KR20030006685A - 웨이퍼이송용기 오프너의 리프터 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (9)
- 상하단에 고정된 구동풀리들에 구동벨트를 감아 구동모터로 상기 구동풀리를 구동하여, 웨이퍼이송용기오프너의 도어홀더가 고정된 서포트를 승하강시키는 리프터에 있어서,일단에 상기 구동벨트가 고정되며, 타단에 상기 서포트가 연결되는 이송편;상하단에 상기 구동풀리들 및 상기 구동풀리들에 감겨 상기 이송편을 상하로 이송하는 상기 구동벨트를 내부에 수납하는 한편, 일측에 상기 이송편이 출수되는 개방부를 갖고, 상기 개방부의 양측연을 따라 그 길이방향으로 좌우한쌍의 부착편을 구비한 리프트프레임; 및상기 부착편에 부착되어 상기 리프트프레임의 개방부를 외부와 차폐하는 차폐판을 포함하는 웨이퍼이송용기 오프너의 리프터.
- 제 1항에 있어서, 상기 이송편은 상기 리프트프레임내에 위치한 H자형의 가이드홈과, 상기 리프트프레임을 돌출하여 단부에 상기 서포트가 고정되는 서포트고정판부를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송용기 오프너의 리프터.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 리프트프레임의 내부에는 수직방향으로 상기 가이드홈에 삽입되어 상기 이송편의 수직승하강을 안내하는 가이드레일이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송용기 오프너의 리프터.
- 제 3항에 있어서, 상기 가이드레일과 상기 가이드홈 사이에는 마찰을 감소시키는 볼들이 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송용기 오프너의 리프터.
- 제 2항에 있어서, 상기 이송편의 서포트고정판부의 내부에는 통과하는 상기 차폐판을 가이드하여 탈부착을 용이하게 하는 상하 한쌍의 안내롤러들을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송용기 오프너의 리프터.
- 제 1항에 있어서, 상기 부착편은 영구자석이고, 그에 부착되는 상기 차폐판은 박판의 철판인 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송용기 오프너의 리프터.
- 웨이퍼이송용기오프너의 메인프레임에 고정되어, 도어홀더가 고정된 서포트를 승하강시키는 리프터에 있어서,일정간격 이격하여 상기 메인프레임에 고정되는 상하 한쌍의 상하부지지판;상기 상하부지지판 사이에 수직하게 일정간격 이격하여 양단부가 고정된 좌우 한쌍의 안내봉;상기 안내봉과 평행하게 상기 상하부지지판에 회전가능케 양단이 고정된 이송스크류봉;상기 이송스크류봉과 결합되는 볼너트부를 구비하고 상기 이송스크류봉의 회전에 따라 승하강하는 한편 양측에 상기 안내봉이 관통하는 안내공들을 구비하고이송안내되며, 측면에 상기 서포트가 결합되는 이송편; 및상기 이송스크류봉의 일단에 결합되어 회전구동하는 구동수단을 포함하는 웨이퍼이송용기 오프너의 리프터.
- 제 7항에 있어서, 상기 구동수단은 상기 하부지지판상에 고정되는 구동모터와, 상기 구동모터와 결합되어 회전하는 구동풀리와, 상기 구동풀리에 감겨진 구동벨트 및, 상기 구동벨트로 동력이 전달되어 상기 이송스크류봉을 회전시키는 상기 이송스크류봉의 최하단에 결합된 종동풀리를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송용기 오프너의 리프터.
- 제 7항에 있어서, 상기 이송편이 이동하는 상기 메인프레임의 상하구간에는 상기 이송편의 상하정지위치를 감지하는 위치감지센서들이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼이송용기 오프너의 리프터.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020010042558A KR100757001B1 (ko) | 2001-07-14 | 2001-07-14 | 웨이퍼이송용기 오프너의 리프터 |
US09/999,129 US20030012627A1 (en) | 2001-07-14 | 2001-10-19 | Apparatus for transferring front opener unified pod door in opener of front opener unified pod |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020010042558A KR100757001B1 (ko) | 2001-07-14 | 2001-07-14 | 웨이퍼이송용기 오프너의 리프터 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20030006685A true KR20030006685A (ko) | 2003-01-23 |
KR100757001B1 KR100757001B1 (ko) | 2007-09-11 |
Family
ID=27715142
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020010042558A KR100757001B1 (ko) | 2001-07-14 | 2001-07-14 | 웨이퍼이송용기 오프너의 리프터 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100757001B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109229596A (zh) * | 2018-08-15 | 2019-01-18 | 四川省绵竹兴远特种化工有限公司 | 乳化炸药生产线中回转式卡扣机用防护装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6082951A (en) * | 1998-01-23 | 2000-07-04 | Applied Materials, Inc. | Wafer cassette load station |
KR20010058722A (ko) * | 1999-12-30 | 2001-07-06 | 서성원 | 웨이퍼 카세트 도어 개폐장치 |
-
2001
- 2001-07-14 KR KR1020010042558A patent/KR100757001B1/ko active IP Right Grant
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109229596A (zh) * | 2018-08-15 | 2019-01-18 | 四川省绵竹兴远特种化工有限公司 | 乳化炸药生产线中回转式卡扣机用防护装置 |
CN109229596B (zh) * | 2018-08-15 | 2023-08-22 | 四川省绵竹兴远特种化工有限公司 | 乳化炸药生产线中回转式卡扣机用防护装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR100757001B1 (ko) | 2007-09-11 |
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E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
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G170 | Publication of correction | ||
FPAY | Annual fee payment |
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|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130904 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
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|
FPAY | Annual fee payment |
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|
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FPAY | Annual fee payment |
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|
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FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180903 Year of fee payment: 12 |
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Payment date: 20190826 Year of fee payment: 13 |