KR20040043309A - 글래스 절단용 안착 테이블 - Google Patents

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Abstract

이 발명은 글래스 절단용 안착 테이블에 관한 것으로, 레이저 빔을 이용한 글래스의 절단시 글래스의 일면에 부착된 필름의 오염이나 손상을 방지하고, 글래스의 온도 분포가 균일해지도록 하여 절단 신뢰성을 향상시킬 수 있도록, 일면에 필름이 부착되고, 상기 필름에는 다수의 종이 라벨이 부착된 글래스가 안착된 채, 레이저 빔에 의해 일정 크기로 절단 공정이 진행되는 글래스 안착 테이블에 있어서, 상기 글래스 안착 테이블은 대략 사각 평판 형태를 하는 몸체가 구비되고, 상기 몸체의 상면에는, 상기 글래스가 뒤집어져 안착될 때 상기 글래스의 종이 라벨이 접촉될 수 있도록, 일정 두께의 돌출턱이 형성된 것을 특징으로 함.

Description

글래스 절단용 안착 테이블{position table for cutting glass}
본 발명은 글래스 절단용 안착 테이블에 관한 것으로, 더욱 상세하게 설명하면 레이저 빔을 이용한 글래스의 절단시 글래스의 일면에 부착된 필름의 오염이나 손상을 방지하고, 글래스의 온도 분포가 균일해지도록 하여 절단 신뢰성을 향상시킬 수 있는 글래스 절단용 안착 테이블에 관한 것이다.
일반적으로 필름이 부착된 글래스의 절단은 유리칼이라 일컫는 다이몬드 휠로 할 수 있지만, 이는 유리 가루(파티클)가 발생하는 관계로 청정도가 요구되는 환경에서는 부적절한 단점이 있다. 따라서 최근에는 레이저 빔을 이용한 글래스 절단 공정을 진행하는데, 이는 레이저 빔에 의한 급속 가열과 물에 의한 급속 냉각 원리에 의해 글래스의 조직을 분리함으로써, 유리가루의 발생을 억제하는 동시에 청정도가 높아 반도체 공정에서 선호되고 있다.
도1a를 참조하면, 필름이 부착된 글래스의 평면도가 도시되어 있고, 도1b를 참조하면, 1차 절단된 글래스의 평면도가 도시되어 있으며, 도1c를 참조하면, 최종적으로 절단된 글래스 셀(cell)의 평면도가 도시되어 있다.
먼저, 도1a에 도시된 바와 같이, 글래스(11)는 대략 얇은 사각판상으로 되어 있으며, 상기 글래스(11)의 일면에는 다수의 종이 라벨(15)이 다수의 행과 열을 가지며 배열 및 부착되어 있다. 여기서, 도면 부호로 표시하지는 않았으나 상기 글래스(11)의 일면에는 필름이 부착되어 있고, 상기 필름에 종이 라벨(15)이 부착된 것이다. 도면중 도면 부호16은 레이저 빔의 절단 경로를 도시한 것이다.
다음으로, 도1b에 도시된 바와 같이, 레이저 빔에 의해 대략 직사각판상의 글래스(12)가 얻어지는데, 이때의 절단을 통상 1차 절단이라 한다.
이어서, 도1c에 도시된 바와 같이, 레이저 빔에 의해 최종적으로는 낱개의 글래스 셀(13)로 절단되는데, 여기서 상기 종이 라벨(15)은 각종 메모 또는 표시용이며, 상기와 같이 절단된 글래스 셀(13)은 각종 바이오칩으로 이용될 수 있다.
도2a를 참조하면, 종래 필름이 부착된 글래스가 글래스 안착 테이블(100')에 안착되어 절단되는 상태가 도시되어 있고, 도2b를 참조하면, 도2a의 2영역이 확대 도시되어 있다.
도시된 바와 같이 대략 판상의 글래스 안착 테이블(100')이 구비되고, 상기 글래스 안착 테이블(100')에는 필름(14)이 부착된 글래스(11)가 안착된다. 물론, 상기 필름(14)에는 종이 라벨(15)이 부착되어 있다. 한편, 상기 글래스(11)는필름(14)이 상부를 향하도록 위치되며, 이후 종이 라벨(15)이 한개씩 포함되도록 레이저 빔에 의해 글래스(11)의 절단 공정이 진행된다. 여기서, 상기 글래스(11)는 레이저 빔에 의해 상기 글래스(11)의 온도가 급상승하기 때문에, 상기 레이서 빔 조사후 상기 글래스(11)의 온도를 하강시키기 위해 물분사 공정이 이어지고, 이러한 다수의 레이저 빔 조사 공정에 의해 최종적으로 상술한 바와 같은 낱개의 글래스 셀(13)이 얻어진다.
그러나, 이러한 종래의 글래스 절단은 절단면 방향에서 레이저 빔과 물분사를 가하여 절단을 수행함으로써, 필름이 레이저와 물에 그대로 노출됨으로써, 상기 필름에 오염 및 손상이 발생하는 치명적인 문제가 있다. 즉, 레이저 빔에 의한 절단 공정시 필름의 오염 및 손상을 그대로 감수한 채 절단 공정을 진행함으로써, 회로 소자가 형성되어 있는 필름에 오염이 발생하거나 또는 손상이 발생하는 문제가 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제를 해결하기 위해 안출한 것으로, 본 발명의 목적은 레이저 빔을 이용한 글래스의 절단시 글래스의 일면에 부착된 필름의 오염이나 손상을 방지하고, 글래스의 온도 분포가 균일해지도록 하여 절단 신뢰성을 향상시킬 수 있는 글래스 절단용 안착 테이블을 제공하는데 있다.
도1a는 필름이 부착된 글래스를 도시한 평면도이고, 도1b는 1차 절단된 글래스를 도시한 평면도이며, 도1c는 최종적으로 절단된 글래스 셀(cell)을 도시한 평면도이다.
도2a는 종래 필름이 부착된 글래스가 글래스 안착 테이블에 안착되어 절단되는 상태를 도시한 측면도이고, 도2b는 도2a의 2영역을 확대 도시한 것이다.
도3a는 본 발명의 한 실시예에 의한 필름이 부착된 글래스가 글래스 안착 테이블에 위치되어 절단되는 상태를 도시한 측면도이고, 도3b는 도3a의 3영역을 확대 도시한 것이다.
도4a는 본 발명의 다른 실시예에 의한 필름이 부착된 글래스가 글래스 안착 테이블에 안착되어 절단되는 상태를 도시한 측면도이고, 도4b는 도4a의 4영역을 확대 도시한 것이다.
도5a는 도4a에 도시된 본 발명의 한 실시예 의한 글래스 안착 테이블의 사시도이고, 도5b는 필름이 부착된 글래스가 안착된 상태를 도시한 사시도이다.
도6a는 본 발명의 다른 실시예에 의한 글래스 안착 테이블의 사시도이고, 도6b는 필름이 부착된 글래스가 안착된 상태를 도시한 사시도이다.
-도면중 주요 부호에 대한 설명
11; 글래스14; 필름
15; 종이 라벨16; 레이저 빔 경로
100,200,300; 본 발명에 의한 글래스 절단용 안착 테이블
202,302; 몸체204;304; 돌출턱
206,306; 절개구308; 요홈부
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 일면에 필름이 부착되고, 상기 필름에는 다수의 종이 라벨이 부착된 글래스가 안착된 채, 레이저 빔에 의해 일정 크기로 절단 공정이 진행되는 글래스 절단용 안착 테이블에 있어서, 상기 글래스 안착 테이블은 대략 사각 평판 형태를 하는 몸체가 구비되고, 상기 몸체의 상면에는, 상기 글래스가 뒤집어져 안착될 때 상기 글래스의 종이 라벨이 접촉될 수 있도록, 일정 두께의 돌출턱이 형성된 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 돌출턱은 상기 종이 라벨중 같은 라인의 모든 종이 라벨과 대응되는 영역에 일정 두께를 갖도록 직사각 형태로 형성될 수 있다.
또한, 상기 돌출턱은 상기 종이 라벨중 각각의 종이 라벨과 대응되는 영역에만 일정 두께를 갖도록 사각 형태로 형성될 수도 있다.
또한, 상기 몸체에는 상기 레이저 빔이 통과하는 라인과 대응되는 영역에 일정 깊이의 요홈부가 형성될 수도 있다.
마지막으로, 상기 몸체에는, 글래스 안착 테이블의 위치 정렬이 용이하게 수행되도록, 대향되는 두변의 내측으로 일정 깊이의 절개구가 형성될 수 있다.
상기와 같이 하여 본 발명에 의한 글래스 절단용 안착 테이블에 의하면, 필름 및 종이 라벨이 부착된 면이 안착 테이블을 향하도록 글래스를 뒤집은 채 절단함으로써 필름의 오염이나 손상을 최소화할 수 있는 장점이 있다.
더불어, 본 발명에 의한 글래스 절단용 안착 테이블에 의하면, 종이 라벨중 같은 라인의 모든 종이 라벨과 대응되는 영역에 일정 두께를 갖는 직사각 형태의 돌출턱이 더 형성된 안착 테이블을 구비함으로써, 상기 글래스의 필름이 물분사 압력에 의해 글래스 안착 테이블에 직접 접촉되는 현상이 억제되도록 하고, 또한 상기 글래스의 필름과 글래스 안착 테이블 의 몸체상에 파티클이 존재하더라도 상기 필름이 손상되지 않는 장점이 있다.
또한, 본 발명에 의한 글래스 절단용 안착 테이블에 의하면, 종이 라벨중 각각의 종이 라벨과 대응되는 영역에만 일정 두께를 갖는 사각 형태의 돌출턱이 더 형성된 안착 테이블을 구비함으로써, 상기 레이저 빔이 통과하는 모든 경로가 안착 테이블과는 비접촉 상태가 되도록 하여 레이저 빔이 통과하는 경로상의 글래스는 모두 같은 온도 분포가 되고, 따라서 절단 신뢰성이 향상되는 장점이 있다.
이하 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도3a를 참조하면, 본 발명의 한 실시예에 의한 필름이 부착된 글래스가 글래스 안착 테이블(100)에 위치되어 절단되는 상태가 도시되어 있고, 도3b를 참조하면, 도3a의 3영역이 확대 도시되어 있다.
도시된 바와 같이 본 발명의 한 실시예에 의한 글래스 절단은 먼저 일면에 필름(14)이 부착되고, 상기 필름(14)에는 종이 라벨(15)이 부착된 글래스(11)가 구비된다. 이어서 상기 글래스(11)의 종이 라벨(15)이 통상의 글래스 안착 테이블(100)에 접촉되도록 글래스(11)가 뒤집어져 안착된다. 이후, 상기 필름(14)이 형성되지 않은 글래스(11)의 상면에서 레이저 빔이 조사되어 상기 글래스(11)가 일정 크기로 절단된다. 물론, 상기 레이저 빔의 조사후 필름(14)이 형성되지 않은 글래스(11)의 타면(상면)에는 글래스(11)의 급냉각을 위해 물 분사가 이루어진다.
여기서, 상기와 같은 공정중 상기 글래스(11)의 하부에 위치된 종이 라벨(15)에 의해 상기 필름(14)은 상기 글래스 안착 테이블(100)에 직접 접촉되지 않게 되고, 이로 인하여 상기 레이저 빔에 의한 글래스(11)의 절단시 필름(14)의 오염이나 손상을 억제할 수 있게 된다. 물론, 상기 글래스 안착 테이블(100)은 종래와 동일한 것이 이용될 수 있다.
도4a를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 의한 필름이 부착된 글래스가 안착 테이블에 안착되어 절단되는 상태가 도시되어 있고, 도4b를 참조하면, 도4a의 4영역이 확대 도시되어 있다.
도시된 바와 같이 본 발명의 다른 실시예에 의한 글래스의 절단은 일면에 필름(14)이 부착되고, 상기 필름(14)에는 종이 라벨(15)이 부착된 글래스(11)가 구비된 후, 상기 글래스(11)가 뒤집어진 채 글래스 안착 테이블(200)에 위치된다. 이때, 상기 글래스 안착 테이블(200)에는 상기 글래스(11)에 부착된 종이 라벨(15)중 같은 라인의 모든 종이 라벨(15)과 대응되는 영역에 일정 두께를 갖는 직사각 형태의 돌출턱(204)이 더 형성됨으로써, 상기 글래스(11)의 필름(14)이 물분사 압력에 의해 휘어짐으로써 글래스 안착 테이블(200)에 직접 접촉되는 현상이 억제되도록 하고, 또한 상기 글래스(11)의 필름(14)과 글래스 안착 테이블(200) 상에 파티클이존재하더라도 상기 필름(14)이 손상되지 않도록 한다.
도5a를 참조하면, 도4a의 글래스 안착 테이블의 사시도가 도시되어 있고, 도5b를 참조하면, 필름이 부착된 글래스의 안착 상태가 도시되어 있다.
이를 참조하여, 본 발명의 한 실시예에 의한 안착 테이블(200)의 구조를 설명하면 일면에 필름(14)이 부착되고, 상기 필름(14)에는 다수의 종이 라벨(15)이 부착된 글래스(11)가 안착된 채, 레이저 빔에 의해 일정 크기로 절단 공정이 진행되는 글래스 안착 테이블(200)에 있어서, 상기 글래스 안착 테이블(200)은 대략 사각 평판 형태를 하는 몸체(202)가 구비되어 있고, 상기 몸체(202)의 상면에는, 상기 글래스(11)가 뒤집어져 안착될 때 상기 글래스(11)의 종이 라벨(15)이 접촉될 수 있도록, 일정 두께의 돌출턱(204)이 형성되어 있다.
여기서, 상기 돌출턱(204)은 도시된 바와 같이 4개가 구비될 수 있으며, 각각은 일정 길이를 갖는 대략 직사각 형태로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 글래스(11)에 부착된 한 라인의 종이 라벨(15) 전체가 어느 한 돌출턱(204)에 접촉된다.
한편, 상기 글래스 안착 테이블(200)에는 대향되는 두변의 내측으로 일정 깊이의 절개구(206)가 형성되어 있으며, 이는 글래스 절단 장치의 위치 정렬용 핀 또는 롤러가 결합됨으로써, 상기 글래스 안착 테이블(200)의 정렬이 용이하게 수행되도록 하는 역할을 한다.
도6a를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 의한 글래스 안착 테이블의 사시도가 도시되어 있고, 도6b를 참조하면, 필름이 부착된 글래스의 안착 상태가 도시되어 있다.
상기 첨부 도면을 이용하여 본 발명의 다른 실시예에 의한 글래스 절단용 안착 테이블을 설명한다.
먼저 레이저 빔을 이용한 글래스 절단은 일면에 필름(14)이 부착되고, 상기 필름(14)에는 종이 라벨(15)이 부착된 글래스(11)가 구비된 후, 상기 글래스(11)가 뒤집어진 채 글래스 안착 테이블(300)에 안착된다. 이때, 상기 글래스 안착 테이블(300)에는 상기 글래스(11)에 부착된 종이 라벨(15)중 각각의 종이 라벨(15)과 대응되는 영역에만 일정 두께를 갖는 사각(직사각 또는 정사각) 형태의 돌출턱(304)이 더 형성됨으로써, 상기 글래스(11)의 필름(14)이 물분사 압력에 의해 글래스 안착 테이블(300)에 직접 접촉되는 현상이 억제되도록 하고, 또한 상기 글래스(11)의 필름(14)과 글래스 안착 테이블(300) 상에 파티클이 존재하더라도 상기 필름(14)에 손상이 발생하지 않도록 한다.
더불어, 상기 돌출턱(304) 사이에는 자연스럽게 일정 깊이의 요홈부(308)가 형성되는데, 이 요홈부(308)는 레이저 빔의 통과 경로(16)와 일치함으로써, 상기 레이저 빔에 의한 글래스(11)의 온도 분포가 균일해져 절단 신뢰성이 더욱 향상된다. 즉, 상기 안착 테이블(300)의 돌출턱(304)에 직접 접촉된 글래스(11) 영역은 냉각 속도가, 접촉되지 않은 글래스(11) 영역의 냉각 속도보다, 빠르게 진행되는데, 상기 레이저 빔이 통과하는 모든 경로(16)는 비접촉 상태가 됨으로써, 결국 레이저 빔이 통과하는 경로(16)상의 글래스(11)는 모두 같은 온도 분포를 갖게 된다.
다음으로, 본 발명에 의한 글래스 안착 테이블(300)의 구조를 좀더 상세하게 설명하면 일면에 필름(14)이 부착되고, 상기 필름(14)에는 다수의 종이 라벨(15)이 부착된 글래스(11)가 안착된 채, 레이저 빔에 의해 일정 크기로 절단 공정이 진행되는 글래스 안착 테이블(300)에 있어서, 상기 글래스 안착 테이블(300)은 대략 사각 평판 형태를 하는 몸체(302)가 구비되고, 상기 몸체(302)의 상면에는, 상기 글래스(11)가 뒤집어져 안착될 때 상기 글래스(11)의 종이 라벨(15)중 각각의 종이 라벨(15)과 대응되는 영역에만 일정 두께를 갖도록 사각 형태로 다수의 돌출턱(304)이 형성되어 있다. 물론, 상기 다수의 돌출턱(304) 사이에는 레이저 빔이 통과하는 라인과 일치하도록 일정 깊이의 요홈부(308)가 형성되어 있다.
더불어, 상기 글래스 안착 테이블(300)에는 대향되는 두변의 내측으로 일정 깊이의 절개구(306)가 형성되어 있으며, 이는 글래스(11) 절단 장치의 위치 정렬용 핀 또는 롤러가 결합됨으로써, 상기 글래스 안착 테이블(300)의 정렬이 용이하게 수행되도록 하는 역할을 한다.
이상에서와 같이 본 발명은 비록 상기의 실시예로 한정하여 설명하였지만 이것으로 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 범주와 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러가지로 변형된 실시예도 가능할 것이다.
따라서, 본 발명에 의한 글래스 절단용 안착 테이블에 의하면, 필름 및 종이 라벨이 부착된 면이 안착 테이블을 향하도록 글래스를 뒤집은 채 절단함으로써 필름의 오염이나 손상을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
더불어, 본 발명에 의한 글래스 절단용 안착 테이블에 의하면, 종이 라벨중 같은 라인의 모든 종이 라벨과 대응되는 영역에 일정 두께를 갖는 직사각 형태의 돌출턱이 더 형성된 안착 테이블을 구비함으로써, 상기 글래스의 필름이 물분사 압력에 의해 글래스 안착 테이블에 직접 접촉되는 현상이 억제되도록 하고, 또한 상기 글래스의 필름과 글래스 안착 테이블 상에 파티클이 존재하더라도 상기 필름이 손상되지 않는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의한 글래스 절단용 안착 테이블에 의하면, 종이 라벨중 각각의 종이 라벨과 대응되는 영역에만 일정 두께를 갖는 사각 형태의 돌출턱이 더 형성된 안착 테이블을 구비함으로써, 상기 레이저 빔이 통과하는 모든 경로가 비접촉 상태가 되도록 하여 레이저 빔이 통과하는 경로상의 글래스는 모두 같은 온도 분포가 되고, 따라서 절단 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.

Claims (5)

  1. 일면에 필름이 부착되고, 상기 필름에는 다수의 종이 라벨이 부착된 글래스가 안착된 채, 레이저 빔에 의해 일정 크기로 절단 공정이 진행되는 글래스 안착 테이블에 있어서,
    상기 글래스 안착 테이블은 대략 사각 평판 형태를 하는 몸체가 구비되고, 상기 몸체의 상면에는, 상기 글래스가 뒤집어져 안착될 때 상기 글래스의 종이 라벨이 접촉될 수 있도록, 일정 두께의 돌출턱이 형성된 것을 특징으로 하는 글래스 안착 테이블.
  2. 제1항에 있어서, 상기 돌출턱은 상기 종이 라벨중 같은 라인의 모든 종이 라벨과 대응되는 영역에 일정 두께를 갖도록 직사각 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 글래스 안착 테이블.
  3. 제1항에 있어서, 상기 돌출턱은 상기 종이 라벨중 각각의 종이 라벨과 대응되는 영역에만 일정 두께를 갖도록 사각 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 글래스 안착 테이블.
  4. 제1항에 있어서, 상기 몸체에는 상기 레이저 빔이 통과하는 라인과 대응되는 영역에 일정 깊이의 요홈부가 형성된 것을 특징으로 하는 글래스 안착 테이블.
  5. 제1항 내지 제4항중 어느 한 항에 있어서, 상기 몸체에는, 글래스 안착 테이블의 위치 정렬이 용이하게 수행되도록, 대향되는 두변의 내측으로 일정 깊이의 절개구가 형성된 것을 특징으로 하는 글래스 안착 테이블.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100916539B1 (ko) * 2008-12-30 2009-09-11 주식회사 하이컴텍 유리 절단 장치 및 그 방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07323384A (ja) * 1994-06-02 1995-12-12 Souei Tsusho Kk 脆性材料の割断方法
JPH08175837A (ja) * 1994-12-26 1996-07-09 Asahi Glass Co Ltd ガラス板の割断方法およびそのための装置
JP2002047025A (ja) * 2000-07-31 2002-02-12 Seiko Epson Corp 基板の切断方法、およびこれを用いた電気光学装置の製造方法とこれに用いるレーザ切断装置および電気光学装置と電子機器
KR20020037602A (ko) * 2000-11-15 2002-05-22 윤종용 단판 유리기판의 레이저 절단 방법 및 장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07323384A (ja) * 1994-06-02 1995-12-12 Souei Tsusho Kk 脆性材料の割断方法
JPH08175837A (ja) * 1994-12-26 1996-07-09 Asahi Glass Co Ltd ガラス板の割断方法およびそのための装置
JP2002047025A (ja) * 2000-07-31 2002-02-12 Seiko Epson Corp 基板の切断方法、およびこれを用いた電気光学装置の製造方法とこれに用いるレーザ切断装置および電気光学装置と電子機器
KR20020037602A (ko) * 2000-11-15 2002-05-22 윤종용 단판 유리기판의 레이저 절단 방법 및 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100916539B1 (ko) * 2008-12-30 2009-09-11 주식회사 하이컴텍 유리 절단 장치 및 그 방법

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