KR20040016188A - 기체 분석용 프로브 시스템 및 이를 이용한 샘플링 방법 - Google Patents

기체 분석용 프로브 시스템 및 이를 이용한 샘플링 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기체분석에 있어서, 피검출기체를 유도하는 흡인구, 상기 흡인구를 수용하며 내부에 필터를 수용하기 위한 격실을 포함하는 외원통, 상기 외원통의 격실 외주면에 이격되어 위치하고 상기 피검출기체의 불순물울 격실 내부에서 외부로 여과하기 위한 필터, 상기 외원통 상에 삽입되어 있는 카트리지 필터, 상기 흡인구의 반대편에 위치하여 필터를 고정 및 압축하기 위한 고정 및 압축부재, 상기 외원통의 격실과 연결되는 교정기체 인입구, 상기 외원통 및 필터의 이격된 공간에 연결된 샘플 출구를 포함하는 필터링부와; 퍼지 기능을 수행하기 위하여 전 주기동안 개방되며 상기 개방에 의해 공기압으로서 다이어프램 밸브를 폐쇄하는 제1밸브, 상기 제1밸브가 개방됨과 동시에 개방되어 필터를 퍼지하는 제2밸브, 제2밸브가 폐쇄됨과 동시에 개방되고 제1밸브와 동시에 폐쇄되는 제3밸브, 상기 제3밸브가 개방됨으로서 진공을 형성하는 진공에덕터, 상기 제3밸브가 개방된 후 퍼지기체를 배출시키기 위해 개방되며 제1밸브 및 제3밸브가 폐쇄되기 전에 폐쇄되는 제4밸브, 상기 퍼지 기체를 배출하기 위한 배출구로 된 백퍼지부를 포함하는 기체분석용 프로브 시스템 및 이를 이용한 샘플링 방법을 제공한다.

Description

기체 분석용 프로브 시스템 및 이를 이용한 샘플링 방법{THE PROBE SYSTEM FOR GAS ANALYSIS AND METHOD OF SAMPLING USING THEREOF}
본 발명은 CEM(Continuous Emission Monitoring) 시스템에 사용되는 기체분석시스템에 관한 것으로서, 특히 분석 전단계로서 기체의 채집 및 불순물을 제거하고 기체의 변성을 방지하기 위한 방법 및 장치에서 관한 것이다.
오늘날 환경오염는 인류의 생존과 직결되는 문제로서, 특히 공장 및 자동차의 배기가스에서 유출되는 유해성분은 인체에 치명적 영향을 미치고 지구 온난화의 주범으로 간주되고 있다. 따라서, 세계환경협약 등을 통하여 유해성분의 배출을 억제하고자 하는 노력들이 진행되고 있다. 이러한 유해성분 배출의 억제책의 출발점은 특정 오염원으로부터 방출되는 유해성분을 측정 및 분석하는데 있을 것이나, 대다수의 특허는 기체분석시스템에 관련된 발명은 특정 기체에 국한되는 분석원리나 분석기기 전체에 관한 것이다. 그러나, 피검출기체를 분석함에 있어서 피검출기체를 정확히 샘플링하고 상기 기체에 함유되어 있는 불순물등을 제거하지 못한다거나 피검출물질이 변성되도록 방치한다면 검출분석장치의 정확성이 무의미한 것이 될것이다.
이러한 피검출물질을 샘플링하는 방법으로 직접 샘플링 방법과 백(bag) 샘플링 방법이 사용되고 있다. 이러한 샘플링 방법에는 단순히 측정 및 분석하고자 하는 유해성분함유 기체를 수집하는 목적이외에 상기 수집된 기체의 불순물을 제거하고 기체 상에 존재하는 수분을 제거하여 분석하고자하는 기체성분만을 잔존시키는 단계를 포함한다.
특히 상기 분석할 기체를 샘플링하고 불순물의 여과 및 기체의 변성방지를 위하여 프로브(probe) 공정을 거치게 된다. 상기 목적으로 종래 사용되는 프로브는 도 1에 도시한 바와 같이 흡인구로 인입된 공기를 장치의 중앙부에 위치하는 필터의 외부에서 내부로 여과되도록 하고 교정기체를 투입하여 배출구로 방출되어 다음 단계로 진행되고, 상기 필터링 단계의 연속적 작업을 위해 필터의 외부를 구성하는 내원통의 일정 부분을 밴드 히터(band heater) 방식으로 일정 이상의 온도를 제공하여 불순물이 필터 및 내원통 내부에 점착되지 않도록 구성되었다.
원칙적으로 샘플링 방법 및 장치는 화학반응이나 흡착작용 등으로 배출가스의 분석결과에 영향을 주지 않아야 하고, 배출가스 중의 부착성 성분에 의하여 잘 부식되지 않아야 하며, 배출가스의 온도, 유속 등에 견딜 수 있는 충분한 기계적 강도를 갖는 것이여야 한다. 결국 샘플링 방법 및 장치는 검출감도를 증가시키기 위한 것이어야 한다. 그러나 상기와 같은 방식은 밴드 히터를 사용함으로서 국부적 열전달의 문제와 온도제어가 용이하지 않고 내부에 고정되어 있어 히터 불량시 기기 전체를 해체해야 하는 문제점이 있고, 백퍼지(back purge)를 규칙적으로 실행할수 없어 수동에 의해 이루어지므로 연속공정이 어려우며 퍼지한 공기가 후속 샘플에서 프로브의 체적만큼 유입되어 데이터의 손상이 초래된다. 이러한 결과 기기 전체를 통상적으로 주 1회 씩 해체하여 자주 소제해야 하는 문제점이 있어 연속공정으로 이루어 질 수 있으며 감도가 우수한 샘플링을 하기 위한 샘플링 방법 및 장치가 소망되었다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명의 목적은 기체분석시 피검출기체에 포함되어 있는 불순물을 제거하고 피검출기체의 변성을 방지하는 프로브 시스템 및 이를 이용한 프로브 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 기체분석시 피검출기체의 샘플링이 용이한 프로브 시스템 및 이를 이용한 샘플링 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 자동제어에 의해 백퍼지 기능을 수행하고 분해 및 소제의 필요성이 적은 프로브 시스템 및 이를 이용한 샘플링 방법을 제공하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기체분석에 있어서, 피검출기체를 유도하는 흡인구, 상기 흡인구를 수용하며 내부에 필터를 수용하기 위한 격실을 포함하는 외원통, 상기 외원통의 격실 외주면에 이격되어 위치하고 상기 피검출기체의 불순물울 격실 내부에서 외부로 여과하기 위한 필터, 상기 외원통 상에 삽입되어 있는 카트리지 필터, 상기 흡인구의 반대편에 위치하여 필터를 고정 및압축하기 위한 고정 및 압축부재, 상기 외원통의 격실과 연결되는 교정기체 인입구, 상기 외원통 및 필터의 이격된 공간에 연결된 샘플 출구를 포함하는 필터링부와; 퍼지 기능을 수행하기 위하여 전 주기동안 개방되며 상기 개방에 의해 공기압으로서 다이어프램 밸브를 폐쇄하는 제1밸브, 상기 제1밸브가 개방됨과 동시에 개방되어 필터를 퍼지하는 제2밸브, 제2밸브가 폐쇄됨과 동시에 개방되고 제1밸브와 동시에 폐쇄되는 제3밸브, 상기 제3밸브가 개방됨으로서 진공을 형성하는 진공에덕터, 상기 제3밸브가 개방된 후 퍼지기체를 배출시키기 위해 개방되며 제1밸브 및 제3밸브가 폐쇄되기 전에 폐쇄되는 제4밸브, 상기 퍼지 기체를 배출하기 위한 배출구로 된 백퍼지부를 포함하는 기체분석용 프로브 시스템 및 이를 이용한 샘플링 방법을 제공한다.
도 1은 종래 기술의 일실시예에 따른 프로브 시스템의 단면도.
도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 프로브 시스템의 단면도.
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 프로브 시스템의 공정흐름도.
도 4는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 백퍼지 공정의 시간함수도.
도 5는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 백퍼지 공정의 시간함수도.
<도면의 주요 부호에 대한 설명>
200 : 필터부201 : 흡인구
202 : 샘플 출구203 : 개스킷
204 : 필터205 : 외원통
206 : 카트리지 히터207 : 교정기체 인입구
208 : 압축부재209 : 고정부재
210 : 격실300 : 프로브 시스템
310 : 온도제어장치320 : 백퍼지부
321, 322, 323, 324 : 제1, 제2, 제3, 제4밸브
325 : 진공에덕터326 : 다이어프램 밸브
330 : 에어탱크340 : PLC
350 : 배출구
이하 본 발명에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예를 상세히 설명하기로 한다. 우선, 도면들중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호를 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다. 또한, 본 명세서에서의 프로브 방법 및 시스템은 기체분석시스템에 있어서 샘플링시 콘디셔닝을 제외한 모든 시스템을 의미하는 것으로 사용한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 프로브 시스템 중 필터링에 관련된 장치의 단면도이다.
피검출기체는 흡인구(201)에 의해 인출되어 외원통(205)의 내부 격실(210)로 유도된다. 상기 흡인구의 길이는 검출장소 및 성분에 따라 임의로 선택가능하며, 재질은 SUS 316, 파이렉스(Pyrex), 석영(quartz) 또는 테플론(teflon)을 사용할 수 있으며, 바람직하게는 SUS 316을 사용할 수 있다. 상기 외원통(205)은 원통 형상으로서 내부는 필터(204)를 수용하기 위해 동일한 원통 형상의 격실(210)을 구비하며 바람직하게는 SUS 316이 사용될 수 있다. 상기 격실(210)에는 그 외주면을 따라 원통형의 필터(204)가 설치될 수 있으며 상기 필터는 격실내 외주면과 이격되게 설치되어서 흡입구(201)를 통하여 유입된 피검출기체는 격실 내부에서 필터로 여과된 후 격실 외주면과 필터의 이격된 공간으로 지나가게 된다. 이러한 구조는 관로의 저항을 최소화하고 후단계에서 이루어지는 백퍼지(back purge)에서 격실 내부 뿐만아니라 필터까지 함께 퍼지가 수행되는 역할을 한다. 상기 필터는 먼지의 성상 및 스크러빙(scrubbing) 공정에 따라 다양한 종류를 적용할 수 있고, 바람직하게는 10㎛ 메시 SUS 필터를 사용한다. 기타 습식스크러빙에서는 10㎛메시 SUS 필터를, 건식소각로인 경우 2㎛메시의 글래스 필터를, Hcl 프로브인 경우 0.4㎛ 헤파필터를 사용할 수 있다.
외원통(205)내에는 일 이상의 봉상형의 카트리지 히터(206)가 삽입되며 바람직하게는 4개의 히터들이 사용될 수 있다. 상기 히터는 별도의 온도제어장치(도 3, 310)에 의해 제어되고 작동 시작 후 10분내에 120도 내지 130도가 유지되도록 함이 바람직하다. 외원통(205)의 외벽은 실리콘 스폰지 패드로 보온하여 방열 손실을 최소화할 수 있고 두께는 10mm 정도가 바람직하다.
교정기체 인입구(207)는 흡인구(201)와 동일 축 상에 위치하며 외원통의 격실(210)내로 유도된다. 따라서 격실내에서는 피검출기체와 교정기체가 혼합되고 상기 혼합기체는 필터에 의해 여과된 후 상기 격실의 외주면과 필터사이의 공간상으로부터 외원통 외부로 연결되어 있는 샘플출구(202)로 배출된다.
상기 흡인구(201)의 반대측면에는 필터를 압축, 고정하기 위한 압축 및 고정부재(208, 209)가 외원통(205) 상에 부설된다. 압축 및 고정부재(208, 209)에는 교정기체가 지나갈 수 있는 교정기체인입구(207)가 형성되어 있다. 바람직하게는, 상기 압축 및 고정부재는 볼트너트부재이다.
부가적으로, 외원통(205)의 흡인구(201) 방향에는 플랜지(211)와의 밀봉을 위하여 개스킷(gasket, 203)들을 부설할 수 있고, 상기 필터(204)의 흡인구(201) 및 교정기체인입구(207)의 방향 말단부에도 밀봉을 위하여 개스킷(203)들을 부설할 수 있다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 프로브 시스템의 공정 다이어그램을 나타낸 것으로서 백퍼지부(320)는 필터부에 포집된 물질을 제거하거나 비우는 퍼지(purge) 기능을 수행된다. 백퍼지 단계는 설정된 시간 간격, 전원 동작시, 또는 샘플링의 주분석기(미도시)에서 프로브 차단 신호가 있는 경우에 시작된다. 상기 조건이 형성되면 제1밸브(321)가 개방되고 공기압이 다이어프램 밸브(326)에 전달되어 샘플링 라인이 차단된다. 따라서 상기 제1밸브는 압력복귀형 밸브가 바람직하다. 제1밸브(321)가 개방됨과 동시에 제2밸브(322) 밸브가 개방되어 필터의 먼지를 털어주며 제2밸브의 개방형태는 간헐적 또는 맥동식으로 열리는 것이 바람직하다. 상기 맥동식 개방형태는 분사력을 증가시켜 필터내의 집적된 먼지를 보다 효율적으로 제거하기 위함이다. 제1밸브(321)가 개방되어 있는 상태에서 제2밸브(322)의 맥동식 개방이 종료되면 제3밸브(323)가 개방되어 진공에덕터(vacuum eductor, 325)에서 진공을 조성하게 되며 상기 진공에덕터는 벤투리(venturi)와 같은 기능을 수행한다. 그 후 제3밸브(323)가 개방되어 있는 상태에서 제4밸브(324)가 개방되어 퍼지 기체(공기, N2, 분진 등)를 배출구(350)를 통해 시스템 외부로 배출시켜 주분석기에 통과되지 않도록 한다. 그 후 제4밸브(324)가 폐쇄고 제1밸브(321) 및 제3밸브(323)가 동시에 폐쇄되어 백퍼지 단계는 완료되며 정상의 샘플링 상태가 된다. 도 4 및 5는 상기 밸브들의 개폐를 시간의 함수로서 나타낸 다이어그램이다.
바람직하게, 상기 밸브들은 솔레노이드(solenoid) 밸브이며, 더욱 바람직하게는 PCV(probe calibration valve)용 밸브이다. 또한 상기 백퍼지부의 동작은 PLC에 의해 제어되며 상기 백퍼지부는 2개 이상이 복수로 사용이 가능하다. 예를 들어 2개의 백퍼지부가 사용되는 경우 이를 듀얼박스(dual box) 시스템이라 하며 이러한 시스템은 상기 밸브들의 열적 손상을 감소시키는 역할을 한다. 부가적으로 상기 듀얼 박스는 내산성을 위해 해마톤 도장을 할 수 있고 밀폐되어 사용된다.
- 실시예 1
* 더스트가 20mg/㎛3이하이고 습식 스크러빙 공정시
* 1주기는 30초간 진행
필터링 단계를 거친 피검출기체는 도 4와 같이 백퍼지 단계가 진행된다. 최초 제1밸브 및 제2밸브가 개방되고, 제1밸브는 전 주기동안 개방되며, 제2밸브는 각각 1초씩 개폐된다. 맥동식 개폐횟수는 5회이고 10초간 진행된다. 10초 후에 제3밸브가 개방되고 20초간 개방이 유지된다. 제4밸브는 제3밸브가 개방된 1초 후 개방되며 18초간 개방이 유지되고 폐쇄된다. 제4밸브가 폐쇄된 후 1초 후에 제1 및 제3밸브가 폐쇄되어 백퍼지 단계가 완결된다.
- 실시예 2
* 더스트가 20mg/㎛3이상이고 건식 스크러빙 공정시
* 1주기는 40초간 진행
필터링 단계를 거친 피검출기체는 도 5와 같이 백퍼지 단계가 진행된다. 최초 제1밸브 및 제2밸브가 개방되고, 제1밸브는 전 주기동안 개방되며, 제2밸브는 20초간 개방된다. 맥동식 개폐횟수는 6회이고 1회 내지 5회는 각각 1초씩 개폐되며 6회는 10초간 개방된다. 20초 후에 제3밸브가 개방되고 20초간 개방이 유지된다. 제4밸브는 제3밸브가 개방된 1초 후 개방되며 18초간 개방이 유지되고 폐쇄된다. 제4밸브가 폐쇄된 후 1초 후에 제1 및 제3밸브가 폐쇄되어 백퍼지 단계가 완결된다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 명백할 것이다.
상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 기체분석용 프로브 시스템 및 이를 이용한 샘플링 방법은 필터가 외원통의 격실내 외주면과 이격되게 설치되어 피검출기체가 내부에서 여과되는 구조가 되므로 관로의 저항을 최소화하고 후에서 이루어지는 백퍼지 단계에서 격실 내부와 함께 필터까지 함께 퍼지가 이루어진다. 필터부에 10㎛메시의 필터를 사용하는 경우 백퍼지시 역류 에너지가 형성되어 필터의 회복이 용이하게 이루어진다.
또한 카트리지 히터 방식을 채용함으로 히터 불량시 문제되는 히터만을 교체할 수 있으므로 유지 및 보수가 용이하며 다수의 카트리지 히터와 외벽의 실리콘 스폰지 패드 및 전도성이 좋은 SUS 316을 사용하는 경우 종래 밴드 히터만을 사용하는 것에 비해 필터에 오염원이 부착되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 일실시예에 따른 백퍼지 기능을 갖는 프로브 시스템 및 이를 이용한 샘플링 방법은 종래 빈번히 필터부를 해체하여 소제해야 하는 문제를 해결하여 PLC 제어에 따라 백퍼지를 수행함으로서 오염정도를 고려하여 백퍼지의 주기를 설정할 수 있고, 퍼지된 기체가 프로브 시스템 외부로 제거된 후 샘플링되므로 데이터의 손상이 없어지고, 2이상의 백퍼지 기능을 수행하는 듀얼박스 시스템을 채용하는 경우 상기 밸브의 열적 손상을 감소시킬 수 있는 효과가 있다. 구체적으로 종래의 프로브 시스템은 일반공정의 경우 1회/월 특수공정의 경우 4회/월로 정비가 요구되었으나, 본 발명의 일실시예에 의한 프로브 시스템은 일반공정의 경우 1회/년 특수공정의 경우 4회/년으로 정비하면 되므로 원가절감 및 제품안정성이 우수한 효과가 있다.

Claims (19)

  1. 기체분석용 장치에 있어서,
    피검출기체를 유도하는 흡인구,
    상기 흡인구를 수용하며 내부에 필터를 수용하기 위한 격실을 포함하는 외원통,
    상기 외원통의 격실 외주면에 이격되어 위치하고 상기 피검출기체의 불순물울 격실 내부에서 외부로 여과하기 위한 필터,
    상기 외원통 상에 삽입되어 있는 카트리지 필터,
    상기 흡인구의 반대편에 위치하여 필터를 고정 및 압축하기 위한 고정 및 압축부재,
    상기 외원통의 격실과 연결되는 교정기체 인입구,
    상기 외원통 및 필터의 이격된 공간에 연결된 샘플 출구를 포함함을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    퍼지 기능을 수행하기 위하여 전 주기동안 개방되며 상기 개방에 의해 공기압으로서 다이어프램 밸브를 폐쇄하는 제1밸브,
    상기 제1밸브가 개방됨과 동시에 개방되어 필터를 퍼지하는 제2밸브,
    제2밸브가 폐쇄됨과 동시에 개방되고 제1밸브와 동시에 폐쇄되는 제3밸브,
    상기 제3밸브가 개방됨으로서 진공을 형성하는 진공에덕터,
    상기 제3밸브가 개방된 후 퍼지기체를 배출시키기 위해 개방되며 제1밸브 및 제3밸브가 폐쇄되기 전에 폐쇄되는 제4밸브,
    상기 퍼지 기체를 배출하기 위한 배출구로 된 백퍼지부를 포함함을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1밸브는 설정된 시간 간격, 전원 동작시, 또는 샘플링의 주분석기에서 프로브 차단 신호가 있는 경우에 개방됨을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템.
  4. 제2항에 있어서, 상기 제2밸브는 맥동식으로 개방되며, 개방주기는 1회/초이고, 횟수는 5회임을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템.
  5. 제2항에 있어서, 상기 밸브들은 솔레노이드 밸브임을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 필터의 양 말단부에 밀봉용 개스킷을 포함함을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 흡인구는 SUS 316임을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 필터의 입도는 0.4㎛ 내지 10㎛임을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 카트리지 필터는 외원통 상에 4개 이상 설치되며, 120도 내지 130도로 유지됨을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템.
  10. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 외통부는 실리콘 스폰지 패드로 구성되고 두께는 10mm임을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템.
  11. 기체분석용 프로브 시스템을 이용하여 피검출기체를 샘플링하는 방법에 있어서,
    피검출기체를 외원통 내부의 격실의 외주면에 이격되어 설치된 필터에 의해 상기 격실의 내부에서 외부로 여과하고 교정기체와 혼합하는 필터링 단계 및 백퍼지 단계를 포함하고,
    상기 백퍼지 단계는
    퍼지 기능을 수행하기 위하여 제1밸브가 전 주기동안 개방되며 공기압에 의해 다이어프램 밸브를 폐쇄하는 단계,
    상기 제1밸브가 개방됨과 동시에 제2밸브를 개폐하여 필터를 퍼지하는 단계,
    상기 제2밸브가 폐쇄됨과 동시에 제3밸브가 개방되어 진공에덕터에서 진공을 형성하는 단계, 및
    상기 제3밸브가 개방된 후 제4밸브가 개방되고 제1밸브 및 제3밸브가 폐쇄되기 전에 폐쇄되어 퍼지기체를 배출구로 배출하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템을 이용하는 샘플링 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 제1밸브는 설정된 시간 간격, 전원 동작시, 또는 샘플링의 주분석기에서 프로브 차단 신호가 있는 경우에 개방됨을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템을 이용하는 샘플링 방법.
  13. 제11항에 있어서, 상기 제2밸브는 맥동식으로 개방되며, 개방주기는 1회/초이고, 횟수는 5회임을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템을 이용하는 샘플링 방법.
  14. 제11항에 있어서, 상기 밸브들은 솔레노이드 밸브임을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템을 이용하는 샘플링 방법.
  15. 제11항에 있어서, 상기 필터의 양 말단부에 밀봉용 개스킷을 포함함을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템을 이용하는 샘플링 방법.
  16. 제11항에 있어서, 상기 흡인구는 SUS 316임을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템을 이용하는 샘플링 방법.
  17. 제11항에 있어서, 상기 필터의 입도는 0.4㎛ 내지 10㎛임을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템을 이용하는 샘플링 방법.
  18. 제11항에 있어서, 상기 카트리지 필터는 외원통 상에 4개 이상 설치되며, 120도 내지 130도로 유지됨을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템을 이용하는 샘플링 방법.
  19. 제11항에 있어서, 상기 외통부는 실리콘 스폰지 패드로 구성되고 두께는 10mm임을 특징으로 하는 기체분석용 프로브 시스템을 이용하는 샘플링 방법.
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