KR20040008045A - 회전이 가능한 마스크 구조 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 회전이 가능한 마스크 구조에 관한 것으로서, 특히, 마스크의 상부면에 형성된 패턴영역의 측면부분에 0°방향, 90°방향, 180°방향 및 270°방향을 표시하는 제1,제2,제3,제4마스크정렬마크를 각각 형성한 상태에서 마스크를 회전하여 일치하는 패턴이 존재하는 경우, 동일 마스크를 회전시켜 사용하므로 마스크제작 비용을 절감하고, 생산성을 증대하도록 하는 매우 유용하고 효과적인 발명에 관한 것이다.

Description

회전이 가능한 마스크 구조 { A Rotable Mask Structure }
본 발명은 노광공정에 사용되는 마스크(Mask)에 관한 것으로서, 특히, 마스크의 상부면에 형성된 패턴영역의 측면부분에 0°방향, 90°방향, 180°방향 및 270°방향을 표시하는 제1,제2,제3,제4마스크정렬마크를 각각 형성한 상태에서 회전하여 일치하는 패턴이 존재하는 경우, 동일 마스크를 회전하여 사용하므로 마스크제작 비용을 절감하고, 생산성을 증대하도록 하는 회전이 가능한 마스크 구조에 관한 것이다.
일반적으로, 마스크 기술이 발전함에 따라 원하는 패터닝을 하기 위하여서는 여러 개의 마스크가 필요한 경우가 발생한다. 어미마스크를 이용하여 스텝퍼(Stepper)나 스캐너(Scaner)로 아들마스크를 제작하는 기술에는 한 개의 아들마스크를 노광하기 위하여서는 여러 개의 어미 마스크가 필요하다.
이 때, 아들마스크에 형성되는 패턴을 나누어 여러 개의 어미마스크에 그린 후, 어미마스크의 패턴을 선택하여 정해진 위치에 노광을 함으로써 원하는 아들마스크 패턴을 얻을 수 있다.
도 1은 종래의 마스크를 사용하는 상태를 개략적으로 보인 도면이고, 도 2는 종래의 마스크를 상세하게 보인 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 마스크(1)는, 중심부분에 패턴영역이 형성되어지고, 측면부분에 0°방향을 표시하는 마스크정렬마크(2)가 표시되어진다.
도 1에 의거하여 종래의 마스크(1)를 사용하는 상태를 살펴 보면, 마스크(1)를 마스크정렬마크(2)를 보고 0°방향으로 위치를 정한 후에 광(3)을 마스크(1)의 상부면에 조사하여 노광렌즈(4)로 투과하도록 한다.
그리고, 상기 노광렌즈(4)를 투과한 광은 마스크(1)의 패턴영역(6)을 표시하여 하부에 위치하는 노광대상물체(5)에 노광하여 감광막에 패턴을 형성하게 된다.
그런데, 상기 어미마스크의 일부패턴은 회전시에 일치하는 경우가 존재하는데, 종래 기술에 의하여 마스크를 제작하는 경우에는 정해진 한 방향으로만 장착이 가능하므로 회전시 일치하는 패턴이 어미마스크에 존재하더라도 각각의 마스크가 반드시 필요하므로 불필요한 어미마스크가 필요하게 되어 마스크 제작비용이 많이 들 뿐만아니라 마스크의 대체에 따른 생산성이 저하되는 문제점을 지닌다.
본 발명은 이러한 점을 감안하여 안출한 것으로서, 마스크의 상부면에 형성된 패턴영역의 측면부분에 0°방향, 90°방향, 180°방향 및 270°방향을 표시하는 제1,제2,제3,제4마스크정렬마크를 각각 형성한 상태에서 회전하여 일치하는 패턴이 존재하는 경우, 동일 마스크를 회전하여 사용하므로 마스크제작 비용을 절감하고, 생산성을 증대하도록 하는 것이 목적이다.
도 1은 종래의 마스크를 사용하는 상태를 개략적으로 보인 도면이고,
도 2는 종래의 마스크를 상세하게 보인 도면이고,
도 3은 본 발명에 따른 마스크의 구도를 상세하게 보인 도면이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
10 : 마스크 12 : 제1마스크정렬마크
14 : 제2마스크정렬마크 16 : 제3마스크정렬마크
18 : 제4마스크정렬마크 20 : 패턴영역
본 발명의 목적은, 제1마스크정렬마크를 보고 0°방향으로 마스크의 위치를 정한 후에 광을 마스크의 상부면에 조사하여 노광렌즈로 투과하도록 하는 노광장치에 있어서, 상기 마스크의 제1마스크정렬마크에 대하여 90°방향으로 형성되는 제2정렬마크와; 상기 마스크의 제1마스크정렬마크에 대하여 180°방향으로 형성되는 제3정렬마크와; 상기 마스크의 제1마스크정렬마크에 대하여 270°방향으로 형성되는 제4정렬마크로 구성된 회전이 가능한 마스크 구조를 제공함으로써 달성된다.
그리고, 상기 제1,제2,제3,제4마스크정렬마크의 좌표는, 장착방향을 기준으로 하는 각 기준 좌표계에 대하여 중복되도록 한다.
그리고, 상기 제1,제2,제3,제4마스크정렬마크의 좌표는, 장착방향을 기준으로 하는 각 기준 좌표계에 대하여 중복되지 않도록 한다.
상기 마스크는, 광원을 사용하지 않는 마스크에도 적용하는 것이 바람직 하다.
이하, 첨부도면에 의거하여 본 발명의 일 실시예를 살펴 보도록 한다.
도 3은 본 발명에 따른 마스크의 구도를 상세하게 보인 도면이다.
본 발명의 구성은, 제1마스크정렬마크(12)를 보고 0°방향으로 마스크의 위치를 정한 후에 광(3)을 마스크(1)의 상부면에 조사하여 노광렌즈(4)로 투과하도록 하는 노광장치에 있어서, 상기 마스크(10)의 제1마스크정렬마크(12)에 대하여 90°방향으로 형성되는 제2정렬마크(14)와; 상기 마스크(10)의 제1마스크정렬마크(12)에 대하여 180°방향으로 형성되는 제3정렬마크(16)와; 상기 마스크(10)의 제1마스크정렬마크(12)에 대하여 270°방향으로 형성되는 제4정렬마크(18)로 구성된다.
그리고, 상기 제1,제2,제3,제4마스크정렬마크(12)(14)(16)(18)의 좌표는, 장착방향을 기준으로 하는 각 기준 좌표계에 대하여 중복되는 경우를 포함한다.
그리고, 상기 제1,제2,제3,제4마스크정렬마크(12)(14)(16)(18)의 좌표는, 장착방향을 기준으로 하는 각 기준 좌표계에 대하여 중복되지 않는 경우를 포함한다.
상기 마스크(10)는, 광원을 사용하지 않는 마스크에도 적용하도록 할 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 따른 상기 마스크(10)를, 0°방향으로 장착하는 경우에는 제1마스크정렬마크(12)를 보고 마스크(10)를 장착하도록 한다.
그리고, 상기 마스크(10)를 90°방향으로 회전하여 장착하는 경우에는 제2마스크정렬마크(14)를 보고 회전시켜 위치를 맞춘 후에 장착하도록 한다.
그리고, 상기 마스크(10)를 180°방향으로 회전하여 장착하는 경우에는 제3마스크정렬마크(16)를 보고 회전시켜 위치를 맞춘 후에 장착하도록 한다.
또한, 상기 마스크(10)를 270°방향으로 회전하여 장착하는 경우에는 제4마스크정렬마크(18)를 보고 회전시켜 위치를 맞춘 후에 장착하도록 한다.
상기 마스크(10)는, 두가지 각도만을 적용하도록 하는 구조로 정렬마크를 표시하여 사용하는 것이 가능하다. 예를 들어 0°와 180°, 0°와 90° 및 0°와 270°등과 같은 경우이다.
따라서, 상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 회전이 가능한 마스크 구조에 의하면, 마스크의 상부면에 형성된 패턴영역의 측면부분에 0°방향, 90°방향, 180°방향 및 270°방향을 표시하는 제1,제2,제3,제4마스크정렬마크를 각각 형성한 상태에서 마스크를 회전하여 일치하는 패턴이 존재하는 경우, 동일 마스크를 회전시켜 사용하므로 마스크제작 비용을 절감하고, 생산성을 증대하도록 하는 매우 유용하고 효과적인 발명이다.

Claims (4)

  1. 제1마스크정렬마크를 보고 0°방향으로 마스크의 위치를 정한 후에 광을 마스크의 상부면에 조사하여 노광렌즈로 투과하도록 하는 노광장치에 있어서,
    상기 마스크의 제1마스크정렬마크에 대하여 90°방향으로 형성되는 제2정렬마크와;
    상기 마스크의 제1마스크정렬마크에 대하여 180°방향으로 형성되는 제3정렬마크와;
    상기 마스크의 제1마스크정렬마크에 대하여 270°방향으로 형성되는 제4정렬마크로 구성된 것을 특징으로 하는 회전이 가능한 마스크 구조.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제1,제2,제3,제4마스크정렬마크의 좌표는, 장착방향을 기준으로 하는 각 기준 좌표계에 대하여 중복되는 것을 특징으로 하는 회전이 가능한 마스크 구조.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 제1,제2,제3,제4마스크정렬마크의 좌표는, 장착방향을 기준으로 하는 각 기준 좌표계에 대하여 중복되지 않는 것을 특징으로 하는 회전이 가능한 마스크 구조.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 마스크는, 광원을 사용하지 않는 마스크에도 적용하는 것을 특징으로 하는 회전이 가능한 마스크 구조.
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