KR20030096780A - Apparatus for inspecting defect of glass and control method thereof - Google Patents
Apparatus for inspecting defect of glass and control method thereof Download PDFInfo
- Publication number
- KR20030096780A KR20030096780A KR1020020033798A KR20020033798A KR20030096780A KR 20030096780 A KR20030096780 A KR 20030096780A KR 1020020033798 A KR1020020033798 A KR 1020020033798A KR 20020033798 A KR20020033798 A KR 20020033798A KR 20030096780 A KR20030096780 A KR 20030096780A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- glass
- light
- defect
- panel
- film member
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
- B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
- B03C3/00—Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
- B03C3/32—Transportable units, e.g. for cleaning room air
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
- B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
- B03C3/00—Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
- B03C3/34—Constructional details or accessories or operation thereof
- B03C3/36—Controlling flow of gases or vapour
- B03C3/368—Controlling flow of gases or vapour by other than static mechanical means, e.g. internal ventilator or recycler
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
본 발명은, 유리의 결함 검사장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 유리의 성형과정 중에 형성된 결함을 검사하는 유리의 결함 검사장치 및 그방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a defect inspection apparatus and method for glass, and more particularly, to a defect inspection apparatus and method for inspecting a defect formed during a molding process of glass.
각종 제조법으로 제조되는 투명 또는 반투명한 평판 모양이나 부드러운 곡률을 보유한 유리의 내부에 이질유리층과 같은 유리결함이 있는 경우에, 이 유리결함이 규정된 규격이나 시방서 등에 명시된 결함의 크기를 초과하게 되면 불량제품으로 판정되어 폐기되는 것이 일반적이다. 이러한 유리에는, TV(Television)의 브라운관이나 컴퓨터 모니터 등에 사용되는 음극선관 유리뿐만 아니라 넓게는 건물이나 자동차의 창유리 등도 포함하지만 이하에서는 설명의 편의를 위해 음극선관 유리에 한정하여 기술하기로 한다.If there is a glass defect such as a dissimilar glass layer inside a transparent or semi-transparent flat plate or soft curvature produced by various manufacturing methods, if the glass defect exceeds the size of the defect specified in the prescribed standard or specification, etc. It is generally judged to be a defective product and discarded. Such glass includes not only cathode ray tube glass used in TVs (Television), computer monitors, etc. but also window glass of buildings and automobiles, but will be described below with respect to cathode ray tube glass for convenience of description.
음극선관은 일반적으로 화상이 투사되는 패널과, 전자총을 구비하여 패널의 배후에 결합되는 깔때기 형상의 펀넬을 가진다. 이러한 패널의 성형은 유리용융로에서 가열용융되어 고브형태로 제공된 유리원료를 프레스성형장치로 가압함으로써 이루어진다.Cathode ray tubes generally have a panel on which an image is projected and a funnel-shaped funnel having an electron gun coupled to the back of the panel. The molding of such a panel is performed by pressing a glass raw material which is heated and melted in a glass melting furnace and provided in the form of a gob by a press molding apparatus.
이와 같이, 압축성형된 패널은 새도우마스크의 지지를 위한 스터드핀 융착장치에 의해 소정의 스터드핀이 융착된 다음, 서냉로를 거쳐 소정의 온도조건으로 서냉되고, 뒤 이어, 패널의 각 관리포인트별 치수를 측정하는 게이징공정으로 향하게 된다. 게이지공정으로부터 페리페리 및 주위치수의 측정을 마친 패널은 1차 외관검사를 마친 후 소정의 이송수단에 의해 단부면 및 유효면을 연마하는 연마공정으로 향하여 연마공정을 마친 다음, 최종적으로 연마 검사과정을 통해 최종제품을 제조하는 업체에 제품으로 출시된다.In this way, the compression molded panel is a predetermined stud pin is fused by a stud pin fusion device for supporting the shadow mask, and then slowly cooled to a predetermined temperature condition through a slow cooling furnace, and then for each control point of the panel It is directed to the gauging process to measure the dimensions. After measuring the Ferri Peri and the peripheral dimensions from the gauge process, the panel finishes the first external inspection and finishes the polishing process toward the polishing process for polishing the end and effective surfaces by a predetermined conveying means. It is released as a product to companies that manufacture the final product.
이러한 일련의 제조공정을 통하여 제조되는 제품 중에는 소정의 이유로 인하여 결함을 내부에 보유한 패널 즉, 불량 제품이 제조되기도 하는데, 그럼에도 불구하고 이러한 불량 제품을 발견하는 것이 용이하지 않은 문제점이 있다. 그 이유는, 연마 공정 이전의 경우 표면 자체의 굴곡이 심해 표면에서의 난반사와 복굴절이 발생하여 패널의 유리결함을 검출하는 것이 어렵기 때문이며, 연마공정 이후에는 평면연마가 되어있으므로 음극선관 내부에 있는 유리결함에 대한 육안검사가 가능하나 다른 한 쪽 면이 거친 사포(sanding)면이므로 이곳에서의 난반사로 인하여 굴절률 차이에 의한 유리결함을 좀처럼 발견해 내기 어렵기 때문이다. 그러므로 작업자의 육안에 의존하는 목시검사로는 정확한 유리결함을 판별해 내기가 매우 곤란하다는 문제점이 있다.Among products manufactured through such a series of manufacturing processes, a panel having defects therein, that is, a defective product, may be manufactured for some reason, but there is a problem in that it is not easy to find such a defective product. The reason is that before the polishing process, the curvature of the surface itself is so severe that diffuse reflection and birefringence on the surface make it difficult to detect the glass defect of the panel. Visual inspection of glass defects is possible, but since the other side is a rough sanding surface, it is difficult to find glass defects due to refractive index differences due to diffuse reflection here. Therefore, there is a problem that it is very difficult to determine the correct glass defect by visual inspection which depends on the naked eye of the worker.
또한, 종래에 있어서 이와 같이 작업자의 육안에 의존하여 목시검사하는 경우에는, 연마 공정 직후 정확한 검사가 수행되지 못하기 때문에 패널 내부에 형성된 유리결함을 발견하는 것이 곤란하여 유리결함을 가진 패널이 최종 제품을 생산하는 업체에 출하되므로, 출하 후 회수비용 지출 등과 같은 불량제품으로 인한 비용이 증대되고, 출하되는 제품의 품질이 통계적으로 저하되는 결과를 초래하며, 또 한편으로는 원인이 되는 공정에 피드백(FEED-BACK)이 늦어지게 되고 결과적으로 시정이 늦어짐으로써 많은 공정 손실을 초래한다는 문제점이 있다.In addition, in the case of visual inspection in accordance with the naked eye of the prior art, it is difficult to find the glass defects formed inside the panel because the accurate inspection is not performed immediately after the polishing process, the panel with glass defects is the final product As a result, the cost of defective products, such as post-shipment recovery expenses, is increased, and the quality of the shipped products is statistically degraded. There is a problem that the feed-back is delayed and consequently the correction is delayed, resulting in a large process loss.
따라서, 본 발명의 목적은, 종래의 이러한 문제점을 고려하여, 유리의 결함을 연마 공정 직후 검출할 수 있는 유리의 결함 검사장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a defect inspection apparatus and method for glass that can detect defects in glass immediately after the polishing step in view of such a conventional problem.
도 1은 본 발명에 따른 유리의 결함 검사장치를 개략적으로 도시한 사시도,1 is a perspective view schematically showing a defect inspection apparatus of glass according to the present invention;
도 2는 도1의 측면도,2 is a side view of FIG. 1;
도 3은 그리드 마스크(Grid Mask)의 광투과대역 및 광차단대역을 도시한 도면,3 is a view illustrating a light transmission band and a light blocking band of a grid mask;
도 4는 본 발명에 따른 유리의 결함을 검출하는 원리를 도시하기 위한 도면이다.4 is a diagram for illustrating the principle of detecting a defect in glass according to the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
10 : 광원 20 : 필름부재10: light source 20: film member
30 : 프로젝션 렌즈 40 : 거울30: projection lens 40: mirror
50 : 칼라 필터 60 : 셔터50: color filter 60: shutter
상기 목적은, 본 발명에 따라, 유리에 형성된 결함을 검사하는 유리의 결함 검사장치에 있어서, 상기 유리의 일측에서 상기 유리를 향해 빛을 조사하는 광원; 및 상기 유리와 상기 광원 사이에 마련되며, 상기 광원으로부터 상기 유리를 향해 조사된 빛에 의해 검출영역에 격자 무늬를 형성하고 상기 격자 무늬가 상기 유리에 형성된 결함과 간섭현상을 일으켜 물결 무늬(Moire Fringe)를 생성시키도록 소정폭의 광차단대역 및 광투과대역이 교호적으로 배치 형성된 필름부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리의 결함 검사장치에 의해 달성된다.According to the present invention, there is provided a defect inspection apparatus for inspecting a defect formed in glass, comprising: a light source for irradiating light toward the glass from one side of the glass; And a lattice pattern formed between the glass and the light source, the lattice pattern being formed in a detection area by the light irradiated from the light source toward the glass, and the lattice pattern causing defects and interferences formed in the glass. Is achieved by a glass defect inspection apparatus comprising a film member in which a light shielding band and a light transmitting band of a predetermined width are alternately arranged to produce a).
여기서, 상기 물결 무늬(Moire Fringe)를 촬상하여 상기 유리의 결함을 검출하는 검사부를 더 포함하여 구성할 수도 있으며, 상기 필름부재를 통과한 빛이 조사되는 영역을 조정하도록 프로젝션 렌즈(Projection Lens)를 상기 필름부재와 상기 유리 사이에 마련할 수도 있다. 또한, 상기 프로젝션 렌즈를 통과한 빛을 소정 각도로 반사시키는 적어도 하나의 거울을 더 포함하여 구성할 수도 있으며, 상기 광원과 상기 필름부재 사이에 상기 물결 무늬(Moire Fringe)의 감도를 향상시키는 칼라 필터(Color Filter)도 더 포함하여 구성할 수 있다.Here, it may be configured to further include an inspection unit for detecting the defect of the glass by capturing the Moire Fringe, Projection Lens (Projection Lens) to adjust the area irradiated with light passing through the film member It may be provided between the film member and the glass. In addition, it may be configured to further include at least one mirror for reflecting the light passing through the projection lens at a predetermined angle, the color filter to improve the sensitivity of the Moire Fringe between the light source and the film member It can also be configured to include (Color Filter).
한편, 본 발명의 다른 분야에 따르면, 상기 목적은, 유리에 형성된 결함을 검사하는 유리의 결함 검사방법에 있어서, 검사대상인 상기 유리를 배치하는 단계; 소정폭의 광차단대역 및 광투과대역이 교호적으로 배치형성된 필름부재를 통과하도록 빛을 조사하는 단계; 및 검출영역에 형성된 상기 필름부재의 격자 무늬가 상기 유리에 형성된 결함과 간섭현상을 일으켜 발생한 물결무늬(Moire Fringe)를 검사하여 상기 유리에 형성된 결함을 검출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리의 결함 검사방법에 의해서도 달성된다.On the other hand, according to another field of the present invention, the object is a defect inspection method for inspecting a defect formed in the glass, comprising the steps of: arranging the glass to be inspected; Irradiating light so that the light blocking band and the light transmitting band having a predetermined width pass through the film member formed alternately; And detecting a defect formed in the glass by inspecting a moire fringe formed by the lattice pattern of the film member formed in the detection area causing interference with the defect formed in the glass. It is also achieved by a defect inspection method.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 유리의 결함 검사장치를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 도1의 측면도이다. 이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 유리의 결함 검사장치는, 검사대상인 패널(3)이 놓이게 되는 검출대(미도시)와, 패널(3)의 일측에서 패널(3)을 향해 소정의 빛을 조사(照射)하는 광원(10)과, 광원(10)의 불필요한 파장영역의 성분을 차단하는 차단거울(11)과, 필요시 램프의 빛을 차단하는 셔터(Shutter)(60)와, 미세폭의 광투과대역 및 광차단대역이 교호적으로 배치형성된 필름부재인 그리드 마스크(Grid Mask)(20)와, 패널(3)의 배면인 검출영역에 생성되는 무늬의 감도를 향상시키는 칼라 필터(Color Filter)(50)와, 그리드 마스크(20)와 패널(3) 사이의 그리드 마스크(20) 전면에 마련되는 프로젝션 렌즈(Projection Lens)(30)와, 프로젝션 렌즈(30)와 패널(3) 사이에 배치되어 광원(10)에서 조사되는 빛을 반사시키는 거울(40)을 포함한다.1 is a perspective view schematically illustrating a defect inspection apparatus of glass, and FIG. 2 is a side view of FIG. 1. As shown in these figures, the defect inspection apparatus for glass according to the present invention includes a detection table (not shown) on which the panel 3 to be inspected is placed and a predetermined side toward the panel 3 from one side of the panel 3. A light source 10 for irradiating light of the light source, a blocking mirror 11 for blocking components of an unnecessary wavelength region of the light source 10, a shutter 60 for blocking light of a lamp if necessary, and To improve the sensitivity of the pattern generated in the grid mask 20, which is a film member in which fine light transmission bands and light blocking bands are alternately formed, and the detection area that is the rear surface of the panel 3; A color filter 50, a projection lens 30 provided in front of the grid mask 20 between the grid mask 20 and the panel 3, the projection lens 30 and the panel ( 3) disposed between the mirrors to reflect the light emitted from the light source 10.
검사대상인 패널(3)로 소정의 빛을 조사하게 되는 광원(10)은, 광원 하우징(13) 내에 설치된다. 일반적으로 광원(10)은 최대 150 와트(WATT)의 강도를 가진 할로겐 램프를 사용하나 LED(Light Emitting Diode : 발광 다이오드)가 사용 가능한 경우라면 LED(Light Emitting Diode)가 사용될 수 있다. 광원 하우징(13)은 검출대의 하부에 설치되며, 단면이 직사각형인 통 형상의 구조를 가지고 있으나, 광원 하우징(13)의 형상은 단면이 직사각형인 통 형상에 한정되는 것이 아니라단면이 구형인 통 형상으로도 할 수 있다. 그리고 광원(10)의 전면에는 차단거울(11)이 설치되어 광원인 램프(10)의 불필요한 파장 영역의 성분을 차단하게 함으로써 패널(3)의 유리결함(5)을 검출하는 작업자의 눈에 해롭지 않도록 한다.The light source 10 which irradiates predetermined light to the panel 3 to be inspected is provided in the light source housing 13. In general, the light source 10 uses a halogen lamp having a maximum intensity of 150 watts (WATT), but if an LED (Light Emitting Diode) is available, an LED (Light Emitting Diode) may be used. Although the light source housing 13 is installed under the detection stand and has a cylindrical shape having a rectangular cross section, the shape of the light source housing 13 is not limited to a cylindrical shape having a rectangular cross section, but a cylindrical shape having a rectangular cross section. You can also do In addition, a blocking mirror 11 is installed on the front surface of the light source 10 to block components in unnecessary wavelength regions of the lamp 10, which is a light source, so that it is not harmful to the eyes of the operator who detects the glass defect 5 of the panel 3. Do not
또한, 광원(10)으로부터 조사된 빛은 광원 하우징(13) 전면에 설치된 칼라 필터(50)를 통과하게 된다. 재질이 석영 유리인 칼라 필터(50)는, 패널(3)의 검출영역에 생성되는 무늬의 감도를 향상시키고 작업자의 눈의 피로도를 줄이기 위해 마련된다.In addition, the light irradiated from the light source 10 passes through the color filter 50 provided on the front surface of the light source housing 13. The color filter 50 whose material is quartz glass is provided in order to improve the sensitivity of the pattern created in the detection area | region of the panel 3, and to reduce the fatigue of an operator's eyes.
그리고, 칼라 필터(50)의 전면에 마련되는 셔터(Shutter)(60)는 램프의 빛을 차단하기 위한 것으로서, 램프(10)에 전원이 인가되어 램프(10)가 켜진 상태에서도 검사를 하지 않고자 하는 때에는 셔터(60)로 빛을 차단하여 검사를 잠시 중단할 수 있으며, 다시 검사를 하고자 하는 때에는 셔터(60)를 열어 램프(10)의 빛이 패널(3)에 조사되도록 한다. 이는, 장시간 사용이 필요 없는 경우에는 램프(10)의 전원을 차단하여 램프(10)를 끄지만 검사를 잠시 중단하여야 하는 경우에 빈번한 온오프를 방지할 수 있도록 한 것이다.In addition, the shutter 60 provided on the front of the color filter 50 is for blocking the light of the lamp, and the power is applied to the lamp 10 so that the lamp 10 is not inspected even when the lamp 10 is turned on. If you want to cut off the light with the shutter 60 can be stopped for a while, when you want to check again, open the shutter 60 so that the light of the lamp 10 is irradiated to the panel (3). This is to prevent frequent on / off when the lamp 10 is turned off by turning off the power of the lamp 10 when it is not necessary to use it for a long time.
도 3은 그리드 마스크(20)(Grid Mask)의 광투과대역 및 광차단대역을 도시한 도면으로서, 이에 도시된 바와 같이, 그리드 마스크(20)는 광투과대역 및 광차단대역이 교호적으로 배치되어 형성되며, 광투과대역(D)의 폭과 광차단대역(C)의 폭이 대략 2㎛ 내지 4㎛인 것으로 구성되어 있는데, 이는 프로젝션 렌즈(Projection Lens)(30)의 확대비에 따라 달라 질 수 있다.FIG. 3 is a diagram illustrating a light transmission band and a light blocking band of a grid mask 20. As shown therein, the grid mask 20 alternately arranges a light transmission band and a light blocking band. And the width of the light transmission band D and the width of the light blocking band C are approximately 2 μm to 4 μm, depending on the enlargement ratio of the projection lens 30. Can lose.
광투과대역(D)의 폭과 광차단대역(C)의 폭은 패널(3)의 배면에 격자 무늬로 나타날 때에는 대략 30㎛ 내지 70㎛과 대략 80㎛ 내지 150㎛로 나타나게 된다. 그리드 마스크(20)의 재질은 석영 유리이며 광차단대역(C)은 크롬 도금된 것이다. 한편, 그리드 마스크(20) 및 광차단대역(C)은 이외에도 다른 재질로 마련될 수 있음은 물론이다.The width of the light transmission band D and the width of the light blocking band C are about 30 μm to 70 μm and about 80 μm to 150 μm when they appear in a lattice pattern on the back surface of the panel 3. The material of the grid mask 20 is quartz glass and the light blocking band C is chrome plated. Meanwhile, the grid mask 20 and the light blocking band C may be formed of other materials.
프로젝션 렌즈(30)(Projection Lens)는, 그리드 마스크(20)를 투과하는 빛이 패널(3)의 패널(3)의 배면인 검출 영역에서 격자 무늬를 필요한 영역에 형성할 수 있도록 빛의 조사 영역을 확대 또는 축소하는 역할을 한다.The projection lens 30 is a light irradiation area so that light passing through the grid mask 20 can form a lattice pattern in a required area in a detection area that is the rear surface of the panel 3 of the panel 3. It serves to enlarge or reduce.
프로젝션 렌즈(30)를 통과한 빛은 프로젝션 렌즈(30)의 전면에 설치된 거울(40)에 의해 반사되어 검출대에 놓여진 패널(3) 쪽으로 조사된다. 거울(40)은 프로젝션 렌즈(30) 전면에 경사지게 설치되며 프로젝션 렌즈(30)를 통과한 빛을 반사시켜 검출대 위에 놓여진 패널(3)의 배면에 그리드 마스크(20)에 의하여 생성된 격자 무늬를 생성시킨다. 거울(40)을 설치하지 않고 바로 프로젝션 렌즈(30)를 통하여 검출대에 놓여진 패널(3)에 빛을 조사할 수도 있으나, 이 경우 패널(3)이 떨어지거나 이물질이 떨어지게 되면 프로젝션 렌즈(30)가 바로 손상되게 되므로 이러한 렌즈의 손상을 방지하기 위해서이며, 그 외에도 거울(40)은 빛이 조사되는 거리를 조절하는데 이용될 수도 있다. 한편, 거울(40)의 표면은 알루미늄으로 코팅되어 있다.The light passing through the projection lens 30 is reflected by the mirror 40 provided in front of the projection lens 30 and irradiated toward the panel 3 placed on the detection stand. The mirror 40 is installed obliquely in front of the projection lens 30 and reflects the light passing through the projection lens 30 to reflect the grid pattern generated by the grid mask 20 on the back of the panel 3 placed on the detection table. Create Light may be irradiated to the panel 3 placed on the detection stand directly through the projection lens 30 without installing the mirror 40, but in this case, the projection lens 30 when the panel 3 falls or foreign matter falls. In order to prevent the lens from being damaged, the mirror 40 may be used to adjust the distance to which light is irradiated. On the other hand, the surface of the mirror 40 is coated with aluminum.
이러한 구성에 의해, 유리의 결함 검사방법을 설명하면 다음과 같다.According to such a structure, the defect inspection method of glass is demonstrated as follows.
전술한 바와 같이, 패널의 성형은 유리용융로에서 가열용융되어 고브형태로제공된 유리원료를 프레스성형장치로 가압함으로써 이루어지며, 압축성형된 패널은 새도우마스크의 지지를 위한 스터드핀 융착장치에 의해 소정의 스터드핀이 융착된 다음, 서냉로를 거쳐 소정의 온도조건으로 서냉되고, 뒤 이어, 패널의 각 관리포인트별 치수를 측정하는 게이징공정으로 향한 후, 1차 목시에 의한 외관검사를 마친 후, 소정의 이송수단에 의해 단부면 및 유효면을 연마하는 연마공정으로 향하여 연마작업이 수행된다.As described above, the molding of the panel is performed by pressing the glass raw material which is heated and melted in the glass melting furnace and provided in the form of a gob by a press molding apparatus, and the compression molded panel is prescribed by a stud pin welding device for supporting the shadow mask. After the stud pins are fused, they are slowly cooled to a predetermined temperature condition through a slow cooling furnace, followed by a gauging process for measuring the dimensions of each control point of the panel, and after the visual inspection by the first visual inspection, The polishing operation is carried out toward the polishing process for polishing the end face and the effective face by predetermined transfer means.
이 때, 본 발명에 따른 코드검사장치로, 패널(3)이 연마 공정을 마친 후의 모든 제품을 추출하여 검사하는 전수검사를 수행하게 된다.At this time, with the cord inspection apparatus according to the present invention, the panel 3 performs a full inspection to extract and inspect all products after the polishing process.
본 발명에 따른 검사방법은 모아레(Moire) 현상에 기초한 것으로서, 등방성과 규칙성을 갖는 그리드 마스크(20)를 빛이 통과하면 규칙성을 갖는 격자 무늬가 생성되는데, 그리드 마스크(20)를 통과한 빛이 패널(3)의 유리결함(5)에 굴절되어 격자 무늬와 간섭현상을 일으킴으로써 육안으로는 격자 무늬가 왜곡되어 나타나는 물결 무늬가 생성되며 이를 인식함으로써 미세 불량이나 미세 단차 등을 검출할 수 있는 원리를 이용한 것이다.The inspection method according to the present invention is based on a moire phenomenon, and when light passes through the grid mask 20 having isotropy and regularity, a lattice pattern having regularity is generated, which passes through the grid mask 20. The light is refracted by the glass defects 5 of the panel 3, causing interference with the lattice pattern. Thus, the wavy pattern in which the lattice pattern is distorted with the naked eye is generated. By detecting the defect, fine defects or fine steps can be detected. It is based on the principles that exist.
검사를 수행하는 방법은 먼저, 전원이 인가되어 있는 상태에서 검사대상인 패널(3)을 검출대 위에 배치시키면, 패널(3)의 하중에 의하여 스위치가 작동하여 광원인 램프(10)를 차단하고 있던 셔터(60)가 개방되어 램프(10)의 빛이 조사되며, 램프(10)로부터 조사된 소정의 빛은 차단거울(11)과 칼라 필터(50), 그리고 소정폭의 광차단대역 및 광투과대역이 교호적으로 배치형성된 필름부재인 그리드 마스크(20)를 통과하게 된다. 또한, 그리드 마스크(20)를 투과한 빛은 프로젝션 렌즈(Projection Lens)(30)를 통과하여 패널(3)의 배면인 검출 영역으로 그리드 마스크(20)에 의하여 형성되는 격자 무늬를 전부 조사시키기 위해 조사 영역이 조정된다.In the method of performing the inspection, first, when the panel 3 to be inspected is placed on the detection stand while the power is applied, the switch is operated by the load of the panel 3 to block the lamp 10 which is the light source. The shutter 60 is opened to irradiate light from the lamp 10, and the predetermined light irradiated from the lamp 10 is a blocking mirror 11, a color filter 50, and a light blocking band and light transmission having a predetermined width. The band passes through the grid mask 20, which is an alternately formed film member. In addition, the light passing through the grid mask 20 passes through the projection lens 30 to irradiate all of the grid pattern formed by the grid mask 20 to the detection area that is the rear surface of the panel 3. The irradiation area is adjusted.
그리고, 프로젝션 렌즈(30)를 통과한 빛은 프로젝션 렌즈(30)의 전면에 경사지게 설치된 거울(40)에 반사되어 검출대 위에 놓인 패널(3)의 배면으로 향하게 되고 패널(3)의 배면인 검출영역에 등방성과 규칙성을 갖는 격자무늬를 형성하게 된다. 이렇게 형성된 격자 무늬는 패널(3)의 내부에 유리결함(5)이 있는 경우에는 도 4에 도시된 바와 같이 유리결함(5)과 간섭현상을 일으켜 물결무늬(Moire Fringe)를 생성시키게 된다. 즉, 패널(3)에 형성된 결함을 통과한 빛에 의해 생성되는 선(Line)은 결함이 없는 패널(3) 내부를 통과하여 생성되는 다른 선(Line)에 비해 꺾여서 이웃한 선(Line)과의 부분적인 간격 및 폭 차이를 보이게 된다(A 및 A' 또는 B 영역). 이러한 부분적인 간격 및 폭 차이가 발견되면 패널(3)의 내부에 결함이 있음을 알 수 있게 된다. A 및 A'영역의 경우에는 유리결함 중 이질유리층이 있는 경우에 해당하고 B 영역의 경우에는 유리결함 중 석물 또는 기포에 해당한다.Then, the light passing through the projection lens 30 is reflected by the mirror 40 inclined to the front of the projection lens 30 to be directed to the back of the panel 3 placed on the detection table and the detection is the back of the panel 3 A grid pattern having isotropy and regularity is formed in the region. When the grid pattern formed as described above has a glass defect 5 inside the panel 3, as shown in FIG. 4, the lattice pattern causes interference with the glass defect 5 to generate a moire fringe. That is, the line generated by the light passing through the defect formed in the panel 3 is compared with the other line generated by passing through the inside of the panel 3 without defect and is adjacent to the adjacent line. Partial spacing and width difference of (A and A 'or B region) are shown. If this partial gap and width difference is found, it can be seen that there is a defect inside the panel 3. In the case of A and A 'areas, this is the case where there is a heterogeneous glass layer among the glass defects, and in the case of the B area, it corresponds to stones or bubbles in the glass defects.
이상과 같이, 패널(3)을 향해 빛을 조사하는 광원(10)과, 광원(10)으로부터 조사된 빛에 의해 검출영역에 격자무늬를 형성하는 그리드 마스크(20)를 포함하여 구성되는 유리의 결함 검사장치에 의하여, 연마 공정 직후, 그리고 출하 전 단계에서 패널(3)에 형성 가능한 유리결함(5)을 검출할 수 있게 된다. 이에 따라, 불량 제품에 의한 비용의 증대를 차단하고, 품질의 향상 및 피드백에 의해 유리결함(5)의 발생 원인공정을 신속하게 식별하여 이를 시정할 수 있게 된다.As described above, the glass including the light source 10 for irradiating light toward the panel 3 and the grid mask 20 for forming a lattice pattern in the detection area by the light irradiated from the light source 10. By the defect inspection apparatus, it is possible to detect the glass defects 5 which can be formed in the panel 3 immediately after the polishing process and at the pre-shipment stage. Accordingly, it is possible to block the increase of the cost due to the defective product and to quickly identify and correct the process causing the glass defect 5 by improving the quality and feedback.
전술한 실시 예에서는, 검사부를 별도로 구성하지 않고 작업자의 육안으로 패널(3)에 형성된 물결무늬를 조사하여 패널(3)의 유리결함(5)을 검출하는 것에 대하여 상술하였으나, 검사부를, 패널(3)의 위쪽에 위치하는 촬상 카메라와, 촬상 카메라에 의해 촬상된 물결무늬에 대한 신호를 화상처리하여 유리결함(5)을 검출하는 검출부로 구성할 수도 있다.In the above-described embodiment, the detection of the glass defects 5 of the panel 3 by irradiating the wavy pattern formed on the panel 3 with the naked eye of the operator without separately configuring the inspection unit has been described above. An image pickup camera positioned above 3) and a detection section for detecting glass defects 5 by image processing a signal for a wave pattern picked up by the image pickup camera may be provided.
또한, 전술한 실시 예에서는, 음극선관용 패널(3)에 형성된 물결무늬를 조사하여 음극선관용 패널(3)의 유리결함(5)을 검출하는 것에 대하여 상술하였으나, 본 발명에 따른 유리의 결함 검사장치는, 음극선관용 패널(3)뿐만 아니라 다양한 종류의 유리를 대상으로 하여 유리결함을 검출하는데 사용될 수 있음은 물론이다.In the above-described embodiment, the glass defect 5 of the cathode ray tube panel 3 is detected by irradiating a wave pattern formed on the cathode ray tube panel 3, but the defect inspection apparatus for glass according to the present invention has been described. Of course, not only the cathode ray tube panel 3 but also various kinds of glass can be used to detect glass defects.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 패널의 유리결함을 연마공정 직후 검출할 수 있도록 한 유리의 결함 검사장치 및 그 방법이 제공된다.As described above, according to the present invention, there is provided an apparatus for inspecting defects of glass and a method for detecting glass defects immediately after a polishing process.
Claims (6)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020020033798A KR20030096780A (en) | 2002-06-17 | 2002-06-17 | Apparatus for inspecting defect of glass and control method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020020033798A KR20030096780A (en) | 2002-06-17 | 2002-06-17 | Apparatus for inspecting defect of glass and control method thereof |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20030096780A true KR20030096780A (en) | 2003-12-31 |
Family
ID=32387379
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020020033798A KR20030096780A (en) | 2002-06-17 | 2002-06-17 | Apparatus for inspecting defect of glass and control method thereof |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20030096780A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100897223B1 (en) * | 2004-11-24 | 2009-05-14 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | Method and device for inspecting defect of transparent plate body |
KR20220105838A (en) | 2021-01-21 | 2022-07-28 | 주식회사 나노프로텍 | The defect inspecti on apparatus on the transparent substrate and the method thereof |
CN117214187A (en) * | 2023-11-08 | 2023-12-12 | 宁波旗滨光伏科技有限公司 | Detection method and detection device |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61262629A (en) * | 1985-05-17 | 1986-11-20 | Hitachi Ltd | Apparatus for inspecting cylindrical lens |
JPH0359410A (en) * | 1989-07-28 | 1991-03-14 | Mitsubishi Electric Corp | Pattern detector |
JPH03152447A (en) * | 1989-11-09 | 1991-06-28 | Nec Corp | Inspecting apparatus for flaw |
KR20000016881A (en) * | 1998-08-31 | 2000-03-25 | 이토오 도요아키 | A detection device for pattern defects and a correction device thereof |
-
2002
- 2002-06-17 KR KR1020020033798A patent/KR20030096780A/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61262629A (en) * | 1985-05-17 | 1986-11-20 | Hitachi Ltd | Apparatus for inspecting cylindrical lens |
JPH0359410A (en) * | 1989-07-28 | 1991-03-14 | Mitsubishi Electric Corp | Pattern detector |
JPH03152447A (en) * | 1989-11-09 | 1991-06-28 | Nec Corp | Inspecting apparatus for flaw |
KR20000016881A (en) * | 1998-08-31 | 2000-03-25 | 이토오 도요아키 | A detection device for pattern defects and a correction device thereof |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100897223B1 (en) * | 2004-11-24 | 2009-05-14 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | Method and device for inspecting defect of transparent plate body |
KR20220105838A (en) | 2021-01-21 | 2022-07-28 | 주식회사 나노프로텍 | The defect inspecti on apparatus on the transparent substrate and the method thereof |
CN117214187A (en) * | 2023-11-08 | 2023-12-12 | 宁波旗滨光伏科技有限公司 | Detection method and detection device |
CN117214187B (en) * | 2023-11-08 | 2024-02-02 | 宁波旗滨光伏科技有限公司 | Detection method and detection device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI497061B (en) | Method and apparatus for detecting defects in glass sheet | |
US6011620A (en) | Method and apparatus for the automatic inspection of optically transmissive planar objects | |
ES2741026T3 (en) | System to identify defects in a composite structure | |
US20100028567A1 (en) | Glass sheet defect detection device, glass sheet manufacturing method, glass sheet, glass sheet quality judging device, and glass sheet inspection method | |
KR101376831B1 (en) | Surface defect detecting apparatus and control method thereof | |
KR102054576B1 (en) | Optical inspecting apparatus with an optical screening device | |
KR101203210B1 (en) | Apparatus for inspecting defects | |
KR101211438B1 (en) | Apparatus for inspecting defects | |
KR20030096780A (en) | Apparatus for inspecting defect of glass and control method thereof | |
KR20180136421A (en) | System and method for defect detection | |
KR101464877B1 (en) | System for inspecting an object having irregular pattern | |
JP3746433B2 (en) | Glass product manufacturing method and manufacturing apparatus | |
KR20100058012A (en) | Optical system for detecting defect | |
KR102207900B1 (en) | Optical inspection apparatus and method of optical inspection | |
KR100795080B1 (en) | Illumination device for inspecting a substrate | |
JPH0882602A (en) | Method and apparatus for inspecting fault of plate glass | |
KR20140087585A (en) | Apparatus for inspecting polarizing film | |
KR100470099B1 (en) | Apparatus for inspecting defect of glass | |
JPH07306152A (en) | Optical distortion inspecting device | |
JP5521283B2 (en) | Board inspection equipment | |
JPH05232040A (en) | External appearance inspecting floodlight device | |
JPH0850104A (en) | Fault check method and fault check device for transparent material | |
CN117183412B (en) | Polarizer correcting method based on color measurement | |
KR102306234B1 (en) | Transmissive optical inspection device | |
KR101880398B1 (en) | An apparatus and method for inspecting mura of substrate |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |