KR20040037816A - 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치 - Google Patents

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조경환
최우경
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치(wafer transfer device for semiconductor diffusing apparatus)에 관한 것으로서, 상세하게는 다수의 슬롯(slot)이 일정 간격으로 형성되어 있는 보우트(boat)와, 보우트 방향의 일측에는 슬롯에 대한 웨이퍼(wafer)의 로딩(loading) 및 언로딩(unloading)을 수행하는 복수 개의 트위저(tweezer)가 슬롯 간격에 대응하는 간격으로 구성되는 웨이퍼 이송부(wafer transfer unit)를 포함하는 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치에 있어서, 웨이퍼 이송부의 트위저들은 웨이퍼의 로딩 및 언로딩시 일괄적인 동시 동작이 가능하며, 각각의 개별 동작도 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치에 관한 것인데, 이러한 본 발명에 따르면, 웨이퍼 이송부에 구성된 트위저들 각각의 개별 동작이 가능하기 때문에 최하부, 최상부 등 보우트 상의 슬롯 위치와 관계없이 웨이퍼의 로딩 및 언로딩을 용이하게 수행할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

Description

반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치{Wafer transfer device for semiconductor diffusing apparatus}
본 발명은 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치(wafer transfer device for semiconductor diffusing apparatus)에 관한 것으로서, 상세하게는 웨이퍼 이송부(wafer transfer unit)의 트위저(tweezer)들이 각각 독립적인 동작을 할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 칩(semiconductor chip)의 제조에 사용되는 웨이퍼는 여러 이송 수단을 통하여 각 공정 사이를 이동하는데, 웨이퍼의 이동에 사용되는 이송 수단에으로는 로봇 암(robot arm), 웨이퍼 엘리베이터(wafer elevator), 웨이퍼 반송 장치 등이 있다. 이 중 웨이퍼 반송 장치는 웨이퍼 상에 보론(B), 인(P) 등의 불순물을 첨가시켜 반도체 특성을 결정하기 위한 반도체 확산 공정에서 주로 사용되며, 일반적으로는 다수의 슬롯(slot)이 일정 간격으로 형성되어 있는 보우트(boat)와, 보우트 방향의 일측에는 슬롯에 대한 웨이퍼의 로딩(loading) 및 언로딩(unloading)을 수행하는 복수 개의 트위저가 슬롯 간격에 대응하는 간격으로 구성되는 웨이퍼 이송부를 포함하는 구조로 되어 있다.
이하 도면을 참조하여 종래의 일반적인 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치에 대해 계속 설명한다.
도 1은 종래의 일반적인 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치에 있어서의문제점을 보여주는 측면도이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 종래의 일반적인 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치(100)는 일반적으로 웨이퍼 이송부(140)에 5개의 트위저(145)가 구성되며 보우트(120)에 형성된 슬롯(125)에 차례대로 웨이퍼(10)를 로딩 및 언로딩 시키도록 되어 있는데, 트위저(145)들은 보우트(120)에 형성된 슬롯(125) 간격에 대응하는 간격으로 구성되며 웨이퍼(10)의 로딩, 언로딩시 5개가 모두 일괄적으로 동작하거나 그 중 최하부에 위치한 트위저(145)만이 동작할 수 있도록 구성되어 있었다.
이러한 구조에서는 웨이퍼 이송부의 트위저들이 모두 일괄적으로 동작하거나 최하부의 트위저만이 동작할 수 있었으므로 보우트의 최상부에 형성된 슬롯에 있어서의 개별적인 웨이퍼 로딩 및 언로딩이 곤란한 문제점이 존재하였다.
따라서, 본 발명은 보우트 최상부의 슬롯 뿐만 아니라 어느 부분의 슬롯에라도 웨이퍼의 로딩 및 언로딩이 가능할 수 있도록 트위저를 구성한 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치의 제공을 그 목적으로 한다.
도 1은 종래의 일반적인 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치(wafer transfer device for semiconductor diffusing apparatus)에 있어서의 문제점을 보여주는 측면도,
도 2는 본 발명에 따른 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치의 동작에 대한 일례를 보여주는 측면도, 및
도 3은 본 발명에 따른 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치의 동작에 대한 다른 예를 보여주는 측면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100, 200 : 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치
120, 220 : 보우트(boat)
125, 225 : 슬롯(slot)
140, 240 : 웨이퍼 이송부(wafer transfer unit)
145, 245 : 트위저(tweezer)
10 : 웨이퍼(wafer)
20 : 웨이퍼 이송부 구동 기어(driving gear)
이러한 목적을 이루기 위하여, 본 발명은 다수의 슬롯이 일정 간격으로 형성되어 있는 보우트와, 보우트 방향의 일측에는 슬롯에 대한 웨이퍼의 로딩 및 언로딩을 수행하는 복수 개의 트위저가 슬롯 간격에 대응하는 간격으로 구성되는 웨이퍼 이송부를 포함하는 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치에 있어서, 웨이퍼 이송부의 트위저들은 웨이퍼의 로딩 및 언로딩시 일괄적인 동시 동작이 가능하며, 각각의 개별 동작도 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치를 제공한다.
이하 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치에 대해 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치의 동작에 대한 일례를 보여주는 측면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치의 동작에 대한 다른 예를 보여주는 측면도이다.
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치(200)는 웨이퍼 이송부(240)에 5개의 트위저(245)가 구성되며 보우트(220)에 형성된 슬롯(225)들에 차례대로 웨이퍼(10)를 로딩 및 언로딩 시키도록 되어 있는데, 트위저(245)들은 보우트(220)에 형성된 슬롯(225) 간격에 대응하는 간격으로 구성되며 웨이퍼(10)의 로딩, 언로딩시 5개가 모두 일괄적으로 동작하거나 각각이 개별적인 동작을 할 수 있도록 구성된다. 트위저(245)들이 개별 동작을 할 수 있음으로 말미암아 보우트(220)의 최하부, 최상부 등 슬롯(225)의 위치를 막론하고 웨이퍼(10)의 로딩 및 언로딩을 용이하게 수행할 수 있게 된다. 웨이퍼 이송부(240)는 웨이퍼 이송부 구동 기어(20)에 의해 웨이퍼(10)를 로딩 및 언로딩할 슬롯(225) 사이를 이동하며, 트위저(245)의 구성 갯수는 필요에 따라 증감이 가능하다.
본 발명은 앞서 기술한 소정의 예로서 설명되었지만 그것에만 한정되는 것은 아니며, 그 이외에도 본 발명의 의도에 부합하는 구조의 예가 다수 존재할 수 있음은 자명한 일일 것이다.
이렇듯, 본 발명에 따른 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치에 의하면, 웨이퍼 이송부에 구성된 트위저들 각각의 개별 동작이 가능하기 때문에 최하부, 최상부 등 보우트 상의 슬롯 위치와 관계없이 웨이퍼의 로딩 및 언로딩을 용이하게 수행할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

Claims (2)

  1. 다수의 슬롯(slot)이 일정 간격으로 형성되어 있는 보우트(boat); 및
    상기 보우트 방향의 일측에는 상기 슬롯에 대한 웨이퍼(wafer)의 로딩(loading) 및 언로딩(unloading)을 수행하는 복수 개의 트위저(tweezer)가 상기 슬롯 간격에 대응하는 간격으로 구성되는 웨이퍼 이송부(wafer transfer unit);를 포함하는 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치(wafer transfer device for semiconductor diffusing apparatus)에 있어서,
    상기 웨이퍼 이송부의 상기 트위저들은 웨이퍼의 로딩 및 언로딩시 일괄적인 동시 동작이 가능하며, 각각의 개별 동작도 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 트위저는 상기 웨이퍼 이송부에 5개가 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치.
KR1020020066470A 2002-10-30 2002-10-30 반도체 확산 설비용 웨이퍼 반송 장치 KR20040037816A (ko)

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