KR0157369B1 - 공기 오염도 분석용 샘플링 장치, 포집 필터 제조 방법 및 샘플링 후처리 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 공기 오염도 분석용 샘플링 장치, 포집 필터 제조 방법 및 샘플링 후처리 방법에 관한 것으로서, 샘플링 될 시료 공기를 소정 크기의 미세 입자로 분쇄하여 유입시키는 유입 임팩터와, 유입된 시료 공기의 흐름이 균일하게 될 수 있도록 직선 상태로 안내하는 공기흐름 유지대와, 유입된 시료 공기 중에서 가스 성분만을 흡착시키는 복수의 포집 필터가 장착된 가스성분 포집부와, 상기 가스성분 포집부를 통과한 시료 공기 중에서 입자 성분을 흡착하는 복수의 필터가 장착된 입자성분 포집부와, 소정의 시간 내에 소정량의 시료 공기가 유입될 수 있도록 펌핑 작동되는 진공 펌핑부를 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명은 다공의 금속판 필터를 채용함에 따라 가스와 입자 성분을 분리하여 공기 중의 오염 물질을 포집할 수 있으므로 샘플링의 효율을 더욱 향상시킬 수 있고, 청정을 요하는 공간의 파티클 및 이온 등에 의한 오염도를 상당히 정확하게 평가할 수 있다.
Description
제1도는 본 발명에 따른 샘플링 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 단면도.
제2도는 제1도의 포집 필터를 발췌 도시한 확대 사시도.
제3도~제6도는 본 발명에 따른 샘플링 장치의 포집 필터를 제조하는 방법을 설명하기 위한 공정도로서,
제3도는 본 발명에 따른 포집 필터가 코팅 용액 내에서 진공 감압되는 상태를 나타낸 도면이고,
제4도는 본 발명에 따른 포집 필터가 초음파 세정되는 상태를 나타낸 도면이고,
제5도는 본 발명에 따른 포집 필터가 청정 공기에 의하여 건조되는 상태를 나타낸 도면이고,
제6도는 본 발명에 따른 포집 필터가 코팅된 상태를 나타낸 도면이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 유입 임팩터 12 : 유입구
14 : 유입실 16 : 노즐
18 : 임팩션 링 20 : 공기흐름 유지대
30 : 가스성분 포집부 32 : 제1필터
32a : 통공 32b : 코팅막
34 : 제2필터 36 : 제3필터
38 : 제4필터 40 : 입자성분 포집부
42 : 테프론 필터 44, 46 : 나일론 필터
50 : 진공 펌핑부 52 : 진공 펌프
54 : 전원 제어부 56 : 유량계
58 : 유량 조절 밸브 60 : 진공 용기
70 : 초음파 세정기 80 : 건조기
본 발명은 공기 오염도 분석용 샘플링 장치, 포집 필터 제조 방법 및 샘플링 후처리 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공기 중에 포함된 분자상 오염물로부터 가스 및 입자 성분을 분리 포집하여 소정 공간의 공기 오염도를 정성, 정량 분석하는데 사용되는 공기 오염도 분석용 샘플링 장치, 포집 필터 제조 방법 및 샘플링 후처리 방법에 관한 것이다.
예를 들면, 반도체 제조 분야, 초정밀 기계 분야, 유전자 연구 분야 등에서는 극히 청정도가 높은 환경이 필요하고, 그 수준에 따라 수율이나 신뢰성, 품질 등이 결정된다.
고청정도가 요구되는 클린 룸(Clean Room)에서는 파티클(Particles), 이온, 유기물 등으로 인한 분자상 오염(Molecular Impurities)은 다바이드(Device)의 특성 등에 악 영향을 끼치므로 오염에 대한 적절한 관리가 요구된다.
오늘날, 제조 공정의 복잡화, 장기화 및 미세화가 요구됨에 따라 소재 표면이 오염될 기회도 점점 증가하여 예전에는 영향을 미치지 않았던 것들도 점차 문제시되고 있는 실정인데, 특히 분자상의 오염은 화학적, 물리적 반응을 통하여 불량의 원인이 되고 결정의 결합, 전기적인 특성의 변화, 입자의 형성 등 변형이나 변성을 유발시키기도 한다.
더욱이 분자상 오염은 축적 효과에 있어서, 그 이전 공정으로부터 극 미량의 오염이 제조 수율을 좌우하는 경향이 현저해지고, 실제 디바이스의 차원에서 각종 불량의 원인 규명 및 발생 메카니즘(Mechanism)의 해석과 오염 제어 수준의 파악 등에 필요한 샘플링(Sampling) 기술 및 장치의 개발 필요성이 요구되었다.
종래에는, 비이커(Beaker)에 초 순수를 채워 샘플링하는 자(Jar) 방식과 공기를 강제적으로 흡입하여 초 순수에 용해하는 임핀져(Impinger) 방식이 있는데, 이들은 오염물의 특성이 고려되지 않고 또한 가스와 입자 상태의 성분을 분리하지 않고 샘플링하는 문제점을 갖고 있다.
이러한 문제점을 보완하여 가스와 입자 상태의 성분을 분리하기 위한 장치로 이용되고 있는 것이 애뉼러 디누더(Annular Denuder)였다.
상기 애뉼러 디누더(Annular Denuder)가 채용된 종래의 샘플링 장치가 1989년에 영국에서 출판된 Atmosphere Environment Vol.23, No.12, P. 2767-2773(P.Koutrakis, et al)에 개시되어 있으나, 이는 샘플링관이 비교적 길고 이용하기 불편하며, 유리(glass)재질로 만들어져 있으므로 조작이 어렵고, 또한 교체시에도 많은 비용이 드는 결점이 있다.
따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해소하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명의 목적은 공기 중에 포함된 분자상 오염물로부터 가스 및 입자 성분을 분리 포집함으로써 크기도 작고 포집 효율도 우수하며 입자의 손실도 최소화하여 반영구적으로 소정공간의 공기 오염도를 정성, 정량 분석하는 데 사용되는 공기 오염도 분석용 샘플링 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 공기 오염도 분석용 샘플링 장치에 채용되는 포집 필터 중 다공 금속판 필터에 오염 농도를 선택적으로 평가하고자 하는 대상 화학물로 코팅하는 포집 필터의 제조 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 시료 공기를 샘플링 한 후 포집 필터에 포집된 오염물을 정성, 정량 분석할 수 있도록 소정의 용액에 용해시켜 추출하는 샘플링 후처리 방법을 제공하는 데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 공기 오염도 분석용 샘플링 장치는, 샘플링 될 시료 공기를 소정 크기의 미세 입자로 분쇄하여 유입시키는 유입 임팩터와, 유입된 시료 공기의 흐름이 균일하게 될 수 있도록 직선 상태로 안내하는 공기흐름 유지대와, 유입된 시료 공기 중에서 가스 성분만을 흡착시키는 복수의 포집 필터가 장착된 가스성분 포집부와, 상기 가스성분 포집부를 통과한 시료 공기 중에서 입자 성분을 흡착하는 복수의 필터가 장착된 입자성분 포집부와, 소정의 시간 내에 소정량의 시료 공기가 유입될 수 있도록 펌핑 작동되는 진공 펌핑부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
한편, 본 발명에 따른 포집 필터의 제조 방법은, 코팅시킬 화학물질이 담긴 용기 내부에 포집 필터를 내장하는 단계와, 상기 용기의 내부 압력을 대기압 보다 약 30% 정도 감압시키는 단계와, 감압된 용기를 초음파 세정기에 넣고 소정 시간 동안 낮은 압력과 초음파 진동을 가하여 포집 필터 내부에 있는 공기를 빼내는 단계와, 상기 단계를 거쳐 코팅된 포집 필터를 건조기에 넣고 청정공기를 일정량 통과시켜 소정 시간 건조시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또 한편, 본 발명에 따른 샘플링 후처리 방법은, 시료 공기를 다수의 포집 필터에 통과 시킬 때 가스 및 입자 성분의 공기 오염물을 분리하여 포집하는 샘플링 단계와, 상기 포집 필터 들에 흡착된 공기 오염 물질을 소정의 용액에 용해시켜 추출하는 오염물 추출 단계와, 상기 포집 필터들로부터 추출된 오염물의 농도를 이온분석기를 이용하여 분석하는 분석 단계를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명한다.
제1도는 본 발명에 따른 샘플링 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.
상기 도면에서, 본 발명의 장치는, 그 상부에 샘플링 될 시료 공기가 유입구(12)를 통하여 유입된 후 대략 2.5㎛ 정도의 미세입자로 잘게 분쇄시킬 수 있는 유입 임팩터(Impactor)(10)가 장착된다.
여기서, 상기 유입 임팩터(10)는 다수의 유입구(12)를 통하여 유입실(14) 내부로 유입된 공기 입자들을 더욱 미세하게 분쇄시키는 역할을 하는 복수의 분사 노즐(16)을 구비한다. 또한 상기 분사 노즐(16)에서 대향되는 위치, 즉, 후술하는 공기흐름 유지대(20)의 상단에 장착된 임팩션 링(Impaction Ring)(18)을 구비하여, 유입된 공기 입자를 다시 미세하게 분쇄시키도록 한다.
그리고, 상기 임팩터(10)의 하단에 장착된 공기흐름 유지대(20)는, 임팩션 링(18)을 통과한 후 미세입자로 분쇄되어 유입된 시료 공기를 관통시키면서 공기의 흐름을 더욱 균일하게 할 수 있도록 직선 상태로 안내하는 역할을 한다.
상기 공기흐름 유지대(20)의 하부에는 시료 공기 중에 포함된 파티클(Particles) 기타 오염물 등의 가스 성분과 입자 성분을 분리하여 포집할 수 있는 포집 필터부가 장착된다.
상기 포집 필터부는 상부에서 하부로 가스성분 포집부(30)와 입자성분 포집부(40)로 나뉘어 장착된다.
상기 가스성분 포집부(30)는, 오염 농도를 선택적으로 평가하고자 하는 대상 화학 물질이 코팅되고, 제2도에서 발췌 도시한 바와 같은 다수의 통공(32a)이 형성된 금속재, 예를 들어 스테인레스 강으로 된 포집 필터(32)들을 소정 간격을 두고 구비한다. (제2도의 포집 필터는 제1필터의 도면 부호를 대표로 예시한 것임)
상기 가스성분 포집부(30)는 순차로 상부에서 하부로, HNO3(g) 가스 성분을 포집하는 제1필터(32)와, HNO3(g), SO2(g) 가스 성분을 포집하는 제2필터(34)와, 실질적인 HNO2(g) 농도를 얻을 수 있는 제3필터(36)와, 암모니아(NH3)를 포집하는 제4필터(38)를 구비한다. 이러한 제1~4포집 필터(32)(34)(36)(38)는 합성 수지재의 지지대(39)에 의하여 서로 일정 간격을 유지하며 지지된다.
그리고, 상기 입자성분 포집부(40)는 그 상부에 입자 성분을 포집하는 합성 섬유재인 테프론 필터(42)가 구비되고, 그 하부에는 입자로부터 해리된 니트래이트(Nitrate: NO3 -)이온을 포집하는 합성 섬유재인 나일론 필터(44)(46) 한 쌍이 소정 간격을 두고 구비된다.
한편, 상기 구성 요소들은 진공 펌핑부(50)에 장착되는 데, 상기 진공 펌핑부(50)는 공기를 장치 내부로 유입시키는 동력을 발생하는 진공 펌프(52)와, 전원을 공급 및 차단하며 작동 시간을 조절하는 전원 제어부(54)와, 유입되는 시료 공기의 유량을 제어하는 유량계(56) 및 유량 조절 밸브(58)를 구비한다.
본 발명의 바람직한 실시예로서, 필터의 두께가 47㎜이며, 장치의 직경이 7.5㎝이고, 높이가 유입 임팩터(10)와 가스 및 입자성분 포집부(20)(30)를 포함하여 15㎝ 정도로 되므로 소형으로 제작이 가능하다.
이와 같은 본 발명 장치는 유입 임팩터(10)를 통하여 유입된 시료 공기를 가스성분 포집부(30)를 거치게 하고, 다시 입자성분 포집부(40)를 통과시키기 위하여 전원을 공급한 후, 유량 조절 밸브(58)에 의하여 대략 10ℓ/분의 공기 유량으로 4~8 시간으로 원하는 시간만큼 타이머를 작동시키면 된다.
한편, 가스성분 포집부(30)에 장착되는 다공 금속 필터는, 제3도~제6도의 공정도에서와 같이, 그 제조 방법을 살펴보면 다음과 같다.
예를 들어, 제1필터(32)의 제조 방법은 제3도에서와 같이 다수의 통공(도시 생략)이 형성된 스테인레스 금속판(32)을 준비하고, 상기 금속판(32)은 그 위에 코팅시킬 화학물질이 포하된 혼합 용액(C), 즉, 0.1g NaCl에 90㎖ 초순수, 10㎖ 메탄올(CH3OH)의 혼합 용액이 담긴 용기(60) 내에 내장된다. 이 후 상기 용기(60)의 내부 압력을 대기압 보다 약 30% 정도 감압시킬 수 있도록 진공 펌핑 한다.
제4도에서 나타낸 바와 같이, 감압된 용기(60)를 초음파 세정기(70)에 넣고, 약 20분 동안 낮은 압력과 초음파(S) 진동을 가하여 제1필터(32) 내부에 있는 공기를 빼낸다.
상기 단계를 거쳐 코팅된 제1필터(32)를 제5도에서와 같이, 건조기(80)에 넣고, 청정 공기(A)를 대략 3ℓ/분 정도의 유량으로 통과시키며 1시간 가량 건조시킨다.
이러한 제조 과정을 거친 제1필터(32)는, 제6도와 같이 표면에 얇은 코팅막(32b)이 형성되어, HNO3(g) 가스 성분을 포집하는 데 이용된다.
나머지 제2~4필터(34)(36)(38)도 상기와 동일한 방법으로 제조되며, 제2,3필터(34)(36)는 1g Na2CO3, 1g 글리세린(C3H5(OH)3), 50㎖ 초순수, 50㎖ 메탄올(CH3OH)의 혼합 용액에서 코팅된다. 여기서, 제2필터(34)는 HNO3(g), SO2(g) 가스 성분을 포집하는 데 이용되고, 제3필터(36)는 NO2(g)에 의한 간섭을 측정하여 실질적인 HNO2(g) 농도를 얻을 수 있도록 제2필터(34)에서 뺀다.
그리고, 제4필터는 1g 시트릭 산(C6H8O7), 50㎖ 초순수, 50㎖ 메탄올(CH3OH)의 혼합 용액에서 코팅되는 것으로, 암모니아(NH3)를 포집하는 데 이용된다.
이와 같은 제조 과정을 거친 다공 금속 필터는 본 발명의 샘플링 장치에 투입되기 전에는 밀폐된 홀더에 넣어서 보관해야 한다.
이 후, 샘플링이 완료되면, 가스나 입자 성분이 포집된 필터들로부터 공기 오염도를 측정하기 위하여 불순물 들을 추출하여 분석하는 샘플링 후처리 작업을 진행하게 된다.
특히, 샘플링 후처리 작업 중에서 불순물을 추출하는 방법은, 제1필터(32)를 초순수 20㎖에 넣고 용해시켜 추출하며, 또한 제2,3필터(34)(36)는 0.1% 과산화수소(H2O2) 15㎖에, 제4필터(38)는 초순수 20㎖에 넣고 각각 용해시킨다.
그리고, 입자 성분을 포집하는 테프론 필터(42)는 2㎖ 에탄올(C2H5OH)과 0.1% 과산화 수소(H2O2) 10㎖에, 또한 나일론 필터(44)(46)는 초순수 10㎖에 넣고 각각 용해시킨다.
이 때, 샘플인 상기 필터들을 담은 용기는 초음파 세정기에 넣어져 약 20분간 작동되어지고, 분석을 할 때까지는 4℃로 냉장보관 된다.
최종적으로, 추출 불순물이 든 용액은 HIPC(High Performance Ion Chromatograpy)를 이용하면 오염도를 분석할 수 있다.
상술한 본 발명에 의하면, 다공의 금속판 필터를 채용함에 따라 가스와 입자 성분을 분리하여 공기 중의 오염 물질을 포집할 수 있으므로 샘플링의 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
또한, 청정을 요하는 공간의 파티클 및 이온 등에 의한 오염도를 상당히 정확하게 평가할 수 있다.
Claims (21)
- 샘플링 될 시료 공기를 소정 크기의 미세 입자로 분쇄하여 유입시키는 유입 임팩터와, 유입된 시료 공기의 흐름이 균일하게 될 수 있도록 직선 상태로 안내하는 공기흐름 유지대와, 유입된 시료 공기 중에서 가스 성분만을 흡착시키는 복수의 포집 필터가 장착된 가스성분 포집부와, 상기 가스성분 포집부를 통과한 시료 공기 중에서 입자 성분을 흡착하는 복수의 필터가 장착된 입자성분 포집부와, 소정의 시간 내에 소정량의 시료 공기가 유입될 수 있도록 펌핑 작동되는 진공 펌핑부를 구비하는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 샘플링 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 유입 임팩터는 다수의 유입구를 통하여 밀폐 공간으로 유입된 공기 입자를 소정으리 크기로 걸러 낼 수 있는 복수의 노즐과, 상기 노즐을 통과한 시료 공기를 다시 미세입자로 분쇄시킬 수 있도록 노즐 구멍과 대향된 위치에 장착된 임팩션 링을 구비하는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 샘플링 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 유입 임팩터는 시료 공기 입자의 크기를 2.5㎛ 이하로 걸러내는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 샘플링 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 가스성분 포집부는, 오염 농도를 선택적으로 평가하고자 하는 대상 화학 물질이 코팅되고, 다수의 통공이 형성된 금속재의 필터들을 소정 간격을 두고 구비하는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 샘플링 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 가스성분 포집부는 순차로 상부에서 하부로, HNO3(g) 가스 성분을 포집하는 제1필터와, HNO3(g), SO2(g) 가스 성분을 포집하는 제2필터와, 실질적인 HNO2(g) 농도를 얻을 수 있는 제3필터와, 암모니아(NH3)를 포집하는 제4필터를 구비하는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 샘플링 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 입자성분 포집부는 그 상부에 입자 성분을 포집하고, 하부에는 입자로부터 해리된 이온을 포집하는 합성 섬유재의 필터들을 소정 간격을 두고 구비하는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 샘플링 장치.
- 제6항에 있어서, 상기 입자성분 포집부는 그 상부에 테프론 필터와, 그 하부에 한 쌍의 나일론 필터를 구비하는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 샘플링 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 진공 펌핑부는 공기를 내부로 유입시키는 동력을 발생하는 진공 펌프와, 전원을 공급 및 차단하며 작동 시간을 조절하는 전원 제어부와, 유입되는 시료 공기의 유량을 제어하는 유량계 및 유량 조절 밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 샘플링 장치.
- 코팅시킬 화학물질이 담긴 용기 내부에 포집 필터를 내장하는 단계와, 상기 용기의 내부 압력을 대기압 보다 약 30% 정도 감압시키는 단계와, 감압된 용기를 초음파 세정기에 넣고 소정 시간 동안 낮은 압력과 초음파 진동을 가하여 포집 필터 내부에 있는 공기를 빼내는 단계와, 상기 단계를 거쳐 코팅된 포집 필터를 건조기에 넣고, 청정 공기를 일정량 통과시켜 소정 시간 건조시키는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 포집 필터의 제조 방법.
- 제9항에 있어서, 상기 포집 필터는 가스 성분만을 별도로 포집할 수 있는, 다수의 통공이 형성된 금속재로 이루어진 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 포집 필터의 제조 방법.
- 제10항에 있어서, 상기 포집 필터는 HNO3(g) 가스 성분을 포집하는 제1필터와, HNO3(g), SO2(g) 가스 성분을 포집하는 제2필터와, 실질적인 HNO2(g) 농도를 얻을 수 있는 제3필터와, 암모니아(NH3)를 포집하는 제4필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 포집 필터의 제조 방법.
- 제11항에 있어서, 상기 제1필터는 0.1g NaCl에 90㎖ 초순수, 10㎖ 메탄올(CH3OH)의 혼합 용액에서 코팅되는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 포집 필터의 제조 방법.
- 제11항에 있어서, 상기 제2,3필터는 1g Na2CO3, 1g 글리세린(C3H5(OH)3), 50㎖ 초순수, 50㎖ 메탄올(CH3OH)의 혼합 용액에서 코팅되는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 포집 필터의 제조 방법.
- 제11항에 있어서, 상기 제4필터는 1g 시트릭 산(C6H8O7), 50㎖ 초순수, 50㎖ 메탄올(CH3OH)의 혼합 용액에서 코팅되는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 포집 필터의 제조 방법.
- 제9항에 있어서, 상기 건조시키는 단계는 포집 필터에 청정 공기량을 3ℓ/분으로 통과시켜 1시간 동안 건조시키는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 포집 필터의 제조 방법.
- 시료 공기를 다수의 포집 필터에 통과시킬 때 가스 및 입자 성분의 공기 오염물을 분리하여 포집하는 샘플링 단계와, 상기 포집 필터들에 흡착된 공기 오염 물질을 소정의 용액에 용해시켜 추출하는 오염물 추출 단계와, 상기 포집 필터들로부터 추출된 오염물의 농도를 이온 분석기를 이용하여 분석하는 분석 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 샘플링 후처리 방법.
- 제16항에 있어서, 상기 포집 필터는 가스 성분만을 별도로 포집할 수 있는, 다수의 통공이 형성된 금속재 필터를 포함하는 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 샘플링 후처리 장치.
- 제17항에 있어서, 상기 포집 필터는 HNO3(g) 가스 성분을 포집하는 제1필터와, HNO3(g), SO2(g) 가스 성분을 포집하는 제2필터와, 실질적인 HNO2(g) 농도를 얻을 수 있는 제3필터와, 암모니아(NH3)를 포집하는 제4필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 샘플링 후처리 방법.
- 제18항에 있어서, 상기 불순물 추출 단계는, 상기 제1필터를 초순수 20㎖에, 제2,3필터를 0.1% 과산화수소(H2O2) 15㎖에, 제4필터를 초순수 20㎖에 각각 용해시키는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 샘플링 후처리 방법.
- 제16항에 있어서, 상기 포집 필터는 입자 성분을 포집하는 테플론 필터와, 입자로부터 해리된 이온을 포집하는 나일론 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 샘플링 후처리 방법.
- 제20항에 있어서, 상기 불순물 추출 단계는 테프론 필터를 2㎖ 에탄올(C2H5OH)과 0.1% 과산화수소(H2O2) 10㎖에, 나일론 필터를 초순수 10㎖에 각각 용해시키는 것을 특징으로 하는 공기 오염도 분석용 샘플링 후처리 방법.
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