KR20040047898A - 광자기 기록 매체 - Google Patents

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KR20040047898A
KR20040047898A KR10-2004-7005170A KR20047005170A KR20040047898A KR 20040047898 A KR20040047898 A KR 20040047898A KR 20047005170 A KR20047005170 A KR 20047005170A KR 20040047898 A KR20040047898 A KR 20040047898A
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optical recording
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와다유타카
나카야마히로시
다케우치아쓰시
아리마미쓰오
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소니 가부시끼 가이샤
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Abstract

본 발명은, 랜드-그루브 양면을 기록 트랙으로 하는 신호 품질이 높은 MSR 재생용의 광자기 기록 매체이다. 대물 렌즈를 통하는 레이저광을 조사하여 기판 상의 랜드부 및 그루브부의 양쪽을 기록 재생 트랙으로서 사용하는 광자기 기록 매체에 있어서, 상기 그루브부의 트랙폭(Wg)과 랜드부의 트랙폭(W1)의 비 Wg/W1를 0.65 이상, 0.85 이하로 하고, 또한 레이저광의 파장을λ, 대물 렌즈의 개구수를 NA, 기판의 굴절률을 n으로 한 경우, 그루브 사이 거리 Gp가 1.0×λ/NA 이상, 1.2×λ/NA 이하이며, 또한 그루브의 홈의 깊이 D가 λ/11n 이상, λ/8n 이하인 것으로 한다.

Description

광자기 기록 매체 {MAGNETO-OPTICAL RECORDING MEDIUM}
재기입 가능하며 소거 가능한 광자기 기록 매체(이하, 광디스크라고 함)는, PC용 파일 메모리나 음악, 화상 데이터의 보존 등 널리 이용되고 있다. 그 요구에 따르기 위해, 기록 용량을 증가시키기 위한 각종 기술이 개발되어 있다. 기록 용량을 높이는 방법으로서는, 반경 방향과 원주 방향으로 기록 밀도를 높이는 방법이 있다.
반경 방향으로 기록 밀도를 높이는 방법으로서, 랜드(평탄 부분)·그루브(홈 부분)의 쌍방을 기록 트랙으로서 사용하는 랜드·그루브 기록 포맷이 있다. 이 방법은, 종래, 랜드 또는 그루브의 한쪽만을 기록 트랙으로서 사용하던 것을, 양쪽 모두 기록 트랙으로서 사용함으로써, 기록 밀도를 높이는 방법이다.
상기 랜드·그루브 기록 방법에 있어서는, 인접하는 트랙에 기록된 신호 사이의 크로스토크, 즉 랜드에 인접하는 그루브에 기록된 신호로부터의 크로스토크, 또는 그루브에 인접하는 랜드에 기록된 신호로부터의 크로스토크의 영향이 나타나 므로, 이들 크로스토크를 억제할 필요가 있었다.
또, 일반적으로, 랜드·그루브 기록에 있어서는, 재생 레이저의 입사면으로부터 보아 요면(凹面)인 랜드 트랙과, 철면(凸面)인 그루브 트랙 사이에서의 크로스토크의 특성에 차이를 볼 수 있다. 그리고, 랜드로부터 그루브로 새들어 가는 신호량과 그루브로부터 랜드로 새들어 가는 신호량에 차이가 있어, 이들에 유의하면서 복잡한 설계가 이루어져 있는 것이 현실이다.
또, 랜드 및 그루브가 기록 트랙으로서 인접하고 있기 때문에, 지터의 현상도 보다 복잡하게 된다.
한편, 원주 방향으로 기록 밀도를 높여 가는 방법으로서, 자기적 초해상(MSR= Magnetically induced Super Resolution)이 있다. 이것은, 자성 다층막에서의 각 층의 자기 특성과 온도 특성, 및 레이저광에 의해 생긴 자성막의 온도 분포를 이용하여, 기록층에 기록된 광의 스폿보다 작은 기록 신호를 판독하는 기술이다. 이 방법에 의해, 종래의 광학계를 그대로 이용하여 초고밀도화를 실현할 수 있다.
그러므로, 광디스크의 고밀도화라는 관점으로부터, 랜드·그루브 기록과 MSR을 조합함으로써 한층 더 고밀도화를 도모하는 것이 가능해진다. 그러나, 이 경우, 전술한 크로스토크 특성이나 지터의 현상도 보다 복잡한 것이 되어, MSR와의 조합에 있어서는 각종 파라미터를 조화시켜 최적의 신호 품질을 얻는 것은 더욱 더 곤란하게 된다.
본 발명은, 상기 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 랜드·그루브 기록과 MSR을 조합시켜 기록의 고밀도화를 도모하고, 그 신호 특성이 최적이 되는 랜드·그루브 특성을 가지는 광자기 기록 매체를 제공하는 것이다.
본 발명은, 광자기 기록 매체에 관한 것이며, 특히 랜드 및 그루브의 양쪽을 기록 재생 트랙으로서 사용하는 광자기 기록 매체에 관한 것이다.
도 1은 본 발명에 의한 광자기 기록 매체의 일례의 부분 절결 사시도이다.
도 2는 본 발명에 의한 광자기 기록 매체의 일례의 모식적 단면도이다.
도 3은 본 발명에 의한 광자기 기록 매체의 투명 디스크 기판의 모식적 부분 단면도이다.
도 4는 더블 마스크 RAD 방식의 자기적 초해상에 의한 신호 재생을 설명하기 위한 도면으로서, (a)는 재생시의 상태를 재생광 조사 측으로부터 본 평면도이며, (b)는 기록층을 구성하는 각 층의 재생시의 자화 상태를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 파워 마진 특성과 Wg/W1의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 6은 지터 보텀값과 Wg/W1의 관계를 나타낸 그래프이다.
상기 과제는, 다음에 설명하는 본 발명에 관한 광자기 기록 매체에 의해 달성된다.
즉, 본 발명의 광자기 기록 매체는, 기판 상의 랜드부 및 그루브부 양쪽을 기록 재생 트랙으로서 사용하고, 대물 렌즈를 통하는 레이저광을 조사(照射)하여 재생을 행하는 광자기 기록 매체에 있어서, 상기 그루브부의 트랙폭(Wg)과 랜드부의 트랙폭(W1)의 비 Wg/W1이 O.65 이상, 0.85 이하이며, 상기 레이저광의 파장을 λ, 상기 대물 렌즈의 개구수를 NA, 및 상기 기판의 굴절률을 n으로 한 경우, 그루브 사이 거리 Gp가 1.0×λ/NA 이상, 1.2×λ/NA 이하이며, 또한 그루브의 홈의 깊이 D가 λ/11n 이상, λ/8n 이하인 것이다.
이와 같은 구성의 광자기 기록 매체는, 랜드·그루브 양면에 관한 지터 및 파워 마진 특성을 매우 적합하게 밸런스 시키기 때문에, 양호한 신호 품질 특성을 가진다.
또, 본 발명의 광자기 기록 매체는, 상기한 광자기 기록 매체에 있어서, 상기 재생이 자기적 초해상(MSR)을 이용하여 행해지는 것을 특징으로 한다.
양호한 신호 품질 특성을 가지는 랜드·그루브 특성과 MSR을 조합함으로써, 광디스크의 기록 밀도의 고밀도화를 더욱 도모할 수 있다.
또한, 본 발명의 광자기 기록 매체는, 상기한 광자기 기록 매체에 있어서, 상기 기판의 그루브 측면의 경사각이 25˚ 이상, 40˚ 이하이며, 또한 상기 기판의 랜드면 및 그루브면의 평균 면조도(Ra)가 모두 0.7nm 이하이며, 또한 당해 양평균 면조도의 차이가 0.1nm 이하인 것을 특징으로 한다.
이와 같은 구성의 광자기 기록 매체는, 랜드·그루브 양면에 관한 지터 및 파워 마진 특성을, 매우 적합하게 밸런스시키기 때문에, 한층 양호한 신호 품질 특성을 가진다.
또한, 본 발명의 광자기 기록 매체는, 상기한 광자기 기록 매체에 있어서, 실온에서 수직 자기(磁氣) 이방성을 가지는 제1 자성층과, 실온에서 면 내 자기 이방성을 가지는 제2 자성층과, 실온에서 수직 자기 이방성을 가지는 제3 자성층이 차례로 적층된 다층 자성막층을 구비한 것을 특징으로 한다.
이와 같은 구성의 광자기 기록 매체는, MSR에 적절하며, 양호한 신호 품질 특성을 가진다.
본 발명의 광자기 기록 매체(이하, 광디스크라고함)는, 그루브(홈)와 랜드 양쪽을 기록 트랙으로서 기판 상에 가지고, 당해 기판의 배면 측으로부터 레이저광을 조사하여 기록 및 재생을 행하는 구성을 이루는 것이다.
이하, 본 발명의 광디스크의 일례를 도면을 참조하여 설명하지만, 본 발명의 광디스크는 실시 형태나 실시예에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 광디스크는 기록 트랙으로서 기판 상에 그루브와 랜드가 형성되는 것이면 적용 가능하다.
도 1은, 본 실시예에 의한 광자기 기록 매체(1)(이하, 광디스크(1)로 나타냄)의 부분 절결 사시도이다. 본 발명의 광디스크(1)는, 기록 신호의 기록 및 재생을 복수회 행할 수 있는 것이며, 예를 들면, 디스크 카트리지(도시하지 않음)에 수납되어, 기록 재생 장치(도시하지 않음)에 대하여 장착 및 분리 가능하게 사용된다.
도 2는, 본 발명에 의한 광 정보 기록 매체의 일례의 모식적 단면도이다. 랜드 및 그루브로 이루어지는 요철(凹凸)의 홈 트랙이 형성되어 있다. 디스크 기판(2) 상에, 스퍼터링에 의해 제1 유전체층(3), 자성층(4), 제2 유전체층(5), 및 반사층(6)을 통상법에 따라 차례로 적층하고, 또한 보호층(7)을 형성하여 광디스크(1)를 제작했다.
먼저, 디스크 기판(2)에 대하여, 그 랜드부 및 그루브부의 트랙폭을, 다음과같이 설정한다. 즉, 대물 렌즈를 통하는 레이저광을 조사하여 기판 상의 랜드부 및 그루브부의 양쪽을 기록 재생 트랙으로서 사용할 때, 상기 그루브부의 트랙폭(Wg)과 랜드부의 트랙폭(W1)의 비 Wg/W1가 0.65 이상, 0.85 이하가 되도록 한다. Wg/W1가 0.65 미만에서는, 랜드부로부터 그루브부로의 크로스토크가 증가하고, 그루브부의 재생 파워 마진이 감소한다. 또, Wg/W1가 0.85를 넘으면, 그루브부에서 랜드부로의 크로스토크가 증대하고, 랜드부의 재생 파워 마진이 감소한다. 이 점에 대하여는 후술한다.
기판(2)의 홈의 깊이 D 및 그루브 사이 거리 Gp에 대하여는, 레이저광의 파장을 λ, 대물 렌즈의 개구수를 NA, 및 기판의 굴절률을 n으로 한 경우, 그루브 사이 거리 Gp가 1.0×λ/NA 이상, 1.2×λ/NA 이하이며, 또한 그루브의 홈의 깊이 D가 λ/11n 이상, λ/8n 이하가 되도록 한다.
홈의 깊이 D에 대하여는, 그 값이 λ/11n 보다 작아지면 크로스토크가 증가하는 동시에, 어드레스 피트를 읽을 수 없게 되어, 트래킹이 추종할 수 없게 된다는 현상이 일어난다. 한편, D가 λ/8n 보다 커지면 랜드와 그루브의 광학 특성, 즉 감도 및 자계 특성에 차이가 나 버린다. 이 광학 특성에 차이가 생긴 경우는, 랜드와 그루브에서의 레이저 파워 설정치의 차이가 커지고, 그 경우는 시스템 구성이 보다 곤란하게 된다.
또, 그루브 사이 거리 Gp에 대하여는, 그 값이 작아진 경우는, 크로스토크가 증가한다. 한편, 크게 한 경우는 고밀도화할 수 없다는 문제점이 생긴다.
본 발명에 있어서는, 홈의 깊이 및 그루브 사이 거리를 상기 범위로 함으로써 최적화할 수 있다는 지견을 얻었다.
본 실시예에서는, 기판(2)의 그루브 사이 거리 Gp는 1.34μm, 그루브 홈의 깊이 D는 45nm으로 하였다. 사용하는 레이저광의 파장 λ은 635nm, 대물 렌즈의 개구수 NA는 0.58, 그리고 기판(2)으로서 폴리카보네이트를 사용하고, 이 굴절률 n은 1.58이다.
또한, 본 실시예에 의한 자기 기록 매체는, 자기적 초해상(MSR)과 조합시킴으로써, 보다 고밀도로 될 수 있다.
도 3은, 도 2에서의 랜드-그루브 형상의 확대 단면을 모식적으로 나타낸 도면이다. 도 3에 있어서 RaL, RaG는 각각 랜드의 평균 면조도 및 그루브의 평균 면조도를 나타내고, θ는, 그루브 측면이, 투명 디스크 기판(2)의 수평면과 이루는 각이다. 여기서, 본 실시예에서는, 그루브 측면 경사각 θ은 25˚ 이상 40˚이하이며, 또한 랜드부 평균 면조도 RaL및 그루브 평균 면조도 RaG는 모두 0.7nm 이하이며, 양 평균 면조도의 차이가 0.1nm 이하로 되도록 형성했다. 경사각 및 평균 면조도를 상기와 같이 특정함으로써, 랜드·그루브 쌍방 간의 밸런스가 한층 양호하게 된다.
랜드부의 평균 면조도 RaL, 그루브의 평균 면조도 RaG, 그루브 측면 경사각θ은, AFM(원자간력 현미경)에 의해 평균 면조도 및 경사각을 각각 측정했다.
또, 본 실시예에 의한 광디스크(1)에 있어서, 자성층(4)은, 기판 측으로부터 차례로, 실온에서 수직 자기 이방성을 가지는 제1 자성층과, 실온에서 면 내 자기이방성을 가지는 제2 자성층과, 실온에서 수직 자기 이방성을 가지는 제3 자성층이 차례로 적층된 다층 자성막이다.
여기서, 제1 자성층은 재생층이며, 본 실시예에 있어서, GdFeCo로 구성된다. 제2 자성층은 중간층이며, GdFeCoSi로 구성된다. 제3 자성층은 기록층이며, TbFeCo로 구성된다. 제1 유전체층 및 제2 유전체층은, 질화 규소(Si3N4)로 구성된다. 반사층은, Al-Ti합금으로 구성된다.
투명 디스크 기판(2)의 그루브(2a)-랜드(2b)의 요철 형상에 따라 자성층(4)이 성막된다.
각 층의 두께는, 기판(2)은 1.2mm, 제1 유전체층(3)은 70~90nm으로 하였다. 전술한 바와 같이 3층으로 이루어지는 자성층(4)의 두께는, 제1 자성층이 30~50nm, 제2 자성층이 30~50nm, 그리고 제3 자성층은 40~60nm이다. 또 제2 유전체층(5)은 20~30nm, 반사층(6)은 10~20nm이다.
다음에, 상기와 마찬가지의 구성으로 각종의 Wg/W1비를 가지는 광자기 기록 매체에 대하여, 더블 마스크 RAD(D-RAD = Doule-Rear Aperture Detection) 타입의 자기적 초해상(MSR)에 의해 신호 재생시의 파워 마진 및 지터 보텀값의 측정을 행하였다.
여기서, 실험에 사용한 D-RAD 타입의 자기적 초해상은, 예를 들면 일본국 특개 2000-57646호 공보에서와 같은 기존의 D-RAD 기술이다. 자기적 초해상에서는, 기록층에 기록된 정보 신호의 재생시에, 재생 자계를 인가함으로써, 재생광 스폿내의 일부의 영역에 있어서, 재생광 조사측의 자성층의 자화가 일정한 방향을 향하도록 한다. 이로써, 보다 작은 재생 자계에 의해, 자기적 초해상에 의한 정보 신호의 재생이 가능해진다. D-RAD 타입은 이 자기적 초해상 중에서도 특히 원주 방향의 분해능이 높기 때문에, 광자기 기록 매체의 기록 밀도를 보다 높일 수 있다.
도 4는, D-RAD 방식의 자기적 초해상에 의한 신호 재생을 설명하기 위한 도면으로서, (a)는 재생시 상태를 재생광 조사 측으로부터 본 평면도이며, (b)는 기록층을 구성하는 각 층의 재생시의 자화 상태를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 광디스크로부터 정보 신호(기록 피트: P)를 재생할 때는, 광디스크를 회전 구동시키면서, 재생층(54a) 측으로부터 레이저광에 의한 재생광 La를 조사하는 동시에, 당해 재생광 La에 의한 재생광 스폿 S를 포함하는 영역에 재생 자계 Hr를 인가한다. 그리고, 도면 중 화살표 A는 재생광 스폿의 주행 방향을 나타내고 있다. 또 도면 중의 화살표 Hr는, 재생 자계를 나타내고 있고, 도면 중 B로 나타낸 영역은, 재생 자계 Hr를 인가하고 있는 영역을 나타내고 있다.
그리고, 도면 중 B1로 나타낸 영역은, 재생 자계 Hr를 인가하고 있는 영역중, 재생광 스폿 S의 주행 방향에 대하여 전방 측에 위치하는 영역이며, 비교적 온도가 낮은 저온 영역이 된다. 또, 도면 중 B2로 나타낸 영역은, 재생 자계 Hr를 인가하고 있는 영역 중, 재생광 스폿 S의 주행 방향에 대하여 후방 측에 위치하는 영역이며, 비교적 온도가 높은 고온 영역이 된다. 또, 도면 중 B3로 나타낸 영역은, 재생 자계 Hr를 인가하고 있는 영역 중, 재생광 스폿 S의 중앙 부근의 영역이며, 저온 영역 B1보다 온도가 높고, 고온 영역 B2보다 온도가 낮은 중간 온도 영역이된다.
여기서, 전술한 바와 같이 (54a)는 재생층, (54b)는 중간층, 그리고 (54c)는 기록 상태 유지층이며, 본 발명에서의 각각 제1 자성층, 제2 자성층, 그리고 제3 자성층에 상당한다.
그리고, 자기적 초해상의 동작에 대하여는 이미 공지이며, 여기서는 상세한 설명을 생략한다.
도 5, 도 6에 그루브 사이 거리 Gp(도 2 참조)가 1.34μm, 그루브 홈의 깊이 D가 45nm의 디스크(폴리카보네이트제)를 사용하고, 그루브폭과 랜드폭의 비 Wg/W1에 대한, 재생 파워 마진 및 지터의 보텀값을 나타냈다.
Wg/W1는, AFM(원자간력 현미경)에 의해 그루브부의 폭 Wg를 언덕형 부분의 높이의 반값의 폭으로서 추측했다.
도 5에 나타낸 재생 파워 마진은, 양 옆의 트랙에 측정하는 트랙의 기록 파워에 대하여 5% 업의 기록 파워로 신호를 기록, 즉 크로스토크 신호를 포함한 상태로 측정을 행하였다.
도 6의 지터의 보텀값은, 양 옆의 트랙을 소거 상태로 측정했다.
전술한 재생 파워 마진과 지터란, 레이저광의 파장이 635nm, 대물 렌즈의 NA가 0.58인 평가기를 사용하여 선속도를 매초 7.6m로 하여 측정하고, 지터 11%로 슬라이스 했을 때의 재생 파워의 중심치에 대한 마진을 재생 파워 마진으로 하였다.
도 5에 있어서, 그루브폭 Wg가 넓어지는 방향, 즉 Wg/W1가 커지면, 그루브부에서의 랜드부로부터의 크로스토크가 작아지기 때문에, 그루브부의 재생 파워 마진은 확대된다(도 5에서의 ◆의 라인). 이 때, 그루브 사이 거리 Gp는 일정하므로, 랜드부의 폭은 좁아져 그루브부로부터의 크로스토크가 증가하므로, 랜드부의 재생 파워 마진은 감소한다(도 5에서의 ■의 라인).
한편, Wg/W1가 작은 영역에서는, 랜드폭이 넓기 때문에 랜드부의 재생 파워 마진이 증가한다(도 5에서의 ■의 라인).
다음에, 도 6에 있어서는, Wg/W1가 작아지면, 그루브부에서는 랜드부로부터의 크로스토크가 증가하고, Wg/W1가 0.9부근에서 8%대였던 지터가 0.55에서는 10%까지 급격히 증가한다(도 6에서의 ◆의 라인).
한편, 랜드부에 대하여는, 0.9를 넘어 Wg/W1비가 커지면 그루브부로부터 랜드부로의 크로스토크의 영향에 따른 지터의 상승을 볼 수 있다(도 6에서의 ■의 라인).
상기의 도 5 및 도 6으로부터 Wg/W1비와 신호 특성에 대하여 고찰하면, 랜드 및 그루브부에 있어서, 그 신호 품질이 서로 트레이드 오프의 관계를 가지고 있기 때문에, 랜드·그루브 기록을 행하는 광디스크에 있어서는, 랜드·그루브 쌍방의 재생 파워 마진과 지터의 양 특성을 양호한 밸런스로 동시에 만족시키는 것이 필요 불가결하다. 그러므로, 충분한 재생 파워 마진을 확보할 수 있도록 랜드부·그루브부 쌍방의 크로스토크의 영향을 적당히 억제할 수 있고, 또한 지터의 급격한 상승이 보이지 않는 0.65 이상, 0.85 이하로 되는 Wg/W1비의 영역을 이용하는 것이 최적임을 알 수 있다.
이상의 실험으로부터, 투명 디스크 기판(2)의 특성·형상을 전술한 바와 같이 제작함으로써, 광디스크의 광자기 목표 신호 특성에 있어서, 랜드·그루브 쌍방 사이의 지터 특성의 밸런스를 양호하게 하여, 랜드부 및 그루브부의 크로스토크 특성을 악화시키지 않고 양호하게 유지할 수 있는 것이 가능하게 되는 것을 알 수 있다. 그리고, 지금까지 곤란했던 랜드, 그루브 쌍방 트랙의 크로스토크와 지터 특성에 나타나는 신호 품질을 양호하게 동시에 만족시키는 것이 가능해져, MSR을 이용한 고밀도 기록 매체의 재생에 최적이다.
이상 상세하게 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 광자기 기록 매체에 의하면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
본 발명에 의해, 그루브부의 트랙폭(Wg)과 랜드부의 트랙폭(W1)의 비 Wg/W1, 그루브 사이 거리, 및 그루브 홈의 깊이를 파라미터로 하여, 랜드·그루브 형상을 결정함으로써, 랜드와 그루브 쌍방에서 기록을 행하고, 또한 쌍방에서 양호한 신호 품질을 가지는 광자기 기록 매체의 제공이 가능해진다. 또, 랜드와 그루브의 광학 특성을 등가로 할 수 있어, 랜드와 그루브 쌍방의 지터 특성과 크로스토크 특성 모두 양호한 특성을 얻을 수 있다. 또한, 종래의 광자기 디스크와 같은 광학계를 사용하여 고밀도화가 실현 가능하다.
본 발명에 의해, 자기적 초해상(MSR)을 맞추어 사용함으로써, 양호한 신호 품질을 가지는 보다 고밀도의 광자기 기록 매체를 제공할 수 있다.
또, 본 발명에 의해, 랜드·그루브 양면의 조도(粗度) 및 경사각을 설정함으로써, 보다 양호한 신호 품질을 가지는 광자기 기록 매체의 제공이 가능해진다.
또, 본 발명에 의해, MSR에 적합한, 양호한 신호 품질을 가지는 광자기 기록 매체를 제공할 수 있다.

Claims (6)

  1. 기판 상의 랜드부 및 그루브부의 양쪽을 기록 재생 트랙으로서 사용하고, 대물 렌즈를 통하는 레이저광을 조사하여 재생을 행하는 광자기 기록 매체에 있어서,
    상기 그루브부의 트랙폭(Wg)과 랜드부의 트랙폭(W1)의 비 Wg/W1가 0.65 이상, 0.85 이하이며,
    상기 레이저광의 파장을 λ, 상기 대물 렌즈의 개구수를 NA, 상기 기판의 굴절률을 n으로 한 경우, 그루브 사이 거리 Gp가 1.0×λ/NA 이상, 1.2×λ/NA 이하이고, 또한 그루브의 홈의 깊이 D가 λ/11n 이상, λ/8n 이하인 광자기 기록 매체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 재생은 자기적 초해상(MSR=Magnetically induced Super Resolution)을 이용하여 행해지는 것을 특징으로 하는 광자기 기록 매체.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 기판의 그루브 측면의 경사각이 25˚이상, 40˚이하이며, 또한 상기 기판의 랜드면 및 그루브면의 평균 면조도(Ra)가 모두 0.7nm 이하이며, 또한 당해 양 평균 면조도의 차이가 0.1nm 이하인 것을 특징으로 하는 광자기 기록 매체.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 광자기 기록 매체는, 실온에서 수직 자기(磁氣) 이방성을 가지는 제1 자성층과, 실온에서 면 내 자기 이방성을 가지는 제2 자성층과, 실온에서 수직 자기 이방성을 가지는 제3 자성층이 차례로 적층된 다층 자성막층을 구비한 것을 특징으로 하는 광자기 기록 매체.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 광자기 기록 매체의 제1 자성층은 재생층으로서 GdFeCo 합금으로 구성되고, 그 막두께는 30~50nm이며, 제2 자성층은 중간층으로서 GdFeCoSi로 구성되고, 그 막두께는 30~50nm이며, 제3 자성층은 기록층으로서 TbFeCo로 구성되고, 그 막두께는 40~60nm인 것을 특징으로 하는 광자기 기록 매체.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 광자기 기록 매체의 제1 유전체층 및 제2 유전체층은 질화 규소로 구성되고, 제1 유전체층의 막두께는 70~90nm, 제2 유전체층의 막두께는 20~30nm이며, 반사층은 Al-Ti 합금으로 구성되고, 그 막두께는 10~20nm인 것을 특징으로 하는 광자기 기록 매체.
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