KR20040012723A - Production device for organic el display and production method for organic el display - Google Patents
Production device for organic el display and production method for organic el display Download PDFInfo
- Publication number
- KR20040012723A KR20040012723A KR10-2003-7011172A KR20037011172A KR20040012723A KR 20040012723 A KR20040012723 A KR 20040012723A KR 20037011172 A KR20037011172 A KR 20037011172A KR 20040012723 A KR20040012723 A KR 20040012723A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- organic
- display
- layer
- chamber
- sealing
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 45
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 145
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 75
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 16
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 14
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 108
- 239000005394 sealing glass Substances 0.000 abstract description 36
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 84
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 20
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 16
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 9
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 7
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 2
- 206010027146 Melanoderma Diseases 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000012860 organic pigment Substances 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/87—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K59/871—Self-supporting sealing arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B33/00—Electroluminescent light sources
- H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
Abstract
글래스 기판2 상에 유기EL 디스플레이의 양극층3, 정공수송층4, 유기발광층5, 음극층6의 각 층을 성막한 후, 유기발광층5 등 유기EL 디스플레이가 되는 각 층을 실링하기 위한 평판 모양의 실링 글래스300을 글래스 기판2 상에 재치하여 고정한다. 이와 같이 1장의 글래스 기판2에 대하여 1장의 실링 글래스300을 부착함으로써 글래스 기판2에 실링 글래스300을 부착할 때에 얼라인먼트가 용이하게 된다.After depositing each layer of the anode layer 3, the hole transport layer 4, the organic light emitting layer 5, and the cathode layer 6 of the organic EL display on the glass substrate 2, a flat plate shape for sealing each layer of the organic EL display such as the organic light emitting layer 5 The sealing glass 300 is placed on the glass substrate 2 and fixed. Thus, by attaching one sealing glass 300 to one glass substrate 2, alignment becomes easy when attaching the sealing glass 300 to glass substrate 2. As shown in FIG.
Description
유기EL(Electro Luminescence) 디스플레이는, 현재 플랫 패널 디스플레이(flat panel display)의 주류가 되어 있는 액정 디스플레이(液晶 display)에 비하여 여러 가지 우위성을 구비하고 있어 장래에 이 액정 디스플레이를 대체할 수 있는 것이 예상되는 차세대 플랫 패널 디스플레이로서 주목을 모으고 있다.Organic EL (Electro Luminescence) displays have various advantages over liquid crystal displays, which are currently the mainstream of flat panel displays, and are expected to be able to replace these liquid crystal displays in the future. It is attracting attention as the next generation flat panel display.
도6은 일반적인 유기EL 디스플레이의 개략적인 구성을 나타내는 사시도이다.6 is a perspective view showing a schematic configuration of a general organic EL display.
이 유기EL 디스플레이1은, 투명한 글래스 기판(glass 基板)2를 구비하고 있고, 이 글래스 기판2 상에 복수의 양극층(陽極層)3이 ITO 등의 투명한 도전성(導電性) 재료에 의하여 각각 소정의 간격을 두고 스트라이프(stripe) 모양으로 설치되어 있다. 각 양극층3 상에는, 직류전압(直流電壓)을 인가(印加)함으로써 정공(正孔)을 공급하는 정공수송층(正孔輸送層)4, 미량(微量)의 유기색소(有機色素)를 도우펀트(dopant)로서 포함하는 유기발광층(有機發光層)5, 직류전압을 인가함으로써 전자(電子)를 공급하는 전자수송층(電子輸送層)6이 순차적으로 글래스 기판2 상에 이 순서로 적층(積層)되어 있다. 최상층이 되는 전자수송층6 상에는, 도전성 재료로 이루어지는 복수의 음극층7이 각각 소정의 간격을 두고 각 양극층3이 연장되는 방향과는 직교하는 방향으로 연장되는 스트라이프 모양으로 설치되어 있다.The organic EL display 1 includes a transparent glass substrate 2, on which the plurality of anode layers 3 are respectively defined by a transparent conductive material such as ITO. It is installed in a stripe shape at intervals of. On each anode layer 3, a dopant is formed with a hole transport layer 4 for supplying holes and a small amount of organic dyes by applying a direct current voltage. The organic light emitting layer 5 included as a dopant and the electron transporting layer 6 for supplying electrons by applying a direct current voltage are sequentially stacked on the glass substrate 2 in this order. It is. On the electron transport layer 6 serving as the uppermost layer, a plurality of cathode layers 7 made of a conductive material are provided in a stripe shape extending in a direction orthogonal to the direction in which the anode layers 3 extend at predetermined intervals, respectively.
글래스 기판2 상의 각 양극층3은 각각 직류전원8의 양극에 접속되어 있고 또한 최상층의 각 음극층7은 각각 직류전원8의 음극에 접속되어 있다.Each anode layer 3 on the glass substrate 2 is connected to the anode of the DC power source 8, and each cathode layer 7 of the uppermost layer is connected to the cathode of the DC power source 8, respectively.
상기 구성의 유기EL 디스플레이1에 있어서의 각 양극층3과 음극층7의 사이에 직류전원8에 의하여 직류전압을 인가하면, 직류전압이 인가된 양극층3 상에 적층된 정공수송층4로부터 정공이 유기발광층5 내로 주입(注入)되고 또한 직류전압이 인가된 음극층7의 하층의 전자수송층6으로부터 전자가 유기발광층5 내로 주입된다. 정공수송층4로부터의 정공 및 전자수송층6으로부터의 전자가 각각 주입된 유기발광층5 내에서는, 각 정공과 전자가 재결합하고, 이 재결합에 의하여 발생하는 에너지가 유기발광층5에 포함된 유기색소에 흡수되어 발광(發光)한다. 유기발광층5에서 발생하는 빛은 정공수송층4, 양극층3, 글래스 기판2를 순차적으로 투과(透過)하여 글래스 기판2의 이면(裏面)(도6에 있어서 하측)으로부터 출사(出射)된다.When a DC voltage is applied between the anode layer 3 and the cathode layer 7 in the organic EL display 1 having the above configuration by the DC power supply 8, holes are discharged from the hole transport layer 4 stacked on the anode layer 3 to which the DC voltage is applied. Electrons are injected into the organic light emitting layer 5 from the electron transport layer 6 below the cathode layer 7 which is injected into the organic light emitting layer 5 and to which the DC voltage is applied. In the organic light emitting layer 5 in which the holes from the hole transport layer 4 and the electrons from the electron transport layer 6 are respectively injected, the holes and the electrons recombine, and the energy generated by the recombination is absorbed by the organic pigment contained in the organic light emitting layer 5 It emits light. Light generated in the organic light emitting layer 5 is sequentially transmitted through the hole transport layer 4, the anode layer 3, and the glass substrate 2, and is emitted from the rear surface of the glass substrate 2 (lower side in FIG. 6).
이 유기EL 디스플레이1에서는, 글래스 기판2 상에 형성된 복수의 양극층3과 최상층에 설치된 복수의 음극층7이 각각 직교하여 교차하고, 각 교차부분마다 직류전압의 인가를 TFT 등에 의하여 조정함으로써 각 교차부분을 표시(表示)의 1단위로 하는 화상광(畵像光)을 글래스 기판2의 외측에 형성할 수 있다.In this organic EL display 1, the plurality of anode layers 3 formed on the glass substrate 2 and the plurality of cathode layers 7 provided on the uppermost layer cross each other at right angles, and each cross section is adjusted by adjusting the application of a DC voltage by TFT or the like. Image light having a portion as one unit of the display can be formed outside the glass substrate 2.
유기EL 디스플레이1은, 정공수송층4 상에 적층된 유기발광층5는 수분(水分)에 매우 약하고 대기(大氣)에 접하는 것만으로 다크 스폿(dark spot)이라고 불리우는 흑점(黑點)이 되어 화상광의 비표시결함(非表示缺陷)이 되어 나타나기 때문에, 진공(眞空) 또는 불활성 가스(不活性 gas)의 조건으로 되어 있는 챔버(chamber) 내에서 각 층의 성막공정(成膜工程)을 한 후에 그대로 대기에 접촉하지 않는 상태를 유지하여 도7에 나타나 있는 바와 같이 실링 캡9를 설치하여 유기발광층5 등을 대기와 차단한 상태로 한다. 이에 따라 수분에 의한 다크 스폿의 발생이 방지된다.In the organic EL display 1, the organic light emitting layer 5 laminated on the hole transport layer 4 is very weak to moisture and becomes a black spot called a dark spot only by contacting the atmosphere, and thus the ratio of image light is reduced. Since it appears as a display defect, the film is formed in a chamber under vacuum or an inert gas, and the atmosphere is left as it is. The sealing cap 9 is provided as shown in FIG. 7 to keep the organic light emitting layer 5 and the like off from the air while maintaining the state of not being in contact with the substrate. This prevents the occurrence of dark spots due to moisture.
도8은 유기EL 디스플레이를 제조하기 위한 유기EL제조장치의 개략적인 구성을 나타내는 구성도이다.8 is a configuration diagram showing a schematic configuration of an organic EL manufacturing apparatus for producing an organic EL display.
이 유기EL제조장치10은, 글래스 기판2 상에 유기발광층5 등의 성막공정을 하는 성막실(成膜室)11과 성막 후의 글래스 기판2 상에 실링 캡9를 설치하는 실링실(sealing 室)12를 구비하고, 성막실11 및 실링실12는 연락통로(連絡通路)13에 의하여 연결되어 있다.The organic EL manufacturing apparatus 10 includes a film forming chamber 11 for forming an organic light emitting layer 5 and the like on the glass substrate 2 and a sealing chamber for providing a sealing cap 9 on the glass substrate 2 after film formation. 12 and the deposition chamber 11 and the sealing chamber 12 are connected by a communication passage 13.
성막실11은, 반송로봇(搬送 robot)110a를 구비하는 반송실(搬送室)110을 중앙부에 구비하고, 이 반송실110으로부터 방사상(放射狀)으로 글래스 기판2를 스톡(stock)하는 기판 스톡실(基板 stock室)111, 성막 전의 글래스 기판2에 대하여 세정(洗淨) 등의 전처리(前處理)를 하는 전처리실(前處理室)112, 양극층3, 정공수송층4, 유기발광층5, 전자수송층6, 음극층7의 각 층을 글래스 기판2에 증착(蒸着)하는 복수의 증착실(蒸着室)113∼116이 각각 소정의 간격을 두고 배치되어 있다. 중앙에 배치되는 반송실110과 기판 스톡실111, 전처리실112 및 각 증착실113∼116의 사이에는 각각 가스의 유통상태를 개폐(開閉)할 수 있는 게이트 밸브(gate valve)111a∼116a가 설치되어 있다. 또한 기판 스톡실111의 외부측에는 글래스 기판2를 반입할 때에 내부를 대기압(大氣壓)의 상태로 하기 위한 게이트 밸브111b, 반송실110과 연락통로13의 사이에는 성막 후의 글래스 기판2를 실링실12측으로 반송할 때에 각 공간의 가스를 통하는 상태로 하는 게이트 밸브13a가 각각 설치되어 있다.The film formation chamber 11 includes a transfer chamber 110 having a transfer robot 110a at its center portion, and a substrate stock for stocking the glass substrate 2 radially from the transfer chamber 110. Pretreatment chamber 112, pretreatment chamber 112 for pretreatment such as cleaning of glass substrate 2 before film formation, anode layer 3, hole transport layer 4, organic light emitting layer 5, A plurality of deposition chambers 113 to 116 for depositing respective layers of the electron transport layer 6 and the cathode layer 7 on the glass substrate 2 are arranged at predetermined intervals. Gate valves 111a to 116a are provided between the transfer chamber 110, the substrate stock chamber 111, the pretreatment chamber 112, and the deposition chambers 113 to 116 disposed at the center, respectively, to open and close the flow of gas. It is. In addition, the gate valve 111b for bringing the glass substrate 2 into the atmospheric pressure state when the glass substrate 2 is brought into the outer side of the substrate stock chamber 111, and the glass substrate 2 after film formation is moved to the sealing chamber 12 side between the transfer chamber 110 and the communication passage 13. At the time of conveyance, the gate valve 13a which is made to pass the gas of each space is provided, respectively.
실링실12는, 반송로봇120a를 구비하는 반송실120을 중앙부에 구비하고, 이 반송실120으로부터 방사상으로 글래스 기판2 상에 형성된 유기발광층5 등 각 층의 상태를 검사하는 검사실(檢査室)121, 글래스 기판2 상에 형성된 각 층 상에 실링 캡9를 설치하는 실링 캡 고정실(sealing cap固定室)122, 실링 캡9를 스톡하는 캡 스톡실(cap stock 室)123, 실링 캡9가 설치된 글래스 기판2를 외부로 반출하는 배출실(排出室)124, 예비용으로 구비되어 있는 예비실(豫備室)125, 126이 각각 소정의 간격을 두고 배치되어 있다. 중앙에 배치된 반송실120과 검사실121, 실링 캡 고정실122, 캡 스톡실123, 예비실125, 126, 배출실124의 사이에는 각각 가스의 유통상태를 개폐할 수 있는 게이트 밸브121a∼126a가 설치되어 있다. 또한 캡 스톡실123에는 실링 캡9를 캡 스톡실123 내에 스톡하기 위하여 반입할 때에 내부를 대기압과 동일하게 하기 위한 게이트 밸브123b가 설치되어 있고 또한 배출실124에는 실링 캡9가 부착된 글래스 기판2를 외부로 반출할 때에 내부를 대기압과 동일하게 하기 위한 게이트 밸브124b가 설치되어 있다.The sealing chamber 12 includes a transfer chamber 120 including the transfer robot 120a at a central portion thereof, and an inspection chamber 121 for inspecting a state of each layer such as an organic light emitting layer 5 formed on the glass substrate 2 radially from the transfer chamber 120. A sealing cap fixing chamber 122 for providing a sealing cap 9 on each layer formed on the glass substrate 2, a cap stock chamber 123 for stocking the sealing cap 9, and a sealing cap 9 provided. A discharge chamber 124 for carrying out the glass substrate 2 to the outside and preliminary chambers 125 and 126 provided for reserve are arranged at predetermined intervals, respectively. Gate valves 121a to 126a for opening and closing the flow of gas are respectively provided between the transfer chamber 120, the inspection chamber 121, the sealing cap fixing chamber 122, the cap stock chamber 123, the spare chambers 125 and 126, and the discharge chamber 124 disposed at the center. It is installed. The cap stock chamber 123 is equipped with a gate valve 123b for bringing the sealing cap 9 into the cap stock chamber 123 so that the inside thereof is equal to atmospheric pressure, and the discharge chamber 124 has a glass substrate with a sealing cap 9 attached thereto. A gate valve 124b is provided to make the inside equal to atmospheric pressure when the container is taken out to the outside.
또한 성막실11의 각 실110∼116, 연락통로13, 실링실12의 각 실120∼126에는, 도면에 나타나 있지 않은 가스 공급라인 및 가스 배출라인이 각각 설치되어 있어 각 실의 내부를 각각 원하는 가스가 충전(充塡)된 원하는 압력상태로 조정할 수 있도록 되어 있다.In addition, each of the chambers 110 to 116 of the film formation chamber 11, the communication passages 13, and the chambers 120 to 126 of the sealing chamber 12 are provided with gas supply lines and gas discharge lines not shown in the drawings, respectively. It is possible to adjust to a desired pressure state filled with gas.
이 유기EL제조장치10에 의하여 유기EL 디스플레이를 제조하기 위해서는, 기판 스톡실111에 스톡된 글래스 기판2를 반송실110의 반송로봇110a에 의하여 전처리실112로 반송하여 소정의 전처리를 한 후, 각 증착실l13∼116으로 반송하여 소정의 가스가 소정의 압력으로 충전된 조건하에 있어서, 양극층3, 정공수송층4, 유기발광층5, 전자수송층6, 음극층7의 각 층을 순차적으로 적층한다. 이 사이에 반송실110과 각 실111∼116의사이에 설치된 각각의 게이트 밸브111a∼116a를 개폐하여, 도면에 나타나 있지 않은 가스 공급라인 및 가스 배출라인으로부터 소정의 가스의 유출 및 유입이 이루어져 각 실의 가스압력이 조정되지만 글래스 기판2가 대기에 접촉하지 않도록 되어 있다.In order to manufacture the organic EL display by the organic EL manufacturing apparatus 10, the glass substrate 2 stocked in the substrate stock chamber 111 is transferred to the pretreatment chamber 112 by the transfer robot 110a of the transfer chamber 110, and then subjected to a predetermined pretreatment. The layers of the anode layer 3, the hole transport layer 4, the organic light emitting layer 5, the electron transport layer 6, and the cathode layer 7 are sequentially stacked under conditions in which they are transported to the deposition chambers 13 to 116 and filled with a predetermined gas at a predetermined pressure. In the meantime, each gate valve 111a to 116a provided between the transfer chamber 110 and each of the chambers 111 to 116 is opened and closed, and a predetermined gas flows out and flows in from the gas supply line and the gas discharge line not shown. The gas pressure is adjusted, but the glass substrate 2 is not in contact with the atmosphere.
성막실11에서 각 층이 적층된 글래스 기판2는, 연락통로13을 통하여 기밀(氣密) 상태를 유지한 상태 그대로 실링실12로 반송되고, 이 실링실12의 반송실120에 구비된 반송로봇120a에 의하여 검사실121로 반송되어 소정의 검사가 이루어진 후, 실링 캡 고정실122로 반송되어 캡 스톡실123에 스톡된 실링 캡9가 글래스 기판2 상의 소정의 위치에 설치된다.The glass substrate 2 in which each layer is laminated in the film formation chamber 11 is conveyed to the sealing chamber 12 as it is, while maintaining the airtight state through the communication passage 13, and the conveying robot provided in the conveying chamber 120 of the sealing chamber 12. After being conveyed to the inspection chamber 121 by 120a and a predetermined | prescribed test | inspection is carried out, the sealing cap 9 conveyed to the sealing cap fixing chamber 122 and stocked in the cap stock chamber 123 is installed in the predetermined position on the glass substrate 2. As shown in FIG.
그리고 실링 캡9가 설치되어 유기발광층5 등 각 층이 실링(sealing) 상태가 된 글래스 기판2는, 배출실124로부터 외부로 반출되어 유기EL 디스플레이가 제조된다.The glass substrate 2 in which the sealing cap 9 is provided and each layer such as the organic light emitting layer 5 is in a sealing state is taken out from the discharge chamber 124 to produce an organic EL display.
유기EL 디스플레이에 사용되는 유기발광층5는, 미량의 수분이 포함되어 있으면 다크 스폿의 발생원인이 되기 때문에 수분을 포함하지 않은 챔버 내에서 성막공정을 한 후, 대기 중으로 꺼내지 않고 그대로 수분을 포함하지 않는 상태로 하여 각 층 상을 덮도록 실링 캡9가 설치된다. 실링 캡9는, 글래스 기판2와의 접촉면에 UV경화성의 접착제가 도포(塗布)되어 글래스 기판2측으로부터 UV광이 조사되어 글래스 기판2 상에 고정된다.The organic light emitting layer 5 used in the organic EL display may cause dark spots if a small amount of moisture is contained. Therefore, after forming a film in a chamber containing no moisture, the organic light emitting layer 5 does not contain moisture as it is and does not contain moisture as it is. The sealing cap 9 is provided so that it may cover each layer on it. The sealing cap 9 is coated with a UV-curable adhesive on the contact surface with the glass substrate 2, and is irradiated with UV light from the glass substrate 2 side to be fixed on the glass substrate 2.
유기EL 디스플레이는, 상기한 바와 같이 수분이 제거된 상태에서 제작되어야 하고, 그 제작의 양산성(量産性)을 향상시키기 위해서는, 큰 면적의 글래스 기판을 사용하여 동시에 복수의 유기EL 디스플레이를 위한 성막공정을 하고, 각 유기EL 디스플레이마다 실링 캡을 설치하고, 그 후에 복수의 유기EL 디스플레이가 형성된 큰 면적의 글래스 기판을 각 유기EL 디스플레이가 형성된 부분마다 스크라이브 라인을 형성하고, 이 스크라이브 라인에 휨 모멘트(bending moment)를 작용시켜 각 유기EL 디스플레이로 절단함으로써 동시에 복수의 유기EL 디스플레이를 제조하는 것이 필요하다.The organic EL display must be manufactured in a state where water is removed as described above, and in order to improve the mass productivity of the fabrication, a film for a plurality of organic EL displays is simultaneously formed using a large glass substrate. The process is carried out, a sealing cap is provided for each organic EL display, and a large area glass substrate on which a plurality of organic EL displays is formed is then formed on a scribe line for each organic EL display formed portion, and a bending moment is provided on the scribe line. It is necessary to produce a plurality of organic EL displays at the same time by cutting (bending moment) into each organic EL display.
그러나 이 방법에서는 글래스 기판2에 있어서, 실링 캡9가 설치된 측과 같은 면의 측에 스크라이브 라인을 형성하는 경우에 실링 캡9가 있기 때문에 실링 캡9에 근접하는 위치에 스크라이브 라인을 형성하는 것이 곤란하여 실링 캡9로부터 소정의 거리 떨어진 위치에 스크라이브 라인을 형성하여야만 한다는 문제가 있다.In this method, however, when the scribe line is formed on the same side of the surface where the sealing cap 9 is provided on the glass substrate 2, it is difficult to form a scribe line at a position close to the sealing cap 9. Therefore, there is a problem that a scribe line must be formed at a predetermined distance away from the sealing cap 9.
또한 글래스 기판2에 있어서, 실링 캡9가 설치된 측과 반대측에 스크라이브 라인을 형성하는 경우에는, 글래스 기판2로부터 소정의 높이로 돌출된 실링 캡9 때문에 글래스 기판2를 안정적으로 지지하는 것이 곤란하여 안정하게 스크라이브 라인을 형성하는 것이 용이하지 않다. 또한 스크라이브 라인이 형성된 반대측에 있어서의 실링 캡9가 글래스 기판2와 접촉하는 면에는, 경화된 접착제가 형성되고 있어 이 접착제의 영향에 의하여 스크라이브 라인으로부터 절단(브레이크(brake))되는 방향이 반드시 원하는 방향으로 진행되지 않아 원하는 절단면이 얻어질 수 없다는 문제도 있다.In addition, in the glass substrate 2, when the scribe line is formed on the side opposite to the side where the sealing cap 9 is provided, it is difficult to stably support the glass substrate 2 because of the sealing cap 9 protruding from the glass substrate 2 to a predetermined height. It is not easy to form a scribe line. Moreover, the hardened adhesive agent is formed in the surface which the sealing cap 9 on the opposite side in which the scribe line was formed contact | connects with the glass substrate 2, and the direction which cuts (brakes) from the scribe line by the influence of this adhesive is necessarily desired. There is also a problem that the desired cutting surface cannot be obtained because it does not proceed in the direction.
본 발명은 상기 문제를 고려하여 이루어진 것으로서, 유기발광층 등각 층을 덮는 실링 캡이 각 층을 덮은 상태에서 복수 설치된 글래스 기판에 있어서, 각 유기EL 디스플레이로 절단하기 위하여 원하는 위치에 확실하게 스크라이브 라인을 형성할 수 있는 유기EL 디스플레이 제조장치 및 유기EL 디스플레이 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and in a glass substrate provided with a plurality of sealing caps covering the organic light emitting layer conformal layers covering each layer, a scribe line is surely formed at a desired position for cutting into each organic EL display. An object of the present invention is to provide an organic EL display manufacturing apparatus and an organic EL display manufacturing method.
본 발명은, 글래스 기판(glass 基板) 상에 형성되는 유기발광층(有機發光層)을 실링부재(sealing 部材)에 의하여 실링(sealing)하는 구조를 구비하는 유기EL 디스플레이(有機EL display)를 제조하는 유기EL 디스플레이 제조장치 및 유기EL 디스플레이의 제조방법에 관한 것이다.The present invention provides an organic EL display having a structure in which an organic light emitting layer formed on a glass substrate is sealed by a sealing member. An organic EL display manufacturing apparatus and a method for producing an organic EL display.
도1은 본 발명의 유기EL 디스플레이 제조장치의 개략적인 구성을 나타내는 모식적인 평면도이다.1 is a schematic plan view showing a schematic configuration of an organic EL display manufacturing apparatus of the present invention.
도2는 스크라이브 실에 구비되는 글래스 커터를 나타내는 측면도이다.2 is a side view showing a glass cutter provided in the scribe seal.
도3(a)∼(e)는, 각각 각 층이 성막된 글래스 기판에 실링 글래스를 부착하여 각 유기EL 디스플레이마다 절단하는 공정을 공정마다 설명하는 단면도이다.3 (a) to 3 (e) are cross-sectional views illustrating the steps of attaching the sealing glass to the glass substrate on which each layer is formed and cutting each organic EL display for each step.
도4는 본 발명의 다른 유기EL 디스플레이 제조장치의 개략적인 구성을 나타내는 모식적인 평면도이다.4 is a schematic plan view showing a schematic configuration of another organic EL display manufacturing apparatus of the present invention.
도5는 본 발명의 또 다른 유기EL 디스플레이 제조장치의 개략적인 구성을 나타내는 모식적인 평면도이다.5 is a schematic plan view showing a schematic configuration of another organic EL display manufacturing apparatus of the present invention.
도6은 유기EL 디스플레이의 개략적인 구성을 나타내는 사시도이다.6 is a perspective view showing a schematic configuration of an organic EL display.
도7은 실링 캡을 장착한 유기EL 디스플레이를 나타내는 단면도이다.Fig. 7 is a sectional view showing an organic EL display with a sealing cap.
도8은 종래의 유기EL 디스플레이 제조장치의 개략적인 구성을 나타내는 모식적인 평면도이다.Fig. 8 is a schematic plan view showing a schematic configuration of a conventional organic EL display manufacturing apparatus.
상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 유기EL 디스플레이 제조장치는, 진공(眞空) 또는 불활성 가스 분위기(不活性 gas 雰圍氣) 중에서 양극층(陽極層), 정공수송층(正孔輸送層), 유기발광층(有機發光層), 전자수송층(電子輸送層), 음극층(陰極層)의 각 층을 취성기판(脆性基板) 상에 각 유기EL 디스플레이(有機EL display)가 되는 부분마다 성막(成膜)하는 성막수단(成膜手段)과, 진공 또는 불활성 가스 분위기 중에서 상기 취성기판 상의 각 층을 상기 부분마다 기밀(氣密) 상태로 실링(sealing)하는 실링부재(sealing 部材)를 설치하는 실링수단(sealing 手段)을 구비하고, 상기 취성기판을 각 유기EL 디스플레이로 절단하기 위한 소정의 부분 영역에 스크라이브 라인(scribe line)이 실링 전에 형성되어 있고, 상기 실링부재는, 상기 취성기판 상에 형성된 각 유기EL 디스플레이가 되는 부분마다 적층된 각 층을 각각 수납하는 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the organic EL display manufacturing apparatus of the present invention is an anode layer, a hole transport layer, an organic light emitting layer in a vacuum or inert gas atmosphere. Each layer of an organic EL display, an electron transport layer, and a cathode layer is formed on each of the portions of the organic EL display on a brittle substrate. Sealing means for providing a film forming means, and a sealing member for sealing each layer on the brittle substrate in an airtight state for each part in a vacuum or inert gas atmosphere; and a scribe line is formed before sealing in a predetermined partial region for cutting the brittle substrate into each organic EL display. It is characterized in that a concave portion is formed for accommodating each of the stacked layers for each portion of the organic EL display formed on the brittle substrate.
상기 본 발명의 유기EL 디스플레이 제조장치에 있어서, 상기 성막수단에 의하여 각 층이 성막된 취성기판 상에 진공 또는 불활성 가스 분위기중에서 상기 취성기판을 각 유기EL 디스플레이로 절단하기 위한 소정의 부분 영역에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 수단(scribe 手段)을 구비하는 것이 바람직하다.In the organic EL display manufacturing apparatus of the present invention, a scribe is applied to a predetermined partial region for cutting the brittle substrate into each organic EL display in a vacuum or inert gas atmosphere on the brittle substrate on which each layer is formed by the film forming means. It is preferable to have scribe means for forming a line.
상기 본 발명의 유기EL 디스플레이 제조장치에 있어서, 상기 실링부재는, 상기 스크라이브 수단에 의하여 형성되는 스크라이브 라인의 위치에 대응하여 미리 스크라이브 라인이 형성되어 있는 1장의 평판(平板) 모양으로 구성되어 있는 것이 바람직하다.In the organic EL display manufacturing apparatus of the present invention, the sealing member is configured to have a flat plate shape in which a scribe line is formed in advance corresponding to the position of the scribe line formed by the scribe means. desirable.
또한 상기 본 발명의 유기EL 디스플레이 제조장치에 있어서, 진공 또는 불활성 가스 분위기 중에서 양극층, 정공수송층, 유기발광층, 전자수송층, 음극층의 각 층을 취성기판 상에 각 유기EL 디스플레이가 되는 부분마다 성막하는 성막공정과, 진공 또는 불활성 가스 분위기 중에서 상기 취성기판 상의 각 층을 상기 부분마다 기밀상태로 실링하는 실링부재를 부착하는 실링부재 부착공정(sealing 部材 附着工程)을 구비하고, 상기 취성기판을 각 유기EL 디스플레이로 절단하기 위한 소정의 부분 영역에 스크라이브 라인이 실링부재 부착공정 전에 형성되어 있고, 상기 실링부재는, 상기 취성기판 상에 형성된 각 유기EL 디스플레이가 되는 부분마다 적층된 각 층을 각각 수납하는 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In the organic EL display manufacturing apparatus of the present invention, each layer of the anode layer, the hole transport layer, the organic light emitting layer, the electron transport layer, and the cathode layer in a vacuum or inert gas atmosphere is formed for each organic EL display on the brittle substrate. And a sealing member attaching step of attaching a sealing member for sealing each layer on the brittle substrate in the airtight state for each part in a vacuum or inert gas atmosphere, wherein each of the brittle substrates is provided. A scribe line is formed in the predetermined partial region for cutting into an organic EL display before the sealing member attaching process, and the sealing member stores each layer laminated for each portion to be each organic EL display formed on the brittle substrate. Recess is formed It is characterized by.
상기 본 발명의 유기EL 디스플레이 제조장치에 있어서, 상기 성막공정에 있어서 각 층이 성막되는 취성기판 상에 진공 또는 불활성 가스 분위기 중에서 상기 취성기판을 각 유기EL 디스플레이로 절단하기 위한 소정의부분 영역에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정(scribe 工程)을 구비하는 것이 바람직하다.In the organic EL display manufacturing apparatus of the present invention, a scribe is applied to a predetermined partial region for cutting the brittle substrate into each organic EL display in a vacuum or inert gas atmosphere on the brittle substrate on which each layer is formed in the film forming process. It is preferable to have a scribe process for forming a line.
상기 본 발명의 유기EL 디스플레이 제조장치에 있어서, 상기 실링부재는, 상기 스크라이브 공정에서 형성되는 스크라이브 라인의 위치에 대응하여 미리 스크라이브 라인이 형성되어 있는 1장의 평판 모양으로 구성되어 있는 것이 바람직하다.In the organic EL display manufacturing apparatus of the present invention, the sealing member is preferably configured in the form of one flat plate in which a scribe line is formed in advance corresponding to the position of the scribe line formed in the scribing step.
상기 본 발명의 유기EL 디스플레이 제조장치에 있어서, 상기 취성기판과 상기 실링부재를 동시에 한 번의 절단조작에 의하여 절단하는 공정을 더 구비하는 것이 바람직하다.In the organic EL display manufacturing apparatus of the present invention, it is preferable to further include a step of cutting the brittle substrate and the sealing member by one cutting operation at the same time.
이하, 본 발명의 유기EL 디스플레이 제조장치(有機EL display 製造裝置)에 대하여 도면에 의거하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the organic electroluminescent display manufacturing apparatus of this invention is demonstrated based on drawing.
도1은 본 발명의 유기EL 디스플레이 제조장치100의 개략적인 구성을 나타내는 구성도이다. 또 제조되는 유기EL 디스플레이 장치는 도6에 나타나 있는 구조와 동일한 구조로 되어 있다.1 is a configuration diagram showing a schematic configuration of an organic EL display manufacturing apparatus 100 of the present invention. The organic EL display device to be manufactured has the same structure as that shown in FIG.
이 유기EL 디스플레이 제조장치100은, 글래스 기판(glass 基板)(취성기판(脆性基板))2 상에 유기발광층(有機發光層)5 등의 각 층의 성막공정(成膜工程)을 하는 성막실(成膜室)11과 성막 후의 글래스 기판2 상에 실링 글래스(sealing glass)를 설치하는 실링실(sealing 室)20을 구비하고, 이 성막실11과 실링실20은 연락통로(連絡通路)13으로 연결되어 있다.In this organic EL display manufacturing apparatus 100, a film forming chamber is formed on a glass substrate (brittle substrate) 2 to form a film, such as an organic light emitting layer 5, on each layer. 11 and a sealing chamber 20 for installing sealing glass on the glass substrate 2 after film formation, wherein the film forming chamber 11 and the sealing chamber 20 are communication passages 13. Is connected.
성막실11은 반송로봇(搬送 robot)110a를 구비하는 반송실(搬送室)110을 중앙부에 구비하고, 이 반송실110으로부터 방사상(放射狀)으로 글래스 기판2를 스톡(stock)하는 기판 스톡실(基板 stock 室)111, 성막 전의 글래스 기판2에 대하여 세정(洗淨) 등의 전처리(前處理)를 하는 전처리실(前處理室)112, 양극층(陽極層)3, 정공수송층(正孔輸送層)4, 유기발광층(有機發光層)5, 전자수송층(電子輸送層)6, 음극층(陰極層)7의 각 층을 글래스 기판2에 증착(蒸着)하는 복수의 증착실(蒸着室)113∼116이 각각 소정의 간격을 두고 배치되어 있다. 중앙부에 배치되는 반송실110과 기판 스톡실111, 전처리실112 및 각 증착실l13∼116의 사이에는 각각 가스의 유통상태를 개폐(開閉)할 수 있는 게이트 밸브(gate valve)111a∼116a가 설치되어 있다. 또한 기판 스톡실111, 전처리실112 및 각 증착실113∼116에는, 각각 도면에 나타나 있지 않은 가스 공급라인 및 가스 배출라인이 설치되어 있어 각 실의 내부를 원하는 가스가 충전(充塡)된 원하는 압력상태로 조정할 수 있도록 되어 있다.The film formation chamber 11 includes a transfer chamber 110 having a transfer robot 110a at its center portion, and a substrate stock room that stocks the glass substrate 2 radially from the transfer chamber 110. 111, pretreatment chamber 112 for pretreatment such as cleaning of glass substrate 2 before film formation, anode layer 3, and hole transport layer A plurality of vapor deposition chambers in which each layer of the organic light emitting layer 5, the electron transport layer 6, and the cathode layer 7 is deposited on the glass substrate 2; ) 113-116 are arrange | positioned at predetermined intervals, respectively. Gate valves 111a to 116a are provided between the transfer chamber 110, the substrate stock chamber 111, the pretreatment chamber 112, and each of the deposition chambers 13 to 116 disposed in the center portion to open and close the flow of gas. It is. The substrate stock chamber 111, the pretreatment chamber 112, and the deposition chambers 113 to 116 are each provided with a gas supply line and a gas discharge line not shown in the drawing, and the desired gas filled with the desired gas inside each chamber is provided. The pressure can be adjusted.
실링실20은, 반송로봇210a를 구비하는 반송실210을 중앙부에 구비하고, 이 반송실210으로부터 방사상으로 글래스 기판2 상에 형성되는 유기발광층5 등의 각 층의 상태를 검사하는 검사실(檢査室)216과, 글래스 기판2를 각 유기EL 디스플레이마다 절단하기 위한 스크라이브 라인(scribe line)을 글래스 기판2의 표면 상에 형성하는 스크라이브 실(scribe 室)30과, 글래스 기판2 상에 형성되는 유기발광층5 등의 각 층을 덮는 실링 글래스300을 스크라이브하는 실링 글래스 스톡실(sealing glass stock 室)213과, 글래스 기판2 상에 실링 글래스300을 재치(載置)하는 실링 글래스 고정실(sealing glass 固定室)212와, 실링 글래스300의 글래스 기판2와의 접촉면에 도포(塗布)되어 있는 UV경화성 접착제(UV硬化性 接着劑)를 경화(硬化)시키기 위하여 UV광(UV光)을 조사(照射)하는 UV조사실(UV照射室)214와, 실링 글래스300이 부착된 글래스 기판2를 외부로 배출하는 배출실(排出室)215가 각각 소정의 간격을 두고 배치되어 있다.The sealing chamber 20 is provided with a conveying chamber 210 having a conveying robot 210a at a central portion thereof, and an inspection chamber for inspecting a state of each layer such as an organic light emitting layer 5 formed on the glass substrate 2 radially from the conveying chamber 210. 216, a scribe seal 30 for forming a scribe line for cutting the glass substrate 2 for each organic EL display, and an organic light emitting layer formed on the glass substrate 2 Sealing glass stock chamber 213 for scribing the sealing glass 300 covering each layer such as 5, and sealing glass fixing chamber for mounting the sealing glass 300 on the glass substrate 2. UV to harden the UV curable adhesive coated on the contact surface between the glass 2 and the glass substrate 2 of the sealing glass 300. UV irradiation chamber 214 for irradiating light and UV discharge chamber 215 for discharging the glass substrate 2 with sealing glass 300 to the outside are arranged at predetermined intervals. It is.
스크라이브 실30에는 글래스 기판2의 소정의 위치에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 커터(cutter)21(도2 참조)을 구비한다.The scribe chamber 30 is provided with a cutter 21 (see Fig. 2) for forming a scribe line at a predetermined position of the glass substrate 2.
도2는 스크라이브 실30에 구비되는 커터21을 나타내고 있다.2 shows a cutter 21 provided in the scribe seal 30. As shown in FIG.
이 커터21은 초경(超硬) 또는 소결 다이아몬드(燒結 diamond) 등의 고경도(高硬度)를 구비하는 소재(素材)로 형성되는 칼날(cutting blade)22를 구비하고 있다. 이 칼날22는, 중앙부를 최대 직경으로 하는 양쪽 원추형 모양으로 형성되어 있고, 이 칼날22의 양단부(兩端部)는 하면(下面)을 개방한 홀더(holder)23에 의하여 그 원추형의 축을 중심축으로 하여 회전할 수 있도록 지지되어 부착되어 있다.The cutter 21 is provided with a cutting blade 22 formed of a material having a high hardness, such as cemented carbide or sintered diamond. The blade 22 is formed in both conical shapes having a central diameter at the maximum diameter, and both ends of the blade 22 are centered on the axis of the conical shape by a holder 23 which has opened a lower surface. It is supported and attached so that it can rotate.
이 커터21에 의하여 글래스 기판2 상에 스크라이브 라인을 형성하기 위해서는, 홀더23의 하면으로부터 돌출된 칼날22의 중앙부를 글래스 기판2 상의 원하는 위치에 가압(加壓)하여 칼날22를 회전시키면서 소정의 방향으로 주행시킴으로써 이루어진다.In order to form a scribe line on the glass substrate 2 by the cutter 21, the center portion of the blade 22 protruding from the lower surface of the holder 23 is pressed to a desired position on the glass substrate 2 to rotate the blade 22 in a predetermined direction. It is made by traveling with.
또한 실링 글래스 스톡실213에 스톡된 실링 글래스300에는, 미리 글래스 기판2 상에 형성되는 유기발광층5 등의 각 층이 성막된 위치에 대응하여 이 각 층을 덮는 오목부가 형성되어 있고 또한 각 유기EL 디스플레이로 절단하기 위한 스크라이브 라인이 형성되어 있다.Furthermore, in the sealing glass 300 stocked in the sealing glass stock chamber 213, recesses covering the respective layers are formed corresponding to the positions where the respective layers of the organic light emitting layer 5 and the like formed on the glass substrate 2 are formed in advance, and each organic EL is formed. A scribe line is formed for cutting into the display.
이 유기EL 디스플레이 제조장치100에 의하여 유기EL 디스플레이를 제조하는 경우에 있어서 우선, 성막실11의 기판 스톡실111에 스톡된 글래스 기판2를 반송실110의 반송로봇110a에 의하여 전처리실112로 반송하여 소정의 전처리를 한 후, 각 증착실113∼l16으로 반송하여 소정의 가스가 소정의 압력으로 충전된 조건하에서 각 층의 성막을 하고, 양극층3, 정공수송층4, 유기발광층5, 전자수송층6, 음극층7의 각 층을 순차적으로 글래스 기판2 상에 적층(積層)하여 성막한다. 이 사이에 반송실110과 각 실111∼116의 사이에 설치되는 게이트 밸브111a∼116a를 각각 개폐하여 도면에 나타나 있지 않은 가스 공급라인 및 가스 배출라인으로부터 소정의 가스의 유출 및 유입이 이루어지지만 대기(大氣)와는 통하지 않게 된다.In the case of manufacturing the organic EL display by the organic EL display manufacturing apparatus 100, first, the glass substrate 2 stocked in the substrate stock chamber 111 of the film formation chamber 11 is transferred to the pretreatment chamber 112 by the transfer robot 110a of the transfer chamber 110. After a predetermined pretreatment, each layer is transported to the deposition chambers 113 to l16 to form each layer under conditions filled with a predetermined gas at a predetermined pressure, and the anode layer 3, the hole transport layer 4, the organic light emitting layer 5, and the electron transport layer 6 are formed. Each layer of the cathode layer 7 is sequentially laminated on the glass substrate 2 to form a film. In the meantime, the gate valves 111a to 116a provided between the transfer chamber 110 and the chambers 111 to 116 are opened and closed, respectively, so that a predetermined gas flows out and flows in from the gas supply line and the gas discharge line not shown. It does not work with (大氣).
성막실11에서 각 층이 적층된 글래스 기판2는 연락통로13을 통하여 기밀상태(氣密狀態)가 유지된 상태 그대로 실링실20으로 반송된다.The glass substrate 2 in which each layer is laminated in the film formation chamber 11 is conveyed to the sealing chamber 20 through the communication passage 13 as it is kept in an airtight state.
이하, 각 층이 성막된 글래스 기판2에 실링 글래스를 부착하는 공정에 대하여 도3(a)∼(e)를 참조하여 설명한다.Hereinafter, the process of attaching sealing glass to the glass substrate 2 in which each layer was formed is demonstrated with reference to FIG.3 (a)-(e).
연락통로13을 통하여 실링실20으로 반송되는 글래스 기판은, 도3(a)에 나타나 있는 바와 같이 소정의 간격마다 양극층3 등 각 층이 적층된 상태로 되어 있다. 반송실210에 글래스 기판2가 반송되면 반송실210의 반송로봇210a는, 이 글래스 기판2를 검사실216으로 반송하여 소정의 검사가 이루어진 후에 스크라이브 실30으로 반입한다.In the glass substrate conveyed to the sealing chamber 20 via the communication passage 13, as shown in Fig. 3 (a), each layer such as the anode layer 3 is laminated at predetermined intervals. When the glass substrate 2 is conveyed to the conveyance chamber 210, the conveyance robot 210a of the conveyance chamber 210 conveys this glass substrate 2 to the inspection chamber 216, and carries it into the scribe chamber 30 after predetermined | prescribed inspection is performed.
스크라이브 실30에서는, 반입된 글래스 기판2를 광학 얼라인먼트(光學alignment)를 하여 위치차이(位置差異)를 보정한 후에 미리 설정된 스크라이브 피치 데이터(scribe pitch data)에 따라 X·Y의 크로스 스크라이브(cross scribe)를 한다. 이 크로스 스크라이브에서는, 도2에 나타나 있는 칼날22를 회전시키면서 주행시킴으로써 도3(b)에 나타나 있는 바와 같이 글래스 기판2 상의 유기EL 디스플레이가 되는 부분마다 스크라이브 라인S를 형성한다.In the scribe chamber 30, after carrying out optical alignment of the imported glass substrate 2, the position difference is corrected, cross scribe of X and Y according to the preset scribe pitch data is performed. ) In this cross scribe, a scribe line S is formed for each portion of the organic EL display on the glass substrate 2 as shown in Fig. 3B by traveling while rotating the blade 22 shown in Fig. 2.
다음에 반송실210의 반송로봇210a에 의하여 스크라이브 라인S가 형성된 글래스 기판2를 실링 글래스 고정실212로 반입하고, 실링 글래스 스톡실213에 스톡된 실링 글래스300을 글래스 기판2 상에 형성된 얼라인먼트 마크와 실링 글래스300 상에 형성된 얼라인먼트 마크가 일치하도록 위치를 맞추어 재치한다. 실링 글래스300은 글래스 기판2와의 접촉면에 UV경화성 접착제를 도포하여 재치된다.Next, the glass substrate 2 in which the scribe line S was formed by the conveying robot 210a of the conveying chamber 210 was carried into the sealing glass fixing chamber 212, and the sealing glass 300 stocked in the sealing glass stock chamber 213 was aligned with the alignment mark formed on the glass substrate 2. The alignment mark formed on the sealing glass 300 is aligned and placed. The sealing glass 300 is mounted by applying a UV-curable adhesive to the contact surface with the glass substrate 2.
다음에 반송실210의 반송로봇210a에 의하여 실링 글래스300이 재치된 글래스 기판2를 UV조사실214로 반입하고, 도3(d)에 나타나 있는 바와 같이 글래스 기판2의 이면(裏面)측에서 UV광을 조사하여 실링 글래스300의 글래스 기판2에 접촉하는 접촉면에 도포되어 있는 UV경화성 접착제를 경화시켜 실링 글래스300을 글래스 기판2에 고정한다.Next, the glass substrate 2 on which the sealing glass 300 is placed by the conveying robot 210a of the conveying chamber 210 is brought into the UV irradiation chamber 214, and UV light is emitted from the rear surface side of the glass substrate 2 as shown in FIG. The UV curable adhesive applied to the contact surface of the sealing glass 300 in contact with the glass substrate 2 is cured to fix the sealing glass 300 to the glass substrate 2.
다음에 반송실210의 반송로봇210a에 의하여 실링 글래스300이 고정된 글래스 기판2를 배출실215로 반송하고, 배출실215의 감압(減壓) 상태를 게이트 밸브215b를 개방시킴으로써 대기압(大氣壓)과 동일하게 하여 배출실215의외부로 실링 글래스가 부착된 글래스 기판2를 반출한다.Next, the glass substrate 2 to which the sealing glass 300 is fixed by the conveying robot 210a of the conveying chamber 210 is conveyed to the discharge chamber 215, and the pressure reduction state of the discharge chamber 215 is opened to open the gate valve 215b. In the same manner, the glass substrate 2 with the sealing glass is carried out to the outside of the discharge chamber 215.
마지막으로, 도3(e)에 나타나 있는 바와 같이 글래스 기판2 및 실링 글래스300의 각각에 소정의 패턴(pattern)으로 형성되는 스크라이브 라인S를 브레이크(brake)하여 각 유기EL 디스플레이마다 절단한다.Finally, as shown in Fig. 3E, the scribe lines S formed in a predetermined pattern on each of the glass substrate 2 and the sealing glass 300 are braked and cut for each organic EL display.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 EL디스플레이 제조장치100에 의하면, 글래스 기판2 상에 양극층3 등 각 층을 성막한 후에 미리 소정의 위치에 스크라이브 라인S를 형성한 실링 글래스300을 글래스 기판2 상에 재치하여 고정한다. 이와 같이 1장의 글래스 기판2에 대하여 1장의 실링 글래스300을 부착함으로써 글래스 기판2 상의 유기발광층5 등을 실링하기 때문에 실링 글래스300을 부착하기 위한 얼라인먼트가 용이하다.As described above, according to the EL display manufacturing apparatus 100 of the present invention, after forming each layer such as the anode layer 3 on the glass substrate 2, the sealing glass 300 having the scribe line S formed in a predetermined position on the glass substrate 2 is formed. Tighten in and fix it. In this way, the organic light emitting layer 5 and the like on the glass substrate 2 are sealed by attaching one sealing glass 300 to one glass substrate 2, so that alignment for attaching the sealing glass 300 is easy.
따라서 각각의 유기EL 디스플레이에 있어서의 층이 성막된 위치 각각에 대응하여 실링 캡을 부착할 필요가 없기 때문에 글래스 기판2에 형성된 각 층이 150면∼200면의 다면(多面)으로 되어 있는 경우에 특히 유효하다.Therefore, since it is not necessary to attach the sealing cap corresponding to each of the positions where the layers in each organic EL display are formed, when each layer formed on the glass substrate 2 has a plane of 150 to 200 planes, Especially valid.
본 실시예에서는, 실링 글래스300의 소정의 위치에 미리 스크라이브 라인이 형성되어 있는 경우를 설명하였지만, 미리 스크라이브 가공이 되어 있지 않은 실링 글래스300을 그대로 챔버 내에서 스크라이브 가공된 글래스 기판2에 부착한 후에 챔버의 외부에서 실링 글래스300에 스크라이브 가공을 실시하여 각 유기EL 디스플레이마다 절단하더라도 좋다.In this embodiment, the case where the scribe line is formed in advance at a predetermined position of the sealing glass 300 has been described. However, after the sealing glass 300 which has not been scribed in advance is attached to the glass substrate 2 scribed in the chamber as it is, The sealing glass 300 may be scribed outside the chamber to be cut for each organic EL display.
또한 도4는 본 발명의 다른 유기EL 디스플레이 제조장치100의 개략적인 구성을 나타내는 구성도이다. 또 제조되는 유기EL 디스플레이 장치는도6에 나타나 있는 구조와 동일한 구조로 되어 있다.4 is a block diagram showing a schematic configuration of another organic EL display manufacturing apparatus 100 of the present invention. The organic EL display device to be manufactured has the same structure as that shown in FIG.
이 유기EL 디스플레이 제조장치100에서는, 글래스 기판2를 각 유기EL 디스플레이마다 절단하기 위한 스크라이브 라인S를 글래스 기판2의 표면 상에 형성하기 위한 스크라이브 실30이 성막실11 및 실링실20의 외부에 설치되어 있다. 또한 실링실20에는 예비용으로 구비되어 있는 예비실(豫備室)211이 설치되어 있다. 이 이외의 점은, 도1에 나타나 있는 유기EL 디스플레이 제조장치와 동일한 구성으로 되어 있기 때문에 여기에서 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.In the organic EL display manufacturing apparatus 100, a scribe thread 30 for forming a scribe line S for cutting the glass substrate 2 for each organic EL display on the surface of the glass substrate 2 is provided outside the film formation chamber 11 and the sealing chamber 20. It is. In the sealing chamber 20, a spare chamber 211 which is provided for reserve is provided. The points other than this have the same configuration as the organic EL display manufacturing apparatus shown in Fig. 1, and thus detailed description thereof is omitted here.
이 유기EL 디스플레이 제조장치를 이용하여 유기EL 디스플레이를 제조하는 경우에는, 우선, 스크라이브 실30에서 글래스 기판2 상의 원하는 위치에 스크라이브 라인S를 형성한 후에 스크라이브 라인S가 형성된 글래스 기판2를 성막실11의 기판 스톡실111로 반입한다. 그 후에 성막실11의 각 실112∼116에 반송실110의 반송로봇110a에 의하여 반송되어 유기EL 디스플레이의 양극층3 등 각 층을 성막한다.When manufacturing an organic EL display using this organic EL display manufacturing apparatus, first, the scribe line S is formed in a desired position on the glass substrate 2 in the scribe chamber 30, and then the glass substrate 2 on which the scribe line S is formed is formed. Into the stock chamber 111 of the substrate. Thereafter, each of the chambers 112 to 116 of the film formation chamber 11 is transported by the transport robot 110a of the transport chamber 110 to form films such as the anode layer 3 of the organic EL display.
그리고 각 층의 성막이 이루어진 글래스 기판2는, 연락통로13을 통하여 실링실20으로 반송되고, 실링실20에 있어서의 반송실210의 반송로봇210a에 의하여 실링실20 내의 각 실211∼216으로 반송되어 글래스 기판2 상의 각 유기EL 디스플레이가 되는 영역마다 실링 글래스를 장착하는 공정이 이루어진다. 실링 글래스300이 장착된 글래스 기판2는 배출실215를 통하여 외부로 배출된다.And the glass substrate 2 in which the film-forming of each layer was formed is conveyed to the sealing chamber 20 through the communication path 13, and is conveyed to each chamber 211-216 in the sealing chamber 20 by the conveyance robot 210a of the conveying chamber 210 in the sealing chamber 20. And attaching the sealing glass to each area of the organic EL display on the glass substrate 2. The glass substrate 2 on which the sealing glass 300 is mounted is discharged to the outside through the discharge chamber 215.
또한 도5는 본 발명의 또 다른 유기EL 디스플레이 제조장치100의 개략적인 구성을 나타내는 구성도이다. 또 제조되는 유기EL 디스플레이 장치는 도6에 나타나 있는 구조와 동일한 구조로 되어 있다.5 is a configuration diagram showing a schematic configuration of another organic EL display manufacturing apparatus 100 of the present invention. The organic EL display device to be manufactured has the same structure as that shown in FIG.
이 유기EL 디스플레이 제조장치100에서는, 글래스 기판2를 각 유기EL 디스플레이마다 절단하기 위한 스크라이브 라인S를 글래스 기판2의 표면 상에 형성하기 위한 스크라이브 실30이 성막실11 내에 설치되어 있다. 또한 실링실20에는 예비용으로서 구비되는 예비실211이 설치되어 있다.In this organic EL display manufacturing apparatus 100, a scribe chamber 30 for forming a scribe line S for cutting the glass substrate 2 for each organic EL display on the surface of the glass substrate 2 is provided in the film formation chamber 11. In the sealing chamber 20, a preliminary chamber 211 provided as a spare is provided.
이 유기EL 디스플레이 제조장치100을 이용하여 유기EL 디스플레이를 제조하는 경우에 있어서 우선, 기판 스톡실111에 스톡된 글래스 기판2를 반송실110의 반송로봇l10a에 의하여 글래스 기판2를 성막하기 위한 각 실112∼116에 순차적으로 반송하여 유기EL 디스플레이의 각 층을 성막한다. 그 후에 반송로봇110a에 의하여 유기EL 디스플레이의 각 층이 성막된 글래스 기판2를 스크라이브 실30으로 반송하고, 이 스크라이브 실30에서 글래스 기판2의 표면 상의 원하는 위치에 스크라이브 라인S를 형성한다. 또 성막실11에 있어서의 글래스 기판2 상으로의 성막공정 및 스크라이브 라인 형성공정은, 상기한 바와 같이 성막공정을 한 후에 스크라이브 라인S를 형성하는 것 이외에 글래스 기판2 상에 스크라이브 라인S를 먼저 형성한 후에 성막공정을 하더라도 좋다.In manufacturing an organic EL display using this organic EL display manufacturing apparatus 100, first, each chamber for forming a glass substrate 2 into a glass substrate 2 stocked in the substrate stock chamber 111 by the transfer robot l10a of the transfer chamber 110 is formed. It sequentially conveys to 112-116, and forms each layer of an organic EL display. Thereafter, the glass substrate 2 on which each layer of the organic EL display is formed is transferred to the scribe chamber 30 by the transfer robot 110a, and the scribe line S is formed at the desired position on the surface of the glass substrate 2 in the scribe chamber 30. The film forming process and the scribe line forming process on the glass substrate 2 in the film forming chamber 11 are performed by forming the scribe line S on the glass substrate 2 first, in addition to forming the scribe line S after the film forming process as described above. The film forming process may be performed after that.
그리고 각 층의 성막 및 스크라이브 라인의 형성이 이루어진 글래스 기판2는, 연락통로13을 통하여 실링실20으로 반송되고, 실링실20에 있어서의반송실210의 반송로봇210a에 의하여 실링실20 내의 각 실212∼216으로 반송되어 글래스 기판2 상의 각 유기EL 디스플레이가 되는 영역마다 실링 글래스300을 장착하는 공정이 이루어진다. 실링 글래스가 장착된 글래스 기판2는 배출실215를 통하여 외부로 배출된다.The glass substrate 2 on which the film formation of each layer and the formation of the scribe line are formed is conveyed to the sealing chamber 20 through the communication passage 13, and each chamber in the sealing chamber 20 is carried by the conveying robot 210a of the conveying chamber 210 in the sealing chamber 20. The process of attaching the sealing glass 300 is performed for every area | region which is conveyed by 212-216 and becomes each organic EL display on glass substrate 2. As shown in FIG. The glass substrate 2 equipped with the sealing glass is discharged to the outside through the discharge chamber 215.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 유기EL 디스플레이 제조장치는, 글래스 기판2 상에 실링 글래스를 장착하기 전에 글래스 기판2 상에 스크라이브 라인S를 형성한다. 이 경우에 도1 및 도5에 나타나 있는 바와 같이 글래스 기판2 상에 유기EL 디스플레이가 되는 각 층을 형성한 후에 진공 또는 불활성 가스의 분위기 중에서 스크라이브 라인S를 형성하는 공정을 하더라도 좋고 또한 도4에 나타나 있는 바와 같이 성막공정을 하기 전에 외부에서 미리 글래스 기판2 상에 스크라이브 라인S를 형성하더라도 좋다.As described above, the organic EL display manufacturing apparatus of the present invention forms a scribe line S on the glass substrate 2 before mounting the sealing glass on the glass substrate 2. In this case, as shown in Figs. 1 and 5, after forming each layer to be an organic EL display on the glass substrate 2, a step of forming a scribe line S in a vacuum or inert gas atmosphere may be performed. As shown, the scribe line S may be previously formed on the glass substrate 2 from the outside before the film forming step.
본 발명의 유기EL 디스플레이 제조장치 및 유기EL 디스플레이의 제조방법은, 글래스 기판 상에 양극층 등 각 층을 성막한 후에 1장의 글래스 기판에 대하여 1장의 실링부재를 부착한다. 이에 따라 글래스 기판과 실링부재와의 얼라인먼트가 용이하게 된다.In the organic EL display manufacturing apparatus and the organic EL display manufacturing method of the present invention, after forming each layer such as an anode layer on a glass substrate, one sealing member is attached to one glass substrate. This facilitates the alignment of the glass substrate and the sealing member.
Claims (7)
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JPJP-P-2001-00180900 | 2001-06-14 | ||
| JP2001180900 | 2001-06-14 | ||
| PCT/JP2002/005462 WO2002104079A1 (en) | 2001-06-14 | 2002-06-03 | Production device for organic el display and production method for organic el display |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20040012723A true KR20040012723A (en) | 2004-02-11 |
| KR100549100B1 KR100549100B1 (en) | 2006-02-02 |
Family
ID=19021246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020037011172A KR100549100B1 (en) | 2001-06-14 | 2002-06-03 | Production device for organic el display and production method for organic el display |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3602847B2 (en) |
| KR (1) | KR100549100B1 (en) |
| CN (1) | CN100350645C (en) |
| TW (1) | TWI272033B (en) |
| WO (1) | WO2002104079A1 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100674679B1 (en) * | 2005-12-29 | 2007-01-25 | 주식회사 아바코 | Encapsulation system of organic light emitting diodes |
| KR100882178B1 (en) * | 2005-06-15 | 2009-02-06 | 가부시키가이샤 알박 | Sealing device and sealing method |
| KR20110001176A (en) * | 2009-06-29 | 2011-01-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | Manufacturing method for organic light emitting device |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004355943A (en) * | 2003-05-29 | 2004-12-16 | Nippon Seiki Co Ltd | Process for manufacturing sealing substrate and process for manufacturing organic el panel |
| JP4476073B2 (en) * | 2004-04-08 | 2010-06-09 | 東北パイオニア株式会社 | Method and apparatus for manufacturing organic EL element |
| JP4755002B2 (en) * | 2006-03-23 | 2011-08-24 | パイオニア株式会社 | Manufacturing method of sealing member for optical device, manufacturing method of optical device, optical device, and sealing member for optical device |
| JP5282786B2 (en) * | 2008-11-13 | 2013-09-04 | コニカミノルタ株式会社 | Method for manufacturing organic electroluminescent element, organic electroluminescent element |
| JP2011060749A (en) * | 2009-09-07 | 2011-03-24 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | Method for forming organic electrode for transparent electrode |
| CN101882669A (en) * | 2010-03-23 | 2010-11-10 | 东莞宏威数码机械有限公司 | Back-end process encapsulating component of organic light-emitting display and encapsulating method |
| CN101988190A (en) * | 2010-05-25 | 2011-03-23 | 东莞宏威数码机械有限公司 | Pretreatment device and pretreatment method for film-coating substrate |
| CN103022379A (en) * | 2011-09-22 | 2013-04-03 | 北儒精密股份有限公司 | Packaging device for flexible organic light-emitting diode |
| JP5979666B2 (en) * | 2012-08-21 | 2016-08-24 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | Manufacturing apparatus and method for organic EL element, manufacturing apparatus and method for CVD thin film |
| CN104733646B (en) * | 2015-02-10 | 2017-05-17 | 四川虹视显示技术有限公司 | OLED vacuum aging system |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07130472A (en) * | 1993-11-04 | 1995-05-19 | Nippondenso Co Ltd | Electroluminescent element |
| JP3353699B2 (en) * | 1998-04-28 | 2002-12-03 | 株式会社豊田中央研究所 | Organic electroluminescent device |
| JP2000003782A (en) * | 1998-06-12 | 2000-01-07 | Casio Comput Co Ltd | Electroluminescent element |
| TW504941B (en) * | 1999-07-23 | 2002-10-01 | Semiconductor Energy Lab | Method of fabricating an EL display device, and apparatus for forming a thin film |
| JP2001068265A (en) * | 1999-08-24 | 2001-03-16 | Toyota Motor Corp | Organic el element, and manufacture thereof |
-
2002
- 2002-06-03 CN CNB028118456A patent/CN100350645C/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-06-03 JP JP2003506247A patent/JP3602847B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-06-03 KR KR1020037011172A patent/KR100549100B1/en not_active IP Right Cessation
- 2002-06-03 WO PCT/JP2002/005462 patent/WO2002104079A1/en active IP Right Grant
- 2002-06-07 TW TW091112379A patent/TWI272033B/en not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100882178B1 (en) * | 2005-06-15 | 2009-02-06 | 가부시키가이샤 알박 | Sealing device and sealing method |
| KR100674679B1 (en) * | 2005-12-29 | 2007-01-25 | 주식회사 아바코 | Encapsulation system of organic light emitting diodes |
| KR20110001176A (en) * | 2009-06-29 | 2011-01-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | Manufacturing method for organic light emitting device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN100350645C (en) | 2007-11-21 |
| CN1516989A (en) | 2004-07-28 |
| JPWO2002104079A1 (en) | 2004-10-07 |
| TWI272033B (en) | 2007-01-21 |
| WO2002104079A1 (en) | 2002-12-27 |
| KR100549100B1 (en) | 2006-02-02 |
| JP3602847B2 (en) | 2004-12-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100549099B1 (en) | Production device for organic el display and production method for organic el display | |
| KR100549100B1 (en) | Production device for organic el display and production method for organic el display | |
| EP1113087B1 (en) | Film formation apparatus and method for forming a film | |
| KR101071136B1 (en) | apparatus for processing a thin film on substrate for flat panel display device | |
| US7157306B2 (en) | Method of and system for manufacturing organic EL devices | |
| JP2006057173A (en) | Film deposition source, vacuum film deposition apparatus and method for producing organic el panel | |
| US10840449B2 (en) | Method for producing resin film having fine pattern, method for producing organic el display device, base film for forming fine pattern, and resin film provided with supporting member | |
| US20110287682A1 (en) | Organic el display manufacturing method | |
| KR101740798B1 (en) | Method for manufactring passive matrix quantum dot light emitting display device | |
| CN108699671A (en) | The shadow mask of tapered opening with double electroforming formation by using positive/negative photoresist | |
| JP4870933B2 (en) | Self-luminous panel and method for producing self-luminous panel | |
| KR20210021575A (en) | Shadow mask with tapered openings formed by double electroforming with reduced internal stresses | |
| KR100959111B1 (en) | Apparatus and method for fabricating Organic Light Emitting Diodes | |
| JP2008223067A (en) | Mask member for film deposition, manufacturing method of mask member for film deposition, mask film deposition method, and film deposition apparatus | |
| KR20110091197A (en) | Upward-type fabrication method of structure using adhesion system with fine ciliary and fabrication apparatus using the same | |
| KR102243722B1 (en) | Substrate Deposition Tooling Apparatus and Substrate Deposition Tooling Method | |
| US20220136093A1 (en) | Mask, mask fabrication method, and mask assembly | |
| KR100702506B1 (en) | Organic electroluminescent device and manufacturing method of polarizer sheet employed in the same | |
| CN115142010A (en) | OLED metal mask and manufacturing method thereof | |
| KR100717325B1 (en) | Fabricating apparatus for flat display divice | |
| CN113682064A (en) | Display device packaging method | |
| KR20090094190A (en) | The dome for fixing deposition products in the deposition device of multi-layer film | |
| US20100055816A1 (en) | Light Emitting Device Manufacturing Apparatus and Method | |
| KR20060128534A (en) | Method for manufacturing an organic light-emitting diode display device and a structure there of | |
| JP2003308963A (en) | Organic el element, and method of manufacturing organic el element |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130111 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140107 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150105 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160104 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170102 Year of fee payment: 12 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |