KR20040052358A - 클린룸의 에어 샤워 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 클린룸으로 공급되는 파티클(Particle)의 양을 최소화할 수 있도록 한 클린룸의 에어 샤워 장치에 관한 것이다.
본 발명의 클린룸의 에어 샤워 장치는 제 1영역에 위치되어 작업자의 작업복에 부착된 파티클을 에어를 이용하여 비산시키기 위한 에어 배출영역과, 제 2영역에 위치되어 비산된 파티클을 흡입하여 외부로 방출시키기 위한 에어 흡입영역을 구비한다.
Description
본 발명은 클린룸의 에어 샤워 장치에 관한 것으로 특히, 클린룸으로 공급되는 파티클(Particle)의 양을 최소화할 수 있도록 한 클린룸의 에어 샤워 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자, 평판 디스플레이 패널 및 미세 전자소자 등은 그 제조에 있어서 높은 청정도가 요구되기 때문에 클린룸에서 제조가 이루워진다. 클린룸은 온도, 습도 및 파티클(먼지 등 마이크로 단위의 미세입자등)등을 일정수준으로 유지하여 제조단계에서 불량이 발생되는 것을 방지한다. 이중, 온도 및 습도는 자동제어장치등을 이용하여 클린룸내에서 일정하게 유지될 수 있다. 하지만, 파티클은 작업자에 의하여 외부로부터 클린룸 내부로 유입되기 때문에 클린룸 내에서 파티클을 일정수준 이하로 유지하는 것이 제조불량을 방지하는 중요한 요소 중 하나로 작용하고 있다.
작업자는 클린룸으로 파티클이 유입되는 것을 방지하기 위하여 방진복, 방진화 및 방진장갑등을 착용한다. 그리고, 작업자는 클린룸으로 들어가기전 방진복, 방진화 및 방진장갑등에 부착된 파티클을 제거하기 위하여 에어 샤워 장치에서 에워 샤워를 실시한다. 에어 샤워 장치는 강한 압력으로 에어를 분사하면서 방전복, 방진화 및 방진장갑등에 부착된 파티클을 제거한다.
도 1은 종래의 에어 샤워 장치를 나타내는 도면이다. 여기서, 에어 샤워 장치의 상면이 아치형으로 도시되었지만, 실제로 에어 샤워 장치의 상면은 다양한 형태를 갖는다.(예를 들어, 에어 샤워 장치는 직사각형 형태로 설치될 수 있다.)
도 1을 참조하면, 종래의 에어 샤워 장치는 측면 및 상면(천장)에 설치되는 분사노즐들(2,4)과, 하면(바닥)에 설치되는 배출홀들(6)을 구비한다. 분사노즐들(2,4)은 강한 압력으로 에어(Air)를 분사하여 방진복, 방진화 및 방진장갑에 부착된 파티클을 제거한다. 배출홀들(6)은 하면에 안착된 파티클을 에어 샤워 장치의 외부로 방출시킨다. 이때, 배출홀들(6)을 통해 외부로 방출된 파티클은 도시되지 않은 다수의 필터에 의해 제거된다.
이와 같은 종래의 에어 샤워 장치의 동작과정을 도 2를 결부하여 상세히 설명하기로 한다. 먼저 작업자는 방진복, 방진화 및 방진장갑등을 착용한 후 에어 샤워 장치의 제 1문(1)을 통하여 에어 샤워 장치로 들어간다. 작업자가 에어 샤워 장치 내부로 들어오면 분사노즐들(2,4)로부터 강한 압력으로 에어가 분산된다. 분사노즐들(2,4)로부터 분사된 에어는 작업자의 방진복, 방진화 및 방진장갑등에 부착된 파티클을 비산시킨다. 이후, 작업자는 에어 샤워를 마친후 제 2문(8)을 통하여 클린룸 내부로 들어간다. 배출홀들(6)은 바닥에 안착된 파티클을 에어 샤워 장치의 외부로 방출시켜 에어 샤워 장치 내부에 파티클이 잔류하는 것을 방지하게 된다.
하지만, 이와 같은 종래의 에어샤워장치는 에어에 의하여 비산된 파티클이 다시 작업자의 방진복, 방진화 및 방진장갑등에 재부착될 염려가 있다. 다시 말하여, 에어에 의하여 비산된 파티클이 하면에 안착되기 전에 작업자의 방진복, 방진화 및 방전장갑등에 재부착되게 되고, 이에 따라 클린룸으로 파티클이 유입되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 클린룸으로 공급되는 파티클의 양을 최소화할 수 있도록 한 클린룸의 에어 샤워 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
도 1은 종래의 에어 샤워 장치를 나타내는 도면.
도 2는 도 1의 에어 샤워 장치에 의하여 분사되는 에어의 진행경로를 나타내는 도면.
도 3은 본 발명의 제 1실시예에 의한 에어 샤워 장치를 나타내는 도면.
도 4는 도 3에 도시된 에어 샤워 장치에 의하여 분사 및 흡입되는 에어의 진행경로를 나타내는 도면.
도 5는 본 발명의 제 2실시예에 의한 에어 샤워 장치를 나타내는 도면.
도 6은 도 5에 도시된 에어 샤워 장치에 의하여 분사 및 흡입되는 에어의 진행경로를 나타내는 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
1,8,20,21,41,42 : 문 2,4,12,13,31,32 : 분사노즐
6,22,40 : 배출홀 14,15,33,34 : 흡입노즐
16,36 : 에어 배출영역 18,38 : 에어 흡입영역
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 클린룸의 에어 샤워 장치는 제 1영역에 위치되어 작업자의 작업복에 부착된 파티클을 에어를 이용하여 비산시키기 위한 에어 배출영역과, 제 2영역에 위치되어 비산된 파티클을 흡입하여 외부로 방출시키기 위한 에어 흡입영역을 구비한다.
상기 에어 배출영역은 에어를 분사하는 다수의 분사노즐들을 구비한다.
상기 분사노즐들은 제 1영역의 측면 및 상면에 설치된다.
상기 에어 흡입영역은 에어를 흡입하는 다수의 흡입노즐들을 구비한다.
상기 흡입노즐들은 제 2영역의 측면 및 상면에 설치된다.
상기 제 1영역 및 제 2영역의 바닥면에 설치되어 바닥면에 안착된 파티클을 외부로 배출시키기 위한 다수의 배출홀들을 구비한다.
상기 흡입노즐들은 바닥면에 추가로 설치된다.
상기 흡입노즐 및 배출홀들 중 적어도 어느 하나로부터 공급된 파티클을 제거하기 위한 다수의 필터들을 구비한다.
상기 에어 샤워 장치는 작업자가 진입하기 위한 제 1문과, 클린룸으로 이어지는 제 2문을 구비하며, 제 1영역은 제 1문과 인접되게 위치되고, 제 2영역은 제 2문과 인접되게 위치된다.
상기 제 1영역 및 제 2영역은 교번적으로 반복되게 위치된다.
본 발명의 클린룸의 에어 샤워 방법은 제 1영역에서 에어를 분사하여 작업자의 작업부에 부착된 파티클을 비산시키는 단계와, 제 2영역에서 에어를 흡입하여 비산된 파티클을 흡입하는 단계를 포함한다.
상기 파티클이 비산된 후 파티클을 흡입할 수 있도록 제 1영역 및 제 2영역의 위치가 정해진다.
상기 제 1영역 및 제 2영역은 교번적으로 위치된다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하 도 3 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 제 1실시예에 의한 에어 샤워 장치를 나타내는 도면이다. 여기서, 에어 샤워 장치의 상면이 아치형으로 도시되었지만, 실제로 에어 샤워 장치의 상면은 다양한 형태를 갖을 수 있다.(예를 들어, 에어 샤워 장치는 직사각형 형태로 설치될 수 있다.)
도 3을 참조하면, 본 발명의 제 1실시예에 의한 에어 샤워 장치의 상면(천장) 및 측면은 에어 배출영역(16)과 에어 흡입영역(18)으로 나뉜다. 에어 배출영역(16)은 에어를 이용하여 작업자의 방진복, 방진화 및 방진장갑등에 부착된 파티클을 비산시킨다. 이를 위해, 에어 배출영역(16)은 에어를 분사하기 위한 분사노즐들(12,13)을 구비한다. 에어 흡입영역(18)은 공기중에 비산된 파티클을 흡입하여 작업자의 방진복, 방진화 및 방진장갑등에 파티클이 재부착되는 것을 방지한다. 이를 위해, 에어 흡입영역(18)은 에어를 흡입하기 위한 흡입노즐들(14,15)을 구비한다. 한편, 에어 샤워 장치의 하면(바닥)에는 배출홀들(22)이 설치된다.
분사노즐들(12,13)은 강한 압력으로 에어를 분사하여 작업자의 방진복, 방진화 및 방진장갑등에 부착된 파티클을 제거한다. 흡입노즐들(14,15)은 소정 압력으로 비산하는 파티클을 흡입한다. 이를 위해, 흡입노즐들(14,15)은 클린룸에 설치되는 진공(Vacuum)라인과 연결된다. 배출홀들(22)은 하면에 안착된 파티클을 에어 샤워 장치의 외부로 배출시킨다. 배출홀들(22)을 통해 외부로 배출된 파티클은 도시되지 않은 다수의 필터에 의해 제거된다. 여기서, 흡입노즐들(14,15)을 통해 외부로 배출된 파티클들도 다수의 필터에 의해 제거될 수 있다.
이와 같은 본 발명의 제 1실시예에 의한 에어 샤워 장치의 동작과정을 도 4를 결부하여 상세히 설명하기로 한다. 먼저 작업자는 방진복, 방진화 및 방진장갑등을 착용한 후 에어 샤워 장치의 제 1문(20)을 통하여 에어 샤워 장치로 들어간다. 작업자가 에어 샤워 장치 내부로 들어오면 분사노즐들(12,13)로부터 강한 에어가 분사되고, 분사된 에어는 작업자의 방진복, 방진화 및 방진장갑등에 부착된파티클을 비산시킨다. 이와 동시에, 흡입노즐들(14,15)은 소정 압력으로 에어를 흡입한다.(즉, 파티클이 흡입된다) 이때, 분사노즐들(12,13)로부터 비산된 파티클은 흡입노즐들(14,15)을 통하여 외부로 배출된다. 배출홀들(22)은 바닥에 안착된 파티클을 에어 샤워 장치의 외부로 방출시켜 에어 샤워 장치 내부에 파티클이 잔류하는 것을 방지한다. 한편, 에어 샤워를 마친 작업자는 제 2문(21)을 통하여 클린룸 내부로 들어간다.
여기서, 에어 배출영역(16)은 제 1문(20)과 인접되게 위치되고, 에어 흡입영역(18)은 제 2문(21)과 인접되게 위치된다. 다시 말하여, 먼저 작업자의 방진복, 방진화 및 방진장갑에 부착된 파티클을 비산시키기 위하여 에어 배출영역(16)은 제 1문(20)과 인접되게 위치되고, 비산된 파티클을 흡입할 수 있도록 에어 흡입영역(18)은 제 2문(21)과 인접되게 위치된다.
이와 같은 본 발명의 제 1실시예에서는 에어에 의하여 비산된 파티클을 흡입노즐들(14,15)을 통하여 외부로 방출시키기 때문에 작업자의 방진복, 방진화 및 방진장갑등에 재부착되는 파티클의 양을 최소화할 수 있다. 다시 말하여, 에어에 의하여 비산된 파티클을 외부로 배출하기 때문에 작업자에 의하여 클린룸으로 유입되는 파티클의 양을 줄일 수 있고, 이에 따라 제조공정에서의 불량발생률을 낮출 수 있다.
도 5는 본 발명의 제 2실시예에 의한 에어 샤워 장치를 나타내는 도면이다. 여기서, 에어 샤워 장치의 상면이 아치형으로 도시되었지만, 실제로 에어 샤워 장치의 상면은 다양한 형태를 갖을 수 있다.(예를 들어, 에어 샤워 장치는 직사각형형태로 설치될 수 있다.)
도 5를 참조하면, 본 발명의 제 2실시예에 의한 에어 샤워 장치의 상면(천장) 및 측면은 다수의 에어 배출영역(36)과 에어 흡입영역(38)으로 나뉜다. 에어 배출영역(36)은 에어를 이용하여 작업자의 방진복, 방진화 및 방진장갑등에 부착된 파티클을 비산시킨다. 이를 위해, 에어 배출영역(36)은 에어를 분사하기 위한 분사노즐들(31,32)을 구비한다. 에어 흡입영역(38)은 공기중에 비산된 파티클을 흡입하여 작업자의 방진복, 방진화 및 방진장갑등에 파티클이 재부착되는 것을 방지한다. 이를 위해, 에어 흡입영역(38)은 에어를 흡입하기 위한 흡입노즐들(33,34)을 구비한다. 이와 같은 에어 배출영역(36) 및 에어 흡입영역(38)은 서로 교번적으로 위치되도록 설치된다. 에어 배출영역(36) 및 에어 흡입영역(38)이 교번적으로 위치되면 에어 배출영역(36)에서 비산된 파티클을 에어 흡입영역(38)에서 효과적으로 외부로 배출시킬 수 있다. 한편, 에어 샤워 장치의 하면(바닥)에는 배출홀들(40)이 설치된다.
분사노즐들(31,32)은 강한 압력으로 에어를 분사하여 작업자의 방진복, 방진화 및 방진장갑등에 부착된 파티클을 제거한다. 흡입노즐들(33,34)은 소정 압력으로 비산하는 파티클을 흡입한다. 이를 위해, 흡입노즐들(33,34)은 클린룸에 설치되는 진공(Vacuum)라인과 연결된다. 배출홀들(40)은 하면에 안착된 파티클을 에어 샤워 장치의 외부로 배출시킨다. 배출홀들(40)을 통해 외부로 배출된 파티클은 도시되지 않은 다수의 필터에 의해 제거된다. 여기서, 흡입노즐들(33,34)을 통해 외부로 배출된 파티클들도 다수의 필터에 의해 제거될 수 있다.
이와 같은 본 발명의 제 2실시예에 의한 에어 샤워 장치의 동작과정을 도 6를 결부하여 상세히 설명하기로 한다. 먼저 작업자는 방진복, 방진화 및 방진장갑 등을 착용한 후 에어 샤워 장치의 제 1문(41)을 통하여 에어 샤워 장치로 들어간다. 작업자가 에어 샤워 장치 내부로 들어오면 분사노즐들(31,32)로부터 강한 에어가 분사되고, 분사된 에어는 작업자의 방진복, 방진화 및 방진장갑등에 부착된 파티클을 비산시킨다. 이와 동시에, 흡입노즐들(33,34)은 소정 압력으로 에어를 흡입한다.(즉, 파티클이 흡입된다) 이때, 분사노즐들(31,32)로부터 비산된 파티클은 흡입노즐들(33,34)을 통하여 외부로 배출된다. 배출홀들(40)은 바닥에 안착된 파티클을 에어 샤워 장치의 외부로 방출시켜 에어 샤워 장치 내부에 파티클이 잔류하는 것을 방지한다. 한편, 에어 샤워를 마친 작업자는 제 2문(42)을 통하여 클린룸 내부로 들어간다.
이와 같은 본 발명의 제 2실시예에서는 에어에 의하여 비산된 파티클을 흡입노즐들(33,34)을 통하여 외부로 방출시키기 때문에 작업자의 방진복, 방진화 및 방진장갑등에 재부착되는 파티클의 양을 최소화할 수 있다. 다시 말하여, 에어에 의하여 비산된 파티클을 외부로 배출하여 작업자에 의하여 클린룸으로 유입되는 파티클의 양을 줄일 수 있고, 이에 따라 제조공정에서의 불량발생률을 낮출 수 있다.
한편, 본 발명의 제 1실시예 및 제 2실시예에서는 흡입노즐들(14,15,33,34)을 에어 분사 장치의 하면(바닥)에도 설치할 수 있다. 예를 들어, 흡입노즐들(14,15,33,34)의 하면의 일정영역에 설치되거나 배출홀들(22,40)과 교번되게 설치되게 된다. 에어 분사 장치의 하면에 설치된 흡입노즐들(14,15,33,34)은파티클이 바닥에 안착되기 전에 파티클을 흡입하여 작업자의 방진화, 방진복 및 방진장갑등에 파티클이 재부착되는 것을 방지한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 클린룸의 에어 샤워 장치 및 방법에 의하면 에어 샤워 장치에 다수의 흡입노즐들을 설치한다. 이와 같은 흡입 노즐들은 작업자의 작업복(방진복, 방진화 및 방진장갑 등)에서 비산된 파티클들을 흡입하여 외부로 배출시킨다. 따라서, 작업자의 작업복에서 비산된 파티클들이 다시 작업복에 재부착되는 것이 방지되고, 이에 따라 클린룸에 유입되는 파티클의 양을 최소화할 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
Claims (13)
- 제 1영역에 위치되어 작업자의 작업복에 부착된 파티클을 에어를 이용하여 비산시키기 위한 에어 배출영역과,제 2영역에 위치되어 상기 비산된 파티클을 흡입하여 외부로 방출시키기 위한 에어 흡입영역을 구비하는 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어 샤워 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 에어 배출영역은 에어를 분사하는 다수의 분사노즐들을 구비하는 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어 샤워 장치.
- 제 2항에 있어서,상기 분사노즐들은 상기 제 1영역의 측면 및 상면에 설치되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어 샤워 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 에어 흡입영역은 에어를 흡입하는 다수의 흡입노즐들을 구비하는 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어 샤워 장치.
- 제 4항에 있어서,상기 흡입노즐들은 상기 제 2영역의 측면 및 상면에 설치되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어 샤워 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1영역 및 제 2영역의 바닥면에 설치되어 상기 바닥면에 안착된 파티클을 외부로 배출시키기 위한 다수의 배출홀들을 구비하는 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어 샤워 장치.
- 제 4항 또는 제 6항에 있어서,상기 흡입노즐들은 상기 바닥면에 추가로 설치되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어 샤워 장치.
- 제 4항 또는 제 6항에 있어서,상기 흡입노즐 및 상기 배출홀들 중 적어도 어느 하나로부터 공급된 파티클을 제거하기 위한 다수의 필터들을 구비하는 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어 샤워 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 에어 샤워 장치는 상기 작업자가 진입하기 위한 제 1문과, 상기 클린룸으로 이어지는 제 2문을 구비하며,상기 제 1영역은 상기 제 1문과 인접되게 위치되고, 상기 제 2영역은 상기 제 2문과 인접되게 위치되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어 샤워 장치.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1영역 및 제 2영역은 교번적으로 반복되게 위치되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어 샤워 장치.
- 제 1영역에서 에어를 분사하여 작업자의 작업부에 부착된 파티클을 비산시키는 단계와,제 2영역에서 상기 에어를 흡입하여 상기 비산된 파티클을 흡입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어 샤워 방법.
- 제 11항에 있어서,상기 파티클이 비산된 후 상기 파티클을 흡입할 수 있도록 제 1영역 및 제 2영역의 위치가 정해지는 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어 샤워 방법.
- 제 11항에 있어서,상기 제 1영역 및 제 2영역은 교번적으로 위치되는 것을 특징으로 하는 클린룸의 에어 샤워 방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020020080229A KR20040052358A (ko) | 2002-12-16 | 2002-12-16 | 클린룸의 에어 샤워 장치 및 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020020080229A KR20040052358A (ko) | 2002-12-16 | 2002-12-16 | 클린룸의 에어 샤워 장치 및 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20040052358A true KR20040052358A (ko) | 2004-06-23 |
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| KR1020020080229A KR20040052358A (ko) | 2002-12-16 | 2002-12-16 | 클린룸의 에어 샤워 장치 및 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20040052358A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR200460661Y1 (ko) * | 2007-03-06 | 2012-06-13 | (주)이투산업환경 | 크린룸 |
| KR102327798B1 (ko) | 2020-12-28 | 2021-11-18 | 주식회사 제일오토테크 | 에어샤워 구조물을 구비한 자동문 |
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2002
- 2002-12-16 KR KR1020020080229A patent/KR20040052358A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR200460661Y1 (ko) * | 2007-03-06 | 2012-06-13 | (주)이투산업환경 | 크린룸 |
| KR102327798B1 (ko) | 2020-12-28 | 2021-11-18 | 주식회사 제일오토테크 | 에어샤워 구조물을 구비한 자동문 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |