KR20030057995A - 1축 방향 직선이동이 가능한 공작물 거치대와 평면이동 및회전운동이 가능한 공구대를 구비한 가공 장치 - Google Patents

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Abstract

서로 직교하는 X, Y, Z의 3개의 좌표축이 형성하는 공간에서 공작물과 공구를 상대적으로 이동시키면서 공작물을 가공하기 위한 가공장치가 제공된다. 이 가공장치는 공작물을 장착하는 공작물 거치대와, 공작물과의 상대적인 이동에 의해 공작물을 가공하는 공구를 장착하는 공구대와, 공작물 거치대를 Y축 방향으로 직선이동시키는 Y축 방향 직선구동장치와, 공구대를 Y축을 중심으로 회전시키기 위한 회전구동장치와, 회전구동장치와 결합되며 X축과 Z축이 형성하는 평면상에서 공구대를 이동시키는 X-Z 평면구동장치를 구비한다. X-Z 평면구동장치는 X축 방향으로 대상물을 이동시키는 선형구동기와, 선형구동기에 의해 X축 방향으로 이동하는 일측에 경사면을 갖는 제1 슬라이드 블록과, 선형구동기에 의해 X축 방향으로 이동하는 제2 슬라이드 블록과, 제1 슬라이드 블록과 상기 제2 슬라이드 블록 사이에 위치하며, 제1 슬라이드 블록의 경사면을 따라 이동하는 중앙 슬라이드 블록을 구비한다.

Description

1축 방향 직선이동이 가능한 공작물 거치대와 평면이동 및 회전운동이 가능한 공구대를 구비한 가공 장치 {MACHINING APPARATUS HAVING WORK TABLE CAPABLE OF Y AXIS LINEAR MOVEMENT AND TOOL CLAMP CAPABLE OF X-Z PLANE MOVEMENT AND ROTATION}
본 발명은 공작물의 가공장치에 관한 것으로서, 특히 Y축 방향 직선이동이 가능한 공작물 거치대와 X-Z 평면의 평면이동과 회전운동이 가능한 공구대를 구비한 가공 장치에 관한 것이다.
도6에 도시한 바와 같이, X선 그리드를 제조할 때에는 X선을 흡수하지 않는 기판 위에 채널을 형성한다. 이 채널(9)은 길이 방향은 기판(8)의 한쪽 끝에서 다른 쪽 끝까지 연장되어 있다. 도6에서 알 수 있는 바와 같이, 중앙부 채널(9a)은 기판에 수직으로 파여 있고, 양쪽에 있는 채널(9b, 9c)은 경사진다. 이는 X선 소스로부터 X선이 직진하는 방향과 일치하도록 채널을 수직으로 혹은 경사지게 형성하기 때문이다. 이러한 X선 그리드의 기판(8)에 채널을 형성하기 위해서는 특별한 가공기계가 필요하다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 점을 고려하여 공작물과 공구를 상대적으로 직선 이동시키거나 회전시키면서 가공할 수 있는 가공장치를 제공하는 것이다. 특히 본 발명의 목적은, 1축 직선이동이 가능한 공작물 거치대와, 평면운동(즉, 2축 방향 직선운동)과 회전운동이 가능한 공구대를 구비한 가공 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은 상기 직선운동이 리니어모터에 의해 구동되는 가공장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은 2축 직선운동(즉 평면 운동)을하나의 1축 리니어 모터 시스템을 가지고 수행하도록 하는 가공장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 또 다른 목적은 공구대의 회전이송은 저속 고토크 모터에 의해 이루어지도록 하는 것이다.
도1은 본 발명의 실시예에 따른 리니어 모터를 구비한 가공 장치의 사시도
도2는 도1에서 구동기로 X축 및 Z축 구동장치를 개략적으로 도시한 정면도
도3은 도2의 C-C′선을 따라 절단한 단면도
도4는 도1의 공구대 회전구동 모터의 사시도로서 내부가 보이도록 일부를 절개하여 도시한 도면
도5는 도4의 공구대 회전구동 모터의 부분 단면도
도6은 공작물의 사시도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
8: 기판 9: 채널 10 : 가공 장치
20: 공작물 거치대 22: Y축 구동장치 26: 공구대
28: X-Z 평면이동장치 30: 회전구동장치
52: 제1 슬라이드 블록 54: 제2 슬라이드 블록
56: 중앙 슬라이드 블록
본 발명의 일 측면에 따르면, 서로 직교하는 X, Y, Z의 3개의 좌표축이 형성하는 공간에서 공작물과 공구를 상대적으로 이동시키면서 공작물을 가공하기 위한 가공장치에 있어서,
상기 공작물을 장착하는 공작물 거치대와,
상기 공작물과의 상대적인 이동에 의해 상기 공작물을 가공하는 상기 공구가 장착되는 공구대와,
상기 공작물 거치대 또는 상기 공구대를 Y축 방향으로 직선 이동시키는 Y축 방향 직선구동장치와,
상기 공구대를 Y축 방향의 축선을 중심으로 회전시키기 위한 회전구동장치와,
상기 회전구동장치와 결합되며 상기 X축과 Z축이 형성하는 평면상에서 상기 공구대를 이동시키기 위한 X-Z 평면구동장치를 포함하는 가공 장치가 제공된다.
바람직한 실시예에서는 상기 X-Z 평면구동장치는 X축 방향으로 대상물을 이동시키는 선형구동기와, 상기 선형 구동기에 의해 X축 방향으로 이동하는 일 측에 경사면을 갖는 제1 슬라이드 블록과, 상기 선형구동기에 의해 X축 방향으로 이동하는 제2 슬라이드 블록과, 상기 제1 슬라이드 블록과 상기 제2 슬라이드 블록 사이에 위치하며, 상기 제1 슬라이드 블록의 경사면을 따라 이동하는 중앙 슬라이드 블록을 구비한다.
상기 회전 구동 장치는 상기 중앙 슬라이드 블록에 고정된다. 상기 회전 구동장치는 서로 나란히 배열된 원형 고리모양의 다수의 영구자석을 갖는 회전자와, 상기 영구자석 사이에 위치하며 원주방향으로 등간격으로 배치된 다수의 고리형 권취 코일을 갖는 고정자를 구비한다.
상기 X-Z 평면구동장치의 상기 선형 구동기는 X축 방향으로 연장되는 고정자와 상기 고정자와 상호작용하는 이동코일장치를 구비하는 리니어 모터이며, 상기 제1 슬라이드블록과 상기 제2 슬라이드 블록에는 상기 리니어모터의 이동코일장치가 결합된다. 상기 X-Z 평면 구동장치는 상기 제1 슬라이드블록과 상기 제2 슬라이드 블록 중의 어느 하나에 마련된 방향전환부재와, 대체로 중앙 슬라이드 블록과 같은 무게를 갖는 추와, 상기 중앙 슬라이드블록 사이를 방향전환부재를 통하여 연결해주는 로프를 구비한다.
상기 가공장치는 공작물 거치대가 설치되는 베드와, 상기 베드의 일측 또는 양측에 마련된 지지기둥과, 상기 지지기둥에 고정된 가로지지대를 구비하되, 상기 X-Z 평면구동장치는 상기 가로지지대에 설치된다. 상기 Y축 구동장치는 고정자와 이동코일장치를 구비하는 리니어 모터를 구비하며, 상기 공작물 거치대에 상기 리니어모터의 이동코일장치가 연결된다. 이러한 가공장치는 X선 그리드의 기판에 채널을 형성하는 데에 적합하다.
이하 도면을 참조하여 발명을 상세히 설명한다.
도1을 참조하면, 가공장치(10)는 베드(12)와, 베드(12)를 받치는 다리(14)를 구비한다. 베드(12)의 양측에는 지지기둥(16)이 마련되고, 양 지지기둥(16) 사이에는 가로 지지대(18)가 설치된다. 베드(12) 위에는 공작물을 장착하는 공작물 거치대(20)가 마련된다. 절삭 가공 작업 시 공작물 거치대(20)에는 도6에 도시한 바와 같은 X선 그리드용 기판(8)이 얹어져 장착된다. 공작물 거치대(20)는 도1에 도시한 좌표축의 Y축 방향으로 직선 이동한다. 따라서, 그 위에 얹어진 공작물(8)을 이송할 수 있다. 공작물 거치대(20)를 이송하기 위하여 Y축 구동장치(22)가 구비된다. Y축 구동장치에는 Y축 방향으로 이동자를 이동시키는 제1 리니어모터 시스템(24)을 구비한다.
계속해서 가공장치(10)는 공구대(26)를 구비한다. 공구대(26)를 2축 방향으로 직선이동(즉, 평면이동)시키거나 회전시키기 위해 가로 지지대(18)에 설치된 X-Z 평면 구동장치(28)와 회전구동장치(30)가 구비된다. 상세히 도시하지는 않았지만 공구대(26)에는 절삭공구(바이트)가 고정된다. X-Z 평면구동장치(28)에는 X축 방향으로 이동자를 이동시키는 제2 리니어 모터 시스템(32)이 구비된다.
Y축 구동장치(22)는 거치대 받침(34)과, 제1 리니어모터 시스템(24)을 구비한다. 받침(34)의 양측단 부근의 베드 위에는 커튼(도시하지 않음)을 지지하는 커튼 지지대(36)가 마련된다. 제1 리니어모터 시스템(24)은 영구자석이 구비된 고정자(38)와 받침(34)에 설치된 이동코일장치 즉, 이동자(40)를 구비한다. 베드(12) 위에는 고정자(38)의 양옆으로 리니어 가이드 레일(42)이 설치된다. 도시되지는 않았지만, 상기 리니어가이드 레일(42)과 상호작용하여 리니어 가이드를 형성하는리니어 가이드 블록이 거치대 받침(34)의 아래에 설치된다. 또한, 베드(12) 위에는 리니어스케일(44)이 고정된다. 이러한 제1 리니어모터 시스템(24)에는 어떠한 종류의 리니어모터도 사용할 수 있다. 즉, 도3을 참조하여 후술하는 바와 같은 구성의 리니어모터도 사용할 수 있고, 그 외의 리니어 모터도 사용할 수 있음은 물론이다.
거치대 받침(34)의 위에는 공작물 거치대(20)가 설치된다. 따라서 공작물 거치대(20)는 양측 기둥(16) 사이를 통과하면서 Y축 방향으로 이동이 가능하다. 상세히 도시하지는 않았지만, 공작물 거치대와 받침(34) 사이에는 공작물 거치대(20)를 Z축을 중심으로 회전시킬 수 있는 장치가 마련되는 것이 좋다. 이는 공작물 거치대를 조금씩 돌려 조절하기 위한 것이다. 이러한 회전조절장치의 구성이 가능하다는 것은 당업자라면 이해할 수 있을 것이다. 이러한 회전조절 장치는 예를 들면, 볼트와 너트를 이용한 것일 수 있다. 볼트를 회전하여 조금씩 공작물 거치대가 회전하면 공작물이 놓인 방향을 조절할 수 있는 것이다.
공작물 거치대(20)는 테두리 벽(46)과 바닥(48)을 구비한다. 바닥(48)에 공작물이 장착된다. 바람직하기로는 바닥에는 진공패드가 장착되고 그 진공 패드 위에 공작물이 장착된다. 공작물 거치대(20)의 오른쪽이 왼쪽보다 낮아지는데, 이는 절삭유체(예를 들면, 냉각수)가 잘 흘러 배출되게 하기 위한 것이다.
앞에서도 설명한 바와 같이, 가로 지지대(18)에 설치된 공구대 이송장치는 X축 방향 직선구동, Z축 방향 직선구동, 회전구동이 가능하다. 이를 위하여 X-Z 평면이송장치(28)와 회전구동 장치(30)가 마련된다.
도1, 도2, 도3을 참조하면, X-Z 평면 이송장치(28)는 제2 리니어모터 시스템(32)과 제1 슬라이드 블록(52)과 제2 슬라이드 블록(54)과, 중앙 슬라이드 블록(56)을 구비한다. 중앙 슬라이드 블록(56)은 제1 슬라이드 블록(52)과 제2 슬라이드 블록(54) 사이에 위치한다.
제1 슬라이드 블록(52)은 중앙 슬라이드 블록(56)을 향한 쪽에 경사면을 갖는다. 이 경사면에는 리니어 가이드 레일(58)이 설치된다. 중앙 슬라이드 블록(56)에는 이 리니어 가이드 레일(58)과 상호작용하는 리니어 가이드 블록(60)이 설치된다. 제2 슬라이드 블록(54)에도 중앙 슬라이드 블록(56)을 향한 수직면에 리니어 가이드 레일(62)이 설치된다. 중앙 슬라이드 블록(56)에는 이와 상호작용하는 리니어 가이드 블록(64)이 마련된다. 중앙 슬라이드 블록(56)은 제1 슬라이드 블록(52) 및 제2 슬라이드 블록(54)은 X축 방향으로만 이동이 가능하다. 그렇지만, 제1 슬라이드 블록(52)과 제2 슬라이드 블록(54) 사이의 상대적인 거리가 변화함에 따라 중앙 슬라이드 블록(56)은 Z축 방향으로 상하 이동이 가능하게 되는 것이다. 제1 슬라이드 블록(52)과 제2 슬라이드 블록(54)이 X축을 따라 같은 속도 같은 방향으로 이동만 한다면 중앙 슬라이드 블록(56)도 X축 방향의 이동만이 가능하게 되는 것이다.
도1에 도시한 바와 같이, 중앙 슬라이드 블록(56)은 줄 즉, 로프(66)로 제1 슬라이드 블록(52)에 있는 방향전환부재인 도르래(68)를 거쳐 카운터밸런스용 추(70)와 연결된다. 이 추는 중앙 슬라이드 블록(56)과 회전 구동장치(56)와 공구대(30)와 대체로 무게가 같게 하는 것이 좋다. 제2 슬라이드 블록(54)에는 상하리미트 스위치(72,74)가 마련되어 중앙 슬라이드 블록(56)이 상단 및 하단에 도달하는 것을 감지한다.
도1 내지 도3을 참조하면, 제2 리니어 모터 시스템(32)은 가로 지지대(18) 위에 설치된 고정자(76)를 구비한다. 고정자(76) 대체로 W자형 요크(78)를 가지며, 날개의 서로 마주보는 위치에 마련된 영구자석(80)을 구비한다. 영구자석(80)은 단위 길이마다 방향이 반대로 착자된 단위자석이 번갈아 가며 배치된 구조이다. 제1 슬라이드 블록(52)의 일측에는 이동자(82)가 설치된다. 이 이동자(82)는 제1 슬라이드 블록(52)에서 연장되는 몸체(84)와 몸체에 부착되어 상기 요크(78)의 날개 사이에 있는 공극에 들어가는 이동 코일(86)을 구비한다. 이동 코일(86)은 대체로 납작한 다수의 고리형 코일을 일렬로 배치하고 에폭시 등의 수지로 덮은 구성이다. 도3에 도시한 바와 같은 구성의 이동자와 고정자의 구조는 본 출원인이 출원하여 공개된 특허출원 제2000-71638호에도 설명되어 있으며, 상기 특허공개 제2000-71638호의 내용 중 상기 이동자와 고정자의 설명에 해당하는 부분은 본 명세서 한 부분으로 삼는다. 그러나, 본 발명의 X축 방향 구동기는 상기 구조의 리니어 모터로만 제한되는 것이 아니고 다른 직선구동기도 사용할 수 있음을 당업자라면 이해할 수 있을 것이다.
도1 내지 도3을 참조하면, 제2 리니어모터 시스템(32)은 가로 지지대(18)에 설치된 리니어 가이드 레일(88)을 구비한다. 제1 슬라이드 블록(52)에는 리니어 가이드 레일(88)과 상호작용하는 리니어 가이드 블록(90)이 마련된다. 이들은 가로지지대(18)와 제1 슬라이드 블록(52) 사이의 직선운동을 안내한다.
한편, 위에서는 제1 슬라이드 블록(52)에 대하여 이동자와 리니어 가이드 블록이 있는 것으로 설명하였는데, 제2 슬라이드 블록(54)에도 동일한 구성의 이동자 및 리니어 가이드 블록이 마련되어 있음을 이해할 수 있을 것이다. 이러한 구성에 의해 한편 제1 슬라이드 블록(52)과 제2 슬라이드 블록(54)에 있는 각각의 이동자에 전원 공급을 차별화하면, 둘 사이의 거리가 멀어지거나, 가까워질 수 있다. 도시되지는 않았지만 제1 슬라이드 블록(52)과 제2 슬라이드 블록(54)의 직선이동을 감지하기 위한 리니어 스케일과 센서가 마련된다.
도1, 도2, 도4, 도5를 참조하면, 중앙 슬라이드 블록(56)에는 회전 구동장치(30)의 고정자(96)가 고정된다. 고정자(96)를 고정하는 방법은 여러 가지가 있을 수 있음을 당업자라면 이해할 수 있을 것이다. 예를 들면, 회전구동장치(30), 즉 회전모터의 고정자는 로크핀을 꽂아 위치를 잡고 볼트로 체결하여 고정한다.
회전 구동장치(30)는 회전 모터인데, 이 회전모터는 고정자(96)와 회전자(98)를 구비한다. 고정자(96)는 다수의 권취 코일(100)을 구비한다. 이 권취 코일(100)은 통상의 브러시리스 회전모터에 사용하는 납작하고 부채꼴을 가지며 고리를 형성하는 코일로 이루어진다. 이들 권취 코일(100)은 예를 들면, 각 층마다 6개씩 두 개의 층으로 나란히 배열된다. 6개의 코일이 원주 방향으로 등간격으로 배치되어, 3상 모터의 경우 각층에는 각 상(phase)마다 2개의 코일이 배열되는 것이다.
도1, 도4, 도5를 참조하면, 회전자(98)는 영구자석(102a,102b,102c)을 구비한다. 각각의 영구자석은 원형 고리모양이다. 각 영구자석은 상하방향으로 착자된 단위 자석이 서로 원주방향으로 등간격으로 배치되어 있다. 단위 자석은 이웃하는 단위 자석과는 그 착자방향이 반대가 된다. 영구자석(102a, 102b) 사이 또는 영구자석(102c)과 고정자(96)에 있는 요크(104) 사이에는 상기 고정자(96)의 코일이 삽입된다. 코일에 전류를 가하면, 회전자(98)가 회전하게 된다. 회전자와 고정자 사이에는 베어링(105)이 설치된다. 이러한 구성의 회전모터는 저속의 고 토크를 낼 수 있다. 위에서는 본 실시예에서의 회전모터에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 형태의 모터만을 사용하는 것으로 제한되지 않는다는 것을 당업자라면 이해할 수 있을 것이다.
다시 도1을 참조하면, 공구대(26)는 상기 회전구동장치(30)의 회전자(98)에 고정된다. 공구의 회전각을 제한하기 위해 고정자(96)에는 리미트 스위치(106)가 설치될 수 있다. 공구대(26)에는 가공될 공작물을 향하도록 바이트가 설치된다.
도1과 도6을 참조하여, 본 발명의 가공장치(10)로 X선 격자의 기판(8)에 채널(9)을 형성하는 과정을 설명한다. 먼저 공작물(기판 재료)을 공작물 거치대(20)에 설치한다. 최외곽의 채널(9c)부터 채널을 형성한다고 할 때, 채널(9c)이 기운 각도에 맞게 공구대(26)를 회전구동장치(30)로 회전시킨다. 그와 함께, X축 방향으로 공구대를 이동시켜 위치를 잡는다. 1회 절삭깊이에 해당하는 깊이까지 Z축 방향으로 공구대(26)를 이동시킨다. 이 때 Z축 방향의 이동은 제1 슬라이드 블록(52)과 제2 슬라이드 블록(54) 사이의 거리를 조절함으로써 이루어진다. 공구 위치의 세팅이 완료되면, 공작물 거치대(20)를 Y축 방향으로 이송시킨다. 이 이송에 의해 채널의 절삭가공이 이루어진다. 1회 절삭으로 충분한 깊이의 채널이 형성되지 않는 경우 X축 방향, Z축 방향으로 공구대를 이송시켜 더 깊은 채널을 가공한다.
하나의 채널이 완성된 후에는 다음 채널 위치까지 공구를 이송한다. 그리고, 회전구동하여 가공될 채널에 맞게 바이트의 설치각도를 조절한다. X-Z 평면 구동장치로 공구의 위치를 세팅한 후 위와 같이 Y축 방향으로 공작물을 이송시켜 채널을 형성한다. 이러한 작업을 반복하면, 공작물(즉, X선 그리드 기판)에 경사각이 다른 다수의 채널이 형성된다.
본 발명의 구성을 따르면 공작물과 공구를 직선 이동시키거나 회전시키면서 가공할 수 있는 가공장치를 제공된다. 특히, 1축 직선이동이 가능한 공작물 거치대와 2축 직선이동과 회전운동이 가능한 공구대를 구비한 가공 장치를 제공된다. 본 발명의 구성에 따르면, 그 직선운동들을 리니어모터를 이용하여 제공되는데, 2축 직선운동(평면운동)을 하나의 1축 리니어 모터 시스템을 가지고 수행할 수 있게 해준다. 또한, 공구대의 회전이송은 저속 고토크 모터에 의해 이루어질 수 있다. 이 가공장치로는 X선 그리드를 형성하는 기판에 채널을 가공하는 데에 적합하다.
이상 본 발명을 상기 실시예를 들어 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되는 것이 아니다. 당업자라면, 본 발명의 취지 및 범위를 벗어나지 않고 수정, 변경을 할 수 있으며 이러한 수정과 변경 또한 본 발명에 속하는 것임을 알 수 있을 것이다.

Claims (9)

  1. 서로 직교하는 X, Y, Z의 3개의 좌표축이 형성하는 공간에서 공작물과 공구를 상대적으로 이동시키면서 공작물을 가공하기 위한 가공장치에 있어서,
    상기 공작물을 장착하는 공작물 거치대와,
    상기 공작물과의 상대적인 이동에 의해 상기 공작물을 가공하는 상기 공구를 장착하는 공구대와,
    상기 공작물 거치대 또는 상기 공구대를 Y축 방향으로 직선이동시키는 Y축 방향 직선구동장치와,
    상기 공구대를 Y축을 중심으로 회전시키기 위한 회전구동장치와,
    상기 회전구동장치와 결합되며 상기 X축과 Z축이 형성하는 평면상에서 상기 공구대를 이동시키기 위한 X-Z 평면구동장치를
    포함하는 가공 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 X-Z 평면구동장치는
    X축 방향으로 대상물을 이동시키는 선형구동기와,
    상기 선형구동기에 의해 X축 방향으로 이동하는 일측에 경사면을 갖는 제1 슬라이드 블록과,
    상기 선형구동기에 의해 X축 방향으로 이동하는 제2 슬라이드 블록과,
    상기 제1 슬라이드 블록과 상기 제2 슬라이드 블록 사이에 위치하며, 상기제1 슬라이드 블록의 경사면을 따라 이동하는 중앙 슬라이드 블록을 구비하는 것을 특징으로 하는 가공장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 회전 구동 장치는 상기 중앙 슬라이드 블록에 고정되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 X-Z 평면구동장치의 상기 선형구동기는 X축 방향으로 연장되는 고정자와 상기 고정자와 상호작용하는 이동코일장치를 구비하는 리니어 모터이며, 상기 제1 슬라이드블록과 상기 제2 슬라이드 블록에는 상기 리니어모터의 이동코일장치가 결합된 것을 특징으로 하는 가공장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 X-Z 평면 구동장치는 상기 제1 슬라이드블록과 상기 제2 슬라이드 블록 중의 어느 하나에 마련된 방향전환부재와, 추와, 상기 추와 상기 중앙 슬라이드블록 사이를 방향전환부재를 통하여 연결해주는 로프를 구비하는 것을 특징으로 하는 가공장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 Y축 구동장치는 고정자와 이동코일장치를 구비하는 리니어 모터를 구비하며, 상기 공작물 거치대에 상기 리니어모터의 이동코일장치가 연결되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 하나의 청구항에 있어서, 상기 회전 구동장치는 서로 나란히 배열된 원형 고리모양의 다수의 영구자석을 갖는 회전자와, 상기 영구자석 사이에 위치하며 원주방향으로 등간격으로 배치된 다수의 고리형 권취코일을 구비한 고정자를 구비하는 것을 특징으로 하는 가공장치.
  8. 제1항 내지 제6항 중 어느 하나의 청구항에 있어서,
    상기 공작물 거치대가 설치되는 베드와,
    상기 베드의 일측 또는 양측에 마련된 지지기둥과,
    상기 지지기둥에 고정된 가로지지대를 구비하되,
    상기 X-Z 평면구동장치는 상기 가로지지대에 설치되는 것을 특징으로 하는 가공장치.
  9. 제1항 내지 제6항 중 어느 하나의 청구항에 있어서, 상기 공작물은 X선 그리드의 기판인 가공장치.
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