KR20040045647A - 반도체 제조장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 제조장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 반도체 제조장치는, 공정을 진행할 수 있는 내부 공간을 제공하며 하부가 개방된 적어도 하나의 수직 관상형의 반응튜브와, 이 반응튜브의 내부에 복수의 반도체 기판을 지지 할 수 있도록 마련된 기판 로딩용 보트와, 반응튜브들의 하부에 배치되고 기판 로딩용 보트를 하부로 하강 시켜 반도체 기판을 로딩 및 언로딩(loading/unloading)할 수 있는 공간을 제공하는 보트 로딩부와, 보트 로딩부에 배치되어 반응튜브 내로 인입될 보트를 올려놓을 수 있는 보트 지지대와, 보트 지지대의 하부에 설치되어 반응튜브들의 인입부와 기판 로딩용 보트들과 일치하도록 보트 지지대를 길이방향으로 소정거리 왕복 이동시킬 수 있는 보트 구동장치, 및 보트 지지대와 인접하여 배치되어 반도체 기판들을 보트에 로딩할 수 있는 기판 로딩용 로봇을 포함한다.
이렇게 기판 로딩용 보트를 복수로 수용할 수 있는 기판 지지대가 길이방향으로 이동하면서 기판 로딩용 보트를 교대로 인출입 시킴으로써, 반도체 기판의 로딩 및 언로딩에 따른 시간을 감축시킬 수 있어 공정의 효율과 공정 처리 능력을 크게 향상시킬 수 있다.

Description

반도체 제조장치{Semiconductor manufacturing system}
본 발명은 반도체 제조장치에 관한 것으로서, 특히, 한 번에 다량의 반도체 기판을 공정처리 할 수 있는 수직관상의 반응튜브를 가진 반도체 제조장치에 관한 것이다.
일반적으로 반응튜브를 가지고 다량의 반도체 기판을 공정 처리하는 반도체 제조장치는, 공정 시간이 많이 소요되는 화학 기상증착 공정(CVD)이나 고온을 이용한 산화공정(oxidation)이나 열처리 공정 등에 주로 사용된다. 이러한 공정들은, 공정 특정상 시간이 많이 소요되고 한 번에 다량의 반도체 기판을 처리할 수 있도록 구성되어 있어 반도체 기판을 로딩/언로딩(loading/unloading)시키기 위하여 소요되는 시간이 매우 길다.
도 9는, 종래의 수직 관상형의 반응튜브를 가진 반도체 제조장치의 개략도이다. 이를 참조하면, 종래의 반도체 제조장치는, 상부에 공정을 진행할 수 있는 반응튜브(1010)가 장착되어 있고, 그 하부에는 반응튜브(1010) 내에서 공정 처리될 반도체 기판을 로딩할 수 있는 기판 로딩용 보트(1110)를 수용하여 반도체 기판을 로딩 및 언로딩할 수 있는 공간이 형성된 기판 로딩부(1030)가 형성되어 있다. 그리고, 기판 로딩용 보트(1110)에 외부로부터 공급된 반도체 기판을 로딩하거나 언로딩하기 위해서 마련된 기판 이동용 로봇(1031)을 포함하고 있다.
이러한 구성을 가진 종래의 반도체 제조장치는, 반도체 공정을 진행하고자 하면, 먼저, 반도체 기판을 기판 이동용 로봇(1031)을 이용하여 기판 로딩용 보트(1110)에 로딩을 하고, 기판 로딩용 보트(1110)를 상향 이동시켜 반응튜브(1010) 내에 인입한다. 동시에 기판 로딩용 보트(1110)의 하부에 설치된도어부(미도시)를 반응튜브(1010)의 인입부와 밀착시켜 내부를 밀폐한 다음, 소정의 레시피(recipe)를 로딩하여 공정을 진행한다. 공정이 완료되면, 기판 로딩용 보트(1110)를 하부로 하강 시켜 다시 기판 이동용 로봇(1031)을 이용하여 반도체 기판을 외부에 마련된 카세트(미도시)에 언로딩(unloading)한다. 이렇게 반도체 기판의 언로딩이 완료되면 다시 반도체 기판을 기판 로딩용 보트(1110)에 로딩하여 전술한 순서와 동일하게 다음 공정을 진행할 수 있다.
그런데, 이러한 종래의 반도체 제조장치는, 연속공정을 진행할 때, 공정이 끝난 반도체 기판을 언로딩 및 로딩 하는 동안에는 반응튜브(1010)는 계속 대기상태에서 기다려야하고 다른 공정을 진행할 수 없어 반도체 제조장치의 생산 가동율을 감소시키고 따라서 필연적으로 생산성을 저하시키는 단점이 있다.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 반도체 기판이 로딩/언로딩되는 동안에도 반도체 제조장치를 대기시키지 않고 계속하여 공정을 진행할 수 있는 반도체 제조장치를 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명의 반도체 제조장치의 제1실시예를 나타낸 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1의 A-A선을 따라 절개하여 도시한 단면도이다.
도 3a 내지 도 3b는 본 발명의 반도체 제조장치의 보트 지지대의 기판 로딩용 보트들이 이동하는 것을 나타낸 단면도들이다.
도 4는 본 발명의 반도체 제조장치의 다른 변형예를 나타낸 단면도이다.
도 5a 내지 도 5b는 도 4의 변형예에 따른 보트 지지대의 기판 로딩용 보트들이 이동하는 것을 나타낸 단면도들이다.
도 6은 본 발명에 따른 반도체 제조장치의 제2실시예를 나타낸 평면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 반도체 제조장치의 제3실시예를 나타낸 평면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 반도체 제조장치의 보트 지지대를 나타낸 평면도이다.
도 9는 종래의 기술에 따른 반도체 제조장치의 단면 개략도이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 반도체 제조장치는, 공정을 진행할 수 있는 내부 공간을 제공하며 하부가 개방된 적어도 하나의 수직 관상형의 반응튜브와, 반응튜브의 내부에 복수의 반도체 기판을 지지 할 수 있도록 마련된 기판 로딩용 보트와, 반응튜브들의 하부에 배치되고 기판 로딩용 보트를 하부로 하강 시켜 반도체 기판을 로딩 및 언로딩(loading/unloading)할 수 있는 공간을 제공하는 보트 로딩부와, 보트 로딩부에 배치되어 반응튜브 내로 인입될 기판 로딩용 보트를 올려놓을 수 있는 보트 지지대와, 보트 지지대의 하부에 설치되어 반응튜브들의 인입부와 기판 이동용 보트들과 일치하도록 보트 지지대를 길이방향으로 소정거리 이동시키는 보트 구동장치와, 보트 지지대와 인접하여 배치되어 반도체 기판들을 기판 이동용 보트에 로딩 할 수 있는 기판 이동용 로봇을 포함한다.
여기서, 보트 지지대는 기판 로딩용 보트를 하부에서 지지할 수 있는 보트 지지용 플레이트를 포함하고 있어, 기판 로딩용 보트가 안정적으로 지지될 수 있도록 한다. 보트 지지용 플레이트는 반응튜브에 대해서 가로 방향의 길이방향으로 나란히 배치되어 있는 것이 복수의 기판 로딩용 보트를 나란히 배치할 수 있어 바람직하다. 한편, 보트 지지용 플레이트가 형성될 위치에, 중앙에 일측이 개방된 반원형의 관통부를 갖는 보트 지지부를 형성하는 것이 기판 로딩용 보트의 하부 구조물을 수용할 수 있어 바람직하다.
그리고, 보트 로딩부는, 다각기둥형으로 형성되어, 보트 로딩부의 기판 이동용 로봇을 둘러싸고 보트 로딩부의 각 변에 대응하여 반응튜브와 보트 지지대가 배치되는 것이 복수의 반응튜브를 설치할 수 있어 바람직하다.
또한, 보트 로딩부는, 측방으로 길게 형성되어 보트 로딩부의 장축의 적어도 일변을 따라서 복수개의 반응튜브와 보트 지지대를 배치할 수도 있다.
보트 구동장치는, 보트 지지용 플레이트를 지지할 수 있도록 보트 지지대의 하부에 설치된 중앙 지지축과, 중앙 지지축과 연결되어 길이방향으로 소정 구간에 걸쳐서 직선 이동시키는 구동부를 포함한다. 그리하여, 보트 지지용 플레이트를 길이방향으로 이동시켜 기판 로딩용 보트의 위치를 상호 교환할 수 있어 바람직하다.
여기서, 구동부는, 중앙 지지축의 하부를 소정 범위 내에서 지지하면서 상기 중앙 지지축을 선형 운동으로 이동되도록 유도하는 이동 유도부와, 이 이동 유도부를 따라서 중앙 지지축을 이동시키는 동력장치를 포함하고 있다. 여기서, 동력장치는 전기 모터일 수도 있고, 유체의 압축 또는 흡인력을 이용하여 유압식 구동체에 의해서 구동될 수도 있다.
이동 유도부는 레일 방식(rail type)일 수도 있고, 콘베이어 벨트형을 적용할 수도 있다.
이렇게 본 발명의 반도체 제조장치는, 반응튜브 내에 로딩 될 기판 로딩용 보트를 복수개 대기시킬 수 있는 보트 지지대가 마련되어 있어, 연속공정 시에 반도체 기판을 기판 로딩부에 로딩할 때 소요되면서 반응튜브 대기시간을 최소화할 수 있다. 그리하여, 반도체 제조장치의 생산성을 극대화할 수 있다.
그리고, 본 발명의 반도체 제조장치는, 하나의 반도체 제조장치에 복수의 반응튜브를 장착할 수 있어 단위 장치당 소요되는 비용에 비해서 단위 생산성(또는 Cost of Ownership)을 크게 향상시킬 수 있다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명한다. 그러나 다음에 예시하는 본 발명의 실시 예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 상술하는 실시 예에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 실시 예는 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공되어지는 것이다.
도 1은 본 발명의 반도체 제조 장치를 나타낸 개략도이다. 그리고 도 2는 도 1의 A-A선을 따라 절개한 단면도이고,
도 1 및 도2를 동시에 참조하면, 본 발명의 반도체 제조장치는, 상부와 하부로 분리되어 있어 상부에는 반도체 기판을 공정 처리하는 내부에 공정용 수용공간을 마련하는 관상의 반응튜브(11)와 가열장치(13)를 포함하는 반응로(10)가 있다. 하부에는 통상 사각 통 형상의 소정 공간을 확보하고 있는 보트 로딩부(30)가 있어, 반응튜브(11) 내에 반도체 기판을 로딩(loading)하기 위해서 마련된 기판 로딩용 보트(110a,110b)와, 적어도 두 개의 기판 로딩용 보트(110a,110b)를 수용할 수 있는 보트 지지대(20) 및, 외부로부터 공급되는 반도체 기판을 기판 로딩용 보트(110a,110b)에 로딩 및 언로딩 할 수 있도록 핸들링하는 기판 이동용 로봇(31)을 포함한다. 여기서 인용번호 50은 반도체 기판을 외부에서 장치 내로 이동할 수 있도록 로딩하는 로딩 챔버(loading chamber)를 나타내고, 100은 카세트를 표시한다.
반응 튜브(11)는 상부는 폐쇄되고 하부가 개방된 원기둥형의 관상으로 형성되어 있다. 반응튜브(11)를 둘러싸고 외각으로는 반응튜브(11)를 가열할 수 있는 저항형 코일과 같은 가열장치(13)가 설치되어 있다. 그리하여, 반응튜브(11) 내를 소정의 공정온도까지 상승시켜 공정을 진행할 수 있다. 그리고, 반응튜브(11)의 하부 개구부에는 판상의 도어부(미도시)가 설치되어 있어, 기판 로딩용 보트(110a,110b)가 올려져서 상하로 상승 및 하강하도록 형성되어 있고, 공정을 진행할 경우에는 반응튜브(11)의 개구부를 밀폐하는 역할을 한다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 반도체 제조장치의 하부에 배치된 보트 로딩부를 상부에서 본 평면도를 보면, 보트 로딩부(30)의 중앙에는 기판 이동용 로봇(31)이 배치되어 있고, 이 기판 이동용 로봇(31)의 일측에 인접하여 복수의 기판 로딩용 보트(110a,110b)를 길이방향으로 나란히 올려놓을 수 있으며 전체가 길이방향으로 소정거리 이동 가능한 보트 지지대(20)를 포함한다. 여기서는 바람직한 실시예로서, 보트 지지대(20)는 두 개의 기판 로딩용 보트(110a,110b)를 올려놓을 수 있도록 구성된다. 이때 보트 지지대(20)는, 두 개의 기판 로딩용 보트(110a,110b)를 올려놓을 수 있도록 두 개의 보트 지지용 플레이트(21,23)가 형성되어 있다. 이 보트 지지용 플레이트(21,23)는 기판 로딩용 보트(110a,110b)의 하부면과 동일한 형태로 원형으로 형성되어 있어 기판 로딩용 보트(110a,110b)를 지지할 부분을 명확히 구별시켜 준다.
보트 지지대(20)는, 일측으로 길게 형성되어 기판 로딩용 보트(110a,110b)를 나란히 일렬로 지지하여 배열할 수 있도록 상부면이 일측으로 길게 연장 형성된 판 상으로 형성되어있다. 그리고, 기판 로딩용 보트(110a,110b) 하나가 점유하는 폭만큼 길이방향으로 이동할 수 있도록 여유공간이 보트 지지대(20)의 길이방향을 따라 양측으로 보트 로딩부(30)에 마련되어 있다. 보트 지지대(20)의 하부에는 지지축(25)을 개재하고서 보트 지지판(20)을 길이방향으로 슬라이딩 이동시킬 수 있는 보트 구동장치(27)를 포함하고 있다.
여기서, 보트 구동장치(27)는 보트 지지대(20)를 보트 로딩부(30)의 일변을 따라서 길이방향으로 선형 운동을 할 수 있도록 구성된다. 즉, 보트 구동장치(27)는 보트 지지축(25)의 하부를 소정 수용하고서 일방향으로 선형 이동하도록 유도하는 이동 유도부(미도시)와, 상기 이동 유도부를 따라서 보트 지지축을 선형으로 이동시키도록 구동시키는 동력장치(미도시)를 포함한다. 이때. 이동 유도부는 소정의 유도 레일에 의해서 이동되는 레일형을 적용할 수도 있고, 구동 벨트를 이용하여 보트 지지대(20)를 이동시키는 콘베이어 벨트 방식을 적용할 수도 있다. 동력장치는, 전기모터를 사용하거나, 압축기체나 오일 등의 유체압력을 이용하여 구동시키는 유압식 동력을 이용할 수 있다.
도 3a 내지 도3b는 본 발명의 제1실시예인 도 2의 보트 지지대가 이동하면서 기판 로딩용 보트를 반응튜브에 로딩하는 것을 나타낸 단면도들이다.
도 3a를 참조하면, 먼저, 보트 지지대(20)에 올려진 좌측의 기판 로딩용 보트(110b)에 반도체 기판을 로딩한 다음, 좌측의 기판 로딩용 보트(110b)를 반응튜브 내로 인입시킨다. 그리고, 반응튜브(11) 내에서 공정이 진행되는 동안 대기 중인 우측의 기판 로딩용 보트(110a)에 반도체 기판을 로딩한다.
도 3b를 참조하면, 반응튜브(11) 내의 공정이 완료되어 기판 로딩용 보트(110b)의 보트 지지대에 언로딩되면, 보트 지지대(20)를 이동시켜 우측의 기판 로딩용 보트(110a)와 반응튜브(11)의 인입구가 일치되도록 한다. 그러면, 공정이 완료된 기판 로딩용 보트(110b)는 좌측으로 이동되고, 우측의 기판 로딩용 보트(110a)가 반응튜브(11) 내로 인입되어 공정이 진행된다. 공정이 진행되는 동안, 좌측의 기판 로딩용 보트(110b)로부터 반도체 기판들을 언로딩하여 외부의 카세트(100)에 옮겨 놓고, 동시에, 새로운 반도체 기판을 기판 로딩용 보트(110b)에로딩한다.
도 4는 본 발명의 다른 변형 예를 나타낸 개략도이고, 도 5는 도 4의 B-B선을 따라 절개한 단면도이다.
이들을 참조하면, 반응로(10)가 두 개 나란히 배치되어 있고, 이들 반응튜브(11)의 하부에 배치된 보트 로딩부(30)에는 3 개의 보트 지지용 플레이트(21,22,23)가 반응튜브(11)들과 대응하여 나란히 세 개 이상 복수 개가 형성된 보트 지지판(20)이 형성되어 있다. 여기서는, 세 개의 보트 지지용 플레이트(21,22,23)가 있는 보트 지지대(20)를 예로 설명한다. 그리하여, 보트 지지대(20)를 길이방향으로 이동시켜 세 개의 기판 로딩용 보트(110a,110b,110c)를 교대로 반응튜브(11) 내로 인입 및 인출시킨다.
도 5a 내지 도 5b는 도 4의 변형예에 따른 반도체 제조장치의 보트 지지대 상의 기판 로딩용 보트(110a,110b,110c)를 반응튜브(11)에 로딩하는 상태를 나타낸 단면도들이다.
도 5a를 참조하면, 먼저, 소정의 공정을 진행하기 위해서, 도 5a에 도시된 바와 같이, 반도체 기판을 이동용 로봇(31)을 이용하여 각각의 기판 로딩용 보트(110a,110b,110c)에 로딩한다. 기판 로딩용 보트들 중 두 개의 기판 로딩용 보트(110b,110c)를 반응튜브들(11)의 인입구에 맞추어 보트 지지대(20)를 이동하고, 반응튜브(11) 내로 이들을 인입시킨 후 공정을 진행한다.
도 5b를 참조하면, 공정이 완료되면, 반응튜브(11) 내의 기판 로딩용 보트(110b,110c)들이 하강하여 보트 지지판(20) 상에 올려지고, 보트 지지대(20)에공정이 완료된 반도체 기판을 로딩하고 있는 기판 로딩용 보트들(110b,110c)이 올려지면 보트 지지대(20)는 측방으로 이동하여 대기 중인 나머지 기판 로딩용 보트(110a)가 반응튜브(11)의 인입구와 정렬되도록 한다. 그러면, 측방으로 벗어난 기판 로딩용 보트(110b,110c)의 반도체 기판을 외부의 카세트로 이동시키고 동시에, 나머지 대기중인 기판 로딩용 보트(110a)를 반응튜브(11) 내로 인입시켜 공정을 진행한다. 공정이 완료된 기판 로딩용 보트들(110b,110c)의 반도체 기판들을 외부의 카세트(100)에 언로딩 시키고 이들에는 다시 새로운 반도체 기판들을 로딩한다. 여기서는, 한 실시예로서, 반응튜브가 두 개에 기판 로딩용 보트가 세 개인 보트 지지대를 가진 반도체 제조장치를 예로서 들었으나, 실질적으로 효율을 높이기 위해서는, 기판 로딩용 보트가 네 개 포함된 보트 지지대(20)를 적용하여야 한다.
한편, 본 발명의 반도체 제조장치는, 복수의 반응튜브(11)들을 마련하고, 이들에 대응하도록 반응튜브 수보다 많은 복수의 기판 로딩용 보트를 수용하는 보트 지지대(20)를 형성할 수도 있다. 예를 들어, 3 개의 반응튜브(11)에 6개의 기판 로딩용 보트를 수용할 수 있는 보트 지지대(20) 또는 4 개 이상의 반응튜브(11)에 그의 배수의 기판 로딩용 보트를 수용할 수 있는 보트 지지대(20)를 갖는 반도체 제조장치 등이다.
이와 같이, 본 발명의 반도체 제조장치는, 연속공정을 진행할 때, 선행 공정이 진행되는 동안, 미리 반도체 기판이 로딩된 기판 로딩용 보트(도 2의 110a)가 대기하고 있다. 그리하여, 선행 공정된 기판 로딩용 보트(110b)가 공정 완료되어 보트 지지판(20)으로 내려오면, 곧바로 대기 시간 없이 반응튜브(11) 내로 대기 중인 기판 로딩용 보트(110a)를 인입하여 공정을 진행할 수 있다. 그리하여, 다량의 반도체 기판을 한 번에 처리하는 반도체 제조장치에서, 반도체 기판을 로딩 및 언로딩 하기 위해 소요되는 시간을 허비하지 않고 공정을 진행할 수 있어 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 반도체 장치의 제2실시예를 나타낸 개략도이다.
이를 참조하면, 상부에서 본 평면도가 소정의 다각형(본 예에서는 사각형)으로 형성되고, 중앙에는 적어도 하나의 기판 이동용 로봇(31)이 장착된 보트 로딩부(30)가 배치되어 있고, 이 보트 로딩부(30)를 둘러싸고 각 변에 적어도 하나의 반응튜브(11)가 배치되어 있다. 그리고, 이 반응튜브들(11)에 대응하여 각각의 하부에는 복수의 기판 로딩용 보트(110)를 올려놓을 수 있고 길이방향으로 유동적으로 이동 가능한 보트 지지대(20)가 형성되어 있다.
이때, 기판 이동용 로봇(31)은, 도시된 바와 같이, 각 보트 지지판(20)으로 이동될 수 있도록 소정의 유도레일과 같은 유도 가이드부(33)가 중앙을 중심으로 십자형으로 형성되어 있다. 그리하여, 하나의 기판 이동용 로봇(31)으로서 외부로부터 공급되는 반도체 기판을 이 유도 가이드부(33)를 따라 이동하면서 각 보트 지지대(20) 상에 대기 중인 기판 로딩용 보트(110)에 로딩(loading)할 수 있다.
도 7은 본 발명에 따른 반도체 장치의 제3실시예를 나타낸 평면 개략도이다.
이를 참조하면, 보트 로딩부(30)가 일측이 길게 형성된 직사각형으로 배치되어 있고, 이 보트 로딩부(3a)를 사이에 개재하고서 장 변을 따라서 복수의 반응튜브들(11)이 2열로 나란히 배치되어 있다. 그리고, 각각의 반응튜브들(11)에 대해서복수의 기판 로딩용 보트를 올려놓을 수 있는 보트 지지판(20)이 배치되어 있다. 그리고, 보트 로딩부(30)에는 기판 이동용 로봇(31)이 유도 가이드부(33)를 따라서 길이방향으로 이동하면서 반도체 기판을 기판 로딩용 보트(도 2의 110a,110b)에 로딩할 수 있도록 배치되어 있다. 이때, 기판 이동용 로봇(31)은 단지 직선운동을 할 수 있도록 하부에는 레일이나 콘베이어 이동 장치가 설치되어 있다. 그리하여, 단지 직선 왕복운동을 이용하여 반도체 기판을 기판 로딩용 보트(도 2의 110a,110b)에 로딩할 수 있도록 구성하므로 장치의 구성이 단순하여 장치의 유지 및 정비가 용이한 장점이 있다.
도 8은 본 발명의 반도체 제조장치에 적용되는 보트 지지대(20)의 바람직한 일 실시예를 나타낸 평면도이다.
이를 참조하면, 보트 지지대(20)는, 일측으로 길게 연장된 실질적인 사각 판 상으로 형성되어 있으며 모서리 부분은 라운딩 처리가 되어 있다. 기판 로딩용 보트(도 1의 110a,110b)가 얹혀질 부분에 거의 반원형으로 절개된 절개부분 가장자리에 소정 너비로 함몰 형성된 보트 지지부(21a,23a)가 형성되어 있다. 그리하여, 기판 로딩용 보트(110a,110b 등)의 하부와 결합되어 상하로 이동시키는 도어부(미도시)를 하부에서 가장자리 부분을 지지하도록 구성되어 있다. 이는 도어부의 중앙에는 지지축(미도시)을 비롯하여 외부로 돌출된 구조물들이 있기 때문에, 이를 피하여 평평한 외측 가장자리 부분만을 효과적으로 지지하기 위한 것이다.
한편, 전술한 보트 지지대(20)는 보트 로딩부(30)내에서 반응튜브(11)의 하부로 직선 이동할 수 있게 장축이 중심을 향해 세로방향으로 배치되도록 형성할 수도 있다. 그리하여, 중앙의 하나의 기판 이동용 로봇(31)을 이용하여 효과적으로 각 기판 로딩부(30)에 반도체 기판을 로딩할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조장치는, 복수의 기판 로딩용 보트(110a,110b)를 수용할 수 있고 길이방향으로 소정 거리 이동 가능한 보트 지지대(20)를 마련함으로써, 공정이 완료되어 언로딩된 기판 로딩용 보트(110b)는 반응튜브(11)의 입구로부터 측방으로 이동시키고 새로운 기판 로딩용 보트(110a)를 반응튜브(11) 내로 바로 인입시킬 수 있다. 그리하여, 반도체 기판을 기판 로딩용 보트(110a,110b)에 로딩 및 언로딩(loading/unloading)하면서 소요되는 시간을 감축시킬 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명의 반도체 제조장치는, 반응튜브에 인입되는 기판 로딩용 보트를 복수로 대기할 수 있도록 보트 지지대를 마련하여, 반도체 기판의 로딩 및 언로딩 시간 동안에 반응튜브가 대기하는 시간을 최소화시킬 수 있어 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.
그리고, 보트 지지대가 선형 왕복운동을 할 수 있기 때문에, 기판 이동용 로봇의 구성을 단순화하고 움직이는 거리를 최소화할 수 있어 장치의 유지관리가 용이하다.
또한, 복수의 반응튜브를 마련하고 각 반응튜브들에 대해서 각각의 보트 지지대를 마련할 수 있어, 한 번에 공정 처리할 수 있는 반도체 기판의 수를 임의로 증대시킬 수 있다.

Claims (12)

  1. 공정을 진행할 수 있는 내부 공간을 제공하며 하부가 개방된 적어도 하나의 수직 관상형의 반응튜브;
    상기 반응튜브의 내부에 복수의 반도체 기판을 지지 할 수 있도록 마련된 기판 로딩용 보트;
    상기 반응튜브들의 하부에 배치되고 상기 기판 로딩용 보트를 하부로 하강 시켜 반도체 기판을 로딩 및 언로딩(loading/unloading)할 수 있는 공간을 제공하는 보트 로딩부;
    상기 보트 로딩부에 배치되어 상기 반응튜브 내로 인입될 기판 로딩용 보트를 올려놓을 수 있는 보트 지지대;
    상기 보트 지지대의 하부에 설치되어 상기 반응튜브들의 인입부와 상기 기판 로딩용 보트들에 인입될 수 있게 일치하도록 상기 보트 지지대를 길이방향으로 소정거리 왕복 이동시킬 수 있는 보트 구동장치;
    상기 보트 지지대와 인접하여 상기 보트 로딩부에 배치되어 상기 반도체 기판들을 상기 기판 로딩용 보트들에 로딩할 수 있는 기판 이동용 로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보트 지지대는 복수의 기판 로딩용 보트를 지지할 수 있는 보트 지지용 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 보트 지지용 플레이트는 길이방향으로 나란히 배치
    된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 보트 지지대는, 상기 기판 로딩용 보트가 지지되는 부분의 중앙에 일측이 개방된 반원형의 관통부를 갖는 보트 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 보트 로딩부는 다각 기둥형을 형성하며, 상기 보트 로딩부의 기판 이동용 로봇을 둘러싸고 상기 보트 로딩부의 각 변에 반응튜브와 보트 지지대가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 보트 로딩부는 측방으로 길게 연장된 형태로서 형성되며, 상기 보트 로딩부의 장축의 적어도 일변을 따라서 복수 개의 반응튜브와 보트 지지대가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 보트 구동장치는,
    상기 보트 지지용 플레이트를 지지할 수 있도록 보트 지지대의 하부에 설치된 중앙 지지축;
    상기 중앙 지지축과 연결되어 길이방향으로 소정 구간에 걸쳐서 직선 이동시키는 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 구동부는,
    상기 중앙 지지축의 하부를 소정 범위 내에서 지지하면서 상기 중앙 지지축을 선형 운동으로 이동되도록 유도하는 이동 유도부 ;
    상기 이동 유도부를 따라서 상기 중앙 지지축을 이동시키는 동력장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 동력장치는 전기 모터인 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 동력장치는 유체의 압축 및 팽창력을 이용하여 유압식 구동체로 구동되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  11. 제8항에 있어서, 상기 이동 유도부는 레일 방식(rail type)인 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
  12. 제8항에 있어서, 상기 이동 유도부는 콘베이어 벨트형(conveyer belt type)인 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치.
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