KR20030023662A - 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리및 그 제조방법 - Google Patents

액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리 및 그 제조방법을 제공한다. 본 발명의 니들 어셈블리는 인쇄회로기판의 전기적 신호를 액정니스플레이 패널의 각 화소전극에 인가하는 프로브장치의 니들 어셈블리에 있어서, 절연 재질의 니들 플레이트와; 니들 플레이트에 액정니스플레이 패널의 각 화소전극과 대응하도록 포토마스킹에 의해 간격을 두고 형성되며, 액정니스플레이 패널의 각 화소전극과 접촉되는 일단의 접촉단자와, 인쇄회로기판과 전기적으로 연결되는 타단의 연결단자를 갖춘 다수의 도전성 니들라인과; 니들 플레이트에 고정적으로 부착되는 완충패드를 포함한다. 그리고 니들 어셈블리의 제조방법은 니들 플레이트의 표면에 접촉단자와 연결단자를 갖는 다수의 니들라인들이 형성될 수 있도록 1차 포토마스킹하는 단계와; 니들라인의 접촉단자에 돌출돌기가 형성될 수 있도록 2차 포토마스킹하는 단계와; 니들라인의 접촉단자가 니들 플레이트으로부터 돌출 연장될 수 있도록 상기 니들 플레이트의 끝부분을 제거 식각하는 단계를 포함한다.

Description

액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리 및 그 제조방법{NEEDLE ASSEMBLY IN PROBE DEVICE FOR TESTING LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL AND METHOD FOR MANUFACTURING THEREOF}
본 발명은 액정디스플레이 패널을 검사하기 위한 프로브장치의 니들 어셈블리 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 초고집적화된 액정디스플레이 패널의 전기적 특성을 검사할 수 있는 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리 및 그 제조방법에 관한 것이다.
액정디스플레이 패널(Liquid Crystal Display Panel)은 투입된 기판을 세정하고, 세정된 기판에 박막을 증착하는 공정에서부터 제조된 패널의 전기적, 광학적 이상 여부를 검사하는 공정에 이르기까지 여러 공정을 거치면서 생산된다. 특히, 검사공정은 생산 공정의 마무리 단계로서 액정디스플레이 패널(이하. "패널"이라 약칭함.)의 품질을 향상시키고 불량품을 가려낸다는 점에서 반드시 시행해야 한다.
한편, 패널의 전기적 특성을 검사하기 위한 공정은 니들형 프로브장치에 의해 행해진다. 니들형 프로브장치는 도 1에 도시된 바와 같이 프로브 프레임(1)에 프로브 헤드(3)를 설치한 다음, 이 프로브 헤드(3)에 패널(L)의 화소전극(L1)과 직접적으로 접촉하는 니들 어셈블리(5)와, 니들 어셈블리(5)에 전기적 신호를 전달하는 인쇄회로기판(7)을 설치한 구성을 갖는다. 특히, 니들 어셈블리(5)는 니들 홀더 (8)와, 니들 홀더(8)의 폭방향을 따라 간격을 두고 부착되는 다수의 니들(9)로 구성되며, 니들(9)은 다시 니들 홀더(8)에 고정적으로 부착되는 몸체부(9a)와, 패널 (L)의 화소전극(L1)과 접촉되도록 몸체부(9a)의 일단에 절곡 형성되는 접촉단부 (9b)와, 인쇄회로기판(7)의 구동용 직접회로(7a)에 접촉되도록 몸체부(9a)의 타단에 절곡 형성되는 연결단부(9c)로 이루어진다.
이러한 구성의 프로브장치는, 인쇄회로기판(7)으로써 상기 니들(9)에 전기적 신호를 인가한 다음, 인가된 전기적 신호를 다시 니들(9)의 접촉단부(9b)를 통해 패널(L)의 화소전극(L1)에 인가함으로써, 상기 패널(L)의 전기적 특성을 검사하게 된다.
한편, 니들 어셈블리(5)의 니들(9)은 도 1에 도시된 바와 같이 인접하는 다른 니들(9)에 대해 서로 다른 높낮이를 가지면서 상기 니들 홀더(8)에 부착된다. 그리고, 니들(9)은 인접하는 다른 니들(9)에 대해 서로 다른 길이를 갖도록 구성된다. 이같이 니들(9)의 높낮이와 그 길이를 서로 다르게 구성한 것은, 각 니들(9)이 폭방향을 따라 동일한 위치에서 일렬로 배치되는 것을 방지함으로써 각 니들(9)이 서로에 대해 엇갈려 배치될 수 있게 하기 위함이며, 이것은 고집적화되어 간격이 좁아진 패널(L)의 화소전극(L1)에 대응하여 각 니들(9)을 서로 접촉시키지 않으면서 그 간격을 최소화시키기 위함이다.
그러나 이와 같은 종래의 니들형 프로브장치는 상기 패널(L)의 회로패턴이 점차적으로 초고집적화, 미세화 됨에 따라 상기 패널(L)을 검사하기에 많은 어려움을 겪고 있다.
즉, 패널(L)의 초고집적화. 미세화가 점차적으로 가속화되면 상대적으로 프로브장치의 니들(9)이 접촉되는 패널(L)의 화소전극(L1)의 간격도 점차적으로 좁아지는 바, 간격이 좁아진 패널(L)의 화소전극(L1)에 니들(9)의 접촉단부(9b)를 접촉시키기 위해서는 니들(9)의 간격도 화소전극(L1)의 간격에 대응하여 점차 좁혀주어야만 한다. 그러나, 니들(9)의 굵기를 가늘게 하고, 그 간격을 좁혀주는 것에도 한계가 있는 바, 초고집적화된 패널(L)의 화소전극(L1)에 대응하여 니들(9)의 간격을 무한정 좁혀줄 수 없게 되며, 따라서 패널(L)의 전기적 특성을 검사할 수 없는 결과를 초래하는 것이다.
이 밖에도, 종래의 니들형 프로브장치는 니들(9)의 길이와 그 높낮이가 서로 다른 바, 패널(L)의 화소전극(L1)에 대한 접촉단부(9b)의 접촉위치와 접촉압력도 서로 다르며, 이에 따라 니들(9)의 접촉단부(9b)가 쉽게 변형되고 손상되는 문제점이 발생된다. 더욱이, 접촉단부(9b)가 변형되고 손상됨에 따라 패널(L)의 화소전극 (L1)에 대한 접촉단부(9b)의 접촉불량이 발생되어 패널(L)의 검사효율까지 떨어뜨리는 문제점도 지적되고 있다.
아울러, 종래의 니들형 프로브장치는, 상기 니들(9)을 니들 홀더(8)에 수작업으로 일일이 간격을 맞춰 부착해야 하는 등, 조립작업이 어렵고 힘든 단점이 있었으며, 그로 인해 조립작업 시간이 지연되고, 생산성이 떨어지는 문제점까지 발생된다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은 패널의 화소전극이 초고집적화, 미세화되어 그 간격이 좁아지더라도 이에 대응할 수 있는 고집적도의 니들을 갖춤으로써 패널의 전기적 특성을 용이하게 검사할 수 있도록 구성된 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 패널의 화소전극에 대한 니들의 접촉단부의 접촉위치와 접촉압력을 일정하게 유지케 함으로써 니들의 손상을 방지함과 아울러 패널의 검사효율을 향상시킬 수 있도록 구성된 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 상기 니들을 일일이 수작업으로 니들 홀더에 부착하지 않고서도 니들을 형성 가능하게 함으로써 제작시간을 단축시키고 생산성을 향상시킬 수 있는 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다.
도 1은 종래의 액정디스플레이 검사용 프로브장치의 구성을 나타내는 단면도,
도 2는 본 발명에 따른 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리의 구성을 나타내는 저면 사시도,
도 3은 도 2의 저면도,
도 4는 본 발명에 따른 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리의 작동예를 나타내는 측면도,
도 5는 본 발명에 따른 니들 어셈블리의 변형예를 나타내는 사시도,
도 6은 변형예에 따른 니들 어셈블리의 작동예를 나타내는 측면도,
도 7은 본 발명에 따른 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리 제조방법을 나타내는 블록도이다.
♣도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명♣
10: 니들 어셈블리20: 니들 플레이트
30: 니들라인32: 접촉단자
32a: 돌출돌기34: 연결단자
38: 가이드 필름40: 완충패드
이와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 프로브 헤드에 장착되며, 인쇄회로기판의 전기적 신호를 액정니스플레이 패널의 각 화소전극에 인가하기 위한 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리에 있어서, 상기 프로브 헤드에 고정되는 절연 재질의 니들 플레이트와; 상기 니들 플레이트에 상기 액정니스플레이 패널의 각 화소전극과 대응하도록 포토마스킹에 의해 간격을 두고 형성되며, 상기 액정니스플레이 패널의 각 화소전극과 접촉되는 일단의 접촉단자와, 상기 인쇄회로기판과 전기적으로 연결되는 타단의 연결단자를 갖춘 다수의 도전성 니들라인과; 상기 프로브 헤드에 대한 상기 니들 플레이트의 접촉압력을 완화시키도록상기 니들 플레이트에 고정적으로 부착되는 완충패드를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리의 제조방법은, 인쇄회로기판의 전기적 신호를 액정니스플레이 패널의 각 화소전극에 인가하기 위한 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리를 제조하는 방법에 있어서, 니들 플레이트의 표면에 접촉단자와 연결단자를 갖는 다수의 니들라인들이 형성될 수 있도록 1차 포토마스킹하는 단계와; 상기 니들라인의 접촉단자에 돌출돌기가 형성될 수 있도록 2차 포토마스킹하는 단계와; 상기 니들라인의 접촉단자가 상기 니들 플레이트으로부터 돌출 연장될 수 있도록 상기 니들 플레이트의 끝부분을 제거 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 따른 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리의 바람직한 실시예를 첨부 도면에 의거하여 상세히 설명한다.
먼저, 도 2와 도 3에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리(10)(이하, "니들 어셈블리"라 약칭함)는 니들 플레이트(20)를 가지며, 이 니들 플레이트(20)의 밑면에는 다수의 니들라인(30)들이 포토마스킹(Photomasking)에 의한 방법을 통해 소정의 간격을 두고 배치된다.
이를 상세히 살펴보면, 본 발명의 니들 어셈블리(10)는 니들 플레이트(20)를 갖는다. 니들 플레이트(20)는 대략 사각박판(四角薄板)으로서, 절연체인 유리 또는 유리와 세라믹의 합성소재인 CGS 재질로 이루어진다.
그리고 니들 플레이트(20)의 밑면에는 다수의 니들라인(30)들이 간격을 두고형성되어 있다. 니들라인(30)은 도전성 재질, 예를 들어 니켈합금으로 구성되는 것으로, 포토마스킹에 의한 방법을 통해 대략 5㎛ - 35㎛ 두께로 형성되며, 그 일단에는 액정디스플레이 패널(L)에 접촉되는 접촉단자(32)가 형성되어 있고, 그 타단에는 인쇄회로기판(7)의 구동용 직접회로(7a)에 접속 연결되는 연결단자(34)가 형성되어 있다.
여기서, 접촉단자(32)가 형성된 각 니들라인(30)의 일단은, 간격이 좁아진 패널(L)의 화소전극(L1)에 대응할 수 있도록 서로의 간격이 좁게 구성된다. 그리고 연결단자(34)가 형성된 각 니들라인(30)의 타단은, 구동용 직접회로(7a)에 접속하기 용이하도록 서로의 간격이 넓도록 구성된다.
이렇게, 일단이 서로 좁은 간격으로 구성되고, 타단이 서로 넓은 간격으로 구성되는 니들라인(30)들의 배열구조는, 각 니들라인(30)에 경사부(30a)를 형성함에 따라 구현된다. 그리고 이같은 배열구조를 갖는 각 니들라인(30)들은 상기 니들라인(30)을 포토마스킹에 의한 방법으로 형성함으로써 구성 가능하다. 특히, 고집적화된 패널(L)의 화소전극(L1)에 대응하여 높은 집적도를 갖고 구성되는 니들라인 (30)의 배열구조는, 상기 니들라인(30)을 포토마스킹에 의한 방법으로 형성함으로써 실현 가능하다.
한편, 본 발명의 니들 어셈블리(10)는 니들라인(30)의 상면에 금코팅층(도시하지 않음)을 형성한 구성을 갖는다. 금코팅층은 니들라인(30)의 도전성능을 증대시키기 위한 것으로, 증착에 의한 방법으로 코팅된다.
그리고 본 발명의 니들 어셈블리(10)는 도 2에 도시된 바와 같이 니들라인(30)의 일단을 지지하기 위한 가이드 필름(38)을 갖는다. 가이드 필름(38)은 니들라인(30)의 일단을 지지함으로써 니들라인(30)의 접촉단자(32)가 안정적으로 패널 (L)의 화소전극(L1)에 접촉할 수 있도록 한다.
또한, 본 발명의 니들 어셈블리(10)는 니들 플레이트(20)의 상면에 고정적으로 부착되는 완충패드(40)를 갖는다. 완충패드(40)는 본 발명의 니들 어셈블리(10)가 도 4에 도시된 바와 같이 프로브 헤드(3)에 설치되었을 때, 프로브 헤드(3)와의 사이에 배치되도록 구성되며, 상기 프로브 헤드(3)와의 접촉압력을 완화시키는 역할을 한다. 특히, 니들라인(30)의 접촉단자(32)가 패널(L)의 화소전극(L1)에 소정의 압력으로 접촉함에 따라 상기 니들 플레이트(20)가 상부로 휨 변형되었을 때, 니들 플레이트(20)와 프로브 헤드(3)와의 접촉압력을 최소화시키는 역할을 하게 된다.
다음으로, 이와 같은 구성의 니들 어셈블리(10)의 작동예를 도 4를 참고로하여 살펴보면 다음과 같다. 먼저, 본 발명의 니들 어셈블리(10)를 프로브 헤드(3)에 고정적으로 장착한다. 이때, 니들 어셈블리(10)의 연결단자(34)에는 구동용 직접회로(7a)가 열압착에 의한 방법으로 미리 접속 고정된 상태이다.
그리고 프로브 헤드(3)에 대한 니들 어셈블리(10)의 고정이 완료되면, 니들 어셈블리(10)에 고정된 구동용 직접회로(7a)와 프로브 헤드(3)에 설치된 인쇄회로기판(7)을 서로 연결한다. 이때의 연결은 FPC 커넥터(Flexible Printed Circuit connector:7b)를 사용하는 것이 좋다.
한편, 니들 어셈블리(10)와 인쇄회로기판(7)의 연결이 완료되면, 액정디스플레이 패널(L)을 검사한다. 즉, 액정디스플레이 패널(L)의 화소전극(L1)에 니들 어셈블리(10)의 접촉단자(32)를 접촉시킨다. 그러면, 인쇄회로기판(7)은 상기 니들 어셈블리(10)의 니들라인(30)에 전기적 신호를 인가하게 되고, 인가된 전기적 신호는 다시 니들라인(30)의 접촉단자(32)를 통해 패널(L)의 화소전극(L1)에 인가되면서 상기 패널(L)의 전기적 특성을 검사하게 되는 것이다.
이상과 같이 본 발명의 니들 어셈블리(10)는, 포토마스킹에 의한 방법을 통해 니들라인(30)의 배열구조를 얻음으로써, 초고집적화된 액정디스플레이 패널(L)의 화소전극(L1)에 대응하여 니들라인(30)들의 집적도를 높일 수 있게 되며, 이에 따라 상기 액정디스플레이 패널(L)의 전기적 특성을 용이하게 측정할 수 있게 된다. 특히, 니들라인(30)의 접촉단자(32)를 일렬로 배치한 상태에서도 상기 패널(L)의 각 화소전극(L1)에 접촉가능케 함으로써 상기 각 화소전극(L1)에 대한 접촉단자 (32)의 접촉위치와 접촉압력을 균일하게 유지할 수 있으며, 이에 따라 접촉위치와 접촉압력의 불균일로 인한 니들라인(30)의 변형과 손상을 방지할 수 있게 된다.
이 뿐만 아니라 포토마스킹에 의한 방법을 통해 빠른 시간내에 니들라인(30)의 배열구조를 얻음으로써, 종래와는 달리 니들 어셈블리(10)의 제작시간을 단축시킬 수 있으며, 이에 따라 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.
다음으로, 도 5에는 본 발명에 따른 니들 어셈블리(10)의 변형예를 나타내는 도면이 도시되어 있다. 변형예의 니들 어셈블리(10)는 니들라인(30)의 접촉단자 (32)를 니들 플레이트(20)보다 더 연장되게 구성하고, 연장된 니들라인(30)의 접촉단자(32)에 하방으로 돌출되는 돌출돌기(32a)를 더 형성한 구성을 갖는다.
연장된 니들라인(30)의 접촉단자(32)와, 이에 형성된 돌출돌기(32a)는 도 6에 도시된 바와 같이 패널(L)의 화소전극(L1)과의 접촉성을 증대시키는 역할을 하며, 이에 따라 패널(L)의 검사효율을 향상시키는 역할을 하게 된다. 여기서, 니들라인(30)의 접촉단자(32)는 니들 플레이트(20)로부터 대략 -500 내지 +10000 미크론의 길이로 돌출 연장되도록 구성된다.
한편, 니들 플레이트(20)로부터 연장되는 니들라인(30)의 접촉단자(32)는, 도 2에 도시된 니들 플레이트(20)의 끝부분을 식각에 의한 방법으로 제거함에 따라 형성된다. 또한, 접촉단자(32)에 형성된 돌출돌기(32a)는, 포토마스킹에 의한 방법을 통해 형성되도록 구성된다.
이하에서는 이와 같은 구성을 갖는 니들 어셈블리의 제조방법을 도 7을 참고로하여 살펴보면 다음과 같다. 먼저, 본 발명의 제조방법은 절연체, 예를 들어 유리 또는 유리와 세라믹의 합성소재인 CGS 재질의 니들 플레이트(20)를 구비한다 (S101).
그리고 구비된 니들 플레이트(20)에 니들라인(30)들이 형성되도록 1차 포토마스킹을 시행한다(S103). 물론, 1차 포토마스킹은, 니들 플레이트(20)의 표면에 니켈합금을 피복하고, 피복된 니들 플레이트(20)의 표면에 감광막을 형성한 다음, 니들 플레이트(20)의 상부에 니들라인(30)의 패턴이 형성된 마스크를 정렬시켜 노광하고, 노광된 니들 플레이트(20)를 현상액에 침지시켜 식각하는 공정이다.
결과적으로, 이러한 1차 포토마스킹 공정을 통해 상기 니들 플레이트(20)의 표면에는 다수의 니들라인(30)들이 간격을 두고 형성된다. 특히, 접촉단자(32)와연결단자(34)를 갖는 니들라인(30)들이 형성되는 것이다.
한편, 1차 포토마스킹이 완료되면, 이어서 니들라인(30)의 접촉단자(32)에 돌출돌기(32a)를 형성하기 위한 2차 포토마스킹 작업을 시행한다(S105). 즉, 니들 플레이트(20)의 일단의 표면에 니켈합금을 피복하고, 피복된 니들 플레이트(20)의 표면에 감광막을 형성한 다음, 니들 플레이트(20)의 상부에 돌출돌기(30)의 패턴이 형성된 마스크를 정렬시켜 노광하고, 노광된 니들 플레이트(20)를 현상액에 침지시켜 식각하는 것이다.
결국, 이와 같은 니들 플레이트(20)의 2차적인 포토마스킹을 통해, 상기 니들라인(30)의 접촉단자(32)에는 도 5에 도시된 바와 같이 돌출된 돌출돌기(32a)가 형성된다.
그리고, 돌출돌기(32a)의 형성이 완료되면, 이어서 도 7에 도시된 바와 같이 니들 플레이트(20)에 형성된 니들라인(30) 및 돌출돌기(32a)에 금코팅층을 형성한다(S107). 금코팅층은 니들라인(30) 및 돌출돌기(32a)의 도전성능을 증대시키기 위한 층으로서, 증착에 의한 방법으로 코팅된다.
다음으로, 금코팅층의 형성이 완료되면, 다시 니들 플레이트(20)의 끝부분을 제거하기 위한 니들 플레이트(20)의 식각 단계(S109)를 시행한다. 니들 플레이트 (20)의 식각은 니들 플레이트(20)의 끝부분을 제거하여 니들라인(30)의 접촉단자 (32)를 돌출시키기 위한 공정으로서, 니들 플레이트(20)의 일단을 식각액으로써 부식 제거시킨다. 결국, 니들 플레이트(20)의 끝부분이 제거됨에 따라 니들라인(30)의 접촉단자(32)는 도 5에 도시된 바와 같이 니들 플레이트(20)로부터 소정길이로돌출 연장된다.
한편, 상기와 같은 여러 단계를 시행하는 과정에서 니들 플레이트(20)의 표면에는 감광막과 식각액 등과 같은 여러 가지 잔류물질이 이 남아 있는 바, 니들 플레이트(20)상에 남아 있는 여러 가지 잔류물질을 제거하는 스트립핑(Stripping) 단계를 시행한다(S111). 스트립핑 단계(S111)는 화학약품을 이용하는 습식 스트립핑 방법과 플라즈마를 이용하는 건식 스트립핑 방법이 있으나 비교적 저렴한 비용으로 스트립핑 할 수 있는 습식 스트립핑 방법을 이용한다. 이때, 스트립핑하는 과정에서 니들 플레이트(20)의 표면, 특히 니들라인(30)과 돌출돌기(32a) 등이 손상되지 않도록 주의를 요한다.
그리고 스트리핑 단계(S111)가 완료되면, 니들라인(30)을 지지하기 위한 가이드 필름(38)을 니들 플레이트(20)에 부착(S113)하고, 이어서 그 상면에 완충패드 (40)를 부착한다(S115).
그리고 이와 같은 여러 단계를 통하여 제조된 니들 어셈블리(10)는 각종 검사를 통하여 그 이상 유무를 테스트 받게 되며, 최종적으로 이 테스트를 통과하면, 니들 어셈블리(10)의 제작이 완료되는 것이다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명하였으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범주내에서 적절하게 변경 가능한 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리 및 그 제조방법은, 포토마스킹에 의한 방법을 통해 니들라인의 배열구조를 얻음으로써, 초고집적화된 액정디스플레이 패널의 화소전극에 대응하여 니들라인의 집적도를 높여줄 수 있게 되며, 이에 따라 액정디스플레이 패널의 전기적 특성을 용이하게 측정할 수 있다. 특히, 니들라인의 접촉단자를 일렬로 배치한 상태에서도 액정디스 플레이 패널의 각 화소전극에 접촉가능케 함으로써 상기 각 화소전극에 대한 접촉단자의 접촉위치와 접촉압력을 균일하게 유지할 수 있으며, 이에 따라 접촉위치와 접촉압력의 불균일로 인한 니들라인의 변형과 손상을 방지할 수 있다. 또한, 포토마스킹에 의한 방법을 통해 빠른 시간내에 니들라인의 배열구조를 얻음으로써, 니들 어셈블리의 제작시간을 단축시킬 수 있으며, 이에 따라 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.

Claims (6)

  1. 프로브 헤드에 장착되며, 인쇄회로기판의 전기적 신호를 액정니스플레이 패널의 각 화소전극에 인가하기 위한 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리에 있어서,
    상기 프로브 헤드에 고정되는 절연 재질의 니들 플레이트와;
    상기 니들 플레이트에 상기 액정니스플레이 패널의 각 화소전극과 대응하도록 포토마스킹에 의해 간격을 두고 형성되며, 상기 액정니스플레이 패널의 각 화소전극과 접촉되는 일단의 접촉단자와, 상기 인쇄회로기판과 전기적으로 연결되는 타단의 연결단자를 갖춘 다수의 도전성 니들라인과;
    상기 프로브 헤드에 대한 상기 니들 플레이트의 접촉압력을 완화시키도록 상기 니들 플레이트에 고정적으로 부착되는 완충패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 니들라인의 접촉단자는 상기 니들 플레이트로부터 더 돌출 연장되는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 니들라인의 접촉단자에는 상기 액정디스플레이 패널의 화소전극과의 접촉성을 높여줄 수 있도록 돌출돌기가 더 형성되는것을 특징으로 하는 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 니들라인은 연결단자가 형성된 타단의 간격이 서로에 대해 넓은 배열구조를 갖는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리.
  5. 인쇄회로기판의 전기적 신호를 액정니스플레이 패널의 각 화소전극에 인가하기 위한 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리를 제조하는 방법에 있어서,
    니들 플레이트의 표면에 접촉단자와 연결단자를 갖는 다수의 니들라인들이 형성될 수 있도록 1차 포토마스킹하는 단계와;
    상기 니들라인의 접촉단자에 돌출돌기가 형성될 수 있도록 2차 포토마스킹하는 단계와;
    상기 니들라인의 접촉단자가 상기 니들 플레이트으로부터 돌출 연장될 수 있도록 상기 니들 플레이트의 끝부분을 제거 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리 제조방법.
  6. 제 5항에 있어서, 2차 포토마스킹 단계 후에, 상기 니들 플레이트에 형성된 니들라인 및 돌출돌기에 금코팅층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이 패널 검사용 프로브장치의 니들 어셈블리 제조방법.
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