KR101464877B1 - System for inspecting an object having irregular pattern - Google Patents

System for inspecting an object having irregular pattern Download PDF

Info

Publication number
KR101464877B1
KR101464877B1 KR1020130060186A KR20130060186A KR101464877B1 KR 101464877 B1 KR101464877 B1 KR 101464877B1 KR 1020130060186 A KR1020130060186 A KR 1020130060186A KR 20130060186 A KR20130060186 A KR 20130060186A KR 101464877 B1 KR101464877 B1 KR 101464877B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
shadow image
light
screen
light source
irregular pattern
Prior art date
Application number
KR1020130060186A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이순종
우봉주
최성진
원준연
Original Assignee
(주)쎄미시스코
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)쎄미시스코 filed Critical (주)쎄미시스코
Priority to KR1020130060186A priority Critical patent/KR101464877B1/en
Priority to PCT/KR2013/004723 priority patent/WO2014192999A1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101464877B1 publication Critical patent/KR101464877B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/8422—Investigating thin films, e.g. matrix isolation method
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

Disclosed is a system for inspecting objects having an irregular pattern, for example, the swell failure of transparent films. The failure inspection system for inspecting the swell failure of objects having the irregular thickness comprises a light source for outputting surface light and a light conversion part for converting the surface light outputted from the light source to spot light. Herein, the light outputted from the light source is entered into the object through the light conversion part.

Description

불규칙 패턴을 가지는 대상물을 검사하는 불량 검사 시스템{SYSTEM FOR INSPECTING AN OBJECT HAVING IRREGULAR PATTERN}FIELD OF THE INVENTION [0001] The present invention relates to a defect inspection system for inspecting an object having an irregular pattern,

본 발명은 불규칙한 패턴을 가지는 대상물을 검사하는 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a system for inspecting an object having an irregular pattern.

일반적인 불량 검사 시스템은 균일한 두께를 가지거나 균일한 패턴을 가지는 유리 기판 등의 불량을 검사하는 시스템임에도 불구하고, 불균일한 두께를 가지거나 불규칙한 패턴을 가지는 투명 필름에도 그대로 적용된다. 따라서, 불균일한 패턴을 가지는 투명 필름의 불량, 특히 너울 불량을 정확하게 검출할 수가 없었다. A general defect inspection system is applied to a transparent film having a non-uniform thickness or an irregular pattern, although it is a system for inspecting defects such as a glass substrate having a uniform thickness or a uniform pattern. Therefore, the defects of the transparent film having a nonuniform pattern, in particular the defective defects, can not be accurately detected.

한국공개특허공보 제1020120007324호 (2012.01.20) Korean Patent Publication No. 1020120007324 (2012.01.20)

본 발명은 불규칙한 패턴을 가지는 대상물, 예를 들어 투명 필름의 너울 불량을 검사하는 시스템을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a system for inspecting defects of an object having an irregular pattern, for example, a transparent film.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 또는 내부에 불규칙 패턴을 가지는 대상물의 불량을 검사하는 불량 검사 시스템은 면광을 출력하는 광원; 및 상기 광원으로부터 출력된 면광을 점광으로 변환하는 광 변환부를 포함한다. 여기서, 상기 광원으로부터 출력된 광은 상기 광 변환부를 통하여 상기 대상물로 입사된다. According to an aspect of the present invention, there is provided a defect inspection system for inspecting defects of an object having an irregular pattern on a surface or an interior thereof, the defect inspection system comprising: a light source for outputting a surface light; And a light converting unit for converting the surface light output from the light source into a point light. Here, the light output from the light source is incident on the object through the light conversion unit.

본 발명의 다른 실시예에 따른 표면 또는 내부에 불규칙 패턴을 가지는 대상물의 불량을 검사하는 불량 검사 시스템은 광원; 및 스크린을 포함한다. 여기서, 상기 광원으로부터 출력된 광이 상기 대상물을 투과되어 상기 스크린으로 입사됨에 의해 상기 대상물의 그림자 영상이 상기 스크린에 형성되고, 상기 광원은 상기 광원으로부터 출력된 광이 상기 대상물의 일 불규칙 패턴을 통과한 후 상기 스크린에 입사되기까지 교차하지 않도록 하는 사이즈를 가진다. According to another aspect of the present invention, there is provided a defect inspection system for inspecting defects of an object having an irregular pattern on a surface or inside thereof, the defect inspection system comprising: a light source; And a screen. Here, a shadow image of the object is formed on the screen by the light output from the light source being transmitted through the object and incident on the screen, and the light source is configured such that light output from the light source passes through an irregular pattern of the object And does not intersect until it is incident on the screen.

본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표면 또는 내부에 불규칙 패턴을 가지는 대상물의 불량을 검사하는 불량 검사 시스템은 광원; 홀이 형성된 기판; 및 스크린을 포함한다. 여기서, 상기 광원으로부터 출력된 광은 상기 기판을 통하여 상기 대상물로 입사되고, 상기 대상물로 입사된 광은 상기 대상물을 투과한 후 상기 스크린으로 입사되어 상기 스크린에 그림자 영상이 형성되며, 상기 홀은 상기 광이 상기 대상물의 일 불규칙 패턴을 통과한 후 상기 스크린에 입사되기까지 교차하지 않도록 하는 사이즈를 가진다. According to still another aspect of the present invention, there is provided a defect inspection system for inspecting defects of an object having an irregular pattern on a surface or inside, the defect inspection system comprising: a light source; A substrate having a hole formed therein; And a screen. Here, the light output from the light source is incident on the object through the substrate, the light incident on the object passes through the object and is incident on the screen to form a shadow image on the screen, And has a size such that light does not cross until it is incident on the screen after passing through one irregular pattern of the object.

본 발명의 일 실시예에 따른 표면 또는 내부에 불규칙 패턴을 가지는 대상물의 불량을 검사하는 불량 검사 방법은 면광을 점광으로 변환하는 단계; 상기 변환된 점광을 상기 대상물로 입사시켜 상기 대상물에 대한 그림자 영상을 획득하는 단계; 및 상기 획득된 그림자 영상을 통하여 상기 대상물의 불량을 판단하는 단계를 포함한다. According to another aspect of the present invention, there is provided a defect inspection method for inspecting defects of an object having an irregular pattern on a surface or inside, Acquiring a shadow image of the object by inputting the converted light into the object; And determining a defect of the object through the obtained shadow image.

본 발명의 다른 실시예에 따른 표면 또는 내부에 불규칙 패턴을 가지는 대상물의 불량을 검사하는 불량 검사 방법은 광이 상기 대상물의 일 불규칙 패턴을 통과한 후 스크린에 입사되기까지 교차하지 않도록, 상기 광을 상기 대상물로 입사시키는 단계; 및 상기 입사된 광에 의해 형성된 상기 대상물의 그림자 영상을 통하여 상기 대상물의 불량을 검사하는 단계를 포함한다. The defect inspection method for inspecting the defect of the object having the irregular pattern on the surface or the inside according to the another embodiment of the present invention is a defect inspecting method for inspecting the defect so that the light does not cross until it is incident on the screen after passing through one irregular pattern of the object Entering the object; And checking a defect of the object through a shadow image of the object formed by the incident light.

본 발명에 따른 불량 검사 시스템은 불규칙한 패턴을 가지는 대상물의 불량을 검사할 수 있는 최적의 시스템을 제공하며, 따라서 불규칙한 패턴을 가지는 대상물, 특히 투명 필름의 너울 불량을 정확하게 검사할 수 있다. The defect inspection system according to the present invention provides an optimum system for inspecting defect of an object having an irregular pattern, and thus it is possible to accurately check defects of an object having an irregular pattern, particularly a transparent film.

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 불량 검사 시스템을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿에 따른 너울 불량을 도시한 도면이다.
도 3은 너울 불량 테스트 결과를 도시한 도면이다.
도 4 및 도 5는 광원 조사에 따른 스크린의 그림자 영상을 도시한 도면들이다.
도 6은 광의 물리적 크기에 따른 그림자 영상을 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 불량 검사 시스템을 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 불량 검사 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 불량 검사 시스템을 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 불량 검사 시스템을 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 제 6 실시예에 따른 불량 검사 시스템을 도시한 도면이다.
도 12는 본 발명의 제 7 실시예에 따른 불량 검사 시스템을 도시한 도면이다. 1 is a view showing a defect inspection system according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view showing a defective swell according to an embodiment of the present invention. FIG.
3 is a view showing a result of the defective wrapping test.
4 and 5 are diagrams showing a shadow image of a screen according to a light source irradiation.
6 is a diagram showing a shadow image according to the physical size of light.
FIG. 7 is a diagram illustrating a defect inspection system according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a schematic view of a defect inspection system according to a third embodiment of the present invention.
9 is a diagram illustrating a defect inspection system according to a fourth embodiment of the present invention.
10 is a diagram illustrating a defect inspection system according to a fifth embodiment of the present invention.
11 is a view showing a defect inspection system according to a sixth embodiment of the present invention.
12 is a diagram showing a defect inspection system according to a seventh embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 자세히 설명하도록 한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 불규칙한 패턴을 가지는 대상물의 불량, 특히 너울 불량을 검사하는 시스템에 관한 것이다. 불규칙 패턴은 대상물의 두께가 불균일함에 의해 생성되는 등 다양한 원인에 의해 형성될 수 있으며, 대상물의 표면 또는 내부에 형성될 수 있다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a system for inspecting defective objects, particularly defective defects, having irregular patterns. The irregular pattern may be formed by various causes such as the thickness of the object being generated by non-uniformity, and may be formed on the surface or inside of the object.

일반적으로 디스플레이용 유리 기판은 두께가 균일하여 너울 패턴이 생성되지 않거나 너울 패턴이 생성되더라도 규칙적인 반면에, 디스플레이용 투명 필름은 불규칙한 패턴, 특히 너울 패턴을 가진다. 따라서, 규칙적인 패턴을 가지는 유리 기판과 불규칙한 패턴을 가지는 투명 필름은 다른 방식으로 불량 검사가 수행되어야 한다. 본 발명은 불규칙한 패턴을 가지는 투명 필름 등과 같은 대상물의 너울 불량을 검사하는 최적의 시스템을 제시한다. 다만, 상기 대상물은 불규칙한 패턴을 가지는 한 투명 필름으로 제한되지는 않는다. 또한, 상기 대상물은 예를 들어 투명 필름 그 자체일 수도 있지만, 소정 막, 예를 들어 ITO막이 형성된 투명 필름일 수도 있다. In general, a glass substrate for a display is regular in thickness even when a woof pattern is not generated or a woof pattern is generated, whereas a transparent film for display has an irregular pattern, especially a woof pattern. Therefore, a glass substrate having a regular pattern and a transparent film having an irregular pattern must be subjected to a defect inspection in a different manner. The present invention suggests an optimal system for inspecting defects in an object such as a transparent film or the like having an irregular pattern. However, the object is not limited to a transparent film as long as it has an irregular pattern. Further, the object may be, for example, a transparent film itself, but it may also be a transparent film on which a predetermined film, for example, an ITO film is formed.

본 발명의 불량 검사 시스템은 특정 공정이 완료된 대상물을 다른 공정으로 이송시키는 과정 동안 상기 대상물의 불량을 검사할 수도 있고, 대상물의 불량 검사를 별도로 수행한 후 불량이 없는 대상물을 해당 공정으로 제공할 수도 있다. 즉, 상기 불량 검사 시스템이 불규칙한 패턴을 가지는 대상물의 불량, 특히 너울 불량을 검사하는 한 불량 검사 단계는 제한이 없다. The defect inspection system of the present invention may check the defect of the object during the process of transferring the object to which the specific process has been completed to another process or may perform the defect inspection of the object separately and then provide the defect free object to the process have. That is, there is no limit to the defect inspection step as long as the defect inspection system inspects the defect of the object having the irregular pattern, in particular, the defect of the defect.

본 발명의 불량 검사 시스템은 후술하는 바와 같이 너울 불량을 정확하게 검사할 수 있도록 스크린에 형성되는 본 그림자 영상에 대한 역 그림자 영상이 생성되지 않도록 광원 또는 광 변환부의 홀의 사이즈를 조절하는 방법을 제안한다. The defect inspection system of the present invention proposes a method of adjusting the size of a hole of a light source or a light conversion unit so that an inverse shadow image of the shadow image formed on the screen is not generated so that defect defects can be accurately detected as described later.

이하, 본 발명의 불규칙 패턴을 가지는 대상물의 불량 검사 방법에 관한 다양한 실시예들을 첨부된 도면들을 참조하여 상술하겠다. 다만, 설명의 편의를 위하여 특정 공정이 완료된 후 다음 공정으로 대상물이 이송하는 과정에서 상기 대상물의 불량 검사가 수행되는 것으로 가정한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Various embodiments relating to a defect inspection method of an object having an irregular pattern according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. However, for convenience of explanation, it is assumed that the defect inspection of the object is performed during the process of transferring the object to the next process after completion of the specific process.

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 불량 검사 시스템을 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿에 따른 너울 불량을 도시한 도면이다. 도 3은 너울 불량 테스트 결과를 도시한 도면이다. FIG. 1 is a view showing a defect inspection system according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view showing defects according to a slit according to an embodiment of the present invention. 3 is a view showing a result of the defective wrapping test.

도 1의 (A)를 참조하면, 본 실시예의 불량 검사 시스템은 불규칙한 패턴을 가지는 투명 필름 등의 대상물(100)을 검사하는 시스템으로서, 광원(102), 광 변환부(104), 스크린(106), 영상 획득부(108) 및 불량 검사부(110)를 포함할 수 있다. 1 (A), the defect inspection system of the present embodiment is a system for inspecting an object 100 such as a transparent film having an irregular pattern, and includes a light source 102, a light conversion unit 104, a screen 106 An image acquisition unit 108, and a defect inspection unit 110. [

광원(102)은 특정 파장 범위의 광을 출력하는 소스로서, 예를 들어 가시광선을 출력할 수 있다. 일 실시예에 따르면, 광원(102)은 LED들을 이용하여 가시광 영역의 면광을 발생시킬 수 있다. 즉, 광원(102)은 면광원일 수 있다. The light source 102 is a source for outputting light in a specific wavelength range, and can output visible light, for example. According to one embodiment, the light source 102 may generate light in the visible region using LEDs. That is, the light source 102 may be a surface light source.

광원(102)은 도 1의 (A)에 도시된 바와 같이 대상물(100)의 하부에서 대상물(100)로 특정 입사 각도를 가지고 광을 입사시킬 수 있다. The light source 102 can cause light to be incident on the object 100 at a specific angle of incidence from the lower part of the object 100 as shown in FIG.

광 변환부(104)는 광원(102)으로부터 출력된 면광을 점광으로 변환하는 역할을 수행할 수 있다. 일 실시예에 따르면, 광 변환부(104)는 도 1의 (B)에 도시된 바와 같이 홀(120)이 형성된 기판(104)일 수 있으며, 홀(120)은 면광을 점광으로 변환시키면서 광을 균일하게 투과시킬 수 있는 원형 형상을 가질 수 있다. 물론, 홀(120)은 다른 형상을 가질 수 있되 가로 방향과 세로 방향의 비율이 실질적으로 동일하거나 유사할 수 있다. The light converting unit 104 may perform a function of converting the surface light output from the light source 102 into a point light. According to one embodiment, the light-converting unit 104 may be a substrate 104 having a hole 120 formed therein as shown in FIG. 1 (B), and the hole 120 may be a light- It is possible to have a circular shape capable of uniformly transmitting the light. Of course, the holes 120 may have different shapes, but the ratios of the lateral direction and the longitudinal direction may be substantially the same or similar.

바람직하게는, 홀(120)은 후술하는 바와 같이 스크린(106)에 역 그림자 영상이 형성되지 않도록 하는 사이즈를 가질 수 있다. 물론, 홀(120)의 사이즈는 광원(102) 또는 광 변환부(104)와 대상물(100) 사이의 거리, 대상물(100)과 스크린(106) 사이의 거리, 대상물(100)로의 광 입사각 등을 고려하여 스크린(106)에 역 그림자 영상이 형성되지 않는 사이즈로 구현될 수 있다. Preferably, the hole 120 may have a size such that an inverse shadow image is not formed on the screen 106 as described below. Of course, the size of the hole 120 may vary depending on the distance between the light source 102 or the light conversion unit 104 and the object 100, the distance between the object 100 and the screen 106, The size of the screen 106 can be reduced.

스크린(106)은 대상물(100)을 투과한 광이 투영되는 부분으로서, 도 1의 (A)에 도시된 바와 같이 대상물(100)의 상부에 위치할 수 있다. 구체적으로는, 광원(102)으로부터 출력되어 광 변환부(104)를 통과한 광은 대상물(100)을 투과하여 스크린(106)으로 입사된다. 결과적으로, 대상물(100)의 그림자 영상이 스크린(106)에 형성되며, 그림자 영상은 대상물(100)의 불량 정보를 포함하고 있다. 한편, 광원(102) 및 광 변환부(104)가 대상물(100)의 상부에 위치하고, 스크린(106)이 대상물(100)의 하부에 위치할 수도 있다. The screen 106 is a portion on which the light transmitted through the object 100 is projected, and may be located above the object 100 as shown in Fig. 1 (A). Specifically, the light output from the light source 102 and passing through the light conversion unit 104 is transmitted through the object 100 and is incident on the screen 106. [ As a result, a shadow image of the object 100 is formed on the screen 106, and the shadow image includes the defect information of the object 100. The light source 102 and the light conversion unit 104 may be positioned on the upper side of the object 100 and the screen 106 may be positioned on the lower side of the object 100.

영상 획득부(108)는 스크린(106)에 형성된 그림자 영상을 획득하며, 획득된 그림자 영상을 불량 검사부(110)로 전송한다. 영상 획득부(108)와 불량 검사부(110)는 무선으로 연결될 수도 있고 유선으로 연결될 수도 있다. The image obtaining unit 108 obtains a shadow image formed on the screen 106, and transmits the obtained shadow image to the defect checking unit 110. The image acquisition unit 108 and the defect inspection unit 110 may be connected wirelessly or wired.

영상 획득부(108)는 CCD 카메라일 수 있으며, 스크린(106)에 형성된 그림자 영상을 촬상하도록 스크린(106) 방향으로 기울어져 배열될 수 있다. The image acquiring unit 108 may be a CCD camera and may be arranged to be inclined toward the screen 106 to capture a shadow image formed on the screen 106. [

불량 검사부(110)는 영상 획득부(108)로부터 전송된 그림자 영상을 분석하여 대상물(100)에 불량, 특히 너울 불량이 발생하였는 지의 여부를 검사한다. 예를 들어, 불량 검사부(110)는 불량이 없는 기준 영상과 그림자 영상을 특정 알고리즘을 이용하여 비교하여 대상물(100)의 불량 여부를 판단할 수 있다. The defect inspection unit 110 analyzes the shadow image transmitted from the image acquisition unit 108 to check whether or not a defective defect, particularly a defective defect, has occurred in the object 100. For example, the defect inspection unit 110 can determine whether the object 100 is defective by comparing a reference image and a shadow image, which are free from defects, using a specific algorithm.

도 3에는 투명 필름의 다양한 그림자 영상들이 표시되어 있다. 도 3의 12) 영상을 보면 다른 영상들과 달리 너울의 패턴이 다름을 확인할 수 있으며, 불량 검사부(110)는 기준 영상과 그림자 영상을 비교하여 너울 불량을 판단할 수도 있고, 기준 영상 없이 특정 알고리즘만을 이용하여 그림자 영상을 분석하여 너울 불량을 판단할 수도 있다. 3, various shadow images of the transparent film are displayed. 3, it can be seen that the pattern of the swell is different from that of the other images. The defect inspection unit 110 can determine the defective swell by comparing the reference image and the shadow image, It is possible to judge the defective swell by analyzing the shadow image.

다만, 이러한 너울의 불량은 광 변환부(104)의 구조에 따라 정확히 검사될 수도 있고 검사되지 않을 수도 있다. 이하, 너울 불량을 정확히 검사하기 위한 광 변환부(104)의 최적 구조를 도 2를 참조하여 살펴보겠다. However, such defects of the woof may or may not be inspected accurately depending on the structure of the light conversion unit 104. [ Hereinafter, an optimum structure of the light conversion unit 104 for accurately inspecting a defective swarf will be described with reference to FIG.

도 2의 (A)에 도시된 바와 같이 광 변환부 없이 면광을 대상물(100)로 직접 조사하면, 대상물(100)의 너울이 전혀 검출되지 않는다. 따라서, 불량 검사부(110)는 대상물(100)의 너울 불량을 판별할 수가 없다. As shown in FIG. 2A, if the surface light is directly irradiated to the object 100 without the light conversion portion, the waving of the object 100 is not detected at all. Therefore, the defect inspection unit 110 can not determine the defect of the object 100 to be defective.

도 2의 (B)에 도시된 바와 같이 광원(102)으로부터 출력된 광이 가로형 슬릿을 통과하여 대상물(100)로 입사되면, 대상물(100)의 너울 중 가로 패턴만이 검출된다. 결과적으로, 불량 검사부(110)는 대상물(100)의 너울 불량을 판별할 수가 없다. As shown in FIG. 2B, when the light output from the light source 102 is incident on the object 100 through the horizontal slit, only the horizontal pattern in the swell of the object 100 is detected. As a result, the defect inspection section 110 can not discriminate the defect of the object 100 from the defects.

도 2의 (C)에 도시된 바와 같이 광원(102)으로부터 출력된 광이 세로형 슬릿을 통과하여 대상물(100)로 입사되면, 대상물(100)의 너울 중 세로 패턴만이 검출된다. 결과적으로, 불량 검사부(110)는 대상물(100)의 너울 불량을 판별할 수가 없다. As shown in FIG. 2C, when the light output from the light source 102 passes through the vertical slit and enters the object 100, only a vertical pattern in the wing of the object 100 is detected. As a result, the defect inspection section 110 can not discriminate the defect of the object 100 from the defects.

도 2의 (D)에 도시된 바와 같이 광원(102)으로부터 출력된 광이 광 변환부(104)의 홀(120)을 통과하여 대상물(100)로 입사되면, 대상물(100)의 너울이 정확하게 검출될 수 있다. 따라서, 불량 검사부(110)는 대상물(100)의 너울 불량을 정확하게 판단할 수 있다. 2 (D), when the light output from the light source 102 is incident on the object 100 through the hole 120 of the light conversion unit 104, the waviness of the object 100 is accurately Can be detected. Accordingly, the defect inspection unit 110 can accurately determine the defect of the object 100 to be defective.

즉, 대상물(100)의 너울 불량을 검출하기 위해서는 광원(102)으로부터 출력된 면광을 점광으로 변환할 수 있는 광 변환부(104)가 필요하다. 또한, 광 변환부(104)의 홀은 다양한 형상을 가질 수 있지만 가로 비율과 세로 비율의 차이가 크지 않아야 한다. 즉, 광 변환부(104)는 광을 골고루 출력시켜야만 한다. That is, in order to detect the defect of the object 100, it is necessary to provide the light conversion section 104 capable of converting the surface light output from the light source 102 into the light. Further, the holes of the light converting unit 104 may have various shapes, but the difference between the horizontal ratio and the vertical ratio should not be large. That is, the light converting unit 104 must output light evenly.

정리하면, 본 발명의 불량 검사 시스템은 불규칙한 패턴을 가지는 투명 필름 등과 같은 대상물(100)의 너울 불량을 정확하게 검사하기 위해서 광원(102)으로부터 출력된 면광을 점광으로 변환시키는 광 변환부(104)를 사용한다. 여기서, 광원(102)으로부터 출력된 광은 가시광선일 수 있다. In summary, the defect inspection system of the present invention includes a light conversion unit 104 that converts the surface light output from the light source 102 to the light to accurately check defects of the object 100, such as a transparent film having an irregular pattern use. Here, the light output from the light source 102 may be a visible light ray.

위에서 언급하지는 않았지만, 대상물(100)의 이송은 롤러를 이용하여 수행될 수 있다. 즉, 대상물(100)이 롤러 위에 위치한 상태로 이송되는 동안 광원(102)으로부터 출력된 광이 대상물(100)을 투과하여 스크린(106)에 입사될 수 있다. 전체적으로 보면, 복수의 대상물들(100)이 롤러 위에서 순차적으로 이송되며, 이송 과정에서 대상물들(100)로 광원(102)으로부터 출력된 광이 입사된다. 물론, 대상물(100)을 공정들 사이로 이송시킴 없이 별도의 공정으로서 불량 검사를 수행할 수도 있다. 이 경우, 대상물(100)은 이송되지 않고 특정 부재 위에 고정된 상태에서 광원(102)으로부터 출력된 광이 대상물(100)로 입사될 수 있다. Although not mentioned above, the transfer of the object 100 may be performed using a roller. That is, the light output from the light source 102 can be transmitted through the object 100 and incident on the screen 106 while the object 100 is being conveyed while being positioned on the rollers. As a whole, a plurality of objects 100 are sequentially transferred on the rollers, and the light output from the light source 102 is incident on the objects 100 in the course of the transfer. Of course, the defect inspection may be performed as a separate process without transferring the object 100 between the processes. In this case, the light output from the light source 102 can be incident on the object 100 in a state where the object 100 is not transported and fixed on the specific member.

이하, 면광원을 점광원으로 변환하여야만 불규칙한 패턴을 가지는 대상물(100)의 너울 불량 검사가 가능한 이유를 첨부된 도면들을 참조하여 살펴보겠다. Hereinafter, the reason why the defect inspection of the object 100 having an irregular pattern can be performed only when the surface light source is converted into a point light source will be described with reference to the accompanying drawings.

도 4 및 도 5는 광원 조사에 따른 스크린의 그림자 영상을 도시한 도면들이고, 도 6은 광의 물리적 크기에 따른 그림자 영상을 도시한 도면이다. FIGS. 4 and 5 are diagrams showing a shadow image of a screen according to a light source irradiation, and FIG. 6 is a diagram showing a shadow image according to the physical size of light.

도 4를 참조하면, 광원(102)으로부터 출력된 광 또는 광 변환부(104)의 홀(120)을 통하여 출력된 광이 대상물(100)의 불규칙 패턴들, 예를 들어 너울 패턴들 중 일 패턴, 바람직하게는 가장 작은 사이즈의 불규칙 패턴(400)을 투과하면, 스크린(106)에는 그림자 영상이 생성되되, 상기 그림자 영상은 본 그림자 영상과 주변 그림자 영상을 포함한다. 본 그림자 영상은 도 4에서 길이 B에 해당하는 영상이고, 주변 그림자 영상은 길이 G에 해당하는 영상이다. 4, the light output from the light source 102 or the light output through the hole 120 of the light converting unit 104 may be used as irregular patterns of the object 100, for example, A shadow image is generated on the screen 106 when the irregular pattern 400 having the smallest size is transmitted through the screen 106. The shadow image includes the shadow image and the surrounding shadow image. The shadow image is the image corresponding to the length B in FIG. 4, and the surrounding shadow image is the image corresponding to the length G. FIG.

본 그림자 영상의 양 측면들로 주변 그림자 영상들이 형성된다. 이러한 본 그림자 영상과 주변 그림자 영상의 비율은 대상물(100)의 너울 불량을 판단하는 데 중요한 역할을 수행할 수 있다. 본 그림자 영상은 광원(102)으로부터 출력된 광 또는 광 변환부(104)를 통하여 출력된 광 중 불규칙 패턴(400)을 통과한 후 스크린(106)으로 입사되기까지 교차하지 않는 광들이 불규칙 패턴(400)을 투과하여 스크린(106)에 형성되는 그림자 영상을 의미한다. 주변 그림자 영상은 불규칙 패턴(400)을 통과한 후 스크린(106)으로 입사되는 과정에서 교차하는 광들에 의해 스크린(106)에 형성된 그림자 영상에서 본 그림자 영상을 제외한 그림자 영상을 의미하며, 즉 그림자 영상 중 본 그림자 영상을 제외한 부분이다. The surrounding shadow images are formed on both sides of the shadow image. The ratio of the shadow image and the surrounding shadow image can play an important role in determining the defect of the object 100. The shadow image is obtained by dividing the light output from the light source 102 or the light output from the light conversion unit 104 through the irregular pattern 400 and then passing through the irregular pattern 400 through the screen 106 to form a shadow image. The surrounding shadow image refers to a shadow image except for the shadow image that is seen from the shadow image formed on the screen 106 by the crossing lights in the process of passing through the irregular pattern 400 and entering the screen 106. That is, This is the part excluding the shadow image.

본 발명의 불량 검사 시스템은 너울 불량을 검사하여야 하므로, 불규칙 패턴들(너울 패턴들)이 정확하게 스크린(106)에 반영이 되어야 한다. 따라서, 상기 불량 검사 시스템은 너울 패턴들 중 가장 작은 너울 패턴(400)을 기준으로 하여 광원(102) 또는 광 변환부(104)의 홀(120)의 사이즈를 결정할 수 있다. 이에 대한 자세한 설명은 후술한다. Since the defective inspection system of the present invention must inspect defective defects, irregular patterns (deflection patterns) must be accurately reflected on the screen 106. Therefore, the defect inspection system can determine the size of the hole 120 of the light source 102 or the light conversion unit 104 based on the smallest waveness pattern 400 among the waveness patterns. A detailed description thereof will be described later.

면광과 점광에 따른 너울 불량을 검사하기 위하여 도 4에 도시된 바와 같이 각 구성요소들을 정의하였다. Each component was defined as shown in FIG. 4 in order to check defects due to light and light.

광원(102) 또는 광 변환부(104)의 홀(120)의 길이의 1/2을 X로 정의하고, 너울 패턴(400)의 길이의 1/2을 A로 정의하였으며, 본 그림자 영상의 길이의 1/2을 B로 정의하고, 주변 그림자 영상의 길이의 1/2을 G로 정의하였다. 또한, 광원(102) 또는 광 변환부(104)와 대상물(100) 사이의 거리를 D로 정의하였고, 대상물(100)과 스크린(106) 사이의 거리를 E로 정의하였다. A half of the length of the hole 120 of the light source 102 or the light conversion unit 104 is defined as X and a half of the length of the waveness pattern 400 is defined as A. The length of the shadow image Is defined as B, and 1/2 of the length of the surrounding shadow image is defined as G. [ The distance between the light source 102 or the light conversion unit 104 and the object 100 is defined as D and the distance between the object 100 and the screen 106 is defined as E.

이러한 불량 검사 시스템에서 본 그림자 영상의 길이의 1/2(B)와 주변 그림자 영상의 길이의 1/2(G)은 아래의 수학식 1 및 수학식 2에 따라 결정될 수 있다. A half (B) of the length of the shadow image and a half (G) of the length of the surrounding shadow image seen in the defect inspection system can be determined according to Equation 1 and Equation 2 below.

Figure 112013047128415-pat00001
Figure 112013047128415-pat00001

Figure 112013047128415-pat00002
Figure 112013047128415-pat00002

Figure 112013047128415-pat00003
Figure 112013047128415-pat00003

수학식 2를 참조하면, 본 그림자 영상 및 주변 그림자 영상은 광원(102) 또는 광 변환부(104)의 홀(120)의 길이에 따라 가변됨을 확인할 수 있다. 구체적으로는, 광의 사이즈가 커지면, 주변 그림자 영상(G)이 커지고 본 그림자 영상(B)은 작아지게 된다. Referring to Equation (2), it can be seen that the shadow image and the surrounding shadow image are variable according to the length of the hole 120 of the light source 102 or the light conversion unit 104. Specifically, as the size of the light increases, the surrounding shadow image G becomes larger and the shadow image B becomes smaller.

면광 또는 선광을 너울 패턴(400)에 조사하면, 도 6의 (A)에 도시된 바와 같이 주변 그림자 영상의 길이(G)는 커지는 반면에 본 그림자 영상의 길이(B)는 작아진다. 이 경우, 너울 패턴(400)의 경계가 불분명해지면서 명확한 그림자 영상이 획득되지 않는다.As shown in FIG. 6A, the length G of the surrounding shadow image becomes large while the length B of the shadow image becomes small as a result of irradiating the surface pattern 400 with light or optic light. In this case, the boundary of the waveness pattern 400 becomes unclear, so that a clear shadow image is not obtained.

반면에, 점광을 너울 패턴(100)에 조사하면, 도 6의 (B)에 도시된 바와 같이 주변 그림자 영상의 길이(G)는 작아지는 반면에 본 그림자 영상의 길이(B)는 상대적으로 커진다. 이 경우, 대상물(100)의 너울이 경계가 분명해져서 명확한 그림자 영상을 획득할 수 있다. On the other hand, when the glow is irradiated on the woof pattern 100, the length G of the surrounding shadow image is reduced, while the length B of the shadow image is relatively large, as shown in FIG. 6B . In this case, a clear shadow image can be obtained because the boundary of the object 100 is clear.

따라서, 본 발명은 점광을 이용하되, 비용 및 광원의 특성을 고려하여 광원(102)이 방출한 면광을 광 변환부(102)를 통하여 점광으로 변환한다. 따라서, 대상물(100)의 너울 불량이 정확하게 검출될 수 있다. Accordingly, the present invention utilizes the glowing light, and converts the surface light emitted by the light source 102 into the glowing light through the light converting unit 102 in consideration of the cost and characteristics of the light source. Therefore, defective swell of the object 100 can be accurately detected.

한편, 너울 패턴(400)으로 점광을 입사시키는 경우, 도 5에 도시된 바와 같이 본 그림자 영상뿐만 아니라 역 그림자 영상이 겹쳐져서 본 그림자 영상이 스크린(106)에 선명하게 형성되지 않을 수 있다. 따라서, 본 발명은 광원(102)의 사이즈 또는 광 변환부(104)의 홀(120)의 사이즈를 스크린(106)에 역 그림자 영상이 생기지 않는 크기로 설정하여 선명한 본 그림자 영상을 획득하는 방법을 제안한다. On the other hand, when the light beam is incident on the waveness pattern 400, as shown in FIG. 5, not only the shadow image but also the inversed shadow image may be overlapped and the shadow image may not be clearly formed on the screen 106. Accordingly, the present invention provides a method of acquiring a sharp shadow image by setting the size of the light source 102 or the size of the hole 120 of the light conversion unit 104 to a size that does not cause an inverse shadow image on the screen 106 I suggest.

수학식 2를 변형하면 아래와 같은 수학식 3을 얻을 수 있다. By transforming Equation (2), Equation (3) below can be obtained.

Figure 112013047128415-pat00004
Figure 112013047128415-pat00004

위 수학식 3에서 확인할 수 있는 바와 같이 A 및 X의 크기에 따라 역 그림자 영상이 생성될 수도 있고 아닐 수도 있다. As shown in Equation (3), an inverse shadow image may or may not be generated depending on the sizes of A and X.

실험 데이터는 아래의 표 1 및 2와 같다. 표 1의 실험은 A를 0.1㎜, D를 400㎜, E를 120㎜로 설정하였고, 표 2의 실험은 A를 0.2㎜, D를 400㎜, E를 120㎜로 설정하였다. The experimental data are shown in Tables 1 and 2 below. In Table 1, A was set to 0.1 mm, D was set to 400 mm, and E was set to 120 mm. In Table 2, A was set to 0.2 mm, D was set to 400 mm, and E was set to 120 mm.

Figure 112013047128415-pat00005
Figure 112013047128415-pat00005

Figure 112013047128415-pat00006
Figure 112013047128415-pat00006

위 표 1 및 표 2에서 보여지는 바와 같이, 홀(120)의 크기가 커짐에 따라 특정 지점부터 본 그림자 영상의 역 그림자 영상이 발생할 수 있다. 따라서, 본 발명은 정확한 너울 불량을 검사하기 위하여 역 그림자 영상이 생기지 않는 사이즈로 광원(102) 또는 홀(120)의 사이즈를 설정한다. 상기 역 그림자 영상이 생성되는 조건은 B<0이 되는 지점을 의미한다. As shown in Table 1 and Table 2, as the size of the hole 120 increases, an inverted shadow image of a shadow image seen from a specific point can be generated. Accordingly, the present invention sets the size of the light source 102 or the hole 120 to a size that does not generate an inverse shadow image in order to inspect an exact defective defect. The condition that the inverse shadow image is generated means a point where B < 0.

표 1에서는 광원(102) 또는 홀(120)의 사이즈는 0.8㎜ 이하이면 정확한 너울 불량을 검사할 수 있고, 표 2에서는 광원(102) 또는 홀(120)의 사이즈가 1.6㎜ 이하이면 정확한 너울 불량을 검사할 수 있다. 따라서, A, D, E의 길이가 가변되더라도 상기 길이에 맞춰서 역 그림자 영상이 발생하지 않도록 광원(102) 또는 홀(120)의 사이즈를 결정하면 대상물(100)의 너울 불량을 정확하게 검사할 수 있다. In Table 1, if the size of the light source 102 or the hole 120 is 0.8 mm or less, it is possible to inspect an exact defective defect. In Table 2, if the size of the light source 102 or the hole 120 is 1.6 mm or less, Can be inspected. Therefore, even if the lengths of A, D, and E are variable, if the size of the light source 102 or the hole 120 is determined so that an inverse shadow image does not occur in accordance with the length, the defect defect of the object 100 can be accurately inspected .

결과적으로, 본 발명은 역 그림자 영상이 생기지 않도록 설정하는 한 광 변환부(104)를 이용하여 면광을 점광으로 변환시킬 수도 있고, 광 변환부(104) 없이 광원(102)으로부터 출력된 광을 대상물(100)로 직접 입사시킬 수도 있다. As a result, according to the present invention, it is possible to convert the surface light into the glow by using the light conversion unit 104, which sets the inverse shadow image to not occur, and the light output from the light source 102, (100).

도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 불량 검사 시스템을 도시한 도면이다. FIG. 7 is a diagram illustrating a defect inspection system according to a second embodiment of the present invention.

도 7의 (A)를 참조하면, 본 실시예의 불량 검사 시스템은 광원(702), 슬릿 부재들(704 및 706), 스크린(708), 영상 획득부(710) 및 불량 검사부(712)를 포함한다. 7A, the defect inspection system of this embodiment includes a light source 702, slit members 704 and 706, a screen 708, an image acquisition unit 710, and a defect inspection unit 712 do.

슬릿 부재들(704 및 706)을 제외한 나머지 구성요소들은 제 1 실시예에서와 동일하므로, 이하 동일한 구성요소들에 대한 설명은 생략한다. The remaining components except for the slit members 704 and 706 are the same as in the first embodiment, and description of the same components will be omitted below.

슬릿 부재들(704 및 706)은 상하로 배열되며, 광원(702)으로부터 출력된 면광은 슬릿 부재들(704 및 706)을 통하여 점광으로 변환된다. The slit members 704 and 706 are vertically arranged, and the surface light output from the light source 702 is converted into a stray light through the slit members 704 and 706.

일 실시예에 따르면, 제 1 슬릿 부재(704)는 도 7의 (B)에 도시된 바와 같이 가로형 슬릿(720)이 형성된 기판일 수 있고, 제 2 슬릿 부재(706)는 세로형 슬릿(722)이 형성된 기판일 수도 있다. According to one embodiment, the first slit member 704 may be a substrate having a horizontal slit 720 formed therein as shown in FIG. 7B, and the second slit member 706 may be a vertical slit 722 ) May be formed.

다른 실시예에 따르면, 제 1 슬릿 부재(704)는 세로형 슬릿이 형성된 기판일 수 있고, 제 2 슬릿 부재(706)는 가로형 슬릿이 형성된 기판일 수 있다. According to another embodiment, the first slit member 704 may be a substrate having a vertical slit, and the second slit member 706 may be a substrate having a horizontal slit.

즉, 슬릿 부재들(704 및 706)이 상하로 배열되면, 슬릿 부재들(704 및 706)의 홀들이 겹쳐서 형성되는 영역(홀)은 제 1 실시예의 홀(120)과 유사해질 수 있다. 결과적으로, 슬릿 부재들(704 및 706)은 광 변환부로서 기능할 수 있다. That is, when the slit members 704 and 706 are arranged vertically, the area (hole) where the holes of the slit members 704 and 706 are formed to overlap can be similar to the hole 120 of the first embodiment. As a result, the slit members 704 and 706 can function as a light conversion portion.

도 8은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 불량 검사 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다. FIG. 8 is a schematic view of a defect inspection system according to a third embodiment of the present invention.

도 8을 참조하면, 본 실시예의 불량 검사 시스템은 광원들(802 및 812), 슬릿 부재들(804 및 814), 스크린들(806 및 816), 영상 획득부들 및 불량 검사부를 포함할 수 있다. 8, the defect inspection system of the present embodiment may include light sources 802 and 812, slit members 804 and 814, screens 806 and 816, image acquiring units, and a defect inspection unit.

제 1 실시예 및 제 2 실시예에서와 달리, 본 실시예의 불량 검사 시스템은 가로형 슬릿이 형성된 슬릿 부재(804)를 이용하여 대상물(800)의 가로 특성을 검출하고, 세로형 슬릿이 형성된 슬릿 부재(814)를 이용하여 대상물(800)의 세로 특성을 검출할 수 있다. 상기 불량 검사부는 상기 검출된 가로 특성과 상기 검출된 세로 특성을 조합시켜 대상물(800)의 전체 너울 불량을 검사할 수 있다. Unlike the first and second embodiments, the defect inspection system of the present embodiment detects the lateral characteristics of the object 800 using the slit member 804 having the horizontal slit, The vertical property of the object 800 can be detected using the vertical object 814. [ The defect inspection unit may check the entire defect of the object 800 by combining the detected lateral property and the detected longitudinal property.

본 실시예의 불량 검사 시스템은 전체적인 대상물(800)의 불량을 검출할 수 있으면서도 가로 특성 또는 세로 특성을 검출할 필요가 있을 경우에 상당히 유용하게 사용될 수 있다. The defect inspection system of this embodiment can be used to a great extent when it is necessary to detect the defects of the entire object 800 and also to detect the transverse or longitudinal characteristics.

도 9는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 불량 검사 시스템을 도시한 도면이다. 9 is a diagram illustrating a defect inspection system according to a fourth embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 본 실시예의 불량 검사 시스템은 광원(902), 광 변환부(904), 반사부(906), 스크린(908), 영상 획득부(910) 및 불량 검사부(912)를 포함한다. 9, the defect inspection system of this embodiment includes a light source 902, a light conversion unit 904, a reflection unit 906, a screen 908, an image acquisition unit 910, and a defect inspection unit 912 do.

반사부(906)를 제외한 나머지 구성요소들은 제 1 실시예에서와 유사하므로, 이하 동일한 구성요소들에 대한 자세한 설명은 생략한다.The remaining components except for the reflector 906 are similar to those in the first embodiment, so that detailed description of the same components will be omitted herein.

반사부(906)는 광 변환부(904)의 상부에 위치하며, 광 변환부(904)를 통하여 광원(902)으로부터 출력된 광을 반사시켜 대상물(900)로 입사시킨다. 이러한 반사부(906)를 사용하면 대상물(900)로 입사되는 광의 입사각을 다양하게 변형시킬 수 있다. 따라서, 다른 특성을 가지는 대상물(900)을 불량 검사 시스템을 그대로 이용하여 검사할 때에도, 반사부(906)의 각도만을 조절하여 대상물(900)의 불량을 검사할 수도 있다. 또한, 불량 검사 동안 일부 구성요소의 배열이 원하지 않게 가변될 지라도 반사부(906)만을 조절하여 대상물(900)의 불량 검사를 계속적으로 수행할 수도 있다. 즉, 반사부(906)를 이용하면 불량 검사 시스템을 다양하게 활용할 수 있다. The reflection unit 906 is located on the upper side of the light conversion unit 904 and reflects the light output from the light source 902 through the light conversion unit 904 to be incident on the object 900. The use of such a reflective portion 906 can vary the angle of incidence of the light incident on the object 900 in various ways. Therefore, when inspecting the object 900 having other characteristics by using the defect inspection system as it is, defectiveness of the object 900 can be checked by adjusting only the angle of the reflection portion 906. [ In addition, even if the arrangement of some components is undesirably changed during the defect inspection, defect inspection of the object 900 may be continuously performed by adjusting only the reflection portion 906. [ That is, by using the reflector 906, various defect inspection systems can be utilized.

도 10은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 불량 검사 시스템을 도시한 도면이다. 10 is a diagram illustrating a defect inspection system according to a fifth embodiment of the present invention.

도 10을 참조하면, 본 실시예의 불량 검사 시스템은 광원(1002), 반사부(1004), 광 변환부(1006), 스크린(1008), 영상 획득부(1010) 및 불량 검사부(1012)를 포함한다. 10, the defect inspection system of the present embodiment includes a light source 1002, a reflection unit 1004, a light conversion unit 1006, a screen 1008, an image acquisition unit 1010 and a defect inspection unit 1012 do.

반사부(1004) 및 광 변환부(1006)를 제외한 나머지 구성요소들은 제 4 실시예에서와 동일하므로, 이하 동일한 구성요소들에 대한 자세한 설명은 생략한다.The remaining components except for the reflection part 1004 and the light conversion part 1006 are the same as those in the fourth embodiment, and therefore detailed description of the same components will be omitted.

제 4 실시예에서와 달리, 광 변환부(1006)가 반사부(1004)의 상부에 위치하며, 반사부(1004)에 의해 반사된 광이 광 변환부(1006)를 통하여 대상물(1000)로 입사된다. Unlike in the fourth embodiment, the light conversion unit 1006 is located above the reflection unit 1004, and the light reflected by the reflection unit 1004 is transmitted through the light conversion unit 1006 to the object 1000 .

도 11은 본 발명의 제 6 실시예에 따른 불량 검사 시스템을 도시한 도면이다. 11 is a view showing a defect inspection system according to a sixth embodiment of the present invention.

도 11을 참조하면, 본 실시예의 불량 검사 시스템은 광원(1102), 광 변환부(1104), 스크린(1106), 영상 획득부(1108), 불량 검사부(1110), 광량 감지부(1112) 및 제어부(1114)를 포함한다.11, the defect inspection system of the present embodiment includes a light source 1102, a light conversion unit 1104, a screen 1106, an image acquisition unit 1108, a defect inspection unit 1110, a light amount detection unit 1112, And a control unit 1114.

광량 감지부(1112) 및 제어부(1114)를 제외한 나머지 구성요소들은 제 1 실시예에서와 동일하므로, 이하 동일한 구성요소들에 대한 자세한 설명은 생략한다. The remaining components except for the light amount sensing unit 1112 and the control unit 1114 are the same as those in the first embodiment, and therefore detailed description of the same components will be omitted.

광량 감지부(1112)는 광원(1102)으로부터 출력되는 광의 세기를 감지하는 역항을 수행한다. 일 실시예에 따르면, 광 변환부(1104)의 일부에 홀이 형성되고, 상기 형성된 홀에 광 케이블이 연결되며, 광량 감지부(1112)는 광 케이블을 통하여 전달되는 광의 세기를 감지할 수 있다. The light amount sensing unit 1112 performs an inverse operation to sense the intensity of light output from the light source 1102. According to one embodiment, a hole is formed in a part of the light converting part 1104, an optical cable is connected to the hole, and the light amount sensing part 1112 can sense the intensity of light transmitted through the optical cable .

제어부(1114)는 광량 감지부(1112)에 의해 감지된 광의 세기에 따라 광원(1102)으로부터 출력되는 광의 세기를 조절하거나 영상 획득부(1108)의 감도를 조절할 수도 있다. 대상물(1100)의 불량 검사시 대상물(1100) 주변의 밝기가 달라지거나 광원(1102)이 일정한 세기로 출력되길 원하나 광원(1102)으로부터 출력되는 광의 세기가 달라져서 스크린(1106)에 형성되는 그림자 영상의 선명도가 달라질 수도 있다. 결과적으로, 대상물(1100)의 너울 불량이 정확히 검사되지 않을 수 있다. The control unit 1114 may adjust the intensity of the light output from the light source 1102 or adjust the sensitivity of the image acquisition unit 1108 according to the intensity of the light sensed by the light amount sensing unit 1112. [ The intensity of the light output from the light source 1102 may be different from the intensity of the light emitted from the light source 1102 due to the brightness of the periphery of the object 1100 or the light source 1102, The sharpness of the image may vary. As a result, the defect of the object 1100 may not be correctly inspected.

따라서, 본 발명의 불량 검출 시스템은 광량 감지부(1112)를 이용하여 광원(1102)으로부터 출력된 광의 세기를 감지하고, 광량 감지부(1112)의 감지 결과에 따라 광원(1102)으로부터 출력되는 광의 세기를 조절하여 스크린(1106)에 형성되는 그림자 영상의 광원(1102)의 광량 변화에 대한 의존도를 감소시킬 수 있다. 또는, 광량 감지부(1112)의 감지결과에 따라 그림자 영상을 촬영하는 영상 획득부(1108)의 감도를 제어하여 광원(1102)의 밝기 변화에 대한 의존도를 감소시킬 수 있다.Therefore, the defect detection system of the present invention detects the intensity of light output from the light source 1102 using the light amount sensing unit 1112, and detects the intensity of the light output from the light source 1102 according to the detection result of the light amount sensing unit 1112 The intensity of the light source 1102 of the shadow image formed on the screen 1106 can be reduced by adjusting the intensity. Alternatively, depending on the detection result of the light amount sensing unit 1112, the sensitivity of the image sensing unit 1108 that captures the shadow image may be controlled to reduce the dependence on the brightness change of the light source 1102.

도 11에 도시하지는 않았지만, 제어부는 광원(1102)에 무선 또는 유선으로 연결될 수 있다. Although not shown in FIG. 11, the control unit may be connected to the light source 1102 wirelessly or by wire.

도 12는 본 발명의 제 7 실시예에 따른 불량 검사 시스템을 도시한 도면이다. 12 is a diagram showing a defect inspection system according to a seventh embodiment of the present invention.

도 12를 참조하면, 본 실시예의 불량 검사 시스템은 광원(1202), 광 변환부(1204), 스크린(1206), 영상 획득부(1208) 및 불량 검사부(1210)를 포함한다. 12, the defect inspection system of this embodiment includes a light source 1202, a light conversion unit 1204, a screen 1206, an image acquisition unit 1208, and a defect inspection unit 1210.

다른 실시예들에서와 달리, 본 실시예에서는 광원(1202) 및 광 변환부(1204)가 대상물(1200)의 상부 또는 하부에 위치하며, 대상물(1200)에 의해 반사된 광이 스크린(1206)에 입사되어 그림자 영상이 형성된다. Unlike in other embodiments, in this embodiment, light source 1202 and light conversion portion 1204 are located above or below object 1200, and light reflected by object 1200 passes through screen 1206, And a shadow image is formed.

영상 획득부(1208)는 스크린(1206)에 형성된 그림자 영상을 획득하고, 불량 검사부(1210)는 상기 획득된 그림자 영상을 분석하여 너울 불량 여부를 판단한다. The image obtaining unit 1208 obtains a shadow image formed on the screen 1206, and the defect inspection unit 1210 analyzes the obtained shadow image to determine whether the defect is a defect.

상기한 본 발명의 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications, additions and substitutions are possible, without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Should be regarded as belonging to the following claims.

대상물 : 100, 700, 800, 900, 1000, 1100, 1200
광원 : 102, 702, 802, 812, 902, 1002, 1102, 1202
광 변환부 : 104, 904, 1006, 1104, 1204
스크린 : 106, 708, 806, 816, 908, 1008, 1106, 1206
영상 획득부 : 108, 710, 910, 1010, 1108, 1208
불량 검사부 : 110, 712, 912, 1012, 1110, 1210
너울 패턴 : 400
슬릿 부재 : 704, 706, 804, 814
반사부 : 906, 1004
광량 감지부 : 1112
제어부 : 1114Objects: 100, 700, 800, 900, 1000, 1100, 1200
Light sources 102, 702, 802, 812, 902, 1002, 1102, 1202
Photoconversion units 104, 904, 1006, 1104, 1204
Screens: 106, 708, 806, 816, 908, 1008, 1106, 1206
Image acquisition units: 108, 710, 910, 1010, 1108, 1208
Defect Inspection Unit: 110, 712, 912, 1012, 1110, 1210
Wool pattern: 400
Slit members 704, 706, 804, 814
Reflecting portion: 906, 1004
Light intensity sensing unit: 1112
Control section: 1114

Claims (20)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 표면 또는 내부에 불규칙 패턴을 가지는 대상물의 불량을 검사하는 불량 검사 시스템에 있어서,
광원; 및
스크린을 포함하며,
상기 광원으로부터 출력된 광들이 상기 대상물을 투과하여 상기 스크린으로 입사됨에 의해 상기 대상물의 그림자 영상이 상기 스크린에 형성되고,
상기 광원은 상기 광원으로부터 출력된 광들이 상기 대상물의 일 불규칙 패턴에 입사되었을 때 상기 스크린 상에 본 그림자 영상에 대한 역 그림자 영상이 형성되지 않게 하는 사이즈를 가지되,
상기 본 그림자 영상은 상기 불규칙 패턴을 통과한 후 상기 스크린에 입사되기까지 교차하지 않는 상기 광원으로부터 출력된 광들에 의해 형성되는 상기 대상물의 그림자 영상을 의미하고, 상기 역 그림자 영상은 상기 불규칙 패턴을 통과한 후 상기 스크린으로 입사되는 과정에서 교차되는 광들에 의해 형성되는 상기 대상물의 그림자 영상을 의미하는 것을 특징으로 하는 불량 검사 시스템.A defect inspection system for inspecting a defect of an object having an irregular pattern on a surface or inside,
Light source; And
Screen,
By being a gwangdeul output from the light source incident on said screen by passing through the object is the shadow image of the object formed on the screen,
Wherein the light source has a size such that an inverse shadow image of the shadow image seen on the screen is not formed when the light output from the light source is incident on one irregular pattern of the object,
Wherein the shadow image refers to a shadow image of the object formed by the lights output from the light source that does not intersect the irregular pattern until it is incident on the screen and the inverted shadow image passes through the irregular pattern And a shadow image of the object formed by the crossed lights in the process of being incident on the screen. 제8항에 있어서, 상기 일 불규칙 패턴은 상기 대상물의 불규칙 패턴들 중 가장 작은 사이즈를 가지는 불규칙 패턴인 것을 특징으로 하는 불량 검사 시스템.9. The defect inspection system according to claim 8, wherein the one irregular pattern is an irregular pattern having a smallest size among the irregular patterns of the object. 삭제delete 제8항에 있어서,
상기 대상물의 그림자 영상을 획득하는 영상 획득부; 및
상기 영상 획득부에 의해 획득된 그림자 영상을 분석하여 상기 대상물의 너울 불량을 판단하는 불량 검사부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 불량 검사 시스템.9. The method of claim 8,
An image acquiring unit acquiring a shadow image of the object; And
Further comprising a defect inspection unit for analyzing the shadow image acquired by the image acquisition unit to determine a defective wrap of the object. 표면 또는 내부에 불규칙 패턴을 가지는 대상물의 불량을 검사하는 불량 검사 시스템에 있어서,
광원;
홀이 형성된 기판; 및
스크린을 포함하며,
상기 광원으로부터 출력된 광들은 상기 기판의 홀을 통하여 상기 대상물로 입사되고, 상기 대상물로 입사된 광들은 상기 대상물을 투과한 후 상기 스크린으로 입사되어 상기 스크린에 그림자 영상이 형성되며, 상기 홀은 상기 홀을 통하여 출력된 광들이 상기 대상물의 일 불규칙 패턴에 입사되었을 때 상기 스크린 상에 본 그림자 영상에 대한 역 그림자 영상이 형성되지 않게 하는 사이즈를 가지되,
상기 본 그림자 영상은 상기 불규칙 패턴을 통과한 후 상기 스크린에 입사되기까지 교차하지 않는 상기 홀을 통과하여 출력된 광들에 의해 형성되는 상기 대상물의 그림자 영상을 의미하고, 상기 역 그림자 영상은 상기 불규칙 패턴을 통과한 후 상기 스크린으로 입사되는 과정에서 교차되는 광들에 의해 형성되는 상기 대상물의 그림자 영상을 의미하는 것을 특징으로 하는 불량 검사 시스템.A defect inspection system for inspecting a defect of an object having an irregular pattern on a surface or inside,
Light source;
A substrate having a hole formed therein; And
Screen,
Wherein light emitted from the light source is incident on the object through a hole of the substrate, the light incident on the object passes through the object and is incident on the screen to form a shadow image on the screen, Wherein a size of the shadow image is such that when the light output through the hole is incident on one irregular pattern of the object, an inverse shadow image for the shadow image is not formed on the screen,
Wherein the shadow image refers to a shadow image of the object formed by light passing through the hole that does not cross the irregular pattern until it is incident on the screen and the inverted shadow image includes the irregular pattern And a shadow image of the object formed by the light beams intersected in the process of being incident on the screen. 제12항에 있어서, 상기 일 불규칙 패턴은 상기 대상물의 불규칙 패턴들 중 가장 작은 사이즈를 가지는 불규칙 패턴인 것을 특징으로 하는 불량 검사 시스템. 13. The defect inspection system according to claim 12, wherein the one irregular pattern is an irregular pattern having a smallest size among the irregular patterns of the object. 삭제delete 제12항에 있어서,
상기 대상물의 그림자 영상을 획득하는 영상 획득부; 및
상기 영상 획득부에 의해 획득된 그림자 영상을 분석하여 상기 대상물의 너울 불량을 판단하는 불량 검사부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 불량 검사 시스템.13. The method of claim 12,
An image acquiring unit acquiring a shadow image of the object; And
Further comprising a defect inspection unit for analyzing the shadow image acquired by the image acquisition unit to determine a defective wrap of the object. 표면 또는 내부에 불규칙 패턴을 가지는 대상물의 불량을 검사하는 불량 검사 방법에 있어서,
면광을 점광으로 변환하는 단계;
상기 변환된 점광을 상기 대상물로 입사시켜 상기 대상물에 대한 그림자 영상을 획득하는 단계; 및
상기 획득된 그림자 영상을 통하여 상기 대상물의 불량을 판단하는 단계를 포함하며,
상기 점광은 스크린에 본 그림자 영상에 대한 역 그림자 영상이 형성되지 않도록 하는 사이즈를 가지는 것을 특징으로 하는 불량 검사 방법.A defect inspection method for inspecting a defect of an object having an irregular pattern on a surface or inside,
Converting the surface light into the glow;
Acquiring a shadow image of the object by inputting the converted light into the object; And
And determining a defect of the object through the obtained shadow image,
Wherein the glowing light has a size such that an inverse shadow image is not formed for the shadow image seen on the screen. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
KR1020130060186A 2013-05-28 2013-05-28 System for inspecting an object having irregular pattern KR101464877B1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130060186A KR101464877B1 (en) 2013-05-28 2013-05-28 System for inspecting an object having irregular pattern
PCT/KR2013/004723 WO2014192999A1 (en) 2013-05-28 2013-05-29 Defect inspection system for inspecting object having irregular patterns

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130060186A KR101464877B1 (en) 2013-05-28 2013-05-28 System for inspecting an object having irregular pattern

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101464877B1 true KR101464877B1 (en) 2014-11-24

Family

ID=51989006

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130060186A KR101464877B1 (en) 2013-05-28 2013-05-28 System for inspecting an object having irregular pattern

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR101464877B1 (en)
WO (1) WO2014192999A1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016156822A (en) * 2015-02-25 2016-09-01 株式会社昭和電気研究所 Wafer defect inspection device
CN109196335A (en) * 2016-05-24 2019-01-11 株式会社Lg化学 The system and method for detecting the defect of optical film
TWI664419B (en) * 2017-07-28 2019-07-01 南韓商Ｌｇ化學股份有限公司 Device and method for detecting defect of optical film
KR102294899B1 (en) * 2020-05-26 2021-08-27 (주)티엘씨테크퍼스트 System and Method for Artificial Intelligence based Detecting Defect in Sunroof Using Deep Learning

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4965451A (en) * 1988-06-21 1990-10-23 Soelter Hans Joachim Method and apparatus for the contactless testing of the surface and inner structure of a solid workpiece
KR20030032433A (en) * 2001-10-18 2003-04-26 엘지전자 주식회사 The inspection method of thin film and the same apparatus
JP2005241586A (en) * 2004-02-27 2005-09-08 Advanced Display Inc Inspection device and method for optical film
JP2006292668A (en) * 2005-04-14 2006-10-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd Surface inspection device and surface inspection method

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1126273A1 (en) * 2000-02-09 2001-08-22 Orbis Oy Method and arrangement for inspecting a transparent object for flaws
KR100953202B1 (en) * 2007-11-26 2010-04-15 (주)쎄미시스코 Lighting department light source control structure of glass board quality tester
JP5539174B2 (en) * 2010-12-07 2014-07-02 三菱電機株式会社 Wavefront measuring apparatus and wavefront measuring method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4965451A (en) * 1988-06-21 1990-10-23 Soelter Hans Joachim Method and apparatus for the contactless testing of the surface and inner structure of a solid workpiece
KR20030032433A (en) * 2001-10-18 2003-04-26 엘지전자 주식회사 The inspection method of thin film and the same apparatus
JP2005241586A (en) * 2004-02-27 2005-09-08 Advanced Display Inc Inspection device and method for optical film
JP2006292668A (en) * 2005-04-14 2006-10-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd Surface inspection device and surface inspection method

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016156822A (en) * 2015-02-25 2016-09-01 株式会社昭和電気研究所 Wafer defect inspection device
CN109196335A (en) * 2016-05-24 2019-01-11 株式会社Lg化学 The system and method for detecting the defect of optical film
CN109196335B (en) * 2016-05-24 2021-08-20 杉金光电(苏州)有限公司 System and method for detecting defects of optical film
US11150201B2 (en) 2016-05-24 2021-10-19 Shanjin Optoelectronics (Suzhou) Co., Ltd. System and method of detecting defect of optical film
TWI664419B (en) * 2017-07-28 2019-07-01 南韓商Ｌｇ化學股份有限公司 Device and method for detecting defect of optical film
US11391678B2 (en) 2017-07-28 2022-07-19 Shanjin Optoelectronics (Suzhou) Co., Ltd. Device and method for detecting defect of optical film
KR102294899B1 (en) * 2020-05-26 2021-08-27 (주)티엘씨테크퍼스트 System and Method for Artificial Intelligence based Detecting Defect in Sunroof Using Deep Learning

Also Published As

Publication number Publication date
WO2014192999A1 (en) 2014-12-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2730575T3 (en) System to identify defects in a composite structure
EP2508871A1 (en) Inspection apparatus, measurement method for three-dimensional shape, and production method for structure
JP4847128B2 (en) Surface defect inspection equipment
US10491788B2 (en) Apparatus and method for controlling the quality of transparent objects
KR101464877B1 (en) System for inspecting an object having irregular pattern
CN110736751B (en) Surface defect detection method and device
JP2007183225A (en) Light radiation device, surface shape inspection system, and surface shape inspection method
JP2014222155A (en) Unevenness inspection device
JP2015175815A (en) Method and device for inspecting defect of transparent sheet
JP4932595B2 (en) Surface flaw inspection device
KR100863341B1 (en) Particle inspection system of fpd and wafer using of repetition image
JP2015068670A (en) Device and method for inspecting defect of sheet-like matter
KR101658700B1 (en) Optics Apparatus for Inspecting Surface of Panel and Method for Inspecting Surface
EP3413037B1 (en) Inspection device for sheet-like objects, and inspection method for sheet-like objects
JP7063839B2 (en) Inspection method and inspection system
JP4630945B1 (en) Defect inspection equipment
JP2009063560A (en) Method and system for detecting surface defect of component part
KR101555580B1 (en) Inspecting apparatus for huge plane
JP6121758B2 (en) Crack and appearance inspection apparatus and crack and appearance inspection method
JP2008008689A (en) Surface inspection device and surface inspection method
JP2013246059A (en) Defect inspection apparatus and defect inspection method
JP6381865B2 (en) Inspection apparatus and inspection method
KR101745764B1 (en) Apparatus and Method for Optically Inspecting Surface of Plate Member
KR20230022725A (en) Lighting module inspection device for machine vision and light module inspection method for machine vision using thereof
KR101403926B1 (en) Apparatus for inspecting curved surface

Legal Events

Date Code Title Description
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
REEX Re-examination
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181114

Year of fee payment: 5