したインターロッ
ク機構を付設することにより、前記エレベータ１９ａ〜
１９ｄ、マガジン２０ａ〜２０ｄと前記ロボット１１の
多関節アーム１３との干渉を回避し、それら部材および
基板２１の破損を防止することができるため極めて安全
な搬送装置を実現できる。

【００２２】実施例２ 図３は、実施例２の基板搬送装置を示す正面図である。
なお、前述した図１、図２と同様な部材は同符号を付し
て説明を省略する。

【００２３】ロボット１１は、各種駆動制御回路１７の
指令により上下動作されるエレベータ２６上に固定され
ている。架台２７ａ、２７ｂは、前記ロボット１１の両
側に直線状に配置されている。二段に重ねたマガジン２
０ａ、２０ａ’は前記架台２７ａ上に載置され、二段に
重ねたマガジン２０ｂ、２０ｂ’は前記架台２７ｂ上に
載置されている。また、前記各種駆動制御回路１７に接
続される制御回路２２と、前記ロボット１１の駆動状況
を前記制御回路２２に入力するための信号線２８とによ
りインターロック機構を構成している。このようなイン
ターロック機構は、次のような動作を制約する。

【００２４】（１）前記ロボット１１の多関節アーム１
３は、回転動作が原点位置のみでなされる。 （２）前記ロボット１１の多関節アーム１３が原点位置
である時には、前記ロボット１１から前記信号線２８を
通して前記制御回路２２に入力されるため、前記制御回
路２２から前記各種駆動制御回路１７による前記エレベ
ータ２６の上下動作を許可する信号が出力される。すな
わち、前記多関節アーム１３が原点位置から外れて位置
すると前記エレベータ２６による前記ロボット１１の上
下動作が禁止される。

【００２５】このような構成によれば、前記各種駆動制
御回路１７により前記エレベータ２６を上昇させて前記
ロボット１１の多関節アーム１３を所定の位置まで上昇
させる。この状態で前記各種駆動制御回路１７により前
記多関節アーム１３全体を回転させて前記第３アーム１
６に保持した吸着板１８の先端を指定されたマガジン
（例えば２０ｂ’）に向け、さらに伸縮によって前記マ
ガジン２０ｂ’内の所定の基板２１まで前記吸着板１８
を延出させて吸着保持する。つづいて、前記多関節アー
ム１３を駆動してその形状が最も小さくなる位置、つま
り原点位置に戻す。このような前記吸着板１８による基
板２１の吸着保持、取出の動作において、前記エレベー
タ２６ｄを多少上昇させて、前記前記多関節アーム１３
により前記吸着板１８を元の位置に戻す際に、前記マガ
ジン２０ｂ’内で前記基板２１が滑らないようにするこ
とが好ましい。この後、前記多関節アーム１３全体を９
０゜回転させ、再度、各アーム１４〜１６の伸縮によっ
て製造・検査装置の所定位置に前記基板を搬送すること
により基板のアンローディングが完了される。ローディ
ングは、前記アンローディングと逆の操作がなされ、こ
れにより基板を前記マガジン２０ｂ’内に収納させるこ
とができる。

【００２６】したがって、図３に示す搬送装置によれば
ロボット１１を、前記アーム１３の取付け中心と架台２
７ａ、２７ｂ上のマガジンの中心と直線状に並ぶように
配置してそれら部材の占有面積を長方形型にし、さらに
前記各架台２７ａ、２７ｂ上に二段重ねのマガジン２０
ａ、２０ａ’および２０ｂ、２０ｂ’をそれぞれ載置す
ることによって、前述した実施例１で説明した基板搬送
装置に比べて一層小形化することができる。その結果、
前記ロボット１１により前記基板を短時間で搬送するこ
とができる。

【００２７】また、実施例２の基板搬送装置は前述した
実施例１のように複数のマガジンをエレベータで上下動
作させる代わりにロボット１１をエレベータ２６により
上下動作させるため、構造を簡素化することができる。

【００２８】さらに、前述した一連の基板のアンローデ
ィング／ローディングを行う際、前述したインターロッ
ク機構を付設することにより、前記マガジン２０ａ、２
０ａ’、２０ｂ、２０ｂ’と前記ロボット１１の多関節
アーム１３との干渉を回避し、それら部材および基板２
１の破損を防止することができるため極めて安全な搬送
装置を実現できる。

【００２９】実施例３ 図４は、実施例３の基板搬送装置を示す正面図である。
なお、前述した図１、図２と同様な部材は同符号を付し
て説明を省略する。

【００３０】ロボット１１は、多関節アーム１３が下部
に支持した状態で支持部材２９に吊下されている。前記
ロボット１１の下方のスペース、つまりマガジン２０ｂ
が載置されたエレベータ１９ｂとマガジン２０ｃが載置
されたエレベータ１９ｃの間のスペースには、エレベー
タ３０により上下動されるブロック３１が配置されてい
る。前記ブロック３１は、上面が長方形状をなしてい
る。前記ブロック３１の上面には、搬送された基板を回
転させるための回転板３２と、前記基板を移動させるＸ
Ｙ方向修正部材（図示せず）と、前記基板の位置状態を
検出する位置検出センサ（図示せず）とからなる基板位
置決め手段が配置されている。前記ブロック３１の側面
には、搬送された基板のＩＤを検出するためのＩＤ読取
り認識手段３３が取着されている。ＩＤ読取り認識手段
３３は、信号線３４を通して制御回路２２に接続されて
いる。前記エレベータ３０の下部には、前記エレベータ
３０の原点位置を検出し、その検出信号を信号線３５を
通して前記制御回路２２に入力するためのセンサ３６が
取り付けられてる。

【００３１】このような構成によれば、各種駆動制御回
路１７により指定されたマガジン（例えば２０ｄ）が設
置されたエレベータ１９ｄを上昇させて前記マガジン２
０ｄをその内部に収納された所定の基板２１が前記ロボ
ット１１の多関節アーム１３に取着された吸着板１８と
同レベルになるように上昇させる。この状態で前記各種
駆動制御回路１７により前記多関節アーム１３全体を回
転させて前記第３アーム１６に保持した吸着板１８の先
端を指定された前記マガジン２０ｄに向け、さらに伸縮
によって前記マガジン２０ｄ内の所定の基板２１まで前
記吸着板１８を延出させて吸着保持する。つづいて、前
記多関節アーム１３を駆動してその形状が最も小さくな
る位置、つまり原点位置に戻す。ひきつづき、前記エレ
ベータ３０を上昇させて、その上のブロック３１上の前
記回転板３２を前記吸着板１８に保持された基板に近接
させる。前記吸着板１８による前記基板の吸着保持を解
除して前記基板を前記回転板３２上に載置する。図示し
ない位置検出センサにより前記基板が正規な位置状態で
載置されているか否かを検出する。前記基板が正規の位
置状態からある角度回転されている場合には、前記回転
円板３２を回転させて修正し、また前記基板がＸ方向ま
たはＹ方向にずれている場合には図示しないＸＹ方向修
正部材に前記基板を移動させて修正する。このような位
置検出または修正を行った後、再度、前記吸着板１８に
より前記回転板３２上の基板を吸着保持し、前記エレベ
ータ３０により前記ブロック３１を下降させる。前記セ
ンサ３６により前記エレベータ３０の原点位置への復帰
を確認した後、前記多関節アーム１３全体を９０゜回転
させ、再度、各アーム１４〜１６の伸縮によって製造・
検査装置の所定位置に前記基板を搬送することにより基
板のアンローディングが完了される。

【００３２】また、前記吸着板１８による前記回転板３
２上の基板の吸着保持に先立って、前記ＩＤ読取り認識
手段３３により前記基板裏面に形成されたＩＤを読取
り、製造装置に搬送する基板か、検査装置に搬送する基
板かを判別する。この判別信号を信号線３４を通して前
記制御回路２２に入力し、前記制御回路２２から前記各
種駆動制御回路１７に前記多関節アーム１３による前記
基板の搬送方向（製造装置または検査装置の方向）を決
定する信号を出力する。

【００３３】したがって、実施例３で説明した搬送装置
によれば前述した実施例１の搬送装置と同様、前記ロボ
ット１１および前記複数のマガジン２０ａ〜２０ｄの占
有面積を長方形型にできるため、前述した図５、図６ま
たは図７に示すレイアウトを有する従来の基板搬送装置
に比べて小形化することができる。その結果、小型化に
よって前記ロボット１１の多関節アーム１３の先端に取
着された吸着板１８により前記マガジン２０ａ〜２０ｄ
内の基板２１を１枚ずつ取り出す際、前記多関節アーム
１３の移動範囲を狭くすることができるため、従来より
短時間で前記基板を搬送することができる。

【００３４】また、前記ロボット１１を支持部材２９に
吊下し、前記ロボット１１の下方のスペースを基板の位
置修正のための基板位置決め手段を配置することによっ
て、前記位置決め手段を配置するための余分なスペース
を設けずに、前記ロボット１１により正規な位置状態の
基板を製造装置または検査装置に搬送できる。その結
果、前記基板が前記マガシン２０ａ〜２０ｄと干渉した
り、前記製造装置または検査装置と干渉して破損するの
を防止することができる。さらに、前記ロボット１１の
下方のスペースにＩＤ読取り認識手段３３を配置するこ
とによって、前記ＩＤ読取り認識手段を配置するための
余分なスペースを設けずに、前記ロボット１１により前
記基板をその基板に見合った処理装置である製造装置ま
たは検査装置に正確に搬送することができる。

【００３５】さらに、前述した一連の基板のアンローデ
ィング／ローディングを行う際、実施例１で説明したの
と同様なインターロック機構を付設することにより、前
記エレベータ１９ａ〜１９ｄ、マガジン２０ａ〜２０ｄ
と前記ロボット１１の多関節アーム１３との干渉を回避
し、それら部材および基板２１の破損を防止することが
できるため、極めて安全な搬送装置を実現できる。

【００３６】なお、前記実施例１〜３ではマガジンまた
はロボットをエレベータにより上下動させたが、マガジ
ンおよびロボットの両方を上下動作させてもよい前記実
施例３では吊下されたロボットの下方空間に位置決め手
段とＩＤ読取り認識手段の両方を配置したが、一方の手
段のみを配置してもよい。

【００３７】前記実施例３では、基板位置決め手段を回
転板とＸＹ方向修正手段とを備える構成にしたが、要は
ロボットから搬送された基板を回転させたりＸＹ方向に
移動させたりする機能を有すればよい。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係わる基
板搬送装置によれば先端に基板保持部を有する回転およ
び伸縮が可能な多関節アームを支持、制御するためのロ
ボットと複数枚の基板を収納した複数のマガジンとを前
記アーム取り付け中心と前記マガジンの中心とが直線状
もしくはほぼ直線状に並ぶように配置することによっ
て、前記ロボットおよび前記複数のマガジンの占有面積
を従来に比べて縮小して小型化を達成できる。その結
果、前記ロボットのアーム先端に取着された基板保持部
により前記マガジン内の基板を１枚ずつ取り出す際、前
記アームの移動範囲を狭くすることができるため、従来
より短時間で前記基板を搬送することができる。また、
小形化により多数の製造装置と共に恒温チャンバ内にそ
のスペースを拡張することなく組み込むことができる。
さらに、製造装置の側面に付設してクリーンルームに設
置する場合、前記クリーンルームのスペースを小さくす
ることができる。したがって、半導体装置または液晶表
示装置の製造装置や検査装置の様々な要求に合致した、
実用性、汎用性の高い基板搬送装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１における基板搬送装置を示す
平面図。

【図２】図１の搬送装置の正面図。

【図３】実施例２のにおける基板搬送装置を示す正面
図。

【図４】実施例３のにおける基板搬送装置を示す正面
図。

【図５】従来の基板搬送装置を示す平面図。

【図６】従来の他の基板搬送装置を示す平面図。

【図７】従来のさらに別の基板搬送装置を示す平面図。

【符号の説明】

１１…ロボット、１３…多関節アーム、１４〜１６…ア
ーム、１７…各種駆動制御回路、１８…吸着板、１９ａ
〜１９ｄ、２６、３０…エレベータ、２０ａ〜２０ｄ、
２０ａ’、２０ｂ’…マガジン、２１…基板、２２…制
御回路、２３ａ〜２３ｄ、３６…センサ、３２…回転
板、３３…ＩＤ読取り認識手段。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 東條 徹 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地 株 式会社東芝研究開発センター内 (72)発明者 阿部 和夫 東京都板橋区蓮沼町75番１号 株式会社ト プコン内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 先端に基板保持部を有する回転および伸
   縮が可能な多関節アームを支持、制御するためのロボッ
   トと、複数枚の基板を収納した複数のマガジンとを具備
   し、前記マガシン内の基板を前記ロボットの多関節アー
   ムにより１枚ずつ取出す基板搬送装置において、 前記ロボットは、前記多関節アームの取り付け中心と前
   記マガジンの中心とが直線状もしくはほぼ直線状に並ぶ
   ように配置されていることを特徴とする基板搬送装置。
2. 【請求項２】 前記ロボットは、その下部に前記多関節
   アームを支持した状態で吊下されることを特徴とする請
   求項１記載の基板搬送装置。
3. 【請求項３】 基板の位置決め手段およびＩＤマークを
   読み取る認識手段の少なくとも１つの手段は、前記ロボ
   ットの下方空間に配置されていることを特徴とする請求
   項２記載の基板搬送装置。