KR20040008457A - 레티클을 수용하는 레티클 케이스 - Google Patents

Abstract

포토레지스트 패턴 형성 공정시 사용되는 레티클을 보관하는 레티클 케이스가 개시되어 있다. 상기 레티클 케이스는 반도체 제조 장치에서 레티클의 오염 및 손상을 방지하기 위해 상부와 일측부가 개방되어 상기 레티클을 수용하기 위한 레티클 수용부를 구비하고 있다. 상기 레티클 수용부와 힌지(hinge)결합되고, 상기 레티클 수용부의 상부와 일측부를 커버하는 수용부 덮개를 구비하고 있다. 그리고, 상기 수용부 덮개의 일측부와 결합되고, 상기 레티클을 식별하기 위해 레티클 바코드 또는 레티클 네임이 기재된 명판을 수용하기 위한 명판 삽입부를 더 포함하고 있다. 상기와 같은 레티클 케이스에는 레티클 네임 스티커를 부착시키지 않고, 상기 명판 삽입부에 상기 명판을 삽입시킬 수 있어 이후 상기 레티클의 이송할 때 상기 명판을 쉽게 제거 및 교환할 수 있고, 접착제로 인한 상기 레티클의 오염을 방지할 수 있다.

Description

레티클을 수용하는 레티클 케이스{apparatus for reticle case in the holding reticle}

본 발명은 레티클 케이스에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 장치 제조의 포토 마스킹 공정에서 마스크를 제작하는데 사용되는 레티클을 보관하기 위한 레티클 케이스에 관한 것이다.

근래에 컴퓨터와 같은 정보 매체의 급속한 보급에 따라 반도체 장치도 비약적으로 발전하고 있다. 그 기능 면에 있어서, 상기 반도체 장치는 고속으로 동작하는 동시에 대용량의 저장 능력을 가질 것이 요구된다. 이에 따라 상기 반도체 장치는 집적도, 신뢰도 및 응답 속도 등을 향상시키는 방향으로 제조 기술이 발전되고 있다. 이와 같이, 상기 제조 기술이 발전함에 따라 패턴 형성, 막 형성 등과 같은 미세 가공 기술에 대한 요구가 엄격해지고 있다.

상기 미세 가공 기술 중에서, 포토 마스킹(Photomasking) 공정은 반도체 웨이퍼의 최상층을 선택적으로 제거하거나 패턴을 형성하는 기술이다. 포토 마스킹(Photomasking) 공정에서 가장 중요하게 사용되는 포토 마스크를 제작하기 위해서는 최적의 파라미터를 물리적 크기로 나타낸 패턴을 구성하는 것으로부터 시작하여 상기 패턴을 유리 기판의 표면으로 전이시켜야 한다.

그리고, 상기 유리 기판의 표면에는 에멀젼 또는 크롬, 산화철 박막 등을 이용하여 소정의 패턴을 형성한다. 이때, 상기 패턴 형성의 원본이 되는 것을레티클(Reticle)이라 하며, 스텝 앤드 리피트(Step and Repeat ;스텝퍼(Stepper)라고도 한다)의 조작에 의해 마스크로 패턴을 옮기는 기초가 된다.

이때 상기 레티클을 스텝퍼 내로 공급하기 위하여, 상기 레티클을 고정시켜 취급을 용이하게 하기 위해 레티클 케이스가 사용된다. 상기 레티클을 안전하게 보관하고, 불순물로 인한 오염을 방지하기 위한 레티클 케이스의 일 예가 일본 공개 특허평4-27949호에 개시되어 있다.

도 1은 종래의 반도체 장치 제조용 레티클 케이스를 개략적으로 나타낸 사시도이다.

도 1을 참조하면, 레티클을 수용하기 위해, 저면(12), 좌우측면(14a,14b), 배면(16)을 포함하여 스레받이 형상을 갖는 케이스 본체(10)와 상기 케이스 본체(10)에 힌지(hinge)결합되어 상기 케이스 본체(10)를 덮어주는 케이스 커버(20), 상기 케이스 본체(10)의 저면(12) 상에는 상기 케이스 본체(10)의 좌우 측면(14a, 14b)에 평행하게 연장된 구조를 갖는 가이드판(18a, 18b)이 세워져 설치되어 있다

상기와 같은 구성을 갖는 종래의 레티클 케이스는 상기 케이스 내에 구비되어 있는 레티클을 구별하기 위한 넘버를 기재하는 별도의 표시보드가 존재하지 않아 상기 레티클 케이의 소정부위에 레티클 네임 넘버(RETICLE NAME NUMBER)와 레티클 바코드(RETICLE BAR CODE)용 스티커 또는 아무런 표기가 없는 스티커를 채용하여 공란에 임의로 기록하는 방식을 채택하여 사용하고 있다.

그러나, 이러한 방식을 채택함으로 인해 상기 레티클 케이스 내에 구비되어있는 레티클을 변경하여 보관하거나, 다른 곳으로 이송하여 사용할 경우에는 상기 레티클 케이스에 붙어 있는 스티커를 제거하고 새로운 스티커를 부착하여 사용해야 한다. 상기와 같은 불필요한 작업으로 인해 사용자의 글러브에 스티커 부착용 접착제가 묻게 되어 상기 레티클의 오염을 초래할 수 있다.

그러므로, 상기와 같은 오염으로 인해 반도체 웨이퍼에 형성될 패턴의 외곡 또는 포커싱 오류를 발생시키는 치명적인 원인이 발생한다.

본 발명의 목적은 레티클 케이스에 부착하여 상기 레티클 케이스에 수용된 레티클을 식별하기 위한 레티클 명판(name number) 또는 레티클 바코드를 상기 레티클의 오염을 방지하면서 상기 레티클 케이스에 부착시킬 수 있는 레티클 케이스를 제공하는 데 있다.

도 1은 종래의 반도체 장치 제조용 레티클 케이스를 개략적으로 나타낸 사시도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 장치의 레티클 케이스를 개략적으로 나타낸 사시도이다.

도 3a 내지 3b은 본 발명의 일 실시예에 따른 레티클 케이스의 명판 삽입부를 나타낸 사시도이다.

도 4a 내지 4b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레티클 케이스의 명판 삽입부를 나타낸 사시도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

50 : 레티클 수용부52 : 저면

54 : 측면56 : 측면 가이드

60 : 수용부 덮개62 : 제1플레이트

64 : 제2플레이트66 : 결합공

70 : 명판 삽입부72 : 제3플레이트

74 : 제4플레이트80 : 제5플레이트

100 : 레티클 케이스

상기 본 발명의 목적을 달성하기 위해 레티클의 오염 및 손상을 방지하고, 상부와 일측부가 개방되어 상기 레티클을 수용하기 위한 레티클 수용부 및 상기 레티클 수용부와 힌지(hinge)결합되고, 상기 레티클 수용부의 상부와 일측부를 커버하는 수용부 덮개를 포함하는 레티클 케이스는,

상기 수용부 덮개의 일측부와 결합되고, 상기 레티클을 식별하기 위해 레티클 바코드 또는 레티클 명판을 삽입 및 수용하기 위한 명판 삽입부를 제공하는데 있다.

특히, 상기 명판 삽입부는 상기 레티클 수용부 덮개의 제1면과 결합되는 제1플레이트의 계면에 상기 바코드 또는 명판을 삽입 및 수용하기 위한 오목부가 형성되어, 트렌치 구조의 플레이트 형상을 갖는 것이 바람직하다.

상기와 같은 구조를 갖는 레티클 케이스는 레티클 바코드 또는 레티클 네임이 형성된 스티커를 이용하여 상기 레티클 케이스에 직접 부착시키지 않고, 상기 명판 삽입부에 상기 레티클 바코드 또는 레티클 네임이 기재된 명판을 삽입시킬 수 있어 이후 상기 레티클의 이송할 때 상기 레티클 명판을 쉽게 제거 및 교환할 수 있고, 상기 스티커의 접착제로 인한 상기 레티클의 오염을 방지할 수 있다.

이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 장치의 레티클 케이스를 개략적으로 나타낸 사시도이다.

도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 반도체 장치 제조용의 레티클 케이스는 종래의 레티클 케이스에서 실질적으로 레티클의 종류를 식별하기 위한 레티클 바코드 또는 레티클 네임이 기재된 명판을 삽입 방식으로 수용하는 명판 삽입부를 더 포함하는 점에 그 특징이 있다.

본 발명의 레티클 케이스(100)는 크게 상기 레티클(도시하지 않음)을 수용하기 위한 레티클 수용부(50), 상기 레티클 수용부(50)에 수용된 레티클의 오염을 방지하기 위한 수용부 덮개(60) 및 상기 레티클의 종류를 식별하기 위한 레티클 바코드 또는 레티클 네임이 기재된 명판을 수용하는 명판 삽입부(70)로 구성된다.

상기 레티클 케이스(100)의 레티클 수용부(50)는 상면과 정면이 개방된 스레받이 형상을 갖고 있다. 즉, 상기 레티클을 지지하는 저면(52), 상기 저면(52)의 가장자리를 따라 위치한 3개의 측면(54)을 포함하고 있다.

상기 레티클 수용부(50)의 저면(52) 상에는 좌우의 측면(54a, 54b)에 평행하게 연장된 구조를 갖는 가이드판(56a, 56b)이 세워져 설치되어 있다. 상기 가이드판 (56a, 56b)의 내측에의 저면(52) 상에는 설치된 4개의 지지부재(58)가 고정되어 있다.

상기 4개의 지지부재(58)는 상기 레티클 케이스(100)에 수용되는 레티클을 움직이지 않게 지지하는 역할을 한다.

상기 레티클 수용부(50)의 일측 면에는 상기 레티클 수용부(50)의 후면과 인접되는 좌우 측벽(54a,54b)에 힌지(hinge)결합되어 상기 개방된 레티클 수용부(50)의 상면과 정면을 덮어주어 외부와 밀폐시키기 위한 수용부 덮개(60)가 구비되어 있다.

그리고, 상기 수용부 덮개(60)는 상기 레티클 수용부(50)에 구비된 고정부(도시하지 않음)를 통해 고정되어 있는데, 필요한 경우에는 상기 고정부를 해제하고, 상기 수용부 덮개(60)를 상기 힌지를 중심으로 회전운동시킴으로써 상기 레티클 수용부(50) 내부를 개방할 수 있다.

상기 수용부 덮개(60)는 상기 레티클 수용부(50)의 상부를 덮는 제1플레이트(62)와 상기 레티클 수용부(50)의 정면부를 덮는 제2플레이트(64)로 구성되어 있고, 상기 제1플레이트(62)는 광을 통과시키는 투명한 재질로 이루어져 있어 상기 레티클 수용부(50)에 수용되어 있는 레티클의 상태를 관찰할 수 있다.

또한 상기 레티클 케이스(100)에 보관되는 레티클의 종류를 식별하기 위해 레티클 바코드 또는 레티클 네임이 기재된 명판을 수용하는 명판 삽입부(70)는 상기 수용부 덮개(60)의 제2 플레이트(64)에 결합되어 있고, 상기 레티클 바코드 또는 레티클 명판을 삽입 및 수용하기 위한 오목부가 형성된 플레이트 형상을 갖는다. 그리고, 상기 명판 삽입부(70)는 상기 명판에 기재된 상기 레티클 바코드 또는 레티클 네임을 육안으로 식별할 수 있도록 광을 투과시키는 플레이트로 이루어져 있다.

상기 본 발명의 레티클 케이스는 상기 명판 삽입부를 더 구비함으로서 레티클 이름 표시용 스티커나 아무런 표기가 없는 스티커를 채용하여 공란에 임의로 기록하는 방식을 채택하여 사용필요가 없다.

또한, 상기 레티클을 NIKON사의 레티클 케이스에서 보관하다가 다수개의 레티클을 보관할 수 있는 ASML사의 레티클 케이스로 이동시켜 상기 레티클을 보관할 경우, 상기 ASML사의 레티클 케이스에 위치한 명판 삽입부에 상기 NIKON 사의 레티클 케이스에 사용되던 레티클 명판을 손쉽게 삽입시킬 수 있어 상기 스티커의 접착제로 인한 레티클의 오염을 방지할 수 있다.

도 3a 내지 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 레티클 케이스의 명판 삽입부를 나타낸 사시도이다.

상기 도 3a 내지 3b를 참조하면, 상기 레티클 케이스에 보관되는 레티클의 종류를 식별하기 위한 레티클 바코드 또는 레티클 네임이 기재된 명판을 수용하는 명판 삽입부(70)는 상기 수용부 덮개의 제2플레이트에 결합되어 있다.

그리고, 상기 명판 삽입부(70)는 상기 수용부 덮개의 제2플레이트와 결합하기 위한 다수개의 결합공(74)이 형성된 제3플레이트(72)와 상기 제3플레이트(72)의 중심부에 위치하고, 상기 제3플레이트(72)와 부착되는 계면에 상기 레티클 바코드 또는 레티클 네임이 기재된 명판을 수용하기 위한 오목부가 형성된 제4플레이트(76)를 포함하고 있다.

상기 다수개의 결합공(74)은 상기 제4플레이트(76)가 위치하지 않은 제3플레이트(72)의 양 측부에 각각 형성되어 있어 이후 나사를 사용하여 상기 수용부 덮개의 제2플레이트와 결합시킬 수 있다.

그리고, 상기 제4플레이트(76)의 오목부 내측면에는 상기 명판의 수용을보다 용이하게 하기 위해 명판 가이드 홈이 형성되어 있고, 상기 레티클 수용부의 저면을 기준으로 할 때 상기 제4플레이트(76)의 좌측면 또는 우측면에 상기 레티클 명판을 삽입하기 위한 슬릿(개구부;78)이 형성되어 있다. 또한, 레티클 수용부의 저면을 기준으로 할 때 상기 제4플레이트의 상측면에 상기 레티클 명판을 삽입하기 위한 슬릿(개구부;78)이 형성되어 있다.

그리고, 상기 명판 삽입부(70)는 상기 명판에 기재된 레티클 바코드 또는 레티클 네임을 육안으로 식별할 수 있도록 광을 투과시키는 재질을 갖거나, 상기 명판 삽입부의 제4플레이트(76)에 상기 명판에 기재된 레티클 네임을 식별할 수 있는 창이 형성되어 있다.

도 4a 내지 4b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레티클 케이스의 명판 삽입부를 나타낸 사시도이다.

도 4a 내지 4b를 참조하면, 상기 레티클 케이스에 보관되는 레티클의 종류를 식별하기 위한 레티클 바코드 또는 레티클 네임이 기재된 명판을 수용하는 명판 삽입부(70)는 상기 수용부 덮개의 제2 플레이트에 결합되어 있다.

그리고, 상기 명판 삽입부(70)는 상기 수용부 덮개의 제2플레이트와 결합되는 제5플레이트(80)의 계면에 상기 명판을 수용하기 위한 오목부가 형성되어있고, 트렌치 구조의 플레이트 형상을 갖는다. 그리고 상기 오목부가 형성되지 않는 제5플레이트(80) 외측부에는 상기 제2플레이트와 결합하기 위한 결합공(74)이 형성되어 있다.

그리고, 상기 제5플레이트(80)의 오목부 내측면에는 상기 명판의 수용을보다 용이하게 하기 위해 명판 가이드 홈이 형성되어 있고, 상기 레티클 수용부의 저면을 기준으로 할 때 상기 제5플레이트(80)의 좌측면 또는 우측면에 상기 레티클 명판을 삽입하기 위한 슬릿(개구부;78)이 형성되어 있다. 또한, 레티클 수용부의 저면을 기준으로 할 때 상기 제5플레이트(80)의 상측면에는 상기 명판을 삽입하기 위한 슬릿(개구부;78)이 형성되어 있다.

상기 명판 삽입부(70)는 상기 레티클 바코드 또는 레티클 네임이 기재된 명판을 육안으로 식별할 수 있도록 광을 투과시키는 재질을 갖거나, 상기 명판 삽입부의 제5플레이트(80)에 상기 레티클 네임이 기재된 명판을 식별할 수 있는 창이 형성되어 있다.

따라서, 본 발명에 의하면 상기 레티클 케이스에 상기 명판 삽입부를 더 구비함으로서 레티클 이름 표시용 스티커나 아무런 표기가 없는 스티커를 채용하여 공란에 임의로 기록하는 방식을 사용필요가 없기 때문에 상기 레티클이 상기 스티커의 접착제로 인한 오염을 방지할 수 있다.

또한, 1개의 레티클만을 보관하는 레티클 케이스에서 다수개를 동시에 보관하는 레티클 케이스로 상기 레티클을 이동시킬 때 상기 레티클 케이스에 보관되는 레티클의 수만큼 상기 레티클 삽입부를 구비함으로서 레티클 명판을 용이하게 위치시키고, 보다 쉽게 상기 레티클 명판을 교환할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (5)

1. 반도체 장치를 제조하기 위한 노광 공정에 사용되는 레티클의 오염 및 손상을 방지하기 위하여 상부와 일측부가 개방됨으로서 상기 레티클을 수용하는 레티클 수용부 및 상기 레티클 수용부와 힌지(hinge)결합되고, 상기 레티클 수용부의 상부와 일측부를 커버하기 위한 수용부 덮개를 포함하는 레티클 케이스에 있어서,

   상기 수용부 덮개의 일측부와 결합되고, 상기 레티클을 식별하기 위해 레티클 바코드 또는 레티클 네임이 기재된 명판을 수용하기 위한 명판 삽입부를 포함하는 레티클 케이스.
2. 제1항에 있어서, 상기 명판 삽입부는 광을 투과시키는 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 레티클 케이스.
3. 제1항에 있어서, 상기 명판 삽입부는,

   상기 수용부 덮개와 결합하기 위한 다수 개의 결합공이 형성된 제1플레이트;

   상기 결합공이 형성되지 않는 영역의 제1플레이트 중심부에 위치하고, 상기 제1플레이트와 부착되는 계면에 상기 레티클 바코드 또는 레티클 네임이 기재된 명판을 수용하기 위한 오목부가 형성된 제2플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 레티클 케이스.
4. 제3항에 있어서, 상기 제2플레이트는 상기 레티클 바코드 및 레티클 네임을 기재된 명판을 육안으로 식별하기 위한 창이 형성된 것을 특징으로 하는 레티클 케이스.
5. 제3항에 있어서, 상기 제2플레이트의 상면, 좌측면 또는 우측면에는 상기 레티클 바코드 또는 레티클 네임이 기재된 명판을 삽입하기 위한 개구부가 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 레티클 케이스.