KR20030019645A - 코발트 스퍼터링 타깃을 생성하기 위해 코발트 중의 산소및 산화물 함량을 감소시키는 방법 - Google Patents

코발트 스퍼터링 타깃을 생성하기 위해 코발트 중의 산소및 산화물 함량을 감소시키는 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 스퍼터 타깃으로서 사용하기 위한 산소 함량 및 산화물 함량이 낮은 코발트를 생성함으로써 통상적으로 고산소 코발트 스퍼터 타깃과 관련된 스퍼터링 동안의 아크 및 금속 결함을 감소시키는 것에 관한 것이다. 특히, 코발트 중의 산소 함량 및 산화물 함량을 감소시키는 방법은 산화물 함량이 낮은 저산소 코발트 스퍼터 타깃을 생성하기 위해 연속적인 순서로 조합될 수 있는 별개의 공정들이다. 산소 함량의 감소는 바람직하게는 산화물 함량을 감소하기 이전에 수행된다. 따라서, 기술자는 목적하는 코발트 스퍼터 타깃에서 산소의 감소가 바람직한지 또는 산화물 함유물의 감소가 바람직한지에 따라서 달라지는 기타의 공정없이 하나의 공정이 수행될 수 있는 것으로 생각할 것이다.

Description

코발트 스퍼터링 타깃을 생성하기 위해 코발트 중의 산소 및 산화물 함량을 감소시키는 방법{Method for reducing the oxygen and oxide content in cobalt to produce cobalt sputtering targets}
관련 출원에 대한 상호 참조
종래의 2000년 8월 3일자 미국 가출원 제60/222,795호의 이점을 청구한다.
발명의 분야
본 발명은 산화물 함량이 낮은 저산소 코발트 스퍼터 타깃(sputter target)을 생성하기 위해 코발트 중의 산소 함량 및 산화물 함량을 감소시키는 방법 및 이로부터 제조된 스퍼터 타킷 어셈블리에 관한 것이다.
발명의 배경
음극 스퍼터링은 목적하는 기판 위에 스퍼터 타깃으로부터 물질의 박층 또는 박막을 침착시키기 위해 널리 사용된다. 기본적으로, 스퍼터 타깃을 포함하는 음극 어셈블리는 불활성 기체, 바람직하게는 아르곤으로 충전된 방(chamber)에 양극과 함께 위치한다. 목적하는 기판은 통상적으로 음극 어셈블리와 양극 사이의 경로를 향하고 있는 수신 면을 갖는 양극 근처의 방에 위치한다. 고압 전기장이 음극 어셈블리와 양극에 교차하여 적용된다.
음극 어셈블리로부터 방출된 전자가 불활성 기체를 이온화시킨다. 이 후 전기장이 스퍼터 타깃의 스퍼터링 표면에 대하여 불활성 기체의 양전하로 충전된 이온을 추진한다. 이온 충격에 의해 스퍼터 타깃으로부터 나온 물질이 방을 가로질러 가서 침착되어 기판의 수신 면 위에 박층 또는 박막을 형성한다.
구체적으로, 코발트(Co) 스퍼터 타깃에 대하여, 코발트 박막의 스퍼터 침착은 얇고 균일한 코발트 규화물 막의 형성시 결정적인 단계이다. 통상적인 CoSi2규화물(자기 정렬된 규화물) 공정은 실리콘 웨이퍼 위의 Co 박막의 스퍼터 침착 후. 급열 가공(RTP)에 의해 중간 온도에서 CoSi를 형성하고, 이어서 승온에서 CoSi2를 형성함을 포함한다. 특히, 코발트 규화물은 저항율이 낮고, 화학적 안정도가 우수하고, 질소에 대하여 불활성이고, 생성 온도가 낮으며, 초대규모 집적(ULSI: Ultra-Large Scale Integration)의 접점으로서 사용하기 위한 TiSi2의 대안으로 생각된다.
통상적으로 코발트 타깃이 제조되는 코발트 잉곳(ingot)은 일정 양의 산화물 함유물, 예를 들면, 산화코발트, 코발트-티타늄 산화물 등을 함유한다. 당해 산화물 함유물 또는 금속 결함은 스퍼터링 침착 동안에 아크를 야기하고, 코발트가 스퍼터링되는 기판(즉, 실리콘 웨이퍼) 위에 금속 입자를 생성하여 코발트 금속화의 수율을 현저하게 감소시킨다.
최근의 코발트 스퍼터 타깃은 통상적으로 백만중량부당 170 내지 약 400중량부(wppm)의 고함량 산소를 함유한다. 코발트 스퍼터 타깃 중의 산소 함량이 높아질수록 산화물 함량이 증가한다고 공지되어 있다. 따라서, 이와 같은 산소 고함유 Co 타깃이 스퍼터링 동안에 사용되는 경우, 보다 많은 아크가 형성되어 기판 위에 침착된 보다 다량의 금속 결함을 야기한다.
따라서, 당해 기술 분야에서 산화물 함량이 낮은 저산소 코발트 스퍼터 타깃을 생성하기 위해 코발트 중의 산소 함량 및 산화물 함량을 감소시키는 방법 및 이로부터 제조된 스퍼터 타깃 어셈블리가 필요하다.
발명의 개요
본 발명은 산화물 함량이 낮은 저산소 코발트 스퍼터 타깃을 생성하기 위해 코발트 중의 산소 함량 및 산화물 함량을 감소시키는 방법 및 이로부터 생성된 스퍼터 타깃 어셈블리를 제공한다.
특히, 코발트 중의 산소 함량 및 산화물 함량을 감소시키는 방법은 산화물 함량이 낮은 저산소 코발트 스퍼터 타깃을 생성하기 위해 연속적인 순서로 조합될 수 있는 별개의 공정들이다. 산소 함량의 감소는 바람직하게는 산화물 함량을 감소하기 이전에 수행된다. 따라서, 기술자는 목적하는 코발트 스퍼터 타깃에서 산소의 감소가 바람직한지 또는 산화물 함유물의 감소가 바람직한지에 따라서 달라지는 기타의 공정없이 하나의 공정이 수행될 수 있는 것으로 생각할 것이다. 산화물 함량이 낮은 저산소 코발트 스퍼터 타깃을 생성하기 위해 코발트 중의 산소 함량 및 산화물 함량을 감소시키는 것은 스퍼터링 동안 종래의 고산소 코발트 스퍼터 타깃과 함께 발견된 아크 및 금속 결합을 감소시킨다.
저산소 코발트 스퍼터 타깃을 생성하기 위해 코발트 중의 산소 함량을 감소시키는 방법은 코발트(예를 들면, 전해 침착 코발트 용융 원료)를 제공하는 단계를 포함한다. 코발트 원료는 저순도 코발트(예를 들면, 3N5)이거나 고순도 코발트(예를 들면, 4N5, 5N5 및 6N)일 수 있다. 탈기제, 바람직하게는 탄소, 보다 바람직하게는 탄소 흑연 분말은, 탄소가 바람직하게는 혼합물의 50 내지 150wppm의 양으로 존재하는 코발트와 혼합된다. 혼합물을 가열하고 탈기시킨다. 가열은 탄소 및 초기 산소 함량이 반응하여 보다 낮은 제2 산소 함량을 생성하는 용융된 코발트 혼합물을 생성하기 위해, 코발트의 융점 이상, 바람직하게는 융점 이상의 약 50 내지 400℉에서 일어난다. 탄소를 첨가하지 않고 산소 함량이 증가하기도 한다.
끝으로, 용융된 혼합물을 냉각시켜서 목적하는 보다 낮은 산소 함량의 고형화된 코발트를 생성한다. 고형화된 코발트의 저산소 함량은 약 1 내지 170wppm, 바람직하게는 약 1 내지 100wppm, 보다 바람직하게는 1 내지 약 50wppm, 가장 바람직하게는 약 1 내지 30wppm이다. 고형화된 코발트는 오늘날 목적하는 스퍼터 타깃으로 성형하기에 적합하거나 산화물 함유물의 감소에 대비한다.
산화물 함유 감소 방법은 일정한 제작 및 열처리 단계를 이용하여 산화물 함유물을 일정 산소 수준, 바람직하게는 1000wppm 이하로 감소시킴을 포함한다. 당해 단계는 우선 초기 산화물 함량과 초기 산소 함량을 갖고 제1 두께를 갖는 코발트를 제공하는 단계를 포함한다. 코발트는 저순도 코발트(예를 들면, 3N5)이거나 고순도 코발트(예를 들면, 4N5, 5N5 및 6N)일 수 있다. 따라서, 코발트는 산소 감소 방법으로부터 고형화된 코발트를 포함할 수 있다.
다음에, 코발트를 이의 융점 이하의 온도, 바람직하게는 약 2000℉에서 가열한다. 이어서, 제1 두께를 감소시키도록 가열된 코발트를 열간압축시켜 제2 두께를 갖는 열간압축된 코발트를 생성한다. 이어서, 열간압축된 코발트를 이의 융점 이하의 온도, 바람직하게는 약 1800℉에서 가열한다. 끝으로, 압연이 제2 두께를 추가로 감소시키도록 가열된 열간압축된 코발트를 열간압연시켜 제3 두께를 갖는 열간압연된 코발트를 생성한다.
이러한 온도 및 프레스와 롤러에 의해 제공된 응력에서, 산화물 함유물은 매우 작은 입자로 파단된다. 이 후 이들 입자는 코발트 및 산소로 분리된다. 끝으로, 분리된 산소는 코발트에 의해 용해된다. 따라서, 열간압연된 코발트는 초기 산화물 함량보다 낮은 제2 산화물 함량을 포함한다. 오늘날, 압연된 코발트는 목적하는 스퍼터 타깃으로 성형하기에 적합하다.
따라서, 본 발명의 하나의 목적은 산화물 함량이 낮은 저산소 코발트 스퍼터 타깃을 생성하기 위해 코발트 중의 산소 함량 및 산화물 함량을 감소시키는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 스퍼터링 동안에 고산소 코발트 스퍼터 타깃과 관련된 아크 및 금속 결함을 감소시키는 것이다.
마지막으로, 본 발명의 또 다른 목적은 산화물 함량이 낮은 저산소 코발트 스퍼터 타깃을 갖는 스퍼터 타깃 어셈블리를 생성하는 것이다.
본 발명은 이하의 기술, 첨부된 도면 및 첨부된 청구항에서 추가로 기술될것이다.
도면의 설명
도 1은 코발트 타깃 중의 산소 함량의 함수로서의 코발트 스퍼터링 동안의 아크 계수를 나타내는 그래프이다.
도 2는 첨가한 탄소 분말의 함수로서의 코발트 잉곳 중의 생성된 산소 및 탄소 함량을 나타내는 그래프이다.
바람직한 양태의 상세한 설명
본 발명은 통상적으로 고산소 코발트 스퍼터 타깃과 관련된 스퍼터링 동안의 아크 및 금속 결함을 감소시키기 위해 스퍼터 타깃으로서 사용하기 위한 산소 함량 및 산화물 함량이 낮은 코발트를 생성하는 것에 관한 것이다.
특히, 코발트 중의 산소 함량 및 산화물 함량을 감소시키는 방법은 산화물 함량이 낮은 저산소 코발트 스퍼터 타깃을 생성하기 위해 연속적인 순서로 조합될 수 있는 별개의 공정들이다. 산소 함량의 감소 방법은 바람직하게는 산화물 함량을 감소하기 이전에 수행된다. 따라서, 기술자는 산소의 감소가 바람직한지 또는 산화물 함유물의 감소가 바람직한지에 따라서 달라지는 기타의 공정없이 하나의 공정이 수행될 수 있는 것으로 생각할 것이다.
오늘날의 코발트 스퍼터 타깃은 통상적으로 170 내지 400wppm의 범위에 있는 고산소 함량을 포함한다. 도 1의 그래프는 스퍼터링 동안의 아크 계수에 대한 코발트 타깃 중의 산소 함량의 영향을 나타낸다. 당해 그래프는 산소 함량이 감소할 때 아크 발생이 사실상 감소함을 나타낸다. 산소 함량이 약 20wppm 내지 90wppm인 코발트 타깃이 사용될 때 아크 계수의 상당한 감소가 관찰된다.
저산소 코발트 스퍼터 타깃을 생성하기 위해 코발트 중의 산소 함량을 감소시키는 방법은 코발트(예를 들면, 전해 침착 코발트 용융 원료)를 제공하는 제1 단계를 포함한다. 코발트 원료는 저순도 코발트(예를 들면, 3N5)이거나 고순도 코발트(예를 들면, 4N5, 5N5 및 6N)일 수 있다. 저순도 코발트 원료는 노르웨이 회사인 팔콘 브릿지(Falcon Bridge)로부터 구입가능하며, 고순도 코발트 원료는 일본에 소재하는 재팬 메탈즈 케미칼즈(Japan Metals Chemicals)로부터 구입가능하다.
탈기제, 바람직하게는 탄소, 보다 바람직하게는 탄소 분말이 코발트와 혼합된다. 고순도 탄소 분말은 불순물에 의한 오염을 피하기 위해 가장 바람직하다. 이러한 유형의 고순도 탄소 분말은 미국에 소재하는 알파(Alfa)로부터 구입가능한 HP 6N 흑연 분말이다. 혼합은 탄소가 바람직하게는 혼합물의 50 내지 150wppm, 보다 바람직하게는 50 내지 100wppm으로 존재하는, 도가니, 바람직하게는 산화 지르코늄으로 제조된 도가니에서 수행될 수 있다.
혼합물을 로(furnace)에 위치시키고 가열 및 탈기한다. 탈기는 압력이 약 5 ×10-5내지 1 ×10-4Torr인 진공 압력을 통해 수행된다. 코발트의 융점 이상, 바람직하게는 융점 이상의 약 50 내지 400℉에서 약 1/2시간 동안 가열이 일어나 탄소 및 초기 산소 함량이 반응하여 보다 낮은 제2 산소 함량을 생성하는 용융된 코발트혼합물을 생성한다. 용융된 코발트 중의 산소가 탄소 입자와 반응하여 CO2및 CO 가스를 생성하는데, 이 후 이는 가스 기포가 되어 결국 용융된 코발트로부터 진공로로 방출된다. 탄소의 첨가는 산소 함량을 현저히 감소시킨다. 따라서, 생성된 산소 및 탄소 함량은 탄소가 얼마나 많이 사용되는지에 매우 의존한다. 탄소를 첨가하지 않으면, 산소 함량이 상당히 증가할 것이다.
로의 온도는 최초 1/2시간 후 코발트의 융점 이상의 약 50℉로 감소한다. 그 후 용융된 코발트 혼합물을 여전히 진공하에서 주형에 붓는다. 주형의 온도는 코발트가 고형화되도록 코발트의 융점 이하로 유지된다. 그 후 용융된 혼합물을 주형에서 약 2시간 동안 냉각시켜서 산소 함량이 보다 낮은 고형화된 코발트를 생성한다.
도 2는 첨가한 탄소의 함수로서의 생성된 산소 및 탄소 함량을 나타낸다. 탈기제(즉, 탄소)를 첨가하지 않은 경우 산소 함량은 170wppm 내지 410wppm에서 변화한다. 50wppm 내지 150wppm의 탄소에 대하여, 코발트 중의 생성된 산소 함량의 범위는 5wppm 내지 30wppm이고, 코발트 중의 생성된 탄소 함량의 범위는 10wppm 미만 내지 25wppm이다. 첨가한 탄소의 양이 150wppm을 초과할 때, 코발트 물질에 매우 많은 탄소가 남아있다. 높은 수준의 잔여 탄소가 또한 스퍼터링 동안에 문제를 야기할 수 있다. 그러므로, 최적의 탄소 첨가량은 50wppm 내지 150wppm이다. 오늘날, 고형화된 코발트는 목적하는 스퍼터 타깃으로 성형하기에 적합하거나 산화물 함유의 감소에 대비한다.
다음에, 산화물 함유물 감소 방법에 있어서, 당해 방법은 일정한 제작 및 열처리 단계를 이용하여 산화물 함유물을 일정 산소 수준, 바람직하게는 1000wppm 이하로 감소시킴을 포함한다. 당해 단계는 초기 산화물 함량과 초기 산소 함량을 갖고 제1 두께를 갖는 코발트를 제공하는 단계를 포함한다. 코발트는 저순도 코발트(예를 들면, 3N5)이거나 고순도 코발트(예를 들면, 4N5, 5N5 및 6N)일 수 있고, 산소 감소 방법으로부터 생성된 고형화된 코발트를 포함할 수 있다. 산화물 함량은 통상적으로 광학 금속판술 및 주사 전자 현미경/에너지 분산 스펙트럼(SEM/EDS)을 이용하여 측정한다.
다음에, 코발트를 이의 융점 이하의 온도, 바람직하게는 약 2000℉에서 약 2시간 동안 가열한다. 이어서, 제1 두께를 약 1분 이내에 바람직하게는 약 50% 만큼 감소시키도록 가열된 코발트를 열간압축시켜 제2 두께를 갖는 열간압축된 코발트를 생성한다. 이어서, 열간압축된 코발트를 이의 융점 이하의 온도, 바람직하게는 약 1800℉에서 약 1시간 동안 가열한다.
끝으로, 제2 두께를 바람직하게는 약 60% 내지 70% 만큼 추가로 감소시키도록 코발트를 실온에서 열간압연시켜 제3 두께를 갖는 열간압연된 코발트를 생성한다. 따라서, 이러한 온도 및 프레스와 롤러에 의해 제공된 응력에서, 산화물 함유물은 매우 작은 입자로 파단된다. 이 후 이들 입자는 코발트 및 산소로 분리된다. 끝으로, 분리된 산소는 코발트에 의해 용해된다. 따라서, 고온 압연된 코발트는 초기 산화물 함량보다 낮은 제2 산화물 함량을 포함한다. 특히, 제조 후, 산화물 함유물은 전부 사라지지 않는다면 현저하게 감소한다. 오늘날, 압연된 코발트는목적하는 스퍼터 타깃으로 성형하기에 적합하다.
기술한 바와 같이, 상기 공정에 의해 생성된 저산소 및 저산화물 함유 코발트는 통상적으로 고산소 코발트 타깃과 연관된 스퍼터링 침착 동안의 아크 및 금속 결함을 감소시키기 위해 코발트 스퍼터 타깃으로서 사용된다. 산화물 함량이 낮은 당해 저산소 타깃은 구리, 알루미늄 및 이의 합금을 포함하는 금속 지지판과 함께 사용하는 것이 최상이다.
따라서 본 발명은 약 170wppm 미만의 산소를 함유하는 Co를 포함하는 스퍼터링 타깃을 생성할 수 있다. 바람직하게는, 타깃은 100wppm 미만의 산소를 포함하며, 50wppm 미만의 산소가 가장 바람직하다. (모든 ppm 계산은 타깃의 총중량을 기준으로 한다.)
감소된 산화물 함량을 생성하기 위해 기재된 공정에서 사용하는 코발트/탈기제 혼합물은 Co/C 혼합물(여기서, C는 혼합물의 중량을 기준으로 하여 약 1 내지 150wppm, 바람직하게는 약 50wppm 내지 150wppm, 가장 바람직하게는 약 50wppm 내지 100wppm의 양으로 존재한다)이다.
본원에서 기술한 방법 및 당해 방법에 따라서 생성된 코발트가 본 발명의 바람직한 양태를 구성하고 있으나, 본 발명은 당해 정확한 방법 및 구조에 한정되지 않고, 첨부된 청구의 범위에서 정의된 본 발명의 범위로부터 벗어나지 않으면서 변화가 행해질 수 있음이 이해되어야 한다.

Claims (35)

  1. 초기 산소 함량을 갖는 코발트와 탈기제의 혼합물을 제공하는 단계(a) 및
    탈기제와 초기 산소 함량이 반응하여 약 1wppm 내지 170wppm의 제2 산소 함량을 갖도록 혼합물을 가열하고 탈기시키는 단계(b)를 포함하는, 저산소 함량의 코발트 스퍼터 타깃을 생성하여 스퍼터링 침착 동안 아크를 감소시키기 위해 코발트 중의 산소 함량을 감소시키는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 제2 산소 함량이 약 1wppm 내지 약 100wppm인 방법.
  3. 제2항에 있어서, 제2 산소 함량이 약 1wppm 내지 약 50wppm인 방법.
  4. 제3항에 있어서, 제2 산소 함량이 약 1wppm 내지 약 30wppm인 방법.
  5. 초기 산소 함량을 갖는 코발트와 1wppm 내지 150wppm의 양으로 존재하는 탄소의 혼합물을 제공하는 단계(a)
    탄소와 초기 산소 함량이 반응하여 초기 산소 함량보다 낮은 제2 산소 함량을 갖도록 당해 혼합물을 코발트의 융점 이상으로 가열하고 탈기시켜 용융된 코발트 혼합물을 생성하는 단계(b) 및
    용융된 코발트 혼합물을 냉각시켜 제2 산소 함량을 갖고 스퍼터 타깃으로 성형하기에 적합한 고형화된 코발트를 생성하는 단계(c)를 포함하는, 저산소 함량의 코발트 스퍼터 타깃을 생성하여 스퍼터링 침착 동안 아크를 감소시키기 위해 코발트 중의 산소 함량을 감소시키는 방법.
  6. 제5항에 있어서, 코발트가 고순도 코발트 및 저순도 코발트로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 방법.
  7. 제5항에 있어서, 코발트가 3N5, 4N5, 5N5 및 6N 코발트로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 방법.
  8. 제5항에 있어서, 탄소가 탄소 분말인 방법.
  9. 제5항에 있어서, 탄소가 혼합물의 약 50wppm 내지 150wppm의 양으로 존재하는 방법.
  10. 제8항에 있어서, 탄소가 혼합물의 약 50wppm 내지 100wppm의 양으로 존재하는 방법.
  11. 제1항에 있어서, 혼합물이 코발트의 융점 이상의 약 50℉ 내지 400℉에서 약1/2시간 동안 가열되고, 탈기가 약 5 ×10-5내지 1 ×10-4Torr의 진공 압력을 통해 수행되는 방법.
  12. 초기 산화물 함량과 초기 산소 함량을 갖고 제1 두께를 추가로 갖는 코발트를 제공하는 단계(a)
    코발트를 이의 융점 이하의 온도에서 가열하는 단계(b),
    코발트를 가열 압축하여 제1 두께를 제2 두께로 감소시키는 단계(c),
    단계(c)에서 생성된 코발트를 이의 융점 이하의 온도에서 가열하는 단계(d) 및
    초기 산화물 함량보다 낮은 제2 산화물 함량을 갖고 제3 두께를 갖는 코발트가 생성되도록 단계(d)에서 생성된 코발트를 추가로 압축시키는 단계(e)를 포함하는, 산화물 함량이 낮은 코발트 스퍼터 타깃을 생성하여 스퍼터링 변형 동안 야기된 금속 결함을 감소시키기 위해 코발트 중의 산화물 함량을 감소시키는 방법.
  13. 초기 산화물 함량과 초기 산소 함량을 갖고 제1 두께를 갖는 코발트를 제공하는 단계(a),
    코발트를 이의 융점 이하의 온도에서 가열하는 단계(b),
    제1 두께를 감소시키도록 가열된 코발트를 열간압축시켜 제2 두께를 갖는 열간압축된 코발트를 생성하는 단계(c),
    열간압축된 코발트를 이의 융점 이하의 온도에서 가열하는 단계(d) 및
    제2 두께를 추가로 감소시키도록 가열된 열간압축된 코발트를 열간압연시켜 제3 두께를 갖고, 초기 산화물 함량보다 낮은 제2 산화물 함량을 추가로 가지며, 스퍼터 타깃으로 성형하기에 적합한 열간압연된 코발트를 형성하는 단계(e)를 포함하는, 산화물 함량이 낮은 코발트 스퍼터 타깃을 생성하여 스퍼터링 침착 동안 야기된 금속 결함을 감소시키기 위해 코발트 중의 산화물 함량을 감소시키는 방법.
  14. 제13항에 있어서, 코발트가 고순도 코발트 및 저순도 코발트로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 방법.
  15. 제13항에 있어서, 코발트가 3N5, 4N5, 5N5 및 6N 코발트로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 방법.
  16. 제13항에 있어서, 단계(b)에서 코발트가 약 2000℉에서 약 2시간 동안 가열되는 방법.
  17. 제13항에 있어서, 단계(c)에서 가열된 코발트의 제1 두께가 약 50% 감소되는 방법.
  18. 제13항에 있어서, 단계(d)에서 열간압축된 코발트가 약 1800℉에서 약 1시간동안 가열되는 방법.
  19. 제13항에 있어서, 단계(e)에서 가열된 열간압축된 코발트의 제2 두께가 약 60% 내지 70% 감소되는 방법.
  20. 초기 산소 함량을 갖는 코발트와 1wppm 내지 150wppm의 양으로 존재하는 탄소의 혼합물을 제공하는 단계(a),
    탄소와 초기 산소 함량이 반응하여 초기 산소 함량보다 낮은 제2 산소 함량을 갖도록 당해 혼합물을 코발트의 융점 이상으로 가열하고 탈기시켜 용융된 코발트 혼합물을 생성하는 단계(b),
    용융된 코발트 혼합물을 냉각시켜 제2 산소 함량을 갖고, 초기 산화물 함량을 갖으며 제1 두께를 갖는 고형화된 코발트를 생성하는 단계(c),
    고형화된 코발트를 이의 융점 이하의 온도에서 가열하는 단계(d),
    제1 두께를 감소시키도록 가열된 코발트를 열간압축시켜 제2 두께를 갖는 열간압축된 코발트를 생성하는 단계(e),
    열간압축된 코발트를 이의 융점 이하의 온도에서 가열하는 단계(f) 및
    제2 두께를 추가로 감소시키도록 가열된 열간압축된 코발트를 열간압연시켜 제3 두께를 갖고 초기 산화물 함량보다 낮은 제2 산화물 함량을 추가로 가지며, 코발트 스퍼터 타깃으로 성형하기에 적합한 열간압연된 코발트를 형성하는 단계(g)를 포함하는, 산화물 함량이 낮은 저산소 코발트 스퍼터 타깃의 제조방법.
  21. 제20항에 있어서, 코발트가 고순도 코발트 및 저순도 코발트로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 방법.
  22. 제20항에 있어서, 코발트가 3N5, 4N5, 5N5 및 6N 코발트로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 방법.
  23. 제20항에 있어서, 탄소가 탄소 분말인 방법.
  24. 제20항에 있어서, 탄소가 혼합물의 50wppm 내지 100wppm의 양으로 존재하는 방법.
  25. 제20항에 있어서, 혼합물이 코발트의 융점 이상의 약 50℉ 내지 400℉에서 약 1/2시간 동안 가열되고, 탈기가 약 5 ×10-5내지 1 ×10-4Torr의 진공 압력을 통해 수행되는 방법.
  26. 제20항에 있어서, 단계(d)에서 코발트가 약 2000℉에서 약 2시간 동안 가열되는 방법.
  27. 제20항에 있어서, 단계(e)에서 가열된 코발트의 제1 두께가 약 50% 감소되는 방법.
  28. 제20항에 있어서, 단계(f)에서 열간압축된 코발트가 약 1800℉에서 약 1시간 동안 가열되는 방법.
  29. 제20항에 있어서, 단계(g)에서 가열된 열간압축된 코발트의 제2 두께가 약 60% 내지 70% 감소되는 방법.
  30. 산소 함량이 170wppm 미만인 Co를 포함하는 스퍼터 타깃.
  31. 제30항에 있어서, 산소 함량이 약 100wppm 미만인 스퍼터 타깃.
  32. 제30항에 있어서, 산소 함량이 약 50wppm 미만인 스퍼터 타깃.
  33. 혼합물의 중량을 기준으로 하여, 1wppm 내지 150wppm의 양으로 존재하는 탄소와 코발트를 배합하여 포함하는, 코발트 탈기용 혼합물.
  34. 제33항에 있어서, 탄소가 약 50wppm 내지 약 150wppm의 양으로 존재하는 혼합물.
  35. 제33항에 있어서, 탄소가 약 50wppm 내지 100wppm의 양으로 존재하는 혼합물.
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