KR200321444Y1 - 용존오존수 주입 역세정 방법을 이용한 오·폐수정밀여과장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 공기나 약액에 의한 세정방법 대신에 산화력이 강한 오존가스를 막여과수에 용해시키고, 오존이 용해된 여과수를 막모듈의 내부에 간헐적으로 주입하여 내부 파울링현상 및 막표면에 케익층(Cake layer)이 형성되는 것을 방지하여 항시 높은 막투과유속의 유지를 도모할 수 있고, 원수에 침적시킨 금속여과막 모듈의 내부압력을 여과막 모듈 외부의 압력보다 작게한 흡인 여과방식을 사용하여 고액분리가 가능하도록 한 용존오존수 주입 역세정 방법을 이용한 오·폐수 정밀여과장치에 관한 것이다.

본 고안은 외부로부터 유입된 원수를 수용하며, 슬러지를 침적시키기 위한 공간을 제공하는 반응조; 상기 반응조내부의 소정위치에 침적되며, 그에 수용된 원수를 통과시켜 고액분리하는 여과막모듈; 일단이 상기 여과막 모듈의 상부에 연결되어 그를 통과하는 여과수를 강제흡인하여 배출하며, 상기 여과막 모듈 내부를 부압으로 유지시켜 여과수의 고액 분리가 행해지도록 하기 위한 여과수 흡인수단; 상기 여과막 모듈의 하부에 장착되며, 용존 오존수를 상측으로 분출시켜 여과막 모듈의 막세정을 수행하는 용존오존수 분출수단; 및 상기 용존 오존수 분출수단에 연결되며, 오존가스를 여과수에 용해시킨 용존 오존수를 용존 오존수 분출수단에 주입하는 용존오존수 주입수단을 포함하는 용존오존수 주입 역세정 방법을 이용한 금속막 오·폐수 정밀여과장치를 제공한다.

상기와 같은 구성에 의해 본 고안은 내부에 여과막모듈을 배치한 반응조내에원수를 공급하고, 원수에 침적시킨 여과막 모듈내부의 압력을 여과막 모듈외부의 압력보다 작게한 흡인여과방식으로 고액분리를 행하고, 금속 여과막 내부에 용존 오존을 함유한 여과수를 간헐적으로 주입하여 막세정을 실시, 기존의 역세정방식을 이용한 막분리 수처리시스템의 문제점을 극복하여 운전관리의 편이성 및 처리효율성 증대에 기여할 수 있다.

Description

용존오존수 주입 역세정 방법을 이용한 오·폐수 정밀여과장치{Wastewater microfiltration apparatus with metal membrane combined ozonated water back-washing}

본 고안은 반응조내에 내산화성을 지닌 금속여과막 모듈을 침적시킨 막분리장치를 이용한 오·폐수 처리시스템에 관한 것으로, 특히 오존수를 이용한 간헐적 역세정방식을 도입함으로써 운용의 간편성을 도모함과 동시에, 기존의 막분리 시스템에 존재하는 막투과유속의 저하와 세정에 따른 운용관리의 번잡성을 해결할 수 있고 처리효율을 극대화할 수 있는 용존오존수 주입 역세정 방법을 이용한 오·폐수 정밀여과장치에 관한 것이다.

최근 막분리기술의 진전과 함께 막을 이용한 고액분리법에 의한 오·폐수의 고도처리 또는 처리수의 수자원으로서의 재이용에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다.

막분리 방식은 처리과정에서 발생되는 슬러지(sludge)의 침강성에 처리성능이 좌우되지 않고 안정한 처리수질을 확보할 수 있으며, 최종침전지가 불필요하므로 처리 소요면적을 절감할 수 있는 장점을 지니고 있다.

그러나, 상기 막분리방식은 이러한 장점을 지니고 있음에도 불구하고, 실제 막분리방식을 적용함에 있어서, 시간의 경과에 따라 여과막이 열화되고, 내부 파울링(fouling)에 의한 막투과 유속이 저하되는 문제점을 내포하고 있다. 이러한 문제점은 오·폐수처리 분야에 있어 좀더 광범위한 막분리 장치를 적용하는데 걸림돌로 작용하고 있으며, 이에 따라 안정된 막투과 유속의 유지 및 막수명의 연장을 실현시키기 위한 방안이 모색되고 있다.

막투과 유속의 저하를 방지하기 위해 지금까지 여과막모듈의 하부로부터 공기폭기를 수행하여 역세정을 하는 물리학적 세정방법이나, 약액을 이용한 화학적 세정방법등을 채용하고 있는 실정이다. 그러나, 상기 공기폭기를 이용한 단순한 물리적 세정방법은 시간의 경과에 따라 그 세정효과가 감소하고, 막투과유속의 회복을 위한 효과가 지속적이고 충분하지 못할 뿐만 아니라, 세정하기 위해 여과막을 반응조로부터 도출하는데 소요되는 시간과, 그에 따른 시스템의 운전을 정지해야 하는 문제점을 내포하고 있다. 또한, 상기 약액을 이용한 화학적 세정방법은 약액의 보충과 그 농도 조정을 빈번히 행해야 하고, 세정후의 여과막에 잔류하는 약액세정액을 추가로 처리해야 하는 등 운영관리상의 번잡성이 따르며, 화학적인 약액을 이용할 경우 여과막 내부의 오염으로 인한 역효과가 발생하는 문제점이 있다.

이들 물리 ·화학적 세정방법이 가지고 있는 문제점을 해소하기 위하여 본원고안의 출원인은 국내 공개특허공보 제 2002 - 0086806 호의 『간헐적 오존주입 역세정 방법을 이용한 금속막 오폐수 고도처리장치 및 방법』을 제안한 바 있으며, 이 기술에서는 상기의 물리 · 화학적 방법이 가지고 있는 문제점을 해결하였다.

그러나, 상기의 오존가스를 이용한 세정방법은 가스를 이용하여 세정을 하기 때문에, 막표면에 부착된 미세한 공기방울에 의해 여과막 표면적에 여과기능을 발휘하지 못하는 사공간(dead space)이 발생되어 막투과 유속의 회복을 저하시킬 수 있는 문제점이 있다.

따라서, 본 고안은 상기의 제반문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 공기나 약액에 의한 세정방법 대신에 산화력이 강한 오존가스를 막여과수에 용해시키고, 오존이 용해된 여과수를 막모듈의 내부에 간헐적으로 주입하여 내부 파울링현상 및 막표면에 케익층(Cake layer)이 형성되는 것을 방지하여 항시 높은 막투과유속의 유지를 도모할 수 있고, 원수에 침적시킨 금속여과막 모듈의 내부압력을 여과막 모듈 외부의 압력보다 작게한 흡인 여과방식을 사용하여 고액분리가 가능하도록 한 용존오존수 주입 역세정 방법을 이용한 오·폐수 정밀여과장치를 제공함에 그 목적이 있다.

또한, 본 고안은 여과막을 내오존성 소재인 금속막으로 제조함으로써 기존의 여과막으로 사용되고 있는 수지막(유기성재질막)으로는 적용이 불가능한 오존수의 적용을 가능케 함과 동시에 막의 수명을 거의 반영구적으로 연장시킬 수 있는 용존오존수 주입 역세정 방법을 이용한 오·폐수 정밀여과장치를 제공함에 다른 목적이 있다.

도1은 본 고안에 따른 용존오존수 주입 역세정 방법을 이용한 오·폐수 정밀여과장치의 일실시예 구성을 나타낸 개략적인 모식도.

도2는 본 고안의 요부인 금속 여과막 모듈의 구성을 나타낸 사시도.

도3은 각 조작인자에 따른 세정을 실시하였을 경우의 막투과유속의 비(J_average/J_initial)를 나타낸 그래프도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1 : 반응조 2 : 금속막 모듈

3 : 유입원수 4 : 여과수

5 : 흡인관 6 : 흡인 펌프

7 : 용존오존수 주입장치 8 : 분리판

9 : 금속막 10 : 여과틀체

11 : 흡인구 12 : 용존오존수 주입구

21: 분출노즐 22: 공급관로

상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 외부로부터 유입된 원수를 수용하며, 슬러지를 침적시키기 위한 공간을 제공하는 반응조; 상기 반응조내부의 소정위치에 침적되며, 그에 수용된 원수를 통과시켜 고액분리하는 여과막모듈; 일단이 상기 여과막 모듈의 상부에 연결되어 그를 통과하는 여과수를 강제흡인하여 배출하며, 상기 여과막 모듈 내부를 부압으로 유지시켜 여과수의 고액 분리가 행해지도록 하기 위한 여과수 흡인수단; 상기 여과막 모듈의 하부에 장착되며, 용존 오존수를 상측으로 분출시켜 여과막 모듈의 막세정을 수행하는 용존오존수 분출수단; 및 상기 용존 오존수 분출수단에 연결되며, 오존가스를 여과수에 용해시킨 용존 오존수를 용존 오존수 분출수단에 주입하는 용존오존수 주입수단을 포함하는 용존오존수 주입 역세정 방법을 이용한 금속막 오·폐수 정밀여과장치를 제공한다.

상기와 같이 구성된 본 고안에서, 상기 반응조는 그의 내부 저면과 소정거리 떨어진 위치에 직립되게 설치되어 외부로부터 공급되는 원수의 하강류가 형성되도록 하여 원활한 유동성을 가지도록 하기 위한 분리판을 더 포함한다.

또한, 상기 여과수 모듈은 상면에 투과수 흡인수단과 연결되는 흡인구가 설치되고, 하단부에는 용존오존수 분출수단과 연결되는 분출구가 구비되며, 양측면이 개방된 틀체와; 상기 틀체의 양측면에 설치되는 금속막을 포함한다.

상기 금속막은 유효여과면적이 양면합계 0.12m²이고, 막공경은 0.2μm 이다. 또한, 상기 금속막은 스테인레스강의 금망에 스테인레스강의 분말을 도포하여 소결한 것이다.

상기 용존오존수 주입수단은 플라즈마에 의해 공기중의 산소를 오존으로 변환시키고, 고압을 이용해 상기 오존가스를 여과수에 용해시키는 플라즈마 장치를 포함한다.

상기 여과수 흡인수단은 여과막 모듈의 흡인구에 연결된 배출관과; 상기 배출관상에 설치되어 상기 여과막모듈 내부로 유입되는 여과수를 강제 흡인하는 흡인펌프를 포함한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 실시예를 상세히 설명한다.

본 고안에 의한 금속막을 이용한 오·폐수 정밀여과장치는 오존가스를 여과수에 용해시킨 용존 오존수를 금속막에 투입하여 막세정을 효율적으로 수행하기 위해 구현된 것으로, 본 고안의 실시예에서는 도1에 도시된 바와 같이, 외부로부터 유입된 원수(3)를 수용하여 슬러지를 침적시키기 위한 공간을 제공하는 반응조(1)와; 상기 반응조(1)의 내부 중앙에 설치되며, 저면과 소정거리만큼 이격되게 직립되어 원수(3)가 원활하게 유동되도록 하기 위한 분리판(8)과; 상기 분리판(8)의 일측, 즉 원수(3)가 유입되는 방향의 반대측 공간에 설치되어 상승하는 원수(3)를 통과시켜 고액분리를 행하는 여과막 모듈(2)과; 일단이 상기 여과막 모듈(2)의 상부에 설치되어 그를 통과한 여과수(4)를 흡인 ·배출하는 경로를 제공하는 흡인관(5)과; 상기 흡인관(5)의 소정위치에 설치되며, 상기 여과막 모듈(2)을 통과하는 여과수(4)를 강제흡인하여 배출하되, 상기 여과막 모듈(2) 내부를 부압으로 유지시켜 여과수(4)의 고액 분리가 행해지도록 하기 위한 흡인펌프(6)와; 상기 여과막 모듈(2)의 하부에 장착되며, 용존 오존수를 상측으로 분출시켜 여과막 모듈(2)의 막세정을 수행하는 분출노즐(21)과; 일측이 상기 분출노즐(21)에 설치되어 용존오존수의 공급경로를 제공하는 오존수 공급관로(22)와; 상기 오존수 공급관로(22)의 단부에 설치되며, 오존가스를 여과수에 용해시킨 용존 오존수를 주입하는 용존오존수 주입장치(7)로 구성된다.

여기서, 상기 여과막 모듈(2)은 상면에 흡인관(5)과 연결되는 흡인구(11)가 설치되고, 하단부에는 분출노즐(21)과 연결되는 오존수 주입구(12)가 구비되며, 양측면이 개방된 여과 틀체(10)와; 상기 여과 틀체(10)의 양측면에 설치되는 금속막(9)을 포함한다.

특히, 본 실시예에서의 여과막 모듈(2)은 여과를 위해 차지하는 처리시스템의 소요면적을 줄일 수 있는, 즉 같은 반응조(1)내에서 집적밀도를 높이기 위해 평막형의 상자로 이루어진 구조로 되어 있다.

또한, 상기 여과막 모듈(2)에서의 금속막(9)은 유효여과면적이 양면합계 0.12m²이고, 막공경은 0.2μm 이다. 특히 상기 금속막(9)은 기존의 막분리시스템에서 주로 사용되어 온 유기성 재질 성분계의 막재질보다 내구성, 내충격성, 내화학약품성이 뛰어난 서스316L(sus316L)의 스테인레스재질로 이루어질 수 있다. 본 실시예에서의 상기 금속막(9)은 SUS316L의 스테인레스강 금망에 스테인레스강 분말을 도포하여 소결한 구조로 되어 있다.

상기 용존오존수 주입장치(7)는 플라즈마에 의해 공기중의 산소를 오존으로 변환시키고, 고압을 이용해 상기 오존가스를 여과수에 용해시키는 플라즈마 장치를 포함하며, 간헐적인 방식으로 용존오존수를 주입하는 구조로 이루어져 있다.

상기와 같이 구성된 본 고안의 작용상태를 설명하면 다음과 같다.

도면에 도시된 바와 같이, 여과막 모듈(2)이 반응조(1)내의 원수에 침적된 상태에서, 상기 반응조(1)의 유입구를 통하여 원수(3)가 유입되면, 원수(3)의 흐름은 분리판(8)에 부딪히면서 하강류를 형성하게 된다. 상기 원수(3)는 하강류에 의해 상기 반응조(1)와 분리판(8) 하부의 사이 공간을 경유하여 U턴함으로써 상승하여 여과막 모듈(2)측으로 유입된다.

이때, 상기 흡입펌프(6)의 가동에 의해 여과막 모듈(2) 내부 압력을 여과막 모듈 외부의 압력보다 작게한 흡인여과방식을 통해 고액분리를 행한다. 즉, 상기 흡인펌프(6)로부터 제공되는 흡입력에 의해 상기 여과막 모듈(2)을 통과하는 여과수(4)를 강제 흡인하여 흡인관(5)을 통해 배출하며, 또한 상기 흡입력은 상기 여과막 모듈(2)의 내부를 부압으로 유지시키게 되는데, 이때의 상기 부압에 의해 원수의 고액분리가 용이하게 행해지게 되는 것이다. 상기 원수(3)의 고액분리가 행해지고 난 후에 반응조(1) 하부로 침적되는 잉여슬러지는 드레인을 통하여 외부로 배출된다.

상기 여과막 모듈(2)를 통한 원수(3)의 고액분리가 행해지는 과정에서, 상기 용존오존수 주입장치(7)에서 만들어진 용존오존수가 공급관로(22)에 간헐적으로 주입되고, 상기 용존오존수는 분출노즐(21)을 경유하여 상기 여과막 모듈(2)의 상측으로 분사되어 금속막을 세정하게 된다.

이때, 상기 금속막을 세정할 때, 상기 분출노즐(21)은 용존오존수를 금속막의 여과수(4)측으로부터 유입원수측으로 분출시킴으로써 막투과유속을 현저하게 회복할 수 있다. 특히, 상기 금속막의 여과압력을 60 ∼ 90(kPa)의 범위로 운전하고, 용존오존농도는 0.2 ∼ 0.8(mgO₃/L)이상으로 하되, 용존오존농도를 조절할 경우, 초기 막투과 유속의 88 ∼ 97%정도의 회복효과를 나타낼 수 있는데, 시험결과 용존 오존농도가 높을수록 그 회복효과가 보다 월등한 것으로 나타났다.

이와같이, 산화력이 강한 용존오존수를 금속 여과막 모듈(2)의 내외부에 주입하여 내부 파울링 현상 및 막표면에 케익층(Cake layer)이 형성되는 것을 방지함으로써 항시 높은 막투과유속을 유지할 수 있는 것이다

다음, 상기 금속막 반응조를 사용한 여과실험에서 세정효과에 대한 결과에 대해서 설명한다. 하기의 <표1>은 세정에 의한 막투과유속의 회복상황을 비교하기 위하여 여과 및 세정실험을 행하였을 때의 각각의 실험조건을 나타낸 것이다.

세정방법은 4가지 경우를 대상으로 하는데, 이는 1. 공기에 의한 역세정, 2. 오존가스에 의한 역세정, 3. 용존오존수에 의한 역세정, 4. 화학약품액에 의한 세정등의 방법으로 세정후의 막투과유속의 회복정도를 비교하였다.

하기의 <표1>에서 오존농도(mg/L)는 오존함유가스 1리터당 오존량을 나타내며 주입유량(L/min)은 오존함유가스의 공급유량을 의미한다. 공기, 오존가스 및 용존오존수에 의한 세정에서는 세가지의 경우 모두 여과주기를 10분 여과, 1분정지, 세정주기를 2분역세, 2분정지로 실험조작을 행하게 되는데, 이때의 1사이클은 15분이 된다. 즉, 본 고안에 있어서 1 사이클의 의미는 여과조작과 세정조작을 각각 1회 조합한 것으로 한다.

약품세정의 경우, 여과주기는 다른 세정방법과 동일하게 실시하였으나 세정의 경우 NaOCl의 농도 100mg/L의 용액에 20분간 침적시키는 것으로 세정을 행하였다. 오존농도에서 가스상태의 농도 30mgO₃/L는 오존가스로 역세정을 한 경우의 오존발생농도에 해당되며 용존상태의 0.2 ∼ 0.8 mgO₃/L는 용존오존수로 역세정을 행한 경우의 용존오존농도를 의미한다. 각각의 경우에 대해 120시간동안 세정효과를 실험적으로 검토하였다.

실험조건

	공기오존가스용존오존수	약품세정
여과압력여과주기세정주기역세압력역세유량화학약품오존농도실험기간비 고	50kPa(≒0.75bar)10분여과, 1분 정지2분역세, 2분정지70kPa(최대)공기 및 오존가스: 2L/min, 용존오존수:막투과유속*1.5-가스상태 : 30mgO3/L용존상태 : 0.2 ∼0.8mgO3/L120hr자동제어	침적(20분)100mg/L NaOCl

도3은 상기 <표1>에 나타낸 조작인자에 따른 세정을 실시하였을 경우의 막투과유속의 비(Javerage/Jinitial)를 나타낸 것이다. 즉, 막투과유속의 비(Javerage/Jinitial)는 120시간동안의 평균 막투과유속을 초기 1분간의 막투과유속으로 나눈 값을 의미한다.

도3에 나타난 결과에서 알 수 있듯이, 용존오존수를 이용한 세정효과는 약품세정을 이용한 방법 및 단순한 공기를 이용한 방법보다 우수한 세정효과를 보였다. 용존오존농도가 0.7 mgO₃/L 인 경우 오존수를 이용하여 역세정을 한 경우, 초기 막투과유속의 97%의 회복율을 보였으며, 용존오존농도가 0.2 mgO₃/L인 경우에도 초기 막투과유속의 88% 의 회복율을 나타내었다. 반면 공기를 이용한 세정방법과 화학약품을 이용한 세정방법의 경우에는 각각 62% 와 68%의 회복률을 보여 70%에도 미치지 못하는 세정효과를 나타냈다. 오존가스를 이용하여 막세정을 행한 경우 막투과 유속의 비가 0.91로 비교적 높은 회복률을 보였지만, 여과를 행할 경우 막모듈 내부에 잔존하는 오존가스를 제거해야 하는 운전관리상의 어려움이 있을 것으로 사료된다.

결과적으로 용존오존수를 이용한 세정방법은 막오염을 효과적으로 제거함을 알 수 있었고, 용존오존 농도가 증가할수록 세정효과가 증가하는 것으로 나타났다.

본 실험이 종료된 시점에서 금속막의 외관을 관찰한 결과 일반적으로 유기재질의 막에서는 흔히 관찰되는 막재질의 산화파손현상은 전혀 나타나지 않아 사용된 금속막은 오존에 대해 충분한 내성을 지니는 것으로 판명되었다.

이상에서 설명한 본 고안은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 고안의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

전술한 바와 같이 본 고안에 따르면, 막분리시스템의 적용에 있어서, 용존 오존수에 대한 내구성이 강한 금속막을 채용하되, 용존오존수를 이용한 간헐적 세정방식을 행함으로써 내부 파울링 현상을 방지하고 공기방울의 발생을 억제하여 여과막 표면적의 사공간(dead space)을 제거함으로써 막투과 유속의 회복율을 제고시킬 수 있으며, 기존의 물리 ·화학적방법들이 지니고 있던 막세정의 번잡성을 해결하여 시스템 운용의 효율성을 극대화할 수 있는 효과를 가진다.

또한, 본 고안은 오존에 대한 내구성에 강하며, 비교적 저렴한 금속막을 사용하여 오·폐수의 고액분리를 달성할 수 있는 다른 효과가 있다.

Claims (8)

1. 외부로부터 유입된 원수를 수용하며, 슬러지를 침적시키기 위한 공간을 제공하는 반응조;

   상기 반응조내부의 소정위치에 침적되며, 그에 수용된 원수를 통과시켜 고액분리하는 여과막모듈;

   일단이 상기 여과막 모듈의 상부에 연결되어 그를 통과하는 여과수를 강제흡인하여 배출하며, 상기 여과막 모듈 내부를 부압으로 유지시켜 여과수의 고액 분리가 행해지도록 하기 위한 여과수 흡인수단;

   상기 여과막 모듈의 하부에 장착되며, 용존 오존수를 상측으로 분출시켜 여과막 모듈의 막세정을 수행하는 용존오존수 분출수단; 및

   상기 용존 오존수 분출수단에 연결되며, 오존가스를 여과수에 용해시킨 용존 오존수를 용존 오존수 분출수단에 주입하는 용존오존수 주입수단을 포함하는 용존오존수 주입 역세정 방법을 이용한 오·폐수 정밀여과장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 여과막 모듈은 상면에 여과수 흡인수단과 연결되는 흡인구가 설치되고, 하단부에는 용존오존수 분출수단과 연결되는 오존수 주입구가 구비되며, 양측면이 개방된 여과 틀체; 및

   상기 틀체의 양측면에 설치되는 금속막을 포함하는 용존오존수 주입 역세정방법을 이용한 오·폐수 정밀여과장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 금속막은 유효여과면적이 양면합계 0.12m²이고, 막공경은 0.2μm 인 것을 특징으로 하는 용존오존수 주입 역세정 방법을 이용한 오·폐수 정밀여과장치.
4. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 여과막모듈이 평막형의 상자체로 이루어진 것을 특징으로 하는 용존오존수 주입 역세정 방법을 이용한 오·폐수 정밀여과장치.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 여과막 모듈이 서스316L(sus316L) 재질의 스테인레스강 금망에 스테인레스강의 분말을 도포하여 소결한 것을 특징으로 하는 용존오존수 주입 역세정 방법을 이용한 오·폐수 정밀여과장치.
6. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 반응조의 내부 저면과소정거리 떨어진 위치에 직립되게 설치되어 외부로부터 공급되는 원수의 하강류를 형성하여 원활한 유동성을 가지도록 하기 위한 분리판을 더 포함하는 용존오존수 주입 역세정 방법을 이용한 오·폐수 정밀여과장치.
7. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 용존오존수 주입수단은

   플라즈마에 의해 공기중의 산소를 오존으로 변환시키고, 고압을 이용해 상기 오존가스를 여과수에 용해시키는 플라즈마 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 용존오존수 주입 역세정 방법을 이용한 오·폐수 정밀여과장치.
8. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 여과수 흡인수단은

   여과막 모듈의 흡인구에 연결된 배출관;

   상기 배출관상에 설치되어 상기 여과막모듈 내부로 유입되는 여과수를 강제 흡인하는 흡인펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 용존오존수 주입 역세정 방법을 이용한 오·폐수 정밀여과장치.