KR200398931Y1

KR200398931Y1 - 반도체 제조장비의 픽업장치

Info

Publication number: KR200398931Y1
Application number: KR20-2005-0022777U
Authority: KR
Inventors: 양서일
Original assignee: (주) 선양디엔티
Priority date: 2005-08-05
Filing date: 2005-08-05
Publication date: 2005-10-17

Abstract

본 고안은 구조가 간단하면서, 백래쉬의 발생을 방지할 수 있으며, 소음과 진동발생을 줄여 작업의 신뢰성을 높일 수 있도록 된 새로운 구조의 반도체 제조장비의 픽업장치에 관한 것이다.

본 고안에 따르면, 바디(2)와, 상기 바디(2)에 상호 상하방향에 위치되도록 장착된 구동풀리(4) 및 피동풀리(6)와, 상기 구동풀리(4)에 연결된 구동모터(8)와, 폐루프로 구성되며 상기 구동풀리(4)와 피동풀리(6)에 상하방향으로 장원형태를 이루도록 설치되어 직선으로 펴지는 직선부가 양측에 형성된 벨트(10)와, 상기 바디(2)에 승강가능하게 직립설치되며 일측이 상기 벨트(10)에 연결되는 복수개의 승강축(12)과, 이 승강축(12)의 하단에 장착되어 승강축(12)과 함께 승강되는 복수개의 피커(14)를 포함하여 구성되며, 상기 승강축(12)은 상기 벨트(10) 양측의 직선부(28)에 연결되어, 상기 구동풀리(4)에 의해 벨트(10)가 구동하면, 벨트(10)의 양측에 연결된 승강축(12) 및 피커(14)가 동시에 상호 반대로 승강되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 픽업장치가 제공된다.

Description

반도체 제조장비의 픽업장치{pick-up apparatus for semi conductor manufacturing machine}

본 고안은 반도체 제조장비의 피커장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 구조가 간단하면서, 백래쉬의 발생을 방지할 수 있으며, 소음과 진동발생을 줄여 작업의 신뢰성을 높일 수 있도록 된 새로운 구조의 반도체 제조장비의 픽업장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조장비의 픽업장치는 바디에 승강가능하게 설치된 승강축의 하단부에 피커를 장착하여, 반도체 패키지 등을 들어올린 후, 이송 및 배치할 수 있도록 된 것으로, 반도체 패키지 등의 실장작업이나 이송, 공급공정 등에 폭넓게 사용한다. 이때, 상기 피커는 진공압을 이용하여 반도체 패키지 등을 흡착하는 흡착헤드가 주로 사용되며, 상기 승강축에는 랙과 피니언조합으로 서보모터가 연결되어, 서보모터를 구동시켜 승강축 및 피커를 승강시킬 수 있도록 구성된다. 그런데, 이러한 픽업장치는 각각의 승강축에 고가의 서보모터를 하나씩 연결하여야 하므로, 코스트가 상승될 뿐 아니라, 랙과 피니언방식으로 승강축을 승강시키므로, 백래시가 발생될 수 있는 문제점이 있었다.

또한 최근에는 두 개의 승강축을 하나의 쌍으로 구성하고, 하나의 서보모터에 의해 작동되는 구동기구를 이용하여, 승강축이 교대로 승강되도록 하므로써, 서보모터의 개수를 줄일 수 있는 타입의 픽업장치가 개발되기도 하였다. 이 픽업장치는 하나의 랙기어 양측에 2개의 승강축을 랙과 피니언조합으로 치합하여, 랙기어를 회전시켜 2개의 승강축을 상호 반대방향으로 승강시킬 수 있도록 구성된다. 그러나, 이러한 픽업장치 역시, 랙과 피니언방식을 이용하며, 특히, 하나의 랙기어에 2개의 피니언기어를 치합하므로, 백래쉬가 더욱 크게 발생될 뿐 아니라, 소음과 진동이 크게 발생된다. 따라서, 작업의 신뢰성이 떨어질 뿐 아니라, 이를 방지하기 위해서 별도의 장치를 구비할 경우, 구조가 복잡해지고 코스트가 상승되는 문제점이 있었다.

본 고안은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 고안의 목적은 구조가 간단하면서, 백래쉬의 발생을 방지할 수 있으며, 소음과 진동발생을 줄여 작업의 신뢰성을 높일 수 있도록 된 새로운 구조의 반도체 제조장비의 픽업장치를 제공하는 것이다.

본 고안의 다른 특징에 따르면, 상기 피동풀리(6)는 바디(2)에 상하로 위치조절가능하게 장착되어, 구동풀리(4)와 피동풀리(6)에 설치되는 벨트(10)의 장력을 조절할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 픽업장치가 제공된다.

이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다.

도 1 및 도 2는 본 고안에 다른 반도체 제조장비의 픽업장치를 도시한 것으로, 반도체 패키지를 픽업하는 장치를 예시한 것이다. 이 픽업장치는 바디(2)와, 상기 바디(2)에 상호 상하방향에 위치되도록 장착된 구동풀리(4) 및 피동풀리(6)와, 상기 구동풀리(4)에 연결된 구동모터(8)와, 상기 구동풀리(4)와 피동풀리(6)에 걸려지는 벨트(10)와, 상기 바디(2)에 승강가능하게 직립설치되며 일측이 상기 벨트(10)에 연결되는 복수개의 승강축(12)과, 이 승강축(12)의 하단에 장착되어 승강축(12)과 함께 승강되는 복수개의 피커(14)로 구성된다.

상기 바디(2)는 도시되지 않은 별도의 프레임에 수평방향으로 이동가능하게 장착되며, 그 전면에는 상기 승강축(12)이 장착되는 부쉬(16)가 구비된다. 이 부쉬(16)는 상하를 관통하는 관통공이 형성된 것으로, 상하 2열로 배치되어 승강축(12)을 지지할 수 있도록 구성된다. 상기 구동풀리(4)와 피동풀리(6)는 동일한 외경으로 구성되며, 상기 구동풀리(4)는 상기 승강축(12)의 상사점보다 높은 위치에 설치되고, 피동풀리(6)는 구동풀리(4)의 직하방에 위치된다. 또한, 상기 피동풀리(6)의 후방에는 피동풀리(6)의 회전축(18)을 지지하는 지지블록(20)이 구비되며, 이 지지블록(20)에는 상하방향의 장공(22)이 형성된 플랜지(24)가 구비되어, 이 장공(22)을 관통하는 볼트(26)로 지지블록(20)을 바디(2)에 고정한다. 따라서, 상기 볼트(26)를 풀고, 장공(22)을 따라 지지블록(20) 및 피동풀리(6)를 승강시켜 상하위치를 조절할 수 있다.

상기 구동모터(8)는 구동풀리(4)의 회전각도를 정밀하게 제어할 수 있는 서버모터를 이용한다. 상기 벨트(10)는 합성수지재질의 타이밍벨트(10)를 이용하는 것으로, 상기 구동풀리(4)와 피동풀리(6)에 상하방향으로 장원형태를 이루도록 설치되어, 직선으로 펼쳐지는 수직방향의 직선부(28)가 양측에 형성된다. 상기 승강축(12)은 긴 봉형상으로 구성되며, 상기 부쉬(16)에 삽입결합되어 승강되는 것으로, 그 상단에 구비된 브라켓(30)이 벨트(10)에 연결된다. 이때, 이 승강축(12)은 상기 벨트(10) 양측의 직선부(28)에 각각 연결되어, 구동풀리(4)가 회전되면 벨트(10)의 양측 직선부(28)와, 이 직선부(28)에 연결된 2개의 승강축(12)이 상호 반대방향으로 승강된다.

그리고, 이 승강축(12)의 하단에는 상기 피커(14)가 장착되는 피커블록(32)이 수평바향으로 장착되며, 상기 피커(14)는 이 피커블록(32)에 장착된다. 이 피커(14)는 진공압을 이용하여 반도체를 흡착하는 흡착헤드를 이용하는 것으로, 상기 바디(2)의 상측에 구비된 진공펌프(34)에 에어파이프(36)로 연결된다. 이때, 상기 피커블록(32)은 긴 판형상으로 구성되어 그 단부가 바디(2)의 전방으로 돌출되도록 구성되며, 상기 피커(14)는 피커블록(32)의 전단부 쪽에 설치되어, 피커(14)의 승강시 피커(14)의 상단부나 에어파이프(36) 등이 다른 부품에 간섭되지 않도록 구성된다.

설명하지 않은 도면번호 38은 상기 본체의 전방에 구비된 커버를 도시한 것으로, 바디(2)의 전면에 설치된 각종 장치를 덮어 보호하는 기능을 한다. 또한 도면번호 40은 상기 피커블록(32)의 후방에 연결된 보조가이드를 도시한 것이다.

따라서, 상기 피커(14)의 하측으로 반도체 패키지가 공급된 상태에서, 상기 구동모터(8)로 구동풀리(4)를 회전시키면, 상기 벨트(10) 양측의 직선부(28)에 연결된 2개의 승강축(12)이 상호 반대편으로 승강되어, 하강된 승강축(12)에 구비된 피커(14)가 반도체 패키지를 흡착하여 들어올릴 수 있다. 그리고, 구동풀리(4)를 반대방향으로 회전시키면, 승강축(12)이 반대로 승강되어, 상승되었던 승강축(12)이 하강되어 반도체 패키지를 흡착하여 들어올릴 수 있다. 따라서, 모든 피커(14)가 반도체 패키지를 들어올린 상태에서, 상기 바디(2)를 이송하여, 반도체 패키지를 다음공정으로 이송할 수 있다.

이와같이 구성된 반도체재조장비의 픽업장치는 상기 벨트(10)를 구동하는 하나의 구동모터(8)를 이용하여 두 개의 피커(14)를 승강시킬 수 있으므로, 구조가 간단하고 코스트를 절감할 수 있는 장점이 있다. 또한, 상기 구동풀리(4)와 피동풀리(6)에 벨트(10)를 걸고, 이 벨트(10)에 승강축(12) 및 피커(14)를 승강시키므로, 백래쉬가 발생되는 문제점이 없고 소음 및 진동의 발생이 적으므로, 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다. 또한, 상기 피동풀리(6)의 상하위치를 조절하여 구동풀리(4)와 피동풀리(6)에 설치된 벨트(10)의 장력을 조절할 수 있으므로, 밸트가 느슨해져서 작동불량이 발생되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.

이상에서와 같이 본 고안에 의하면, 바디(2)에 상하방향으로 구동풀리(4)와 피동풀리(6)를 장착하고, 이 풀리에 설치되는 벨트(10)에 2개의 승강축(12) 및 피커(14)를 연결하여 동시에 승강시킬 수 있도록 하므로써, 구조가 간단하며, 백래쉬에 의한 문제점을 해결한 새로운 구조의 반도체 제조장비의 픽업장치를 제공할 수 있다.

도 1은 본 고안에 따른 반도체 제조장비의 픽업장치를 도시한 정면도

도 2는 본 고안에 따른 실시예의 측단면도

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

2. 바디 4. 구동풀리

6. 피동풀리 8. 구동모터

10. 벨트 12. 승강축

14. 피커 28. 직선부

Claims

바디(2)와, 상기 바디(2)에 상호 상하방향에 위치되도록 장착된 구동풀리(4) 및 피동풀리(6)와, 상기 구동풀리(4)에 연결된 구동모터(8)와, 폐루프로 구성되며 상기 구동풀리(4)와 피동풀리(6)에 상하방향으로 장원형태를 이루도록 설치되어 직선으로 펴지는 직선부가 양측에 형성된 벨트(10)와, 상기 바디(2)에 승강가능하게 직립설치되며 일측이 상기 벨트(10)에 연결되는 복수개의 승강축(12)과, 이 승강축(12)의 하단에 장착되어 승강축(12)과 함께 승강되는 복수개의 피커(14)를 포함하여 구성되며, 상기 승강축(12)은 상기 벨트(10) 양측의 직선부(28)에 연결되어, 상기 구동풀리(4)에 의해 벨트(10)가 구동하면, 벨트(10)의 양측에 연결된 승강축(12) 및 피커(14)가 동시에 상호 반대로 승강되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 픽업장치.
제 1항에 있어서, 상기 피동풀리(6)는 바디(2)에 상하로 위치조절가능하게 장착되어, 구동풀리(4)와 피동풀리(6)에 설치되는 벨트(10)의 장력을 조절할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 픽업장치.