KR20030055266A

KR20030055266A - 자기-음향 마아커용 어닐링된 비결정질 합금

Info

Publication number: KR20030055266A
Application number: KR10-2003-7003884A
Authority: KR
Inventors: 리우넨-친; 허저기셀러
Original assignee: 바쿰슈멜체 게엠베하; 센소르마틱 이렉트로닉스 코포레이션
Priority date: 2000-10-02
Filing date: 2001-09-18
Publication date: 2003-07-02
Also published as: CN1468439A; CN1861811B; ES2346186T3; EP1791136A1; US20040069379A1; KR100828553B1; US6645314B1; CN1861811A; EP1796111B1; CN100385576C; HK1099051A1; EP1323175A1; DE60142169D1; AU2002212625B9; CN1290126C; JP5276246B2; EP1791136B1; AU2002212625B2; CA2420403A1; AU1262502A

Abstract

자기 기계적 전자 물품 감시 시스템의 마아커에 사용하는 강자성 공명기는 리본 축에 따라 사용된 인장 응력으로 계속하여 어닐링하고 코발트 부분이 약 4% 이하인 철, 코발트와 니켈을 함유하는 비결정성 자기 합금을 공급하여 저렴한 가격으로 제조한다.

Description

자기-음향 마아커용 어닐링된 비결정질 합금 {ANNEALED AMORPHOUS ALLOYS FOR MAGNETO-ACOUSTIC MARKERS}

미국특허번호 3,820,040에서는 비결정질 철을 주성분으로 한 금속은 사용 자기장에 있어 큰 탄성계수의 변화를 일으키고, 이러한 효과는 사용 자기장과 조합하여 전자 기계적 공명기의 진동주기를 제어하는데 유용한 수단을 제공함을 기술하고 있다.

사용 자기장에 의한 진동 주파수를 제어하는 가능성은 전자물품 감시에 사용하는 마아커의 유럽특허출원 0 093 281에서 특히 유용함을 알 수 있다. 이러한 자기장은 스트립과 공명기가 마아커 또는 태그 하우징에 함유되어 있는 자기 탄성 공명기에 인접하여 배치되어 있는 자기화 강자성 스트립 바이아스 자석에 의하여 발생된다. 공명기 주기에서 마아커의 효과적 투과도 변화는 신호 일치를 갖는 마아커를 제공한다. 신호 일치는 사용 자기장을 변화시키는 공명기 주파수 수단을 변화시키므로서 제거시킬 수 있다. 따라서 예를들면, 마아커는 바이아스 스트립을 자기화하여 활성화할 수 있고, 상응하여 사용 자기장을 제거시키는 바이아스 자석의 자장을 중화시키므로서 불활성화하여 공명 주파수를 다소간 변화시킬 수 있다. 이러한 시스템(참조 유럽특허출원 0 0923 281과 PCT출원 WO90/03652)에서는 생성-고유 기계적 응력과 연관된 단축 이방성으로 인하여 사용 자기장의 탄성계수가 적당히 변화를 나타낼 수 있는 "제조된"상태에서 비결정질 리본으로 만든 마아커를 최초로 사용했다. 이와같은 종래의 마아커에 사용된 대표적인 조성물에는 Fe₄₀Ni₃₈Mo₄B₁₈이 있다.

미국특허번호 5,459,140에는 전자물품 감시 시스템에 가로방향장의 어닐링된 비결정질 자기 기계 요소를 사용하여 제조된 비결정질 물질을 사용한 종래의 마아커와 연관되는 여러가지 결점을 제거하는 것이 기술되어 있다. 한가지 이유는 가로방향장 어닐링과 연관되는 선형 이력 루프가 EAS 시스템(즉, 조화시스템)의 다른 형태에서 원하지 않는 경보를 발생시킬 수 있는 조화물을 피하는데 있다. 이와같은 어닐링된 공명기의 다른 장점은 이들의 공명 진폭이 더 높은데 있다. 또 다른 장점은 자기장에서 열처리로 자기 뒤틀림성 스트립의 공명 주파수에 의한 밀도가 현저히 개량되는 것이다.

예를들어, 1982 리빙스톤 제이.디.에 의하여"Magnetochemical Properties of Amorphous Metals"phys. stat sol (a) vol. 70 페이지 591-596에 설명되고 1997 헤르저 지.에 의하여Magnetomechanical damping in amorphous ribbons withuniaxial anisotropy,Materials Science and Engineering A226-228 페이지 631에 설명된 바와 같이 공명기 또는 공명 주파수, 진폭이나 링-다운 시간과 같은 그 성질은 포화 자기 뒤틀림과 유도된 이방성의 강도에 의하여 크게 측정된다. 두 양은 합금 조성에 강하게 의존한다. 유도된 이방성은 어닐링 조건, 즉 어닐링 시간과 온도 및 어닐링시 사용되는 인장능력에 부가적으로 의존한다(참조 1983 후지모리 에이치.에 의한 런던 버터워드스의"Magnetic Anisotropy"in F. E. Luborsky (ed)Amorphous Metallic Alloys,페이지 300-316와 여기서 참고한 1985 니엘센 오.Effects of Longitudinal and Torsional Stress Annealing on the Magnetic Anisotropy in Amorphous Ribbon Materials,IEEE Transitions on Magnetics, vol. Mag-21, No. 5, Hilzinger H.R. 1981 힐징거 에이치.알.에 의한Stress Induced Anisotropy in a Non-Magnetostrictive Amorphous Alloy,Proc. 4^thInt. Conf. on Rapidly Quenched Metals (Sendai 1981) 페이지 791). 따라서, 공명기 성질은 이들 파라미터에 크게 좌우된다.

따라서, 상술한 미국특허번호 5,469,140에서는 바람직한 물질은 최소한 약 30%의 Co를 갖는 Fe-Co 주성분 합금임을 기술하고 있다. 이 특허에 따른 높은 Co-함량은 신호의 비교적 긴 링-다운 기간을 유지하는데 필요하다. 독일실용신안 G 94 12 456.6에는 긴 링 다운 시간은 비교적 높은 유도 자기 이방성을 나타내는 합금 조성물을 선택하므로 성취되고 그러므로, 이와같은 합금은 특히 EAS 마아커에 적합함을 기술하고 있다. 또한, 이 실용신안에는 이것은 Fe-Co-주성분 합금으로 출발하여 약 50% 이하의 철과/또는 코발트를 니켈로 대치하면 더 낮은 Co-함량으로 성취될 수 있음을 기술하고 있다. 최소한 약 8 Oe의 비교적 높은 이방성 장을 갖는 선형 B-H 루프의 필요성과 이러한 자기탄성 마아커의 Co-함량을 감소시키기 위하여 Ni을 허용한 장점은 약 30%와 약 45% 이하 사이의 철 함량과 약 4%와 약 40% 사이의 Co-함량을 갖는 합금이 특히 적합함을 기술한 미국특허번호 5,628,840에 기재된 작업으로 재확인되었다. 미국특허번호 5,728,237에는 지자계에서 마아커의 방향변화로 인하여 공명 주파수와 생긴 신호 진폭의 작은 변화로 특징되고 동시에 확실하게 불활성화하는 23%보다 더 낮은 Co-함량을 갖는 다른 조성물이 기재되어 있다. 미국특허번호 5,841,348에는 약 30% 이하의 철 함량으로 인한 신호의 최적 링-다운 작용과 최소한 약 10 Oe의 이방성을 갖는 최소한 약 12%의 Co-함량을 함유하는 Fe-Co-Ni-주성분 합성이 기술되어 있다.

상술한 예에서 자기장 어닐링은 리본 폭을 가로지르며, 즉 자기장 방향으로 리본 축(세로축)에 수직으로 리본 표면에 평면으로 향한다. 자기장의 강도는 리본 폭을 강자성으로 교차하는 리본을 포화하는데 충분하도록 강해야 한다. 이것은 수백 Oe의 자기장에서 성취될 수 있다. 예를들면, 미국특허번호 5,469,140에는 500 Oe 또는 800 Oe을 초과한 자계 강도가 기재되어 있고, PCT출원 WO96/32518에는 약 1kOe 내지 1.5kOe의 자계 강도가 기재되어 있다. PCT출원 WO99/02748과 WO99/24950에는 리본면에 수직으로 자기장을 사용하면 신호 진폭이 강화되거나 (또는 강화될 수 있음을) 기재하고 있다.

자계-어닐링은 예를들어 배취식이나 환형권심아니며 선-절단 직선 리본 스트립으로 수행할 수 있다. 또한 유럽특허출원 EP 0 737 986(미국특허번호 5,676,767)에 기재된 바와 같이, 어닐링은 가로방향 포화자계를 리본에 사용하는 오본을 통하여 한 릴에서 다른 릴로 합금 리본을 운반하여 연속 모형으로 행할 수 있다.

상술한 특허에 기재된 대표적 어닐링 조건은 약 300-400℃의 어닐링 온도; 수초 내지 수시간의 어닐링 시간이다. 예를들면 PCT출원 WO97/132358에는 길이 1.8m의 로에서 약 0.3m/min 내지 12m/min의 어닐링 속도를 기술하고 있다.

자기-음향 마아커의 대표적 기능 요구 조건은 다음과 같이 요약할 수 있다:

1. 대표적으로 8 Oe의 최소 응용 자계 이하의 선형 B-H 루프.

2. 활성화 상태의 응용 바이아스 자계 H로 공명 주파수 f_r의 작은 자화율, 즉 대표적으로 |df _r/dH|<1200 Hz/Oe.

3. 신호의 충분히 긴 링-다운 시간, 즉 여기 구동장을 끈 후 최소한 1-2ms의 시간 간격에 대한 높은 신호 진폭.

이러한 모든 요구조건은 리본 축에 수직인 적당한 공명기 합금에 비교적 높은 자기 이방성을 유도하므로서 충족시킬 수 있다. 일반적으로 이것을 공명기 합금이 적당량의 Co를 함유할때만 성취할 수 있는 의견을 가지고 있으며, 즉 미국특허번호 5,469,140 및 5,728,237과 5,628,840 및 5,841,348에 따른 Fe₄₀Ni₃₈Mo₄B₁₈과 같은 종래의 조성물은 이러한 목적에 사용할 수 없다. 그러나, 코발트의 높은 원료 가격때문에 합금에서 이의 함량을 감소시키는 것이 아주 바람직하다.

또한 상술한 PCT출원 WO96/32518에는 약 영 내지 약 70 MPa 범위의 인장 응력을 어닐링하는 동안 응용할 수 있는 것이 기술되어 있다. 이러한 인장 응력은 공명 진폭과 주기 기울기 |df_r/dH|는 약간 증가하거나, 변하지 않고 남거나 아니면 약간 감소하는 것을 나타내며, 즉 최대로 약 70 MPa로 한정되는 인장 응력을 사용할 때 공명기 성질에 있어 뚜렷한 장점이나 결점은 없다.

그러나, 어닐링하는 동안 사용된 인장 응력은 자기 이방성을 유도하는 것은 잘 알려져 있다(참조 니엘센 O. 1985Effects of Longitudinal and Torsional Stress Annealing on the Magnetic Anisotropy in Amorphous Ribbon Materials,IEEE Transitions on Magnetics, vol. Mag-21, No. 5, 힐징거 에이치.알. 1981Stress Induced Anisotropy in a Non-Magnetostrictive Amorphous Alloy,Proc. 4^thInt. Conf. on Rapidly Quenched Metals (Sendai 1981)페이지 791), 이러한 이방성의 크기는 사용된 응력의 크기에 비례하고 어닐링 온도, 어닐링 시간과 합금 조성에 따른다. 이의 방향은 자기 용이 리본 축 아니면 자기 곤란 리본 축(리본 축에 수직인 -용이 자기면)에 해당하므로 합금 조성에 따라 각기 자기장 유도 이방성이 감소하거나 증가한다.

본원 발명자 중 한 사람이 공동 발명자인 공동특허출원(1998. 8. 13자 출원된 헤르저 등의 출원번호 09/133,172, "Method Employing Tension Control and Lower-Cost Alloy Composition for Annealing Amorphous Alloys with Shorter Annealing Time," 미국특허번호 6,254,695)에는 리본 축에 수직인 자기장과 리본 축에 평행으로 사용되는 인장 응력을 동시에 존재시켜 비결정질 리본을 어닐링하는 방법이 기재되어 있다. 약 30% 이하의 철을 갖는 조성물에서 사용된 인장 응력이유도된 이방성을 강화시킴을 알았다. 결과적으로 원하는 공명기 성질은 약 5% 내지 18%의 Co로 바람직한 범위를 갖는 더 낮은 Co-함량으로 성취될 수 있는 것이다.

상술한 기술 상황에 의하면, 비결정질 자기-음향 공명기의 Co-함량을 감소시키기 위하여 다른 수단을 제공하는 것이 상당히 요구되고 있다. 본 발명에서는 이러한 모든 것을 감소되거나 또는 영의 Co-함량을 갖는 특수한 합금 조성물을 선택하거나 어닐링하는 동안 리본에 따라 제어되는 인장 강도를 사용하므로서 성취할 수 있음을 인식하였다.

본 발명은 자기 비결정질 합금과 이와같은 합금의 어닐링 방법에 관한 것이다. 또한 본 발명은 자기 기계적 전자물품 감시 또는 확인에 사용하는 비결정질 자기 뒤틀림 합금에 관한 것이다. 더우기, 본 발명은 비결정질 자기 뒤틀림성 합금의 제조방법과 마아커의 제조방법은 물론 이러한 마아커를 사용하는 자기 기계적 전자물품 감시 또는 확인 시스템에 관한 것이다.

도1은 인장 응력하에서와/또는 리본 축에 수직인 자기장에서 어닐링된 비결정질 리본의 대표적인 이력 루프를 나타낸다. 도1에 표시된 특수한 예는 본 발명의 구성을 나타낸 것이고 리본면에 실질적으로 수직으로 향한 2 kOe의 자기장과 약 19N의 인장력의 동시 존재하에 360℃에서 2m/분으로 계속적으로 어닐링(어닐링 시간 약 6초)한 비결정질 Fe₄₀Ni₄₀Mo₄B₁₆합금 리본에서 연속적으로 절단한 두 38㎜ 길이, 6㎜ 폭과 25㎛ 두께의 스트립으로 제조한 이중 공명기에 해당한다.

도2는 인장 응력하에서와/또는 리본 축에 수직인 자기장에서 어닐링된 비결정질 자기 뒤틀림성 리본의 자기 바이아스 장 H의 기능으로서 공명 주파수f _r과 공명 진폭 A1의 대표적 작용을 나타낸다. 표2에 표시된 특수한 예는 본 발명의 구성이고, 리본면에 실질적으로 수직으로 향하는 2 kOe의 자기장과 약 19N의 인장력의 동시 존재하에 360℃에서 2m/분의 속도로 계속적으로 어닐링(어닐링 시간 약 6초) 된 비결정질 Fe₄₀Ni₄₀Mo₄B₁₆합금 리본에서 연속적으로 절단한 38㎜ 길이, 6㎜ 폭과 25㎛ 두께의 두 스트립으로 제조한 이중 공명기에 해당한다.

도3은 개략적으로 예시된 자기 기계적 물품 감시 시스템과 관련하여, 본 발명에 의하여 제조된 공명기를 갖는 내부 성분이 보이도록 부분적으로 인장되는 하우징의 상부를 갖는 마아커를 나타낸다.

본 발명의 목적은 자기 뒤틀림성 합금과 이와같은 합금을 어닐링하는 방법을 제공하여 더 낮은 원료가로 전자물품 감시에 사용하는데 적합한 성질을 갖는 공명기를 제조하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 예비-자기화 장 H를 사용하거나 제거하므로서 활성화되거나 불활성화될 수 있는 직사각형의 연성 자기 뒤틀림성 스트립으로 절단될 수 있고, 여기후 높은 신호 진폭을 갖는 공명 주파수 f_r로 세로의 기계적 공명 진동을 나타내도록 활성화 조건에서 교번 자기장으로 여기시킬 수 있는 자기 기계적 감시 시스템의 마아커에 혼합하는 이러한 자기 뒤틀림성 비결정질 금속 합금을 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 공명 주파수로 경미한 변화만이 바이아스 장에서 주어진 변화를 일으키지만, 마아커 공명기가 활성화 조건에서 불활성화 조건으로 전환될 때, 공명 주파수가 현저하게 변화하는 이러한 합금을 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 자기 기계적 감시 시스템의 마아커에 혼합했을 때, 조화 감시 시스템에서 경보가 일어나지 않는 이러한 합금을 제공하는데 있다.

더우기, 본 발명의 목적은 자기 기계적 감시 시스템에 사용하는데 적합한 마아커를 제공하는데 있다.

또한, 본 발명의 목적은 이러한 비결정질 자기 뒤틀림성 합금을 조성하는 공명기를 갖는 마아커로 조작할 수 있는 자기 기계적 전자물품 감시 시스템을 제공하는데 있다.

상기 목적은 최소한 약 30 MPa 내지 약 400 MPa 이하의 인장 응력하에서 비결정질 자기 뒤틀림성 합금을 계속적으로 어닐링했을 때 성취되며, 선택적으로 리본 축에 수직인 자기장을 동시에 사용한다. 이것은 인장 응력을 사용하지 않고 더 큰 Co-함량과/또는 더 늦은 어닐링 속도만으로 가능하게 동일한 크기의 유도된 이방성이 이루어지게 한다. 따라서, 본 발명의 어닐링은 종래기술에서 가능한 것보다 더 낮은 원료와 더 낮은 어닐링 비용으로 자기 탄성 공명기를 제조할 수 있다.

이를 위해서 약 4% 이하의 코발트 함량을 갖는 Fe-Ni-비합금을 선택하는 것이 유리하다. 상술한 바와 같이 어닐링했을 때, 전자물품 감시 또는 확인 시스템의 마아커에 사용하는데 적합한 성질을 갖는 공명기를 생성시키는 합금 조성물의 일반식은 다음과 같다:

Fe_aCo_bNi_cM_dCu_eSi_xB_yZ_z

상기식에서 a, b, c, d, e, x, y와 z는 %이고, M은 Mo, Nb, Ta, Cr과 V로 구성되는 하나 또는 그 상의 원소이고, Z는 하나 또는 그 이상의 원소 C, P와 Ge이고, 여기서

20 ≤a ≤50,

0 ≤b ≤4,

30 ≤c ≤60,

1 ≤d ≤5,

0 ≤e ≤2,

0 ≤x ≤4,

10 ≤y ≤20,

0 ≤z ≤3,

14 ≤d+x+y+z ≤25로서,

a+b+c+d+e+x+y+z = 100이다.

바람직한 구성으로는 M을 선택한 그룹을 Mo, Nb와 Ta만으로 제한하고 다음과 같은 범위를 적용한다:

30 ≤a ≤45,

0 ≤b ≤3,

30 ≤c ≤55,

1 ≤d ≤4,

0 ≤e ≤1,

0 ≤x ≤3,

14 ≤y ≤18,

0 ≤z ≤2,

15 ≤d+x+y+z ≤22.

EAS용으로 특히 적합한 합금의 예를들면 Fe₃₃Co₂Ni₄₃Mo₂B₂₀, Fe₃₅Ni₄₃Mo₄B₁₈, Fe₃₆Co₂Ni₄₄Mo₂B₁₆, Fe₃₆Ni₄₆Mo₂B₁₆, Fe₄₀Ni₃₈Mo₃Cu₁B₁₈, Fe₄₀Ni₃₈Mo₄B₁₈, Fe₄₀Ni₄₀Mo₄B₁₆, Fe₄₀Ni₃₈Nb₄B₁₈, Fe₄₀Ni₄₀Mo₂Nb₂B₁₆, Fe₄₁Ni₄₁Mo₂B₁₆, Fe₄₅Ni₃₃Mo₄B₁₈이 있다.

다른 바람직한 구성으로는 M을 선택한 그룹을 Mo, Nb와 Ta만으로 한정하고 다음과 같은 범위를 적용한다:

20 ≤a ≤30,

0 ≤b≤4,

45 ≤c ≤60,

1 ≤d ≤3,

0 ≤e ≤1,

0 ≤x ≤3,

14 ≤y ≤18,

0 ≤z ≤2,

15 ≤d+x+y+z ≤20.

이러한 조성물의 예를들면 Fe₃₀Ni₅₂Mo₂B₁₆, Fe₃₀Ni₅₂Nb₁Mo₁B₁₆, Fe₂₉Ni₅₂Nb₁Mo₁Cu₁B₁₆, Fe₂₈Ni₅₄Mo₂B₁₆, Fe₂₈Ni₅₄Nb₁Mo₁B₁₆, Fe₂₆Ni₅₆Mo₂B₁₆, Fe₂₆Ni₅₄Co₂Mo₂B₁₆,Fe₂₄Ni₅₆Co₂Mo₂B₁₆과 기타 유사한 경우가 있다.

이러한 합금 조성물은 어닐링하는 동안 인장 강도 σ를 사용할 경우 360℃에서 6초 동안 어닐링했을 때 최소한 약 dH _k/dσ0.02 Oe/MPa인 유도된 이방성 자기장H _k가 증가하는 특징을 갖는다.

적당한 합금 조성물은 약 3ppm 이상 약 20ppm 이하의 포화 자기 뒤틀림을 갖는다. 상술한 바와 같이 어닐링했을 때, 특히 적합한 공명기는 약 6 Oe와 14 Oe 사이의 이방성 자기장H _k를 가지며, 이 때H _k는 포화 자기 뒤틀림이 낮으면 대응하여 더 낮게 된다. 이와같은 이방성 장은 활성 공명기가 자기화 장 강도, 즉 |df/dH| < 1200 Hz/Oe의 변화로 나타난 공명 주파수f _r에서 비교적 경미한 변화만을 나타내고, 동시에 마아커 공명기를 활성화 조건에서 불활성화 조건으로 전환했을 때 최소한 약 1.6 kHz로 공명 주파수f _r이 현저하게 변화하도록 충분히 높아야 한다. 바람직한 구성으로는 이러한 공명기 리본이 약 30㎛ 이하의 두께, 약 35-40㎜의 길이, 약 13㎜ 이하, 바람직하기로는 약 4-8㎜, 즉 예를들어 6㎜의 폭을 갖는 것이다.

어닐링 공정에서는 자기 합금이 강자성으로 포화되는 자기장까지 선형인 이력 루프를 가져온다. 결과적으로 교번 장에서 여기되었을 때 물질은 실제적으로 조화물을 생성하지 않으며, 따라서 조화 감시 시스템에서 경보를 일으키지 않는다.

또한 유도된 이방성의 변화와 인장 응력으로의 자기-음향성의 해당 변화를 유리하게 사용하여 어닐링 공정의 제어를 할 수 있다. 이를 위하여 리본이 로를 통과한 후 자성(예를들어 이방성 장, 투과도 또는 주어진 바이아스의 음속)을 측정한다. 측정하는 동안 리본은 정지 루프에 의하여 정렬될 수 있는 기정 응력 또는 바람직하기로는 응력 유리하에 있어야 한다. 이러한 측정 결과는 이들이 짧은 공명기에서 일어날 때, 자기 소거 효과를 혼합하도록 보정할 수 있다. 나온 시험 파라미터가 예정된 값에서 벗어날 때, 장력을 증가 또는 감소시켜서 원하는 자성을 얻도록 한다. 이러한 피드백 시스템은 자성과 자기 탄성으로 인한 어닐링 시간과 온도에서의 조성 변동, 두께 변동과 편차의 영향을 효과적으로 보상할 수 있다. 그 결과, 상기 영향 파라미터로 인하여 비교적 강한 변동을 받는 어닐링된 리본이 상당한 일관성과 재생성을 나타내는 것이다.

본 발명을 첨부된 도면으로 예시하여 설명하면 다음과 같다:-

EAS 시스템

도3에 표시된 자기 기계적 감시 시스템은 공지의 방법으로 조작한다. 시스템은 마아커(1)와 더불어, 예를들어 60 Hz의 반복률로 58 kHz와 같은 예정된 주파수에 따라 RF 버스트를 방출(전송)하고, 연속 버스트 사이에서 중단하는 코일 또는 안테나(6)를 갖는 전송기 회로(5)를 갖는다. 전송기 회로(5)는 수신 코일 또는 안테나(8)를 갖는 수신기 회로(7)을 제어하는 동기화 회로(9)에 의하여 상술한 RF 버스트를 방출하도록 제어한다. 전송기 회로(5)가 활성화되었을 때, 활성화된 마아커(1)(즉, 자기화 바이아스 요소(4)를 갖는 마아커)가 코일(6)과 (8) 사이에 존재하면 코일(6)에 의하여 방출된 RF 버스트는 58 kHz의 공명 주파수(이 실시예에서)로 진동하도록 공명기(3)를 구동시키므로 지수가 감소하는 초기에 높은 진폭을 갖는 신호를 발생시킨다.

동기화 회로(9)는 수신기 회로(7)를 제어하여 수신기 회로(7)를 활성화하므로서 제일과 제이 검출창내에서 예정된 주기 58 kHz(이 실시예에서)에서 신호를 찾도록 한다. 대표적으로 동기화 회로(9)는 전송기 회로(5)를 제어하여 약 1.6ms의 지속시간을 갖는 RF 버스트를 방출하고, 이 경우에 동기화 회로(9)는 RF 버스트 말기 후 약 0.4ms로 시작하는 약 1.7ms 지속시간의 제일 검출 창에서 수신기 회로(7)를 활성화하게 된다. 이 제일 검출창에서 수신기 회로(7)는 58 kHz와 같은, 존재하는 예정된 주파수로 신호를 집적한다. 제이 검출 창에서 나온 집적 신호와 확실하게 비교될 수 있는 이러한 제일 검출 창에서의 집적 결과를 산출하기 위하여, 마아커(1)에 의하여 방출되는 신호가 존재하면 비교적 높은 진폭을 가져야 한다.

본 발명에 따라 제조된 공명기(3)가 18 mOe에서 전송기 회로(5)에 의하여 구동될 때, 수신기 코일(8)은 100선회의 밀접 결합된 픽업 코일이고, 신호 진폭은 약 1.6ms 지속 시간의 교류 여기 버스트 후에 약 1ms에서 측정되고, 이는 제일 검출 창에서 최소한 1.5 nWb의 진폭을 발생시킨다. 일반적으로 A1∝NㆍWㆍH_ac여기서 N는 수신기 코일의 선 회수이고, W는 공명기의 진폭이고, H_ac는 여기(구동) 장의 장 세기이다. A1을 발생시키는 이들 인자의 특수한 조합은 확실하지 않다.

따라서, 동기화 회로(9)는 수신기 회로(7)를 불활성화한 다음 상술한 RF 버스트의 말기 후 약 6ms에서 시작하는 제이 검출 창에서 수신기 회로(7)를 재활성화한다. 제이 검출창에서 수신기 회로(7)는 예정된 주파수(58 kHz)에서 적당한 진폭을 갖는 신호를 다시 찾는다. 마아커(1)에서 방사한 신호가 존재하면 감쇠 진폭을가짐을 알 수 있기 때문에 수신기 회로(7)는 제일 검출 창에서 검출된 신호의 진폭과 제이 검출 창에서 검출된 58 kHz 신호의 진폭을 비교한다. 진폭 차이가 지수 감쇠 신호와 일치하면 실제 신호는 코일(6)과 (8) 사이에 존재하는 마아커(1)에서 방사되고, 따라서 수신기 회로(7)는 경보기(10)를 활성화하는 것이 예상된다.

이러한 접근접으로 마아커(1) 이외의 RF 급원으로부터 스퓨리오스 RF 신호로 인하여 오경보를 확실하게 피할 수 있다. 이러한 스퓨리오스 신호는 비교적 일정한 진폭을 나타내게 되므로 이러한 신호가 각 제일 및 제이 검출 창에 집적되더라도 이들은 비교 기준을 만나지 않게 되고, 수신기 회로(7)가 경보(10)를 일으키지 않게 된다.

더우기, 바이아스 장 H_b가 제거될 때, 최소한 1.2 kHz인 공명기(3)의 공명 주파수 f_r에서 상기한 바와 같이 현저한 변화로 인하여 마아커(1)가 불활성화될 때, 불활성화가 완전하게 효과적이 아니더라도 마아커(1)는 신호를 방출하지 않으며, 전송기 회로(5)에 의하여 예정된 공명 주파수에서 여기되더라도 이에 수신기 회로(7)는 동조된다.

합금 제조

Fe-Co-Ni-M-Cu-Si-B(여기서 M = Mo, Nb, Ta, Cr 시스템)내의 비결정질 금속 합금은 대표적으로 20㎛ 내지 25㎛ 두께의 얇은 리본과 같은 용융물을 급냉시켜서 제조한다. 여기서 비결정질은 리본이 50% 이하의 결정성 분획을 나타내는 것을 뜻한다. 표Ⅰ에는 조사된 조성과 그들의 기본 성질이 열거되어 있다. 조성물은 공칭일 뿐이고 개개의 농도는 이 공칭가에서 약간 벗어나고 합금은 용융과정과 원료의 순도에 인하여 탄소와 같은 불순물을 함유할 수 있다. 더우기, 예를들어 1.5% 이하의 붕소를 탄소로 대치시킬 수 있다.

모두 주조물은 통상적으로 이용하는 원료를 사용하여 최소한 3㎏의 주괴로 제조된다. 실험에 사용되는 리본 6㎜의 폭을 갖고 이들의 최종 폭으로 직접 주조하거나 아니면 더 넓은 리본으로 절단한다. 리본은 강하고, 경질이고 연성을 가지며, 광택있는 최상면과 약간 덜한 광택의 저면을 갖는다.

어닐링

리본은 약 0.5 N 내지 약 20 N 범위의 리본 축에 따라 인장력을 사용하여 오븐을 통하여 한 릴에서 다른 릴로 합금 리본을 운반하여 연속 모드로 어닐링한다.

동시에 영구 자석에 의하여 생성된 약 2 kOe의 자기장을 길이 리본 축에 수직으로 어닐링하는 동안 사용한다. 자기장은 리본 축에 가로로, 즉 종래 지침에 따라 리본 폭을 교차하여 향하거나, 아니면 자기장이 리본면에 수직인 실질적 성분을 나타내도록 향한다. 후자 방법은 더 높은 신호 진폭의 장점을 제공한다. 두 경우에 어닐링 장은 길이 리본 축에 수직이다.

다음에 주어진 대부분의 실시예들에서 필히 리본면에 수직으로 향한 어닐링 장으로 얻을지라도 주요 결론은 통상 "가로"어닐링과 자기장이 존재하지 않는 어닐링에 잘 사용할 수 있는 것이다.

어닐링은 주위 분위기에서 행한다. 어닐링 온도는 약 300℃ 내지 약 420℃의 범위내에서 선택한다. 어닐링 온도의 하한선은 고유 응력의 생성 부분을 구원하거나 자기 이방성을 유도하기 위하여 충분한 열에너지를 공급하는데 필요한 약 300℃이다. 어닐링 온도의 상한선은 결정화 온도에서 나온다. 어닐링 온도의 다른 상한선은 리본이 열처리 후 짧은 스트립으로 절단하는데 충분한 연성을 갖는 요구 조건에서 나온다. 최고의 어닐링 온도는 이들 재료의 특징적 온도의 최저치보다 더 낮은 것이 바람직하다. 따라서, 대표적으로 어닐링 온도의 상한선은 약 420℃이다.

리본을 처리하는데 사용되는 로는 약 20㎝ 길이의 고온 지역을 갖는 약 40㎝ 길이이며, 여기서 리본은 상기 어닐링 온도를 받는다. 어닐링 속도는 약 6초의 어닐링 시간에 해당하는 2m/분이다.

리본은 직방향으로 오븐을 통하여 운반되고 연신된 어닐링 기구에 의하여 지지되어 자기장에 의하여 리본에 미치는 토크와 힘으로 인하여 리본의 비틀림으로 굽어지는 것을 피한다.

시험

어닐링된 리본을 대표적으로 38㎜ 길이의 단편으로 절단한다. 이들 시료를 사용하여 이력 루프와 자기 탄성을 측정한다. 이를 위하여 두 공명기 편을 함께 놓아서 이중 공명기를 형성시킨다. 이와 같은 이중 공명기는 필히 두배의 리본 폭을 갖는 단일 공명기와 동일한 성질을 갖고, 감소된 크기의 장점을 갖는다(참조 허저 공동출원특허번호 09/247,688, 1999. 02. 10 출원, "Magneto-Acoustic Marker for Electronic Surveillance Having Reduced Size and High Amplitude", PCT WO00/48152로 공고). 본 실시예에서 이러한 형태의 공명기를 사용하더라도 본 발명은 특수한 형의 공명기에서 한정되지 않을 뿐 아니라, 약 20㎜와 100㎜ 사이의 길이를 갖고 약 1과 15㎜ 사이의 폭을 갖는 공명기(단일 또는 다중)로 다른 형으로 사용한다.

이력 루프는 약 30 Oe 최대 진폭의 사인 모양 장에서 60 Hz의 주파수로 측정한다. 이방성 장은 B-H 루프가 선형 작용을 나타내고 자기화가 이의 포화치에 도달하는 자기장으로서 정의된다. 리본 축에 수직인 용이 자기축(또는 용이면)에 있어 가로 이방성 장은 이방성 상수K _u와 다음과 같은 관계식을 갖는다.

H _k= 2K _u/J_s

상기식에서 J_s는 포화 자기화이고,K _u는 자기 용이 축에 평행하는 방향에서 용이 축에 수직인 방향으로 자기화 벡터로 선화하기 위하여 체적 단위당 필요되는 에너지이다.

이방성 장은 두 기여부분, 즉

H _k=H _demag+H _a

로 필히 구성되며, 이 식에서H _demag는 자기 소거 작용에 기인하고H _a는 열처리에 의하여 유도되는 이방성의 특징을 나타낸다. 합당한 공명 성질의 예비-조건은H _k>H _demag인H _a> 0이다. 조사된 길이 38㎜와 폭 6㎜의 이중 공명기 시료의 자기 소거 장은 대표적으로H _demag3-3.5 Oe이다.

공명 주파수f _r과 공명 진폭 A1과 같은 자기-음향성은 약 18 mOe의 최고 진폭을 갖는 공명 주파수에서 진동하는 작은 교번 자기장의 음조 버스트로 새로 공명진동을 일으켜서 리본 축에 따라 중복된 직류 바이아스 장의 함수로서 측정한다. 버스트의 온-타임은 버스트 사이에서 약 18ms 중단하는 약 1.6ms이다.

연신되는 스트립의 세로 기계 진동의 공명 주파수는 다음식으로 표시된다

상기식에서 L은 시료길이이고 E_H는 바이아스 장 H에서 탄성 계수이고 ρ는 질량 밀도이다. 길이 38㎜ 시료에 있어서 공명 주파수는 대표적으로 바이아스 장 강도에 따라 약 50 kHz와 60 kHz 사이에 있다.

자기탄성 상호작용을 통한 기계 진동과 연관되는 기계적 응력은 바이아스 장 H에 의하여 측정된 이의 평균치 J_H주변에서 자기화 J의 주기적 변화를 발생시킨다. 자기 선속의 관련 변화는 약 100회선을 갖는 리본 주변의 밀접 결합 픽업 코일에서 측정된 전자기력(emf)을 유도한다.

EAS 시스템에서 마아커의 자기-음향 반응은 잡음 수준을 감소시키는 음조 버스트 사이에서 삭제되는 것이 유리하며, 따라서, 예를들어 넓은 게이트가 확립되도록 한다. 신호는 여기후, 즉 음조 버스트가 과도할 때 지수로 감쇠한다. 감쇠(또는 "링-다운") 시간은 합금 조성과 열처리에 따르고 약 수백 마이크로초 내지 수 밀리초 이하의 범위를 갖는다. 최소한 약 1ms의 충분히 긴 감쇠시간은 음조 버스트 사이에서 충분한 신호 확인을 제공하는데 중요하다.

그러므로 유도된 공명 신호 진폭은 여기후 약 1ms로 측정되며; 이 공명 신호 진폭은 다음에서 A1으로 표시된다. 따라서, 여기서 측정된 높은 A1 진폭은 양호한자기-음향 반응과 낮은 신호 감쇠를 동시에 나타낸다.

공명기 성질의 특징을 나타내기 위하여f _r대 H_bias곡선의 특징적 파라미터를 다음과 같이 구한다:

ㆍH _maxA1 진폭이 최대를 나타내는 바이아스 장

ㆍA1_Hmax H=H _max에서 A1 진폭

ㆍt_R.HmaxH_max에서 링-다운 시간, 즉 신호가 최초값의 약 10%로 감소하는 시간 간격

ㆍ|df _r/dH|H=H _max에서f _r(H)의 기울기

ㆍH _min공명 주파수f _r이 최대를 나타내고, 즉 |df _r/dH| = 0인 바이아스 장

ㆍA1_Hmin H=H _min에서 A1 진폭

ㆍt_R.HminH_min에서 링-다운 시간, 즉 신호가 최초값의 약 10%로 감소하는 시간 간격

결과

표Ⅱ에서 통상의 자기-음향 마아커의 주조 상태로 사용되는 비결정질 Fe₄₀Ni₃₈Mo₄B₁₈합금의 성질을 열거한다. 주조 상태로서의 결점은 조화 시스템에서 원치 않는 경보를 일으키는 비-선형 B-H 루프에 있다. 후자의 결합은 선형 B-H 루프를 발생시키는 리본 축에 수직인 자기장에서 어닐링하여 극복할 수 있다. 그러나, 이와 같은 통상의 열처리 후 공명기 성질은 약간 붕괴한다. 따라서, 신호의 링-다운 시간은 낮은 A1 진폭을 가져오도록 충분히 감소시켜야 한다. 더우기, A1 진폭이 최대로 갖는 바이아스 장H _max에서 기울기 |df _r/dH|는 수천 Hz/Oe의 원치않는 높은 값으로 증가한다.

본 발명자들은 상술한 어려운 점들은 예를들어 20 N의 인장력을 어닐링하는 동안 사용하면 극복할 수 있음을 알았다. 이러한 인장력은 자기장과 더불어 또는 자기장 대신에 사용할 수 있다. 한 경우에 동일한 Fe₄₀Ni₃₈Mo₄B₁₈의 결과는 표Ⅲ에 열거된 우수한 공명기 성질을 갖는 선형 B-H 루프이다. 순수한 장 어닐링과 비교할 때 인장 응력하의 어닐링은 주조 합금으로 사용한 일반 마아커를 현저하게 초과하는 높은 신호 진폭 A1(긴 링-다운 시간을 나타낸다)을 발생시킨다. 응력도 또한 어닐링된 시료에서 약 1000 Hz/Oe 이하의 낮은 기울기를 적당히 나타낸다.

다른 실시예에서는 Fe₄₀Ni₄₀Mo₄B₁₆합금에 대하여 표Ⅳ에 표시했다. 또한 어닐링하는 동안 인장력은 자기장 어닐링 시료와 비교하여 공명기 성질을 현저하게 개량한다(즉, 더 높은 진폭과 더 낮은 기울기). 이방성 장H _k는 사용된 인장 응력으로 선형으로 증가한다. 즉

상기식에서 인장 응력 σ과 인장력 F는 다음과 같은 관계식을 갖는다.

여기서 t는 리본 두께이고 w는 리본 폭이다(예를들면 6㎜ 폭과 25㎛ 두께의 리본에 있어서 10 N의 인장력은 67 MPa의 인장 응력에 해당한다).

예를들여, 도1은 본 발명에 따라 어닐링된 공명기의 대표적 선형 이력 루프를 나타낸다. 해당 자기-음향 반응은 도2에 표시했다. 도면은 공명기의 자기-음향 성질에 영향을 미치는 기본 메카니즘을 예시한 것이다. 따라서, 바이아스 장H에서 공명 주파수f _r의 진동은물론, 공명 진폭 A1의 해당 진동은 자기장과의 자기화 J의 진동과 크게 서로 관련된다. 따라서,f _r이 최소치를 갖는 바이아스 장 H_min는 이방성 장H _k에 밀접하게 위치한다. 더우기, 진폭이 최대인 바이아스 장H _max는 이방성 장H _k와 서로 관련된다. 본 발명의 실시예들에 있어서 대표적으로H _max 0.4 - 0.8H _k와H _min 0.8 - 0.9H _k이다. 더우기 기울기 |df _r/dH|는 이방성 장H _k의 증가로 감소한다. 또한 링-다운 시간은H _k(참조 표Ⅳ)로 현저하게 증가하기 때문에 높은H _k는 신호 진폭 A1에 유리하다. 적당한 공명기 성질은 이방성 장H _k가 약 6-7 Oe를 초과할 때 알 수 있다.

인장 응력에 관한 공명기 성질의 종속성을 사용하여 응력 수준의 적당한 선택에 의하여 특수한 공명기 성질을 맞출 수 있다. 특히, 인장력을 사용하여 밀폐된 루프 공정에서 어닐링 공정을 제어할 수 있다. 예를들면,H _k을 어닐링후 계속적으로 측정할 때 인장 응력을 조정하여 최고의 구성방법으로 원하는 공명기 성질을 얻기 위하여 그 결과가 되돌아 올 수 있다.

토의결과 이방성 장H _k가 어닐링 응력으로 증가하면, 즉 dH_k/dσ>0이면 응력 어닐링만이 유리함을 분명히 알 수 있다. 이것은 철 함량이 약 30% 이하(참조 1998. 08. 13자 출원된 공동특허출원번호 09/133,172, US 6,254,695로 특허)일 때 Fe-Co-Ni-Si-B형 비결정질 합금의 경우에 볼 수 있다. 표Ⅴ에서는 몇몇 비교예의 결과를 열거한다(표Ⅰ에서의 합금 1과 2). 합금 번호 1과 2에 표시된 결과는 이들이 현재 전자물품 감시용 마아커에 사용되는 선형 공명기의 대표적인 것이다(공동특허출원번호 09/133,172(US 6,254,695로 특허)와 출원번호 09/247,6889PCT WO00/48152로 공고)). 그러나, 이들 합금은 본 발명의 범위밖에 있으며 그 이유는 이들이 원료 가격을 인상시키는 약 10% 이상의 상당한 Co-함량을 갖기 때문이다.

본 발명의 범위외의 다른 실시예는 표Ⅰ의 합금번호 3과 4로 표시된다. 표Ⅴ에서 입증되는 바와 같이 합금번호 3은 dH _k/dσ의 음의 값을 가지며, 즉 응력 어닐링의 부적합한 공명기 성질을 가져온다(낮은 링-다운 시간과 결과적으로, 이 실시예의 낮은 진폭). 합금번호 4는 어닐링후까지도 비-선형 B-H 루프를 가지기 때문에 부적합하다.

표Ⅳ에서 다른 본 발명의 실시예를 열거한다(표Ⅰ에서의 합금 5 내지 21). 이들 실시예 모두는 응력(dH _k/dσ>0)하의 어닐링에 의하여H _k가 현저하게 증가함을 나타내고, 결과적으로 H_max에서 상당히 낮은 기울기와 높은 수준의 신호 진폭 A1에 의하여 적당한 공명기 성질을 가져온다. 이들 합금은 약 30% 이상의 철 함량, 낮거나 또는 영의 Co-함량을 갖는 특징이 있고 Fe, Co, Ni, Si와 B 이외에 Mo, Nb와/또는 Cr과 같은 주기율표 Vb와/또는 VIb족에서 선택한 최소한 하나의 원소를 함유한다. 특히 이러한 환경은 dH _k/dσ>0, 즉 합금이 전혀 또는 무시할 정도의 Co양을 함유하더라도 적당한 값으로 인장 응력 어닐링에 의하여 공명기 성질을 현저하게 개량할 수 있게 한다. 주기율표 Vb와/또는 Vib족 원소의 이점은 적당한 합금 5 내지 21, 예를들어 합금번호 3(Fe₄₀Ni₃₈Si₄B₁₈)과 비교할 때 가장 잘 입증된다.

합금번호 7 내지 21은 이들이 H_max에서 1000 Hz/Oe 이하의 기울기를 나타내기 때문에 특히 적합하다. Mo와 Nb를 사용하면 Cr만을 첨가할때보다 기울기를 감소시키는데 더 효과적임이 명백하다. 또한 B-함량을 감소시키면 공명기 성질에 더욱 유익하다.

표Ⅵ에 표시된 모든 실시예들에서 리본면에 수직인 자기장을 인장 응력과 함께 사용한다. 더욱 유사한 결과는 자기장의 존재없이 얻을 수 있다. 이것은 투자면에서 보아 어닐링 장치에 유리하다(고가의 마그네트 불필요). 응력 어닐링의 다른 장점은 어닐링 온도가 합금 활용을 용이하게하는 합금의 퀴리 온도(이 경우에 자기장 어닐링은 이방성을 유도하지 않거나 매우 낮은 이방성만을 유도한다)보다 더 높은데 있다. 다른 한편으로, 자기장의 동시 존재는 원하는 공명기 성질을 성취하는데 필요되는 응력 크기를 감소시키는데 유리하다.

약 4%의 높은 양의 Mo을 함유하는 합금으로 일어나는 한가지 문제점은 이들 합금이 주초의 어려움을 나타내는 경향에 있다. 이러한 어려움은 Mo-함량을 약 2%로 감소시키거나 또는 Nb로 대치할 때 크게 제거할 수 있다. 더우기, 더 낮은 Mo와/또는 Nb-함량은 원료 비용을 감소시키며, 그러나 Mo의 감소는 어닐링 응력에 대한 감응도를 감소시키고 예를들어 더 높은 기울기를 가져온다. 이것은 약 600-700 Hz/Oe 이하의 기울기가 공명기에서 필요할 때 불리하다. 감소된 Mo-함량의 기울기 강화작용은 30%와 그 이하로 Fe-함량을 감소시키므로서 상쇄시킬 수 있다. 이러한 것은 각각 표Ⅰ과 Ⅵ의 실시예 18 내지 21에 해당하는 합금 시리즈 Fe_30-xNi_52+xMo₂B₁₆(x=0, 2, 4와 6%)에 의하여 증명된다. 이러한 낮은 철 함량 합금은 인장 응력 어닐링, 즉 dH _k/dσ≥0.050 Oe/MPa에 대하여 매우 높은 감응도를 가지며, 이는 더 높은 Fe-함량에서 Mo와/또는 Nb의 상당히 더 높은 함량(참조 각 표Ⅰ과 표Ⅵ의 실시예 13과 15)으로만 성취할 수 있다.

따라서, 이러한 낮은 철-함량 합금의 응력 어닐링은 특히 적합한 공명기를 가져오는 700 Hz/Oe보다 현저히 적은 낮은 기울기를 가져온다. 어닐링 응력 dH _k/dσ에 대한 감응도가 높을수록 부가적 자기장 유도 이방성은 낮은 기울기에 있어 필요없게 된다(이는 이들 합금의 퀴리 온도가 약 230℃ 내지 약 310℃ 범위에 있고, 어닐링 온도보다 훨씬 더 낮아야함을 주의해야 한다. 따라서, 자기장 유도 이방성은 본 연구에서는 무시할 수 있다). 따라서, 이러한 낮은 철 함량 이방성은 어닐링하는 동안 자기장이 동시에 존재하지 않아도 알맞게 낮은 기울기를 일으키기 때문에 바람직한 것이며, 이는 어닐링 장치 가격을 현저히 감소시킨다.

요약하면 x = -10 내지 3, y=0 내지 4인 Fe_30+xNi_52-y-xCo_yMo₂B₁₆또는 Fe_30+xNi_52-y-xCo_yMo₁B₁₆과 같은 낮은 철 함량과 낮은 Mo/Nb-함량 합금 조성물은 이들의양호한 주조성, 감소된 원료가와 응력 어닐링에 대한 이들의 높은 감응도(즉 360℃에서 6초 동안 어닐링했을 때 dH_k/dσ≥0.05 Oe/MPa)때문에 특히 적합하며, 이는 부가적인 자기장을 사용하지 않아도 적당한 어닐링 응력 크기에서 특히 낮은 기울기를 가져온다. 이러한 모든 요인은 어닐링 장치 비용을 감소시키게 한다.

표Ⅰ

조사된 합금 조성물과 이들의 기본 자기 성질(J_s포화 자기화 λ_s포화 자기 뒤틀림, T_c퀴리 온도)

표Ⅱ(종래기술)

주조상태로서 리본 폭에 교차하여 향하고(가로장) 리본면에 수직으로 향한(수직장) 자기장에서 360℃에서 6초 동안 어닐링한 후의 Fe₄₀Ni₃₈Mo₄B₁₈의 자기-음향 성질.

표Ⅲ

자기장없이와 리본 폭을 교차하여 향하거나(가로장 어닐링) 리본면에 수직으로 향한(수직장 어닐링) 자기장으로 약 20 N의 인장력하에 360℃에서 6초 동안 어닐링한 후의 Fe₄₀Ni₃₈Mo₄B₁₈의 자기-음향 성질.

표Ⅳ

리본면에 수직으로 향한 자기장으로 강도 F의 인장력하에 360℃에서 6초 동안 어닐링한 후의 Fe₄₀Ni₄₀Mo₄Bi₁₆의 자기-음향 성질.

표Ⅴ(비교예)

리본면에 수직으로 향한 자기장에서 강도 F의 인장력하에 360℃에서 6초 동안 어닐링한 후의 표Ⅰ에 열거된 합금번호 1 내지 4의 자기-음향 성질.

표Ⅵ(본 발명의 실시예)

리본면에 수직으로 향한 자기장에서 20 N의 인장력하에 360℃에서 6초 동안 어닐링한 후 표Ⅰ에 열거된 합금번호 5 내지 17의 자기-음향 성질

Claims

(a) 합금 조성물과 세로축을 갖는 비어닐링된 비결정질 합금 물품을 공급하는 단계;

(b) 상기 비어닐링된 비결정질 합금 물품을 상승된 온도지역에 배치하여 이 비결정질 합금을 상기 세로축에 따라 인장력을 받도록 하여 어닐링된 물품을 생성시키는 단계;

(c) 어닐링된 물품이 상기 인장 응력으로 인하여 상기 세로축에 수직인 유도된 자기 용이면을 갖도록 최소한 철과 니켈 및 주기율표 Vb와 VIb족에서 선택한 최소한 하나의 원소를 함유하는 상기 합금 조성물을 선택하는 단계

로 이루어지는 자기 비결정질 합금 물품의 어닐링 방법.
제1항에 있어서, 단계(a)에서 비어닐링된 비결정질 합금 물품으로서, 연속적인 비어닐링된 비결정질 합금 리본을 공급하고, 단계(b)에서 상기 상승된 온도 지역으로 상기 리본을 계속적으로 운반하는 것으로 이루어지는 어닐링 방법.
제2항에 있어서, 상기 어닐링된 물품이 자기성질을 가지고, 단계(b)에서 피드백 제어 루프로 상기 인장 응력을 조정하여 예정된 값으로 상기 자기성질을 조정하도록 하는 어닐링 방법.
제1항에 있어서, 단계(b)에서 세로축에 수직인 방향으로 자기장을 상기 비결정질 합금 물품에 사용하는 어닐링 방법.
제4항에 있어서, 상기 비결정질 합금 물품이 물품 평면을 갖고, 최소한 2 kOe의 크기를 갖는 상기 자기장과 물품 평면에 수직인 상당한 성분을 사용하는 어닐링 방법.
제1항에 있어서, 단계(b)에서 상기 비결정질 합금 물품을 어닐링하여 이 어닐링된 물품을 강자성으로 포화하는 자기장까지 선형인 이력 루프에 의하여 특징을 갖는 자기작용을 상기 어닐링된 물품에 부여하게 하는 어닐링 방법.
제1항에 있어서, 단계(c)에서 Fe_aCo_bNi_cM_dCu_eSi_xB_yZ_z(여기서 a, b, c, d, e, x, y와 z는 %이고, M는 Mo, Nb, Ta, Cr과 V에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, Z는 C, P와 Ge에서 선택한 최소한 하나의 원소이며, a는 약 20 내지 약 50 사이이고, b는 약 4이거나 그 이하이며, c는 약 30 내지 약 60 사이이고, d는 약 1 내지 약 5 사이이고, e는 약 0 내지 약 2 사이이며, x는 약 0 내지 약 4 사이이고, y는 약 10 내지 약 20 사이이고, z는 약 0 내지 약 3 사이이고, d+x+y+z는 약 14 내지 약 25 사이이며, a+b+c+d+e+x+y+z=100)와 같은 상기 비결정질 합금 조성물을 선택하는 어닐링 방법.
제1항에 있어서, 단계(c)에서 Fe_aCo_bNi_cM_dCu_eSi_xB_yZ_z(여기서 a, b, c, d, e, x, y와 z는 %이고, M는 Mo, Nb와 Ta에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, Z는 C, P와 Ge에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, a는 약 30 내지 약 45 사이이고, b는 약 3이거나 그 이하이고, c는 약 30 내지 약 55 사이이고, d는 약 1 내지 약 4 사이이고, e는 약 0 내지 약 1 사이이고, x는 약 0 내지 약 3 사이이고, y는 약 14 내지 약 18 사이이고, z는 약 0 내지 약 2 사이이며, d+x+y+z는 약 15 내지 약 22 사이이고, a+b+c+d+e+x+y+z=100)와 같은 상기 비결정질 합금 조성물을 선택하는 어닐링 방법.
제1항에 있어서, 단계(c)에서 Fe_aCo_bNi_cM_dCu_eSi_xB_yZ_z(여기서 a, b, c, d, e, x, y와 z는 %이고, M는 Mo, Nb와 Ta에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, Z는 C, P와 Ge에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, a는 약 20 내지 약 30 사이이고, b는 약 4이거나 그 이하이고, c는 약 45 내지 약 60 사이이고, d는 약 1 내지 약 3 사이이고, e는 약 0 내지 약 1 사이이고, x는 약 0 내지 약 3 사이이고, y는 약 14 내지 약 18 사이이며, z는 약 0 내지 약 2 사이이고, d+x+y+z는 약 15 내지 약 20 사이이며, a+b+c+d+e+x+y+z=100)와 같은 상기 비결정질 합금 조성물을 선택하는 어닐링 방법.
제1항에 있어서, 상기 비결정질 합금 조성물을 Fe₃₃Co₂Ni₄₃Mo₂B₂₀,Fe₃₅Ni₄₃Mo₄B₁₈, Fe₃₆Co₂Ni₄₄Mo₂B₁₆, Fe₃₆Ni₄₆Mo₂B₁₆, Fe₄₀Ni₃₈Cu₁Mo₃B₁₈, Fe₄₀Ni₃₈Mo₄B₁₈, Fe₄₀Ni₄₀Mo₄B₁₆, Fe₄₀Ni₃₈Nb₄B₁₈, Fe₄₀Ni₄₀Mo₂Nb₂B₁₆, Fe₄₁Ni₄₁Mo₂B₁₆과 Fe₄₅Ni₃₃Mo₄B₁₅(여기서 아래 수치는 %이고, B의 1.5% 이하는 C로 대치할 수 있다)에서 선택한 어닐링 방법.
제1항에 있어서, 단계(c)에서 상기 비결정질 합금 조성물을 Fe₃₀Co₅₂Mo₂B₁₆, Fe₃₀Ni₅₂Nb₁Mo₁B₁₆, Fe₂₉Ni₅₂Nb₁Mo₁Cu₁B₁₆, Fe₂₈Ni₅₄Mo₂B₁₆, Fe₂₈Ni₅₄Nb₁Mo₁B₁₆, Fe₂₆Ni₅₆Mo₂B₁₆, Fe₂₆Ni₅₄Co₂Mo₂B₁₆, Fe₂₄Ni₅₆Co₂Mo₂B₁₆(여기서 아래 수치는 %이고, B의 1.5% 이하는 C로 대치할 수 있다)에서 선택하는 어닐링 방법.
제1항에 있어서, 단계(a)에서 상기 비어닐링된 비결정질 합금 물품으로서 약 1㎜와 약 14㎜ 사이의 폭과 약 15㎛과 약 40㎛ 사이의 두께를 갖는 비어닐링된 비결정질 합금 리본을 공급하고, 단계(c)에서 상기 어닐링된 물품이 이 어닐링된 물품을 불연속의 연신된 스트립으로 절단되게 하는 연성을 갖는 상기 합금 조성물에서 선택하는 어닐링 방법.
(a) 합금 조성물과 세로축을 갖는 최소한 하나의 비어닐링된 비결정질 합금 물품을 공급하는 단계;

(b) 상기 최소한 하나의 비어닐링된 비결정질 합금 물품을 상승된 온도 지역에 배치하여 이 최소한 하나의 비결정질 합금 물품이 상기 세로축에 따라 인장 능력을 받는 동안 최소한 하나의 어닐링된 물품을 생성시키는 단계;

(c) 상기 최소한 하나의 어닐링된 물품이 상기 인장 응력으로 인하여 상기 세로축에 수직인 유도된 자기 용이면을 갖도록 최소한의 철과 니켈 및 주기율표 Vb와 VIb족에서 선택한 최소한 하나의 원소를 함유하는 상기 합금 조성물을 선택하는 단계;

(d) 바이아스 자기장을 발생시키는 자기화 강자성 바이아스 요소에 인접하여 상기 최소한 하나의 어닐링된 물품을 배치하는 단계;

(e) 상기 최소한 하나의 어닐링된 물품과 바이아스 요소를 하우징으로 캡슐화하는 단계

로 이루어지는 자기기계적 전자 물품 감시 시스템에 사용하는 마아커의 제조방법.
제13항에 있어서, 단계(d)에서 상기 자기화 강자성 바이아스 요소에 인접하여 상기 두 어닐링된 물품을 겹침하여 배치하고, 단계(e)에서 상기 두 어닐링된 물품과 바이아스 요소를 하우징으로 캡슐화하는 마아커의 제조방법.
제13항에 있어서, 단계(a)에서 상기 최소한 하나의 비어닐링된 비결정질 합금 물품을 공급하고, 단계(b)에서 상기 상승된 온도 지역으로 상기 리본을 계속적으로 운반하는 것으로 이루어지는 마아커의 제조방법.
제15항에 있어서, 상기 어닐링된 물품이 자기 성질을 가지고, 단계(b)에서 피드백 제어 루프로 상기 인장 응력을 조정하여 예정된 값으로 상기 자기 성질을 조정하도록 하는 마아커의 제조방법.
제13항에 있어서, 단계(b)에서 세로축에 수직인 방향으로 자기장을 상기 최소한 하나의 비결정질 합금 물품에 사용하는 마아커의 제조방법.
제17항에 있어서, 상기 최소한 하나의 비결정질 합금 물품이 물품 평면을 갖고, 최소한 2 kOe의 크기를 갖는 상기 자기장과 물품 평면에 수직인 상당한 성분을 사용하는 마아커의 제조방법.
제13항에 있어서, 단계(b)에서 상기 최소한 하나의 비결정질 합금 물품을 어닐링하여 이 어닐링된 물품을 강자성으로 포화하는 자기장까지 선형인 이력 루프에 의하여 특징을 갖는 자기작용을 상기 최소한 하나의 어닐링된 물품에 부여하게 하는 마아커의 제조방법.
제13항에 있어서, 단계(c)에서 Fe_aCo_bNi_cM_dCu_eSi_xB_yZ_z(여기서 a, b, c, d, e, x, y와 z는 %이고, M는 Mo, Nb, Ta, Cr과 V에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, Z는 C, P와 Ge에서 선택한 최소한 하나의 원소이며, a는 약 20 내지 약 50 사이이고, b는 약 4이거나 그 이하이며, c는 약 30 내지 약 60 사이이고, d는 약 1 내지약 5 사이이고, e는 약 0 내지 약 2 사이이며, x는 약 0 내지 약 4 사이이고, y는 약 10 내지 약 20 사이이고, z는 약 0 내지 약 3 사이이고, d+x+y+z는 약 14 내지 약 25 사이이며, a+b+c+d+e+x+y+z=100)와 같은 상기 비결정질 합금 조성물을 선택하는 마아커의 제조방법.
제13항에 있어서, 단계(c)에서 Fe_aCo_bNi_cM_dCu_eSi_xB_yZ_z(여기서 a, b, c, d, e, x, y와 z는 %이고, M는 Mo, Nb와 Ta에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, Z는 C, P와 Ge에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, a는 약 30 내지 약 45 사이이고, b는 약 3이거나 그 이하이고, c는 약 30 내지 약 55 사이이고, d는 약 1 내지 약 4 사이이고, e는 약 0 내지 약 1 사이이고, x는 약 0 내지 약 3 사이이고, y는 약 14 내지 약 18 사이이고, z는 약 0 내지 약 2 사이이며, d+x+y+z는 약 15 내지 약 22 사이이고, a+b+c+d+e+x+y+z=100)와 같은 상기 비결정질 합금 조성물을 선택하는 마아커의 제조방법.
제13항에 있어서, 단계(c)에서 Fe_aCo_bNi_cM_dCu_eSi_xB_yZ_z(여기서 a, b, c, d, e, x, y와 z는 %이고, M는 Mo, Nb와 Ta에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, Z는 C, P와 Ge에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, a는 약 20 내지 약 30 사이이고, b는 약 4이거나 그 이하이고, c는 약 45 내지 약 60 사이이고, d는 약 1 내지 약 3 사이이고, e는 약 0 내지 약 1 사이이고, x는 약 0 내지 약 3 사이이고, y는 약 14내지 약 18 사이이며, z는 약 0 내지 약 2 사이이고, d+x+y+z는 약 15 내지 약 20 사이이며, a+b+c+d+e+x+y+z=100)와 같은 상기 비결정질 합금 조성물을 선택하는 마아커의 제조방법.
제13항에 있어서, 상기 비결정질 합금 조성물을 Fe₃₃Co₂Ni₄₃Mo₂B₂₀, Fe₃₅Ni₄₃Mo₄B₁₈, Fe₃₆Co₂Ni₄₄Mo₂B₁₆, Fe₃₆Ni₄₆Mo₂B₁₆, Fe₄₀Ni₃₈Cu₁Mo₃B₁₈, Fe₄₀Ni₃₈Mo₄B₁₈, Fe₄₀Ni₄₀Mo₄B₁₆, Fe₄₀Ni₃₈Nb₄B₁₈, Fe₄₀Ni₄₀Mo₂Nb₂B₁₆, Fe₄₁Ni₄₁Mo₂B₁₆과 Fe₄₅Ni₃₃Mo₄B₁₅(여기서 아래 수치는 %이고, B의 1.5% 이하는 C로 대치할 수 있다)에서 선택한 마아커의 제조방법.
제13항에 있어서, 단계(c)에서 상기 비결정질 합금 조성물을 Fe₃₀Co₅₂Mo₂B₁₆, Fe₃₀Ni₅₂Nb₁Mo₁B₁₆, Fe₂₉Ni₅₂Nb₁Mo₁Cu₁B₁₆, Fe₂₈Ni₅₄Mo₂B₁₆, Fe₂₈Ni₅₄Nb₁Mo₁B₁₆, Fe₂₆Ni₅₆Mo₂B₁₆, Fe₂₆Ni₅₄Co₂Mo₂B₁₆, Fe₂₄Ni₅₆Co₂Mo₂B₁₆(여기서 아래 수치는 %이고, B의 1.5% 이하는 C로 대치할 수 있다)에서 선택한 마아커의 제조방법.
제13항에 있어서, 단계(a)에서 상기 최소한 하나의 비어닐링된 비결정질 합금 물품으로서 약 1㎜와 약 14㎜ 사이의 폭과 약 15㎛과 약 40㎛ 사이의 두께를 갖는 비어닐링된 비결정질 합금 리본을 공급하고, 단계(c)에서 상기 최소한 하나의어닐링된 물품이 이 최소한 하나의 어닐링된 물품을 불연속의 연신된 스트립으로 절단되게 하는 연성을 갖는 상기 합금 조성물에서 선택하는 마아커의 제조방법.
공명기가 세로축을 갖고 최소한 하나의 철과 니켈 및 주기율표 Vb와 VIb족에서 선택한 최소한 하나의 원소를 함유하는 조성물을 가지며, 평면형 스트립이 상기 세로축에 수직인 유도된 자기 용이면을 갖도록 상기 세로축에 따라 인장력을 받는 동안 상승된 온도에서 어닐링되고, 사용된 바이아스 장 H에서 교번 신호 버스트에 의하여 구동될 때의 공명 주파수 f_r, 약 8 Oe의 최소한 사용된 바이아스 장 H 이하의 선형 B-H 루프, 약 1200 Hz/Oe 이하인 상기 사용된 바이아스 장 H에 대한 상기 공명 주파수 f_r의 감응도 |df_r/dH|와, 교번 신호 버스트 중지 후 진폭 1ms가 최대를 갖는 바이아스 장에서 최소한 약 3ms인 신호 버스트 중지 후의 값의 10%에 대한 진폭의 링-다운 시간을 갖는 비결정질 자기 뒤틀림성 합금의 평면형 스트립으로 이루어지는 자기 기계적 전자 물품 감시 시스템의 마아커에 사용하는 공명기.
제28항에 있어서, 조성물 Fe_aCo_bNi_cM_dCu_eSi_xB_yZ_z(여기서 a, b, c, d, e, x, y와 z는 %이고, M는 Mo, Nb, Ta, Cr과 V에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, Z는 C, P와 Ge에서 선택한 최소한 하나의 원소이며, a는 약 20 내지 약 50 사이이고, b는 약 4이거나 그 이하이며, c는 약 30 내지 약 60 사이이고, d는 약 1 내지 약 5 사이이고, e는 약 0 내지 약 2 사이이며, x는 약 0 내지 약 4 사이이고, y는 약 10내지 약 20 사이이고, z는 약 0 내지 약 3 사이이고, d+x+y+z는 약 14 내지 약 25 사이이며, a+b+c+d+e+x+y+z=100)을 갖는 공명기.
제26항에 있어서, 조성물 Fe_aCo_bNi_cM_dCu_eSi_xB_yZ_z(여기서 a, b, c, d, e, x, y와 z는 %이고, M는 Mo, Nb와 Ta에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, Z는 C, P와 Ge에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, a는 약 30 내지 약 45 사이이고, b는 약 3이거나 그 이하이고, c는 약 30 내지 약 55 사이이고, d는 약 1 내지 약 4 사이이고, e는 약 0 내지 약 1 사이이고, x는 약 0 내지 약 3 사이이고, y는 약 14 내지 약 18 사이이고, z는 약 0 내지 약 2 사이이며, d+x+y+z는 약 15 내지 약 22 사이이고, a+b+c+d+e+x+y+z=100)을 갖는 공명기.
제26항에 있어서, 조성물 Fe_aCo_bNi_cM_dCu_eSi_xB_yZ_z(여기서 a, b, c, d, e, x, y와 z는 %이고, M는 Mo, Nb와 Ta에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, Z는 C, P와 Ge에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, a는 약 20 내지 약 30 사이이고, b는 약 4이거나 그 이하이고, c는 약 45 내지 약 60 사이이고, d는 약 1 내지 약 3 사이이고, e는 약 0 내지 약 1 사이이고, x는 약 0 내지 약 3 사이이고, y는 약 14 내지 약 18 사이이며, z는 약 0 내지 약 2 사이이고, d+x+y+z는 약 15 내지 약 20 사이이며, a+b+c+d+e+x+y+z=100)을 갖는 공명기.
제26항에 있어서, Fe₃₃Co₂Ni₄₃Mo₂B₂₀, Fe₃₅Ni₄₃Mo₄B₁₈, Fe₃₆Co₂Ni₄₄Mo₂B₁₆, Fe₃₆Ni₄₆Mo₂B₁₆, Fe₄₀Ni₃₈Cu₁Mo₃B₁₈, Fe₄₀Ni₃₈Mo₄B₁₈, Fe₄₀Ni₄₀Mo₄B₁₆, Fe₄₀Ni₃₈Nb₄B₁₈, Fe₄₀Ni₄₀Mo₂Nb₂B₁₆, Fe₄₁Ni₄₁Mo₂B₁₆과 Fe₄₅Ni₃₃Mo₄B₁₅(여기서 아래 수치는 %이고, B의 1.5% 이하는 C로 대치할 수 있다)에서 선택한 조성물을 갖는 공명기.
제26항에 있어서, Fe₃₀Co₅₂Mo₂B₁₆, Fe₃₀Ni₅₂Nb₁Mo₁B₁₆, Fe₂₉Ni₅₂Nb₁Mo₁Cu₁B₁₆, Fe₂₈Ni₅₄Mo₂B₁₆, Fe₂₈Ni₅₄Nb₁Mo₁B₁₆, Fe₂₆Ni₅₆Mo₂B₁₆, Fe₂₆Ni₅₄Co₂Mo₂B₁₆, Fe₂₄Ni₅₆Co₂Mo₂B₁₆(여기서 아래 수치는 %이고, B의 1.5% 이하는 C로 대치할 수 있다)에서 선택하는 조성물을 갖는 공명기.
제26항에 있어서, 상기 평면형 스트립이 약 1㎜와 약 14㎜ 사이의 폭과 약 15㎛과 약 40㎛ 사이의 두께를 갖는 공명기.
세로축을 갖고 최소한 하나의 철과 니켈 및 주기율표 Vb와 VIb족에서 선택한 최소한 하나의 원소를 함유하는 조성물을 가지며, 평면형 스트립이 상기 세로축에 수직인 유도된 자기 용이면을 갖도록 상기 세로축에 따라 인장력을 받는 동안 상승된 온도에서 어닐링하고, 사용된 바이아스 장 H에서 교번 신호 버스트에 의하여 구동될 때의 공명 주파수 f_r, 약 8 Oe의 최소한 사용된 바이아스 장 H 이하의 선형 B-H 루프, 약 1200 Hz/Oe 이하인 상기 사용된 바이아스 장 H에 대한 상기 공명 주파수 f_r의 감응도 |df_r/dH|와, 교번 신호 버스트 중지 후 진폭 1ms가 최대를 갖는 바이아스 장에서 최소한 약 3ms인 신호 버스트 중지 후의 값의 10%에 대한 진폭의 링-다운 시간을 갖는 비결정질 자기 뒤틀림성 합금의 평면형 스트립으로 이루어지는 공명기;

상기 평면형 스트립에 인접하여 배치되어, 상기 사용된 바이아스 장 H를 생성시키는 자기화 강자성 바이아스 요소;

상기 평면형 스트립과 바이아스 요소를 캡슐화하는 하우징으로 이루어지는, 자기 기계적 전자물품 감시 시스템에 사용하는 마아커.
제33항에 있어서, 상기 평면상 스트립이 제일 평면형 스트립이고, 이 제일 평면형 스트립과 실질적으로 동일한 제이 평면형 스트립을 더 함유하고, 이 제일 평면형 스트립이 상기 바이아스 요소에 인접한 제이 평면형 스트립과 겹침으로 상기 하우징에 배치되는 마아커.
제33항에 있어서, 상기 공명기가 조성물 Fe_aCo_bNi_cM_dCu_eSi_xB_yZ_z(여기서 a, b, c, d, e, x, y와 z는 %이고, M는 Mo, Nb, Ta, Cr과 V에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, Z는 C, P와 Ge에서 선택한 최소한 하나의 원소이며, a는 약 20 내지 약 50 사이이고, b는 약 4이거나 그 이하이며, c는 약 30 내지 약 60 사이이고, d는 약 1내지 약 5 사이이고, e는 약 0 내지 약 2 사이이며, x는 약 0 내지 약 4 사이이고, y는 약 10 내지 약 20 사이이고, z는 약 0 내지 약 3 사이이고, d+x+y+z는 약 14 내지 약 25 사이이며, a+b+c+d+e+x+y+z=100)을 갖는 마아커.
제33항에 있어서, 공명기가 조성물 Fe_aCo_bNi_cM_dCu_eSi_xB_yZ_z(여기서 a, b, c, d, e, x, y와 z는 %이고, M는 Mo, Nb와 Ta에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, Z는 C, P와 Ge에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, a는 약 30 내지 약 45 사이이고, b는 약 3이거나 그 이하이고, c는 약 30 내지 약 55 사이이고, d는 약 1 내지 약 4 사이이고, e는 약 0 내지 약 1 사이이고, x는 약 0 내지 약 3 사이이고, y는 약 14 내지 약 18 사이이고, z는 약 0 내지 약 2 사이이며, d+x+y+z는 약 15 내지 약 22 사이이고, a+b+c+d+e+x+y+z=100)을 갖는 마아커.
제33항에 있어서, 상기 공명기가 조성물 Fe_aCo_bNi_cM_dCu_eSi_xB_yZ_z(여기서 a, b, c, d, e, x, y와 z는 %이고, M는 Mo, Nb와 Ta에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, Z는 C, P와 Ge에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, a는 약 20 내지 약 30 사이이고, b는 약 4이거나 그 이하이고, c는 약 45 내지 약 60 사이이고, d는 약 1 내지 약 3 사이이고, e는 약 0 내지 약 1 사이이고, x는 약 0 내지 약 3 사이이고, y는 약 14 내지 약 18 사이이며, z는 약 0 내지 약 2 사이이고, d+x+y+z는 약 15 내지 약 20 사이이며, a+b+c+d+e+x+y+z=100)을 갖는 마아커.
제33항에 있어서, 상기 공명기가 Fe₃₃Co₂Ni₄₃Mo₂B₂₀, Fe₃₅Ni₄₃Mo₄B₁₈, Fe₃₆Co₂Ni₄₄Mo₂B₁₆, Fe₃₆Ni₄₆Mo₂B₁₆, Fe₄₀Ni₃₈Cu₁Mo₃B₁₈, Fe₄₀Ni₃₈Mo₄B₁₈, Fe₄₀Ni₄₀Mo₄B₁₆, Fe₄₀Ni₃₈Nb₄B₁₈, Fe₄₀Ni₄₀Mo₂Nb₂B₁₆, Fe₄₁Ni₄₁Mo₂B₁₆과 Fe₄₅Ni₃₃Mo₄B₁₅(여기서 아래 수치는 %이고, B의 1.5% 이하는 C로 대치할 수 있다)에서 선택한 조성물을 갖는 마아커.
제33항에 있어서, 상기 공명기가 Fe₃₀Co₅₂Mo₂B₁₆, Fe₃₀Ni₅₂Nb₁Mo₁B₁₆, Fe₂₉Ni₅₂Nb₁Mo₁Cu₁B₁₆, Fe₂₈Ni₅₄Mo₂B₁₆, Fe₂₈Ni₅₄Nb₁Mo₁B₁₆, Fe₂₆Ni₅₆Mo₂B₁₆, Fe₂₆Ni₅₄Co₂Mo₂B₁₆, Fe₂₄Ni₅₆Co₂Mo₂B₁₆(여기서 아래 수치는 %이고, B의 1.5% 이하는 C로 대치할 수 있다)에서 선택한 조성물을 갖는 마아커.
제33항에 있어서, 상기 평면상 스트립이 약 1㎜와 약 14㎜ 사이의 폭과 약 15㎛과 약 40㎛ 사이의 두께를 갖는 마아커.
세로축을 갖고 최소한 하나의 철과 니켈 및 주기율표 Vb와 VIb족에서 선택한 최소한 하나의 원소를 함유하는 조성물을 가지며, 평면형 스트립이 상기 세로축에 수직인 유도된 자기 용이면을 갖도록 상기 세로축에 따라 인장력을 받는 동안 상승된 온도에서 어닐링하고, 사용된 바이아스 장 H에서 교번 신호 버스트에 의하여 구동될 때의 공명 주파수 f_r, 약 8 Oe의 최소한 사용된 바이아스 장 H 이하의 선형 B-H 루프, 약 1200 Hz/Oe 이하인 상기 사용된 바이아스 장 H에 대한 상기 공명 주파수 f_r의 감응도 |df_r/dH|와, 교번 신호 버스트 중지 후 진폭 1ms가 최대를 갖는 바이아스 장에서 최소한 약 3ms인 신호 버스트 중지 후의 값의 10%에 대한 진폭의 링-다운 시간을 갖는 비결정질 자기 뒤틀림성 합금의 평면형 스트립, 상기 평면형 스트립에 인접하여 배치되어, 상기 사용된 바이아스 장 H를 생성시키는 자기화 강자성 바이아스 요소와, 상기 평면형 스트립과 바이아스 요소를 캡슐화하는 하우징으로 이루어진 공명기, 상기 공명기가 기계적으로 공명을 일으키고 상기 공명 주파수 f_r에서 신호를 방출하도록 상기 마아커를 여기시키는 상기 교번 신호 버스트를 발생하는 전송기로 이루어지는 마아커;

상기 공명 주파수 f_r에서 상기 공명기에서 나온 신호를 수신하는 수신기;

상기 수신기가 활성화하여 신호 버스트 중지 후 상기 공명 주파수 f_r에서 신호를 검파하는 상기 수신기와 전송기에 연결된 동기화 회로;

상기 공명 주파수 f_r에서 상기 공명기로부터 나온 신호를 상기 수신기로 검파할 때 수신기가 일으키는 경보로 이루어지는 자기 기계적 전자물품 감시 시스템.
제41항에 있어서, 상기 공명기가 조성물 Fe_aCo_bNi_cM_dCu_eSi_xB_yZ_z(여기서 a, b, c, d, e, x, y와 z는 %이고, M는 Mo, Nb, Ta, Cr과 V에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, Z는 C, P와 Ge에서 선택한 최소한 하나의 원소이며, a는 약 20 내지 약 50 사이이고, b는 약 4이거나 그 이하이며, c는 약 30 내지 약 60 사이이고, d는 약 1 내지 약 5 사이이고, e는 약 0 내지 약 2 사이이며, x는 약 0 내지 약 4 사이이고, y는 약 10 내지 약 20 사이이고, z는 약 0 내지 약 3 사이이고, d+x+y+z는 약 14 내지 약 25 사이이며, a+b+c+d+e+x+y+z=100)을 갖는 자기 기계적 전자 물품 감시 시스템.
제41항에 있어서, 상기 공명기가 조성물 Fe_aCo_bNi_cM_dCu_eSi_xB_yZ_z(여기서 a, b, c, d, e, x, y와 z는 %이고, M는 Mo, Nb와 Ta에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, Z는 C, P와 Ge에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, a는 약 30 내지 약 45 사이이고, b는 약 3이거나 그 이하이고, c는 약 30 내지 약 55 사이이고, d는 약 1 내지 약 4 사이이고, e는 약 0 내지 약 1 사이이고, x는 약 0 내지 약 3 사이이고, y는 약 14 내지 약 18 사이이고, z는 약 0 내지 약 2 사이이며, d+x+y+z는 약 15 내지 약 22 사이이고, a+b+c+d+e+x+y+z=100)을 갖는 자기 기계적 전자 물품 감시 시스템.
제41항에 있어서, 상기 공명기가 조성물 Fe_aCo_bNi_cM_dCu_eSi_xB_yZ_z(여기서 a, b, c, d, e, x, y와 z는 %이고, M는 Mo, Nb와 Ta에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, Z는 C, P와 Ge에서 선택한 최소한 하나의 원소이고, a는 약 20 내지 약 30 사이이고, b는 약 4이거나 그 이하이고, c는 약 45 내지 약 60 사이이고, d는 약 1 내지 약 3 사이이고, e는 약 0 내지 약 1 사이이고, x는 약 0 내지 약 3 사이이고, y는 약 14 내지 약 18 사이이며, z는 약 0 내지 약 2 사이이고, d+x+y+z는 약 15 내지 약 20 사이이며, a+b+c+d+e+x+y+z=100)을 갖는 자기 기계적 전자 물품 감시 시스템
제41항에 있어서, 상기 공명기가 Fe₃₃Co₂Ni₄₃Mo₂B₂₀, Fe₃₅Ni₄₃Mo₄B₁₈, Fe₃₆Co₂Ni₄₄Mo₂B₁₆, Fe₃₆Ni₄₆Mo₂B₁₆, Fe₄₀Ni₃₈Cu₁Mo₃B₁₈, Fe₄₀Ni₃₈Mo₄B₁₈, Fe₄₀Ni₄₀Mo₄B₁₆, Fe₄₀Ni₃₈Nb₄B₁₈, Fe₄₀Ni₄₀Mo₂Nb₂B₁₆, Fe₄₁Ni₄₁Mo₂B₁₆과 Fe₄₅Ni₃₃Mo₄B₁₅(여기서 아래 수치는 %이고, B의 1.5% 이하는 C로 대치할 수 있다)에서 선택한 조성물을 갖는 자기 기계적 전자 물품 감시 시스템.
제41항에 있어서, 상기 공명기가 Fe₃₀Co₅₂Mo₂B₁₆, Fe₃₀Ni₅₂Nb₁Mo₁B₁₆, Fe₂₉Ni₅₂Nb₁Mo₁Cu₁B₁₆, Fe₂₈Ni₅₄Mo₂B₁₆, Fe₂₈Ni₅₄Nb₁Mo₁B₁₆, Fe₂₆Ni₅₆Mo₂B₁₆, Fe₂₆Ni₅₄Co₂Mo₂B₁₆, Fe₂₄Ni₅₆Co₂Mo₂B₁₆(여기서 아래 수치는 %이고, B의 1.5% 이하는 C로 대치할 수 있다)에서 선택한 조성물을 갖는 자기 기계적 전자 물품 감시 시스템.
제41항에 있어서, 상기 평면형 스트립이 약 1㎜와 약 14㎜ 사이의 폭과 약 15㎛과 약 40㎛ 사이의 두께를 갖는 자기 기계적 전자 물품 감시 시스템.
세로축을 갖는 비어닐된 합금 물품과 비결정질 합금 물품을 360℃에서 6초 동안 어닐링했을 때 상기 비결정질 합금 물품에서 0.04 Oe/MPa 이상의 응력-유도 이방성을 일으키도록 선택하고 인장 응력을 어닐링하는 동안 상기 세로축에 따라 사용했을 때 상기 세로축에 수직인 자기 용이 축을 일으키도록 선택한 합금 조성물을 공급하는 단계;

상기 비결정성 합금 물품을 상승된 온도 지역에 배치하고, 주위 자기장 이외의 자기장이 없이 0.04 Oe/MPa 이상의 이방성과 상기 비결정성 합금 물품에서 자기 용이 축을 일으키도록 상기 비결정질 합금 물품을 상기 세로축에 따라 인장력을 받게 하는 단계

로 이루이지는 비결정성 합금 물품의 어닐링 방법.
제48항에 있어서, 360℃에서 6초 동안 어닐링할 때 상기 비결정성 합금 물품에서 0.05 Oe/MPa 이상의 응력-유도 이방성을 일으키는 상기 합금 조성물을 선택하는 단계를 포함하는 어닐링 방법.
제48항에 있어서, 상기 비결정질 합금 물품을 상승된 온도 지역에 배치하는 단계가 일분이하동안 약 300℃와 약 420℃ 사이에서 최대 온도를 갖는 온도 범위의 상승된 온도지역에 상기 비결정성 합금을 배치시킴을 뜻하는 어닐링 방법.