KR200339885Y1 - Magnet Bearing for Transfer of Semi-conductor Manufacture Device - Google Patents
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Abstract
본 고안은 반도체 제조장치의 이송수단으로 사용되고 있는 베어링으로서, 특히, 내·외륜이 자기력을 갖는 자석체로 이루어지며, 자기력에 의해 내·외륜이 직접 접촉되지 않고 일정 간격 이격된 상태로 회전되도록 한 반도체 제조장치의 이송용 자석 베어링에 관한 것이다.The present invention is a bearing that is used as a conveying means of a semiconductor manufacturing apparatus, in particular, the inner and outer rings are made of a magnetic body having a magnetic force, the semiconductor is made to rotate in a state spaced apart at regular intervals without direct contact by the magnetic force It relates to a magnetic bearing for transport of the manufacturing apparatus.
본 고안은 베어링의 내·외륜이 자기력을 갖는 자석체로 이루어지고, 상기 내륜의 외주면과 외륜의 내주면에는 서로 대응되는 위치에 다단형태의 단차부가 형성되며, 상기 내·외륜은 단차부에 의해 일정 간격 G을 이루며 커버에 의해 결합되고, 상기 내·외륜에 의한 척력은 단차부의 수직 및 수평방향으로 동일한 자기력을 갖도록 이루어짐에 따라, 회전시 발생되는 마찰 및 마모현상을 배제할 수 있어 효율적이며, 베어링 사용에 따른 취급 및 관리가 용이하고, 사용수명을 연장할 수 있는 경제적이며, 또한, 자석체로 이루어진 내·외륜에 다단형태의 단차부가 형성됨에 따라, 자기력에 의한 척력이 수직 및 수평방향으로 동시에 이루어지므로서, 회전되는 이송 로울러가 상하 및 좌우방향으로 유동(떨림)되는 것을 방지할 수 있는 것이다.The present invention is made of a magnetic body having a magnetic force of the inner and outer rings of the bearing, the stepped portion of the multi-step shape is formed on the outer circumferential surface of the inner ring and the inner circumferential surface of the outer ring, the inner and outer rings are spaced by the step portion G is coupled by the cover, and the repulsive force by the inner and outer rings is made to have the same magnetic force in the vertical and horizontal direction of the stepped portion, it is possible to eliminate the friction and abrasion phenomenon generated during rotation, it is efficient and use the bearing It is easy to handle and manage, and economical to prolong the service life. Also, as the multi-stepped step is formed on the inner / outer ring made of the magnet body, the repulsive force by the magnetic force is simultaneously made in the vertical and horizontal directions. In this case, the rotating feed roller can be prevented from flowing (shake) in the vertical and horizontal directions.
Description
본 고안은 반도체 제조장치의 이송용 자석 베어링에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 및 에프피디(F.P.D:Flayer Panel Displayer) 제조장치의 이송수단으로 사용되고 있는 베어링으로서, 특히, 내·외륜이 자기력을 갖는 자석체로 이루어지며, 자기력에 의해 내·외륜이 직접 접촉되지 않고 일정 간격 이격된 상태로 회전되도록 한 반도체 제조장치의 이송용 자석 베어링에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic bearing for transport of a semiconductor manufacturing apparatus, and more particularly, a bearing used as a transport means of a semiconductor and FPD (Flayer Panel Displayer) manufacturing apparatus, and particularly, the inner and outer rings have a magnetic force. It is made of a magnet body, and relates to a magnetic bearing for transport of a semiconductor manufacturing apparatus which is rotated in a state in which the inner and outer rings are spaced at regular intervals without direct contact by a magnetic force.
본 고안은 베어링을 이루는 내·외륜이 자석체로 이루어지고, 자기력에 의해 일정 간격 G을 이루도록 결합됨에 따라, 회전되는 과정에서, 내·외륜 상호간에 접촉이 전혀 발생되지 않으므로, 마찰과 마찰에 따른 과열 및 마모현상이 배제됨과 동시에, 내·외륜이 갖는 자기력에 따른 척력(斥力)에 의해 수직 및 수평방향으로 유동(떨림현상)되는 것을 예방할 수 있도록 한 것이다.According to the present invention, the inner and outer rings constituting the bearing are made of a magnet body, and are coupled to form a predetermined gap G by magnetic force, so that no contact occurs between the inner and outer rings during the rotation process, and thus overheating due to friction and friction And while the wear phenomenon is eliminated, it is possible to prevent the flow (shake phenomenon) in the vertical and horizontal directions by the repulsive force due to the magnetic force of the inner and outer rings.
일반적으로, 베어링(bearing) 축받이라고도 한다. 베어링과 접촉하고 있는 축 부분을 저널(journal)이라고 하며, 그 접촉상태에 따라 미끄럼베어링(sliding bearing)과 구름베어링(rolling bearing)의 두 종류로 분류한다.Also commonly referred to as bearing bearings. The shaft part in contact with the bearing is called a journal and is classified into two types, sliding bearing and rolling bearing, depending on the contact state.
그리고, 반도체의 제조과정은 단결정 성장 → 규소봉 절단 → 기판 표면연마 → 회로 설계 → MASK(RETICLE)제작 → 산화(OXIDATION)공정 → 감광액(PR:Photo Resist)도포 → 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition) → 금속배선(Metallization) → 기판 자동선별 → 기판절단 → 칩 접착 → 금(金)선 연결 →성형(Molding) → 최종검사의 공정을 통해 얻게 된다.In the semiconductor manufacturing process, single crystal growth → silicon rod cutting → substrate surface polishing → circuit design → MASK (RETICLE) fabrication → OXIDATION process → photoresist (PR) coating → chemical vapor deposition (Chemical Vapor Deposition) → metallization → substrate automatic screening → substrate cutting → chip bonding → gold wire connection → molding → final inspection.
이러한, 다수의 공정으로 이루어지는 반도체 제조공정에서는 반도체 기판을순차적으로 이송시키는 이송 로울러가 사용되어지는 바, 상기 이송 로울러에는 원할한 회전을 위해 베어링이 설치된다.In the semiconductor manufacturing process including a plurality of processes, a transfer roller for sequentially transferring a semiconductor substrate is used, and a bearing is installed in the transfer roller for smooth rotation.
상기와 같은, 종래의 금속 또는 합성수지 재질의 베어링은 링형태의 내·외륜과; 상기 내·외륜 사이에 양측단 일부위가 밀착된 상태로 결합되는 다수의 볼과; 상기 볼의 이탈을 방지하기 위한 리테이너와, 상기 내·외륜을 결합하기 위한 커버로 구성된다.Conventional metal or synthetic resin bearings as described above, the ring-shaped inner and outer rings; A plurality of balls coupled in a state in which a part of both ends is closely contacted between the inner and outer rings; It comprises a retainer for preventing separation of the ball, and a cover for coupling the inner and outer rings.
그러나, 상기와 같이, 종래의 베어링은 결합된 이송 로울러의 회전시 내륜 또는 외륜이 회전되는 과정에서, 이들 사이에 위치된 볼이 밀착 즉, 내륜의 외주면과 외륜의 내주면에 면접촉된 상태로 회전되므로, 회전되는 과정에서, 상호간에 접촉된 부위에 마찰현상과 이로 인한 마찰열 및 마모현상이 발생하게 되며, 특히, 고속회전이나 장기간 회전이 이루어지는 경우에는 극심한 마찰 및 과열로 인해 전체적인 베어링의 내구성이 저하되고, 과다한 마모로 인해 내·외륜과 볼 상호간의 갭이 발생하게 되어 밀착력이 떨어지게 되는 등의 폐단이 발생하게 되었다.However, as described above, the conventional bearing is rotated while the inner ring or outer ring is rotated during the rotation of the combined feed roller, the ball located between them in close contact, that is, the surface contact with the outer circumferential surface of the inner ring and the inner circumferential surface of the outer ring Therefore, during the rotation process, friction and frictional heat and abrasion occur due to friction between the parts in contact with each other. In particular, in the case of a high-speed rotation or a long-term rotation, the durability of the overall bearing decreases due to extreme friction and overheating. As a result, excessive wear caused a gap between the inner and outer rings and the balls, resulting in a drop in adhesion.
또한, 과다한 마모로 인해 발생되는 갭으로 인해, 내륜 또는 외륜에 결합된 상태로 회전되는 이송 로울러의 유동(떨림)현상이 발생하게 되었으며, 이로 인해 제조되어진 반도체 부품이 이송되는 과정에서, 유동으로 인해 충격이 가해져 제품불량을 초래하였으며, 베어링의 유동으로 인해 전체적인 이송장치의 작동이 원할하게 이루어지지 못한 문제점을 안고 있다.In addition, the gap caused by excessive wear caused a flow phenomenon of the transfer roller that is rotated while being coupled to the inner ring or the outer ring, and as a result, during the process of transferring the manufactured semiconductor component, The impact was applied to the product defects, there is a problem that the operation of the entire conveying device was not made smoothly due to the flow of the bearing.
본 고안은 상기과 같은 종래의 폐단 및 문제점을 해소하기 위한 것으로서,그 목적은 반도체 제조장치에서 부품을 이송하기 위해 설치된 이송 로울러의 회전·지지를 위해 사용되는 베어링이 내·외륜을 자기력에 의한 척력을 갖는 자석체로 이루어지도록 하고, 자기력에 의한 척력으로 인해, 내·외륜이 일정 간격 G을 이루며 이격된 상태의 무접촉상태로 결합된 상태에서 회전이 이루어지도록 함에 따라, 회전시 접촉으로 인해 발생되는 마찰 및 마모현상을 배제함과 동시에, 마찰에 따른 과열 및 저항력을 제거할 수 있도록 된 새로운 형태의 반도체 제조장치의 이송용 자석 베어링을 제공하고자 하는 것이다.The present invention is to solve the above-mentioned conventional end and problems, the purpose is that the bearing used for the rotation and support of the transfer roller installed to transfer the parts in the semiconductor manufacturing apparatus to the repulsive force by the magnetic force of the inner and outer rings It is made of a magnet body having, and due to the repulsive force by the magnetic force, the inner and outer rings to form a predetermined interval G, so that the rotation is made in a state of being coupled in a contactless state of spaced apart state, friction generated by the contact during rotation And to eliminate the phenomenon of wear and at the same time, to provide a magnet bearing for transfer of a new type of semiconductor manufacturing apparatus that can eliminate the overheating and resistance due to friction.
본 고안의 다른 목적은 자석체로 이루어진 내·외륜이 결합되는 과정에서 척력에 의해 일정 간격 G을 이루며 결합되되, 상호간의 근접부위에는 다단형태의 단차부를 형성하여 자기력에 의한 척력이 수직 및 수평방향으로 동시에 이루어지도록 하므로서, 회전되는 이송 로울러의 상하 및 좌우방향으로의 유동(떨림)현상을 방지하고자 하는 것이다.Another object of the present invention is coupled to form a predetermined interval G by the repulsive force in the process of coupling the inner and outer rings made of a magnetic body, the repulsive force by the magnetic force in the vertical and horizontal direction by forming a multi-stage stepped portion between each other By being made at the same time, it is intended to prevent the phenomenon of shaking (up and down) in the vertical and horizontal directions of the rotating feed roller.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 고안은 반도체 제조장치에서, 제품이송을 위해 설치된 이송 로울러의 원할한 회전·지지를 위해 사용되는 베어링에 있어서, 상기 베어링의 내·외륜이 자기력을 갖는 자석체로 이루어지고, 상기 내륜의 외주면과 외륜의 내주면에는 서로 대응되는 위치에 다단형태의 단차부가 형성된 특징을 갖는다.In order to achieve the above object, the present invention is a bearing used for smooth rotation and support of a transfer roller installed for product transportation in a semiconductor manufacturing apparatus, wherein the inner and outer rings of the bearing are made of a magnetic body having magnetic force. The outer circumferential surface of the inner ring and the inner circumferential surface of the outer ring have a multi-stepped step portion formed at a position corresponding to each other.
이와 같은 본 고안에서, 상기 내·외륜은 단차부에 의해 일정 간격 G을 이루며 커버에 의해 결합되며, 상기 내·외륜에 의한 척력은 단차부이 수직 및 수평방향으로 동일한 자기력을 갖도록 된 특징을 갖는다.In this invention, the inner and outer rings are coupled by a cover to form a predetermined interval G by the stepped portion, the repulsive force by the inner and outer rings has a feature that the stepped portion has the same magnetic force in the vertical and horizontal directions.
도 1은 본 고안에 따른 반도체 제조장치의 이송용 자석 베어링을 나타내는 분해 사시도,1 is an exploded perspective view showing a transfer magnetic bearing of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention;
도 2는 본 고안에 따른 반도체 제조장치의 이송용 자석 베어링을 나타내는 종단면도,Figure 2 is a longitudinal cross-sectional view showing a transport magnetic bearing of the semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention,
도 3은 본 고안에 따른 자석 베어링의 설치상태를 나타내는 측면 개략도,3 is a side schematic view showing an installation state of a magnetic bearing according to the present invention;
도 4는 본 고안에 따른 자석 베어링의 다른 실시예를 나타내는 측면 개략도,Figure 4 is a side schematic view showing another embodiment of a magnetic bearing according to the present invention,
도 5는 본 고안에 따른 자석 베어링의 또 다른 실시예를 나타내는 측면 개략도이다.Figure 5 is a side schematic view showing another embodiment of a magnetic bearing according to the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
1:자석 베어링 2:단차부1: Magnetic bearing 2: Stepped portion
10:내륜 12:이송 로울러10: inner ring 12: feed roller
20:외륜 30:커버20: outer ring 30: cover
40:코팅층40: Coating layer
이하, 본 고안을 첨부된 도면에 의해 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention in more detail by the accompanying drawings as follows.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 자석 베어링(1)은 자기력에 의해 척력을 가지며, 외주면과 내주면에 각각 대응되는 위치에 다단형태의 단차부(2)가 형성된 내·외륜(10, 20)과; 상기 내·외륜(10, 20)의 결합을 위한 커버(30)로 이루어진 것이다.As shown in Figures 1 to 3, the magnetic bearing 1 according to the present invention has a repulsive force by the magnetic force, the inner and outer ring formed with the stepped portion 2 of the multi-stage type at positions corresponding to the outer peripheral surface and the inner peripheral surface, respectively (10, 20); The cover 30 is configured to couple the inner and outer rings 10 and 20.
이때, 상기 내·외륜(10, 20)이 결합되는 과정에서, 상호간에 근접되는 부위, 즉, 단차부(2)에는 척력에 의해 일정 간격 G을 이루게 되며, 일정간격 내에서는 수직 및 수평방향으로 동일한 크기의 척력이 발생된다.At this time, in the process of coupling the inner and outer rings (10, 20), the parts which are close to each other, that is, the step portion (2) to form a predetermined interval G by the repulsive force, within a predetermined interval in the vertical and horizontal direction The same amount of repulsive force is generated.
그리고, 상기 내·외륜(10, 20)의 표면에는 이온방지를 위한 코팅층(40)이 형성된다.In addition, a coating layer 40 for preventing ions is formed on the surfaces of the inner and outer rings 10 and 20.
도 1은 본 고안에 따른 반도체 제조장치의 이송용 자석 베어링을 나타내는 분해 사시도이고, 도 2는 본 고안에 따른 반도체 제조장치의 이송용 자석 베어링을 나타내는 종단면도로서, 자석체로 이루어지며, 서로 대응되는 위치에 단차부(2)가 형성된 내·외륜(10, 20)이 커버(30)에 의해 결합되되, 상기 단차부(2)에는 척력에 의해 일정 간격 G을 이루며 결합된 것을 나타내는 것이다.1 is an exploded perspective view showing a transfer magnetic bearing of a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention, Figure 2 is a longitudinal sectional view showing a transfer magnetic bearing of the semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention, made of a magnet body, The inner and outer rings 10 and 20 having the stepped portion 2 formed therein are coupled by the cover 30, but the stepped portion 2 is coupled to form a predetermined interval G by the repulsive force.
이때, 상기 내·외륜(10, 20)의 단차부(2)에는 서로 동일한 극성(N:N 또는 S:S)을 갖게 되며, 척력에 의해 형성되는 일정 간격 G는 수직 및 수평방향으로 동일한 간격으로 유지된다.In this case, the stepped portions 2 of the inner and outer rings 10 and 20 have the same polarity (N: N or S: S), and the predetermined interval G formed by the repulsive force is the same interval in the vertical and horizontal directions. Is maintained.
도 3은 본 고안에 따른 자석 베어링의 설치상태를 나타내는 측면 개략도로서, 자석 베어링(1)은 일측단에 동력전달부재(4)가 결합되어 회전되도록 설치되고, 중앙부위에는 등간격을 이루며 다수의 보조 로울러(6)가 연동·회전되도록 결합된 이송 로울러(12)의 양측방에 설치된 것을 나타내는 것이다.Figure 3 is a schematic side view showing the installation state of the magnetic bearing according to the present invention, the magnetic bearing 1 is installed so that the power transmission member 4 is coupled to rotate on one side end, the central portion is formed at equal intervals and a plurality of auxiliary It is shown that the rollers 6 are installed on both sides of the transfer roller 12 coupled to rotate and interlock.
이때, 상기 자석 베어링(1) 내륜(10)의 내경은 이송 로울러(12)의 직경과 결합공차 허용법위내의 동일한 크기를 갖게 되며, 상기 내륜(10)은 이송 로울러(12)에 끼워져 결합된 상태에서, 자기력에 의해 밀착된 상태로 견고하게 고정된다.At this time, the inner diameter of the inner ring 10 of the magnetic bearing 1 has the same size as the diameter of the feed roller 12 and the tolerance tolerance, the inner ring 10 is fitted to the feed roller 12 is coupled state In, it is firmly fixed in close contact with the magnetic force.
그리고, 상기 이송 로울러(12)에 결합된 자석 베어링(1)의 측방에는 기존의 볼베어링(50)이 결합되며, 상기 보조 로울러(6)에는 반도체 부품이 올려져 이송되는 것을 나타낸다.In addition, a conventional ball bearing 50 is coupled to the side of the magnetic bearing 1 coupled to the transfer roller 12, and the auxiliary roller 6 is loaded with a semiconductor component.
도 4는 본 고안에 따른 자석 베어링의 다른 실시예를 나타내는 측면 개략도로서, 이송 로울러(12)의 양측단부에 자석 베어링(1)이 설치된 것을 나타내는 것으로, 이송 로울러(12)가 자석 베어링(1)에 의해 회전·지지되도록 설치된 것을 나타내는 것이다.Figure 4 is a side schematic view showing another embodiment of the magnetic bearing according to the present invention, showing that the magnetic bearing 1 is installed at both ends of the transfer roller 12, the transfer roller 12 is a magnetic bearing (1) It means that it is installed so as to rotate and support by.
이때, 상기 이송 로울러(12)의 양측단부에 설치된 각각의 자석 베어링(1)은 서로 다른 극성을 갖게 되는 바, 일측단부에 설치된 자석 베어링(1)의 내륜(10)은 내주면쪽, 즉, 이송 로울러(12)와 접촉되는 부위에 S극을 갖게 되고, 일정 간격 G이 형성되는 각각의 단차부(2)는 N극으로 이루어진 것이다.At this time, each of the magnetic bearings 1 installed at both ends of the transfer roller 12 has different polarities, and the inner ring 10 of the magnet bearing 1 installed at one end thereof has an inner circumferential side, that is, the transfer. Each of the stepped portions 2 having an S pole at a portion in contact with the roller 12 and having a predetermined interval G is formed of an N pole.
그리고, 이송 로울러(12)의 타측단부에 설치된 자석 베어링(1)은 상기 이송 로울러(12)의 외주면에 접촉되는 부위, 즉, 내륜(10)의 내주면쪽이 N극을 갖게 되며, 단차부(2)가 형성된 부위에는 서로 S극을 갖도록 이루어진 것을 나타내는 것이다.In addition, the magnetic bearing 1 installed at the other end of the feed roller 12 has an N pole at a portion contacting the outer circumferential surface of the feed roller 12, that is, the inner circumferential surface of the inner ring 10. The part 2) is formed to have a S pole to each other.
이러한, 자석 베어링(1)의 N극 또는 S극에 대한 위치 설정은 자유롭게 설정할 수 있으나, 내·외륜 상호간에 형성된 단차부(2)에 대한 극성은 척력을 위해 서로 동일한 극성(N극 또는 S극)을 갖게 된다.Such a position setting for the N pole or the S pole of the magnetic bearing 1 can be freely set, but the polarity of the stepped portion 2 formed between the inner and outer rings is the same polarity (N pole or S pole) for repulsive force. ).
도 5는 본 고안에 따른 자석 베어링의 또 다른 실시예를 나타내는 측면 개략도로서, 동력전달부재(4)에 의해 회전되도록 2단형태로 이송 로울러(12, 12')가 설치되되, 상단에 위치된 이송 로울러(12')의 외주면에는 브러쉬부(14)가 형성되고, 하단에는 다수의 보조 로울러(6)가 결합된 이송 로울러(12)가 각각의 자석 베어링(1)에 의해 회전·지지되도록 설치된 것을 나타내는 것이다.Figure 5 is a side schematic view showing another embodiment of the magnetic bearing according to the present invention, the feed rollers (12, 12 ') are installed in two stages so as to be rotated by the power transmission member (4), which is located at the top A brush portion 14 is formed on the outer circumferential surface of the feed roller 12 ', and a feed roller 12 having a plurality of auxiliary rollers 6 coupled to the lower end thereof is installed to be rotated and supported by each magnetic bearing 1. To indicate that.
이때, 상기 이송 로울러(12, 12')는 자석 베어링(1)과 기존의 볼베어링(50)이 함께 설치되되, 브러쉬부(14)가 형성된 이송 로울러(12')의 일측단에는 자동조심 볼 베어링(50')이 설치된다.At this time, the transfer roller 12, 12 'is a magnet bearing 1 and the existing ball bearing 50 is installed together, the self-aligning ball bearing at one end of the transfer roller 12' is formed brush portion 14 50 'is installed.
이와 같은 본 고안의 사용상태를 설명하면 다음과 같다.Referring to the use state of the present invention as follows.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 자석체로 이루어지며, 각각의 외주면과 내주면에는 다단형태의 단차부(2)가 형성된 내·외륜(10, 20)이 커버(30)에 의해 결합되되, 상기 단차부(2)에는 일정 간격 G를 이루도록 근접된 상태를 이루며 결합된 자석 베어링(1)을 구비한 상태에서, 첨부 도면 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 자석 베어링(1)을 반도체 제조장치(도면에 도시도지 않음)에 의해 가공되어진 부품을 이송하기 위해 설치된 이송 로울러(12)에 장착한다.As shown in Figures 1 to 3, made of a magnet body, each of the inner and outer rings 10, 20 having a multi-stepped stepped portion 2 is formed on the outer peripheral surface and the inner peripheral surface is coupled by the cover 30, In the state in which the stepped portion 2 is provided with a magnetic bearing 1 coupled to form a state in which a predetermined distance G is adjacent, as shown in FIG. 3, the magnetic bearing 1 is a semiconductor manufacturing apparatus. It mounts to the conveyance roller 12 installed in order to convey the components processed by (not shown in figure).
이때, 상기 이송 로울러(12)는 동력전달부재(4)에 의해 회전력이 부여되며,기존의 볼 베어링(50)에 의해 가로방향으로 회전·지지된 상태이다.At this time, the transfer roller 12 is given a rotational force by the power transmission member 4, the state is rotated and supported in the horizontal direction by the existing ball bearing 50.
이와 같이하여, 상기 이송 로울러(12)에 자석 베어링(1)의 설치가 완료되면, 동력전달부재(4)에 의해 이송 로울러(12)가 회전되면서, 보조 로울러(6)가 연동·회전되고, 상기 보조 로울러(6)에 얹혀진 반도체 부품이 이송되는 것이다.In this way, when the installation of the magnetic bearing 1 on the transfer roller 12 is completed, the transfer roller 12 is rotated by the power transmission member 4, the auxiliary roller 6 is interlocked and rotated, The semiconductor component mounted on the auxiliary roller 6 is transferred.
이와 같이, 반도체 부품이 이송되는 이송 로울러(12)가 회전됨에 있어서, 기존의 볼베어링(50)에서는 볼과 내·외륜이 서로 마찰되면서 회전이 이루어지게 되므로, 고속회전이나 장기간 사용시 마찰로 인해, 접촉표면에 과열 및 마모현상이 발생하게 되어, 볼베어링(50)의 전체적인 내구성이 떨어지고 사용수명이 단축됨은 물론, 마모가 심한 경우에는 볼베어링(50)의 접촉부위, 즉, 내·외륜과 볼과의 접촉부위에 갭이 발생되어 정상적인 회전이 이루어지지 못하고, 갭 발생으로 인해 회전되고 있는 이송 로울러(12)가 유동(떨림)되는 폐단이 발생하였으나, 본 고안에서와 같이, 상기 이송 로울러(12)에는 내·외륜(10, 20)이 자석체로 이루어진 자석 베어링(1)이 회전·지지되도록 장착된 상태이므로, 기존의 볼베어링(50)의 마모로 인해 갭이 밸생되더라도, 회전되는 이송 로울러(12)는 자석 베어링(1)에 의해 유동(떨림)되지 않고 원할하게 회전되는 것이다.As such, in the rotation of the transport roller 12 in which the semiconductor parts are transported, the ball is rotated while the ball and the inner and outer rings are rubbed with each other in the conventional ball bearing 50, and thus, due to friction during high-speed rotation or long-term use, Overheating and abrasion occur on the surface, which reduces the overall durability of the ball bearing 50 and shortens its service life. In the case of heavy wear, contact parts of the ball bearing 50, ie, contact between the inner and outer rings of the ball, A gap is generated in the site, and thus, normal rotation is not achieved, and a closed end of the conveying roller 12 that is being rotated due to the gap is generated. However, as in the present invention, the conveying roller 12 has an inner portion. Since the outer ring 10, 20 is mounted so that the magnetic bearing 1 made of a magnet body rotates and is supported, even if the gap is regenerated due to wear of the existing ball bearing 50, it is rotated. Feed roller 12 is rotated smoothly without the flow (tremors) by a magnetic bearing (1).
이와 같이, 상기 이송 로울러(12)가 자석 베어링(1)에 의해 유동(떨림)되지 않고 정상적으로 회전·지지된 상태로 회전되는 것은 자석체로 이루어진 내·외륜(10, 20)의 자기력에 의한 것으로서, 이는 첨부 도면 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 자석 베어링(1)의 내·외륜(10, 20)에 각각 다단형태의 단차부(2)가 형성되고, 커버(30)에 의해 결합됨에 있어, 각각에 형성된 단차부(2)가 직접 접촉되지 않고, 일정 간격 G을 이루며 근접된 위치에 결합되어져 있고, 상호간에는 동일한 극성(N극 또는 S극)을 갖게 되므로, 자기력에 의한 척력이 발생되므로, 내·외륜(10, 20)이 일정 간격 G를 유지한 상태에서, 회전·지지되는 것이다.As such, the rotation of the conveying roller 12 in a state in which the conveying roller 12 is normally rotated and supported without being flowed by the magnetic bearing 1 is caused by the magnetic force of the inner and outer rings 10 and 20 made of a magnet body. 2 and 3, the stepped portions 2 having a multi-step shape are formed on the inner and outer rings 10 and 20 of the magnetic bearing 1, respectively, and are coupled by the cover 30. Therefore, the stepped portions 2 formed on each other are not directly in contact with each other, but are coupled to adjacent positions at a predetermined interval G, and have mutually the same polarity (N pole or S pole). Therefore, the inner and outer rings 10 and 20 are rotated and supported while maintaining a constant interval G.
그리고, 본 고안에 따른 자석 베어링(1)의 내·외륜(10, 20)에 형성된 단차부(2)가 다단형태로 이루어져 있으므로, 상기 단차부(2)에서 발생되는 척력이 수직 및 수평방향으로 동일하게 작용되는 것이다.In addition, since the stepped portions 2 formed on the inner and outer rings 10 and 20 of the magnetic bearing 1 according to the present invention have a multi-stage configuration, the repulsive force generated in the stepped portions 2 is vertical and horizontal. It works the same.
따라서, 다단형태의 단차부(2)에서 수직 및 수평방향으로 동일하게 작용되는 척력에 의해 내륜(10)이 수직 및 수평방향으로 전혀 유동없이 밀착·고정된 상태를 이루게 되므로서, 상기 내륜(10)을 관통하며 회전되도록 밀착·고정된 이송 로울러(12)가 기존 볼베어링(50)의 마모로 인해 갭이 발생되더라도, 자기력에 의한 척력에 의해 상·하 및 좌·우방향으로 유동(떨림)되지 않고, 정상적으로 정위치에서 회전이 이루어지게 되는 것이다.Therefore, the inner ring 10 is in close contact and fixed state without any flow in the vertical and horizontal directions due to the repulsive force acting in the vertical and horizontal directions in the stepped portion 2 of the multi-stage type. Even if a gap is generated due to abrasion of the existing ball bearing 50, the feed roller 12, which is tightly and fixedly rotated through it, does not flow (shake) in the up, down, left, and right directions by magnetic force. Instead, the rotation is normally made in place.
여기에서, 자석 베어링(1) 내·외륜(10, 20)의 자기력에 의해 상호간에 작용되는 척력이 볼베어링(50)의 마모로 인해 발생되는 갭에 의한 이송 로울러(12)의 유동력보다 크다는 조건 즉, '척력 〉유동력' 의 전제조건에서, 본 고안에 따른 자석 베어링의 실용성이 가능한 것이다.Here, the condition that the repulsive force acting on each other by the magnetic force of the inner and outer rings 10 and 20 of the magnetic bearing 1 is larger than the flow force of the feed roller 12 due to the gap generated due to the wear of the ball bearing 50. That is, under the precondition of 'repulsion> flow force', the practicality of the magnetic bearing according to the present invention is possible.
한편, 본 고안에 따른 자석 베어링은 첨부 도면 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 다른 실시예로 사용할 수 있는 것으로서, 먼저 도 4에 도시된 바와 같이, 동력전달부재(4)에 의해 회전되도록 이송 로울러(12)를 설치하되, 접촉으로 인해 마찰 및 마모현상이 발생되는 기존의 볼베어링을 사용하지 않고, 다수의 자석베어링(1)만을 이용하여 이송 로울러(12)를 회전·지지되도록 설치한 것이다.On the other hand, the magnetic bearing according to the present invention can be used in another embodiment, as shown in Figure 4 and 5 of the accompanying drawings, as shown in Figure 4, to be rotated by the power transmission member 4 first. Although the transfer roller 12 is installed, it is installed to rotate and support the transfer roller 12 by using only a plurality of magnetic bearings 1 without using the existing ball bearings in which friction and wear occur due to contact. .
이때, 상기 자석 베어링(1)의 내·외륜(10, 20)에 대한 극성은 상호간에 근접되는 부위, 즉 단차부(2)에 대한 극성을 동일한 극성(N:N 또는 S:S)을 갖도록 하면 된다.At this time, the polarities of the inner and outer rings 10 and 20 of the magnetic bearing 1 are adjacent to each other, that is, the polarity of the stepped portion 2 to have the same polarity (N: N or S: S). Just do it.
그리고, 도 5에 도시된 바와 같이, 이송 로울러(12')의 상단에 브러쉬부(14)가 형성된 이송 로울러(12, 12')가 2단형태를 갖도록 설치된 것으로서, 하단에 위치된 이송 로울러(12)이 회전에 의해 반도체 부품이 이송되고, 상단에 위치된 이송 로울러(12')의 브러쉬부(14)에 의해 세척이 이루어짐에 있어, 각각의 이송 로울러(12, 12')에 유동(떨림)방지를 위한 자석 베어링(1)을 설치한 것이다.5, the feed rollers 12 and 12 'having the brush portion 14 formed on the top of the feed roller 12' are installed to have a two-stage shape, and the feed rollers located at the bottom ( 12, the semiconductor component is transferred by the rotation, and the cleaning is performed by the brush portion 14 of the transfer roller 12 'positioned at the upper end, thereby flowing (shake) each of the transfer rollers 12, 12'. ) Magnetic bearing (1) is installed to prevent.
따라서, 상기 자석 베어링(1)에 의해 반도체 부품이 얹혀져 이송되도록 하단에 설치된 이송 로울러(12)의 유동(떨림)을 방지할 수 있으며, 상단에 설치된 이송 로울러(12')의 유동(떨림)을 방지하여 브러쉬부(14)에 의한 원할한 작업을 수행할 수 있는 것이다.Therefore, it is possible to prevent the flow (shake) of the transfer roller 12 installed at the bottom so that the semiconductor component is mounted and transferred by the magnetic bearing 1, and the flow (shake) of the transfer roller 12 'installed at the top is prevented. It is possible to prevent the smooth operation by the brush portion 14 to prevent.
본 고안에 따른 자석 베어링은 반도체 제조장치의 이송·운반을 위한 이송장치 등의 이송 로울러에 설치하여 사용할 수 있을 뿐만 아니라, 각종 전동장치 및 구륜장치 등의 회전축에 다양한 용도로 사용할 수 있음은 물론이다.The magnetic bearing according to the present invention can be installed and used in a transfer roller such as a transfer apparatus for transferring and transporting a semiconductor manufacturing apparatus, and can be used for various purposes on a rotating shaft such as various electric and wheel systems. .
이와 같이, 본 고안에 따른 반도체 제조장치의 이송용 자석 베어링을 이용하므로서, 이송 로울러의 회전·지지를 위해 사용되는 베어링이 내·외륜을 자기력에 의한 척력을 갖는 자석체로 이루어지고, 내·외륜이 무접촉상태로 결합된 상태에서회전이 이루어짐에 따라, 회전시 발생되는 마찰 및 마모현상을 배제할 수 있어 효율적이며, 베어링 사용에 따른 취급 및 관리가 용이하고, 사용수명을 연장할 수 있는 경제적인 효과를 얻을 수 있는 것이다.Thus, by using the transfer magnetic bearing of the semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention, the bearing used for the rotation and support of the transfer roller is made of a magnet body having a repulsive force of the inner and outer rings by magnetic force, As the rotation is performed in the contactless state, it is possible to eliminate the friction and abrasion which occurs during the rotation, so it is efficient, easy to handle and manage according to the use of the bearing, and economical to extend the service life. You can get the effect.
또한, 본 고안은 자석체로 이루어진 내·외륜에 다단형태의 단차부가 형성됨에 따라, 자기력에 의한 척력이 수직 및 수평방향으로 동시에 이루어지므로서, 회전되는 이송 로울러가 상하 및 좌우방향으로 유동(떨림)되는 것을 방지할 수 있으며, 회전되는 이송 로울러의 향상된 안전성과 지지력을 확보할 수 있는 효과가 있다.In addition, the present invention, as the multi-stepped stepped portion is formed in the inner and outer rings made of a magnet body, the repulsive force by the magnetic force is made in the vertical and horizontal directions at the same time, so that the rotating feed roller flows in the vertical and horizontal directions (shake) It can be prevented, and there is an effect to secure the improved safety and support of the rotating feed roller.
Claims (4)
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|---|---|---|---|
| KR20-2003-0032195U KR200339885Y1 (en) | 2003-10-14 | 2003-10-14 | Magnet Bearing for Transfer of Semi-conductor Manufacture Device |
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| KR20-2003-0032195U KR200339885Y1 (en) | 2003-10-14 | 2003-10-14 | Magnet Bearing for Transfer of Semi-conductor Manufacture Device |
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ID=49423440
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| KR (1) | KR200339885Y1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200108665A (en) | 2019-03-11 | 2020-09-21 | 정무영 | Bearing utilizing non-head bolt |
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2003
- 2003-10-14 KR KR20-2003-0032195U patent/KR200339885Y1/en not_active IP Right Cessation
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