KR20030000035A - 바이오필터와 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스정화장치 및 그 정화방법 - Google Patents

바이오필터와 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스정화장치 및 그 정화방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 화력발전소나 제철설비, 보일러, 도장설비, 소각로 등의 산업시설 및 석유화학제품 생산과정에서 배출되는 유해가스를 정화시키기 위한 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
본 발명은 유해가스를 공급받아 그 내부에 서식하고 있는 미생물에 의해 유기분해하는 바이오필터와; 이 바이오필터의 주변에 설치되고 미생물의 서식환경을 조절하는 환경조절수단과; 유기분해된 유해가스를 고주파의 마이크로웨이브를 통해 무기분해하는 제1정화기와; 제1정화기와 연결되어 1차 무기분해된 유해가스중 미분해된 유해성분을 재차 고주파의 마이크로웨이브를 통해 분해하는 제2정화기와; 완전정화된 공기를 대기로 배출하도록 제2정화기 하측에 부설된 진공펌프를 포함하여 구성되어; 톨루엔, 크실렌, 스티렌, 벤젠 등의 휘발성 유기화합물을 비롯하여 녹스, 삭스, 황화수소, 암모니아 등의 고농도 유해가스를 바이오필터를 통해 저농도의 유해가스로 유기분해한 후 제1,2정화기를 통해 고주파의 마이크로웨이브를 인가함으로써 전자계의 공진현상을 이용하여 무기분해하여 인체에 무해한 정화된 공기만이 대기중으로 배출될 수 있도록 구성한 것이다.
본 발명에 의하면, 대량의 고농도 유해가스를 용이하게 고효율 적으로 정화시킬 수 있고, 에너지 소비가 적어 장치의 소형화가 가능하다.

Description

바이오필터와 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화장치 및 그 정화방법{HARMFUL GAS PURIFYING APPARATUS AND THEREOF METHOD BY USING BIO FILTER AND MICRO WAVE}
본 발명은 화력발전소나 제철설비, 보일러, 도장설비, 소각로 등의 산업시설및 석유화학제품 생산과정에서 배출되는 유해가스를 정화시키기 위한 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 특히 배출되는 유해가스 및 악취성분을 미생물이 서식하는 필터층(바이오필터)에 통과시켜 미생물의 분해활동에 의한 고농도의 유해성분을 분해하고 분해된 가스중 잔유물 및 미반응가스는 마이크로웨이브의 공진을 이용하여 최종 무해가스로 분해시킬 수 있도록 한 정화장치 및 그 정화방법에 관한 것이다.
최근의 급격한 산업화는 화석에너지의 급격한 사용을 불러일으켜 환경(대기)오염물질을 다량배출함으로써 산성비, 지구온난화, 오존층 파괴 및 광학적 스모그 현상 등과 같은 심각한 환경문제를 유발하고 있다.
특히, 화력발전소와 보일러, 보일러, 도장설비, 제철설비, 소각로 등의 산업시설 및 자동차 등에서 배출되는 질소산화물(NOX:이하 "녹스"라 한다)과 황산화물(SOX:이하 "삭스"라 한다) 가스는 산성비의 주된 원인이 되며 매년 그 방출량이 급격히 증가되고 있는 실정이며; 페인트, 플라스틱제품, 안료, 섬유원사 등의 석유화학 제품을 생산하는 과정에서 발생되는 알콜류, 에테르류, 알데히드류, 케톤류, 방향족류 등과 같은 휘발성 유기화합물(VOCs:이하 "복스"라 함)을 비롯하여 다이옥신과 같이 인체에 유해한 가스도 비례적으로 급증하고 있는 실정이다.
이러한 일련의 환경오염에 대한 인식이 확산되면서 산업시설 등에서는 필연적으로 상술한 유해가스를 처리할 수 있는 설비를 갖추도록 법제화되어 규제되고는 있으나 이러한 설비들은 대부분 산업쓰레기나 분진 혹은 유해한 화학가스 등을 제거하기 위한 단순 전기집진설비 혹은 화학가스중 일부만 제거할 수 있는 정도의 기술수준에 해당하는 설비만을 갖추고 있는 실정이다.
이와 같은 상황인식의 하나로 최근에는 바이오필터를 활용한 정화장치들이 제안되고 있는 바, 이러한 바이오필터를 활용한 기술은 미생물이 서식하는 퇴비나 나무껍질 또는 섬유상 피이트 등으로 된 필터에 오염물질을 분해하는 박테리아나 곰팡이 등과 같은 호기성 미생물이 성장할 수 있도록 충분한 습도와 적정온도 및 PH 를 유지시켜 필터 표면에 부착하는 미생물의 호흡과정에서 유기물과 무기물을 분해시키는 것을 말한다.
그런데, 상기 바이오필터를 이용한 유해가스 정화기술은 암모니아나 황화수소, 벤젠, 톨루엔, 크실렌 등의 복스는 매우 잘 분해시키는 장점이 있으나 삭스, 녹스, TCE 등의 무기화합물은 잘 처리시키지 못하는 단점을 가진다.
특히, 용존산소의 양, 독성화합물의 존재여부, 영양분의 양, 충분한 습도, PH 등을 적절히 유지시켜 주어야만 하며, 또한 과도한 분진이나 그리스, 레진을 함유할 때에는 미생물이 서식하는 필터가 막혀 유해가스의 분해효율이 현저히 저하되게 되고, 1000 PPM 이상의 고농도에 대해서는 처리가 불가할 뿐만 아니라 오염된 공기가 바이오필터에 최소한 15초 이상을 체류해야만 효과를 얻을 수 있다는 단점이 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술이 갖는 한계점을 감안하여 이를 효과있게 개선하기 위해 창출한 것으로, 고농도의 유해가스를 1차로 미생물이 서식하는 바이오필터를 통해 저농도의 유해가스로 분해한 후 2차로 저농도의 유해가스를 마이크로웨이브의 고주파 공진작용에 의해 최종 무해가스로 분해토록 함으로써 강한 내구성과 자동화에 따른 유지관리가 용이하고 짧은 반응시간에도 악취 및 복스, 삭스, 녹스, 암모니아, 황화수소 등과 같은 유기화합물과 무기화합물을 동시에 처리할 수 있도록 한 바이오필터와 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화장치 및 정화방법을 제공함을 그 목적으로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 정화장치의 개략적인 구성 블럭도,
도 2는 본 발명에 따른 정화장치를 구성하는 제1정화기의 개략적인 내부구조도를 보인 사시도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 유해가스공급구 16,20 : 바이오필터
30 : 배출관 40 : 제1정화기
41 : 본체 42 : 파이렉스관
43 : 도파관 44 : 고주파발진유닛
50 : 제2정화기 60 : 진공펌프
C : 환경조절수단 H : 하우징
본 발명의 정화장치는 공급된 고농도의 유해가스를 미생물을 통해 저농도의 유해가스로 유기분해하는 제1,2바이오필터와; 상기 제1,2바이오필터에 서식하는 미생물의 서식환경을 최적상태로 관리제어하도록 제1,2바이오필터 주변에 설치된 환경조절수단과; 상기 제1,2바이오필터를 거쳐 1차 분해된 저농도의 유해가스를 공급받아 고주파의 마이크로웨이브를 통한 전자계의 공진현상을 이용하여 유해성분과 무해성분으로 무기분해하는 제1정화기와; 상기 제1정화기와 연결되고 제1정화기에서 미분해된 가스를 촉매와 고주파의 마이크로웨이브를 통해 다시한번 무기분해하는 제2정화기와; 상기 제2정화기에 연결되고 이로부터 배출된 정화가스를 진공의 힘으로 대기 배출시키는 진공펌프를 포함하여 구성된다.
본 발명에서 사용되는 바이오필터는 토양이나 퇴비 등에 미생물이 잘 서식할 수 있도록 일정한 조건을 부여하여 제조된다.
상기 바이오필터는 다공구조의 입도분포를 갖도록 함으로써 미생물이 유해가스와 반응할 수 있는 면적이 넓고, 압력손실을 낮게 유지할 수 있으며, 압축되는 정도가 최소로 유지되도록 하여 미생물에 의한 유해가스의 정화작용이 최적화되도록 구성된다.
또한, 본 발명에서 사용되는 환경조절수단은 미생물의 서식을 촉진키 위해 충분한 수분을 공급하는 펌프 및 이와 연결되고 바이오필터의 상측에 설치된 스프레이노즐; 유해가스의 지나친 과열이나 냉각을 막아 적정온도로 조절시키는 송풍 및 온도조절기; 유해가스 내 레진 및 분진을 걸러주는 집진기; 상기 바이오필터의 분해능이 증대되어 압축이 심해지면 기계적인 방식으로 필터를 솎아주는 수축방지기; 시간이 경과함에 따라 바이오필터의 입도분포와 다공구조가 압축되어 필터를 폐쇄함으로써 발생되는 압력차이를 측정하여 이를 조절하기 위한 차압측정기 및 분해된 유해가스의 농도를 측정하기 위한 농도측정기들이 포함되어 부가 구성된다.
상기 환경조절수단은 미생물들이 바이오필터 내부에서 증식하는데 영향을 주는 조건인 용존산소량, 독성화합물의 존재여부, 영양분의 양, 습도, 적정온도 등을 적절히 조절하여 유지시키기 위한 수단이다.
여기에서, 상기 스프레인노즐은 상대습도가 항상 95% 정도 유지되도록 중앙컨트롤부의 제어를 받아 적정시점에서 수시로 혹은 주기적으로 펌프로부터 수분을 공급받아 제1,2바이오필터에 공급하게 된다.
상대습도를 95%로 유지하는 것은 그 이하의 습도에서는 미생물의 번식과 활동이 저하되므로 이를 촉진시키기 위함이다.
본 발명의 제1,2정화기는 원통상의 부재 내부에 분해된 저농도의 유해가스가 관류될 수 있는 별도의 관이 배설되고, 이 관의 외주연을 따라 고주파발진유닛의 단자에 연결된 도파관이 나선형으로 권취배설된 구조이다.
상기 고주파발진유닛은 특정 원자그룹에 있는 전자를 여기시켜 배기가스 성분을 해리시킴으로써 라디컬반응을 촉진시키는 즉, 요구되는 전기화학반응에 대하여 아주 뛰어난 전자 여기력을 가진 마이크로웨이브가 바람직하다.
특히, 상기 마이크로웨이브는 저소비 전력으로도 고주파를 발생시켜 전자계방사와 공진현상이 가능하므로 본 발명에 적당하다.
또한, 상기 마이크로웨이브의 주파수 대역은 40kHz ~ 10GHz인 라디오 주파수 대역이 바람직한 바, 이는 이 영역에서 전자와 분자가 여러가지 파장의 전자계 파장을 흡수 및 방사할 수 있으므로 분자 및 원자들로부터 쉽게 그리고 넓은 면적에 걸쳐 전자를 여기시키는 능력이 뛰어나기 때문이다.
본 발명의 정화방법은 환경조절수단이 부가된 바이오필터로 고농도의 유해가스를 공급하여 바이오필터에 서식하는 미생물에 의해 저농도의 유해가스로 유기분해하는 단계와; 유기분해된 저농도의 유해가스를 공급받아 고주파발진유닛을 통해 인가되는 고주파의 마이크로웨이브에 의해 1차 무기분해하는 단계와; 상기 1차 무기분해된 유해가스중 미분해된 유해가스에 다시한번 고주파의 마이크로웨이브를 인가하여 2차 무기분해함과 동시에 촉매를 사용하여 미분해된 유해성분은 회수토록 하는 단계와; 상기 단계후 진공펌프를 통해 완전정화된 공기를 대기중으로 배출하는 단계를 포함하여 이루어진다.
특히, 유해가스중 악취는 바이오필터를 통한 유기분해 과정없이 고주파 마이크로웨이브를 통한 1,2차의 무기분해 과정만으로도 충분히 악취성분을 분해할 수 있고, 분해된 후 곧바로 대기로 방출시킬 수 있다.
이하에서는, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 한 바람직한 실시예에 대하여 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예를 도식적으로 보인 구성 블럭도이다.
도 1에 따르면, 본 발명의 정화장치는 박스형상의 하우징(H) 내에 한쌍의 바이오필터(16,20)가 구획설치되어 구성된다.
상기 바이오필터(16,20)는 다공구조의 입도분포를 갖는 것으로 퇴비, 토양 등을 성분으로 하여 미생물이 잘 서식할 수 있게 구성된다.
하우징(H)의 일측에는 톨루엔, 크실렌, 벤젠, 스티렌 등의 휘발성 유기화합물을 비롯하여 삭스, 녹스, 황화수소, 암모니아 등이 포함된 고농도의 유해가스(오염된 공기)가 유입될 수 있는 유해가스공급구(10)가 연결형성된다.
아울러, 상기 유해가스공급구(10)가 연결된 측에는 제1바이오필터(16)가 설치되고, 이와 평행하고 대응된 크기의 제2바이오필터(20)는 격벽에 의해 구획되고 상측을 통해 상기 제1바이오필터(16)측과 연통가능하게 배치된다.
상기 제1,2바이오필터(16,20)의 인접측에는 미생물의 서식 촉진을 위한 환경조절수단(C)이 부설된다.
상기 환경조절수단(C)은 예컨대, 송풍 및 온도조절기(12), 집진기(14), 수축방지기(18), 스프레이노즐(28), 차압측정기(22) 및 농도측정기(24)와 같은 것으로 미생물의 서식상태를 최적하게 관리유지하기 위한 것이다.
송풍 및 온도조절기(12)는 하우징(H)내 제1바이오필터(16)의 하측에 설치되어 고농도의 유해가스가 과열되거나 과냉되지 않도록 그 온도를 측정하고 중앙컨트롤부(70)의 제어신호를 송신받아 부설된 송풍기를 구동시켜 송풍하는 기능을 수행하게 된다.
상기 송풍 및 온도조절기(12)의 인접 상측인 제1바이오필터(16)의 직하방에는 집진기(14)가 설치되어 상기 제1바이오필터(16)로 공급되는 고농도의 유해가스에 함유된 레진이나 분진과 같은 이물질을 집진하여 제거하게 된다.
수축방지기(18)는 상기 제1,2바이오필터(16,20)의 직상방에 배치되고, 상기 필터(16,20)의 압축이 심해졌을 때 초음파진동과 같은 방식에 의해 상기 제1,2바이오필터(16,20)에 서식된 미생물을 솎아주게 된다.
스프레이노즐(28)은 상기 수축방지기(18)의 상측에 이격설치되고, 상기 하우징(H)의 양측 바닥면에 고정된 한쌍의 펌프(26)로부터 수분을 공급받아 상기 제1,2바이오필터(16,20)에 적정수분을 수시로 혹은 주기적으로 공급하게 된다.
이를 위해, 상기 펌프(26)는 중앙컨트롤부(70)와 전기적으로 연결설치된다.
차압측정기(22)는 상기 제2바이오필터(20)의 인접 하방에 격벽에 의해 분리구획된 상기 집진기(14)와 평행한 위치에 설치되며, 시간의 경과에 따라 상기 제1,2바이오필터(16,20)의 입도분포와 다공구조의 변화가 발생되어 압력차가 유발되면 이 압력차를 측정하여 제1,2바이오필터(16,20)의 상태를 점검할 수 있도록 하여 준다.
또한, 상기 차압발생기(22)의 하측인 후술할 배출관(30)의 인접측에는 농도측정기(24)가 설치되어 상기 제1,2바이오필터(16,20)를 통해 유기분해된 유해가스의 농도를 측정하게 된다.
측정된 농도는 별도의 디스플레이부(미도시)를 통해 표시될 수 있으며, 관리자는 이를 점검하여 바이오필터의 분해능을 점검하고 교체시기를 판단할 수 있게 하여준다.
상기 하우징(H)의 제2바이오필터(20)측 하단에는 배출관(30)이 연결되고, 상기 배출관(30)의 타단은 제1정화기(40)의 하단과 연통배치된다.
상기 제1정화기(40)는 도 2의 도시와 같이, 원통형상의 이중관 형태를 이루는 본체(41)와, 상기 본체(41)의 내부에 길이방향을 따라 유해가스가 관류되는 파이렉스관(42)이 배치되고, 상기 파이렉스관(42)의 외주에는 도파관(43)이 나선형상을 이루며 권취된다.
상기 도파관(43)의 양단에는 고주파발진유닛(44)이 연결되고, 상기 고주파발진유닛(44)은 전원공급부(45)와 연결된다.
상기 도파관(43)은 동축코일로 형성됨이 바람직하다.
상기 고주파발진유닛(44)은 마이크로웨이브가 바람직하며, 이때 사용된 주파수 대역은 40kHz ~ 10GHz이고, 실험에 의하면 2.45GHz가 특히 바람직하다.
상기 제1정화기(40)의 인접측에는 제1정화기(40)에서와 동일한 구조를 갖는 제2정화기(50)가 설치되고, 상기 제1정화기(40)의 상단을 통해 배출된 1차 무기분해된 가스는 상기 제2정화기(50)의 상단을 통해 하단측으로 공급가능하게 연결배관된다.
상기 제2정화기(50)의 내부에는 촉매가 회수가능하게 내장되거나 혹은 관류될 수 있도록 구성되며, 상기 촉매로서는 흡착율과 활성화에너지가 높고 특히 전자흡수력과 방사력이 뛰어난 활성탄이 바람직하다.
한편, 상기 제2정화기(50)의 하측에는 진공펌프(60)가 설치되는 바, 이는 제2정화기(50)에서 분해되고 정화된 공기를 대기중으로 방출할 때에 상압 혹은 고압을 사용할 경우 미반응가스가 대기중으로 곧바로 누출될 가능성을 완전히 차단하기 위함이다.
이러한 구성으로 이루어진 본 발명의 정화장치는 다음과 같은 방법으로 작동된다.
산업시설로부터 발생된 톨루엔, 크실렌, 스티렌, 벤젠 등의 휘발성 유기화합물을 비롯하여 삭스, 녹스, 황화수소, 암모니아 등이 포함된 고농도의 유해가스(오염된 공기)가 유해가스공급구(10)를 통해 하우징(H)의 제1바이오필터(16) 하측으로 공급된다.
이때, 상기 유해가스는 그에 함유된 레진 혹은 분진들이 집진기(14)를 통해 필터링된 후에 제1바이오필터(16)로 공급되므로 이들 레진, 분진들에 의한 제1바이오필터(16)의 막힘현상은 사전에 배제된다.
상기 제1바이오필터(16)를 거치면서 필터의 다공층에 흡착된 고농도의 유해가스는 그에 서식하고 있는 박테리아, 곰팡이 등과 같은 미생물에 의해 유기분해(호흡:산화과정)되게 된다.
그 분해과정은 대략 다음과 같다.
오염된공기 + O2+ 미생물의정화작용 →
CO2+ N2+ H2O + 미반응한 오염된공기
이러한 과정을 거쳐 고농도의 유해가스가 제2바이오필터(20)를 통과하게 되면 저농도로 바뀌게 된다.
상기 제1,2바이오필터(16,20)를 통해 저농도로 분해된 유해가스는 제1정화기(40)로 유입되게 된다.
상기 제1정화기(40)에서는 가스의 농도와 종류에 따라 수백에서 수천볼트의 전압을 발생시키는 전원공급부(45)를 통해 대략 2000V 이상의 전압이 가해지게 되고, 이 전압에 의해 고주파발진유닛(44)에서는 고주파가 발진되게 된다.
상기 고주파의 주파수영역은 40kHz ~ 10GHz이고, 특히 2.45GHz가 적당하다.
발진된 고주파는 도판관(43)인 동축코일을 통해 공진되고, 공진된 고주파는 파이렉스관(42)을 투과하여 상기 제1정화기(40)의 본체(41) 내부에 전계와 자계를 형성하게 된다.
이에 따라, 배출관(30)을 통해 공급된 저농도의 유해가스는 이를 이루고 있는 분자고리가 끊어지면서 무해한 가스상태로 재결합한 후 제2정화기(50)로 이동되게 된다.
상기 제2정화기(50)에서도 상기 제1정화기(40)에서와 동일한 고주파 마이크로웨이브가 인가되어 고주파 발진에 따른 전계와 자계를 형성하여 고주파에너지가 미분해된 유해가스를 이루고 있는 분자 및 원자에 가해지게 되고 이들 분자 및 원자들은 전자기파를 흡수 및 방사하면서 여기되어 최종적으로 무해한 가스들끼리 재결합하게 된다.
또한, 상기 제2정화기(50)를 통해서도 분해되지 않는 미분해가스는 활성탄과 같은 촉매를 통해 흡착되어 회수토록 하고, 완전하게 정화된 공기만을 대기중으로 배출시키게 된다.
이때, 상기 정화된 공기는 진공펌프(60)의 흡입에 의해 대기로 배출됨이 바람직한 바, 이는 상기 제2정화기(50)에서 상압 혹은 고압을 가하여 처리할 경우라도 미분해된 가스가 곧바로 대기중으로 배출될 위험을 배제하기 위함이다.
[실험예]
하기한 표 1은 본 발명의 장치 및 방법에 따라 실험한 예로서 유해성분의 저감효율의 성능을 나타내었다.
이때 사용한 마이크로웨이브의 주파수는 2.45GHz를 사용하였고, 소비전력은 2800W 였으며, 오염된 농도는 가스분석기를 사용하여 측정하였다.
분석항목 오염된 공기중 농도 본 발명 장치 통과후 농도 저감율(%)
녹스(NOx) 1000 PPM 25 PPM 98
삭스(SOx) 1000 PPM 50 PPM 95
암모니아 1500 PPM 100 PPM 94
벤젠 5000 PPM 100 PPM 98
톨루엔 5000 PPM 100 PPM 98
크실렌 5000 PPM 100 PPM 98
미연탄소(CO gas) 1000 PPM 80 PPM 92
탄화수소(HC) 1000 PPM 100 PPM 90
알콜류 1500 PPM 50 PPM 97
에스테르류 1500 PPM 50 PPM 97
알데히드류 2000 PPM 100 PPM 95
아민류 1500 PPM 50 PPM 97
황화수소류 1000 PPM 20 PPM 98
악취 2000 PPM 20 PPM 99
상기 표 1을 통해 알 수 있듯이, 본 발명에 의한 바이오필터와 전자기파의공진현상을 이용한 정화방식은 기존과 같이 단순한 바이오필터를 이용한 정화방식에 비해 대량이면서도 고농도의 유해가스를 고효율적이고도 용이하게 분해할 수 있음을 확인할 수 있었다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명의 정화장치 및 정화방법은 다음과 같은 효과를 제공한다.
첫째, 대량이면서도 고농도의 유해가스도 용이하게 고효율적으로 정화시키는 현저한 효과가 있다.
둘째, 에너지 소비가 적고 장치의 소형화가 가능하다.
세째, 발전설비나 제철설비, 소각로 및 석유화학제품을 생산하는 설비와 같은 대형설비에도 용이하게 설치 적용할 수 있다.

Claims (8)

  1. 톨루엔, 크실렌, 스티렌, 벤젠과 같은 휘발성유기화합물을 비롯하여 황산화물, 질산화물, 황화수소, 암모니아가 함유된 고농도의 유해가스를 미생물을 통해 저농도의 유해가스로 유기분해하는 제1,2바이오필터와;
    상기 제1,2바이오필터에 서식하는 미생물의 서식환경을 최적상태로 관리제어하도록 제1,2바이오필터 주변에 설치된 환경조절수단과;
    상기 제1,2바이오필터를 거쳐 1차 분해된 저농도의 유해가스를 공급받아 고주파의 마이크로웨이브를 통한 전자계의 공진현상을 이용하여 유해성분과 무해성분으로 무기분해하는 제1정화기와;
    상기 제1정화기와 연결되고 제1정화기에서 미분해된 가스를 촉매와 고주파의 마이크로웨이브를 통해 다시한번 무기분해하는 제2정화기와;
    상기 제2정화기에 연결되고 이로부터 배출된 정화가스를 진공의 힘으로 대기중으로 배출시키는 진공펌프를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 바이오필터와 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 환경조절수단은 하우징내 구획된 제1바이오필터의 하측에 설치된 송풍 및 온도조절기와;
    상기 송풍 및 온도조절기와 제1바이오필터 사이에 구비된 집진기와;
    상기 제1바이오필터 및 이와 구획되어 평행하게 설치된 제2바이오필터의 직상방에 각각 설치된 수축방지기와;
    상기 수축방지기의 상부에 이격배설되고 수분공급용 펌프와 연결된 스프레이노즐과;
    상기 제2바이오필터의 직하방에 상기 집진기와 구획되고 평행하게 배설된 차압측정기와;
    상기 차압측정기의 하측인 배출관의 입구 주변에 설치된 유해가스 농도측정기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 바이오필터와 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1,2정화기는 원통형상의 본체와;
    상기 본체에 삽입설치된 파이렉스관과
    상기 파이렉스관의 길이방향을 따라 그 외주연에 나선형상으로 권취배설된 동축코일과;
    상기 동축코일의 양단에 연결된 고주파발진유닛과;
    상기 고주파발진유닛과 연결설치된 전원공급부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 바이오필터와 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 고주파발진유닛은 40kHz ~ 10GHz의 주파수 대역을 갖는 것 특징으로 하는 바이오필터와 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 전원공급부는 2000V 이상의 고압을 인가하는 것을 특징으로 하는 바이오필터와 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화장치.
  6. 공급된 고농도의 유해가스를 환경조절수단이 부가된 바이오필터에 서식하는 미생물을 이용하여 저농도의 유해가스로 유기분해하는 단계와;
    유기분해된 저농도의 유해가스를 공급받아 고주파발진유닛을 통해 인가되는 고주파의 마이크로웨이브에 의해 1차 무기분해하는 단계와;
    상기 1차 무기분해된 유해가스중 미분해된 유해가스에 다시한번 고주파의 마이크로웨이브를 인가하여 2차 무기분해함과 동시에 촉매를 사용하여 미분해된 유해성분은 회수토록 하는 단계와;
    상기 단계후 진공펌프를 통해 완전정화된 공기를 대기중으로 배출하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 바이오필터와 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1,2정화기에서는 고주파발진유닛을 통한 전자계로 형성된 고주파에너지가 유해성분을 이루고 있는 분자 및 원자를 해리 및 여기시켜 무해분자들끼리 재결합토록 하여 분해시키는 것을 특징으로 하는 바이오필터와 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화방법.
  8. 제6항에 있어서, 상기 유해가스중 악취는 바이오필터를 거치지 않고 곧바로 고주파의 마이크로웨이브를 통해 1,2차 무기분해된 후 대기로 배출되는 것을 특징으로 하는 바이오필터와 마이크로웨이브를 이용한 고효율 유해가스 정화방법.
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