KR20040011728A - Duplexer chip package and methode for manufacturing duplexer chip package - Google Patents

Duplexer chip package and methode for manufacturing duplexer chip package Download PDF

Info

Publication number
KR20040011728A
KR20040011728A KR1020020044821A KR20020044821A KR20040011728A KR 20040011728 A KR20040011728 A KR 20040011728A KR 1020020044821 A KR1020020044821 A KR 1020020044821A KR 20020044821 A KR20020044821 A KR 20020044821A KR 20040011728 A KR20040011728 A KR 20040011728A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
filter
ground
inductor
phase shifter
Prior art date
Application number
KR1020020044821A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
황규한
Original Assignee
엘지이노텍 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지이노텍 주식회사 filed Critical 엘지이노텍 주식회사
Priority to KR1020020044821A priority Critical patent/KR20040011728A/en
Publication of KR20040011728A publication Critical patent/KR20040011728A/en

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/70Multiple-port networks for connecting several sources or loads, working on different frequencies or frequency bands, to a common load or source
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/15Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/17Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/54Filters comprising resonators of piezo-electric or electrostrictive material
    • H03H9/58Multiple crystal filters
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16195Flat cap [not enclosing an internal cavity]

Abstract

PURPOSE: A duplexer chip package and a fabricating method thereof are provided to simplify a structure by forming a duplexer circuit within one package. CONSTITUTION: A duplexer chip package includes the first and the second filters(21a,21b), a ground pattern(23), an inductor substrate(25), a capacitor substrate(26), a phase shifter substrate(27), and a ground substrate. The first and the second filters(21a,21b) are used for separating a transmitting signal and a receiving signal of a dual frequency band. The ground pattern(23) is used as a grounding portion for the first and the second filters(21a,21b). The inductor substrate(25) is formed on the ground pattern. The capacitor substrate(26) is formed at a bottom side of the inductor substrate by using a plurality of capacitors. The phase shifter substrate(27) is formed at the bottom side of the inductor substrate by an inductor used as a diplexer. The ground substrate is formed at a bottom of the phase shifter substrate.

Description

듀플렉서 칩 패키지 및 그 제조방법{DUPLEXER CHIP PACKAGE AND METHODE FOR MANUFACTURING DUPLEXER CHIP PACKAGE}DUPLEXER CHIP PACKAGE AND METHODE FOR MANUFACTURING DUPLEXER CHIP PACKAGE}

본 발명은 듀얼 밴드 듀플렉서 칩에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 두 개의 주파수 대역 신호를 송수신하는 듀플렉서 칩을 LTCC(LTCC: Low Temperature Co-fired Ceramic) 공정에 따라 하나의 패키지에 구현할 수 있는 듀플렉서 칩 패키지 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a dual band duplexer chip, and more specifically, a duplexer chip package that can implement a duplexer chip that transmits and receives two frequency band signals in one package according to a low temperature co-fired ceramic (LTCC) process. And to a method for producing the same.

최근, 이동 통신 시스템의 발전에 따라, 휴대 전화, 휴대형의 정보 단말기 등의 이동 통신 기기가 급속히 보급되어, 이들 기기의 소형화 및 고성능화의 요구로부터 이들에 사용되는 부품의 소형화 및 고성능화가 요구되고 있다. 또한, 휴대 전화에 있어서는 아날로그 방식과 디지털 방식의 2개의 종류의 무선 통신 시스템이 이용되고 있고, 무선 통신에 사용하는 주파수도 800MHz∼1GHz대와, 1.5GHz∼2.0GHz 대로 다방면에 걸쳐 있다.Background Art In recent years, with the development of mobile communication systems, mobile communication devices such as mobile phones and portable information terminals are rapidly spreading, and the demand for miniaturization and high performance of these devices has been required to reduce the size and performance of components used therein. In addition, two types of wireless communication systems, analog and digital, are used in mobile telephones, and the frequencies used for wireless communication are in the 800 MHz to 1 GHz band and the 1.5 GHz to 2.0 GHz band.

특히, 통신 장치 및 다른 전자 장치에서, 대역 통과 필터로서 SAW 필터가 널리 사용되고 있다. SAW 필터로는 압전 기판 상에 소정 거리로 배열된 두 개의 인터디지털 트랜스듀서(IDT)를 가지는 횡형 SAW 필터와, 압전 기판 상에 공진자를 구성하는 SAW 공진자 필터가 있다.In particular, SAW filters are widely used as band pass filters in communication devices and other electronic devices. SAW filters include a lateral SAW filter having two interdigital transducers (IDTs) arranged at a predetermined distance on a piezoelectric substrate, and a SAW resonator filter constituting a resonator on a piezoelectric substrate.

SAW 공진자 필터로서, 러브파, BGS(Bleustein-Gulyaev-Shimuzu)파 및 다른 유사한 파와 같은 SH(Shear Horizontal) 표면 탄성파를 이용하는 단면 반사형 SAW 공진자 필터가 알려져 있다.As SAW resonator filters, a single-sided reflection SAW resonator filter is known that uses shear horizontal surface acoustic waves such as love waves, Bleustein-Gulyaev-Shimuzu (BBS) waves, and other similar waves.

최근에는 통신 기기에서 신호를 송수신할 때 신호의 일정대역 주파수만 필터하여 송신하거나, 수신할 때 일정한 주파수 대역의 신호만을 수신할 수 있도록 듀플렉서를 칩으로 제조하여 사용하고 있다.Recently, a duplexer is manufactured and used as a chip so that when a signal is transmitted and received by a communication device, only a predetermined band frequency of the signal is filtered or transmitted, or a signal of a predetermined frequency band is received when the signal is received.

아울러, 이동통신부품인 필름형최적탄성공진기(FBAR: Film Bulk AcousticResonator)가 개발되었는데, 상기 FBAR필터는 1∼15㎓의 고주파를 수신하는 과정에 특정 주파수만을 추출, 잡음을 제거하고 음질을 높이는 기능을 하는 핵심부품으로 반도체의 스퍼터링 공정을 이용, 박막화함으로써 기존 표면탄성파(SAW)필터 및 세라믹필터에 비해 크기가 10분의 1∼100분의 1 이상으로 작고 가벼운 차세대 필터다. 이는 상보성금속산화막반도체(CMOS) 공정으로 무선통신 RF단의 단일칩 고주파집적회로(MMIC)가 가능한 기술로 평가받고 있다.In addition, a film bulk acoustic resonator (FBAR) has been developed, which is a mobile communication component. The FBAR filter extracts only a specific frequency in the process of receiving high frequencies of 1 to 15 kHz, removes noise, and improves sound quality. It is a next-generation filter that is smaller and lighter than 1 / 10th to 100th in size compared to the existing surface acoustic wave (SAW) filter and ceramic filter by using thin film by sputtering process of semiconductor. This is a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) process is evaluated as a technology capable of single-chip high-frequency integrated circuit (MMIC) of the RF stage of wireless communication.

상기에서, 설명한 쏘우-듀플렉서는 텔레비젼에서 화상의 중간주파수 필터용, 및 신호의 시간지연용 등으로 사용되는데, 그 구성은 수정 또는 LiTaO3, LiNbO3 등과 같은 압전체 상에 전기적인 입력신호를 기계적인 진동을 변환시키는 입력변환기와 이와 대립 형성되어 있으며 기계적인 진동을 전기적인 신호로 변환하여 부하로 출력시키는 출력변환기가 형성되어 있고, 상기 입력변환기와출력변환기에는 빗살형태의 알루미늄전극이 서로 소정거리 이격 형성되어 있다.In the above description, the saw-duplexer is used for an intermediate frequency filter of an image and a time delay of a signal in a television. An input converter for converting and an opposing shape are formed, and an output converter for converting mechanical vibration into an electrical signal and outputting it to a load is formed. The input converter and the output converter have a comb-shaped aluminum electrode spaced apart from each other by a predetermined distance. have.

그리고, 상기와 같은 쏘우 필터와 FBAR 필터는 최근, 저온 동시소성 세라믹(LTCC: Low Temperature Co-fired Ceramic)라고 하는 기술에 의하여 세라믹 적층 기판 상에 형성된 회로 소자들과 일체의 패키지 형태로 제조되고 있다.In addition, the saw filter and the FBAR filter have been manufactured in the form of an integrated package with circuit elements formed on a ceramic laminate substrate by a technique called low temperature co-fired ceramic (LTCC). .

LTCC는 보통 회로를 구성할 때, 기판은 기판대로 만들고 그 위에 금속을 입히는 방식으로 제작하는 것이 일반적이지만, 이러한 방식은 집적화와 소형화에 어려움이 많다.LTCC is usually manufactured by making a board as a substrate and coating a metal on the circuit, but this method has difficulty in integration and miniaturization.

따라서, 상기 LTCC를 사용하면, 저온에서(Low temperature) 금속과 그 세라믹 기판이 동시에 만들어지는 코파이어(Co-fire) 공정기술이기 때문에 집적화와 소형화를 이룰 수 있다.Therefore, when the LTCC is used, since it is a co-fire process technology in which a metal and its ceramic substrate are simultaneously made at low temperature, integration and miniaturization can be achieved.

글라스(Glass) 계열 혹은 그것을 섞은 형태의 세라믹 계열 기판을 사용하면, 800~1,000℃ 정도에서 금속을 입힌 기판들을 압착 소성 시킬 수 있으며, 고주파 수동 소자 제작에 매우 적합하다.Glass-based or mixed ceramic-based substrates can be pressed and fired to metal-clad substrates at around 800 ~ 1000 ℃ and are well suited for high-frequency passive device fabrication.

도 1은 종래 기술에 따른 듀얼 밴드 듀플렉서를 도시한 블록도이다.1 is a block diagram illustrating a dual band duplexer according to the prior art.

도 1에 도시된 바와 같이, 최근 통신기기는 듀얼 밴드 주파수 신호를 송수신하는 듀플렉서의 구조는 먼저, 1800MHz 이상의 주파수 대역을 사용하여 데이터 신호를 송수신하는 PCS와 900MHz 이하의 주파수 대역을 사용하여 데이터 신호를 송수신하는 AMPS(Advanced Mobile Phone Service)을 동일한 FEM(Front End Module)에 형성 배치한 구조이다.As shown in FIG. 1, a duplexer for transmitting / receiving a dual band frequency signal includes a PCS that transmits and receives a data signal using a frequency band of 1800 MHz or more, and a data signal using a frequency band of 900 MHz or less. The AMPS (Advanced Mobile Phone Service) to transmit and receive is formed in the same front end module (FEM).

서로 다른 주파수 대역의 고주파 신호를 송수신하는 안테나(1)와, 상기 안테나(1)로부터 송수신하는 서로 다른 주파수 대역의 신호를 필터링 하는 다이플렉서(3)와, 상기 다이플렉서(3)로부터 분리되는 1800MHz 대역 주파수 신호를 사용하는 PCS 송수신 단자와 상기 다이플렉서(3)로부터 분리되어 900MHz 대역 주파수 신호를 사용하는 AMPS 송수신 단자가 배치되어 있다.An antenna 1 for transmitting and receiving high frequency signals of different frequency bands, a diplexer 3 for filtering signals of different frequency bands transmitted and received from the antenna 1, and a separation from the diplexer 3 PCS transmission and reception terminal using a 1800MHz band frequency signal to be separated from the diplexer (3) and AMPS transmission and reception terminal using a 900MHz band frequency signal is disposed.

상기 PCS 송신 단자(Tx)에는 제 3 필터(6a)가 배치되어 있는데, 필터의 종류는 보통 쏘우 필터 또는 FBAR 필터를 사용하고, PCS 수신 단자(Rx)에는 제 4 필터(6d)와 제 2 페이즈 시프터(3b)가 배치되어 있는데, 필터의 종류는 마찬가지로 쏘우 필터 또는 FBAR 필터를 사용하고 있다.The third filter 6a is disposed at the PCS transmitting terminal Tx, and the type of filter is usually a saw filter or a FBAR filter, and the fourth filter 6d and the second phase are used for the PCS receiving terminal Rx. The shifter 3b is arranged, and the type of filter is similarly used as the saw filter or the FBAR filter.

상기 AMPS 송신 단자(Tx)에는 제 1 필터(5a)가 배치되어 있는데, 필터의 종류는 보통 쏘우 필터 또는 FBAR 필터를 사용하고, AMPS 수신 단자(Rx)에는 제 2 필터(5b)와 제 1 페이즈 시프터(3a)가 배치되어 있는데, 필터의 종류는 마찬가지로 쏘우 필터 또는 FBAR 필터를 사용하고 있다.The AMPS transmission terminal Tx is provided with a first filter 5a. The type of filter is usually a saw filter or a FBAR filter, and the AMPS receiving terminal Rx has a second filter 5b and a first phase. The shifter 3a is arranged, and the type of the filter is similarly used as the saw filter or the FBAR filter.

상기와 같은 구조를 갖는 듀플렉서는 상기 AMPS 송신 단자(Tx)를 통하여 시스템 내부에서 발생된 900MHz 주파수 신호가 인가되면, 상기 제 1 필터(5a)를 통하여 밴드 폭을 중심으로 필터링 된 후에 상기 다이플렉서(3)의 로우 패스 필터 영역을 통과하면서 상기 안테나(1)를 통하여 외부로 신호를 전송하게 된다.When the duplexer having the structure as described above is applied with a 900 MHz frequency signal generated inside the system through the AMPS transmission terminal Tx, the diplexer is filtered around the band width through the first filter 5a. The signal is transmitted to the outside through the antenna 1 while passing through the low pass filter region of (3).

동일한 경로를 통하여 외부에서 900MHz 대역의 주파수 신호를 상기 안테나(1)로부터 인가 받은 다음, 상기 다이플렉서(3)를 통하여 AMPS 수신 단자(Rx)에 인가되며, 상기 제 1 페이즈 시프터(3a)와 제 2 필터(5b)를 통하여 시스템 내부로 신호를 수신하게 된다.A frequency signal of a 900 MHz band is externally received from the antenna 1 through the same path, and then applied to the AMPS receiving terminal Rx through the diplexer 3, and the first phase shifter 3a and the first phase shifter 3a. The signal is received into the system through the second filter 5b.

또한, 상기 PCS 송신 단자(Tx)를 통하여 시스템 내부에서 발생된 1800MHz 대역의 주파수 신호가 인가되면, 상기 제 3 필터(6a)를 통하여 밴드 폭을 중심으로 필터링 된 후에 상기 다이플렉서(3)의 로우 패스 필터(Low Pass Filter) 영역을 통과하면서 상기 안테나(1)를 통하여 외부로 신호를 전송하게 된다.In addition, when the frequency signal of the 1800 MHz band generated inside the system is applied through the PCS transmission terminal (Tx), the filter is filtered around the band width through the third filter (6a) of the diplexer (3) The signal is transmitted to the outside through the antenna 1 while passing through a low pass filter region.

동일한 경로를 통하여 외부에서 1800MHz 대역의 주파수 신호를 상기 안테나(1)로부터인가 받은 다음, 상기 다이플렉서(3)를 통하여 PCS 수신 단자(Rx)에 인가되며, 상기 제 2 페이즈 시프터(3b)와 제 4 필터(6b)를 통하여 시스템 내부로 신호를 수신하게 된다.A frequency signal of 1800 MHz band is externally received from the antenna 1 through the same path, and then applied to the PCS receiving terminal Rx through the diplexer 3, and the second phase shifter 3b A signal is received into the system through the fourth filter 6b.

상기와 같은, 두가지 대역의 주파수 신호를 송수신하기 위한 듀플렉서는LTCC 제조 공정에 따라 두 개의 칩으로 분리되어 제조된다. 즉, 900MHz 주파수 대역을 갖는 AMPS 송수신 단자에 연결된 제 1 필터(5a), 제 2 필터(5b) 및 제 1 페이즈 시프터(3a)를 LTCC 공정에 따라 하나의 칩 패키지로 제조한다.As described above, a duplexer for transmitting and receiving frequency signals of two bands is manufactured by separating the two chips according to the LTCC manufacturing process. That is, the first filter 5a, the second filter 5b, and the first phase shifter 3a connected to the AMPS transceiver terminals having a 900 MHz frequency band are manufactured in one chip package according to the LTCC process.

그리고, 1800MHz 주파수 대역을 갖는 PCS 송수신 단자에 연결된 제 3 필터(6a), 제 4 필터(6b) 및 제 2 페이즈 시프터(3b)를 LTCC 공정에 따라 하나의 칩 패키지로 제조한다.The third filter 6a, the fourth filter 6b, and the second phase shifter 3b connected to the PCS transmission / reception terminal having the 1800 MHz frequency band are manufactured in one chip package according to the LTCC process.

상기 두 개의 칩 패키지를 전기적으로 콘택하고, 상기 다이플렉서(3)와 연결하여 송수신용 듀플렉서를 제조한다.The two chip packages are electrically contacted and connected to the diplexer 3 to manufacture a duplexer for transmitting and receiving.

그러나, 최근 CDMA를 이용한 통신기기의 크기는 초소형화 및 경박화 되어 가는 추세에 있는데, 상기와 같이 듀얼 밴드 듀플렉서에서 주파수 대역에 해당하는 송수신 필터와 페이즈 시프터들을 각각 별개의 적층형 칩으로 제조하면 부피가 커지는 문제가 있다.However, in recent years, the size of CDMA-based communication devices is becoming smaller and lighter. In the dual band duplexer, if the transmit / receive filters and phase shifters corresponding to the frequency bands are manufactured as separate stacked chips, they are bulky. There is a growing problem.

본 발명은, 통신용 송수신기에 사용되는 듀얼 밴드 듀플렉서를 LTCC 공정에 의하여 제조될 수 있도록 회로를 구현하고, 이를 하나의 칩 패키지에 모두 구현함으로써 소형화 및 경박화 할 수 있는 듀플렉서 칩 패키지 및 그 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.The present invention provides a duplexer chip package and a method for manufacturing the dual band duplexer used in a communication transceiver, which can be miniaturized and lightened by implementing the circuit in a single chip package. The purpose is to provide.

도 1은 종래 기술에 따른 듀얼 밴드 듀플렉서를 도시한 블록도.1 is a block diagram illustrating a dual band duplexer according to the prior art.

도 2는 본 발명에 따라 구현한 듀플렉서 블록도.2 is a duplexer block diagram implemented in accordance with the present invention.

도 3a 내지 도 3c는 본 발명에 따른 듀플렉서 칩 제조 공정을 설명하기 위한 도면.3A to 3C are views for explaining a duplexer chip manufacturing process according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 듀플렉서 칩의 접속 단자를 도시한 도면.4 illustrates a connection terminal of a duplexer chip according to the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

21a: AMPS 송수신 필터21b: PCS 송수신 필터21a: AMPS transmit / receive filter 21b: PCS transmit / receive filter

23: 그라운드 패턴25: 인덕터 기판23: ground pattern 25: inductor substrate

26: 커패시터 기판27: 페이즈 시프터 기판26: capacitor substrate 27: phase shifter substrate

30: 풋 패드31: 제 1 콘택 라인30: foot pad 31: first contact line

32: 제 2 콘택 라인100: 듀플렉서 칩32: second contact line 100: duplexer chip

상기한 목적을 달성하기 위한, 본 발명에 따른 듀플렉서 칩 패키지는,In order to achieve the above object, the duplexer chip package according to the present invention,

이동 통신기에서 듀엘 밴드 주파수 대역의 송, 수신 신호를 분리해주기 위한제 1 필터와 제 2 필터;A first filter and a second filter for separating transmission and reception signals of a dual band frequency band in a mobile communication device;

상기 제 1 필터와 제 2 필터의 접지를 위하여 패터닝된 그라운드 패턴;A ground pattern patterned for grounding the first filter and the second filter;

상기 그라운드 패턴에 형성되어 있고, 다이플렉서에 사용되는 인턱터들이 형성되어 있는 인덕터 기판;An inductor substrate formed in the ground pattern and having inductors used in the diplexer;

상기 인덕터 기판 하부에 다이플렉서에 사용되는 커패시터들이 형성되어 있는 커패시터 기판;A capacitor substrate having capacitors used in a diplexer under the inductor substrate;

상기 커패시터 기판 하부에 다이플렉서에 사용되는 인덕터에 의하여 구현되는 페이즈 시프터 기판; 및A phase shifter substrate implemented by an inductor used in a diplexer under the capacitor substrate; And

상기 페이즈 시프터 기판 하부에 배치되어 적층된 기판들의 접지 단자를 그라운드 시키는 그라운드 기판을 포함하는 것을 특징으로 한다.And a ground substrate disposed under the phase shifter substrate to ground ground terminals of the stacked substrates.

여기서, 상기 인덕터 기판, 커패시터 기판, 페이즈 시프터 기판에는 각각 그라운드가 배치되어 있고, 상기 제 1 필터와 제 2 필터 단자와 상기 인덕터 기판, 커패시터 기판 및 페이즈 시프터 기판과의 전기적 콘택을 위하여 제 1 콘택 라인과 제 2 콘택 라인이 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.Here, a ground is disposed on each of the inductor substrate, the capacitor substrate, and the phase shifter substrate, and a first contact line is provided for electrical contact between the first filter, the second filter terminal, the inductor substrate, the capacitor substrate, and the phase shifter substrate. And a second contact line are arranged.

그리고, 상기 제 1 필터와 제 2 필터는 쏘우 필터 또는 FBAR 필터이며, 상기 제 1 필터는 1000MHz 이하의 송수신 주파수 신호를 각각 필터링 할 수 있는 필터들로 구성되어 있고, 상기 제 2 필터는 1000MHz 이상의 송수신 주파수 신호를 각각 필터링 할 수 있는 필터들로 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.In addition, the first filter and the second filter is a saw filter or FBAR filter, the first filter is composed of filters that can filter the transmission and reception frequency signals of 1000MHz or less, respectively, and the second filter is 1000MHz or more transmission and reception It is characterized by consisting of filters that can filter each of the frequency signal.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 의한 듀플렉서 칩 제조방법은,In addition, the duplexer chip manufacturing method according to another embodiment of the present invention,

세라믹 기판들을 LTCC 공정을 이용하여 그라운드 기판, 페이즈 시프터 기판,커패시터 기판 및 인덕터 기판을 각각 형성하는 단계;Forming ceramic substrates using a LTCC process, a ground substrate, a phase shifter substrate, a capacitor substrate, and an inductor substrate, respectively;

상기 결과물들을 적층하여 각각의 기판 상에 형성된 비아홀을 통하여 적층된 상하 기판들이 전기적으로 콘택하는 단계;Stacking the results to electrically contact the stacked upper and lower substrates through via holes formed on respective substrates;

상기 적층된 기판들 중에서 상층에 위치한 인덕터 기판 상에 제 1 필터와 제 2 필터를 실장하는 단계;Mounting a first filter and a second filter on an inductor substrate positioned above the stacked substrates;

상기 제 1 필터와 제 2 필터들의 단자를 와이어 본딩하여 적층된 기판들과 전기적 콘택을 형성하는 단계 및Wire bonding terminals of the first and second filters to form electrical contacts with the stacked substrates; and

상기 적층된 기판과 필터들의 입출력 단자 및 그라운드 단자들을 연결하는 풋 패드 형성단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.And a foot pad forming step of connecting the stacked substrate and the input / output terminals and the ground terminals of the filters.

여기서, 상기 제 1 필터와 제 2 필터들의 단자들에 대응되도록 인덕턴스 기판 상에 회로 패턴이 되어 있고, 상기 인덕턴스 기판, 커패시터 기판, 페이즈 시프터 기판 및 그라운드 기판에 각각 신호적 독립을 위하여 그라운드 패턴을 형성하며, 상기 적층되는 인덕턴스 기판, 커패시터 기판, 페이즈 시프터 기판 및 그라운드 기판들 상에는 상하 기판들간의 전기적 콘택을 위하여 비아홀을 형성한 다음 상기 비아홀 내부에 금속 패턴을 형성하는 것을 특징으로 한다.Here, a circuit pattern is formed on an inductance substrate so as to correspond to terminals of the first filter and the second filter, and a ground pattern is formed on the inductance substrate, the capacitor substrate, the phase shifter substrate, and the ground substrate, respectively, for signal independence. The via inductance substrate, the capacitor substrate, the phase shifter substrate, and the ground substrates may be formed with a via hole for electrical contact between the upper and lower substrates, and then a metal pattern may be formed inside the via hole.

본 발명에 의하면, 송수신 모듈에 사용되는 듀플렉서의 다이플렉서, 필터, 쏘우 및 FBAR 필터를 하나의 패키지에 구현함으로써 소형화할 수 있는 이점이 있다.According to the present invention, there is an advantage that can be miniaturized by implementing a diplexer, a filter, a saw, and a FBAR filter of a duplexer used in the transmission and reception module in one package.

이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 자세히 설명하도록 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따라 구현한 듀플렉서 블록도이다.2 is a block diagram of a duplexer implemented according to the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 1800MHz의 주파수 대역을 사용하여 데이터 신호를 송수신하는 PCS와 900MHz의 주파수 대역을 사용하여 데이터 신호를 송수신하는 AMPS을 인덕터와 커패시터로 구현한 FEM(Front End Module)의 구조이다.As shown in FIG. 2, a structure of a front end module (FEM) in which PCS transmits and receives data signals using a frequency band of 1800 MHz and AMPS transmits and receives data signals using a frequency band of 900 MHz are implemented as an inductor and a capacitor. to be.

안테나(11)로부터 송수신되는 주파수 신호를 필터링하는 다이플렉서(18)가 인덕터(LD1, LP1, LP2)와 커패시터들(CD1, CD2, CD3, CP1, CP2)로 형성되어 있다.A diplexer 18 for filtering the frequency signal transmitted and received from the antenna 11 is formed of inductors LD1, LP1, LP2 and capacitors CD1, CD2, CD3, CP1, CP2.

상기 다이플렉서(18)는 두 개의 서로 다른 주파수 대역을 필터링할 수 있어야 하므로 로우 패스 필터와 하이 패스 필터를 포함하고 있다.Since the diplexer 18 should be able to filter two different frequency bands, the diplexer 18 includes a low pass filter and a high pass filter.

주파수가 1000MHz 대역 이하(900MHz)의 AMPS 송수신 단자(Tx, Rx)에는 각각 제 1 필터(15a)와 제 2 필터(15b) 및 제 1 페이즈 시프터(13a)가 배치되어 있고, 1000MHz 대역 이상(1800MHz)의 PCS 송수신 단자(Tx)에는 각각 제 3 필터(16a)와 제 4 필터(16b) 및 제 2 페이즈 시프터(13b)가 배치되어 있다.A first filter 15a, a second filter 15b, and a first phase shifter 13a are disposed at AMPS transceiver terminals Tx and Rx each having a frequency of 1000 MHz or less (900 MHz), and 1000 MHz or more (1800 MHz). The third filter 16a, the fourth filter 16b, and the second phase shifter 13b are respectively disposed at the PCS transmission / reception terminal Tx.

도 3a 내지 도 3c는 본 발명에 따른 듀플렉서 칩 제조 공정을 설명하기 위한 도면이다.3A to 3C are diagrams for describing a duplexer chip manufacturing process according to the present invention.

도 3a에 도시된 바와 같이, LTCC 공정을 이용하여 위상 변위를 위하여 인덕터와 커패시터를 형성한 페이즈 시프터 기판(27), 다이플렉서에 사용되는 인덕터를 형성한 인덕터 기판(25) 및 다이플렉서에 사용되는 커패시터를 형성한 커패시터 기판(26)을 제조한다.As shown in FIG. 3A, a phase shifter substrate 27 in which an inductor and a capacitor are formed for a phase shift using an LTCC process, an inductor substrate 25 and a diplexer in which an inductor is used for a diplexer. A capacitor substrate 26 having a capacitor used is manufactured.

상기 인덕터 기판(25) 상에는 그라운드 패턴(23)이 형성되어 있고, 도 2에서 도시된 것과 같이, 다이플렉서에 사용되는 인덕터, LD1, LP1, LP2을 형성하고, 상기 커패시터 기판(26) 상에는 다이플렉서에 사용되는 커패시터, CD1, CD2, CD3, CP1, CP2가 형성되어 있다.A ground pattern 23 is formed on the inductor substrate 25, and as shown in FIG. 2, inductors LD1, LP1, LP2 used in the diplexer are formed, and a die is formed on the capacitor substrate 26. The capacitors, CD1, CD2, CD3, CP1, CP2, which are used for the flexure, are formed.

상기 커패시터 기판(26) 하부에 적층되는 상기 페이즈 시프터 기판(27) 상에는 LD2, LP3가 형성되어 있어 신호 위상을 천이 시킨다. 상기 페이즈 시프터 기판(27) 하부에는 커패시터들이 형성되어 있는 전원단 커패시터 기판(28)을 적층한다.LD2 and LP3 are formed on the phase shifter substrate 27 stacked below the capacitor substrate 26 to shift the signal phase. A power stage capacitor substrate 28 having capacitors formed thereon is stacked below the phase shifter substrate 27.

이때, 상기 적층되는 인덕터 기판(25), 커패시터 기판(26) 및 페이즈 시프터 기판(27) 상에 형성된 단자들에는 비아홀이 형성되어 있고, 상기 비아홀 내부에는 도전성 금속 패턴이 형성되어 있어, 세라믹 기판을 적층할 때 기판 상에 형성되어 있는 소자들을 전기적으로 접속시킨다.In this case, via holes are formed in the terminals formed on the stacked inductor substrate 25, the capacitor substrate 26, and the phase shifter substrate 27, and a conductive metal pattern is formed in the via holes, thereby forming a ceramic substrate. When stacked, elements formed on the substrate are electrically connected.

상기 인덕터 기판(25), 커패시터 기판(26), 페이즈 시프터 기판(27) 및 전원단 커패시터 기판(28)이 적층되면 외부에 그라운드 단자들을 연결시키기 위한 풋 패드(foot pad: 30)가 적층된 기판들 둘레에 형성된다.When the inductor substrate 25, the capacitor substrate 26, the phase shifter substrate 27, and the power terminal capacitor substrate 28 are stacked, a foot pad 30 to which ground terminals are connected to the outside is stacked. It is formed around the field.

그런 다음, 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 풋 패드(30)가 형성된 적층된 기판들의 인덕터 기판(25) 상에는 듀플렉서에서 사용되는 두 개의 필터(21a, 21b)를 결합한다. 상기 듀플렉서에 사용되는 필터는 쏘우 필터 또는 FBAR 필터를 사용할 수 있는데, 900MHz 대역의 AMPS 송수신 필터가 하나의 칩으로 결합되고, 인접한 영역에는 1800MHz 대역의 PCS 송수신 필터가 하나의 칩으로 결합된다.Then, as shown in FIG. 3B, the two filters 21a and 21b used in the duplexer are combined on the inductor substrate 25 of the stacked substrates on which the foot pad 30 is formed. The filter used in the duplexer may be a saw filter or FBAR filter, the AMPS transceiver filter of 900MHz band is combined into one chip, and the PCS transceiver filter of 1800MHz band is combined into one chip in the adjacent area.

상기 AMPS 송수신 필터(21a)와 PCS 송수신 필터(21b)가 결합되면 와이어 본딩 공정에 의하여 그라운드 단자는 상기 풋 패드(30)에 연결시키고, 적층된 기판들과의 전기적 콘택을 위하여 비아홀이 내부에 형성된 제 1 콘택 라인(31)과 제 2 콘택 라인(32)에 각각 접속 시킨다.When the AMPS transmit / receive filter 21a and the PCS transmit / receive filter 21b are coupled, a ground terminal is connected to the foot pad 30 by a wire bonding process, and a via hole is formed therein for electrical contact with the stacked substrates. It is connected to the 1st contact line 31 and the 2nd contact line 32, respectively.

그런 다음, 듀플렉서 칩 패키지의 내부 소자와 와이어 본딩 영역을 보호하기 위하여 금속 커버에 의하여 봉입 시킨다.It is then encapsulated by a metal cover to protect the internal elements and the wire bonding area of the duplexer chip package.

도 3c에 도시된 바와 같이, 세라믹 기판이 적층되고, 주파수 대역에 따른 필터들이 결합되면, 송수신용 듀플렉서가 하나의 세라믹 적층 패키지로 구현된다.As illustrated in FIG. 3C, when ceramic substrates are stacked and filters according to frequency bands are combined, a duplexer for transmitting and receiving is implemented in one ceramic stacked package.

LTCC 공정에 따라 인덕터들과 커패시터들이 형성된 세라믹 기판들이 형성되면 인덕터 기판(25), 커패시터 기판(26), 페이즈 시프터 기판(27) 및 전원단 커패시터 기판(28)을 일체로 적층하여 패키지를 형성한다.When the ceramic substrates having the inductors and capacitors are formed by the LTCC process, the inductor substrate 25, the capacitor substrate 26, the phase shifter substrate 27, and the power terminal capacitor substrate 28 are integrally stacked to form a package. .

상기 AMPS 송수신 필터(21a)와 PCS 송수신 필터(21b)가 상기 인덕터 기판(25) 상에 결합될 때 필터들의 그라운드 단자와 입출력 단자들의 연결을 위하여 그라운드 패턴(23)이 배치되어 있다.When the AMPS transmit / receive filter 21a and the PCS transmit / receive filter 21b are coupled on the inductor substrate 25, a ground pattern 23 is disposed to connect the ground terminals of the filters and the input / output terminals.

그리고, 상기 인덕터 기판(25), 커패시터 기판(26), 페이즈 시프터 기판(27) 및 그라운드 기판(28)들에는 각각 풋 패드(30)와 연결되는 상기 그라운드 패턴(25)을 갖는데, 이는 각각의 기판 상에서 처리되는 신호들이 인접한 세라믹 기판들에 영향을 주지 않도록 하기 위해서이다. 아울러, 터미널 사이의 삽입 손실을 방지할 수 있다.In addition, the inductor substrate 25, the capacitor substrate 26, the phase shifter substrate 27, and the ground substrates 28 each have the ground pattern 25 connected to the foot pad 30. This is to ensure that signals processed on the substrate do not affect adjacent ceramic substrates. In addition, insertion loss between terminals can be prevented.

듀플렉서의 칩 패키지에 결합되는 상기 AMPS 송수신 필터(21a)와 PCS 송수신 필터(21b)는 서로 대칭되도록 터미널을 배치함으로써, 송신과 수신 시스템과의 전기적 연결을 용이하게 할 수 있는 이점이 있다.The AMPS transmit / receive filter 21a and the PCS transmit / receive filter 21b coupled to the chip package of the duplexer have an advantage of facilitating electrical connection with a transmission and reception system by arranging terminals so as to be symmetrical with each other.

도 4는 본 발명에 따른 듀플렉서 칩의 접속 단자를 도시한 도면이다.4 is a diagram illustrating a connection terminal of a duplexer chip according to the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 듀플렉서 칩 패키지의 단자에는 좌우측에 그라운드 단자를 중심으로 상부에 1000MHz 대역 이하의 주파수 신호를 송수신하는 단자 AMPS(Tx), AMPS(Rx)와, 각각의 세라믹 기판들의 그라운드 단자 및 안테나 단자가 형성되어 있다.As shown in FIG. 4, the terminals of the duplexer chip package have terminals AMPS (Tx) and AMPS (Rx) for transmitting and receiving a frequency signal of 1000 MHz or less at the top centered on the ground terminals on the left and right sides, and the ground of the ceramic substrates. The terminal and the antenna terminal are formed.

그라운드 단자를 중심으로 하부에 1000MHz 이상(1800MHz)의 주파수 신호를 송수신하는 PCS(Tx), PCS(Rx) 및 그라운드 단자들이 형성되어 있다.PCS (Tx), PCS (Rx) and ground terminals for transmitting and receiving frequency signals of 1000 MHz or more (1800 MHz) are formed at the lower portion of the ground terminal.

따라서, 송수신용 듀플렉서가 시스템 내에서 하나의 칩 패키지로 사용되므로 통신기기의 크기를 줄일 수 있고, 부품 결합시 공간 확보가 용이하게 된다.Therefore, since the duplexer for transmitting and receiving is used as a single chip package in the system, it is possible to reduce the size of the communication device and to secure space when combining components.

이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명은 송수신 모듈에서 사용되는 듀플렉서 회로를 구현하고, 이를 LTCC 공정에 의하여 하나의 패키지 상에 모두 구현함으로써 경박 단소화 할 수 있는 효과가 있다.As described in detail above, the present invention implements the duplexer circuit used in the transmission and reception module, and it is possible to reduce the light weight by implementing all on one package by the LTCC process.

본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않고, 이하 청구 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes can be made by those skilled in the art without departing from the gist of the present invention as claimed in the following claims.

Claims (10)

이동 통신기에서 듀엘 밴드 주파수 대역의 송, 수신 신호를 분리해주기 위한 제 1 필터와 제 2 필터;A first filter and a second filter for separating transmission and reception signals of a dual band frequency band in a mobile communication device; 상기 제 1 필터와 제 2 필터의 접지를 위하여 패터닝된 그라운드 패턴;A ground pattern patterned for grounding the first filter and the second filter; 상기 그라운드 패턴에 형성되어 있고, 다이플렉서에 사용되는 인턱터들이 형성되어 있는 인덕터 기판;An inductor substrate formed in the ground pattern and having inductors used in the diplexer; 상기 인덕터 기판 하부에 다이플렉서에 사용되는 커패시터들이 형성되어 있는 커패시터 기판;A capacitor substrate having capacitors used in a diplexer under the inductor substrate; 상기 커패시터 기판 하부에 다이플렉서에 사용되는 인덕터에 의하여 구현되는 페이즈 시프터 기판; 및A phase shifter substrate implemented by an inductor used in a diplexer under the capacitor substrate; And 상기 페이즈 시프터 기판 하부에 배치되어 적층된 기판들의 접지 단자를 그라운드 시키는 그라운드 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 듀플렉서 칩 패키지.And a ground substrate disposed under the phase shifter substrate to ground ground terminals of the stacked substrates. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 인덕터 기판, 커패시터 기판, 페이즈 시프터 기판에는 각각 그라운드가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 듀플렉서 칩 패키지.And a ground disposed on the inductor substrate, the capacitor substrate, and the phase shifter substrate, respectively. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 필터와 제 2 필터 단자와 상기 인덕터 기판, 커패시터 기판 및 페이즈 시프터 기판과의 전기적 콘택을 위하여 제 1 콘택 라인과 제 2 콘택 라인이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 듀플렉서 칩 패키지.And a first contact line and a second contact line for electrical contact between the first filter, the second filter terminal, the inductor substrate, the capacitor substrate, and the phase shifter substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 필터와 제 2 필터는 쏘우 필터 또는 FBAR 필터인 것을 특징으로 하는 듀플렉서 칩 패키지.The first filter and the second filter is a duplexer chip package, characterized in that the saw filter or FBAR filter. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 필터는 1000MHz 이하의 송수신 주파수 신호를 각각 필터링 할 수 있는 필터들로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 듀플렉서 칩 패키지.The first filter is a duplexer chip package, characterized in that consisting of filters for filtering the transmission and reception frequency signals of less than 1000MHz. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 2 필터는 1000MHz 이상의 송수신 주파수 신호를 각각 필터링 할 수 있는 필터들로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 듀플렉서 칩 패키지.The second filter is a duplexer chip package, characterized in that consisting of filters for filtering the transmission and reception frequency signals of 1000MHz or more. 세라믹 기판들을 LTCC 공정을 이용하여 그라운드 기판, 페이즈 시프터 기판, 커패시터 기판 및 인덕터 기판을 각각 형성하는 단계;Forming ceramic substrates using a LTCC process, respectively, a ground substrate, a phase shifter substrate, a capacitor substrate, and an inductor substrate; 상기 결과물들을 적층하여 각각의 기판 상에 형성된 비아홀을 통하여 적층된 상하 기판들이 전기적으로 콘택하는 단계;Stacking the results to electrically contact the stacked upper and lower substrates through via holes formed on respective substrates; 상기 적층된 기판들 중에서 상층에 위치한 인덕터 기판 상에 제 1 필터와 제2 필터를 실장하는 단계;Mounting a first filter and a second filter on an inductor substrate positioned above the stacked substrates; 상기 제 1 필터와 제 2 필터들의 단자를 와이어 본딩하여 적층된 기판들과 전기저 콘택을 형성하는 단계 및Wire bonding terminals of the first and second filters to form an electrical bottom contact with the stacked substrates; and 상기 적층된 기판과 필터들의 입출력 단자 및 그라운드 단자들을 연결하는 풋 패드 형성단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 듀플렉서 칩 제조방법.And a foot pad forming step of connecting the stacked substrate and the input / output terminals and the ground terminals of the filters. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제 1 필터와 제 2 필터들의 단자들에 대응되도록 인덕턴스 기판 상에 회로 패턴이 되어 있는 것을 특징으로 하는 듀플렉서 칩 제조방법.And a circuit pattern formed on an inductance substrate so as to correspond to terminals of the first filter and the second filter. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 인덕턴스 기판, 커패시터 기판, 페이즈 시프터 기판 및 그라운드 기판에 각각 신호적 독립을 위하여 그라운드 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 듀플렉서 칩 제조방법.And forming a ground pattern on the inductance substrate, the capacitor substrate, the phase shifter substrate, and the ground substrate for signal independence, respectively. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 적층되는 인덕턴스 기판, 커패시터 기판, 페이즈 시프터 기판 및 그라운드 기판들 상에는 상하 기판들간의 전기적 콘택을 위하여 비아홀을 형성한 다음 상기 비아홀 내부에 금속 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 듀플렉서 칩 제조방법.And forming a via hole on the stacked inductance substrate, the capacitor substrate, the phase shifter substrate, and the ground substrates for electrical contact between the upper and lower substrates, and then forming a metal pattern inside the via hole.
KR1020020044821A 2002-07-30 2002-07-30 Duplexer chip package and methode for manufacturing duplexer chip package KR20040011728A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020044821A KR20040011728A (en) 2002-07-30 2002-07-30 Duplexer chip package and methode for manufacturing duplexer chip package

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020020044821A KR20040011728A (en) 2002-07-30 2002-07-30 Duplexer chip package and methode for manufacturing duplexer chip package

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20040011728A true KR20040011728A (en) 2004-02-11

Family

ID=37319787

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020020044821A KR20040011728A (en) 2002-07-30 2002-07-30 Duplexer chip package and methode for manufacturing duplexer chip package

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20040011728A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100666693B1 (en) * 2004-11-23 2007-01-11 삼성전자주식회사 Monolithic duplexer
KR100820556B1 (en) * 2002-11-15 2008-04-07 엘지이노텍 주식회사 Method for manufacturing duplexer
WO2011136412A1 (en) * 2010-04-29 2011-11-03 씨어스테크놀로지 주식회사 Stacked-chip diplexer for separating a uwb signal and a coaxial line signal
KR101499948B1 (en) * 2007-07-23 2015-03-09 엘지이노텍 주식회사 Intergrated communication module
CN113037246A (en) * 2021-02-08 2021-06-25 苏州汉天下电子有限公司 Duplexer, manufacturing method thereof and multiplexer

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000028350A (en) * 1998-10-31 2000-05-25 김춘호 Surface elastic wave duplexer package
KR20010037952A (en) * 1999-10-21 2001-05-15 김충환 Surface acoustic wave duplexer and manufacturing method thereof
JP2001267881A (en) * 2000-03-17 2001-09-28 Fujitsu Media Device Kk Surface acoustic wave device, communication equipment using the same and antenna duplexer
KR20020018233A (en) * 2000-09-01 2002-03-08 이형도 One chip diplexer of dual phone and method for producting one chip diplexer
KR100344637B1 (en) * 2000-12-18 2002-07-25 Samsung Electro Mech Saw duplexer
KR20020066361A (en) * 2001-02-09 2002-08-16 후지쯔 가부시끼가이샤 Duplexer device

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000028350A (en) * 1998-10-31 2000-05-25 김춘호 Surface elastic wave duplexer package
KR20010037952A (en) * 1999-10-21 2001-05-15 김충환 Surface acoustic wave duplexer and manufacturing method thereof
JP2001267881A (en) * 2000-03-17 2001-09-28 Fujitsu Media Device Kk Surface acoustic wave device, communication equipment using the same and antenna duplexer
KR20020018233A (en) * 2000-09-01 2002-03-08 이형도 One chip diplexer of dual phone and method for producting one chip diplexer
KR100344637B1 (en) * 2000-12-18 2002-07-25 Samsung Electro Mech Saw duplexer
KR20020066361A (en) * 2001-02-09 2002-08-16 후지쯔 가부시끼가이샤 Duplexer device

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100820556B1 (en) * 2002-11-15 2008-04-07 엘지이노텍 주식회사 Method for manufacturing duplexer
KR100666693B1 (en) * 2004-11-23 2007-01-11 삼성전자주식회사 Monolithic duplexer
KR101499948B1 (en) * 2007-07-23 2015-03-09 엘지이노텍 주식회사 Intergrated communication module
WO2011136412A1 (en) * 2010-04-29 2011-11-03 씨어스테크놀로지 주식회사 Stacked-chip diplexer for separating a uwb signal and a coaxial line signal
KR101132733B1 (en) * 2010-04-29 2012-04-06 (주)씨어스테크놀로지 Multi-layer chip diplexer for uwb and conventional coax service band
CN113037246A (en) * 2021-02-08 2021-06-25 苏州汉天下电子有限公司 Duplexer, manufacturing method thereof and multiplexer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10873352B2 (en) Radio-frequency module and communication apparatus
JP4000960B2 (en) Duplexer, communication equipment
US7053731B2 (en) Duplexer using surface acoustic wave filters
US7339445B2 (en) BAW duplexer without phase shifter
US9077311B2 (en) Acoustic filter and method of acoustic filter manufacture
EP1758247A2 (en) Duplexer having matching circuit
JP5355958B2 (en) Filters, duplexers, and communication equipment
US20070111674A1 (en) Duplexer
US20030214368A1 (en) Surface acoustic wave duplexer and communication apparatus having the same
US11463050B2 (en) Radio frequency circuit and communication apparatus
US7848727B2 (en) Integrated radio frequency module
JP2005268878A (en) Antenna duplexer
KR100969139B1 (en) Dual band duplexer circuit
JP2005065225A (en) Surface acoustic wave demultiplexer
KR20040011728A (en) Duplexer chip package and methode for manufacturing duplexer chip package
US11729903B2 (en) Radio frequency module and communication device
JP2003152590A (en) Antenna-switching module
KR100820556B1 (en) Method for manufacturing duplexer
KR100993087B1 (en) Front-end module and method for manufacturing of front-end module
KR20110037471A (en) Quadplexer for dual-band handset
KR100851169B1 (en) Duplexer package and method for manufacturing thereof
KR100986499B1 (en) Duplexer circuit
KR100999819B1 (en) Front end module
KR100574532B1 (en) Multi-band transmitter- receiver package
KR20050012371A (en) Duplexer package structure

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application